TWM623379U - 小型倉儲裝置 - Google Patents

Abstract

一種小型倉儲裝置，能連接於製程設備，包括一架體、一水平移載機構、一升降移載機構及一機械手臂。架體包含多個儲位，能用以儲放物件容器(如晶圓盒)，水平移載機構設置於架體的一側，升降移載機構設置於水平移載機構上，水平移載機構能帶動升降移載機構沿著水平方向移動，機械手臂設置於升降移載機構上，升降移載機構能帶動機械手臂沿著升降方向移動，且機械手臂能沿著進出方向移動，用以取放物件容器。本創作能使物件容器在移載裝置(如天車)與製程設備之間交換。由此，可應用於空間有限、狹長的倉儲裝置，可搭配機械手臂取放物件容器，靈活的變換取放方向及活動路徑。

Description

小型倉儲裝置

本創作涉及一種倉儲裝置，尤指一種能設置於移載裝置(如天車)與製程設備之間，使物件容器能在移載裝置與製程設備之間交換的小型倉儲裝置。

隨著半導體工業的發展，積體電路需經過多道繁複的處理程序，例如蝕刻、研磨、擴散及沉積等步驟，才能生產出來。目前無論是在區域間(interbay)或區域內(intrabay)，大多是利用天車輸送系統(overhead hoist transport system)來搬運晶圓，且在天車與製程設備之間通常需設有倉儲裝置，用以暫存晶圓盒。然而現有的倉儲裝置需佔用較大的空間，較難應用於空間有限、狹長的場合。

本創作所要解決的技術問題在於，針對現有技術的不足提供一種小型倉儲裝置，可應用於空間有限、狹長的倉儲裝置。

為了解決上述的技術問題，本創作提供一種小型倉儲裝置，設置於移載裝置與製程設備之間，該小型倉儲裝置包括：一架體，該架體呈一狹長體，該架體包含多個儲位，能用以儲放物件容器，該些儲位排列為上、下多層，每一層具有多個所述儲位；一水平移載機構，該水平移載機構沿著一水平方向延伸預定的長度，該水平移載機構設置於該架體的一側；一升降移載機構，該升降移載機構設置於該水平移載機構上，該水平移載機構能帶動該升降移載機構沿著該水平方向移動，該升降移載機構豎立的設置，該升降移載機構沿著一升降方向延伸預定的長度；以及一機械手臂，該機械手臂設置於該升降移載機構上，該升降移載機構能帶動該機械手臂沿著該升降方向移動，且該機械手臂能沿著一進出方向移動，用以取放該物件容器。

較佳的，該水平移載機構為一電動滑台，該水平移載機構包含一第一軌道，該第一軌道上可移動的設置一第一連動體，該第一連動體能以一第一馬達驅動，使該第一連動體沿著該水平方向移動，該升降移載機構連接於該水平移載機構的第一連動體。

較佳的，該升降移載機構為一電動滑台，該升降移載機構包含一第二軌道，該第二軌道連接於該水平移載機構的第一連動體，能以該水平移載機構的第一連動體帶動該升降移載機構及該機械手臂沿著該水平方向移動。

本創作的有益效果在於，本創作所提供的小型倉儲裝置，包括一架體、一水平移載機構、一升降移載機構及一機械手臂。架體包含多個儲位，能用以儲放物件容器，水平移載機構設置於架體的一側，升降移載機構設置於水平移載機構上，水平移載機構能帶動升降移載機構沿著水平方向移動，機械手臂設置於升降移載機構上，升降移載機構能帶動機械手臂沿著升降方向移動，且機械手臂能沿著進出方向移動，用以取放物件容器。本創作能使物件容器在移載裝置與製程設備之間交換，本創作可應用於空間有限、狹長的倉儲裝置，可搭配機械手臂取放物件容器，靈活的變換取放方向及活動路徑。

為使能更進一步瞭解本創作的特徵及技術內容，請參閱以下有關本創作的詳細說明與圖式，然而所提供的圖式僅用於提供參考與說明，並非用來對本創作加以限制。

以下是通過特定的具體實施例來說明本創作所公開的實施方式，本領域技術人員可由本說明書所公開的內容瞭解本創作的優點與效果。本創作可通過其他不同的具體實施例加以施行或應用，本說明書中的各項細節也可基於不同觀點與應用，在不背離本創作的構思下進行各種修改與變更。另外，本創作的附圖僅為簡單示意說明，並非依實際尺寸的描繪，事先聲明。以下的實施方式將進一步詳細說明本創作的相關技術內容，但所公開的內容並非用以限制本創作的保護範圍。另外，本文中所使用的術語“或”，應視實際情況可能包括相關聯的列出項目中的任一個或者多個的組合。

[實施例]

請參閱圖1至圖3，本創作提供一種小型倉儲裝置，能設置於移載裝置(如天車)與製程設備之間，使物件容器100能在移載裝置與製程設備之間交換，該小型倉儲裝置包括一架體1、一水平移載機構2、一升降移載機構3及一機械手臂4，其外部亦可設置一機殼5。

該架體1呈一狹長體，該架體1包含多個儲位11，能用以儲放物件容器100，所述物件容器100可為晶圓盒或光罩盒等，並不予以限制。該些儲位11排列為上、下多層，且每一層具有多個儲位11，每一層的多個儲位11沿著一水平方向A排列成一排。惟該些儲位11設置的層數及每一層的數量並不予以限制。

請參閱圖4至圖6，該水平移載機構2為一長形體，該水平移載機構2沿著水平方向A延伸預定的長度，該水平移載機構2設置於架體1的一側。該水平移載機構2可為一電動滑台，該水平移載機構2包含一第一軌道21，該第一軌道21上可移動的設置一第一連動體22，該第一連動體22可被驅動在第一軌道21上移動，使該第一連動體22能沿著水平方向A移動。所述第一連動體22能以一第一馬達23驅動，亦即該第一馬達23可通過設置於第一軌道21內的皮帶、螺桿(圖略)等習知的傳動機構驅動第一連動體22在第一軌道21上移動，以利用第一軌道21的剛性結構導引第一連動體22穩定的移動至定位。該水平移載機構2設置於該些儲位11的一側間隔處，該些儲位11皆位於水平移載機構2的移載行程內。

該升降移載機構3設置於水平移載機構2上，以便利用該水平移載機構2帶動升降移載機構3及機械手臂4沿著水平方向A移動。該升降移載機構3為一長形體，該升降移載機構3豎立的設置，該升降移載機構3沿著一升降方向B延伸預定的長度(高度)，所述升降方向B可垂直於水平方向A。該升降移載機構3可為一電動滑台，該升降移載機構3包含一第二軌道31(如圖7所示)，該第二軌道31(下端)可連接於水平移載機構2的第一連動體22，以便利用該水平移載機構2的第一連動體22帶動升降移載機構3及機械手臂4沿著水平方向A移動。

該第二軌道31上可移動的設置一第二連動體32，該第二連動體32可被驅動在第二軌道31上移動，使該第二連動體32能沿著升降方向B移動。所述第二連動體32能以一第二馬達33驅動，亦即該第二馬達33可通過設置於第二軌道31內的皮帶、螺桿(圖略)等習知的傳動機構驅動第二連動體32在第二軌道31上移動，以利用第二軌道31的剛性結構導引第二連動體32穩定的移動，以便利用該升降移載機構3的第二連動體32帶動機械手臂4沿著升降方向B移動。

在本實施例中，該升降移載機構3還可包含一支撐座34，該支撐座34固定於水平移載機構2的第一連動體22，該第二軌道31固定於支撐座34，以便通過支撐座34將升降移載機構3設置於水平移載機構2上。在本實施例中，該支撐座34具有一基部341及一直立部342，該基部341可固定於水平移載機構2的第一連動體22，以便利用該水平移載機構2的第一連動體22帶動升降移載機構3及機械手臂4沿著水平方向A移動。該直立部342豎立於基部341上，該直立部342向上延伸預定的長度(高度)，使該第二軌道31可容置於直立部342，較佳的，該直立部342的斷面可呈U型架構，使直立部342內可形成一容置槽343，該第二軌道31設置於容置槽343內，使該第二軌道31可容置於直立部342內，以具有較佳的支撐及保護效果。較佳的，該直立部342的長度接近第二軌道31的長度，該直立部342的長度至少為第二軌道31的長度一半以上，以具有更佳的支撐及保護效果。較佳的，基部341及直立部342之間可設有一補強部344，該補強部344可為斜撐結構，可用以增加支撐座34的強度。該升降移載機構3設置於該些儲位11的一側間隔處，該些儲位11皆位於升降移載機構3的移載行程內。

該機械手臂4為一多軸(例如三軸)驅動機械臂，該機械手臂4設置於升降移載機構3上，該升降移載機構3能帶動機械手臂4沿著升降方向B移動，且該機械手臂4能沿著一進出方向C移動，用以取放物件容器100，所述進出方向C可垂直於水平方向A及升降方向B。該機械手臂4可連接於升降移載機構3的第二連動體32，以便利用該升降移載機構3的第二連動體32帶動機械手臂4沿著升降方向B移動。該機械手臂4能利用水平移載機構2及升降移載機構3分別傳動水平移載及升降移載，使該機械手臂4夾取物件容器100時，能利用水平移載機構2及升降移載機構3分別傳動物件容器100水平移載及升降移載，使物件容器100能移載到適當的儲位11，使物件容器100能在移載裝置(如天車)與製程設備之間交換。

[實施例的有益效果]

本創作的有益效果在於，本創作所提供的小型倉儲裝置，包括一架體、一水平移載機構、一升降移載機構及一機械手臂。架體包含多個儲位，能用以儲放物件容器，水平移載機構設置於架體的一側，升降移載機構設置於水平移載機構上，水平移載機構能帶動升降移載機構沿著水平方向移動，機械手臂設置於升降移載機構上，升降移載機構能帶動機械手臂沿著升降方向移動，且機械手臂能沿著進出方向移動，用以取放物件容器。本創作能使物件容器在移載裝置與製程設備之間交換，本創作可應用於空間有限、狹長的倉儲裝置，可搭配機械手臂取放物件容器，靈活的變換取放方向及活動路徑。

以上所公開的內容僅為本創作的優選可行實施例，並非因此侷限本創作的申請專利範圍，所以凡是運用本創作說明書及圖式內容所做的等效技術變化，均包含於本創作的申請專利範圍內。

1:架體 11:儲位 2:水平移載機構 21:第一軌道 22:第一連動體 23:第一馬達 3:升降移載機構 31:第二軌道 32:第二連動體 33:第二馬達 34:支撐座 341:基部 342:直立部 343:容置槽 344:補強部 4:機械手臂 5:機殼 A:水平方向 B:升降方向 C:進出方向 100:物件容器

圖1為本創作小型倉儲裝置的立體圖。

圖2為本創作小型倉儲裝置設置機殼的立體圖。

圖3為本創作小型倉儲裝置設置機殼另一角度的立體圖。

圖4為本創作移載機構的立體圖。

圖5為本創作移載機構的前視圖。

圖6為本創作水平移載機構的立體圖。

圖7為本創作升降移載機構的立體圖。

1:架體

11:儲位

2:水平移載機構

21:第一軌道

23:第一馬達

3:升降移載機構

31:第二軌道

34:支撐座

341:基部

342:直立部

343:容置槽

344:補強部

4:機械手臂

A:水平方向

B:升降方向

C:進出方向

100:物件容器

Claims (10)

1. 一種小型倉儲裝置，設置於移載裝置與製程設備之間，該小型倉儲裝置包括： 一架體，該架體呈一狹長體，該架體包含多個儲位，能用以儲放物件容器，該些儲位排列為上、下多層，每一層具有多個所述儲位； 一水平移載機構，該水平移載機構沿著一水平方向延伸預定的長度，該水平移載機構設置於該架體的一側； 一升降移載機構，該升降移載機構設置於該水平移載機構上，該水平移載機構能帶動該升降移載機構沿著該水平方向移動，該升降移載機構豎立的設置，該升降移載機構沿著一升降方向延伸預定的長度；以及 一機械手臂，該機械手臂設置於該升降移載機構上，該升降移載機構能帶動該機械手臂沿著該升降方向移動，且該機械手臂能沿著一進出方向移動，用以取放該物件容器。
2. 如請求項1所述的小型倉儲裝置，其中該水平移載機構為一電動滑台，該水平移載機構包含一第一軌道，該第一軌道上可移動的設置一第一連動體，該第一連動體能以一第一馬達驅動，使該第一連動體沿著該水平方向移動，該升降移載機構連接於該水平移載機構的第一連動體。
3. 如請求項2所述的小型倉儲裝置，其中該升降移載機構為一電動滑台，該升降移載機構包含一第二軌道，該第二軌道連接於該水平移載機構的第一連動體，能以該水平移載機構的第一連動體帶動該升降移載機構及該機械手臂沿著該水平方向移動。
4. 如請求項3所述的小型倉儲裝置，其中該第二軌道上可移動的設置一第二連動體，該第二連動體能以一第二馬達驅動，使該第二連動體沿著該升降方向移動，該機械手臂連接於該升降移載機構的第二連動體，能以該升降移載機構的第二連動體帶動該機械手臂沿著該升降方向移動。
5. 如請求項3所述的小型倉儲裝置，其中該升降移載機構還包含一支撐座，該支撐座固定於該水平移載機構的第一連動體，該第二軌道固定於該支撐座。
6. 如請求項5所述的小型倉儲裝置，其中該支撐座具有一基部及一直立部，該基部固定於該水平移載機構的第一連動體，該直立部豎立於該基部上，該直立部向上延伸預定的長度，該直立部內形成一容置槽，該第二軌道設置於該容置槽。
7. 如請求項6所述的小型倉儲裝置，其中該直立部的長度至少為該第二軌道的長度一半以上，該基部及該直立部之間設有一補強部。
8. 如請求項1所述的小型倉儲裝置，其中該水平移載機構及該升降移載機構皆為電動滑台。
9. 如請求項1所述的小型倉儲裝置，其中該水平移載機構及該升降移載機構設置於該些儲位的一側間隔處，該些儲位皆位於該水平移載機構及該升降移載機構的移載行程內，且每一層的多個所述儲位沿著所述水平方向排列成一排。
10. 如請求項1所述的小型倉儲裝置，其中所述升降方向垂直於所述水平方向，所述進出方向垂直於所述水平方向及所述升降方向。

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