JPS62130906A - カセツト搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はカセット搬送装置に関するものであり、例えば
半導体ウェハや光ディスクなどの各種ディスクを収容し
たカセットを適宜処理装置に対して搬送する装置等に好
適に適用し得るものである。

従来の技術 上記各種ディスクの処理装置に対してディスクを供給し
たり、処理済みのディスクを取出したりするについて、
複数のディスクを隙間をあけて並列状態で保持するカセ
ットが従来から用いられており、ディスクを収容保持し
たこのカセットを搬送車で処理装置の近くまで搬送し、
手作業又は高度のロボットを用いて処理装置の治具にセ
ットしている。

発明が解決しようとする問題点 ところが、搬送車にはその上面にカセットの載置面が設
けられているだけであるため、カセットの収容数が少な
く、多数の搬送車を必要とし、またカセットを搬送車か
ら処理装置にセットし、空のカセットを搬送車に戻す作
業を別々に行うので時間がかかり効率が悪いという問題
がある。また、人手で移載する場合は人件費がかさむば
かりでなく、ディスクの処理は一般にクリーンルームで
行う必要があり、その面でも人が取り扱うとほこりを発
生し易いため好ましくないという問題がある。

また、高度のロボットによってセットする場合もあるが
、高価になるという問題がある。さらに、カセットを待
機させておいて連続的にセントすることができないので
、カセットの入換えに時間を要し、効率が悪いという問
題がある。

本発明は上記従来の問題点を解消して、カセットを処理
装置等に対して効率的に撤退供給できる安価なカセット
搬送装置を提供することを目的とする。

問題点を解決するだめの手段 本発明に係るカセット搬送装置は、送り機構を備えた上
下二段のカセットの待機部を設けるとともにその一端側
に一方の待機部からカセットを受け取り他方の待８１部
にカセットを送り出すカセット取り扱い装置を配設し、
前記待機部の他端側に搬送車の移！ｌＪ経路を配設する
とともにその搬送車に送り機構を備えかつ前記侍Ｐ１１
部に接続可能な上下二段のカセットの収容部を設けたこ
とを特徴とするものである。

作用 本発明は上記構成を有するので、搬送車に設けられた一
方の収容部のカセットをこれに接続された待８！部に送
り出すと同時に他方の待機部から搬送車の他方の収容部
にカセットを受取ることにより待機部と搬送車間のカセ
ットの移載を短時間で効率的に行うことがＣきる。また
、搬送車には上下二段の収容部を備えているので、一度
に多くのカセットを搬送でさて搬送車を小型にできると
ともに台数も少なくて済み、その移動制御ら容易となる
。一方、待機部のカセットは順次カセット取り扱い装置
によって適宜処理装置等にセットされで処理され、ある
いはカセットに保持されたディスク等が処理装置に供給
され、上記処理や供給等が終了するとカセットが他方の
待機部に送り出され、上記のように搬送車に移載される
のである。

実施例 以下、本発明の一実施例を第１図及び第２図に基づいて
説明する。１はカセットで、複数枚の半導体ウェハなど
のディスク２が板面を垂直にしかつ互いに隙間をあけて
並列した状態で収容保持されている。３はディスク２を
収容保持したカセット１を供給することによってそのデ
ィスク２に所定の処理を施す処理設備であって、処理装
置４と、この処理装置４にディスク２を供給する供給部
５と、処理済みのディスク２を取出す取出部（図示せず
）とを備えている。前記供給部５及び取出部の前部には
、搬送車７が移動する搬送経路６が配設されている。

前記供給部５には、複数のカセット１を収容可能な待機
部８．１０が上下に配設されており、各待機部にはカセ
ット１の移動手段としてのベルトコンベア９．１１がそ
れぞれ配設され、カセット１を処理装置４　Ｉｌｌに移
動させ得るようにもが成されている。この待機部８．１
０と処理装置・ｔとの間には送り出されたカセット１を
受けてそのディスク２が水平姿勢になるように起立回動
可能な起立回動体１２が配設されるとともに、この起立
回動体１２を上方の待機部８と下方の待機部１０の間で
昇降させる昇降体１６が配設されている。前記起立回動
体１２には起立姿勢のカセット１を支持する支持部１３
が一体的に形成されているとともにカセット１を受渡し
するベルトコンベア１４が設けられている。又、前記支
持部１３にはカセット１の前面に突設された位置規制突
部１ａが係合する係合溝１５が形成されている。

前記搬送ＲＡ７には、複数のカセット１を保持可能な収
容部１７．１９が上下にそれぞれ前記待機部８．１０に
接続可能に配設されている。また、各収容部１７．１９
にはカセット１を待機部に送り出しあるいは受け取るた
めのベルトコンベア１８．２０が配設されている。

前記起立回動体１２及び昇降体１６の動作機構を第２図
により説明すると、昇降体１６はボールねじ軸２１の上
端に固定され、このボールねじ軸２１に螺合するナツト
２２がベースフレーム２６上に回転自在に配置され、さ
らにこのナツト２２に外嵌固定された伝動歯車２３に噛
合するビニオン２４がベース７に一ム２６の下面に設置
された正逆回転可能な昇降用モータ２５の出力軸に取付
けられている。前記昇降体１６の待機部８．１０側端部
に枢支突部２７が突設され、支軸２８を介して前記起立
回動体１２が回動自在に取付けられている。また、昇降
体１６の側面から垂下された取付片２９の下端と起立回
動体１２の支持部１３の側面との間にシリング装置３０
が介装され、その伸縮動作によって起立回動体１２が待
ａ部との接続姿勢と起立姿勢との間で回動駆動可能に構
成されている。

なお、処理装置４のディスク受入部が待機部８．１０の
延長方向に無く、起立回動体１２の向きを変更する必要
がある場合は、＄２図に仮想線で示すように、ベース７
レーム２６上にボールねじ軸２１と同一軸心回りに回動
自在に設けられた回動レバー３１を設けるとともにこれ
に穿設された通孔３１ａに昇降体１６から垂下した連動
杆３２を貫通係合させ、かつこの回動にバー３１を回動
駆動するシリング装置３３が設けられる。

さらに、図示は省略しているが、処理装置４から排出さ
れたディスク２を空のカセット１に収容保持して取り出
すための取出部も、上記供給部５と同様の構成である。

以上の構成において、未処理のディスク２を保持した複
数のカセット１を上向きのまま上方の収容部１７に収容
した搬送車７を供給部５の前で停止させ、ベルトコンベ
ア１８を作動させてこのカセット１を待機部８上に供給
する。また、同時に待機部１０に送り出された空のカセ
ット１をベルトコンベア１１を作動させて搬送ＪＩＬ７
の下方の収容部１９に収容する。

前記待機部８のカセット１は、ベルトコンベア９が作動
して最前部のカセット１が起立回動体１２に向かって送
り出され、同時に起立回動体１２のベルトコンベア１４
も作動してカセット１はこの起立回動体１２上に移載さ
れる。その際カセット１の位置規制突部１ａが起立回動
体１２の支持部１３の係合溝１５に嵌入係合する。次に
、シリング装置３０が伸展動作して起立回動体１２が起
立姿勢に回動し、カセット１は処理装置４側に向かって
横向きになり、ディスク２は水平姿勢となる。この状態
で、最下段に位置するディスク２が処理装置４に設けら
れた引取り手段（図示せず）にて処理装置４内に取り込
まれ、所定の処理が行なわれる。次に、昇降体１６がデ
ィスク２の収容ピッチ分下降し、次のディスク２が前記
引取り手段にて処理装置４内に取り込まれ、以降カセッ
ト１のディスク２が無くなるまで上記動作が繰り返され
る。ディスク２が無くなると、前記シリング装置３０が
収縮動作し、起立回動体１２が元の姿勢に復帰して下方
の待機部１０に接続された状態となり、この起立回動体
１２のベルトコンベア１４及び待機部１０のベルトコン
ベア１１が上記とは逆方向に回動駆動されて空のカセッ
ト１は待機部１０上に移載される。

以上の動作が連続的に繰り返される一方、上方の待機部
８のカセット１が無くなる前に、上記の如く搬送１１７
からディスク２を収容されたカセット１が新たに供給さ
れ、それと同時に下方の待機部１０の空のカセット１が
回収される。

また、処理装置４で処理されたディスク２は、図示しな
い取出部において、上述とは逆の動作によって下方の待
機部１０に供給された空のカセット１′ｌこディスク２
が収容されて上方の待機部８に取り出され、これら待８
ｉ部８．１０に対して搬送車７の収容部１７．１つから
カセット１が供給取出しされて次工程等に搬送されるの
である。

本発明は上記実施例に限定されるものではなく、上記以
外の各種カセットの搬送装置に適用可能であり、またカ
セットの送り機構もベルトコンベアに限らず押し出し機
構等地の手段に変更することも可能であり、カセット取
り扱い装置も種々の機能を持ったものに変更することが
できる。さらに、実施例として示した起立回動体１２や
昇降体１６の動作機構も他の種々の機構に改変すること
ができる。

発明の効果 本発明のカセットの搬送装置によれば、以上のように搬
送車に設けられた一方の収容部のカセットをこれに接続
された待機部に送り出すと同時に他方の待機部から搬送
車の他方の収容部にカセットを受取ることにより待機部
と搬送車間のカセットの移載を短時間で効率的に行うこ
とができ、しかもロボット等を用いる必要がないので安
価に構成できる。また、搬送車には上下二段の収容部を
備えているので、一度に多くのカセットを搬送できて搬
送車を小型にできるとともに台数も少なくて済み、その
移動制御も容易となる等、大なる効果を発揮する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の全体概略構成図、第２図は
部分の具体構成を示す斜視図である。 １・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・カセッ
ト６・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・移動
経路７・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・搬
送車８．１０・・・・・・・・・・・・待機部９．１１
・・・・・・・・・・・・ベルトコンベア１２・・・・
・・・・・・・・・・・・・・起立回動体１６・・・・
・・・・・・・・・・・・・・昇降体１７．１９・・・
・・・・・・収容部 １８．２０・・・・・・・・・ベルトコンベア。 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）送り機構を備えた上下二段のカセットの待機部を
   設けるとともにその一端側に一方の待機部からカセット
   を受け取り他方の待機部にカセットを送り出すカセット
   取り扱い装置を配設し、前記待機部の他端側に搬送車の
   移動経路を配設するとともにその搬送車に送り機構を備
   えかつ前記待機部に接続可能な上下二段のカセットの収
   容部を設けたことを特徴とするカセット搬送装置。