JPH0790883B2 - 荷保管設備 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、たとえば半導体のような塵埃を極端にきらう
製品の保管に採用される荷保管設備に関するものであ
る。

従来の技術 従来、この種の設備としては、たとえば実開昭63−6750
5号公報に見られる構造が提供されている。すなわち従
来構成は、箱状の本体内に、前面と後面とが開放しかつ
多数の収納空間を形成した棚を設け、この棚の後面側に
フィルタを配設するとともに、このフィルタの後方に流
路を形成し、そして棚の下方に設けた送風機の吐出部を
前記流路に連通している。このようにして構成された荷
保管装置は、その本体の外面を相当接させた状態で複数
個が並設され、そして荷保管装置群に共用の搬入出装置
を設けている。

この従来形式によると、送風機は本体内の下部から吸引
したエアを流路内に供給し、そして供給されたエアはフ
ィルタを通ってクリーンエアとなり、このクリーンエア
が棚内を前面側に流れることで本体内のクリーン度を高
く保っている。また前面側に流出したクリーンエアは本
体内の下部へと流れ、前述したように送風機に吸引され
て循環使用される。

その際に荷保管装置は、たとえば第６図に示すように、
フィルタ101を取付けた本体102の側板103どうしを相当
接させて、下部のクリーンユニットにおける本体に固定
したのち、その接合部104の後端にコーキングを施工し
ていた。

発明が解決しようとする課題 上記の従来形式によると、側板103どうしが当接する接
合部104は密な当接状態になりにくく、しかもコーキン
グによるシールも充分でないことから、外部の汚れたエ
アＡが側板103間を通って収納空間内に入ることにな
る。

本発明の目的とするところは、汚れたエアが荷保管装置
の接合部から流入することを防止した荷保管設備を提供
する点にある。

課題を解決するための手段 上記目的を達成するために本発明における荷保管設備
は、矩形の枠本体と、この枠本体の前部側に取付けら
れ、かつ前面と後面とを開放した荷収納部と、この荷収
納部の後面側で前記枠本体内に取付けたフィルタと、前
記枠本体の後端に取付けられ、かつフィルタの後方にエ
ア供給路を形成する外板と、前記エア供給路に吐出部が
連通し、かつ荷収納部を通ったクリーンエアを吸引部か
ら吸引自在な送風機とにより荷保管装置を構成し、この
荷保管装置の複数個を、前記枠本体の側板間を当接して
並設し、前記側板の合わせ面間に上下方向のエア回収路
を形成するとともに、このエア回収路を、前記送風機を
配設した区画室に連通している。

作用 かかる本発明の構成によると、送風機の吐出部からの送
気はエア供給路内を流れ、そしてフィルタを通ることで
クリーン度の高いクリーンエアとなって荷収納部に後面
側から供給される。したがって荷収納部内は、後面から
前面へと流れるクリーンエアによって高クリーン度を維
持し得る。荷収納部を通ったクリーンエアは再び送風機
に吸引されて循環使用される。その際に送風機の吸引力
はエア回収路にも作用して、このエア回収路を陰圧化
（負圧化）しており、したがって外部から当接した側板
間を通って荷収納部側へ流れる汚れたエアは、まずエア
回収路に入り込み、そして吸引力によりエア回収路を下
降して区画室に速やかに流れ込むことにより、荷収納部
へ流出することはない。

実施例 以下に本発明の一実施例を第１図〜第５図に基づいて説
明する。

１はクリーンルームで、天井側（あるいは側壁側）から
フィルタ２を通してクリーンエア３を下吹きし、下降す
るクリーンエア３をメッシュ形式の床４を通して床下に
吸引するように構成してある。５は密閉式の荷保管装置
で、矩形の枠本体６は、左右一対の側板７と、天板８
と、底板９とによって前後が開放した箱状に形成され
る。前記側板７は、その前面が外側ほど前方に突出する
傾斜面10に形成され、そして傾斜面10には斜め前方に開
放した第１蟻溝部11が上下方向に形成されている。さら
に前部には、左右方向の内側に開放した第２蟻溝部12
と、この第２蟻溝部12よりも少し後方において、内面か
らは前方に向く突条14が上下方向に形成されている。さ
らに側板７の後端には、段部16と、後方に開放した第３
蟻溝部17とが、それぞれ上下方向に形成されている。そ
して枠本体６の前部で相対向した側板７の内面間には、
中間部材21が上下方向に複数本設けられ、これら中間部
材21の前面で上下の縁部からは前方に向く突条22が、ま
た突条22間において前方に開放した第４蟻溝部23が左右
方向に形成されている。前記枠本体６内の前部にはフィ
ルタ25が組み込まれる。すなわち矩形状のフィルタ25の
外周には緩衝材26が装着され、枠本体６に対して前方か
らフィルタ25を嵌め込む際に緩衝材26を突条14,22に当
接させる。そして窓枠状部材27と中間当て部材28とから
なる当て枠体29を前方から嵌め込んでフィルタ25に当接
させたのち、第２蟻溝部12や第４蟻溝部23内に配設した
板ナット板30,31に、当て枠体29に外側から通したビス3
2やボルト33をら合し、締め付けることで、フィルタ25
は周囲をシールした状態で枠本体６に組み込まれる。前
記窓枠状部材27の前面は外側ほど前方に突出する傾斜面
34に形成され、この傾斜面34の延長線上に前記傾斜面10
が位置すべく配設される。なお中間当て部材28の前面は
山形傾斜面35に形成される。

前記側板７の前部でかつ外面には凹溝状のエア回収路36
が形成され、そしてエア回収路36の下端を閉塞状の底板
９には上下方向の連通孔37が形成されている。

前記枠本体６の後端部には本体外板45が配設され、以っ
て前記フィルタ25との間にエア供給路41を形成する。前
記本体外板45は複数枚を並べた状態で骨組体47にビスな
どで固定され、そして側縁の折り返し部に後面側から通
したビス48を、第３蟻溝部17内に配設した板ナット板49
にら合し締め付けることで枠本体６に固定される。

前記フィルタ25の前方には荷収納部（棚）54が設けられ
る。すなわち両側板７の前面から前方へ支持ブラケット
55が配設され、この支持ブラケット55は基端が傾斜面10
に当接されるとともに、この基端に前面側から通したビ
ス56を、第１蟻溝部11内に配設した板ナット板57にら合
し、締め付けることで側板７に固定される。前記支持ブ
ラケット55は側板７に対して上下方向で複数固定され、
そして左右で対向する支持ブラケット55間に棚板58をセ
ットすることで、前後方向で開放した収納空間59を上下
方向に複数形成する。

前記枠本体６の下方には、内部を区画室60とした箱枠体
61が配設され、この箱枠体61の天板と前記枠本体６の床
板９とがボルト・ナットなどを介して一体化される。前
記区画室60内には、その吐出部62が前記エア供給路41に
連通し、かつ吸引部63が区画室60に開放した送風機64が
設けられ、そして前記荷収納部51を通って前方に流出し
たクリーンエア65を区画室60を介して吸引すべく、この
区画室60を形成する前面壁に多孔板66を使用している。

上記のように構成された荷保管装置５は複数個（実施例
では２個）が並設され、そして枠本体６の側板７どうし
が相当接される。この相当接した接合部70のシールを行
うべく、前端面ならびに後端間にはコーキング71,72が
施工され、また前端のコーキング71とエア回収路36との
間にはパッキン材73が介在される。さらに並設した荷保
管装置５群の左右両端を覆う側部カバー75が配設される
とともに上述と同様にして結合され、また上方を覆う天
部カバー76が配設されるとともに固定され、以って荷保
管設備79を構成する。

前記荷保管設備79は、その前面を相対向させて並置さ
れ、そして矩形箱状の囲壁枠体80を介在し相互に連結す
ることで三者は一体化される。前記囲壁枠体80内に形成
される通路81には搬入出装置82が設けられる。この搬入
出装置82は、床レール83と、この床レール83に車輪84を
介して支持案内され、かつ荷収納部51の前面に沿った一
定経路85上を走行自在な台車86と、この台車86上から立
設した支持枠87と、この支持枠87内に配設したガイド体
に案内される昇降台88と、この昇降台88上に横方向移動
自在に設けた受け渡し装置89と、支持枠87の上部を案内
する天井レール90などから構成される。片側の荷保管設
部79において、荷収納部51の下部一箇所には、本体外板
45や隔壁40を切欠くとともにカバー板93で覆うことによ
って前後方向の貫通路94が形成され、この貫通路94内に
は荷95の入庫や出庫を行う荷捌き装置96が設けられる。
前記荷95は製品を収納自在なケース形状であって、上部
の両側面には、前記受け渡し装置89が下方から係脱自在
な被係止突条などが設けられる。

次に上記実施例の作用を説明する。

荷保管装置５においては常に高いクリーン度が保たれて
いる。すなわち送風機64の稼動によって吐出部62から吐
出される送気はエア供給路41内を上昇し、そしてフィル
タ25を通ってクリーン度の高いクリーンエア65となり、
荷収納部54に対して後面側から供給される。したがって
荷収納部54内は、後面から前面へと流れるクリーンエア
65によって高クリーン度が維持されている。荷収納部54
を通ったクリーンエア65は通路81内に流入し、その一部
は貫通路94を通ってクリーンルーム１内に流出するが、
ほとんどは多孔板66を通って区画室60に流入して送風機
64に吸引され、循環使用される。

前記送風機64の吸引力は連通孔37を通してエア回収路36
に作用し、このエア回収路36を陰圧（負圧）化してい
る。したがってクリーンルーム１側から接合部70を通っ
て荷収納部54側へ流れるクリーンエア３は、まずエア回
収路36に入り込み、そして吸引力によりエア回収路36を
下降し、連通孔37を通って区画室60へと速やかに流れ込
み、送風機64に吸引されたのちエア供給路41に供給され
る。

たとえば自走車により搬送されてきた入庫しようとする
荷95は、貫通路94を通して荷捌き装置96に受け取られ、
そして搬入出装置82における台車86の走行動と、昇降台
88の昇降動と、受け渡し装置89の受け渡し動との組合せ
動作によって、荷捌き装置96から目的とする収納空間59
に納められる。また逆作動によって、目的とする収納空
間59の荷95を出庫し得る。

発明の効果 上記構成の本発明によると、送風機の吐出部からの送気
はエア供給路内を流れ、そしてフィルタを通ることでク
リーン度の高いクリーンエアとなって荷収納部に後面側
から供給でき、したがって荷収納部内は、後面から前面
へと流れるクリーンエアによって高クリーン度を維持す
ることができる。そして荷収納部を通ったクリーンエア
は再び送風機で吸引して循環使用することができる。そ
の際に送風機の吸引力がエア回収路に作用して、このエ
ア回収路を陰圧化（負圧化）することになり、したがっ
て当接した側板間を通って外部から荷収納部側へ流れよ
うとする汚れたエアは、エア回収路に入れたのち吸引力
で下降させることができ、そして区画室に速やかに流れ
込ませることができる。これにより汚れたエアが荷収納
部へ流出することを防止できる。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第５図は本発明の一実施例を示し、第１図は縦
断正面図、第２図は接合部の横断平面図、第３図は第１
図における要部拡大図、第４図は第２図における要部拡
大図、第５図は全体の概略横断面図、第６図は従来例を
示す要部の横断面図である。 １……クリーンルーム、５……荷保管装置、６……枠本
体、７……側板、９……床板、16……段部、25……フィ
ルタ、36……エア回収路、37……連通孔、41……エア供
給路、45……本体外板、54……荷収納部、55……支持ブ
ラケット、58……棚板、59……収納空間、60……区画
室、64……箱枠体、62……吐出部、63……吸引部、64…
…送風機、65……クリーンエア、66……多孔板、70……
接合部、79……荷保管設備、80……囲壁枠体、82……搬
入出装置、89……受け渡し装置、94……貫通路、95……
荷、96……荷捌き装置。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】矩形の枠本体と、この枠本体の前部側に取
   付けられ、かつ前面と後面とを開放した荷収納部と、こ
   の荷収納部の後面側で前記枠本体内に取付けたフィルタ
   と、前記枠本体の後端に取付けられ、かつフィルタの後
   方にエア供給路を形成する外板と、前記エア供給路に吐
   出部が連通し、かつ荷収納部を通ったクリーンエアを吸
   引部から吸引自在な送風機とにより荷保管設備を構成
   し、この荷保管装置の複数個を、前記枠本体の側板間を
   当接して並設し、前記側板の合わせ面間に上下方向のエ
   ア回収路を形成するとともに、このエア回収路を、前記
   送風機を配設した区画室に連通したことを特徴とする荷
   保管設備。