TWM643498U - 小型倉儲裝置 - Google Patents

Abstract

一種小型倉儲裝置，能設置於製程設備的一側，包括一架體、一水平移載機構、一升降移載機構及一承載件。架體包含多個儲位，能用以儲放物件容器(如晶圓盒)，架體設有直向搬運通道及橫向搬運通道，使承載件能在直向搬運通道及橫向搬運通道中移動。承載件能由水平移載機構及升降移載機構驅動沿著水平方向及升降方向移動，以便於搬運物件容器。其中至少一列儲位為活動儲位，其連接於一移動機構，該移動機構能驅動中間整排活動儲位水平移動，用以變換直向搬運通道的位置。由此，可因應需要切換直向搬運通道的位置，以便於承載件取放物件容器，不需設置多個直向搬運通道，而能縮小機構尺寸，可應用於空間有限、狹長的倉儲裝置。

Description

小型倉儲裝置

本創作涉及一種小型倉儲裝置，尤指一種能設置於移載裝置(如天車)與製程設備之間，使物件容器能在移載裝置與製程設備之間交換的小型倉儲裝置。

隨著半導體工業的發展，積體電路需經過多道繁複的處理程序，例如蝕刻、研磨、擴散及沉積等步驟，才能生產出來。目前無論是在區域間(interbay)或區域內(intrabay)，大多是利用天車輸送系統(overhead hoist transport system)來搬運晶圓，且在天車與製程設備之間通常需設有倉儲裝置，用以暫存晶圓盒。然而現有的倉儲裝置，若需要設置多個直向搬運通道時，則需佔用較大的空間，較難應用於空間有限、狹長的場合。

本創作所要解決的技術問題在於，針對現有技術的不足提供一種小型倉儲裝置，不需設置多個直向搬運通道，而能縮小機構尺寸，可應用於空間有限、狹長的倉儲裝置。

為了解決上述的技術問題，本創作提供一種小型倉儲裝置，能設置於製程設備的一側，該小型倉儲裝置包括：一架體，該架體包含多個儲位，能用以儲放物件容器，該些儲位排列為上、下多層，且每一層具有多個所述儲位，每一層的多個所述儲位沿著一水平方向排列成一排，該些儲位沿著一升降方向排列成多列，該架體設有至少一橫向搬運通道及至少一直向搬運通道，該橫向搬運通道沿著該水平方向延伸，該直向搬運通道沿著該升降方向延伸，該直向搬運通道與該橫向搬運通道相連通；一水平移載機構，該水平移載機構沿著該水平方向延伸預定的長度，該水平移載機構設置於該架體的一側；一升降移載機構，該升降移載機構設置於該水平移載機構上，該水平移載機構能帶動該升降移載機構沿著該水平方向移動，該升降移載機構沿著該升降方向延伸預定的長度，該升降移載機構設置於該架體的一側；一承載件，該承載件設置於該升降移載機構上，該升降移載機構能帶動該承載件沿著該升降方向移動，用以取放該物件容器；以及一移動機構；其中該些儲位中包含多個活動儲位，該些活動儲位沿著該升降方向排列成至少一列，該些活動儲位連接於該移動機構，該移動機構能驅動該些活動儲位沿著該水平方向移動，用以變換該直向搬運通道的位置。

本創作的有益效果在於，本創作所提供的小型倉儲裝置，包括一架體、一水平移載機構、一升降移載機構、一承載件及一移動機構。架體包含多個儲位，能用以儲放物件容器，架體設有至少一橫向搬運通道及至少一直向搬運通道，直向搬運通道與橫向搬運通道相連通。升降移載機構設置於水平移載機構上，水平移載機構能帶動升降移載機構沿著水平方向移動， 承載件設置於升降移載機構上，升降移載機構能帶動承載件沿著升降方向移動，用以取放物件容器。該些儲位中包含多個活動儲位，該些活動儲位沿著升降方向排列成至少一列，該些活動儲位連接於移動機構，移動機構能驅動該些活動儲位沿著水平方向移動，用以變換直向搬運通道的位置。由此，不需設置多個直向搬運通道，而能縮小機構尺寸，可應用於空間有限、狹長的倉儲裝置。

為使能更進一步瞭解本創作的特徵及技術內容，請參閱以下有關本創作的詳細說明與圖式，然而所提供的圖式僅用於提供參考與說明，並非用來對本創作加以限制。

以下是通過特定的具體實施例來說明本創作所公開有關的實施方式，本領域技術人員可由本說明書所公開的內容瞭解本創作的優點與效果。本創作可通過其他不同的具體實施例加以施行或應用，本說明書中的各項細節也可基於不同觀點與應用，在不背離本創作的構思下進行各種修改與變更。另外，本創作的附圖僅為簡單示意說明，並非依實際尺寸的描繪，事先聲明。以下的實施方式將進一步詳細說明本創作的相關技術內容，但所公開的內容並非用以限制本創作的保護範圍。另外，本文中所使用的術語“或”，應視實際情況可能包括相關聯的列出項目中的任一個或者多個的組合。

[實施例]

請參閱圖1至圖3，本創作提供一種小型倉儲裝置，能設置於製程設備200(如圖2所示)的一側，使該小型倉儲裝置可設置於移載裝置(如天車)與製程設備200之間，使物件容器100能在移載裝置與製程設備200之間交換。該小型倉儲裝置包括一架體1、一水平移載機構2、一升降移載機構3、一承載件4及一移動機構5。

該架體1呈一狹長體，該架體1包含多個儲位11，能用以儲放物件容器100，所述物件容器100可為晶圓盒或光罩盒等，並不予以限制。該些儲位11排列為上、下多層，且每一層具有多個儲位11，每一層的多個儲位11沿著一水平方向A排列成一排，亦即每一層的多個儲位11位於相同的水平高度。該些儲位11沿著一升降方向B排列成多列，升降方向B垂直於水平方向A，所述的升降方向B係為垂直於水平方向A的直立方向。

該架體1設有至少一橫向搬運通道12及至少一直向搬運通道13，橫向搬運通道12可設置一個，直向搬運通道13亦可設置一個，惟橫向搬運通道12及直向搬運通道13的數量並不限制。該橫向搬運通道12沿著水平方向A延伸，該直向搬運通道13沿著升降方向B延伸，直向搬運通道13與橫向搬運通道12相連通。較佳的，該橫向搬運通道12位於該些儲位11的下方處，直向搬運通道13的下端與橫向搬運通道12相連通，橫向搬運通道12及直向搬運通道13為一無設置儲位11的空間，承載件4能在橫向搬運通道12及直向搬運通道13中移動，使承載件4不會與該些儲位11產生干涉。較佳的，直向搬運通道13的上端呈開口狀，直向搬運通道13面向承載件4的一側呈開口狀，以便於承載件4進出直向搬運通道13。

該水平移載機構2為一長形體，該水平移載機構2沿著水平方向A延伸預定的長度，該水平移載機構2設置於架體1的一側，該水平移載機構2可固定於架體1。該水平移載機構2可為一電動滑台，精度高，且組裝剛性佳，但不予以限制，該水平移載機構2亦可為其他現有的傳動機構，例如可由馬達驅動的螺桿組、皮帶組、齒輪組或鏈條組等構成。該水平移載機構2設置於該些儲位11的一側間隔處，該些儲位11皆位於水平移載機構2的移載行程內。

該升降移載機構3設置於水平移載機構2上，以便利用該水平移載機構2帶動升降移載機構3及承載件4沿著水平方向A移動。該升降移載機構3為一長形體，該升降移載機構3豎立的設置，該升降移載機構3沿著升降方向B延伸預定的長度(高度)，該升降移載機構3設置於架體1的一側，可利用該升降移載機構3帶動承載件4沿著升降方向B移動。該升降移載機構3可為一電動滑台，精度高，且組裝剛性佳，但不予以限制，該升降移載機構3亦可為其他現有的傳動機構，例如可由馬達驅動的螺桿組、皮帶組、齒輪組或鏈條組等構成。該升降移載機構3設置於該些儲位11的一側間隔處，該些儲位11皆位於升降移載機構3的移載行程內。

該承載件4可為牙叉(Fork)等承載裝置，該承載件4設置於升降移載機構3上，該升降移載機構3能帶動承載件4沿著升降方向B移動，用以取放物件容器100。該承載件4能利用水平移載機構2及升降移載機構3分別傳動水平移載及升降移載，使該承載件4承載物件容器100時，能利用水平移載機構2及升降移載機構3分別傳動物件容器100水平移載及升降移載，使物件容器100能移載到適當的儲位11，使物件容器100能在移載裝置(如天車)與製程設備200之間交換。

該些儲位11中包含多個活動儲位11a，該些活動儲位11a沿著升降方向B排列成至少一列，該些活動儲位11a的數量可為兩個、三個、四個或五個等多個，該些活動儲位11a上下相對齊排列成至少一列。較佳的，該些活動儲位11a設置於架體1上靠近中間處。當該些活動儲位11a移走時，即可形成直向搬運通道13，能用以容納承載件4，用以搬運直向搬運通道13兩側的儲位11中的物件容器100。

該些活動儲位11a連接於移動機構5，該移動機構5能驅動整列的活動儲位11a沿著水平方向A移動，用以變換直向搬運通道13的位置(如圖1及圖4所示)，使得直向搬運通道13可因應儲位11的使用而自由的切換，當需要取放某一列儲位11中的物件容器100時，即可利用移動機構5驅動整列的活動儲位11a移動，使直向搬運通道13移動至該列儲位11的一側，以便於承載件4取放物件容器100。

該移動機構5為一長形體，該移動機構5沿著水平方向A延伸預定的長度，該移動機構5可固定於架體1，可利用該移動機構5帶動該些活動儲位11a沿著水平方向A移動，該些活動儲位11a移走後能讓出空間形成直向搬運通道13。該移動機構5可為一電動滑台，精度高，且組裝剛性佳，但不予以限制，該移動機構5亦可為其他現有的傳動機構，例如可由馬達驅動的螺桿組、皮帶組、齒輪組或鏈條組等構成。較佳的，該些活動儲位11a可固定於一連動件51上，該些活動儲位11a可設置於連動件51的一面，該連動件51沿著升降方向B延伸，而能用以設置適當數量的活動儲位11a，該些活動儲位11a分別與該些儲位11在水平方向A相互對齊。該連動件51連接於移動機構5，該移動機構5能通過連動件51帶動該些活動儲位11a穩定的移動，用以切換直向搬運通道13的位置。

另，如圖5及圖6所示，在本實施例中，該承載件4採用可折收設計，該承載件4樞設於一升降座6上，使該承載件4能在升降座6上轉動，該承載件4通過升降座6設置於升降移載機構3上，該升降移載機構3能帶動升降座6及承載件4沿著升降方向B移動。該承載件4連接於一驅動模組7，該驅動模組7可為電動模組或氣動模組等，驅動模組7可固定於升降座6上，該承載件4可由驅動模組7驅動，該承載件4能在升降座6上進行上下轉動，使該承載件4能向一側(向上或向下)收折(如圖5所示)，該承載件4亦能在升降座6上進行左右轉動，使該承載件4能向一側(向左或向右)收折(如圖6所示)。該承載件4可由驅動模組7驅動收納到一側而呈收折狀態，使承載件4可以任意移動，而不會與該些儲位11產生干涉，因此承載件4能不限定在橫向搬運通道12及直向搬運通道13中移動，而能以斜向等其他方向移動，使承載件4能快速的移動至定位，以節省時間，增加稼動率。

[實施例的有益效果]

本創作的有益效果在於，本創作所提供的小型倉儲裝置，包括一架體、一水平移載機構、一升降移載機構、一承載件及一移動機構。架體包含多個儲位，能用以儲放物件容器，架體設有至少一橫向搬運通道及至少一直向搬運通道，直向搬運通道與橫向搬運通道相連通。升降移載機構設置於水平移載機構上，水平移載機構能帶動升降移載機構沿著水平方向移動， 承載件設置於升降移載機構上，升降移載機構能帶動承載件沿著升降方向移動，用以取放物件容器。該些儲位中包含多個活動儲位，該些活動儲位沿著升降方向排列成至少一列，該些活動儲位連接於移動機構，移動機構能驅動該些活動儲位沿著水平方向移動，用以變換直向搬運通道的位置。由此，不需設置多個直向搬運通道，而能縮小機構尺寸，可應用於空間有限、狹長的倉儲裝置。

以上所公開的內容僅為本創作的優選可行實施例，並非因此侷限本創作的申請專利範圍，所以凡是運用本創作說明書及圖式內容所做的等效技術變化，均包含於本創作的申請專利範圍內。

1:架體 11:儲位 11a:活動儲位 12:橫向搬運通道 13:直向搬運通道 2:水平移載機構 3:升降移載機構 4:承載件 5:移動機構 51:連動件 6:升降座 7:驅動模組 A:水平方向 B:升降方向 100:物件容器 200:製程設備

圖1為本創作實施例小型倉儲裝置的前視示意圖。

圖2為本創作實施例小型倉儲裝置的側視示意圖。

圖3為本創作實施例小型倉儲裝置的俯視示意圖。

圖4為本創作實施例小型倉儲裝置的使用狀態示意圖。

圖5為本創作另一實施例承載件的側視示意圖。

圖6為本創作又一實施例承載件的俯視示意圖。

1:架體

11:儲位

11a:活動儲位

12:橫向搬運通道

13:直向搬運通道

2:水平移載機構

3:升降移載機構

5:移動機構

51:連動件

A:水平方向

B:升降方向

100:物件容器

Claims (10)

1. 一種小型倉儲裝置，能設置於製程設備的一側，該小型倉儲裝置包括： 一架體，該架體包含多個儲位，能用以儲放物件容器，該些儲位排列為上、下多層，且每一層具有多個所述儲位，每一層的多個所述儲位沿著一水平方向排列成一排，該些儲位沿著一升降方向排列成多列，該架體設有至少一橫向搬運通道及至少一直向搬運通道，該橫向搬運通道沿著該水平方向延伸，該直向搬運通道沿著該升降方向延伸，該直向搬運通道與該橫向搬運通道相連通； 一水平移載機構，該水平移載機構沿著該水平方向延伸預定的長度，該水平移載機構設置於該架體的一側； 一升降移載機構，該升降移載機構設置於該水平移載機構上，該水平移載機構能帶動該升降移載機構沿著該水平方向移動，該升降移載機構沿著該升降方向延伸預定的長度，該升降移載機構設置於該架體的一側； 一承載件，該承載件設置於該升降移載機構上，該升降移載機構能帶動該承載件沿著該升降方向移動，用以取放該物件容器；以及 一移動機構； 其中該些儲位中包含多個活動儲位，該些活動儲位沿著該升降方向排列成至少一列，該些活動儲位連接於該移動機構，該移動機構能驅動該些活動儲位沿著該水平方向移動，用以變換該直向搬運通道的位置。
2. 如請求項1所述的小型倉儲裝置，其中該些活動儲位設置於該架體上靠近中間處。
3. 如請求項1所述的小型倉儲裝置，其中該些活動儲位固定於一連動件上，該連動件連接於該移動機構，該移動機構能通過該連動件帶動該些活動儲位移動。
4. 如請求項3所述的小型倉儲裝置，其中該些活動儲位設置於該連動件的一面，該連動件沿著該升降方向延伸。
5. 如請求項1所述的小型倉儲裝置，其中該水平移載機構及該升降移載機構為電動滑台。
6. 如請求項1所述的小型倉儲裝置，其中該些活動儲位分別與該些儲位在該水平方向相互對齊。
7. 如請求項1所述的小型倉儲裝置，其中該直向搬運通道的上端呈開口狀，該直向搬運通道的下端與該橫向搬運通道相連通，該直向搬運通道面向該承載件的一側呈開口狀。
8. 如請求項1所述的小型倉儲裝置，其中該橫向搬運通道位於該些儲位的下方處，該直向搬運通道的下端與該橫向搬運通道相連通。
9. 如請求項1所述的小型倉儲裝置，其中該承載件樞設於一升降座上，該承載件能在該升降座上轉動，該承載件通過該升降座設置於該升降移載機構上，該承載件連接於一驅動模組，該承載件能由該驅動模組驅動，使該承載件能收納到一側而呈收折狀態。
10. 如請求項9所述的小型倉儲裝置，其中該承載件能在該升降座上進行上下轉動或左右轉動，使該承載件能向一側收折。

Images