KR20080082928A - 현수식 반송 캐리지 및 반송 시스템 - Google Patents

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KR20080082928A
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gripping
carriage
gripping mechanism
conveying
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KR1020080021426A
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마사나오 무라타
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아시스트 테크놀로지스 재팬 가부시키가이샤
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Abstract

현수식의 반송 캐리지(16)를 제공한다. 본 발명의 반송 캐리지는, 피반송물(17)을 파지하기 위한 파지 기구(22); 파지 기구를 상승시키기 위한 호이스트 기구(21); 및 천장 또는 천장 부근에 설치된 레일(20) 위를 주행하기 위한 주행 기구(60)를 포함하며, 호이스트 기구는 주행 기구 상에 매달린 상태로 장착된다. 파지 기구는, (i)수평 방향으로 신장 및 수축할 수 있는 신축 장치(23)와, (ii)신축 장치의 선단부에 배치되어 피반송물을 선택적으로 파지하기 위한 파지 장치(24)를 포함한다.

Description

현수식 반송 캐리지 및 반송 시스템{SUSPENDED TYPE TRANSPORTING CARRIAGE AND TRANSPORTING SYSTEM}
본 발명은, 반도체 장치, 액정 표시 장치(LCD) 등의 제조 공장에서 사용되며, 공장의 천장 또는 그 부근에 설치된 트랙 위를 주행하면서 피반송물을 반송하는, OHT(Overhead Hoist Transport) 등과 같은 현수식의 반송 캐리지와, 이러한 반송 캐리지를 사용하는 반송 시스템에 관한 것이다.
반도체 장치나 액정 표시 장치 등의 제조 공장에서는, 생산량의 증대에 대처하기 위하여, 생산 효율의 향상이 강하고 요구되고 있으며, 그 일환으로서 반송 시간(transporting time duration)의 단축화가 요구되고 있다. 반송 시간의 단축화를 위해, 캐리어(예컨대, 피반송물)를, 캐리지(carriage)로부터, 캐리어의 일시적인 보관 장소인 스토커(stocker) 또는 스토커 장치로 이송(transfer)하는데 필요한 시간을 어떻게 단축할지, 캐리어를 스토커로부터 캐리지로 이송하는데 필요한 시간을 어떻게 단축할지 등이 중요한 포인트가 된다. 본 명세서에서, "캐리어" 또는 "피반송물"(transported object)은, 반송 캐리지(transporting carriage)에 의해 반송되거나 반송될, 제품, 중간 제품, 부품, 물품, 공작물, 반제품, 상품 등(예컨대, 반도체 또는 LCD 장치)을 의미하거나, 이러한 제품 등을 담기 위한 박스 또는 수납 용기(container)를 의미한다.
예를 들어, 반도체 제조 공장에서 제조되는 반도체 집적 회로 소자는, 반송 시스템(transporting system)에 의해 반송되고, CVD(Chemical Vapor Deposition)에 의한 박막 형성, 이온 주입, 포토 리소그래피, 에칭, 검사(inspection) 등과 같은 반도체 제조 프로세스 특유의 다양한 처리 공정이, 다양한 처리 장치에 의해 회로 요소에 적용되도록 해서, 최종 제품이 만들어진다. 이러한 제조 공정에서, 반도체 기판은, "FOUP"(Front Opening Unified Pod)라고 하는 수납 용기 내에, 복수 개가 수납된다. 수납 용기 내에 수납된 반도체 기판에 대해서는, 반송 캐리지에 의해 처리 장치 사이에서 반송되면서, 각 처리 장치에 의해, 각 처리 장치 고유의 처리 공정이 행해진다. 그러나, 각 처리 공정에 필요한 처리 시간은 장치마다 상이하다. 따라서, 통상적으로, 반도체 기판에 대해 후속 공정의 처리가 행해질 때까지 그 기간이 정해지지 않은 대기 시간(waiting time)이 발생한다. 이 대기 시간 동안, 반도체 기판은 FOUP에 수납되어, 반송 장치에 의해 일단 캐리지로부터 스토커 (stocker)또는 간이 랙 버퍼(simplified rack buffer)에 이송(즉, 반입)된다. 후속 공정이 행해질 수 있는 상태가 되면, 반도체 기판을 수용하고 있는 FOUP는, 스토커 또는 간이 랙 버퍼로부터 캐리지로, 다시 이송(즉, 반출)되어, 후속 처리 공정을 위한 처리 장치로 반송 시스템에 의해 반송된다. FOUP의 보관 장소가, 각 처리 장치에 근접한 간이 랙 버퍼인 경우에는, 반송 동작(즉, 반입/반출 동작) 시간이 짧아진다. 반면에, 스토커가 FOUP의 보관 장소가 처리 장치와 이격되어 있는 경우에는, 반입/반출 동작 시간이 길어진다. 따라서, 스토커를 대신해서, 간이 랙 버퍼를 사용하는 것이, 반송 시간의 단축화에 효과적이다. FOUP의 반입/반출에 필요한 시간의 단축화에 의해, 생산 효율의 향상이 기대된다.
일본 특허출원 공개번호 2005-150129호 공보에는, 처리 장치의 부근에, 앞서 설명한 간이 랙 버퍼가 배치된 구성에 대하여 개시하고 있다. 이러한 구성에 의하면, 간이 랙 버퍼에 반입하는 또는 간이 랙 버퍼로부터 반출되는 반송 동작은, 반송 캐리지 상에 배치된 호이스트 벨트(hoisting belt)와, 수평 방향으로 활주가능한 슬라이드 랙 플레이트(sliding rack plate)에 의해 용이하게 수행될 수 있다. 슬라이드 랙 플레이트에 의해, FOUP를 반송 캐리지 쪽으로 이동시키는 것이 가능하게 된다.
일본 특허출원 공개번호 2005-206371호 및 2005-530361호 공보에는, 처리 장치의 부근에, 앞서 설명한 간이 랙 버퍼가 배치된 구성을 개시하고 있다. 이러한 구성에 의하면, 슬라이드 랙 플레이트는 사용하고 있지 않다. 그 대신에, 호이스트 기구 자체가, 슬라이드 기구를 대신해서 활주가능하게 되어 있다. 호이스트 기구는, 주행 레일(traveling rail) 바로 아래 위치와 주행 레일의 측면 위치 사이에서 활주함으로써, 반송 캐리지가 주행 레일의 바로 아래의 위치로부터 벗어난 옆쪽에 있는 포트(port)에도 직접 접근할 수 있게 된다.
일본 특허출원 공개번호 2005-150129호 공보에 개시된 종래 기술에서는, 슬라이드 랙 플레이트의 각각이, 기어나 구동 모터 등을 포함하는 구동 기구를 필요로 하기 때문에, 랙 장치에 소요되는 비용이 크게 늘어나게 된다는 문제점이 있다. 또한, 슬라이드 랙 플레이트 중 하나가 고장이 나도, 전체 랙 장치가 고장이 나기 때문에, 랙 장치의 신뢰성이 크게 저하된다는 문제점이 있다.
일본 특허출원 공개번호 2005-206371호 및 2005-530361호 공보에 개시된 종래 기술에는, 반송 캐리지가, 서로 동일한 높이를 갖는 복수 개의 랙의 각각에 직접 접근하는 것은 가능하지만, 서로 다른 높이를 갖는 랙에 직접 접근하는 것은 불가능하다고 하는 문제점이 있다.
본 발명은, 이와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 반송 캐리지의 옆쪽에 있는 서로 높이가 상이한 랙에 대하여, 피반송물을 직접 이송할 수 있으며, 비용을 낮추고 신뢰성을 향상시킬 수 있는, 현수식 반송 캐리지(suspended type transporting carriage), 및 이러한 현수식 반송 캐리지를 이용하는 반송 시스템(transporting system)을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 목적은, 현수식의 반송 캐리지로서, 피반송물(transported object)을 파지(grip)하기 위한 파지 기구; 파지 기구를 상승시키기(hoist) 위한 호이스트 기구; 및 천장 또는 천장 부근에 설치된 레일 위를 주행하기 위한 주행 기구(traveling mechanism)를 포함하며, 호이스트 기구는 주행 기구 상에 매달린 상태로 장착되고, 파지 기구는, (i)수평 방향으로 신장(elongate) 및 수축(contract)할 수 있는 신축 장치와, (ii)신축 장치의 선단부(tip portion)에 배치되어 피반송물을 선택적으로 파지하기 위한 파지 장치(gripping device)를 포함하는, 현수식의 반송 캐리지에 의해 달성될 수 있다.
본 발명의 현수식 반송 캐리지에 의하면, 동작에 있어서, FOUP 등과 같은 피반송물을 하나의 랙 장치의 하나의 랙 플레이트로 이송하기 위하여, 반송 캐리지가, 주행 기구에 의해 하나의 랙 장치에 대응하는 위치까지 주행해서 그 위치에 정지한다. 이어서, 파지 기구가 호이스트 기구에 의해 하강 이동된다. 다음에, 슬라이드 플레이트와 같은 신축 장치가 수평 방향으로 보내지면서, 파지 장치가 그 선단부에서 피반송물을 파지할 수 있다. 따라서, 피반송물을, 반송 캐리지의 바로 아래의 위치로부터 옆으로 벗어난 위치까지 이송(반입 또는 반출)시킬 수 있게 된다.
본 발명의 현수식 반송 캐리지의 특징으로서, 파지 기구는, 호이스트 기구에 의해 상승되는 본체를 더 포함하며, 신축 장치는, 본체에 대해 수평 방향으로 신장 및 수축할 수 있다.
본 특징에 의하면, 파지 장치는, 신축 장치에 의해, 본체로부터 랙 장치 쪽으로 확실하게 신장할 수 있으며, 랙 장치로부터 본체 쪽으로 확실하게 수축할 수 있다.
본 발명의 현수식 반송 캐리지의 다른 특징으로서, 현수식 반송 캐리지는, 파지 기구의 일부분과 랙 장치의 랙 플레이트의 일부분을 탈부착 가능하게 서로 고정시켜서, 파지 기구의 자세(attitude)를 랙 장치에 대해 유지 또는 안정화시키는 자세 유지 장치를 더 포함한다.
본 특징에 의하면, 피반송물을 이송할 때에, 파지 기구의 자세 또는 균형이, 파지 기구와 랙 장치를 서로 고정시킴으로써, 자세 유지 장치에 의해 유지 또는 안정화될 수 있다.
본 발명의 목적은, (I)앞서 설명한 본 발명의 현수식의 반송 캐리지와; (II)서로 상이한 높이로 수직으로 배치되며, 피반송물을 일시적으로 보관하기 위한 복수 개의 랙 플레이트를 갖는 랙 장치를 포함하는 반송 시스템에 의해 달성될 수 있다.
본 발명의 반송 시스템에 의하면, 본 발명의 현수식 반송 캐리지에 의하여, 피반송물을, 반송 캐리지의 바로 아래의 위치로부터 벗어난 옆의 위치로 이송하는 것이 가능하다. 또한, 각각의 랙 플레이트에 슬라이드 기구를 구비할 필요가 없기 때문에, 신축 장치(또는 슬라이드 기구 등)를 구성하는 부품이나 구성요소의 전체 개수를 크게 감소시킬 수 있다. 또한, 각각의 랙 플레이트에 구동 기구를 설치할 필요가 없다. 따라서, 비용의 증가를 방지할 수 있다. 또한, 랙 플레이트의 각각에 슬라이드 기구가 존재하지 않기 때문에, 복수 개의 슬라이드 기구 중 하나가 고장이 나서, 반송 시스템 전체가 고장이 나거나 전체적으로 부작용이 생기는 것을 막을 수 있다.
이러한 구성에서, 본 발명에 의하면, 랙 플레이트의 각각에 신축 장치(또는 슬라이드 플레이트)를 설치할 필요가 없고, 반송 캐리지 쪽에 신축 장치를 설치하는 것만으로 충분하기 때문에, 비용을 낮추고 신뢰성을 높일 수 있다.
본 발명의 반송 시스템의 한가지 특징으로서, 반송 시스템은, 파지 기구의 일부분과 랙 장치의 랙 플레이트의 일부분을 탈부착 가능하게 서로 고정시켜서, 파지 기구의 자세를 랙 장치에 대해 유지 또는 안정화시키는 자세 유지 장치를 더 포함한다.
본 특징에 의하면, 피반송물을 랙 플레이트까지 이송하기 위해, 신축 장치가 반송 캐리지(16)의 바로 아래로부터 보다 먼 쪽, 즉 랙 플레이트에 대해 더 멀리 신장하는 경우, 또는 보다 중량이 무거운 피반송물이, 신축 장치가 신장하는 동안, 파지되어 있는 경우에도, 파지 기구의 자세를 계속 유지할 수 있어서, 피반송물을 안정적으로 이송할 수 있다.
본 발명의 이러한 특징에 있어서, 반송 시스템은 자세 유지 장치를 포함하며, 자세 유지 장치는, 파지 기구 상에 배치된 로드부(rod portion)와, 랙 플레이트 상에 배치된 래치부(latch portion)를 포함하며, 로드부는 래치부와 체결될 수 있도록 되어 있다.
이러한 구성에 의하면, 신축 장치가 신장할 때, 로드부가 래치부와 체결된다. 로드부는 랙 플레이트의 위쪽 또는 아래쪽으로 들어갈 수 있다. 따라서, 파지 기구를 랙 장치에 대해 용이하게 고정시킬 수 있으며, 파지 기구의 자세를 유지할 수 있다. 또한, 랙 플레이트의 각각에 래치부를 설치함으로써, 피반송물을 랙 플레이트 중 임의의 하나에 이송할 때에도 파지 기구를 고정시키는 것이 가능해진 다.
자세 유지 장치를 포함하는 반송 시스템에서, 피반송물이 파지 기구와 랙 플레이트 중 하나의 플레이트 사이에서 이송되는 경우에도, 로드부는 랙 플레이트의 다른 플레이트의 래치부와 체결될 수 있으며, 이 다른 플레이트는 그 하나의 플레이트의 바로 위에 위치한다.
이러한 구성에 의하면, 로드부는 피반송물이 이송되는 하나의 랙 플레이트의 바로 위의 다른 랙 플레이트의 래치부와 체결된다. 따라서, 피반송물이 이송되는, 하나의 랙 플레이트의 전방 공간이 넓게 개방된다. 즉, 신축 장치의 이동에 의해 자세 유지 장치가 방해받지 않도록 하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 이송 동작을 용이하게 수행하면서, 자세를 확실하게 유지하는 것이 가능하다.
자세 유지 장치를 포함하는 반송 시스템에서, 로드부는, 파지 기구에 대하여 래치부 쪽으로 신장 또는 회전할 수 있으며, 로드부의 선단부는, 로드부가 미리 정해진 방향으로 신장 또는 회전한 후에, 래치부와 체결될 수 있도록 되어 있다.
이러한 구성에 의하면, 로드부를 수평 방향으로 신장시키거나 반원 방향으로 회전시킴으로써, 로드부를 래치부와 용이하게 확실하게 체결시킬 수 있다.
본 발명의 특징, 용도 및 다른 특징에 대해서는, 첨부 도면을 참조해서, 본 발명의 바람직한 실시예에 관한 상세한 설명으로부터 명백하게 알 수 있을 것이다.
본 발명에 관한 현수식 반송 캐리지 및 반송 시스템에 의하면, 랙 플레이트마다 활주 기구를 설치할 필요가 없으며, 원하는 랙 플레이트에 접근하는 것이 가 능하게 되고, 그 위치에서 반송 동작을 수행하는 것이 가능하게 된다. 이에 따라, 전체 시스템의 성능을 향상시키면서, 전체 시스템의 비용을 낮추는 것이 가능하다.
도면을 참조하여, 본 발명의 실시예에 대하여 설명한다.
먼저, 본 발명의 실시예에 따른 반송 시스템(transporting system)의 전체 구조에 대하여, 도 1을 참조하여 설명한다. 도 1은, 본 발명의 실시예에 따른 반송 캐리지(transporting carriage)를 갖는 반송 시스템이 사용되는 반도체 제조 시설을 나타낸다.
도 1에서, 반송 시스템은, 하나의 처리 공정 중 또는 복수 개의 처리 공정 사이에서 반송 캐리지에 의해 피반송물(transported object)을 반송해서, 다양한 처리 공정이 피반송물에 대해 수행되도록 함으로써, 최종 제품을 완성하는데 사용된다. 반도체 제조 시설은, 복수 개의 처리부(18)가 배치되도록 구성되어 있다. 처리부(18)의 각각에는, 하나 또는 복수 개의 랙 장치(13)와, 상이한 처리 공정을 갖는 복수 개의 처리 장치(15)가 포함된다. 처리부(18)의 각각에 있는 랙 장치(13)와 처리 장치(15)는, 공정내 트랙(intra-process track)(11)과 분기 트랙(diverged track)(12)을 통해, 공정간 트랙(inter-process track)(10)에 연결되어 있다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 반송 시스템은, 복수 개의 반송 캐리지(16)가, 공정간 트랙(10), 공정내 트랙(11), 및 분기 트랙(12)을 포함하는 주행 경로(traveling paths)를 주행하는 구성을 갖는다. 이 주행 경로는, 반도체 제조 시 설의 위쪽(즉, 천장쪽)에 설치된다. 반송 캐리지(16)에, FOUP(Front Opening Unified Pod)(17)가 매달리도록 탑재되어 반송된다. FOUP(17)는, 복수 개의 반도체 기판을 수납할 수 있는 수납 용기(container)이다. FOUP(17)는, 대략 직육면체의 형상을 하고 있다. FOUP(17)의 상면 중앙에는, FOUP(17)를 파지(grip)해서 반송하기 위한 플랜지(flange)(27)가 설치되어 있다. 반도체 기판은 FOUP(17)에 수납되어 반송되고, 각 처리 장치에 의해, CVD에 의한 박막 형성, 이온 주입, 포토 리소그래피, 에칭, 검사 등의 처리가 행해진다. 또한, 스토커[또는 스태커(stacker)](14)가, 공정간 트랙(10)에 연결되도록 배치되고, 스토커는, 복수 개의 FOUP(17)가 수납 가능한 보관 장치로서, 각 처리 공정의 대기 시간 동안, FOUP(17)를 보관하는 기능을 한다.
다음으로, 본 발명의 실시예에 따라, 반송 캐리지(16)와 랙 장치(13)에 대하여, 도 1 및 도 2를 참조하여 설명한다. 도 2는, 반송 캐리지(16)가, FOUP(17)를, 랙 장치(13)의 원하는 위치로 이송(transfer)하는 상태에서의 반송 캐리지(16)와 랙 장치(13)를 나타낸다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 반송 캐리지(16)는, 예컨대 리니어 모터(linear motor)(도시하지 않음)가 구비되어 있는 주행 기구(60)에 의해, 반송 경로의 레일(20) 위를 주행하고, 목표 위치까지 이동하는 것이 가능하게 되어 있다. 반송 캐리지(16)는, 호이스트 벨트(hoisting belt)(21)와 파지 기구(gripping mechanism)(22)를 포함한다.
하나의 반송 캐리지(16)는 4개의 호이스트 벨트(21)를 포함하며, 이러한 호 이스트 벨트는 반송 캐리지(16) 내부의 릴(reel) 둘레에 감겨 있다. 4개의 호이스트 벨트(21)의 끝 부분에는 파지 기구(gripping mechanism)(22)가 매달려 있다. 이 파지 기구(22)는, 도시하지 않은 모터 등의 구동 기구(driving mechanism)에 의한 릴의 정방향 회전 및 역방향 회전에 의해, 호이스트 벨트(21)를 통하여 위 아래로 이동하도록 되어 있다. 또한, 호이스트 벨트(21)는, 파지 기구(22)가, 랙 장치(13)의 복수 개의 고정 랙 플레이트(25) 중 최하부에 위치하는 랙 플레이트의 높이까지, FOUP(17)를 위 아래로 이동시킬 수 있는 길이를 가지고 있다.
파지 기구(22)는, 슬라이드 기구(23) 및 그리퍼(gripper)(24)를 포함하고 있다. 슬라이드 기구(23)는, 도시하지 않은 볼 나사 구동 기구(ball screw driving mechanism)에 의해, 파지 기구(22)의 본체(22m)에 대하여, 수평 방향으로 신장 및 수축할 수 있으며, 본 발명의 "신축 장치"(elongating and contracting device)의 일례를 구성한다. 그리퍼(24)는, FOUP(17)의 플랜지(27)를 파지하도록 되어 있으며, 슬라이드 기구(23)의 바닥부에 설치되어 있다. 그리퍼(24)는, FOUP(17)의 플랜지(27)를 파지하는 개방 및 폐쇄 기능을 가지며, 슬라이드 기구(23)가 FOUP(17)의 바로 위의 위치로 신장하면, 플랜지(27)를 파지하도록 되어 있다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 랙 장치(13)는, 수직 방향으로 간격을 두고 배치된 복수 개의 고정 랙 플레이트(25)와, 하나 또는 둘 이상의 브레이스 멤버(brace member)(26)를 포함한다. 처리 장치(15)에 의한 공정은, 각각의 처리 내용이 상이하므로, 처리 시간도 각각 상이하다. 따라서, 다음의 처리 공정이 행해질 때까지 정해지지 않은 대기 시간(indefinite waiting time duration)이 생기게 된다. 이 대기 시간 동안, 스토커(14)는, FOUP(14)를 보관할 수 있지만, 처리 장치(15)로부터 멀리 떨어져 있으며, FOUP(17)를 탑재(load) 및 반출(unload)하는 데에도 소정의 시간이 걸리므로, 신속하게 대응할 수 없다고 하는 단점이 있다. 따라서, 대기 시간 동안, FOUP(17)를 용이하게 보관하는 장소로서, 랙 장치(13)가 처리 장치(15)의 부근에 배치된다.
반송 캐리지(16)에 의해, 랙 장치(13)에 대하여, FOUP(17)를 반입(즉, 탑재) 및 반출(즉, 출고)하는 원리에 대하여, 도 2를 참조하여 설명한다.
FOUP(17)를 반출하는 동작은 다음과 같다. 즉, 공정내 트랙(11) 위를 주행하고, 랙 장치(13)의 대향 위치에 정지한 반송 캐리지(16)는, 구동 모터 등으로 릴을 회전시킴으로써 호이스트 벨트(21)를 푼다(wind out). 이에 의하여, 반송 캐리지(16)는, FOUP(17)를 파지하고 있지 않은 파지 기구(22)를 소정의 높이 위치까지 하강시킨다. 파지 기구(22)가 고정 랙 플레이트(25) 중 하나의 목적 위치까지 하강한 후, 슬라이드 기구(23)를 신장시켜서, 랙 장치(13) 내의 FOUP(17) 중 하나의 바로 위의 위치까지 도달하도록 함으로써, 그리퍼(24)로 FOUP(17)의 플랜지(27)를 파지한다. FOUP(17)를 파지한 후, 슬라이드 기구(23)를 수축 또는 후퇴시킨다. 계속해서, 릴을 회전시킴으로써 호이스트 벨트(21)를 감아 올려서, 파지 기구(22)와 함께 FOUP(17)를 상승시킨다. 그 후, 반송 캐리지(16)는, FOUP(17)의 다음 반송 목적지를 향해 공정내 트랙(11) 위를 주행한다.
반송 캐리지(16)가 FOUP(17)를 랙 장치(13)에 탑재하는 경우, FOUP(17)의 탑재(즉, 반입) 동작은, 상기 설명한 반출 동작과 반대의 순서로 수행될 수 있다. 즉, FOUP(17)를 그리퍼(24)에 의해 파지해서 공정내 트랙(11) 위를 주행한 반송 캐리지(16)는, FOUP(17)가 탑재되는 랙 장치(13)의 소정의 대향 위치에 정지한다. 다음에, 반송 캐리지(16)는, 모터 등에 의해 릴을 회전시킴으로써 호이스트 벨트(21)를 푼다. 이에 의하여, 반송 캐리지(16)는, FOUP(l7)를 파지한 파지 기구(22)를, FOUP(17)를 탑재할 고정 랙 플레이트(25)의 높이의 위치까지 하강시킨다. 그 후, 슬라이드 기구(23)를 신장시켜, FOUP(17)를 고정 랙 플레이트(25)의 바로 위의 위치까지 이동시키고, 그리퍼(24)를 개방시킴으로써 FOUP(17)가 랙 장치(13) 위에 탑재된다.
다음에, 다른 실시예에 따른, 반송 캐리지(16) 및 랙 장치(13)에 대하여, 도 1 및 도 3을 참조하여 설명한다. 도 3은, 반송 캐리지(16)가, 본 실시예에 따른 랙 장치(13)의 원하는 위치로, FOUP(17)를 이송하는 상태에서의 반송 캐리지(16) 및 랙 장치(13)를 나타낸다.
이상이 FOUP(17)의 랙 장치(13)로의 이송(반입 및 반출)하는 원리이다. 이송할 때에는, 반송 캐리지(16)의 바로 아래로부터 보다 먼 쪽의 위치에 있는 랙 장치(13)에 이송하는 경우, 또는 보다 중량이 무거운 FOUP가 랙 장치(13)로 반송되는 경우가 있다. 즉, 슬라이드 기구(23)가 먼 곳까지 신장하는 경우나, 슬라이드 기구(23)가 신장할 때 무거운 FOUP를 파지하고 있는 경우라도, 안정된 이송 동작을 가능하게 하기 위하여, 본 실시예에서의 반송 시스템은, 이하에서 설명하는 "자세 유지 장치"(attitude keeping device)를 포함한다.
도 3에 나타낸 반송 시스템은, 도 2에 나타낸 실시예의 반송 시스템과 비교 해서, 자세(즉, 균형) 유지 장치가 포함되어 있다는 점에서 다르다. 자세 유지 장치는, 파지 기구(22)에 배치된 로드(rod)(30)와, 고정 랙 플레이트(25)에 배치된 래치부(latch portion)(31)를 포함한다. 로드(30)는, 파지 기구(22)의 상부에 배치되어, 슬라이드 기구(23)가 신장될 때, 이송 대상의 고정 랙 플레이트(25)의 바로 위에 배치된, 고정 랙 플레이트(25)의 래치부(31)와 체결된다. 따라서, 반송 캐리지(16)를 랙 장치(13)에 고정시킴으로써, 자세 유지가 가능하게 된다.
이하, 도 3을 참조하면서, 자세 유지 장치에 의해 FOUP(l7)를 파지하는 파지 기구(22)의 자세 유지 동작에 대하여 설명한다.
도 3에서, 반송 캐리지(16)는, 랙 장치(13)에 대향하는 위치에 정지하고, 파지 기구(22)를, FOUP(17)를 탑재할, 고정 랙 플레이트(25)의 위치 A까지 하강 이동시킨다. 이후, 슬라이드 기구(23)가 신장되고, 로드(30)가 랙 장치(13)를 향해 보내진다. 이 경우, 로드(30)는, 고정 랙 플레이트(25)의 래치부(31)와 위치 B에서 체결되는데, 위치 B는, 이송 대상의 위치 A에서의 고정 랙 플레이트(25)의 바로 위쪽 위치이다. 이에 의하면, 파지 기구(22)가 안정[즉, 파지 기구(22)의 자세 또는 균형이 유지됨]되기 때문에, 슬라이드 기구(23)가 먼 곳까지 신장하는 경우나, 슬라이드 기구(23)가 신장할 때 더 무거운 FOUP(17)를 파지하고 있는 경우라도, FOUP(17)를 안정적으로 이송할 수 있게 된다.
도 4의 (a) 내지 도 8의 (b)를 참조하여, 본 발명의 실시예에 따라, 로드와 래치부를 갖는 "자세 유지 장치"의 다양한 예에 대하여 설명한다. 도 4의 (a), 도 5의 (a), 도 6의 (a), 도 7의 (a), 및 도 8의 (a)는, 자세 유지 장치의 사시도이 며, 도 4의 (b), 도 5의 (b), 도 6의 (b), 도 7의 (b), 및 도 8의 (b)는, 자세 유지 장치의 측면도이다.
도 4의 (a) 및 (b)에서, 자세 유지 장치는, 한 세트의 돌출 로드(protruding rod)(40)와 한 세트의 로드 베어링(rod bearing)(44)을 포함한다. 돌출 로드(40)의 각각은, 로드 부재(rod member)를 포함한다. 로드 베어링(44)의 각각은, 고정 랙 플레이트(25)의, 파지 기구(22)가 들어가는 쪽의 단부에 수직으로 오목부(48)가 각각 설치된 로드 부재를 포함한다. 슬라이드 기구(23)가 신장되면, 도 4의 (a) 및 (b)에 나타낸 바와 같이, 돌출 로드(40)의 각각이, 2점 쇄선으로 표시된 위치에서 점선으로 표시된 부분까지 수평으로 돌출해 나온다. 돌출 로드(40)가 로드 베어링(44)과 체결됨으로써, 파지 기구(22)가 안정적으로 되거나 랙 장치(13)에 고정된다.
도 5의 (a) 및 (b)에서, 자세 유지 장치는, 한 세트의 회전 로드(41)와, 이 회전 로드(41)를 걸거나 고정시키기 위한 한 세트의 로드 베어링(45)을 포함한다. 로드 베어링(45)의 각각은, 도 4의 (a) 및 (b)에 나타낸 로드 베어링(44)과 같이, 고정 랙 플레이트(25)의, 파지 기구(22)가 들어가는 쪽의 단부에 수직으로 오목부(49)가 각각 형성되어 있는 로드 부재를 포함한다. 한편, 회전 로드(41)는 각각, 파지 기구(22)의 한쪽 단부에 회전가능하게 고정되며, 반원형으로 반회전하도록 되어 있는 로드 부재[도 4의 (a) 및 (b)에 도시된 돌출 로드(40)의 경우와 마찬가지로]를 포함한다. 이것은, 수평으로 돌출하는 돌출 로드(40)와는 반대이다. 즉, 회전 로드(41)의 각각은, 파지 기구(22)에 회전가능하게 고정되며 지렛 점(fulcrum point)으로서 작용하는 단부로, 반원을 그리면서, 도 5의 (a) 및 (b)에 도시된 것과 같이, 2점 쇄선으로 표시된 위치에서 실선으로 표시된 위치까지 이동한다. 회전 로드(41)가 로드 베어링(45)과 체결됨에 따라, 파지 기구(22)는 안정적으로 되거나 랙 장치(13)에 고정된다.
도 6의 (a) 및 (b)에 도시된 바와 같이, 자세 유지 장치는, 한 세트의 삽입 로드(inserting rod)(42)와, 한 세트의 관형 로드 베어링(tube rod bearing)(46)을 포함한다. 삽입 로드(42)의 각각은, 원통형의 로드 부재를 포함한다. 관형 로드 베어링(46)의 각각은, 속이 비어 있는 관형 부재(tube member)를 포함한다. 슬라이드 기구(23)가 신장함에 따라, 삽입 로드(42)의 각각이, 도 6의 (a) 및 (b)에 도시된 바와 같이, 2점 쇄선으로 표시된 위치에서 실선으로 표시된 위치까지 이동한다. 삽입 로드(42)의 선단부가 관형 로드 베어링(46)으로 각각 삽입됨에 따라, 파지 기구(22)는 안정적으로 되거나 랙 장치(13)에 고정된다.
도 7의 (a) 및 (b)에 나타낸 바와 같이, 자세 유지 장치는, 한 세트의 흡입 또는 흡착 로드(43)와, 한 세트의 로드 베어링(47)을 포함한다. 흡입 또는 흡착 로드(43)의 각각은, 선단부에 자성체(electric magneto), 흡착부 등을 가지며, 로드 베어링(47)의 각각은, 에지부 또는 오목면에 자성체(magnetic body), 평활면 등을 가진다. 또한, 흡입 또는 흡착 로드(43)의 각각이, 에지부 또는 오목면에 자성체(magnetic body), 평활면 등을 가지고, 로드 베어링(47)의 각각이, 선단부에 자성체(electric magneto), 흡착부 등을 가지는 구성으로 해도 된다. 따라서, 흡착 또는 흡입 로드의 각각은, 흡착 또는 흡입 로드(43)의 각각의 선단부에 걸리거나 고정된다.
도 8의 (a) 및 (b)에서, 고정 랙 플레이트(25)가 충분히 두꺼운 경우, 한 쌍의 삽입부(52)의, 파지 기구(22)가 들어가는 표면, 즉 고정 랙 플레이트(25)의 한 쌍의 돌출 로드(51)와 마주보는 표면에는 한 쌍의 개구(52)가 형성되어 있다.
다음에, 본 실시예의 효과적인 특징을 나타내기 위하여, 도 9 및 도 10을 참조하여, 비교 예에 대하여 설명한다. 도 9 및 도 10은, 각각 비교 예를 나타낸다.
도 9에서, 비교 예의 랙 장치(13c)는, 고정 랙 플레이트(25) 위에서 활주가능한 슬라이드 랙 플레이트(50)를 포함한다. 이 경우, 랙 장치(13c)와의 이송 동작은, 호이스트 벨트(21)의 움직임과 슬라이드 랙 플레이트(50)의 움직임을 연동시킴으로써 용이하게 수행될 수 있다.
그러나, 도 9의 비교 예에서, 슬라이드 랙 플레이트(50)의 각각에는, 기어, 구동 모터 등을 포함하는 구동 기구가 필요하기 때문에, 랙 장치(13c)의 비용이 필연적으로 상승하게 된다. 또한, 하나의 슬라이드 랙 플레이트(50)에서 고장이 나도, 랙 장치(13c) 전체가 고장이 나게 되어, 랙 장치(13c)의 신뢰성을 떨어뜨리게 된다. 이에 대하여, 본 실시예에 따른 랙 장치(13)는, 이송 동작을 수행하는데에 단지 하나의 슬라이드 기구(23)만을 필요로 하며, 랙 장치(13)의 구조가 상대적으로 단순하기 때문에, 상대적으로 낮은 비용으로 높은 신뢰성을 얻을 수 있다는 장점을 갖는다.
도 10에서, 비교 예의 랙 버퍼(rack buffer)(13d)는, 매우 단순하게 되어 있다. 이 경우, 반송 캐리지는, 주행 기구(60)에 의해 레일(20) 위를 주행한다. 반 송 캐리지의 호이스트 기구(63)는, 슬라이드 기구(62)에 의해 활주하게 되고, 위치 설정 기구(positioning mechanism)(61)에 의해 위치 설정된다. 호이스트 기구(63)는, 레일(20)의 바로 아래의 위치와 레일(20)의 측면 위치 사이에서 활주함으로써, 파지 기구(22)가 랙 버퍼(13d)의 포트에 직접 접근할 수 있게 된다.
그러나, 도 10의 비교 예에서는, 파지 기구(22)는, 서로 높이가 다른 랙에는 직접 접근할 수 없다. 이에 대하여, 본 발명의 실시예에 따른 랙 장치(13)는, 파지 기구(22)가, 여러 다양한 높이에 위치한 랙 장치(13)의 포트 중 하나에 직접 접근할 수 있다.
본 발명은 그 범위와 필수적인 특징으로부터 벗어남이 없이 다른 특정적인 형태로 구현될 수 있다. 따라서, 본 실시예는, 예시적이며 제한적이지 않은 모든 관점에서 고려되어야 하며, 본 발명의 범위는 상세한 설명에서보다 청구범위에 의해 나타내어 지며, 모든 변경이 청구범위의 등가 범위의 의미와 범위에 포함되는 것으로 이해하여야 한다.
도 1은, 본 발명의 실시예에 따른, 반송 캐리지와 랙 장치를 갖는 반송 시스템이 사용되는 경우의 반도체 제조 시설을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2는, 본 발명의 실시예에서, 반송 캐리지가 피반송물을 랙 장치의 원하는 위치로 이송하는 상태에서의 랙 장치와 반송 캐리지를 나타내는 측면도이다.
도 3은, 본 발명의 다른 실시예에서, 반송 캐리지가 랙 장치의 원하는 위치로 피반송물을 이송하는 상태에서의 반송 캐리지와 랙 장치를 나타내는 측면도이다.
도 4의 (a)는, 본 발명의 실시예에서, 랙 장치에 대한 자세의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 4의 (b)는, 도 4의 (a)에 나타낸 자세 유지 장치의 측면도이다.
도 5의 (a)는, 본 발명의 실시예에서, 랙 장치에 대한 자세 유지 장치의 다른 예를 나타내는 사시도이다.
도 5의 (b)는, 도 5의 (a)에 나타낸 자세 유지 장치의 측면도이다.
도 6의 (a)는, 본 발명의 실시예에서, 랙 장치에 대한 자세 유지 장치의 다른 예를 나타내는 사시도이다.
도 6의 (b)는, 도 6의 (a)에 나타낸 자세 유지 장치의 측면도이다.
도 7의 (a)는, 본 발명의 실시예에서, 랙 장치에 대한 자세 유지 장치의 다른 예를 나타내는 사시도이다.
도 7의 (b)는, 도 7의 (a)에 나타낸 자세 유지 장치의 측면도이다.
도 8의 (a)는, 본 발명의 실시예에서, 랙 장치에 대한 자세 유지 장치의 다른 예를 나타내는 사시도이다.
도 8의 (b)는, 도 8의 (a)에 나타낸 자세 유지 장치의 측면도이다.
도 9는, 비교 예에서의 반송 캐리지와 랙 장치를 나타내는 측면도이다.
도 10은, 다른 비교 예에서의 반송 캐리지와 랙 버퍼를 나타내는 측면도이다.

Claims (8)

  1. 현수식(suspended type)의 반송 캐리지(transporting carriage)(16)로서,
    피반송물(transported object)(17)을 파지(grip)하기 위한 파지 기구(22);
    상기 파지 기구를 상승시키기(hoist) 위한 호이스트 기구(21); 및
    천장 또는 상기 천장 부근에 설치된 레일(20) 위를 주행하기 위한 주행 기구(traveling mechanism)(60)
    를 포함하며,
    상기 호이스트 기구는 상기 주행 기구 상에 매달린 상태로 장착되며,
    상기 파지 기구는, (i)수평 방향으로 신장(elongate) 및 수축(contract)할 수 있는 신축 장치(23)와, (ii)상기 신축 장치의 선단부(tip portion)에 배치되어 상기 피반송물을 선택적으로 파지하기 위한 파지 장치(gripping device)(24)를 포함하는, 현수식의 반송 캐리지.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 파지 기구(22)는, 상기 호이스트 기구에 의해 상승되는 본체(22m)를 더 포함하며,
    상기 신축 장치(23)는, 상기 본체에 대해 수평 방향으로 신장 및 수축할 수 있는, 현수식의 반송 캐리지.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 파지 기구(22)의 일부분과 랙 장치(13)의 랙 플레이트(25)의 일부분을 탈부착 가능하게 서로 고정시켜서, 상기 파지 기구의 자세(attitude)를 상기 랙 장치에 대해 유지 또는 안정화시키는 자세 유지 장치(40 내지 47, 51, 52)를 더 포함하는, 현수식의 반송 캐리지.
  4. (I)현수식의 반송 캐리지(16)와;
    (II)서로 상이한 높이로 수직으로 배치되며, 피반송물을 일시적으로 보관하기 위한 복수 개의 랙 플레이트(25)를 갖는 랙 장치(13)
    를 포함하며,
    상기 반송 캐리지는,
    상기 피반송물(17)을 파지하기 위한 파지 기구(22);
    상기 파지 기구를 상승시키기 위한 호이스트 기구(21); 및
    천장 또는 상기 천장 부근에 설치된 레일(20) 위를 주행하기 위한 주행 기구(60)
    를 포함하고,
    상기 호이스트 기구는 상기 주행 기구 상에 매달린 상태로 장착되며,
    상기 파지 기구는, (i)수평 방향으로 신장(elongate) 및 수축(contract)할 수 있는 신축 장치(23)와, (ii)상기 신축 장치의 선단부(tip portion)에 배치되어 상기 피반송물을 선택적으로 파지하기 위한 파지 장치(gripping device)(24)를 포 함하는, 반송 시스템.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 파지 기구(22)의 일부분과 상기 랙 플레이트(25)의 일부분을 탈부착 가능하게 서로 고정시켜서, 상기 파지 기구의 자세(attitude)를 상기 랙 장치(13)에 대해 유지 또는 안정화시키는 자세 유지 장치(40 내지 47, 51, 52)를 더 포함하는, 반송 시스템.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 자세 유지 장치(40 내지 47, 51, 52)는, 상기 파지 기구(22) 상의 로드부(rod portion)(40 내지 43, 51)와, 상기 랙 플레이트(25) 상의 래치부(latch portion)(44 내지 47, 52)를 포함하며, 상기 로드부는 상기 래치부와 체결될 수 있도록 되어 있는, 반송 시스템.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 피반송물(17)이, 상기 파지 기구(22)와 상기 랙 플레이트(25) 중 하나의 플레이트 사이에서 이송되는 경우에, 상기 로드부(40 내지 43, 51)가, 상기 랙 플레이트 중의 다른 플레이트의 상기 래치부(44 내지 47, 52)와 체결되며, 상기 다른 플레이트는, 상기 하나의 플레이트의 바로 위에 위치하는, 반송 시스템.
  8. 제6항 또는 제7항에 있어서,
    상기 로드부(40 내지 43, 51)는, 상기 래치부(44 내지 47, 52)를 향해 상기 파지 기구(22)에 대하여 신장 또는 회전할 수 있으며, 상기 로드부의 선단부는, 상기 로드부가 미리 정해진 방향으로 신장 또는 회전한 후에, 상기 래치부와 체결될 수 있도록 되어 있는, 반송 시스템.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160111214A (ko) * 2015-03-16 2016-09-26 크린팩토메이션 주식회사 웨이퍼 캐리어 반송 로봇
KR20170051641A (ko) * 2015-10-30 2017-05-12 삼성전자주식회사 기판 이송 용기 저장 장치

Families Citing this family (36)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7165927B2 (en) * 2002-06-19 2007-01-23 Brooks Automation, Inc. Automated material handling system for semiconductor manufacturing based on a combination of vertical carousels and overhead hoists
KR101446511B1 (ko) 2002-10-11 2014-10-07 무라다기카이가부시끼가이샤 자동 재료 핸들링 시스템
US20070092359A1 (en) * 2002-10-11 2007-04-26 Brooks Automation, Inc. Access to one or more levels of material storage shelves by an overhead hoist transport vehicle from a single track position
JP5062485B2 (ja) * 2008-04-09 2012-10-31 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP5284808B2 (ja) 2009-01-26 2013-09-11 株式会社Ｓｏｋｕｄｏ ストッカー装置及び基板処理装置
JP2010184760A (ja) * 2009-02-10 2010-08-26 Muratec Automation Co Ltd 移載システム
JP5212200B2 (ja) * 2009-03-17 2013-06-19 村田機械株式会社 天井搬送システム
KR101927363B1 (ko) * 2009-05-18 2018-12-11 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 기판 컨테이너 보관 시스템과 연결하기 위한 일체형 시스템
US8851820B2 (en) * 2009-05-18 2014-10-07 Brooks Automation, Inc. Substrate container storage system
JP2011029550A (ja) * 2009-07-29 2011-02-10 Muratec Automation Co Ltd 搬送システム及びその設定方法
TWI496732B (zh) * 2009-07-31 2015-08-21 Murata Machinery Ltd 供工具利用之緩衝儲存和運輸裝置
CN102234017B (zh) * 2010-04-29 2015-03-04 达丰(上海)电脑有限公司 集成若干条组装产出线的天车系统及其架设方法
CN102234064B (zh) * 2010-04-29 2013-05-08 达丰(上海)电脑有限公司 可实现集成下载操作的天车系统及其下载操作方法
JP2013043707A (ja) * 2011-08-22 2013-03-04 Honda Motor Co Ltd 車体昇降装置
KR101940564B1 (ko) * 2012-02-22 2019-01-21 삼성전자주식회사 기판 캐리어 자동 이송 장치와 이를 이용한 기판 캐리어 이송방법
CN102785882B (zh) * 2012-08-24 2015-04-15 深圳市怡美工业设计有限公司 悬挂式自动存取系统
CN102785821B (zh) * 2012-08-24 2014-09-17 深圳市怡美工业设计有限公司 用于自动存取系统中的悬挂式物品容器
CN102826316B (zh) * 2012-08-31 2015-06-17 深圳市华星光电技术有限公司 一种玻璃基板的仓储系统以及玻璃基板仓储方法
US9287150B2 (en) 2012-10-09 2016-03-15 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Reticle transfer system and method
GB201314313D0 (en) 2013-08-09 2013-09-25 Ocado Ltd Apparatus for retrieving units from a storage system
US11858738B2 (en) 2013-08-09 2024-01-02 Ocado Innovation Limited Apparatus for retrieving units from a storage system
JP6278751B2 (ja) * 2014-03-04 2018-02-14 東京エレクトロン株式会社 搬送方法及び基板処理装置
JP6149805B2 (ja) * 2014-06-05 2017-06-21 株式会社ダイフク 搬送装置
CN106794566B (zh) * 2014-09-05 2021-05-04 株式会社富士 制造系统
KR101609338B1 (ko) * 2015-03-16 2016-04-05 크린팩토메이션 주식회사 웨이퍼 캐리어를 천정에 보관하고 처리하는 장치
US9617075B2 (en) * 2015-03-24 2017-04-11 Joseph Porat System and method for overhead warehousing
JP6185619B2 (ja) * 2015-10-30 2017-08-23 トーヨーカネツソリューションズ株式会社 立体自動倉庫
TWI777945B (zh) * 2016-03-15 2022-09-21 德商阿莫瓦有限公司 用於在高架倉庫中貯存和獲取或者重排貯存品的運輸和轉移系統
JP6586936B2 (ja) * 2016-09-21 2019-10-09 株式会社ダイフク 物品搬送設備
CN109789971B (zh) * 2016-10-07 2021-04-13 村田机械株式会社 搬运装置以及搬运方法
DE102017114643A1 (de) * 2017-06-30 2019-01-03 Psb Intralogistics Gmbh Regalbediengerät geeignet für den Einsatz in einem Hochregallager
JP6822567B2 (ja) * 2017-06-30 2021-01-27 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法
WO2020153041A1 (ja) * 2019-01-25 2020-07-30 村田機械株式会社 搬送システム
CN109987557B (zh) * 2019-04-16 2020-11-06 李传聪 一种货架取料装置
JP7215457B2 (ja) * 2020-04-28 2023-01-31 株式会社ダイフク 物品搬送設備
CN113998403B (zh) * 2020-07-28 2022-09-23 长鑫存储技术有限公司 转运系统及转运方法

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2102995A (en) * 1935-10-22 1937-12-21 James W Coombs Article filing and delivery system
US3750804A (en) * 1969-03-07 1973-08-07 Triax Co Load handling mechanism and automatic storage system
US3786942A (en) * 1970-02-09 1974-01-22 E Dane Dry sail marina
US3743115A (en) * 1971-08-08 1973-07-03 Rack Eng Co Rack storage apparatus
US4113119A (en) * 1977-02-10 1978-09-12 Si Handling Systems, Inc. Apparatus for loading articles onto vertically spaced horizontally disposed shelves
US4265583A (en) * 1978-08-15 1981-05-05 General Electric Company Lift truck for facilitating insertion and removal of horizontal draw-out switchgear unit
JPH0315807U (ko) * 1989-06-28 1991-02-18
US5228820A (en) * 1990-09-21 1993-07-20 Advanced Technology And Research Corporation Article handling system with distributed storage
US5829942A (en) * 1997-02-10 1998-11-03 Automation Technologies Industries Apparatus for loading and unloading circuit boards along a conveyor system
US6726429B2 (en) * 2002-02-19 2004-04-27 Vertical Solutions, Inc. Local store for a wafer processing station
US7867444B2 (en) * 2002-05-30 2011-01-11 Siemens Healthcare Diagnostics, Inc. Lab cell centrifuging module
US7090457B2 (en) * 2002-06-07 2006-08-15 Celeritas Technologies Portable lift for installing and uninstalling computer-related equipment into a storage cabinet
US7165927B2 (en) 2002-06-19 2007-01-23 Brooks Automation, Inc. Automated material handling system for semiconductor manufacturing based on a combination of vertical carousels and overhead hoists
US6848882B2 (en) * 2003-03-31 2005-02-01 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd Apparatus and method for positioning a cassette pod onto a loadport by an overhead hoist transport system
JP2005150129A (ja) * 2003-11-11 2005-06-09 Asyst Shinko Inc 移載装置及び移載システム
JP4045451B2 (ja) 2003-12-26 2008-02-13 村田機械株式会社 天井走行車システム
JP4915051B2 (ja) * 2005-03-28 2012-04-11 ムラテックオートメーション株式会社 自動搬送システム

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160111214A (ko) * 2015-03-16 2016-09-26 크린팩토메이션 주식회사 웨이퍼 캐리어 반송 로봇
TWI622473B (zh) * 2015-03-16 2018-05-01 大福股份有限公司 傳輸物品的機器人
US10340167B2 (en) 2015-03-16 2019-07-02 Daifuku Co., Ltd. Robot for transferring article
KR20170051641A (ko) * 2015-10-30 2017-05-12 삼성전자주식회사 기판 이송 용기 저장 장치

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Publication number Publication date
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