KR100402834B1

KR100402834B1 - 포토레지스트 스트립퍼의 웨이퍼 카세트 이송장치

Info

Publication number: KR100402834B1
Application number: KR10-2001-0037300A
Authority: KR
Inventors: 노민수
Original assignee: 동부전자 주식회사
Priority date: 2001-06-28
Filing date: 2001-06-28
Publication date: 2003-10-22
Also published as: KR20030001005A

Abstract

본 발명은 포토레지스트 스트립퍼의 웨이퍼 카세트 이송장치에 관한 것으로서, 입출력 포트(100) 내측에 웨이퍼 카세트(1)가 안착되는 한 쌍의 이송판(200,300)과; 웨이퍼 카세트(1)가 로딩/언로딩되는 입출력 포트(100)의 내측 일단에 설치되며, 이송판(200,300)을 하나씩 수직방향으로 이송시키는 제 1 수직이송부(400)와; 웨이퍼 카세트(1)로부터 공정 챔버(10; 도 1에 도시됨)로 웨이퍼가 로딩/언로딩되는 입출력 포트(100)의 내측 타단에 설치되며, 이송판(200,300)을 하나씩 수직방향으로 이송시키는 제 2 수직이송부(500)와; 이송판(200,300)이 상부에 위치할 때 상부에 위치한 이송판(200,300)을 수평방향으로 이송시키는 제 1 수평이송부(600)와; 이송판(200,300)이 하부에 위치할 때 하부에 위치한 이송판(200,300)을 수평방향으로 이송시키는 제 2 수평이송부(700)를 포함하는 것으로서, 입출력 포트 내로 로딩된 웨이퍼 카세트를 다른 로딩된 카세트와는 무관하게 독립적으로 웨이퍼 트랜스퍼로 이송시켜서 포트레지스트 애싱 공정을 마친 후 언로딩시키기 위해 이송시킴으로써 웨이퍼 카세트가 대기하는 시간을 없앰과 동시에 두 개 또는 그 이상의 웨이퍼 카세트가 연속적으로 공정을 진행토록 할 수 있고, 이로 인해 웨이퍼의 생산성을 향상시키며, 웨이퍼 카세트가 수평방향 및 수직방향으로만 이동함으로써 장비가 차지하는 부피를 줄일 수 있는 효과를 가지고 있다.

Description

포토레지스트 스트립퍼의 웨이퍼 카세트 이송장치{APPARATUS FOR TRANSFERING SEMICONDUCTOR WAFER CASSETTE OF PHOTO-RESIST STRIPPER}

본 발명은 포토레지스트 스트립퍼의 웨이퍼 카세트 이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 입출력 포트 내로 로딩된 웨이퍼 카세트를 다른 로딩된 카세트와는 무관하게 독립적으로 웨이퍼 트랜스퍼로 이송시켜서 포트레지스트 애싱 공정을 마친 후 언로딩시키기 위해 이송시킴으로써 웨이퍼 카세트가 대기하는 시간을 없앰과 동시에 두 개 또는 그 이상의 웨이퍼 카세트가 연속적으로 공정을 진행토록 할 수 있는 포토레지스트 스트립퍼의 웨이퍼 카세트 이송장치에 관한 것이다.

일반적으로, 웨이퍼 상의 단위층에 패턴을 형성시키기 위한 포토리소그래피(photo lithography) 공정은 포토레지스트(photo-resist) 도포, 노광, 현상을 사용하여 포토레지스트 마스크(photo-resist mask)를 형성한 후에 식각(etching) 공정을 진행한다. 식각 공정 후에는 불필요해진 웨이퍼 상의 포토레지스트 마스크는 제거되어지며, 이러한 포토레지스트 마스크를 제거하는 공정을 포토레지스트 애싱(photo-resist ashing) 공정이라 한다.

이러한 포토레지스트 애싱 공정을 수행하는 포토레지스트 스트립퍼를 첨부된 도면을 이용하여 설명하면 다음과 같다.

도 1은 종래의 포토레지스트 스트립퍼를 개략적으로 도시한 평면도이다. 도시된 바와 같이, 종래의 포토레지스트 스트립퍼는 웨이퍼가 내측으로 안착되어 웨이퍼의 포토레지스트 애싱공정이 진행되는 공정 챔버(10)와, 공정 챔버(10)로 웨이퍼를 로딩/언로딩하는 웨이퍼 트랜스퍼(20)와, 장비의 외측으로부터 웨이퍼 트랜스퍼(20)로 웨이퍼 카세트가 공급되는 입출력 포트(30)를 포함한다.

공정 챔버(10)는 두 개로 구비되어져, 각각의 내측에 안착된 웨이퍼를 가열하여 포토레지스트간의 결합력을 약화시킴과 아울러 분사된 산소가스가 마이크로파에 의해 플라즈마화되어 생성된 산소 래디컬이 웨이퍼상의 포토레지스트를 제거하게 된다.

웨이퍼 트랜스퍼(20)는 장비의 외부에 위치한 카세트 트랜스퍼(미도시 됨)에 의해 입출력 포트(30)의 내측으로 로딩되어 이송된 웨이퍼 카세트로부터 웨이퍼를 인출하여 공정 챔버(10)로 로딩하거나 공정 챔버(10)로부터 공정이 완료된 웨이퍼를 웨이퍼 카세트에 장착한다.

입출력 포트(30)는 포토레지스트 스트립퍼의 본체 일측에 위치하며, 상측의 일측에는 상하로 이동함으로써 입출력 포트(30)의 진공을 개폐함과 아울러 외측의 카세트 트랜스퍼로부터 웨이퍼 카세트가 로딩/언로딩되는 통로를 제공하는 카세트 도어(40)가 구비되며, 내측에는 후술하는 두 쌍의 카세트 플랫폼(52)에 각각 안착된 웨이퍼 카세트를 웨이퍼 트랜스퍼(20)측으로 이송하거나 공정을 마친 웨이퍼가 장착된 웨이퍼 카세트를 카세트 도어(40)를 통하여 외부로 언로딩하기 위해 이송시키는 웨이퍼 카세트 이송장치가 구비된다.

포토레지스트 스트립퍼의 입출력 포트(30) 내측에 구비된 웨이퍼 카세트 이송장치를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

도 2는 종래의 포토레지스트 스트립퍼의 웨이퍼 카세트 이송장치를 도시한 측면도이다. 도시된 바와 같이, 웨이퍼 카세트 이송장치(50)는 회전이송판(51)과, 회전이송판(51)의 상측에 위치하는 두 쌍의 카세트 플랫폼(52)과, 회전이송판(51)을 수직방향으로 이동시키는 수직구동수단(53)과, 회전이송판(51)을 회전시키는 회전구동수단(미도시 됨)을 포함한다.

회전이송판(51)은 중심에 수직축(51a)이 결합되어 있으며, 이회전이송판(51)의 상면 일측에는 카세트 도어(40)가 상측으로 개방됨으로써 카세트 트랜스퍼로부터 로딩/언로딩되는 웨이퍼 카세트(1)가 안착되는 한 쌍의 카세트 플랫폼(52)이 구비되며, 그 타측에는 웨이퍼 트랜스퍼(20)에 의해 공정 챔버(10)로 로딩/언로딩되는 웨이퍼가 장착된 웨이퍼 카세트(1)가 안착되는 한 쌍의 카세트 플랫폼(52)이 설치된다.

카세트 플랫폼(52)은 그 상측면에 웨이퍼 카세트(1)가 안착되는 카세트 받침대(52a)가 각각 구비된다.

수직구동수단(53)은 수직구동모터(53a)와, 이 수직구동모터(53a)의 회전축에 결합된 제 1 기어(53b)와, 이 제 1 기어(53b)와 기어결합된 제 2 기어(53c)와, 이 제 2 기어(53c)의 회전중심에 축결합된 수직리드스크류(53d)와, 이 수직리드스크류(53d)와 나사결합됨과 아울러 일측이 회전이송판(51)의 수직축(51a)에 결합된 볼너트(53e)로 이루어져 있다.

따라서, 수직구동모터(53a)의 회전력에 의해 회전하는 제 1 기어(53b)에 의해 제 2 기어(53c)가 함께 회전하며, 이로 인해 수직리드스크류(53d)는 회전함으로써 볼너트(53d)를 수직방향으로 이동시킴으로써 회전이송판(51)을 수직방향으로 이동시키게 된다.

회전구동수단은 미도시된 회전구동모터의 회전에 의해 수직축(51a)을 회전시킴으로써 회전이송판(51)을 회전시키게 된다.

이러한 종래의 웨이퍼 카세트 이송장치(50)는 카세트 트랜스퍼로부터 웨이퍼 카세트(1)가 로딩/언로딩되는 곳에 한 쌍의 카세트 플랫폼(52)이 위치하며, 나머지한 쌍의 카세트 플랫폼(52)은 웨이퍼 트랜스퍼(20)에 의해 공정 챔버(10)로 로딩/언로딩되는 웨이퍼를 장착하는 웨이퍼 카세트(1)가 놓이는 곳에 위치한 상태에서, 카세트 도어(40)가 오픈되어 카세트 트랜스퍼(미도시 됨)로부터 두 개의 웨이퍼 카세트(1)가 한 쌍의 카세트 플랫폼(52)에 안착되고, 나머지 한 쌍의 카세트 플랫폼(52)에는 포토레지스트 애싱 공정을 수행하는 웨이퍼들이 장착된 웨이퍼 카세트(1)가 안착된다.

나머지 한 쌍의 카세트 플랫폼(52)에 안착된 웨이퍼 카세트(1)의 웨이퍼들이 포토레지스트 애싱 공정을 완료하면, 수직구동수단(53)에 의해 회전이송판(51)이 하측으로 이동한다.

하측으로 이동한 회전이송판(51)은 회전구동수단에 의해 회전하여 각 쌍의 웨이퍼 카세트(1)가 서로 위치를 바꾸게 되면, 다시 수직구동수단(53)에 의해 회전이송판(51)은 수직으로 상승하게 된다.

회전이송판(51)이 수직으로 상승하면, 웨이퍼 카세트(1)가 로딩/언로딩되는 측에 위치한 두 개의 웨이퍼 카세트(1)는 카세트 트랜스퍼에 의해 후속공정을 위해 언로딩되며, 공정 챔버(10)로 웨이퍼가 로딩/언로딩되는 측에 위치한 두 개의 웨이퍼 카세트(1)는 웨이퍼 트랜스퍼(20)에 의해 공정 챔버(10)로 로딩/언로딩되어 포토레지스트 애싱 공정을 수행하게 된다.

이와 같은 종래의 포토레지스트 스트립퍼의 웨이퍼 카세트 이송장치는 웨이퍼 카세트를 두 개씩 로딩하여 두 개의 웨이퍼 카세트에 장착된 웨이퍼들에 대하여 포토레지스트 애싱 공정을 수행하게 된다.

따라서, 두 개의 웨이퍼 카세트중 어느 하나만의 웨이퍼 카세트에 장착된 웨이퍼들이 포토레지스트 애싱 공정을 마치더라도 나머지 하나의 웨이퍼 카세트에 장착된 웨이퍼들이 포토레지스트 애싱 공정을 마칠 때까지는 후속공정을 위해 언로딩되지 못하고 장비 내에 대기해야 하며, 하나의 웨이퍼 카세트만을 사용하여 포토레지스트 애싱 공정을 수행하더라도 나머지 세 개의 웨이퍼 카세트를 빈 상태로 진행해야 하므로 웨이퍼의 생산성을 저해시키는 문제점을 가지고 있었다.

또한, 장비의 외측으로부터 로딩된 두 개의 웨이퍼 카세트와 포토레지스트 애싱 공정을 마친 두 개의 웨이퍼 카세트를 서로 교대하기 위해서는 회전이송판이 회전해야 하므로 이 경우 입출력 포트의 내부는 회전이송판의 회전반경을 확보해야 하므로 포토레지스트 스트립퍼의 부피가 클 수 밖에 없다는 문제점을 가지고 있었다.

본 발명은 상술한 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 입출력 포트 내로 로딩된 웨이퍼 카세트를 다른 로딩된 카세트와는 무관하게 독립적으로 웨이퍼 트랜스퍼로 이송시켜서 포트레지스트 애싱 공정을 마친 후 언로딩시키기 위해 이송시킴으로써 웨이퍼 카세트가 대기하는 시간을 없앰과 동시에 두 개 또는 그 이상의 웨이퍼 카세트가 연속적으로 공정을 진행토록 할 수 있고, 이로 인해 웨이퍼의 생산성을 향상시키며, 웨이퍼 카세트가 수평방향 및 수직방향으로만 이동함으로써 장비가 차지하는 부피를 줄일 수 있는 포토레지스트 스트립퍼의 웨이퍼 카세트 이송장치를 제공하는데 있다.

이와 같은 목적을 실현하기 위한 본 발명은, 입출력 포트 내측에 웨이퍼 카세트가 안착되는 한 쌍의 이송판과; 웨이퍼 카세트가 로딩/언로딩되는 입출력 포트의 내측 일단에 설치되며, 이송판을 하나씩 수직방향으로 이송시키는 제 1 수직이송부와; 웨이퍼 카세트로부터 공정 챔버로 웨이퍼가 로딩/언로딩되는 입출력 포트의 내측 타단에 설치되며, 이송판을 하나씩 수직방향으로 이송시키는 제 2 수직이송부와; 이송판이 상부에 위치할 때 상부에 위치한 이송판을 수평방향으로 이송시키는 제 1 수평이송부와; 이송판이 하부에 위치할 때 하부에 위치한 이송판을 수평방향으로 이송시키는 제 2 수평이송부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

제 1 수직이송부 또는 제 2 수직이송부는 각각, 이송판이 상측면에 안착되며, 일측에 수직방향으로 나사홀을 형성하는 승강판과; 승강판의 나사홀에 나사결합되는 수직리드스크류와; 수직리드스크류의 하단과 회전축이 축결합되는 수직구동모터를 포함하는 것을 특징으로 한다.

제 1 수직이송부 또는 제 2 수직이송부는 각각, 승강판의 일측에 수직으로 형성되는 가이드홀과; 가이드홀에 슬라이딩 결합되는 수직가이드바를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

제 1 수평이송부 또는 제 2 수평이송부는 각각, 각각의 이송판이 수평방향으로 슬라이딩 이송될 수 있도록 제 1 및 제 2 수직이송부의 승강판이 상부 또는 하부에 위치할 때 승강판 사이에 설치되는 지지판과; 지지판의 일측에 일정 간격을 두고 이송판이 이동하는 방향과 평행하도록 설치되는 수평리드스크류와; 수평리드스크류의 일단과 회전축이 축결합되는 수평구동모터와; 수평리드스크류에 일측이나사결합되며, 타측이 이송판이 진행하고자 하는 측의 반대쪽 측면에 밀착되는 수평이송부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.

제 1 수평이송부 또는 제 2 수평이송부는 각각, 수평이송부재의 일측에 연장하여 형성되며, 이송판이 진행하는 방향과 평행하도록 가이드홀을 형성하는 가이드돌기와; 가이드돌기의 가이드홀에 슬라이딩 결합되며, 수평리드스크류에 평행하게 설치되는 수평가이드바를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

카세트 도어는 장비의 외측으로부터 로딩/언로딩되는 웨이퍼 카세트가 출입하도록 일측에 개구를 형성하며, 개구에 상하로 슬라이딩됨으로써 입출력 포트를 밀폐 또는 개방시키는 셔터를 구비한 것을 특징으로 한다.

도 1은 종래의 포토레지스트 스트립퍼를 개략적으로 도시한 평면도이고,

도 2는 종래의 포토레지스트 스트립퍼의 웨이퍼 카세트 이송장치를 도시한 측면도이고,

도 3은 본 발명에 따른 포토레지스트 스트립퍼의 웨이퍼 카세트 이송장치를 보이기 위해 입출력 포트를 부분 절개한 도면이고,

도 4는 본 발명에 따른 포토레지스트 스트립퍼의 웨이퍼 카세트 이송장치의 제 1 수직이송부를 도시한 측면도이고,

도 5는 본 발명에 따른 포토레지스트 스트립퍼의 웨이퍼 카세트 이송장치의 제 2 수직이송부를 도시한 측면도이고,

도 6은 본 발명에 따른 포토레지스트 스트립퍼의 웨이퍼 카세트 이송장치의 제 1 수평이송부를 도시한 측면도이고,

도 7은 본 발명에 다른 포토레지스트 스트립퍼의 웨이퍼 카세트 이송장치의 제 2 수평이송부를 도시한 측면도이고,

도 8은 본 발명에 따른 포토레지스트 스트립퍼의 웨이퍼 카세트 이송장치의 이송판과 제 1 승강판이 슬라이딩 결합됨을 보인 정면도이고,

도 9는 본 발명에 따른 포토레지스트 스트립퍼의 웨이퍼 카세트 이송장치의 카세트 도어를 도시한 사시도이다.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >

100 ; 입출력 포트 200, 300 ; 이송판

400 ; 제 1 수직이송부 410 ; 제 1 승강판

420 ; 제 1 수직리드스크류 430 ; 제 1 수직구동모터

500 ; 제 2 수직이송부 510 ; 제 2 승강판

520 ; 제 2 수직리드스크류 530 ; 제 2 수직구동모터

600 ; 제 1 수평이송부 610 ; 제 1 지지판

620 ; 제 1 수평리드스크류 630 ; 제 1 수평구동모터

640 ; 제 1 수평이송부재 700 ; 제 2 수평이송부

710 ; 제 2 지지판 720 ; 제 2 수평리드스크류

730 ; 제 2 수평구동모터 740 ; 제 2 수평이송부재

800 ; 카세트 도어 810 ; 개구

820 ; 셔터

이하, 본 발명의 가장 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 더욱 상세히 설명하기로 한다.

도 3은 본 발명에 따른 포토레지스트 스트립퍼의 웨이퍼 카세트 이송장치를 보이기 위해 입출력 포트를 부분 절개한 도면이고, 도 4는 본 발명에 따른 포토레지스트 스트립퍼의 웨이퍼 카세트 이송장치의 제 1 수직이송부를 도시한 측면도이고, 도 5는 본 발명에 따른 포토레지스트 스트립퍼의 웨이퍼 카세트 이송장치의 제 2 수직이송부를 도시한 측면도이고, 도 6은 본 발명에 따른 포토레지스트 스트립퍼의 웨이퍼 카세트 이송장치의 제 1 수평이송부를 도시한 측면도이고, 도 7은 본 발명에 다른 포토레지스트 스트립퍼의 웨이퍼 카세트 이송장치의 제 2 수평이송부를도시한 측면도이다.

도시된 바와 같이, 입출력 포트(100)의 내측에 구비되며 내측으로 로딩된 웨이퍼 카세트(1)를 포토레지스트 애싱 공정을 진행하기 위해 웨이퍼 트랜스퍼(20; 도 1에 도시됨)로 이송하거나 포토레지스트 애싱 공정을 마친 웨이퍼를 장착한 웨이퍼 카세트(1)를 언로딩하기 위해 이송하는 웨이퍼 카세트 이송장치는 크게, 한 쌍의 이송판(200,300)과, 제 1 및 제 2 수직이송부(400,500)와, 제 1 및 제 2 수평이송부(600,700)를 포함한다.

이송판(200,300)은 입출력 포트(100) 내측에 각각 구비되며, 각각의 상측면에는 웨이퍼 카세트(1)가 각각 안착된다.

제 1 수직이송부(400)는 웨이퍼 카세트(1)가 로딩/언로딩되는 입출력 포트(100)의 내측 일단에 설치되며, 이송판(200,300)을 하나씩 수직방향으로 이송시킨다.

제 1 수직이송부(400)는 이송판(200,300)이 하나씩 상측면에 안착되며, 일측에 수직방향으로 나사홀을 형성하는 제 1 승강판(410)과, 이 제 1 승강판(410)의 나사홀에 나사결합되는 제 1 수직리드스크류(420)와, 이 제 1 수직리드스크류(420)의 하단과 회전축이 축결합되는 제 1 수직구동모터(430)를 포함한다.

제 2 수직이송부(500)는 공정 챔버(10; 도 1에 도시됨)로 웨이퍼가 로딩/언로딩되는 즉, 공정 챔버(10)로 웨이퍼를 로딩/언로딩하는 웨이퍼 트랜스퍼(20; 도 1에 도시됨)에 인접하는 입출력 포트(100)의 내측 타단에 설치되며, 이송판(200,300)을 하나씩 수직방향으로 이송시킨다.

제 2 수직이송부(500)는 이송판(200,300)이 하나씩 상측면에 안착되며, 일측에 수직방향으로 나사홀을 형성하는 제 2 승강판(510)과, 이 제 2 승강판(510)의 나사홀에 나사결합되는 제 2 수직리드스크류(520)와, 이 제 2 수직리드스크류(520)의 하단과 회전축이 축결합되는 제 2 수직구동모터(530)를 포함한다.

한편, 제 1 및 제 2 수직이송부(400,500)의 제 1 및 제 2 승강판(410,510)는 각각의 하측면중 제 1 및 제 2 수직리드스크류(420,520)와 각각 나사결합되는 부위에 제 1 및 제 2 수직리드스크류(420,520)에 각각 나사결합되는 보스(411,511)를 연장하여 형성함이 바람직하다.

따라서, 각각의 보스(411,511)에 의해 제 1 및 제 2 승강판(410,510)과 제 1 및 제 2 수직리드스크류(420,520)의 나사결합부위를 보강함으로써 제 1 및 제 2 승강판(410,510)이 제 1 및 제 2 수직리드스크류(420,520)을 따라 안정적으로 수직이동하도록 한다.

또한, 제 1 및 제 2 수직이송부(400,500)의 제 1 및 제 2 수직리드스크류(420,520)는 각각의 상단에 스톱퍼(421,521)가 결합됨이 바람직하다. 따라서, 제 1 및 제 2 승강판(410,510)이 제 1 및 제 2 수직리드스크류(420,520)로부터 이탈되는 것을 방지한다.

그리고, 제 1 및 제 2 수직이송부(400,500)는 각각의 제 1 및 제 2 승강판(410,510)의 일측에 수직으로 형성되는 가이드홀(미도시 됨)과, 이 가이드홀에 각각 슬라이딩 결합되는 제 1 및 제 2 수직가이드바(440,540)를 더 포함할 수 있다. 따라서, 제 1 및 제 2 승강판(410,510)이 제 1 및 제 2수직리드스크류(420,520)를 따라 수직방향으로 이동시 제 1 및 제 2 승강판(410,510)을 가이드하게 된다.

이러한 제 1 및 제 2 수직가이드바(440,540)는 각각 상단에 스톱퍼(441,541)가 결합됨이 바람직하며, 이 스톱퍼(441,541)에 의해 제 1 및 제 2 승강판(410,510)이 제 1 및 제 2 수직가이드바(440,540)로부터 이탈되는 것을 방지하게 된다.

제 1 수평이송부(600)는 각각의 이송판(200,300)이 상부에 위치할 때 상부에 위치한 이송판(200,300)을 수평방향으로 이송시킨다.

이러한 제 1 수평이송부(600)는 각각의 이송판(200,300)이 수평방향으로 슬라이딩 이송될 수 있도록 제 1 및 제 2 수직이송부(400,500)의 제 1 및 제 2 승강판(410,510)이 상부에 위치할 때 제 1 및 제 2 승강판(410,510) 사이에 설치되는 제 1 지지판(610)과, 이 제 1 지지판(610)의 일측에 일정 간격을 두고 이송판(200,300)이 이동하는 방향과 평행하도록 설치되는 제 1 수평리드스크류(620)와, 이 제 1 수평리드스크류(620)의 일단과 회전축이 축결합되는 제 1 수평구동모터(630)과, 제 1 수평리드스크류(620)에 일측이 나사결합되며 타측이 이송판(200,300)이 진행하고자 하는 측의 반대쪽 측면에 밀착되는 제 1 수평이송부재(640)를 포함한다.

제 2 수평이송부(700)는 각각의 이송판(200,300)이 하부에 위치할 때 하부에 위치한 이송판(200,300)을 수평방향으로 이송시킨다.

이러한 제 2 수평이송부(700)는 각각의 이송판(200,300)이 수평방향으로 슬라이딩 이송될 수 있도록 제 1 및 제 2 수직이송부(400,500)의 제 1 및 제 2 승강판(410,510)이 하부에 위치할 때 제 1 및 제 2 승강판(410,510) 사이에 설치되는 제 2 지지판(710)과, 이 제 2 지지판(710)의 일측에 일정 간격을 두고 이송판(200,300)이 이동하는 방향과 평행하도록 설치되는 제 2 수평리드스크류(720)와, 이 제 2 수평리드스크류(720)의 일단과 회전축이 축결합되는 제 2 수평구동모터(730)과, 제 2 수평리드스크류(720)에 일측이 나사결합되며 타측이 이송판(200,300)이 진행하고자 하는 측의 반대쪽 측면에 밀착되는 제 2 수평이송부재(740)를 포함한다.

한편, 도 8의 본 발명에 따른 포토레지스트 스트립퍼의 웨이퍼 카세트 이송장치의 이송판과 제 1 승강판이 슬라이딩 결합됨을 보인 정면도에서와 마찬가지로,이송판(200,300)과 제 1 및 제 2 수평이송부(600,700)의 제 1 및 제 2 수평이송부재(640,740)는 바닥면에 진행방향과 동일한 방향으로 가이드홈(210,310,641,741)이 형성되며, 이 가이드홈(210,310,641,741)에 슬라이딩 결합되도록 제 1 및 제 2 수평이송부(600,700)의 제 1 및 제 2 지지판(610,710)의 상측면과 제 1 및 제 2 수직이송부(400,500)의 제 1 및 제 2 승강판(410,510)의 상측면에 가이드레일(611,711,412,512)이 형성됨이 바람직하다.

따라서, 이송판(200,300)과 제 1 및 제 2 수평이송부재(640,740)가 수평방향으로 이동시 이들에 형성된 가이드홈(210,310,641,741)이 제 1 및 제 2 지지판(610,710)과 제 1 및 제 2 승강판(410,510)의 가이드레일(611,711,412,512)을 따라 이동함으로써 이송판(200,300)이 수평이동 중에 이동경로에서 이탈됨을 방지하며, 제 1 및 제 2 수평이송부재(640,740)가 원활하게 수평이동토록 한다.

또한, 각각의 이송판(200,300)의 가이드홈(210,310)에는 이송되는 방향으로 회전하는 복수의 로울러(211,311)가 구비될 수 있다. 따라서, 각각의 이송판(200,300)이 가이드홈(210,310)에 제 1 및 제 2 지지판(610,710)과 제 1 및 제 2 승강판(410,510)의 가이드레일(611,711,412,512)을 따라 이동시 원활하게 이동하게 한다.

그리고, 제 1 및 제 2 수평이송부(600,700)는 각각의 제 1 및 제 2 수평이송부재(640,740)의 일측에 연장하여 형성되며 이송판(200,300)이 진행하는 방향과 평행하도록 가이드홀(미도시됨)을 형성하는 가이드돌기(642,742)와, 이 가이드돌기(642,742)의 가이드홀에 슬라이딩 결합되며 제 1 및 제 2 수평리드스크류(620,720)에 각각 평행하게 설치되는 제 1 및 제 2 수평가이드바(650,750)를 더 포함할 수 있다.

따라서, 제 1 및 제 2 수평이송부재(640,740)가 제 1 및 제 2 수평리드스크류(620,720)를 따라 수평이동시 제 1 및 제 2 수평가이드바(650,750)에 의해 가이드되어 이송판(200,300)을 안정되게 이송시킬 수 있다.

한편, 입출력 포트(100)의 내측으로 웨이퍼 카세트(1)가 로딩/언로딩시 출입구를 제공하는 카세트 도어(800)는 장비의 외측으로부터 웨이퍼 카세트(1)가 출입하도록 일측에 개구(810)를 형성하며, 이 개구(810)에 상하로 슬라이딩됨으로써 입출력 포트(100)를 밀폐 또는 개방시키는 셔터(820)를 구비할 수 있다.

개구(810)는 셔터(820)가 상하로 슬라이딩될 수 있도록 셔터(820)의 가장자리가 슬라이딩 결합되는 홈(811)을 내주면에 형성하고 있다.

셔터(820)는 하단에 수직으로 설치된 유압실린더(830)의 피스톤로드(831)가 결합됨이 바람직하다. 따라서, 유압실린더(830)의 피스톤로드(831)의 왕복에 의해 셔터(820)가 개구(810)에 형성된 홈(811)을 따라 상하로 이동한다.

이와 같은 구조로 이루어진 포토레지스트 스트립퍼의 웨이퍼 카세트 이송장치의 동작은 다음과 같이 이루어진다.

카세트 도어(800)의 개구(810)로부터 셔터(820)가 개방되면 이 개구(810)를 통하여 웨이퍼 카세트(1)가 제 1 승강판(410) 위에 위치하는 이송판(200)에 로딩되며, 제 2 승강판(510)에 위치하는 이송판(300)에는 공정 챔버(10; 도 1에 도시됨)로부터 웨이퍼 트랜스퍼(20; 도 1에 도시됨)에 의해 포토레지스트 애싱 공정을 마친 웨이퍼들이 장착된 웨이퍼 카세트(1)가 위치한다.

이러한 상태에서 이송판(200)은 도 6에서 나타낸 바와 같이, 제 1 수평구동모터(630)에 의해 회전하는 제 1 수평리드스크류(620)에 의해 수평이동하는 제 1 수평이송부재(640)에 의해 제 1 승강판(410)으로부터 제 1 지지판(610)상으로 이동하여 일시 정지하게 되면, 제 1 승강판(410)은 제 1 수직구동모터(430)에 의해 회전하는 제 1 수직리드스크류(420)에 의해 하부로 이동한다.

이 때, 포토레지스트 애싱 공정을 수행한 웨이퍼들을 장착한 웨이퍼 카세트(1)가 안착된 이송판(300)이 위치한 제 2 승강판(510)은 도 5에서 나타낸 바와 같이, 제 2 수직구동모터(530)에 의해 회전하는 제 2 수직리드스크류(520)에 의해 하부로 하강하고, 하강된 제 2 승강판(510)에 위치한 이송판(300)은 도 7에서나타낸 바와 같이, 제 2 수평구동모터(730)에 의해 회전하는 제 2 수평리드스크류(720)에 의해 수평이동하는 제 2 수평이송부재(740)에 의해 제 2 지지판(710)을 통과하여 하부에 위치한 제 1 승강판(410)으로 이송되며, 제 2 승강판(510)은 다시 상부로 상승된다.

제 1 승강판(410)으로 수평 이송된 이송판(300)은 제 1 승강판(410)과 함께 상부로 상승하고, 상부로 상승한 이송판(300)에 안착된 웨이퍼 카세트(1)는 셔터(820)에 의해 개방된 카세트 도어(800)의 개구(810)를 통해 외측으로 언로딩된다.

한편, 제 1 지지판(610)에 일시 정지된 이송판(200)은 제 1 수평구동모터(630)에 의해 회전하는 제 1 수평리드스크류(620)에 의해 수평이동하는 제 1 수평이송부재(640)에 의해 상부에 위치한 제 2 승강판(510)으로 이송되며, 제 2 승강판(510)에 위치한 이송판(200) 상의 웨이퍼 카세트(1)로부터 웨이퍼들이 웨이퍼 트랜스퍼(20; 도 1에 도시됨)에 의해 공정 챔버(10; 도 1에 도시됨)로 순서적으로 로딩/언로딩된다.

이러한 포토레지스트 스트립퍼의 웨이퍼 카세트 이송장치는 상기한 과정을 반복 수행함으로써 계속적으로 외측으로부터 로딩된 웨이퍼 카세트(1)를 웨이퍼 트랜스퍼(20; 도 1에 도시됨)로 로딩하거나 포토레지스트 애싱 공정을 수행한 웨이퍼들이 장착된 웨이퍼 카세트(1)를 외측으로 언로딩하게 된다.

또한, 포토레지스트 스트립퍼의 웨이퍼 카세트 이송장치는 상기한 과정의 역순으로 웨이퍼 카세트(1)를 이송할 수 있다.

그리고, 포토레지스트 스트립퍼의 웨이퍼 카세트 이송장치는 도 3에 나타낸 바와 같이 두 개가 구비될 수 있으나, 공정 챔버(10; 도 1에 도시됨)의 설치 갯수등에 따라 두 개를 초과하는 갯수로 구비될 수도 있다.

이상과 같이 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 입출력 포트 내로 로딩된 웨이퍼 카세트를 다른 로딩된 카세트와는 무관하게 독립적으로 웨이퍼 트랜스퍼로 이송시켜서 포트레지스트 애싱 공정을 마친 후 언로딩시키기 위해 이송시킴으로써 웨이퍼 카세트가 대기하는 시간을 없앰과 동시에 두 개 또는 그 이상의 웨이퍼 카세트가 연속적으로 공정을 진행토록 할 수 있다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 포토레지스트 스트립퍼의 웨이퍼 카세트 이송장치는 입출력 포트 내로 로딩된 웨이퍼 카세트를 다른 로딩된 카세트와는 무관하게 독립적으로 웨이퍼 트랜스퍼로 이송시켜서 포트레지스트 애싱 공정을 마친 후 언로딩시키기 위해 이송시킴으로써 웨이퍼 카세트가 대기하는 시간을 없앰과 동시에 두 개 또는 그 이상의 웨이퍼 카세트가 연속적으로 공정을 진행토록 할 수 있고, 이로 인해 웨이퍼의 생산성을 향상시키며, 웨이퍼 카세트가 수평방향 및 수직방향으로만 이동함으로써 장비가 차지하는 부피를 줄일 수 있는 효과를 가지고 있다.

이상에서 설명한 것은 본 발명에 따른 포토레지스트 스트립퍼의 웨이퍼 카세트 이송장치를 실시하기 위한 하나의 실시예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 발명의요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.

Claims

카세트 도어를 통하여 내측으로 로딩된 웨이퍼 카세트가 공정 챔버로 웨이퍼를 로딩/언로딩하는 웨이퍼 트랜스퍼로 이송되거나 상기 공정 챔버로부터 포토레지스트 애싱 공정을 마친 웨이퍼를 장착한 웨이퍼 카세트가 상기 카세트 도어를 통해 외측으로 언로딩되기 위해 이송되는 입출력 포트를 구비한 포토레지스트 스트립퍼에 있어서,

상기 입출력 포트 내측에 상기 웨이퍼 카세트가 안착되는 한 쌍의 이송판과;

상기 웨이퍼 카세트가 로딩/언로딩되는 상기 입출력 포트의 내측 일단에 설치되며, 상기 이송판을 하나씩 수직방향으로 이송시키는 제 1 수직이송부와;

상기 웨이퍼 카세트로부터 상기 공정 챔버로 웨이퍼가 로딩/언로딩되는 상기 입출력 포트의 내측 타단에 설치되며, 상기 이송판을 하나씩 수직방향으로 이송시키는 제 2 수직이송부와;

상기 이송판이 상부에 위치할 때 상부에 위치한 상기 이송판을 수평방향으로 이송시키는 제 1 수평이송부와;

상기 이송판이 하부에 위치할 때 하부에 위치한 상기 이송판을 수평방향으로 이송시키는 제 2 수평이송부;

를 포함하는 것을 특징으로 하는 포토레지스트 스트립퍼의 웨이퍼 카세트 이송장치.
제 1 항에 있어서, 상기 제 1 수직이송부 또는 상기 제 2 수직이송부는 각각,

상기 이송판이 상측면에 안착되며, 일측에 수직방향으로 나사홀을 형성하는 승강판과;

상기 승강판의 나사홀에 나사결합되는 수직리드스크류와;

상기 수직리드스크류의 하단과 회전축이 축결합되는 수직구동모터;

를 포함하는 것을 특징으로 포토레지스트 스트립퍼의 웨이퍼 카세트 이송장치.
제 2 항에 있어서, 상기 각각의 승강판은 하측면중 상기 수직리드스크류와 나사결합되는 부위에 상기 수직리드스크류에 나사결합되는 보스를 연장하여 형성하는 것을 특징으로 하는 포토레지스트 스트립퍼의 웨이퍼 카세트 이송장치.
제 2 항 또는 제 3 항에 있어서, 상기 각각의 수직리드스크류는 상단에 상기 승강판이 상기 수직리드스크류로부터 이탈됨을 억제하는 스톱퍼가 결합되는 것을 특징으로 하는 포토레지스트 스트립퍼의 웨이퍼 카세트 이송장치.
제 2 항에 있어서, 상기 제 1 수직이송부 또는 상기 제 2 수직이송부는 각각,

상기 승강판의 일측에 수직으로 형성되는 가이드홀과;

상기 가이드홀에 슬라이딩 결합되는 수직가이드바;

를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 포토레지스트 스트립퍼의 웨이퍼 카세트 이송장치.
제 5 항에 있어서, 상기 각각의 수직가이드바는 상단에 상기 승강판의 가이드홀이 상기 수직가이드바로부터 이탈됨을 억제하는 스톱퍼가 결합되는 것을 특징으로 하는 포토레지스트 스트립퍼의 웨이퍼 카세트 이송장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 제 1 수평이송부 또는 상기 제 2 수평이송부는 각각,

상기 각각의 이송판이 수평방향으로 슬라이딩 이송될 수 있도록 상기 제 1 및 제 2 수직이송부의 승강판이 상부 또는 하부에 위치할 때 상기 승강판 사이에 설치되는 지지판과;

상기 지지판의 일측에 일정 간격을 두고 상기 이송판이 이동하는 방향과 평행하도록 설치되는 수평리드스크류와;

상기 수평리드스크류의 일단과 회전축이 축결합되는 수평구동모터와;

상기 수평리드스크류에 일측이 나사결합되며, 타측이 상기 이송판이 진행하고자 하는 측의 반대쪽 측면에 밀착되는 수평이송부재;

를 포함하는 것을 특징으로 하는 포토레지스트 스트립퍼의 웨이퍼 카세트 이송장치.
제 7 항에 있어서, 상기 각각의 이송판과 상기 각각의 수평이송부재는 바닥면에 가이드홈이 형성되며, 상기 가이드홈에 슬라이딩 결합되도록 상기 지지판의 상측면과 상기 승강판의 상측면에 가이드레일이 형성되는 것을 특징으로 하는 포토레지스트 스트립퍼의 웨이퍼 카세트 이송장치.
제 8 항에 있어서, 상기 각각의 이송판의 가이드홈에는 이송되는 방향으로 회전하는 복수의 로울러가 구비되는 것을 특징으로 하는 포토레지스트 스트립퍼의 웨이퍼 카세트 이송장치.
제 7 항에 있어서, 상기 제 1 수평이송부 또는 상기 제 2 수평이송부는 각각,

상기 수평이송부재의 일측에 연장하여 형성되며, 상기 이송판이 진행하는 방향과 평행하도록 가이드홀을 형성하는 가이드돌기와;

상기 가이드돌기의 가이드홀에 슬라이딩 결합되며, 상기 수평리드스크류에 평행하게 설치되는 수평가이드바;

를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 포토레지스트 스트립퍼의 웨이퍼 카세트 이송장치.
제 1 항에 있어서, 상기 카세트 도어는 장비의 외측으로부터 로딩/언로딩되는 웨이퍼 카세트가 출입하도록 일측에 개구를 형성하며, 상기 개구에 상하로 슬라이딩됨으로써 상기 입출력 포트를 밀폐 또는 개방시키는 셔터를 구비한 것을 특징으로 하는 포토레지스트 스트립퍼의 웨이퍼 카세트 이송장치.
제 11 항에 있어서, 상기 셔터는 하단에 수직으로 설치된 유압실린더의 피스톤로드가 결합되며, 상기 유압실린더의 피스톤로드의 왕복에 의해 상기 셔터가 상하로 이동하는 것을 특징으로 하는 포토레지스트 스트립퍼의 웨이퍼 카세트 이송장치.