JP2632419B2 - 荷保管設備 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、たとえば半導体のような塵埃を極端にきら
う製品の保管に採用される荷保管設備に関するものであ
る。

従来の技術 従来、この種の設備としては、たとえば実開昭63−67
505号公報に見られる構造が提供されている。すなわち
従来構成は、箱状の本体内に、前面と後面とが開放しか
つ多数の収納空間を形成した棚を設け、この棚の後面側
にフィルタを配設するとともに、このフィルタの後方に
流路を形成し、そして棚の下方に設けた送風機の吐出部
を前記流路に連通している。このようにして構成された
荷保管装置は、その本体の外面を相当接させた状態で複
数個が並設され、そして荷保管装置群に共用の搬入出装
置を設けている。

この従来形式によると、送風機は本体内の下部から吸
引したエアを流路内に供給し、そして供給されたエアは
フィルタを通ってクリーンエアとなり、このクリーンエ
アが棚内を前面側に流れることで本体内のクリーン度を
高く保っている。また前面側に流出したクリーンエアは
本体内の下部へと流れ、前述したように送風機に吸引さ
れて循環使用される。

その際に荷保管装置は、たとえば第６図に示すよう
に、フィルタ101を取付けた本体102の側板103どうしを
相当接させ、下部のクリーンユニットにおける本体に固
定することで並設されている。

発明が解決しようとする課題 上記の従来形式によると、側板103の前面103aが偏平
状であることから、フィルタ101を通ってきたクリーン
エア104間でよどみ105が発生する。このエアのよどみ10
5があると、そのよどみ105の部品にいつまでも塵芥粒子
が浮遊しており、その塵芥粒子が、時々、荷側に流れ、
製品を汚染するとともに、製品の歩留りを悪くする。ま
たフィルタ101を箱状の本体に取付ける際に、その固定
用の部材などの前面にもよどみが発生している。

本発明の目的とするところは、よどみの発生を防止し
た荷保管設備を提供する点にある。

課題を解決するための手段 上記目的を達成するために本発明における荷保管設備
は、矩形の枠本体と、この枠本体の前部側に取付けら
れ、かつ前面と後面とを開放した荷収納部と、この荷収
納部の後面側で前記枠本体内に取付けたフィルタと、前
記枠本体の後端に取付けられ、かつフィルタの後方にエ
ア供給路を形成する外板と、前記エア供給路に吐出部が
連通し、かつ荷収納部を通ったクリーンエアを吸引部か
ら吸引自在な送風機とにより荷保管装置を構成し、前記
フィルタは、前記枠本体に対して前方から嵌め込み、そ
して窓枠状部材を前方から嵌め込んでフィルタに当接さ
せることで前記枠本体内に取付け、前記窓枠状部材の前
面は外側ほど前方に突出する傾斜面に形成し、前記荷保
管装置の複数個を、前記枠本体の側板間を当接して並設
し、前記側板の前面は、外側ほど前方に突出しかつ前記
窓枠状部材の傾斜面の延長線上に位置する傾斜面に形成
している。

作用 かかる本発明の構成によると、送風機の吐出部からの
送気はエア供給路内を流れ、そしてフィルタを通ること
でクリーン度の高いクリーンエアとなって荷収納部に後
面側から供給される。したがって荷収納部内は、後面か
ら前面へと流れるクリーンエアによって高クリーン度を
維持し得る。荷収納部を通ったクリーンエアは再び送風
機に吸引されて循環使用される。その際に枠本体の側板
近くにおいてフィルタを通過してきたクリーンエアは、
窓枠状部材の前面に形成した傾斜面から側板の前面に形
成した傾斜面へと、斜め前方に連続状に案内されること
になり、よどみが発生することなく流れることになる。

実施例 以下に本発明の一実施例を第１図〜第５図に基づいて
説明する。

１はクリーンルームで、天井側（あるいは側壁側）か
らフィルタ２を通してクリーンエア３を下吹きし、下降
するクリーンエア３をメッシュ形式の床４を通して床下
に吸引するように構成してある。

５は密閉式の荷保管装置で、矩形の枠本体６は、左右
一対の側板７と、天板８と、底板９とによって前後が開
放した箱状に形成される。前記側板７は、その前面が外
側ほど前方に突出する傾斜面10に形成され、そして傾斜
面10には斜め前方に開放した第１蟻溝部11が上下方向に
形成されている。さらに側板７の前部には、左右方向の
内側に開放した第２蟻溝部12と、この第２蟻溝部12より
も少し後方において、内面からは前方に向く突条14が上
下方向に形成されている。さらに側板７の後端には、段
部16と、後方に開放した第３蟻溝部17とが、それぞれ上
下方向に形成されている。

そして枠本体６の前部で相対向した側板７の内面間に
は、中間部材21が上下方向に複数本設けられ、これら中
間部材21の前面で上下の縁部からは前方に向く突条22
が、また突条22間において前方に開放した第４蟻溝部23
が左右方向に形成されている。

前記枠本体６内の前部にはフィルタ25が組み込まれ
る。すなわち矩形状のフィルタ25の外周には緩衝材26が
装着され、枠本体６に対して前方からフィルタ25を嵌め
込む際に緩衝材26を突条14,22に当接させる。そして窓
枠状部材27と中間当て部材28とからなる当て枠体29を前
方から嵌め込んでフィルタ25に当接させたのち、第２蟻
溝部12や第４蟻溝部23内に配設した板ナット体30,31
に、当て枠体29に外側から通したビス32やボルト33をら
合し、締め付けることで、フィルタ25は周囲をシールし
た状態で枠本体６に組み込まれる。

前記窓枠状部材27の前面は外側ほど前方に突出する傾
斜面34に形成され、この傾斜面34の延長線上に前方側板
７の傾斜面10が位置すべく配設される。なお中間当て部
材28の前面は山形傾斜面35に形成される。

前記枠本体６の後端部には本体外板45が配設され、以
って前記フィルタ25との間にエア吸引路46を形成する。
前記本体外板45は複数枚を並べた状態で骨組体47にビス
などで固定され、そして側縁の折り返し部に後面側から
通したビス48を、第３蟻溝部17内に配設した板ナット体
49にら合し締め付けることで枠本体６に固定される。

前記フィルタ25の前方には荷収納部（棚）54が設けら
れる。すなわち両側板７の前面から前方へ支持ブラケッ
ト55が配設され、この支持ブラケット55は基端が傾斜面
10に当接されるとともに、この基端に前面側から通した
ビス56を、第１蟻溝部11内に配設した板ナット体57にら
合し、締め付けることで側板７に固定される。前記支持
ブラケット55は側板７に対して上下方向で複数固定さ
れ、そして左右で対向する支持ブラケット55間に棚板58
をセットすることで、前後方向で開放した収納空間59を
上下方向に複数段に形成する。

前記枠本体６の下方には、内部を区画室60とした箱枠
体61が配設され、この箱枠体61の天板と前記枠本体６の
床板９とがボルト・ナットなどを介して一体化される。
前記区画室60内には、その吐出部62が前記エア供給路41
に連通し、かつ吸引部63が区画室60に開放した送風機64
が設けられ、そして前記荷収納部51を通って前方に流出
したクリーンエア65を区画室60を介して吸引すべく、こ
の区画室60を形成する前面壁に多孔板66を使用してい
る。

上記のように構成された荷保管装置５は複数個（実施
例では２個）が並設され、そして枠本体６の側板７どう
しが相当接される。この相当接した接合部70のシールを
行うべく、前端間ならびに後端間にはコーキング71,72
が施工される。さらに並設した荷保管装置５群の左右両
端を覆う側部カバー75が配設されるとともに上述と同様
にして結合され、また上方を覆う天部カバー76が配設さ
れるとともに固定され、以って荷保管設備79を構成す
る。

前記荷保管設備79は、その前面を相対向させて並置さ
れ、そして矩形箱状の囲壁枠体80を介在し相互に連結す
ることで三者は一体化される。前記囲壁枠体80内に形成
される通路81には搬入出装置82が設けられる。この搬入
出装置82は、床レール83と、この床レール83に車輪84を
介して支持案内され、かつ荷収納部51の前面に沿った一
定経路85上を走行自在な台車86と、この台車86上から立
設した支持枠87と、この支持枠87内に配設したガイド体
に案内される昇降台88と、この昇降台88上に横方向移動
自在に設けた受け渡し装置89と、支持枠87の上部を案内
する天井レール90などから構成される。

片側の荷保管設備79において、荷収納部51の下部一箇
所には、本体外板45や隔壁40を切欠くとともにカバー板
93で覆うことによって前後方向の貫通路94が形成され、
この貫通路94内には荷95の入庫や出庫を行う荷捌き装置
96が設けられる。前記荷95は製品を収納自在なケース形
状であって、上部の両側面には、前記受け渡し装置89が
下方から係脱自在な被係止突条などが設けられる。

次に上記実施例の作用を説明する。

荷保管装置５内においては常に高いクリーン度が保た
れている。すなわち送風機64の稼動によって吐出部62か
ら吐出される送気はエア供給路41内を上昇し、そしてフ
ィルタ25を通ってクリーン度の高いクリーンエア65とな
り、荷収納部54に対して後面側から供給される。したが
って荷収納部54内は、後面から前面へと流れるクリーン
エア65によって高クリーン度が維持されている。荷収納
部54を通ったクリーンエア65は通路81内に流入し、その
一部は貫通路94を通ってクリーンルーム１内に流出する
が、ほとんどは多孔板66を通って区画室60に流入して送
風機64に吸引され、循環使用される。

前記したようにフィルタ25を通って荷収納部54へと供
給されるクリーンエア65のうち、側板７の近くを流れる
クリーンエア65は、第４図に示すように窓枠状部材27の
傾斜面34から側板前部の傾斜面10へと案内され、これに
より斜め前方へ流れることになって側板７の前部前方に
よどみは発生しない。また中間当て部材28の部分も、第
３図に示すようにクリーンエア65は山形傾斜面35に案内
され、前方によどみは発生しない。

たとえば自走車により搬送されてきた入庫しようとす
る荷95は、貫通路94を通して荷捌き装置96に受け取ら
れ、そして搬入出装置82における台車86の走行動と、昇
降台88の昇降動と、受け渡し装置89の受け渡し動との組
合せ動作によって、荷捌き装置96から目的とする収納空
間59に納められる。また逆作動によって、目的とする収
納空間59の荷95を出庫し得る。

発明の効果 上記構成の本発明によると、送風機の吐出部からの送
気はエア供給路内を流れ、そしてフィルタを通ることで
クリーン度の高いクリーンエアとなって荷収納部に後面
側から供給でき、したがって荷収納部内は、後面から前
面へと流れるクリーンエアによって高クリーン度を維持
することができる。そして荷収納部を通ったクリーンエ
アは再び送風機で吸引して循環使用することができる。
その際に枠本体の側板近くにおいてフィルタを通過して
きたクリーンエアを、窓枠状部材の前面に形成した傾斜
面から側板の前面に形成した傾斜面へと、斜め前方に連
続状に案内することができ、これにより、フィルタを固
定するための窓枠状部材や本体側板の前部前方によどみ
が発生することを防止できて、塵芥粒子が浮遊すること
がなくなる。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第５図は本発明の一実施例を示し、第１図は縦
断正面図、第２図は接合部の横断平面図、第３図は第１
図における要部拡大図、第４図は第２図における要部拡
大図、第５図は全体の概略横断面図、第６図は従来例を
示す要部の横断面図である。 １…クリーンルーム、５…荷保管装置、６…枠本体、７
…側板、10…傾斜面、21…中間部材、25…フィルタ、27
…窓枠状部材、28…中間当て部材、29…当て枠体、34…
傾斜面、35…山形傾斜面、41…エア供給路、45…本体外
板、54…荷収納部、58…棚板、59…収納空間、60…区画
室、62…吐出部、63…吸引部、64…送風機、65…クリー
ンエア、66…多孔板、79…荷保管設備、80…囲壁枠体、
82…搬入出装置、89…受け渡し装置、95…荷、96…荷捌
き装置。

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】矩形の枠本体と、この枠本体の前部側に取
   付けられ、かつ前面と後面とを開放した荷収納部と、こ
   の荷収納部の後面側で前記枠本体内に取付けたフィルタ
   と、前記枠本体の後端に取付けられ、かつフィルタの後
   方にエア供給路を形成する外板と、前記エア供給路に吐
   出部が連通し、かつ荷収納部を通ったクリーンエアを吸
   引部から吸引自在な送風機とにより荷保管装置を構成
   し、前記フィルタは、前記枠本体に対して前方から嵌め
   込み、そして窓枠状部材を前方から嵌め込んでフィルタ
   に当接させることで前記枠本体内に取付け、前記窓枠状
   部材の前面は外側ほど前方に突出する傾斜面に形成し、
   前記荷保管装置の複数個を、前記枠本体の側板間を当接
   して並設し、前記側板の前面は、外側ほど前方に突出し
   かつ前記窓枠状部材の傾斜面の延長線上に位置する傾斜
   面に形成したことを特徴とする荷保管設備。