KR101676795B1 - 웨이퍼 캐리어 반송 로봇 - Google Patents

웨이퍼 캐리어 반송 로봇 Download PDF

Info

Publication number
KR101676795B1
KR101676795B1 KR1020150036084A KR20150036084A KR101676795B1 KR 101676795 B1 KR101676795 B1 KR 101676795B1 KR 1020150036084 A KR1020150036084 A KR 1020150036084A KR 20150036084 A KR20150036084 A KR 20150036084A KR 101676795 B1 KR101676795 B1 KR 101676795B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
lifting
rail
slide
elevating
unit
Prior art date
Application number
KR1020150036084A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20160111214A (ko
Inventor
유동규
김재윤
Original Assignee
크린팩토메이션 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 크린팩토메이션 주식회사 filed Critical 크린팩토메이션 주식회사
Priority to KR1020150036084A priority Critical patent/KR101676795B1/ko
Priority to TW105107967A priority patent/TWI622473B/zh
Priority to US15/071,456 priority patent/US10340167B2/en
Priority to CN201610149801.3A priority patent/CN105990201B/zh
Publication of KR20160111214A publication Critical patent/KR20160111214A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101676795B1 publication Critical patent/KR101676795B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67736—Loading to or unloading from a conveyor
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67769—Storage means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0457—Storage devices mechanical with suspended load carriers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G35/00—Mechanical conveyors not otherwise provided for
    • B65G35/06—Mechanical conveyors not otherwise provided for comprising a load-carrier moving along a path, e.g. a closed path, and adapted to be engaged by any one of a series of traction elements spaced along the path

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Abstract

본 발명은, 바디; 웨이퍼 캐리어를 파지하도록 구성되는 파지 유닛; 및 상기 바디와 상기 파지 유닛 각각에 연결되어, 상기 바디의 양 측방으로 상기 파지 유닛을 전개하도록 구성된 양방향 슬라이딩 유닛을 포함하는, 웨이퍼 캐리어 반송 로봇을 제공한다.

Description

웨이퍼 캐리어 반송 로봇{ROBOT FOR CARRYING WAFER CARRIER AT CEILING}
본 발명은 웨이퍼 캐리어 반송 로봇에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 제조 공정에서는 웨이퍼를 생산하고, 생산된 웨이퍼를 다음 단계로 이송하여 반도체 패키지를 제조하게 된다.
이때, 생산된 웨이퍼는 바로 다음 단계에 사용되지 못하고 일정 시간 보관된 후에 필요에 따라 순차적으로 다음 단계로 보내진다. 그래서 이러한 보관을 위한 설비가 필요하다. 보관 설비 내에서는 반송 로봇이 웨이퍼 캐리어를 반송하도록 배치된다.
위의 보관 설비의 공간 효율을 높이기 위해서는, 그 설비 내에서 작동하는 반송 로봇이 가능한 많은 양의 웨이퍼 캐리어를 보관 설비 내에 보관할 수 있도록 설계될 필요가 있다.
본 발명의 일 목적은, 웨이퍼 캐리어의 보관 공간을 효율적으로 활용하는데 사용될 수 있는, 웨이퍼 캐리어 반송 로봇을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 일 목적은, 웨이퍼 캐리어를 파지하여 양방향으로 전개할 수 있는, 웨이퍼 캐리어 반송 로봇을 제공하는 것이다.
상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명의 일 측면과 관련된 웨이퍼 캐리어 반송 로봇은, 바디; 웨이퍼 캐리어를 파지하도록 구성되는 파지 유닛; 및 상기 바디와 상기 파지 유닛 각각에 연결되어, 상기 바디의 양 측방으로 상기 파지 유닛을 전개하도록 구성된 양방향 슬라이딩 유닛을 포함할 수 있다.
여기서, 상기 양방향 슬라이딩 유닛은, 상기 바디에 결합되는 상부 플레이트; 및 상기 상부 플레이트에 이동 가능하게 결합되고, 상기 파지 유닛에 연결된 하부 플레이트를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 하부 플레이트는, 상기 상부 플레이트의 연장 방향을 따르는 양단부 중 하나를 벗어난 위치에서 상기 양단부 중 다른 하나를 벗어난 위치까지의 이동 가능 구간을 가질 수 있다.
여기서, 상기 양방향 슬라이딩 유닛은, 상기 상부 플레이트의 저면에 결합되는 제1 레일; 및 상기 하부 플레이트의 상면에 결합되고, 상기 제1 레일에 슬라이딩 가능하게 결합되는 제1 슬라이더를 더 포함할 수 있다.
여기서, 상기 상부 플레이트는, 양쪽 가장자리 영역; 및 상기 양쪽 가장자리 영역보다 상기 하부 플레이트로부터 멀어지게 돌출되고, 상기 제1 레일이 위치하는 중앙 영역을 포함할 수 있다.
여기서, 상기 양방향 슬라이딩 유닛은, 상기 상부 플레이트의 상면 중 상기 양쪽 가장자리 영역에 설치되는 제2 레일; 및 상기 바디에 설치되고, 상기 제2 레일에 슬라이딩 가능하게 결합되는 제2 슬라이더를 더 포함할 수 있다.
여기서, 상기 파지 유닛은, 상기 하부 플레이트의 하측에 배치되고, 상기 하부 플레이트에 대해 이동 가능하게 결합되는 파지 플레이트를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 양방향 슬라이딩 유닛은, 상기 상부 플레이트, 상기 하부 플레이트, 및 상기 파지 유닛 간의 상대 슬라이딩을 위한 구동력을 발생시키는 구동 모듈을 더 포함할 수 있다.
여기서, 상기 구동 모듈은, 상기 하부 플레이트에 설치되는 한 쌍의 슬라이드 풀리; 상기 한 쌍의 슬라이드 풀리를 감싸도록 형성되고, 상기 상부 플레이트 및 상기 파지 플레이트와 연결되는 슬라이드 벨트; 및 상기 슬라이드 벨트를 그의 연장 방향을 따른 양방향 중 어느 한 방향으로 이동시키는 슬라이드 이동 부재를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 슬라이드 이동 부재는, 모터; 상기 모터의 회전력을 전달받아 작동하는 볼 스크류; 및 상기 볼 스크류의 너트와 상기 슬라이드 벨트를 연결하는 연결 브라켓을 포함할 수 있다.
여기서, 상기 바디에 설치되고, 상기 양방향 슬라이딩 유닛을 승강 구동하는 승강구동 유닛이 더 구비될 수 있다.
여기서, 상기 승강구동 유닛은, 승강 방향을 따라 승강되는 승강 블록; 상기 승강 블록에 결합되고, 상기 양방향 슬라이딩 유닛이 연결되는 슬라이드 베이스; 및 상기 승강 블록을 상기 승강 방향을 따라 이동시키는 승강 이동 부재를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 승강 이동 부재는, 상기 승강 방향을 따라 배치되고 회전 구동되는 한 쌍의 승강 풀리; 및 상기 한 쌍의 풀리를 감싸며, 상기 승강 블록이 연결되는 승강 벨트를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 승강 이동 부재는, 상기 승강 방향을 따라 배치되고, 상기 승강 블록이 슬라이딩 가능하게 결합되는 승강 레일을 더 포함할 수 있다.
여기서, 상기 바디는, 상기 승강 레일의 측방에 상기 승강 레일을 따라 연장된 가이드 슬롯을 포함하고, 상기 승강 블록은, 상기 가이드 슬롯을 따라 이동될 수 있다.
여기서, 상기 승강 레일과 상기 승강 벨트 모두는, 상기 가이드 슬롯의 일 측에 배치될 수 있다.
여기서, 상기 승강 블록은, 상기 가이드 슬롯에 삽입되는 삽입부; 상기 삽입부의 일 단부에서 절곡되어 연장되고, 상기 승강 레일에 연결되는 슬라이드부; 및 상기 삽입부의 타 단부에서 절곡되어 연장되고, 상기 승강 벨트에 연결되는 연결부를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 상부 플레이트는 상기 슬라이드 베이스의 하측에 배치되고, 상기 슬라이드 베이스에 대해 슬라이딩 가능하게 연결되어 상기 바디에 결합될 수 있다.
여기서, 상기 바디는, 상기 승강 방향을 따라 배치되고, 서로 마주하는 한 쌍의 기둥부를 포함하고, 상기 승강 레일은, 상기 한 쌍의 기둥부 중 어느 하나에 한 쌍으로 설치될 수 있다.
상기와 같이 구성되는 본 발명에 관련된 웨이퍼 캐리어 반송 로봇에 의하면, 웨이퍼 캐리어의 보관 공간을 효율화하는데 반송 로봇이 사용될 수 있다.
구체적으로, 반송 로봇은 웨이퍼 캐리어를 파지하여 양방향으로 전개하여 보관 공간에서 반송 로봇을 기준으로 양측에 웨이퍼 캐리어를 보관할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예와 관련된 웨이퍼 캐리어를 천정에 보관하고 처리하는 장치(100)에 대한 사시도이다.
도 2는 도 1의 장치(100)의 주요 부분에 대한 측면도이다.
도 3은 도 1의 내부 반송 로봇(200)에 대한 사시도이다.
도 4는 도 3의 내부 반송 로봇(200)의 작동을 설명하기 위한 개념도이다.
도 5는 도 1의 선반(131,132)에 놓인 웨이퍼 캐리어(WC)를 퍼지하는 퍼지 유닛(190)을 설명하기 위한 블록도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 양방향 슬라이딩 유닛(250)의 주요 구성을 보인 사시도이다.
도 7은 도 6의 양방향 슬라이딩 유닛(250)의 횡 단면도이다.
도 8은 도 6의 양방향 슬라이딩 유닛(250)이 일 방향으로 전개된 상태를 보인 사시도이다.
도 9는 도 7의 양방향 슬라이딩 유닛(250)이 웨이퍼 캐리어(WC)를 파지한 채로 도면상 좌측으로 전개된 상태를 보인 개념도이다.
도 10은 도 7의 양방향 슬라이딩 유닛(250)이 웨이퍼 캐리어(WC)를 파지한 채로 도면상 우측으로 전개된 상태를 보인 개념도이다.
도 11은 도 2의 승강구동 유닛(230)과 양방향 슬라이딩 유닛(250)이 바디(110)의 상부와 하부에 각각 위치한 상태를 함께 보인 개념도이다.
도 12는 도 11의 승강구동 유닛(230)의 구성을 설명하기 위한 사시도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어 반송 로봇에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 본 명세서에서는 서로 다른 실시예라도 동일·유사한 구성에 대해서는 동일·유사한 참조번호를 부여하고, 그 설명은 처음 설명으로 갈음한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예와 관련된 웨이퍼 캐리어를 천정에 보관하고 처리하는 장치(100)에 대한 사시도이고, 도 2는 도 1의 장치(100)의 주요 부분에 대한 측면도이다.
본 도면들을 참조하면, 웨이퍼 캐리어를 천정에 보관하고 처리하는 장치(100)는, 내부 레일(110)과, 보관계(130)와, 외부 레일(150)과, 설치대(170), 그리고 내부 반송로봇(200)을 가질 수 있다.
내부 레일(110)은 내부 반송로봇(200)이 매달려서 주행할 수 있도록 하는 구성이다. 내부 레일(110)은 대체로 바(bar) 형태로서, 내부 반송로봇(200)의 주행 경로(기준 라인)에 대응하여 연장된 것이다. 구체적으로, 내부 레일(110)은 후술될 제1 열의 선반(131) 및 제2 열의 선반(132)에 대응하는 길이로서 직선 연장되고, 이는 기준 라인을 따르는 것으로 정의될 수 있다. 내부 레일(110)은 천정에 매달리도록 구성된다. 본 실시예에서, 내부 레일(110)은 후술될 설치대(170)에 연결되어 천정에 매달리게 된다.
보관계(130)는 웨이퍼 캐리어(WC)를 보관하는 구성이다. 보관계(130)는 천정에 매달리도록 구성된다. 보관계(130)는, 제1 열의 선반(131)과, 제2 열의 선반(132)과, 하부 프레임(135)과, 제1 기둥 프레임(136)과, 제2 기둥 프레임(137), 그리고 입출고 포트(139)를 가질 수 있다.
제1 열의 선반(131)과 제2 열의 선반(132)은 내부 레일(110)의 양측에서 서로 마주하하도록 배치되는 선반이다. 제1 열의 선반(131)과 제2 열의 선반(132)은 각각 복수 개의 개별 선반으로 구성될 수 있다. 각 개별 선반은 하나의 웨이퍼 캐리어(WC)를 지지하는 사이즈를 가질 수 있다.
하부 프레임(135)은 보관계(130)의 가장 밑 부분을 이룰 수 있다. 하부 프레임(135)은 전체적으로 사각형의 형상을 가질 수 있다. 하부 프레임(135)은 내부 레일(110)의 연장 방향을 따라 길쭉하게 형성될 수 있다.
제1 기둥 프레임(136)과 제2 기둥 프레임(137)은 하부 프레임(135)의 양 가장자리 측에 서로 이격된 채로 세워진 것일 수 있다. 이때, 제1 기둥 프레임(136)에는 제1 열의 선반(131)이 설치되고, 제2 기둥 프레임(137)에는 제2 열의 선반(132)이 설치될 수 있다.
제1 기둥 프레임(136)과 제2 기둥 프레임(137)은, 바닥 부재(136a, 137a)와, 벽 부재(136b, 137b)를 가질 수 있다.
바닥 부재(136a, 137a)는 제1 열의 선반(131) 또는 제2 열의 선반(132)을 지지하는 구성이다. 바닥 부재(136a, 137a)는 내부 레일(110)의 연장 방향을 따라 연장될 수 있다. 이러한 바닥 부재(136a, 137a)는 복수의 층을 이루도록 복수 개로 구비될 수 있다. 그에 대응하여, 제1 열의 선반(131) 또는 제2 열의 선반(132)도 복수 층의 바닥 부재(136a, 137a)에 대응하여 복수 층을 이루는 개별 선반을 가질 수 있다.
벽 부재(136b, 137b)는 바닥 부재(136a, 137a)의 양단부에 각각 결합되는 한 쌍으로 형성되어 바닥 부재(136a, 137a)를 견고하게 지지하게 된다. 벽 부재(136b, 137b)는 바닥 부재(136a, 137a)가 형성하는 평면과 교차하는 방향을 따라 배치된다.
입출고 포트(139)는 제1 열의 선반(131) 중 일부에서 돌출되어 외부 레일(150)의 하측에 배치되는 구성이다. 입출고 포트(139)에는 제1 열의 선반(131) 또는 제2 열의 선반(132)에 놓여질 웨이퍼 캐리어(WC) 또는 그들로부터 꺼내진 웨이퍼 캐리어(WC)가 임시로 놓여지게 된다.
외부 레일(150)은 보관계(130)의 외부에 설치되는 구성이다. 외부 레일(150)은 보관계(130)에 대응하는 영역에서는 대체로 내부 레일(110)과 평행하게 설치될 수 있다. 외부 레일(150)에는 내부 반송로봇(200)과 연관되어 작동하는 외부 반송로봇(ER)이 이동 가능하게 설치될 수 있다.
설치대(170)는 천정에 매달리는 구성이다. 설치대(170)에는 내부 레일(110)과 외부 레일(150)이 연결될 수 있다. 설치대(170)는 가로 프레임(171)과, 세로 프레임(173)을 가질 수 있다. 가로 프레임(171)과 세로 프레임(173)은 서로 교차하는 방향으로 배치되어, 격자 구조를 형성할 수 있다.
이러한 구성에 의하면, 보관계(130)와 설치대(170)는 연결봉 등을 이용하여 천정에 연결된다. 그 상태에서, 설치대(170)에는 내부 레일(110)과 외부 레일(150)이 연결될 수 있다. 내부 레일(110)에는 내부 반송로봇(200)이 주행 가능하게 설치되고, 외부 레일(150)에는 외부 반송로봇(ER)이 역시 주행 가능하게 설치된다. 내부 반송로봇(200)은 제1 기둥 프레임(136)과 제2 기둥 프레임(137) 사이에서 이동하게 된다. 또한, 내부 반송로봇(200)은 제1 열의 선반(131)과 제2 열의 선반(132) 각각의 1층과 2층에 대응하여 승강하게 된다.
외부 반송로봇(ER)이 가져온 웨이퍼 캐리어(WC)는 일단 입출고 포트(139)에 내려진다. 이 웨이퍼 캐리어(WC)는 내부 반송로봇(200)이 집어서, 제1 열의 선반(131) 또는 제2 열의 선반(132)의 선반 중 어느 하나에 내려놓게 된다. 그에 의해, 웨이퍼 캐리어(WC)가 보관계(130)에 보관된다.
반대로, 보관계(130) 내의 웨이퍼 캐리어(WC)는 일단 내부 반송로봇(200)이 집어서 입출고 포트(139)에 내려 놓게 된다. 이 과정에서, 내부 반송로봇(200)은 내부 레일(110)을 따라 이동하게 됨은 물론이다. 입출고 포트(139)에 놓여진 웨이퍼 캐리어(WC)는 외부 반송로봇(ER)에 의해 집어져서 다른 곳으로 반송될 수 있다. 이에 의해, 웨이퍼 캐리어(WC)가 보관계(130)를 벗어나게 된다.
내부 반송로봇(200)은 서로 마주보는 제1 열의 선반(131)과 제2 열의 선반(132)에 대응하여 작업 가능하다. 구체적으로, 내부 반송로봇(200)은 제1 열의 선반(131) 및 제2 열의 선반(132) 모두에 웨이퍼 캐리어(WC)를 내려놓거나, 그들 모두로부터 웨이퍼 캐리어(WC)를 집어들 수 있다.
이러한 내부 반송로봇(200)을 구비함에 의해, 보관계(130)는 하나의 내부 레일(110)을 기준으로 양측에 제1 열의 선반(131)과 제2 열의 선반(132)이 각각 배치되는 집적형으로 구성될 수 있다. 또한, 제1 열의 선반(131) 및 제2 열의 선반(132)은 각기 복수의 층으로 구성될 수 있기에, 한정된 공간에 보다 많은 웨이퍼 캐리어(WC)를 집적하여 보관할 수 있게 된다.
이상의 내부 반송로봇(200)에 대해서는 도 3 및 도 4를 참조하여 설명한다.
도 3은 도 1의 내부 반송 로봇(200)에 대한 사시도이고, 도 4는 도 3의 내부 반송 로봇(200)의 작동을 설명하기 위한 개념도이다.
본 도면들을 참조하면, 내부 반송로봇(200)은, 바디(210)와, 승강구동 유닛(230)과, 양방향 슬라이딩 유닛(250)과, 파지 유닛(270)을 가질 수 있다.
바디(210)는 베이스부(211)와, 구동부(216)를 가질 수 있다. 베이스부(211)는 승강구동 유닛(230) 등이 설치되는 부분이다. 베이스부(211)는 수직 방향으로 서로 마주보게 배치된 한 쌍의 기동부를 가질 수 있다. 승강구동 유닛(230)은 이러한 한 쌍의 기둥부에 설치된다. 구동부(216)는 베이스부(211)에 설치되고, 내부 레일(110, 도 1)에 매달리는 부분이다. 구동부(216)는 내부 레일(110)을 구르게 되는 바퀴를 가진다.
승강구동 유닛(230)은 베이스부(211)의 높이 방향을 따라 양방향 슬라이딩 유닛(250)을 승강시키는 구성이다.
양방향 슬라이딩 유닛(250)은 승강구동 유닛(230)에 설치되고, 또한 베이스부(211)를 기준으로 양측 방향으로 슬라이딩 전개되는 구성이다.
파지 유닛(270)은 양방향 슬라이딩 유닛(250)의 자유단 측에 연결되고, 웨이퍼 캐리어(WC)를 파지하는 구성이다.
이러한 구성에 의하면, 바디(210)의 구동부(216)는 내부 레일(110)에 지지된 채로, 내부 레일(110)을 따라 주행하게 된다. 그에 의해, 베이스부(211)는 내부 레일(110)을 따라 보관계(130, 도 1)의 일 단에서 타 단까지 이동될 수 있다.
베이스부(211)가 제1 열의 선반(131)과 제2 열의 선반(132)(이상, 도 1 참조) 중 어느 하나에 대한 설정 위치에 도달된 경우에, 양방향 슬라이딩 유닛(250)은 파지 유닛(270)를 설정된 웨이퍼 캐리어(WC)를 향해 전개하게 된다.
이때, 웨이퍼 캐리어(WC)가 파지 유닛(270) 보다 높거나 낮게 위치한 경우라면, 승강구동 유닛(230)의 작동에 의해 양방향 슬라이딩 유닛(250)은 그 높이가 변경될 수 있다.
양방향 슬라이딩 유닛(250)가 웨이퍼 캐리어(WC)에 대응하는 높이에 위치한 경우, 양방향 슬라이딩 유닛(250)이 전개되면서 파지 유닛(270)은 웨이퍼 캐리어(WC)의 상측에 놓이게 된다. 이때, 파지 유닛(270)이 작도하여 웨이퍼 캐리어(WC)를 파지할 수 있다.
결과적으로, 파지 유닛(270)은, 본 실시예어서, 좌상 위치(LU), 좌하 위치(LD), 우상 위치(RU), 및 우하 위치(RD)와 같이 네 개의 위치에 웨이퍼 캐리어(WC)를 파지하거나 내려놓을 수 있게 된다.
이상과 반대로, 제1 열의 선반(131) 또는 제2 열의 선반(132)에 놓인 웨이퍼 캐리어(WC)를 보관계(130) 밖으로 꺼내는 경우는, 내부 반송로봇(200)이 위와 대체로 반대되게 작동하게 된다.
다음으로, 제1 열의 선반(131)과 제2 열의 선반(132)에 놓인 웨이퍼 캐리어(WC)의 퍼지에 대해 도 5를 참조하여 설명한다.
도 5는 도 1의 선반(131,132)에 놓인 웨이퍼 캐리어(WC)를 퍼지하는 퍼지 유닛(190)을 설명하기 위한 블록도이다.
먼저, 선반(131,132)(이하, 131만 기재한다)에는 공급 노즐(131a)와, 배기 노즐(131b)와, 캐리어 감지 센서(131c)가 설치될 수 있다. 공급 노즐(131a)과 배기 노즐(131b)은 선반(131)의 상면 측에 설치되고, 웨이퍼 캐리어(WC)의 내부와 연통 된다. 캐리어 감지 센서(131c)는 선반(131)의 상면 측에 설치되어, 선반(131)에 웨이퍼 캐리어(WC)가 위치한 상태인지 파악하도록 형성된다.
이상의 웨이퍼 캐리어(WC)에 대한 퍼지를 위해, 퍼지 유닛(190)이 더 구비될 수 있다. 퍼지 유닛(190)은, 가스 탱크(191)와, 회수 펌프(195), 그리고 컨트롤러(199)를 가질 수 있다.
가스 탱크(191)는 웨이퍼 캐리어(WC)에 연통되어 웨이퍼 캐리어(WC) 내로 퍼지 가스를 제공하는 구성이다. 구체적으로, 가스 탱크(191)에서 공급 노즐(131a)로 퍼지 가스가 유동하는 중에는, 공급 밸브(192), 공급 유량계(193), 및 가스 필터(194)를 거칠 수 있다.
공급 밸브(192)는 퍼지 가스의 공급 유동을 위한 유로를 개폐하도록 형성된다. 공급 밸브(192)는 전기식 밸브로서, 전기적인 신호에 의해 개폐를 위한 동작을 하도록 형성된다. 공급 유량계(193)는 공급 밸브(192)와 공급 노즐(131a) 사이에 배치되어, 상기 공급 노즐(131a)을 향한 상기 가스의 유량을 설정된 대로 맞추게 된다. 가스 필터(194)는 공급 유량계(193)와 공급 노즐(131a) 사이에 설치되어, 공급 노즐(131a)을 통해 웨이퍼 캐리어(WC) 내로 공급되는 상기 가스 중의 이물질을 필터링하게 된다. 여기서, 공급 밸브(192) 및 공급 유량계(193)는 디지털 질량 유량계(Mass Flow Controller)로 통합될 수 있다. 이 경우, 디지털 질량 유량계는 시간에 따른 가스의 공급량을 설정 가능하며, 컴퓨터에 의해 전자적으로 제어될 수 있다.
회수 펌프(195)는 웨이퍼 캐리어(WC)에 연통되어 웨이퍼 캐리어(WC)에 공급된 퍼지 가스를 강제적으로 회수하는 구성이다. 구체적으로, 회수 노즐(131b)에서 회수 펌프(195)로 퍼지 가스가 유동하는 중에는, 배기 밸브(196) 및 배기 유량계(197)를 거질 수 있다.
회수 밸브(196)는 퍼지 가스의 배기 유동을 위한 유로를 개폐하도록 형성된다. 회수 밸브(196)는 전기식 밸브로서, 전기적인 신호에 의해 개폐를 위한 동작을 하도록 형성된다. 회수 유량계(197)는 회수 밸브(196)와 회수 노즐(131b) 사이에 배치되어, 상기 회수 노즐(131b)을 통해 웨이퍼 캐리어(WC)의 외부로 회수되는 상기 가스의 유량을 설정된 대로 맞추게 된다.
컨트롤러(199)는 가스 탱크(191)의 개폐와, 회수 펌프(195)의 작동을 제어한다. 컨트롤러(199)는 공급 유량계(193)와 회수 유량계(197), 그리고 캐리어 감지 센서(131c)로부터 각종 정보를 입력받아, 공급 밸브(192)와 회수 밸브(196)의 동작을 제어할 수 있다.
예를 들어, 컨트롤러(199)는 공급 유량계(193)에서 측정된 공급 유량과 회수 유량계(197)에서 측정된 회수 유량의 차이에 근거하여, 공급 밸브(192)와 회수 밸브(196)의 개폐를 제어할 수 있다. 구체적으로, 상기 공급 유량에서 상기 회수 유량을 빼면, 웨이퍼 캐리어(WC) 내에 충전된 상기 가스의 양이 산출된다. 상기 충전된 가스의 양이 기준에 미달하면, 공급 밸브(192)는 개방한 상태에서 회수 밸브(196)는 폐쇄할 수 있다. 반대로, 상기 충전된 가스의 양이 기준을 초과하면, 공급 밸브(192)는 폐쇄한 상태에서 회수 밸브(196)는 개방할 수 있다.
이상에서, 컨트롤러(199)에 의한 회수 밸브(196)의 개방 및 회수 펌프(196)의 가동은 공급 밸브(192)의 개방 후에 설정 시간 경과 후에 이루어진다. 이는 퍼지 가스에 대한 능동적인 회수를 가능하게 한다. 그에 의해, 퍼지 가스에 의해 웨이퍼 캐리어(WC)가 퍼지되도록 하면서도, 퍼지 가스가 웨이퍼 캐리어(WC) 내에 지속적으로 머무름에 따른 웨이퍼의 산화나 퍼지 가스의 누설로 인한 작업장 공기 오염을 줄일 수 있게 된다.
또한, 컨트롤러(199)는 캐리어 감지 센서(131c)의 감지 결과에 근거하여, 공급 밸브(192) 및/또는 회수 밸브(196)의 개폐를 제어할 수 있다. 구체적으로, 캐리어 감지 센서(131c)가 웨이퍼 캐리어(WC)가 선반(131) 상에 존재하는 것으로 감지한 경우에, 공급 밸브(192)를 개방할 수 있다. 컨트롤러(199)는 공급 밸브(192)의 개방을 제어한 후에 일정 시간이 지나 웨이퍼 캐리어(WC) 내에 상기 가스가 일정량 충전되면, 회수 밸브(196)의 개방을 제어할 수 있다.
이제, 앞서 설명한 내부 반송 로봇(200)[웨이퍼 캐리어 반송 로봇]에 대해, 도 6 내지 도 12를 참조하여 보다 구체적으로 설명한다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 양방향 슬라이딩 유닛(250)의 주요 구성을 보인 사시도이다.
도 7은 도 6의 양방향 슬라이딩 유닛(250)의 횡 단면도이다.
웨이퍼 캐리어 반송 로봇(200)은, 앞서 설명한 바대로, 바디(210)와, 승강구동 유닛(230)과, 양방향 슬라이딩 유닛(250)과, 파지 유닛(270)을 가질 수 있다.
이 중에서, 양방향 슬라이딩 유닛(250)은, 바디(210)와 파지 유닛(270)을 연결하여, 파지 유닛(270)이 바디(210)의 양 측방으로 전개되게 하는 구성이다.
양방향 슬라이딩 유닛(250)은, 구체적으로, 상부 플레이트(251)와, 하부 플레이트(252)와, 제1 레일(253a)과, 제1 슬라이더(253b)와, 제2 레일(254a)과, 제2 슬라이더(254b)와, 제3 레일(255a)과, 제3 슬라이더(255b)와, 구동 모듈(256)을 가질 수 있다.
상부 플레이트(251)는 바디(210)에 결합되는 것일 수 있다. 구체적으로, 상부 플레이트(251)는 승강구동 유닛(230)의 슬라이드 베이스(231)에 연결되고, 그 슬라이드 베이스(231)를 매개로 바디(210)에 결합되는 것일 수 있다. 이때, 상부 플레이트(251)는 슬라이드 베이스(231)에 슬라이드 가능하게 결합될 수 있다. 상부 플레이트(251)는, 가장자리 영역(251a)과, 중앙 영역(251b)으로 구분될 수 있다. 가장자리 영역(251a)은 중앙 영역(251b)의 양 측부에 위치한다. 중앙 영역(251b)은 가장자리 영역(251a) 보다 하부 플레이트(252)에서 멀어지게 돌출된 형태를 가질 수 있다.
하부 플레이트(252)는 상부 플레이트(251)에 이동 가능하게 결합되고, 또한 파지 유닛(270)에 연결되는 구성이다. 하부 플레이트(252)는 상부 플레이트(251)와 대체로 평행하게 배치될 수 있다. 그에 의해, 상부 플레이트(251)가 슬라이드 베이스(231)의 하측에 배치될 때, 하부 플레이트(252)는 상부 플레이트(251)의 하측에 배치될 수 있다. 또한, 하부 플레이트(252)는 파지 유닛(270)의 파지 플레이트(271)의 상측에 위치하며, 파지 플레이트(271)에 슬라이드 가능하게 결합될 수 있다.
제1 레일(253a)은 상부 플레이트(251)의 저면에 결합될 수 있다. 제1 레일(253a)은 승강구동 유닛(230)의 승강 방향에 대해 대체로 수직한 방향을 따라 배열될 수 있다. 제1 레일(253a)에 대응하여, 제1 슬라이더(253b)는 하부 플레이트(252)의 상면에 결합된다. 제1 슬라이더(253b)는 제1 레일(253a)에 슬라이딩 가능하게 결합된다. 이들 제1 레일(253a)과 제1 슬라이더(253b)는 각각 상부 플레이트(251)의 중앙 영역(251b) 내에 배치될 수 있다.
제2 레일(254a)은 상부 플레이트(251)의 상면 중 양쪽 가장자리 영역(251a)에결합될 수 있다. 그에 대응하여, 제2 슬라이더(254b)는 바디(210), 구체적으로 슬라이드 베이스(231)의 저면에 결합될 수 있다. 제2 레일(254a)에는 제2 슬라이더(254b)가 슬라이딩 가능하게 결합된다.
제3 레일(255a)은 하부 플레이트(252)의 저면에 결합될 수 있다. 그에 대응하여, 제3 슬라이더(255b)는 파지 플레이트(271)의 상면에 결합될 수 있다. 제3 레일(255a)에는 제3 슬라이더(255b)가 슬라이딩 가능하게 결합된다.
구동 모듈(256)은, 상부 플레이트(251)와 하부 플레이트(252) 및 파지 유닛(270) 간의 상대 슬라이딩을 위한 구동력을 발생시키는 구성이다. 구동 모듈(256)은, 구체적으로, 슬라이드 풀리(257)와, 슬라이드 벨트(258)와, 슬라이드 이동 부재(259)를 가질 수 있다.
도 6의 우측의 구동 모듈(256)을 기준으로, 슬라이드 풀리(257)는 하부 플레이트(252)의 선단과 후단에 각각 설치되는 한 쌍으로 구비될 수 있다. 슬라이드 벨트(258)는 한 쌍의 슬라이드 풀리(257)를 감싸도록 배치된다. 이러한 슬라이드 벨트(258)는 상부 플레이트(251) 및 파지 플레이트(271)과 각각 연결된다. 슬라이드 이동 부재(259)는 슬라이드 벨트(258)를 그의 연장 방향을 따른 양 방향 중 어느 한 방향으로 이동시키는 구성이다. 슬라이드 이동 부재(259)는, 모터(259a)와, 볼스크류(259b)와, 연결 브라켓(259c)을 가질 수 있다. 모터(259a)의 회전력은 풀리와 벨트를 이용해 볼스크류(259b)에 전달될 수 있다. 볼스크류(259b)의 너트(259b')는 슬라이드 벨트(258)에 연결 브라켓(259c)에 의해 연결된다.
이상과 달리, 도 6의 좌측이 구동 모듈(256)에 있어서는, 슬라이드 풀리(257)가 상부 플레이트(251)에 설치되고, 슬라이드 벨트(258)는 슬라이드 베이스(231)와 하부 플레이트(252)에 각각 연결될 수 있다.
이러한 구성에 의하면, 상부 플레이트(251)의 중앙 영역(251b) 내에 위치한 제1 레일(253a) 및 제1 슬라이더(253b)를 기준으로, 제2 레일(254a) 및 제2 슬라이더(254b)와, 제3 레일(255a) 및 제3 슬라이더(255b)가 위/아래에서 중앙 영역(251b)에서 벗어나 배치되어, 전체적으로 지그 재그 배열을 이룰 수 있다. 그에 의해, 양방향 슬라이딩 유닛(250)의 높이를 최소화하면서도 구조적인 안정성을 확보할 수 있다.
양방향 슬라이딩 유닛(250)의 기본적인 작동에 대해서는 도 8 내지 도 10을 추가로 참조하여 설명한다.
도 8은 도 6의 양방향 슬라이딩 유닛(250)이 일 방향으로 전개된 상태를 보인 사시도이고, 도 9는 도 7의 양방향 슬라이딩 유닛(250)이 웨이퍼 캐리어(WC)를 파지한 채로 도면상 좌측으로 전개된 상태를 보인 개념도이며, 도 10은 도 7의 양방향 슬라이딩 유닛(250)이 웨이퍼 캐리어(WC)를 파지한 채로 도면상 우측으로 전개된 상태를 보인 개념도이다.
도 8을 참조하면, 양방향 슬라이딩 유닛(250)은 도면 상 좌측으로 전개되어 있다. 그에 의해, 파지 플레이트(271)는 도면 상 우측의 슬라이드 베이스(231)를 기준으로 도면 상 좌측으로 최대로 전개되어 있다.
구체적으로, 도면 상 전면 측의 구동 모듈(256)에 의해, 슬라이드 베이스(231)는 상부 플레이트(251)의 좌측 단부 측에 위치한다. 하부 플레이트(252)는 상부 플레이트(251)의 연장 방향을 따라 상부 플레이트(251)의 좌측 단부를 벗어난 위치까지 이동되어 있다.
또한, 도면 상 배면 측의 구동 모듈(256)에 의해, 파지 플레이트(271)는 하부 플레이트(252)의 좌측 단부 측에 위치한다.
도 9를 참조하면, 위와 같은 양방향 슬라이딩 유닛(250)의 전개 작동에 의해, 웨이퍼 캐리어(WC)가 슬라이드 베이스(231)를 기준으로 좌측으로 최대로 전개된 상태를 확인할 수 있다.
도 10을 참조하면, 양방향 슬라이딩 유닛(250)이 앞서와 반대로 전개 작동되어, 웨이퍼 캐리어(WC)가 슬라이드 베이스(231)를 기준으로 우측으로 최대로 전개된 상태를 확인할 수 있다.
다음으로, 승강구동 유닛(230)에 대해 도 11 및 도 12를 참조하여 설명한다.
도 11은 도 2의 승강구동 유닛(230)과 양방향 슬라이딩 유닛(250)이 바디(110)의 상부와 하부에 각각 위치한 상태를 함께 보인 개념도이고, 도 12는 도 11의 승강구동 유닛(230)의 구성을 설명하기 위한 사시도이다.
도 11을 참조하면, 승강구동 유닛(230)은 바디(210), 구체적으로 한 쌍의 기둥부(211)에 서로 연관되어 설치될 수 있다.
승강구동 유닛(230)은, 슬라이드 베이스(231), 승강 블록(233), 및 승강 이동 부재(235)를 가질 수 있다.
슬라이드 베이스(231)는 양방향 슬라이딩 유닛(250)의 상부 플레이트(251, 도 6)가 연결되는 구성이다. 슬라이드 베이스(231)는 그의 양 단부가 각각 한 쌍의 기둥부(211)에 대응하도록 배치된다.
승강 블록(233)은, 한 쌍의 기둥부(211)에 각각 설치되어, 슬라이드 베이스(231)를 지지하며 승강 방향을 따라 승강 구동된다.
승강 이동 부재(235)는 승강 블록(233)을 승강 방향을 따라 이동시키는 구성이다. 승강 이동 부재(235)는, 구체적으로, 한 쌍의 승강 풀리(236)와, 승강 벨트(237), 그리고 승강 레일(238)을 가질 수 있다. 한 쌍의 승강 풀리(236)는 기둥부(211)의 상단과 하단에 각각 배치된다. 승강 풀리(236)는 모터(239)에 의해 회전 구동될 수 있다. 승강 벨트(237)는 한 쌍의 승강 풀리(236)를 감싸도록 배치된다. 승강 레일(238)은 기둥부(211)에 승강 방향을 따라 결합되어, 승강 블록(233)이 슬라이딩 가능하게 결합되는 구성이다.
도 12를 참조하면, 기둥부(211)에는 가이드 슬롯(212)이 형성될 수 있다. 가이드 슬롯(212)은 승강 방향을 따라 형성된다. 가이드 슬롯(212)은 승강 블록(233)의 승강 방향을 따른 이동을 가이드 하게 된다.
승강 블록(233)은, 삽입부(233a)와, 슬라이드부(233b)와, 연결부(233c)를 가질 수 있다. 삽입부(233a)는 가이드 슬롯(212)에 삽입되는 부분이다. 슬라이드부(233b)는 삽입부(233a)의 일 단에서 절곡되어, 승강 레일(238)에 슬라이딩 가능하게 결합되는 부분이다. 연결부(233c)는 삽입부(233a)의 타 단에서 절곡되어, 승강 벨트(237)에 연결되는 부분이다. 이러한 구조에 의해, 슬라이드부(233b)와 연결부(233c), 나아가 그들이 각각 결합되는 승강 레일(238)과 승강 벨트(237)는 모두 가이드 슬롯(212)의 일 측에 편중되어 배치된다.
나아가, 하나의 기둥부(211)에는 한 쌍의 승강 이동 부재(235)가 배치될 수 있다. 이때, 각 승강 이동 부재(235)의 승강 블록(233)의 슬라이드부(233b)는 서로 마주하도록 배치될 수 있다. 그에 의해, 한 쌍의 서로 나란한 가이드 슬롯(212)에 대응하여, 한 쌍의 승강 레일(238)은 모두 한 쌍의 가이드 슬롯(212) 사이에 위치하게 된다. 이는 한 쌍의 승강 블록(233)에 의한 슬라이드 베이스(231), 나아가 양방향 슬라이딩 유닛(250)에 대한 견고한 지지를 가능하게 한다.
상기와 같은 웨이퍼 캐리어 반송 로봇은 위에서 설명된 실시예들의 구성과 작동 방식에 한정되는 것이 아니다. 상기 실시예들은 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 구성될 수도 있다.
100: 웨이퍼 캐리어를 천정에 보관하고 처리하는 장치
110: 내부 레일 130: 보관계
131: 제1 열의 선반 132: 제2 열의 선반
135: 하부 프레임 136: 제1 기둥 프레임
137: 제2 기둥 프레임 150: 외부 레일
170: 설치대 190: 퍼지 유닛
191: 가스 탱크 195: 회수 펌프
199: 컨트롤러
200: 내부 반송 로봇/웨이퍼 캐리어 반송 로봇 210: 바디
230: 승강구동 유닛 231: 슬라이드 베이스
233: 승강 블럭 235: 승강 이동 부재
250: 양방향 슬라이딩 유닛 251: 상부 플레이트
252: 하부 플레이트 256: 구동 모듈
270: 파지 유닛 271: 파지 플레이트

Claims (19)

  1. 바디; 웨이퍼 캐리어를 파지하도록 구성되는 파지 유닛; 상기 바디와 상기 파지 유닛 각각에 연결되어, 상기 바디의 양 측방으로 상기 파지 유닛을 전개하도록 구성된 양방향 슬라이딩 유닛; 및 상기 양방향 슬라이딩 유닛을 승강 구동하도록 구성되고, 상기 양방향 슬라이딩 유닛의 승강을 안내하도록 상기 바디에 설치되는 승강 레일을 구비하는 승강구동 유닛을 포함하고,
    상기 승강구동 유닛은, 상기 승강 레일에 슬라이딩 가능하게 결합되어, 승강 방향을 따라 승강되는 승강 블록; 상기 승강 블록에 결합되고, 상기 양방향 슬라이딩 유닛이 연결되는 슬라이드 베이스; 및 상기 승강 블록을 상기 승강 방향을 따라 이동시키는 승강 이동 부재를 포함하며,
    상기 바디는 상기 승강 레일의 측방에 상기 승강 레일을 따라 연장된 가이드 슬롯을 포함하고, 상기 승강 블록은 상기 가이드 슬롯을 따라 이동되도록 배치되는, 웨이퍼 캐리어 반송 로봇.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 양방향 슬라이딩 유닛은,
    상기 바디에 결합되는 상부 플레이트; 및
    상기 상부 플레이트에 이동 가능하게 결합되고, 상기 파지 유닛에 연결된 하부 플레이트를 포함하는, 웨이퍼 캐리어 반송 로봇.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 하부 플레이트는,
    상기 상부 플레이트의 연장 방향을 따르는 양단부 중 하나를 벗어난 위치에서 상기 양단부 중 다른 하나를 벗어난 위치까지의 이동 가능 구간을 가지는, 웨이퍼 캐리어 반송 로봇.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 양방향 슬라이딩 유닛은,
    상기 상부 플레이트의 저면에 결합되는 제1 레일; 및
    상기 하부 플레이트의 상면에 결합되고, 상기 제1 레일에 슬라이딩 가능하게 결합되는 제1 슬라이더를 더 포함하는, 웨이퍼 캐리어 반송 로봇.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 상부 플레이트는,
    양쪽 가장자리 영역; 및
    상기 양쪽 가장자리 영역보다 상기 하부 플레이트로부터 멀어지게 돌출되고, 상기 제1 레일이 위치하는 중앙 영역을 포함하는, 웨이퍼 캐리어 반송 로봇.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 양방향 슬라이딩 유닛은,
    상기 상부 플레이트의 상면 중 상기 양쪽 가장자리 영역에 설치되는 제2 레일; 및
    상기 바디에 설치되고, 상기 제2 레일에 슬라이딩 가능하게 결합되는 제2 슬라이더를 더 포함하는, 웨이퍼 캐리어 반송 로봇.
  7. 제2항에 있어서,
    상기 파지 유닛은,
    상기 하부 플레이트의 하측에 배치되고, 상기 하부 플레이트에 대해 이동 가능하게 결합되는 파지 플레이트를 포함하는, 웨이퍼 캐리어 반송 로봇.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 양방향 슬라이딩 유닛은,
    상기 상부 플레이트, 상기 하부 플레이트, 및 상기 파지 유닛 간의 상대 슬라이딩을 위한 구동력을 발생시키는 구동 모듈을 더 포함하는, 웨이퍼 캐리어 반송 로봇.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 구동 모듈은,
    상기 하부 플레이트에 설치되는 한 쌍의 슬라이드 풀리;
    상기 한 쌍의 슬라이드 풀리를 감싸도록 형성되고, 상기 상부 플레이트 및 상기 파지 플레이트와 연결되는 슬라이드 벨트; 및
    상기 슬라이드 벨트를 그의 연장 방향을 따른 양방향 중 어느 한 방향으로 이동시키는 슬라이드 이동 부재를 포함하는, 웨이퍼 캐리어 반송 로봇.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 슬라이드 이동 부재는,
    모터;
    상기 모터의 회전력을 전달받아 작동하는 볼 스크류; 및
    상기 볼 스크류의 너트와 상기 슬라이드 벨트를 연결하는 연결 브라켓을 포함하는, 웨이퍼 캐리어 반송 로봇.
  11. 삭제
  12. 삭제
  13. 제1항에 있어서,
    상기 승강 이동 부재는,
    상기 승강 방향을 따라 배치되고 회전 구동되는 한 쌍의 승강 풀리; 및
    상기 한 쌍의 풀리를 감싸며, 상기 승강 블록이 연결되는 승강 벨트를 포함하는, 웨이퍼 캐리어 반송 로봇.
  14. 제1항에 있어서,
    상기 승강 이동 부재는, 상기 승강 레일을 더 포함하고,
    상기 승강 레일은, 상기 승강 방향을 따라 배치되는 것인, 웨이퍼 캐리어 반송 로봇.
  15. 삭제
  16. 제13항에 있어서,
    상기 승강 레일과 상기 승강 벨트 모두는, 상기 가이드 슬롯의 일 측에 배치되는, 웨이퍼 캐리어 반송 로봇.
  17. 제13항에 있어서,
    상기 승강 블록은,
    상기 가이드 슬롯에 삽입되는 삽입부;
    상기 삽입부의 일 단부에서 절곡되어 연장되고, 상기 승강 레일에 연결되는 슬라이드부; 및
    상기 삽입부의 타 단부에서 절곡되어 연장되고, 상기 승강 벨트에 연결되는 연결부를 포함하는, 웨이퍼 캐리어 반송 로봇.
  18. 제2항에 있어서,
    상기 상부 플레이트는 상기 슬라이드 베이스의 하측에 배치되고, 상기 슬라이드 베이스에 대해 슬라이딩 가능하게 연결되어 상기 바디에 결합되는, 웨이퍼 캐리어 반송 로봇.
  19. 제14항에 있어서,
    상기 바디는,
    상기 승강 방향을 따라 배치되고, 서로 마주하는 한 쌍의 기둥부를 포함하고,
    상기 승강 레일은,
    상기 한 쌍의 기둥부 중 어느 하나에 한 쌍으로 설치되는, 웨이퍼 캐리어 반송 로봇.
KR1020150036084A 2015-03-16 2015-03-16 웨이퍼 캐리어 반송 로봇 KR101676795B1 (ko)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150036084A KR101676795B1 (ko) 2015-03-16 2015-03-16 웨이퍼 캐리어 반송 로봇
TW105107967A TWI622473B (zh) 2015-03-16 2016-03-15 傳輸物品的機器人
US15/071,456 US10340167B2 (en) 2015-03-16 2016-03-16 Robot for transferring article
CN201610149801.3A CN105990201B (zh) 2015-03-16 2016-03-16 传送物品的机器人

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150036084A KR101676795B1 (ko) 2015-03-16 2015-03-16 웨이퍼 캐리어 반송 로봇

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20160111214A KR20160111214A (ko) 2016-09-26
KR101676795B1 true KR101676795B1 (ko) 2016-11-16

Family

ID=56924366

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020150036084A KR101676795B1 (ko) 2015-03-16 2015-03-16 웨이퍼 캐리어 반송 로봇

Country Status (4)

Country Link
US (1) US10340167B2 (ko)
KR (1) KR101676795B1 (ko)
CN (1) CN105990201B (ko)
TW (1) TWI622473B (ko)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6315098B2 (ja) * 2014-08-26 2018-04-25 村田機械株式会社 仕分けシステムと仕分け方法
BE1024185B1 (nl) * 2016-09-09 2017-11-30 Conteyor Int Nv Een spoor-reksysteem en kit voor het omzetten van een frame in een spoor-reksysteem
US11443268B2 (en) 2017-11-28 2022-09-13 Tulips Corporation System and method for intermodal materials delivery
KR102568707B1 (ko) * 2018-03-02 2023-08-22 삼성전자주식회사 다단적재 구조를 가지는 무인운반장치
TWI776412B (zh) * 2021-03-03 2022-09-01 迅得機械股份有限公司 物件容器的移載裝置
US20220315336A1 (en) * 2021-04-05 2022-10-06 Microsoft Technology Licensing, Llc Loader tool

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3716962B2 (ja) 1998-08-31 2005-11-16 株式会社ダイフク 容器内物品取扱装置
KR100854410B1 (ko) * 2007-01-23 2008-08-26 (주)인터노바 반도체 자재 처리를 위한 이송 시스템
JP5088468B2 (ja) * 2007-03-09 2012-12-05 村田機械株式会社 懸垂式搬送台車を用いた搬送システム
KR101543681B1 (ko) * 2009-01-15 2015-08-11 주성엔지니어링(주) 기판 처리 시스템
JP2011029550A (ja) 2009-07-29 2011-02-10 Muratec Automation Co Ltd 搬送システム及びその設定方法
JP6009832B2 (ja) * 2012-06-18 2016-10-19 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板処理装置
KR101419356B1 (ko) * 2012-12-28 2014-07-16 주식회사 에스에프에이 대차장치 및 이를 구비한 반송시스템

Also Published As

Publication number Publication date
TWI622473B (zh) 2018-05-01
CN105990201A (zh) 2016-10-05
CN105990201B (zh) 2019-09-17
TW201636173A (zh) 2016-10-16
US20160272423A1 (en) 2016-09-22
US10340167B2 (en) 2019-07-02
KR20160111214A (ko) 2016-09-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101676795B1 (ko) 웨이퍼 캐리어 반송 로봇
US10625938B2 (en) Article transport facility
CN104681425B (zh) 基板处理装置及基板处理方法
US10453724B2 (en) Apparatus for storing and handling article at ceiling
US9725953B2 (en) Article storage facility
CN103171841A (zh) 物品运送设备
KR101003722B1 (ko) 트레이 반송 시스템
KR102268409B1 (ko) 용기 반송 설비
TWI403447B (zh) 零件移送裝置及方法
KR20110117005A (ko) 물품 분류 장치
KR20190101448A (ko) 스토커
JP5163860B2 (ja) 基板搬送装置
KR20100132757A (ko) 인서트 플레이트 공급 장치
KR100656155B1 (ko) 트레이 이송장치
KR20080083741A (ko) 제품 냉각이송장치
KR100894655B1 (ko) 카세트 및 판재 취출 시스템
CN220299512U (zh) 一种udp自动摆盘系统
CN113611642B (zh) 硅片承载装置和分离设备
CN220299709U (zh) 一种udp模块摆盘系统
CN219553596U (zh) 一种晶圆铁环上料装置
JP2006339436A (ja) 半導体チップの実装装置及び実装方法
JPH07202482A (ja) マガジンへのストッパー挿入装置
KR20070024805A (ko) 반도체 소자 제조용 확산설비
JP2008078412A (ja) 半導体チップの実装装置
KR20230060086A (ko) 반도체 웨이퍼 로딩 장치

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20191205

Year of fee payment: 4