KR100586119B1 - 기판처리장치 - Google Patents

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기요히사 다테야마
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Abstract

1. 청구범위에 기재된 발명이 속하는 기술분야
기판처리장치
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제
기판처리시에 있어서는 덮개의 개폐를 신속히 행할 수 있고, 보수관리시에 있어서는 장치를 분해하지 않고 간편하고 안전하게 작업할 수 있는 기판처리장치를 제공함.
3. 발명의 해결방법의 요지
기판처리장치는, 기판재치대와, 상부 개구를 가지며, 상기 기판재치대를 둘러싸는 컵부와, 이 컵의 상부개구를 개폐하는 덮개와, 이 덮개를 지지하는 지지아암과, 이 지지아암을 직접 또는 간접으로 지지하는 제 1 피스톤과, 이 제 1 피스톤을 승강안내하는 제 1 실린더를 가진 제 1 승강기구와, 상기 지지아암을 직접 또는 간접으로 지지하는 제 2 피스톤과, 이 제 2 피스톤을 승강안내하는 제 2 실린더를 가진 제 2 승강기구와, 상기 제 1 및 제 2 실린더에 압력유체를 각각 공급하여, 상기 제 1 및 제 2 실린더로부터 압력유체를 각각 배기하는 구동회로와, 이 구동회로의 동작을 각각 제어하는 제어기구를 구비한다.
4. 발명의 중요한 용도
액정 디스플레이(LCD)용 유리기판과 같은 대형기판을 처리하기 위한 처리공간을 규정하는 컵과 덮개를 구비한 기판처리장치에 사용됨.

Description

기판처리장치
본 발명은, 액정 디스플레이(LCD)용 유리기판과 같은 대형기판을 처리하기 위한 처리공간을 규정하는 컵과 덮개를 구비한 기판처리장치에 관한 것이다.
LCD의 제조공정에서는 반도체디바이스의 제조공정과 마찬가지로 포토리소그래피기술이 이용된다. LCD의 포토리소그래피에 있어서는, 유리기판상에 레지스트도포막을 형성하여, 이것을 패턴노광하고, 그 위에 현상한다. 그리고, 기판에 형성된 반도체층, 절연체층, 전극층을 선택적으로 에칭하여, ITO(Indium Tin Oxide)의 얇은 막이나 전극패턴 등을 형성한다.
LCD기판에 레지스트액을 도포하는 경우에는 소위 스핀코팅법을 이용한다. 스핀코팅법에는 예컨대 미국특허번호5,688,322호 공보에 개시된 도포장치가 사용된다. 이 종래의 도포장치에서는, 덮개를 열어, 기판을 컵내에 반입하고, 스핀척으로 기판을 흡착유지하여, 용제 및 레지스트액을 기판의 표면에 떨어뜨리고, 덮개를 닫고, 스핀척으로 기판을 회전시켜서, 덮개를 열어, 기판을 컵으로부터 반출하고, 덮개를 닫는다.
덮개는 에어실린더기구에 의해 승강되는 지지아암에 외팔보지지되어 있다. 종래의 장치에 있어서는, 덮개를 컵으로부터 들어올리는 최대 스트로크량이 실린더의 스트로크량과 같고, 덮개와 컵과의 이간거리가 짧기 때문에, 보수관리를 위해 컵 내부의 청소작업을 하는 데 충분한 공간을 확보할 수가 없었다. 그 때문에, 컵 내부를 청소할 때 장치본체로부터 덮개와 지지아암을 분해해야 할 필요가 있어서 불편하다.
또한, 덮개나 지지아암은 대형이고 무거우므로 취급이 어렵고, 이들을 장치본체에서 분해하거나 부착하거나 할 때에, 이들을 컵 및 그 부속품에 부딪쳐 파손할 우려가 있다. 또한, 덮개를 상승시킬 때에 에어실린더기구에 과대한 부하가 걸리기 때문에 고장이 많고, 장치수명이 짧다. 한편, 덮개를 하강시킬 때에는 실린더내의 공기를 배기하는데 지나치게 시간이 걸리기 때문에 처리량이 낮다.
본 발명의 목적은, 기판처리시에 있어서는 덮개의 개폐를 신속히 행할 수 있고, 보수관리시에 있어서는 장치를 분해하지 않고 간편하고 안전하게 작업할 수 있는 기판처리장치를 제공하는 데에 있다.
본 발명에 따른 기판처리장치는, 기판재치대와, 상부 개구를 가지며, 상기 기판재치대를 둘러싸는 컵과, 이 컵의 상부 개구를 개폐하는 덮개와, 이 덮개를 지지하는 지지아암과, 이 지지아암을 직접 또는 간접으로 지지하는 제 1 피스톤과, 이 제 1 피스톤을 승강안내하는 제 1 실린더를 가진 제 1 승강기구와, 상기 지지아암을 직접 또는 간접으로 지지하는 제 2 피스톤과, 이 제 2 피스톤을 승강안내하는 제 2 실린더를 가진 제 2 승강기구와, 상기 제 1 및 제 2 실린더에 압력유체를 각각 공급하고, 상기 제 1 및 제 2 실린더로부터 압력유체를 각각 배기하는 구동회로와, 이 구동회로의 동작을 각각 제어하는 제어기구를 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 기판처리장치는, 기판재치대와, 상부 개구를 가지며, 상기 기판재치대를 둘러싸는 컵과, 이 컵의 상부 개구를 개폐하는 덮개와, 이 덮개를 지지하는 지지아암과, 이 지지아암을 승강시키는 구동력을 해당 지지아암에 전달하는 피스톤을 구비한 실린더기구와, 이 실린더기구의 피스톤 가장 높은 곳보다도 위쪽에 위치하는 윗 풀리와, 이 윗 풀리보다도 아래쪽에 위치하는 아랫 풀리와, 이들 위아래 풀리의 사이에 가로 놓여있고, 그 한쪽에 상기 지지아암이 연결된 무단(無端) 벨트와, 상기 지지아암 및 덮개와 균형이 맞도록 상기 무단 벨트의 다른쪽에 연결된 추를 구비하는 것을 특징으로 한다.
(실시예)
이하, 첨부도면을 참조하면서 본 발명의 여러가지 바람직한 실시형태에 대하여 설명한다.
도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 도포·현상처리시스템(1)은, 로더/언로더부(2)와, 제 1 프로세스부(3)와, 제 2 프로세스부(4)와, 제 3 프로세스부(5)와, 인터페이스부(6)를 구비하고 있다. 이 처리 시스템(1)은, LCD기판(G)에 포토레지스트액을 도포하고, 레지스트도포막을 현상하기 위한 여러가지 처리기구를 구비하고 있으며, 인터페이스부(6)를 통해 노광장치(7)에 연결되어 있다.
로더/언로더부(2)는 X축방향으로 각각 뻗어 나가는 카세트 재치대(10) 및 반송부(11)를 구비하고 있다. 카세트 재치대(10)에는 최대 4개의 카세트(C1, C2)가 재치된다. 이 중 2개의 카세트(C1)에는 처리전의 LCD기판(G)이 수납되고, 다른 2개의 카세트(C2)에는 처리후의 LCD기판(G)이 수납된다. 각 카세트(C1, C2)에는 예컨대 최대 25매까지의 LCD기판(G)이 수납가능하다.
로더/언로더부(2)의 반송부(11)에는 제 1 서브아암기구(13)가 설치되어 있다. 이 제 1 서브아암기구(13)는, 기판(G)을 카세트(C1, C2)에 대하여 출납하기 위한 홀더와, 이 홀더를 전진 또는 후퇴시키는 진퇴구동기구와, 홀더를 X축 방향으로 이동시키는 X축 구동장치와, 홀더를 Z축 방향으로 이동시키는 Z축 이동기구와, 홀더를 Z축 주위로 회전요동시키는 θ회전구동기구를 구비하고 있다.
제 1 프로세스부(3)는, Y축 방향으로 뻗는 중앙반송로(15A)와, 이 반송로(15A)를 따라 주행가능하게 설치된 제 1 주아암기구(14A)와, 복수의 처리유니트(16, 17, 18, 19)를 구비하고 있다. 반송로(15A)의 한쪽편에는 2개의 습식 세정유니트(16)가 배치되어 있다. 이 유니트(16)는 기판(G)에 세정처리액을 뿌리면서 회전브러시로 기판(G)의 표면을 마찰세정하기 위한 브러시 스크러버(SCR)를 구비하고 있다. 반송로(15A)의 다른쪽에는 가열유니트(17), 건식 세정유니트(18), 냉각유니트(19)가 배치되어 있다. 가열유니트(17)는 기판(G)을 가열하기 위한 상하 2단의 핫 플레이트(HP1)를 구비하고 있다. 건식 세정유니트(18)는 기판(G)에 자외선을 조사하여 기판(G)의 표면을 세정하기 위한 자외선 세정장치(UV)를 구비하고 있다. 냉각유니트(19)는 기판(G)을 냉각하기 위한 쿨링플레이트(COL1)를 구비하고 있다. 제 1 주아암기구(14A)는, 기판(G)을 유지하는 홀더(14a)와, 이 홀더(14a)를 전진 또는 후퇴시키는 진퇴구동기구와, 홀더(14a)를 Y축 방향으로 이동시키는 Y축 구동기구와, 홀더(14a)를 Z축 방향으로 이동시키는 Z축 이동기구와, 홀더(14a)를 Z축 주위로 요동회전시키는 θ 회전구동기구를 구비하고 있다.
제 2 프로세스부(4)는, Y축 방향으로 뻗어나가는 중앙반송로(15B)와, 이 반송로(15B)를 따라 주행가능하게 설치된 제 2 주아암기구(14B)와, 복수의 처리유니트(21, 24, 25, 26)를 구비하고 있다. 반송로(15B)의 한쪽편에는 레지스트도포/둘레가장자리 레지스트제거유니트(21)가 배치되어 있다. 이 유니트(21)는 기판(G)을 스핀회전시키면서 레지스트액을 도포하는 도포장치(CT)와, 기판(G)의 둘레가장자리부로부터 레지스트도포막을 제거하는 둘레가장자리 레지스트제거장치(ER)를 구비하고 있다. 반송로(15B)의 다른쪽에는 어드히젼/냉각유니트(24), 가열/냉각유니트(25), 가열/가열유니트(26)가 배치되어 있다. 어드히젼/냉각유니트(24)는, 기판(G)의 표면을 HMDS의 증기에 의해 소수화처리하는 어드히젼장치(AD)와, 기판(G)을 냉각하는 쿨링플레이트(COL3)를 구비하고 있다. 가열/냉각유니트(25)는, 기판(G)을 가열하는 핫플레이트(HP2)와, 기판(G)을 냉각하는 쿨링플레이트(COL3)를 구비하고 있다. 가열/가열유니트(26)는, 기판(G)을 가열하는 상하 2단의 핫플레이트(HP2)를 구비하고 있다.
제 3 프로세스부(5)는, Y축 방향으로 뻗어 나가는 중앙반송로(15C)와, 이 반송로(15C)를 따라 주행가능하게 설치된 제 3 주아암기구(14C)와, 복수의 처리유니트(28, 29, 30, 31, 32, 33, 34)를 구비하고 있다. 반송로(15C)의 한쪽편에는 3개의 현상유니트(28, 29, 30)가 배치되어 있다. 각 유니트(28, 29, 30)는 기판(G)에 현상액을 뿌려 레지스트도포막을 현상처리하기 위한 현상장치(DEV)를 구비하고 있다. 반송로(15C)의 다른쪽에는 타이틀러(titler)(31), 가열/가열유니트(32), 가열/냉각유니트(33, 34)가 배치되어 있다. 또, 제 2 및 제 3 주아암기구(14B, 14C)는 상기 제 1 주아암기구(l4A)와 실질적으로 동일하다. 또한, 제 1 프로세스부(3)와 제 2 프로세스부(4)와의 사이에는 냉각유니트(20)를 설치하고, 제 2 프로세스부(4)와 제 3 프로세스부(5)와의 사이에는 냉각유니트(27)를 설치하고 있다. 이들 냉각유니트(20, 27)는 처리대기의 기판(G)을 일시적으로 대기시켜 놓기 위해서도 사용된다.
인터페이스부(6)는 제 3 프로세스부와 노광장치(7)와의 사이에 설치되어 있다. 인터페이스부(6)는 반송/대기부(36) 및 주고받음부(37)를 구비하고 있다.
반송/대기부(36)에는 제 2 서브아암기구(35) 및 2개의 버퍼카세트(BC)가 설치되어 있다. 제 2 서브아암기구(35)는 제 1 서브아암기구(13)와 실질적으로 동일한 것이다. 각 버퍼카세트(BC)에는 처리대기의 기판(G)이 수납되고, 여기서 기판(G)은 일시적으로 대기하도록 되어 있다. 주고받음부(37)에는 주고받음대(도시하지 않음)가 설치되고, 이 주고받음대를 통해 노광장치(7)의 반송기구(도시하지 않음)와 제 2 서브아암기구(35)와의 사이에서 기판(G)이 주고받아지도록 되어 있다.
다음에, 도 3∼도 6을 참조하면서 레지스트도포/둘레가장자리 도포막제거유니트(21)에 대하여 설명한다.
도 4에 나타내는 바와 같이, 유니트(21)는 레지스트도포장치(21A)(CT) 및 둘레가장자리 도포막제거장치(21B)(ER)를 구비하고 있다. 유니트(21)의 정면벽에는 2개의 개폐구(도시하지 않음)가 형성되어, 한쪽의 개폐구를 통하여 레지스트도포장치(21A)에 기판(G)이 반입되고, 다른쪽의 개폐구를 통해 둘레가장자리 도포막제거장치(21B)에서 기판(G)이 반출되도록 되어 있다. 또, 레지스트도포장치(21A)와 둘레가장자리 도포막제거부(21B)와의 사이에는 이송기구(262)가 설치되어, 기판(G)이 레지스트도포장치(21A)로부터 둘레가장자리 도포막제거부(21B)를 향하여 이송되도록 되어 있다.
도 3 및 도 6에 나타내는 바와 같이, 레지스트도포장치(21A)는, 스핀척(43)과, 회전컵(CP)과, 드레인컵(41)과, 덮개(42)와, 도포액 공급기구(150)를 구비하고 있다. 스핀척(43)은, 스테핑모터(45)를 가진 회전구동기구와, 진공흡착기구(48A)와, 승강실린더기구(48B)를 구비하고 있다. 모터(45)의 구동풀리와 스핀척 회전축(47)의 종동풀리와의 사이에 벨트(46)가 감겨 있다. 진공흡착기구(48A)의 통로의 한쪽은 스핀척(43)의 윗면으로 개구하고, 다른쪽은 래버린스시일부를 통해 진공배기펌프(도시하지 않음)의 흡입측에 연이어 통하고 있다. 승강실린더기구(48B)의 로드는 스핀척 회전축(47)에 연결되어 있다.
스핀척(43)을 둘러싸도록 회전컵(CP)이 설치되어 있다. 이 회전컵(CP)과 스핀척(43)은 공통의 모터(45)에 의해 같이 회전되도록 되어 있다. 회전컵(CP)의 상부는 개구하고, 이것에 덮개(42)가 씌워지도록 되어 있다. 회전컵(CP)은 예컨대 830mm×650mm 사이즈의 기판(G)을 수납할 수 있는 용적을 갖는다. 회전컵(CP)의 바깥둘레 하부에는 복수의 배출구멍이 형성되고, 이들 배출구멍을 통해 액체방울이나 미스트가 회전컵(CP)으로부터 드레인컵(41)에 배출되도록 되어 있다.
또한, 회전컵(CP)을 둘러싸도록 드레인컵(41)이 설치되어 있다. 드레인컵(41)의 바닥부에는 복수의 배액구(41d)가 형성되고, 이들 배액구(41d)를 통하여 드레인컵(41)으로부터 회수재생장치(도시하지 않음)로 폐액이 배출되도록 되어 있다. 또한, 드레인컵(41)의 측둘레부에는 4개의 배기구(41f)가 형성되고, 이들 배기구(41f)를 통해 드레인컵(41)으로부터 회수재생장치(도시하지 않음)로 미스트가 배출되도록 되어 있다. 또, 각 배기구(41f)는 배기관(41e)을 통해 진공배기펌프(도시하지 않음)의 흡입구로 각각 연이어 통하고 있다.
도포액 공급기구(150)는, 수평아암(155)과, 요동기구(156)와, 노즐부(157)와, 대기부(158)를 구비하고 있다. 수평아암(155)의 기초단부는 요동기구(156)의 수직구동축에 회전가능하게 지지되어 있다. 노즐부(157)는 수평아암(155)의 자유단끝부분에 부착되어 있다. 노즐부(157)는, 요동기구(156)에 의해 대기부(158)(홈 위치)와 스핀척(43)의 회전중심의 위쪽(사용위치)과의 사이를 왕복이동된다. 또한, 노즐부(157)는 2개의 노즐(도시하지 않음)을 구비하고 있다. 한쪽 노즐은 레지스트액공급용이고, 다른쪽의 노즐은 용제(신너)공급용이다.
도 4에 나타내는 바와 같이, 둘레가장자리 도포막제거부(21B)는, 기판(G)을 흡착유지하는 재치대(230)와, 재치대(230)의 주위에 설치된 4개의 가이드레일(232)과, 각 가이드레일(232)을 따라 이동가능하게 설치된 용제토출노즐(234)과, 각 노즐(234)을 각각 이동시키는 스캔이동기구(236)를 구비하고 있다. 또, 노즐(234)끼리의 충돌방지를 위해 복수의 접근센서(238)가 적절한 곳에 설치되어 있다.
도 8에 나타내는 바와 같이, 회전컵(CP)에는 덮개(42)가 씌워진다. 이 덮개(42)는 알루미늄합금으로 만들어져 있고, 지름이 약 1100mm이다. 덮개(42)와 지지아암(61)과의 합계중량은 약 50kg이다. 덮개(42)의 중앙부를 샤프트(42b)가 관통하며, 샤프트(42b)의 상단에는 손잡이(42a)가 부착되고, 샤프트(42b)의 하단에는 후술의 정류판(도시하지 않음)이 부착되어 있다. 손잡이(42a)는 후술하는 승강기구(60)의 지지아암(61)에 연결되어 있다.
덮개(42)의 둘레가장자리부는 단차형으로 다른 부분보다 조금 높게 되어 있다. 이 둘레가장자리단부의 아래면에는 복수의 홈부(42c)가 형성되어 있다. 한편, 회전컵(CP)의 둘레가장자리부의 윗면에는 복수의 돌기(41c)가 형성되어 있다. 덮개(42)를 회전컵(CP)에 씌우면, 각 홈부(42c)에 돌기(41c)가 끼워들어가고, 덮개(42)는 회전컵(CP)에 걸어맞춤된다. 이에 따라 덮개(42)와 회전컵(CP)은 긴밀하게 일체화하여, 그 내부에 기판을 처리하기 위한 처리공간이 형성된다.
덮개(42)의 하부에는 정류판(도시하지 않음)이 부착되어 있다. 공기는, 급기구멍(42d)을 통하여 처리공간에 도입되고, 정류판을 따라 방사형상으로 넓어지며, 배출구멍을 통하여 처리공간에서 드레인컵(41)으로 흘러나오도록 되어 있다. 이 공기의 기류는, 처리공간에서 레지스트액의 액체방울이나 미스트를 신속하고 또한 원활하게 배출시키는 기능을 가진다. 또한, 급기구멍(42d)은 회전컵(CP)의 내압이 과도하게 부압(負壓)이 되는 것을 방지하는 기능을 가지므로, 덮개(42)를 회전컵(CP)에서 용이하게 떼어낼 수 있다.
도 6에 나타내는 바와 같이, 도포처리시에는 스핀척(43)은 승강실린더기구(48B)에 의해 컵(CP),(41)의 윗면보다 낮은 위치까지 내려간다. 한편, 기판 주고받음시에는 스핀척(43)은 승강실린더기구(48B)에 의해 컵(CP),(41)의 윗면보다 높은 위치로 들어 올려진다.
다음으로, 도 3∼도 15 및 도 18∼도 20을 참조하면서 덮개(42)를 승강시키는 승강기구(60)에 대하여 설명한다.
도 4에 나타내는 바와 같이, 승강기구(60)는 도포부(21A) 내의 둘레가장자리 도포막제거부(에지 리무버)(21B)에서 가장 떨어진 곳에 설치되어 있다. 승강기구(60)는, 지지아암(61)과, 가이드 포스트(62)를 구비하고 있다. 지지아암(61)은 가이드 포스트(62)로부터 수평으로 뻗어나가며, 그 앞끝단에서 덮개(42)를 외팔보 지지하고 있다. 지지아암(61)은, 덮개(42)를 끼워 지지하는 1쌍의 아암부재(61a)와, 이들 1쌍의 아암부재(61a)를 서로 연결하여 보강하는 2개의 리브(61b)를 구비하고 있다.
도 3에 나타내는 바와 같이, 가이드 포스트(62)의 정면에는 1쌍의 평행수직홈(62a)이 형성되고, 각 홈(62a) 내를 아암부재(61a)가 각각 안내 이동되도록 되어 있다. 도 4 및 도 6에 나타내는 바와 같이, 가이드 포스트(62)의 양쪽 내벽에는 수직 리니어가이드(63)가 각각 설치되어, 막대형상 돌기(61c)를 통해 각 리니어가이드(63)에 아암부재(61a)의 기초끝단부가 각각 걸어맞춤하고 있다.
도 6에 나타내는 바와 같이, 지지아암(61)의 하부에 실린더기구(64)가 설치되어 있다. 이 실린더기구(64)는 바닥판(44)을 관통하여 설치되며, 그 상반부는 가이드 포스트(62)의 내부에 위치하고, 그 하반부는 가이드 포스트(62)의 외부에 위치하고 있다.
도 7 및 도 18 내지 도 20에 나타내는 바와 같이, 안전작업과 손상방지를 위해서 3개의 충격 흡수재(190A, 190B, 190C)가 가이드 포스트(62)에 부착되어 있다. 제 1 충격 흡수재(190A)는 가이드 포스트(62)의 상부에 부착되어, 급격한 상승에 의한 지지아암(61)의 충돌시의 충격력을 흡수 완화하도록 되어 있다. 제 2 충격 흡수재(190B)는 가이드 포스트(62)의 하부에 부착되어, 급격한 강하(덮개(42)의 낙하)에 의한 지지아암(61)의 충돌시의 충격력을 흡수 완화하도록 되어 있다. 제 3 충격 흡수재(190C)는, 도 18에 나타내는 바와 같이, 지지기둥(193)에 지지된 수평아암(192)의 앞끝단에 부착되어 있다. 수평아암(192)에는 슬릿가이드(192a)가 형성되고, 이 슬릿가이드(192a)를 통해서 고정구(194)에 의해 아암(192)은 지지기둥(193)에 체결되어 있다. 고정구(194)를 완화하면, 아암(192)이 슬라이드 가능하게 되어, 제 3 충격 흡수재(190C)를 가이드 포스트(62)의 중간부에 출납할 수 있도록 된다. 이 제 3 충격 흡수재(190C)는, 기판처리시에는 가이드 포스트(62)의 중간부에 장착되고, 보수관리시에는 가이드 포스트(62)의 중간부에서 철수된다.
다음에, 도 7 및 도 9 내지 도 11을 참조하면서 승강기구(60)의 실린더기구(64)에 대하여 상세하게 설명한다.
실린더기구(64)의 상부로부터는 로드(65)가 돌출하여 후퇴 및 진입하도록 되어 있다. 이 로드(65)의 상부(65)는 지지 아암(61)의 하부에 연결되어 있다. 한편, 로드(65)의 하부는 피스톤(66)에 연결되어 있다.
도 7 및 도 9에 나타내는 바와 같이, 실린더기구(64)는 위쪽의 제 1 실린더(64a)와, 아래쪽의 제 2 실린더(64b)를 구비하고 있다. 이들 제 1 실린더(64a)와 제 2 실린더(64b)와의 사이에는 칸막이판(69)이 설치되고, 이에 따라 상부 실린더실(제 1 및 제 2 공기실)(A, B)과 하부 실린더실(제 3 및 제 4 공기실)(C, D)로 구분되고 있다.
제 1 실린더(64a) 내에는 제 1 피스톤(66) 및 로드(65)가 승강가능하게 설치되어 있다. 제 1 피스톤(66)에 의해 제 1 실린더(64a)의 내부공간은 위쪽의 제 1 공기실(A)과 아래쪽의 제 2 공기실(B)로 구분된다. 그리고, 제 1 피스톤(66)은, 제 1 실린더(64a)의 아래쪽 끝단부(64c)에서 윗쪽 끝단부(64d)까지의 사이를 이동할 수 있도록 되어 있고, 이 스트로크(L4)는 450∼500mm이다. 또한, 제 2 피스톤(68)은, 제 2 실린더(64a)의 아래쪽 끝단부(64e)에서 윗쪽 끝단부(64f)까지의 사이를 이동할 수 있도록 되어 있고, 이 스트로크(L3)는 220∼250mm이다.
제 1 및 제 2 피스톤(66, 68)의 위치를 각각 검출하기 위해서 3개의 마그네트센서(121, 122, 123)가 실린더(64a, 64b)의 외벽에 부착되어 있다. 제 1 센서(121)는 제 1 실린더(64a)의 아래쪽 끝단부(64c)에서 거리(L4)의 위치[윗쪽 끝단부(64d)의 근방]에 설치되어 있다. 제 2 센서(122)는 제 1 실린더(64a)의 아래쪽 끝단부(64c)에서 거리(L3)의 위치에 설치되어 있다. 제 3 센서(123)는 제 2 실린더(64b)의 아래쪽 끝단부(64e)에서 거리(L3)의 위치(윗쪽 끝단부(64f)의 근방)에 설치되어 있다.
각 피스톤(66, 68)에는 영구자석(도시하지 않음)이 각각 매립되어 있다. 피스톤(66, 68)이 실린더벽을 통해 마그네트 센서(121, 122, 123)와 마주 향하면, 영구자석으로부터 누설되는 자속이 센서(121, 122, 123)에 의해 검출되어, 검출신호가 제어기(201)에 보내지도록 되어 있다.
제 1 실린더(64a)의 상부에는 배관(71)이 부착되고, 제 1 실린더(64a)의 하부에는 배관(72)이 부착되어 있다. 이들 배관(71, 72)은 후술하는 에어공급시스템(200)(도 12참조)에 각각 연이어 통하고 있으며, 유로(71a)를 통해 제 1 공기실(A)로 공기를 출납하고, 유로(72a)를 통해 제 2 공기실(B)에 공기를 출납하도록 되어 있다.
제 2 실린더(64b) 내에는 제 2 피스톤(68) 및 로드(67)가 승강가능하게 설치되어 있다. 제 2 피스톤(68)에 의해 제 2 실린더(64b)의 내부공간은 위쪽의 제 3 공기실(C)과 아래쪽의 제 4 공기실(D)로 구분된다.
제 2 실린더(64b)의 상부에는 배관(70)이 부착되고, 제 2 실린더(64b)의 하부에는 배관(73)이 부착되어 있다. 이들 배관(70, 73)은 후술하는 에어공급시스템(200)(도 12참조)으로 각각 연이어 통하고 있으며, 유로(70a)를 통해 제 3 공기실(C)로 에어를 출납하고, 유로(73a)를 통해 제4의 공기실(D)로 에어를 출납하도록 되어 있다.
칸막이판(69)의 중앙에는 관통구멍이 형성되고, 이 관통구멍을 통하여 제 2 로드(67)가 제 1 실린더(64a)의 제 2 공기실(B)로 출입하도록 되어 있다. 칸막이판(69)과 제 2 로드(67)와의 사이에는 V시일(69a)이 설치되고, 이에 따라 제 2 공기실(B)과 제 3 공기실(C)과의 사이에서의 공기의 누설이 방지되고 있다. 이 V 시일(69a)은 마찰저항이 낮고, 제 2 로드(67)가 칸막이판(69)의 관통구멍을 원활하게 슬라이드 할 수 있도록 되어 있다.
제 2 로드(67)의 길이는 제 2 실린더(64b)의 길이보다 길고, 로드(67)의 앞끝단 부분은 항상 제 2 공기실(B)내에 위치하도록 되어 있다. 그래서, 제 2 로드(67)와 피스톤(68)은 서로 연결되고, 제 1 로드(65)와 피스톤(66)과는 서로 연결되어 있지만, 제 2 로드(67)와 제 1 피스톤(66)과는 연결되어 있지 않다(분리하고 있다). 제 2 로드(67)는, 도 9 및 도 10에 나타낸 바와 같이, 제 1 피스톤(66)에 맞닿거나, 도 11에 나타낸 바와 같이 제 1 피스톤(66)에서 떨어지거나 한다.
다음으로, 도 9∼도 11을 참조하면서 실린더기구(64)에 공기를 공급한 경우의 동작에 대하여 설명한다.
도 9에 나타내는 바와 같이, 유로(71a, 72a, 73a)에 공기를 공급하지 않은 상태에서는, 제 1 및 제 2 피스톤(66, 68)은 모두 제 1 및 제 2 실린더(64a, 64b)의 가장 낮은 곳(하사점:下死点)에 각각 위치하고, 제 1 피스톤(66)의 아래면 중앙부에 제 2 로드(67)의 상단이 맞닿는 상태에 있다.
도 10에 나타낸 바와 같이, 제 4 공기실(D)에 압력 P2의 공기를 공급하면, 제 2 피스톤(68)이 상승하고, 제 2 로드(67)는 제 1 피스톤(66)에 접촉하여 더욱 이것을 위쪽으로 들어올린다. 이 때 동시에 제 2 공기실(B)에 압력 P1의 에어를 공급하여, 제 1 피스톤(66)에 상승력을 부여한다. 이에 따라 도 17에 나타낸 바와 같이 덮개(42)는 제 1 위치(PS1)[컵(CP)의 위치]에서부터 제 2 위치(PS2)(기판처리시의 덮개열림 위치)로 들어올려진다.
도 11에 나타내는 바와 같이, 제 2 공기실(B)에 압력 P2의 공기를 공급하면, 제 1 피스톤(66)은 더욱 상승하여 제 1 실린더(64a)의 가장 높은 곳에 도달한다. 이에 따라 도 19에 나타내는 바와 같이, 덮개(42)는 더욱 제 2 위치(PS2)로부터 제 3 위치(PS3)(보수관리시의 덮개열림 위치)로 들어올려진다.
이 경우에, 유로(72a)로부터 압력 P1의 공기를 제 2 공기실(B)에 공급하고, 배관(73)으로부터 압력 P2의 공기를 제 4 공기실(D)에 공급한다. 여기서 압력 P1, P2의 사이에는 하기 식(1)의 관계가 성립한다.
P1＜ W ＜P2 … (1)
단, P1는 제 1 실린더(64a)[제 2 공기실(B)]에 공급되는 공기의 압력을, W는 지지아암(61) 및 덮개(42)를 상승시키는 데 필요한 공기의 압력을, P2은 제 2 실린더(64b)[제 4 공기실(D)]에 공급되는 공기의 압력으로 한다.
이에 따라 제 1 및 제 2 피스톤(66, 68)에는 모두 수직방향상향의 구동력이 작용한다. 이 때, 제 2 피스톤(68)은 압력 P2의 공기에 의해 구동되고, 상기 식(1)에 나타내는 공기압력 W보다 공기압력 P2의 쪽이 크다고 (W＜P2) 하는 관계에 있다. 이 때문에, 제 2 피스톤(68) 단독으로도 지지아암(61) 및 덮개(42)를 들어올릴 수 있다.
한편, 제 1 피스톤(66)에도 수직방향 상향의 구동력이 작용하지만, 이 구동력은 압력 P1의 공기공급에 따른 것이며, 상기 식(1)에 나타내는 에어압력 W보다 에어압력 P1의 쪽이 작다고 (P1＜W) 하는 관계에 있다. 이 때문에, 제 1 피스톤(66)단독으로는 지지아암(61)및 덮개(42)를 들어올릴 수 없다.
실린더기구(64) 전체로서는 제 2 피스톤(68)의 스트로크(L3)분만큼 지지아암(61) 및 덮개(42)를 들어올릴 수 있게 된다. 즉 제 2 로드(67)와 제 1 피스톤(66)과는 접촉한 채로의 상태이고, 제 1 및 제 2 피스톤(66, 68)은 같은 스트로크(L3)만큼 위쪽으로 이동한다.
이와 같이, 통상의 기판처리시에 있어서는, 주로 아래쪽의 제 2 실린더(64b)가 지지아암(61) 및 덮개(42)를 들어올리기 위한 부하를 담당한다. 이 때 제 1 피스톤(66)은 제 2 로드(67)에 의해 밀어 올려진다. 단, 보조적이기는 하지만 제 1 실린더(64a)로부터도 구동력이 제 1 피스톤(66)에 주어지기 때문에, 제 2 실린더(64b) 단독의 경우보다도 제 1 및 제 2 실린더(64a, 64b)의 협동의 경우쪽이 지지아암(61) 및 덮개(42)를 들어올리는 속도는 빨라진다.
이어서, 도 11, 도 19, 도 20을 참조하면서 보수관리시에 있어서의 덮개(42)의 개폐동작에 대하여 설명한다.
먼저, 유로(72a)에서 압력 P1의 공기를 제 2 공기실(B)로 공급함과 동시에, 유로(73a)에서 압력 P2의 에어를 제 4 공기실(D)에 공급한다. 이에 따라 덮개(42)를 제 1 위치(PS1)로부터 제 2 위치(PS2)까지 들어올린다.
이어서, 에어공급시스템(200)의 회로를 바꾸어, 유로(73a)로부터의 공급 공기압력 P2을 유지한 채로, 유로(72a)로부터의 공급 공기압력을 P1으로부터 P2로 바꾼다. 이에 따라 제 1 피스톤(66)에 지지아암(61) 및 덮개(42)를 들어올리는 데 충분한 구동력이 부여되고, 제 1 피스톤(66) 단독으로 지지아암(61) 및 덮개(42)를 들어올리기 시작하여, 도 11에 나타낸 바와 같이 제 1 피스톤(66)은 제 1 실린더(64a)의 가장 높은 곳까지 상승하여 정지한다. 이 때 제 1 피스톤(66)단독으로 지지아암(61) 및 덮개(42)를 들어올리고, 그 구동력원은 압력 P2의 공기뿐이기 때문에, 이 보수관리시의 덮개의 상승 속도는 기판처리시의 덮개의 상승속도보다 느리다. 그러나, 이 덮개(42)의 개방시간은 보수관리에 요하는 시간전체에서 차지하는 비율은 많지 않으므로, 이 개방시간이 느린 것은 허용 가능한 범위이다.
이렇게 하여, 제 1 로드(65)는 제 2 로드(67)에 비해서 매우 길어, 지지아암(61)은 충분한 높이까지 들어올려지고, 덮개(42)와 도포장치(21A)의 상부프레임과의 사이에는 보수관리를 하는 데 필요한 공간을 확보할 수 있다.
다음으로, 도 12 및도 9 내지 도 11을 참조하면서 실린더기구(64)에 공기를 공급하기 위한 에어공급시스템(200)에 대하여 설명한다. 에어공급시스템(200)은, 이하에 서술하는 다양한 요소(유체기기)의 동작을 제어하는 제어기(201)를 구비하고 있다. 이 제어기(201)는, 승강기구(60)가 오동작했을 때에 경보시스템(204)에 신호를 보내어 경보기(206)로 운전자에 이상을 알림과 동시에, 이상동작을 정지시키는 신호를 컵리프터 구동부에 보내도록 되어 있다.
배관(71)은 제 1 실린더(64a) 상부의 제 1 공기실(A)에 연이어 통하고 있다. 이 배관(71)은 스피드 콘트롤러(SC)(74), 배관(77), 파일럿 체크 밸브(PCV)(78),배관(80), 급속배기 밸브(QEV)(105), 배관(84), 스피드 콘트롤러(SC)(88), 배관(96)을 경유하여 솔레노이드 밸브(SOLV)(94)에 연이어 통하고 있다. 솔레노이드 밸브(SOLV)(94)는 흡기측의 배관(101)과 배기측의 배관(102)을 구비하고 있다. 흡기측의 배관(l01)은 에어공급원(202)의 공급구에 연이어 통하고 있다. 또한, 솔레노이드 밸브(SOLV)(94)의 배관(97)은 제 2 실린더(64b) 하부의 제 4 공기실(D)에 연이어 통하고 있다.
배관(72)은 제 1 실린더(64a) 하부의 제 2 공기실(B)로 연이어 통하고 있다. 이 배관(72)은 스피드 콘트롤러(SC)(75), 파일럿 체크 밸브(PCV)(79B) 및 배관(92)을 지나서 셔틀밸브(SHV)(110)에 연이어 통하고 있다. 셔틀밸브(SHV)(110)는 밸브실(110a) 및 볼밸브체(111)를 구비하고 있고, 3개의 배관(86, 91, 92)이 밸브실(110a)에 연이어 통하고 있다. 제 1 배관(86)은 스피드 콘트롤러(SC)(87)에 연이어 통하고 있다. 또 스피드 콘트롤러(SC)(87)는 배관(95)을 통해 솔레노이드 밸브(SOLV)(93)에 연이어 통하고 있다. 이 솔레노이드 밸브(SOLV)(93)는 급기측의 배관(99) 및 배기측의 배관(100)을 구비하고 있다. 또 솔레노이드 밸브(SOLV)(93)에는 급기측과 배기측을 바꿀 때에 필요한 배관(98)이 설치되어 있다. 이 배관(98)은 대기로 개방되어 있다.
제 2 배관(91)은 조정기(REG)(103)의 입구측에 연이어 통하고 있다. 조정기(REG)(103)의 출구측에는 배관(90)이 연이어 통하며, 이 배관(90)은, 솔레노이드 밸브(SOLV)(94)로부터 제 2 실린더(64b) 하부의 제 4 공기실(D)을 향하는 도중의 배관(85)에 합류하고 있다. 제 3 배관(92)은 파일럿 체크 밸브(PCV)(79B), 스피드 콘트롤러(SC)(75) 및 배관(72)을 경유하여 제 1 실린더(64a) 하부의 제 2 공기실(B)에 연이어 통하고 있다.
배관(70)은, 제 2 실린더(64b) 상부의 제3의 공기실(C)로 연이어 통하며, 도시하지 않은 배관을 경유하여 대기로 개방되어 있다. 한편, 제 2 실린더(64b) 하부의 배관(73)은 제 4 공기실(D)에 연이어 통하고 있다. 이 배관(73)은, 스피드 콘트롤러(SC)(76), 배관(104), 파일럿 체크 밸브(PCV)(79A), 배관(83), 급속배기 밸브(QEV)(l06), 배관(85), 스피드 콘트롤러(SC)(89), 배관(97)을 경유하여 솔레노이드 밸브(SOLV)(94)에 연이어 통하고 있다.
다음으로, 도 13 내지 도 15를 참조하면서 상기 에어공급시스템(200)의 회로에 이용되는 각종 요소에 대하여 설명한다.
솔레노이드 밸브(SOLV)(93, 94)는 전기적으로 구동되는 밸브이고, 흡기, 배기의 개시나 정지를 행하거나, 배관중 공기가 흐르는 방향을 순방향과 역방향과의 사이에서 전환하는 것이다.
도 13에 나타내는 바와 같이, 스피드 콘트롤러(SC)(74) (75, 76, 87, 88, 89)는, 입구(77)(92, 95, 96, 97, 104)와 출구(71)(72, 73, 84, 85, 86)와의 사이에 니들(166)을 가지는 유량조정기이다. 본체(161)는 직교하는 유로로서 입구(77)(92, 95, 96, 97, 104) 및 출구(71)(72, 73, 84, 85, 86)를 구비하고 있다. 니들(166)은 보디링(l62), 시트링(163), 가이드(164), 고정나사(165)를 통해 본체(161)에 부착되어 있다. 핸들(167)을 돌리면 니들(l66)의 앞끝단이 U패킹(168)에 접촉하거나 떨어지거나 하고, 이에 따라 유로 단면적이 변하도록 되어 있다.
도 14에 나타내는 바와 같이, 급속 배기밸브(QEV)(105, 106)는, 입구(84, 85), 출구(80, 83)및 긴급배출구(81, 82)를 갖는 본체(171)와, 가요밸브체 (172)와, 제 1 밸브시이트(173)와, 제 2 밸브시이트(175)를 구비하고 있다. 통상의 상태에서 급속배기밸브(QEV)(105, 106)를 사용하는 경우는, 가요밸브체(172)는 제 1 및 제 2 밸브시이트(173, 175)에 맞닿고, 긴급배출구(81, 82)는 닫혀 있으므로, 유체는 입구(84, 85)에서 출구(80, 83)를 향하여 흐른다. 단시간에 효율적으로 배기해야 하는 경우에는, 가요밸브체(172)는 제 1 밸브시이트(173)에서 떨어져서 긴급배출구(81, 82)가 열리고, 유체는 입구(84, 85)로부터 긴급배출구(81, 82)를 향하여 흐른다. 긴급배출구(81, 82)는 출구(80, 83)의 협애부(狹隘部:174)보다 개구량이 크기 때문에, 이것을 통해 유체를 단시간에 고속배기할 수 있다. 도 15에 나타내는 바와 같이, 파일럿 체크 밸브(PCV)(78)(79A, 79B)는, 이상압력의 발생에 대하여 안전 장치로서 작용하는 체크밸브체(183)(184)를 구비하고 있다. 한쪽의 체크밸브(78)의 포트(181a)에는 제 1 공기실(A)이 연이어 통하고 있다. 다른쪽의 체크밸브(79B)(79A)의 포트(182a)에는 제 2 공기실(B)(제 4 공기실(D))이 연이어 통하고 있다. 밸브체(183, 184)는 내부유로(181d, 182d)를 각각 개폐하기 위해서 슬라이드 가능하게 설치되어 있다. 유로(80)는 체크밸브(78)의 포트(181c) 및 체크밸브(79B)의 파일럿압력포트(182b)에 각각 연이어 통하고 있다. 또한, 유로(92)는 체크밸브(79B)의 포트(182c) 및 체크밸브(78)의 파일럿압력포트(181b)에 각각 연이어 통하고 있다. 이러한 파일럿 체크 밸브(SCV)(78, 79B(79A))는, 유로(80, 92(83))로부터의 압력유체의 공급이 차단된 경우에, 내부유로(181d, 182d)를 차단하고, 제 1, 제 2, 제 4 공기실(A, B, D)내의 압력유체가 배관(80, 92(83)) 쪽으로 유출하지 않도록 유지하여, 현상태의 제 1, 제 2, 제 4 공기실(A, B, D)의 내압이 유지된다.
셔틀밸브(SHV)(110)는, 2개의 입력측 배관(86, 91)중의 한쪽과 출력측 배관(92)을 연이어 통하게 하는 것이다. 셔틀밸브(SHV)(11O)의 작은방(11Oa)에는 셔틀(111)이 이동 가능하게 수용되어 있다. 작은방(11Oa)의 양쪽에는 2개의 배관(86, 91)이 대향 배치되고, 작은방(110a)의 중앙에는 배관(92)이 접속되어 있다. 이 2개의 배관(86, 91)으로부터 공급되는 공기의 압력에 차가 있으면 셔틀(111)은 압력이 강한 배관쪽에서, 압력이 낮은 배관쪽으로 눌려져 이동하기 때문에, 압력이 강한 배관과 배관(92)과의 사이가 연통하여 압력이 강한 배관으로부터 배관(92)으로 공기가 흐르게 된다. 이와 같이 셔틀밸브(SHV)(110)는 공기의 압력에 의해 유로를 전환하는 것이다.
조정기(REG)(83)는 감압장치의 일종이고, 공급된 공기의 압력을 다소 저하시켜 출력하는 것이다.
다음으로, 도 16을 참조하면서 LCD기판(G)의 일련의 레지스트 처리공정에 대하여 설명한다.
서브반송아암(13)으로써 카세트(C1)로부터 1장의 기판(G)을 끄집어낸다. 기판(G)을 서브반송아암(13)으로부터 제 1 주반송아암(14A)에 주고받는다. 제 1 주반송아암(14A)은, 브러시세정유니트(16), 어드히젼유니트(24), 냉각유니트(25)로 기판(G)을 차례로 반송하고, 각 유니트에 있어서 기판(G)에 대하여 필요한 처리를 행한다. 일련의 필요한 처리가 완료되면, 제 1 주반송아암(14A)은 제 2 주반송아암(14B)에 기판(G)을 주고받는다. 또, 제 2 주반송아암(14B)은 기판(G)을 유니트(21)에 반송한다. 제 2 주반송아암(l4B)이 레지스트도포부(21A)의 앞쪽에 도착하면, 셔터(도시하지 않음)를 열고, 기판(G)을 레지스트도포부(21A)내로 반입한다.
다음에, 에어실린더기구(64)를 작동시켜 덮개(42)를 연다(공정 S1). 덮개(42)를 열 때에는, 먼저 솔레노이드 밸브(SOLV)(94)를 작동시켜 배관(101)의 유로와 배관(97)의 유로를 연통시킨다. 배관(101)에는 에어공급원(공기압축기)(202)으로부터 압축공기가 공급되고 있기 때문에, 이 압축공기는 솔레노이드 밸브(SOLV) (94)를 경유하여 스피드 콘트롤러(SC)(89)에 공급된다. 공기압축기(202)로부터 배관(101)을 통해 공급되는 공기의 압력을 예를 들어 4.5kg/cm2로 하면, 배관(85)에도 4.5kg/cm2의 압축공기가 공급된다. 배관(85)은 도중에 배관(90)쪽으로 분기하고 있어, 급속배기밸브(QEV)(106)로 향하는 공기와 조정기(REG)(103)로 향하는 공기로 분리된다.
급속 배기밸브(QEV)(106)를 향하는 압축공기는 이 급속 배기밸브(QEV)(106)를 경유하여 배관(83), 파일럿 체크 밸브(PCV)(79A), 배관(104), 스피드 콘트롤러(SC)(76), 및 배관(73)을 경유하여 제 2 실린더(64b)의 제 4 공기실(D)에 공급된다. 따라서, 이 제 4 공기실(D)에 공급되는 공기의 압력은 4.5kg/cm2이고, 이 압력이 제 2 피스톤(68)을 들어올리는 힘으로서 작용한다.
한편, 조정기(REG)(103)를 향하는 공기는 배관(90)을 통해 조정기(REG) (103)로 유입된다. 이 조정기(REG)(103)에서는 통과하는 공기의 압력이 감압된다. 예컨데, 배관(90)으로부터 압력 4.5kg/cm2으로 유입된 공기는, 1.5kg/cm2까지 감압되어 배관(91)으로 유출된다. 배관(91)으로 유출된 공기는, 셔틀밸브(SHV)(110)에 보내진다. 이 때, 셔틀밸브(SHV)(110)의 또 하나의 입력측 배관(86)에는 솔레노이드 밸브(93)로부터 공기가 공급되어 있지 않으므로, 셔틀(111)에 작용하는 공기는 배관(91)으로부터 공급되는 공기뿐이다. 그 때문에, 이 공기에 눌려져 셔틀(111)은 작은방(1l0a) 내를 이동하며, 유로(91)가 유로(92)에 연이어 통하여, 공기는 유로(92)로 유입된다. 이 유로(92)에 유입된 공기는 스피드 콘트롤러(SC)(75)와 배관(72)을 통해 제 1 실린더(64a) 하부의 제 2 공기실(B)로 공급된다. 따라서, 제 2 공기실(B)에 공급되는 공기의 압력은 1.5kg/cm2이 되며, 이 압력공기가 제 1 피스톤(66)을 들어올린다.
또, 유로(70a)는, 상류쪽이 제 3 공기실(C)(제 2 실린더(64b) 상부공간)로 연이어 통하고, 하류쪽이 다른 유로(도시하지 않음)를 경유하여 대기 개방되어 있다. 또한, 유로(71a)는, 하류쪽이 제 1 공기실(A)[제 l 실린더(64a) 상부공간]로 연이어 통하고, 상류쪽이 스피드 콘트롤러(SC)(74), 파일럿 체크 밸브(PCV)(78), 급속 배기밸브(QEV)(105), 스피드 콘트롤러(SC)(88)를 경유하여 솔레노이드 밸브(SOLV)(94)에 연이어 통하고 있다. 이 솔레노이드 밸브(SOLV)(94)에 있어서 배관(96)은 배기측 배관(102)에 접속되어 있다. 제 1 공기실(A) 및 제 3 공기실(C)내의 공기는 상기 경로를 통하여 신속하게 배기되므로, 제 1 및 제 2 피스톤(66, 68)은 신속하게 상승된다. 또, 이 때 PCV(78)의 내부유로(181d)는, 유로(92)를 통하여 공급되는 압력유체의 파일럿 압력에 의해 열리고 있다.
이와 같이 제 2 피스톤(68)은 압력 4.5kg/cm2의 공기에 의해 구동되고, 제 1 피스톤(66)은 압력 1.5kg/cm2의 공기에 의해 구동된다. 이들 압력공기는 덮개(42)를 들어올리기 위해서 협동한다.
이 때, 압력 4.5 kg/cm2의 공기가 제 2 피스톤(68)을 밀어 올리는 힘을 4.5P로 하고, 압력 1.5kg/cm2의 공기가 제 1 피스톤(66)을 밀어 올리는 힘을 1.5P로 하고, 지지아암(61) 및 덮개(42)를 들어올리는 데 필요한 압력을 W로 하면, 상기의 부등식(1)을 만족시키는 1.5P＜W＜4.5P의 관계가 성립한다. 따라서, 덮개(42)는 제 2 피스톤(68)의 스트로크(L3)분만큼 상승한 곳에서 정지한다. 이 때 덮개(42)의 상승 속도는 제 2 실린더(64b) 단독으로 상승시키는 경우보다도 빠르게 상승한다. 또, 제 2 위치(PS2)는, 덮개(42)와 컵(CP),(41)과의 사이에 주아암기구의 홀더(14b)가 충분하게 출입할 수 있는 만큼의 공간을 확보할 수 있는 위치로 한다. 또, 제어기(201)로부터 지령신호가 시스템(200)의 회로에 설치된 각 기기에 보내지고, 이에 따라 각 기기의 동작은 인터로크되고, 덮개(42)는 제 2 위치(PS2)에서 정지된다. 또, 덮개(42)의 상승동작은 충격 흡수재(190C)에 의해서도 기계적으로 제한되어 있고, 덮개(42)는 제 2 위치(PS2)보다도 위쪽으로 이동할 수 없도록 되어 있다. 또, 반입 및 반출동작을 개시하기 전에 센서에 있어서의 출력을 확인하여, 이상이 검출된 경우에는 제어기(201)는 경보시스템(204)을 작동시킴과 동시에, 공기의 공급 및 배출동작을 즉시 정지한다.
또한, 이 때, 다른 처리부에 있어서는 적어도 처리중의 기판의 처리는 완료시키고, 가능한 한 처리를 계속한다. 도포처리 대기 기판은 버퍼카세트의 빈 공간에 일시적으로 보관되고, 또한, 복수의 도포장치를 가진 시스템의 경우에는, 다른 도포장치가 대신에 기판을 처리한다.
덮개(42)가 제 2 위치(PS2)에서 정지하면, 스핀척(43)을 상승시켜, 기판(G)을 아암홀더(14b)에서 스핀척(43) 상에 옮겨 싣는다. 아암홀더(14b)를 퇴출시키고, 셔터를 닫는다. 스핀척(43)에 의해 기판(G)을 흡착 유지하여, 스핀척(43)을 하강시킨다(공정 S2).
에어실린더기구(64)의 제 1 공기실(A)에 공기를 공급하여 제 1 피스톤(66)을 하강시킴과 동시에, 제 3 공기실(C)에 공기를 공급하여 제 2 피스톤(68)을 하강시켜, 도 18에 나타낸 바와 같이 덮개(42)를 컵(CP)에 씌운다(공정 S3).
이하, 덮개(42)를 닫는 동작에 대하여 설명한다.
먼저 솔레노이드 밸브(SOLV)(94)를 전환하여, 지금까지 배관(97)과 급기 배관(101)을 연통시키고 있는 것을 배관(97)과 배기 배관(102)을 연통시키면, 배관(101)으로부터의 공기의 공급이 없어지고, 제 2 피스톤(68)에는 제 1 피스톤(66)을 통해 지지아암(61) 및 덮개(42)의 중량이 아래쪽으로 작용한다. 이 때문에, 제 1 피스톤(66)은 이들 지지아암(61) 및 덮개(42)를 지지할 수 없어 하강을 시작한다. 그러면, 제 4 공기실(D) 내의 공기는 배관(73), 스피드 콘트롤러(SC)(76), 배관(104), 파일럿 체크밸브(PCV)(79A), 배관(83)을 경유하여 급속 배기밸브(QEV)(106)에 보내진다. 여기서 급속 배기밸브(QEV)(106)의 유로는 배관(82)에 연이어 통하고, 공기를 배관(82) 쪽으로 배출한다. 배관(82)은 지름이 크기 때문에, 제 4 공기실(D)에서 공기는 신속하게 배기되고, 제 2 피스톤(68)은 신속하게 하강한다. 또, 이 때 PCV(79A)의 내부유로(182d)는, 유로(80)를 통하여 공급되는 압력유체의 파일럿 압력에 의해 열리고 있다.
한편, 배관(101)으로부터 제 4 공기실(D)로의 공기의 공급이 정지되면, 제 1 피스톤(66)을 들어올리는 힘이 없어져, 지지아암(61)과 덮개(42)의 중량이 제 1 피스톤(66)에 부하된다. 그 때문에, 제 2 공기실(B) 내의 공기는 배관(72), 스피드 콘트롤러(SC)(75), 파일럿 체크 밸브(PCV)(79B), 배관(92)을 경유하여 셔틀밸브(SHV)(110)로 들어가고, 또 배관(91), 조정기(REG)(103), 배관(90)을 경유하여 배관(85)내로 들어 간다. 배관(85)에 들어간 공기는 급속 배기밸브(QEV)(106)를 경유하여 상기와 같이 배관(82)으로 보내어지므로, 이 배관(82)을 통하여 신속하게 배기가 행하여지고, 제 1 피스톤(66)은 조속히 하강한다. 또, 이 때 PCV(79B)의 내부유로(182d)는, 유로(80)를 통하여 공급되는 압력유체의 파일럿 압력에 의해 열리고 있다.
지지아암(61)이 하강하여 가장 낮은 위치 가까이까지 오면, 지지아암(61)의 아래면이 충격 흡수재(190B)에 맞닿는다. 이 충격 흡수재(190B)의 댐퍼는, 지지아암(61)의 하강정지위치보다도 약간 윗쪽으로 힘이 가해져 있다. 댐퍼에 덮개(42) 및 지지아암(61)의 중량이 걸리면, 댐퍼의 아래쪽의 완충부재가 변형하여, 덮개(42)의 하강속도가 느려지고, 덮개(42)는 천천히 하강하여 컵(CP)에 장착된다. 이와 같이 덮개(42)의 하강속도를 감속하기 때문에, 덮개(42)로 컵(CP)을 손상하지 않게 된다.
덮개(42)를 닫은 후, 기체밀봉이 된 컵(CP) 내에서 기판(G)을 온도조절한다(공정 S4). 기판의 온도조절후에, 덮개(42)를 열고 (공정 S5), 아암(155)을 선회시켜, 노즐(157)을 기판(G)의 중앙 바로 위에 위치시킨다. 기판(G)을 저속회전시키면서, 노즐(l57)로부터 기판(G)에 용제를 공급한다(공정 S6). 덮개(42)를 닫고(공정 S7), 기판(G)과 컵(41)을 같이 회전시켜, 용제를 기판(G)의 표면상에서 확산시킨다(공정 S8). 기판(G)과 컵(41)과의 동기회전에 의해 기판(G)의 주위에 기류가 실질적으로 거의 발생하지 않게 되므로, 용제의 온도차의 발생이 억제된다.
덮개(42)를 열고(공정 S9), 노즐(157)을 기판(G)의 중앙 바로 위에 위치시켜, 노즐(157)로부터 기판(G)에 레지스트액을 공급한다(공정 S10). 덮개(42)를 닫고(공정 S11), 드레인컵(41)의 배기를 시작함과 동시에, 기판(G)과 컵(CP)을 같이 회전시켜, 레지스트액을 기판(G)의 표면상에서 확산시킨다(공정 S12).
덮개(42)를 열고(공정 S13), 스핀척(43)을 상승시켜, 기판(G)을 이송기구(262)에 옮겨 싣는다. 이송기구(262)는 기판(G)을 레지스트도포부(21A)에서 반출하여, 이것을 둘레가장자리 도포막제거부(21B)를 향하여 반송한다(공정 S14). 이송기구(262)가 후퇴한 후에, 스핀척(43)을 하강시켜, 덮개(42)를 닫는다(공정 S15). 둘레가장자리 도포막제거부(21B)에서는, 재치대(230)를 상승시켜, 이송기구(262)로부터 재치대(230)상에 기판(G)을 옮겨 싣는다. 이송기구(262)를 후퇴시켜, 재치대(230)를 하강시킨다. 각 노즐(234)을 기판(G)의 사변을 따라 각각 이동시키면서 신너를 각각 토출시켜, 기판(G)의 둘레가장자리부에서 레지스트도포막을 제거한다. 재치대(230)를 상승시켜, 제 2 주반송아암기구(14B)에 의해 재치대(230)에서 기판(G)을 들어올려, 이것을 유니트(21)로부터 반출한다.
그 후에는, 제 2 및 제 3 주반송아암(14B, 14C)에 의해 기판(G)을 베이킹유니트(26) 및 냉각유니트(27)로 차례로 반송하고, 이것을 처리한다. 또, 제 3 주반송아암(14C)은 인터페이스부(7)를 통해 기판(G)을 노광장치(6)에 반입하여, 노광장치(6)에 의해 레지스트 도포막을 패턴노광한다.
노광처리후, 기판(G)을 현상유니트(28)로 반송하고, 패턴노광된 레지스트도포막을 현상한다. 또, 기판(G)을 순수한 물로 린스하고, 가열건조시킨다. 또, 기판(G)을 냉각유니트(33)에 반송하여, 냉각한다. 처리완료의 기판(G)은, 제 1 ∼제 3 주반송아암(14A, 14B, 14C) 및 서브반송아암(13)에 주고받음되고, 또 서브반송아암(13)에 의해 로더부(2)의 카세트(C2)내에 수납된다. 그리고, 최종적으로는 카세트(C2)마다 기판(G)은 시스템(1)으로부터 반출되어, 다음 공정의 처리장치를 향하여 반송된다.
다음으로, 도 11, 도 19, 도 20을 참조하면서 상기 장치를 보수관리하는 경우에 대하여 설명한다.
레지스트도포부(21A)에 있어서는, 튀어 흩어진 레지스트액이 컵(CP),(41) 등의 각 부분에 부착하여, 이들이 오염된다. 이 때문에 레지스트도포부(21A)를 장기간에 걸쳐 연속 사용한 경우에 있어서는, 장치 각 부분을 청소하는 것이 좋다. 이 보수관리시에 장치본체로부터 각 부분을 분해하기도 하기 때문에, 덮개(42)가 작업의 방해가 된다. 이 때문에, 장치본체의 위쪽에 충분한 작업용 공간을 확보할 필요가 생긴다.
먼저 충격 흡수재(190C)를 가이드 포스트(62)로부터 분해한다. 솔레노이드 밸브(SOLV)(94)를 작동시켜, 배관(101)과 배관(97)을 연통시키고, 압력 4.5kg/cm2의 공기를 배관(97)으로 보내어, 제 4 공기실(D)에는 압력 4.5kg/cm2의 공기를 공급하고, 제 2 공기실(B)에는 조정기(REG)(103)로 감압하여 얻은 1.5kg/cm2의 공기를 공급한다. 이에 따라 덮개(42)를 제 3 위치(PS3)까지 들어올린다.
이어서, 솔레노이드 밸브(SOLV)(93)를 작동시켜 배관(99)과 배관(95)을 연통시키고, 압력 4.5kg/cm2의 공기를 배관(95)에 공급한다. 이 공기는 스피드 콘트롤러 (SC)(87), 배관(86)을 지나서 셔틀밸브(SHV)(110)에 유입한다. 이 때, 셔틀밸브(SHV)(110)에는 배관(91)으로부터 압력 1.5kg/cm2의 공기가 공급되고 있으나, 막 배관(86)을 통하여 공급된 공기의 압력은 4.5kg/cm2이고, 이 공기의 압력쪽이 높기 때문에, 셔틀밸브(SHV)(110)내의 셔틀(111)은 압력이 낮은 배관(91)쪽으로 눌려져 이동하고, 배관(86)과 배관(92)이 연이어 통한다. 이 때문에, 압력 4.5kg/cm2의 공기가 배관(92)내로 유입하여, 스피드 콘트롤러(SC)(75), 배관(72)을 통해 제 2 공기실(B)내로 유입한다. 이 때문에, 피스톤(66)에는 압력 4.5kg/cm2의 공기에 의해 수직방향 상향의 구동력이 작용한다. 그렇게 하면, 상기와 같이, 1.5P＜W＜4.5P의 관계가 있으므로, 이 공기의 힘에 의해 덮개(42)와 지지아암(61)이 들어올려진다. 도 19에 나타내는 바와 같이, 덮개(42)를 제 3 위치(PS3)까지 들어 올려, 이 상태를 유지한다. 또, 도 11에 나타낸 바와 같이 제 1 피스톤(66)은 제 2 로드(67)로부터 분리하여 단독으로 상승한다.
이와 같이 덮개(42)를 상승시킬 수 있는 가장 높은 위치로 유지한 상태에서 보수관리작업이 행하여진다. 보수관리작업이 종료하면, 덮개(42)를 하강시킨다.
이하, 덮개(42)의 하강동작에 대하여 설명한다.
먼저, 솔레노이드 밸브(SOLV)(93)를 전환하여 배관(95)과 배기측의 배관(100)을 연통시키면 배관(99)으로부터의 공기의 공급이 없어지기 때문에, 제 1 피스톤(66)에는 수직방향 상향으로 구동시키는 힘이 작용하지 않게 되어, 덮개(42) 및 지지아암(61)의 중량이 아래쪽으로 걸린다. 이에 따라 제 1 피스톤(66)은 밀어 내려지기 때문에, 제 2 공기실(B) 내의 공기는 배관(72), 스피드 콘트롤러(SC)(75), 배관(92)을 지나서 셔틀밸브(SHV)(110)내로 유입한다. 셔틀밸브(SHV)(110)내에서는 셔틀(111)이 배관(91)쪽에 있으므로, 이 공기는 배관(86)으로 유입하고, 스피드 콘트롤러(SC)(87), 배관(95)을 지나서 솔레노이드 밸브(SOLV)(93)에 도달한다. 이 솔레노이드 밸브(SOLV)(93)에서는, 배관(95)과 배기 배관(100)을 연통시킨 상태로 되어 있기 때문에, 공기는 배기 배관(100)을 통하여 배기된다. 그 결과, 제 1 피스톤(66)은 하강하고, 그 바닥부가 제 2 로드(67)에 맞닿는다.
이에 앞서, 솔레노이드 밸브(SOLV)(94)에서도, 솔레노이드 밸브(SOLV)(93)와 같이 배관(97)을 배기 배관(102)과 연통시키고 있으며, 배관(101)으로부터 제 4 공기실(D)로의 공기의 공급은 정지하고 있다. 그 때문에, 제 2 피스톤(68)을 위쪽으로 구동하는 힘은 이미 작용하고 있지 않고, 제 1 피스톤(66)이 하강하면 그 힘에 의해 제 2 피스톤(68)도 하강을 시작한다.
그 결과, 제 4 공기실(D) 내의 공기는 배관(73)내로 유출하여, 다시 스피드콘트롤러(SC)(76), 배관(104), 파일럿 체크 밸브(PCV)(79A), 배관(83)을 지나서 급속 배기밸브(QEV)(106)내로 유입한다. 이 급속 배기밸브(QEV)(106)에서는, 배관(83)과 배관(82)을 연통시킨 상태로 되어 있으므로, 이 급속 배기밸브(QEV)(106)내로 유입된 공기는 배관(82)내로 유입하고, 이것을 통해 신속하게 배기된다. 이와 같이, 제 4 공기실(D) 내의 공기는 배관(82)을 통해 신속하게 배기되므로, 덮개(42)는 신속하게 하강한다.
상기 실시형태의 장치에 의하면, 통상의 기판처리시와 보수관리시로 덮개(42)를 들어올리는 높이 위치가 바뀌어지므로, 장치의 각 부를 분해하지 않고 간단하고 또한 안전하게 보수관리작업을 행할 수 있다.
또한, 상기 실시형태의 장치에 의하면, 덮개(42)를 들어올리는 속도가 빠르고, 또한 덮개(42)를 들어올리는 동작을 원활하게 행할 수 있다. 또, 덮개(42)를 하강시키는 경우는, 급속 배기밸브(QEV)(102, 106)를 통해 고속배기하므로, 에어실린더기구(64)로부터 공기를 신속하게 배기할 수 있으며, 덮개(42)를 하강시키는 속도를 빠르게 하고, 또한 덮개(42)를 안전하게 닫을 수 있다.
상기 실시형태에서는 LCD기판에 레지스트 도포하는 도포장치를 예로 들어 설명하였으나, 덮개를 구비한 기판처리장치이면 되고, 현상장치 등의 다른 장치에도 적용할 수 있다. 또한, 반도체웨이퍼에 레지스트액을 도포하거나, 현상처리하는 장치에도 본 발명을 적용할 수 있다.
또한, 상기 실시형태에서는, 덮개(42)를 들어올릴 때에 각 실린더(64a, 64b)의 피스톤(66, 68)의 아래쪽의 제 2 및 제 4 공기실(B, D)에 공기를 공급함으로써 각 실린더(64a, 64b)를 작동시키고 있으나, 이 때 동시에 위쪽의 제 1 및 제 3 공기실(A, C)에 부압을 작용시켜도 좋다.
또, 상기한 통상의 제조공정에 있어서, 덮개(42)를 들어올릴 때의 부압(負壓)의 병용과, 덮개(42)의 하강시의 양압(陽壓)의 병용과의 양쪽을 조합하여 사용하는 것도 가능하다.
또한, 본 발명은 상기 실시형태에만 한정되는 것이 아니라, 제 1 승강기구와 제 2 승강기구를 병렬로 배치하여, 제 1 및 제 2 승강기구가 각각 단독으로 지지아암(61)을 들어올리도록 하여도 좋다. 또, 이 경우에, 제 1 승강기구의 실린더 안지름을 제 2 승강기구의 실린더 안지름과 다르게 하여도 좋다.
다음에, 도 21∼도 24를 참조하면서 본 발명의 다른 실시형태에 따른 기판처리장치에 대하여 설명한다. 또, 본 실시형태가 상기 실시형태와 중복하는 부분에 있어서는 설명을 생략한다. 도 21에 나타내는 바와 같이, 가이드 포스트(62)의 안에는 에어실린더기구(64)와 병행하여 승강보조기구(300)가 설치되어 있다. 승강보조기구(300)는, 상부와 하부에 각각 2개씩 합계 4개의 폴리(344, 345, 346, 347)를 구비하고 있다. 제 1 풀리(344)의 바로 아래에는 제 2 풀리(345)가 배치되고, 제 3 풀리(346)의 바로 아래에는 제 4 풀리(347)가 배치되어 있다. 제 1 및 제 2 풀리사이에는 벨트(348)가 가로 놓여 있다. 제 3 및 제 4 폴리 사이에는 벨트(349)가 가로로 놓여 있다. 이들 2개의 벨트(348, 349)의 한쪽에 지지아암(61)의 밑부분(61c)이 체결부재(350)에 의해 체결되어 있다. 벨트(348, 349)의 다른쪽에는 추(352)가 부착되어 있다. 이 추(352)는 지지아암(61) 및 덮개(42)의 중량과 균형을 맞추는 밸런서이다. 지지아암(61)을 최하점에 위치시켰을 때에, 이 추(352)는 최상점에 위치하도록 되어 있다. 이 추(352)는 가이드레일(353, 354)을 따라 승강안내되도록 되어 있다. 지지아암(61)을 내리면 추(352)가 들어올려지고, 지지아암(61)을 들어올리면 추(352)가 내려가도록 되어 있다. 또, 상부풀리(342, 344)는 에어실린더기구(64)보다도 높은 위치에 설치되어 있다. 또한, 추(352)는 덮개(42)와 지지아암(61)과의 합계중량보다 조금 무겁게 하여도 좋다.
본 발명에 의하면, 장치를 분해하지 않고 간단하고 안전하게 보수관리를 행할 수 있다. 또한, 본 발명에 의하면, 기판처리시에 있어서 덮개를 신속하게 상승시키고, 덮개를 신속하게 강하시킬 수 있다.
도 1은, LCD기판처리시스템의 개요를 나타내는 평면배치도.
도 2는, LCD기판처리시스템의 개요를 나타내는 정면외관도.
도 3은, 도포/둘레가장자리 도포막제거유니트의 도포부를 나타내는 사시도.
도 4는, 도포/둘레가장자리 도포막제거유니트의 개요를 나타내는 평면도.
도 5는, 도포부의 컵으로부터 덮개를 떼어낸 상태를 나타내는 평면도.
도 6은, 도포부의 주요부를 나타내는 투시단면도.
도 7은, 본 발명의 실시형태에 따른 기판처리장치의 덮개승강용 실린더기구를 나타내는 투시단면도.
도 8은, 덮개와 컵을 나타내는 분해사시도.
도 9는, 도포처리시에 있어서의 덮개승강용 실린더기구(덮개를 닫은 상태)를 나타내는 확대단면도.
도 10은, 도포처리시에 있어서의 덮개승강용 실린더기구(덮개를 연 상태)를 나타내는 확대단면도.
도 11은, 보수점검시에 있어서의 덮개승강용 실린더기구(덮개를 한계높이위치까지 들어올린 상태)를 나타내는 확대단면도.
도 12는, 본 발명의 실시형태에 따른 기판처리장치를 나타내는 블록회로도.
도 13은, 스피드 콘트롤러(SC)의 종단면도.
도 14는, 급속 배기밸브의 종단면도.
도 15는, 파일럿 체크 밸브(PCV)의 회로도.
도 16은, 기판처리방법을 나타내는 플로우 챠트.
도 17은, 본 발명의 실시형태에 따른 기판처리장치(기판처리시에 있어서의 덮개 열림동작)를 나타내는 블록회로도.
도 18은, 본 발명의 실시형태에 따른 기판처리장치(기판처리시에 있어서의 덮개 닫힘동작)를 나타내는 블록회로도.
도 19는, 본 발명의 실시형태에 따른 기판처리장치(보수관리시에 있어서의 덮개의 대피동작)를 나타내는 블록회로도.
도 20은, 본 발명의 실시형태에 따른 기판처리장치(보수관리시에 있어서의 덮개의 귀환동작)를 나타내는 블록회로도.
도 21은, 본 발명의 다른 실시형태에 따른 기판처리장치를 나타내는 평면도.
도 22는, 본 발명의 다른 실시형태에 따른 기판처리장치를 나타내는 부분단면도.
도 23은, 본 발명의 다른 실시형태에 따른 기판처리장치를 나타내는 부분단면도.
도 24는, 본 발명의 다른 실시형태에 따른 기판처리장치를 나타내는 부분단면도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
1 : 도포·현상처리시스템 2 : 로더/언로더부
3 : 제 1 프로세스부 4 : 제 2 프로세스부
5 : 제 3 프로세스부 6 : 인터페이스부
7 : 노광장치 10 : 카세트 재치대
11 : 반송부 13 : 제 1 서브아암기구
14A : 제 1 주아암기구 14a : 홀더
14B : 제 2 주아암기구 14C : 제 3 주아암기구
15A, 15B, 15C : 중앙반송로 16 : 습식 세정유니트
17 : 가열유니트 18 : 건식 세정유니트
19 : 냉각유니트 21 : 레지스트 제거유니트
21A : 레지스트 도포장치 21B : 둘레가장자리 도포막 제거장치
24 : 어드히젼/냉각 유니트 25 : 가열/냉각유니트
26 : 가열/가열유니트 27 : 냉각유니트
28, 29, 30 : 현상유니트 31 : 타이틀러(titler)
32 : 가열/가열유니트 33, 34 : 가열/냉각유니트
36 : 반송/대기부 37 : 주고받음부
41 : 드레인컵 41c : 돌기
41d : 배액구 41f : 배기구
42 : 덮개 42a : 손잡이
42b : 샤프트 42c : 홈부
42d : 급기구멍 43 : 스핀척
44 : 바닥판 45 : 스테핑모터
46 : 벨트 47 : 스핀척 회전축
48A : 진공흡착기구 48B : 승강실린더기구
60 : 승강기구 61 : 지지아암
61a : 아암부재 61b : 리브
62 : 가이드 포스트 62a : 평행수직홈
63 : 수직 리니어가이드 64 : 실린더기구
64a : 제 1 실린더 64b : 제 2 실린더
64c : 아래쪽 끝단부 64d : 윗쪽 끝단부
64e : 아래쪽 끝단부 64f : 윗쪽 끄단부
65 : 로드 66 : 제 1 피스톤
67 : 로드 68 : 제 2 피스톤
69 : 칸막이판 69a : V 시일
70,71,72,73,77,80,83,84,85,90,95,96,97,98,101,102,104 : 배관
71a, 72a, 73a : 유로
74, 75, 76, 87, 88, 89 : 스피드 콘트롤러
77, 92, 96, 97, 104 : 입구 78, 79A, 79B : 파일럿 체크밸브
80, 83 : 출구 81, 82 : 긴급배출구
83 : 조정기 84, 85 : 입구
93, 94 : 솔레노이드 밸브 103 : 조정기
105, 106 : 급속배기 밸브 110 : 셔틀밸브
110a : 밸브실 111 : 볼밸브체
121, 122, 123 : 마그네트센서 150 : 도포액 공급기구
155 : 수평아암 156 : 요동기구
157 : 노즐부 158 : 대기부
161 : 본체 162 : 보디링
163 : 시트링 164 : 가이드
165 : 고정나사 166 : 니들
167 : 핸들 168 : U패킹
171 : 본체 172 : 가요밸브체
173 : 제 1 밸브시이트 174 : 협애부
175 : 제 2 밸브시이트 181a, 182a : 포트
181b, 182b : 파일럿 압력포트 182c : 포트
183, 184 : 체크밸브체 190A, 190B, 190C : 충격흡수재
192 : 아암 192a : 슬릿가이드
193 : 지지기둥 194 : 고정구
200 : 에어공급시스템 201 : 제어기
202 : 에어공급원 204 : 경보시스템
206 : 경보기 230 : 재치대
232 : 가이드레일 234 : 용제토출노즐
236 : 스캔이동기구 238 : 접근센서
262 : 이송기구 300 : 승강보조기구
344, 345, 346, 347 : 풀리 348, 349 : 벨트
350 : 체결부재 352 : 추
353, 354: 가이드레일

Claims (11)

  1. 포토리소그래피처리에 공급되어야 할 피처리기판을 유지하는 기판유지장치는,
    기판재치대와,
    상부 개구를 가지며, 상기 기판재치대를 둘러싸는 컵과,
    이 컵의 상부 개구를 개폐하는 덮개와,
    이 덮개를 수평으로 지지하는 지지아암과,
    이 지지아암을 직접 또는 간접으로 지지하는 제 1 피스톤과, 이 제 1 피스톤을 승강안내하는 제 1 실린더를 가진 제 1 승강기구와,
    상기 지지아암을 적어도 상기 제 1 피스톤을 통하여 간접적으로 지지하는 제 2 피스톤과, 이 제 2 피스톤을 승강안내하는 제 2 실린더를 가진 제 2 승강기구와,
    상기 제 1 및 제 2 실린더에 압력유체를 각각 공급하고, 상기 제 1 및 제 2 실린더로부터의 압력유체를 각각 배기하도록 구성된 구동회로와,
    이 구동회로의 동작을 각각 제어하는 제어기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  2. 제 1 항에 있어서
    상기 제어기구는, 상기 제 1 및 제 2 승강기구의 양자에 의해 상기 지지아암과 함께 덮개를 승강시키거나, 또는 상기 제 1 및 제 2 승강기구중 어느 한쪽에 의해 상기 지지아암과 함께 덮개를 승강시키는가를 선택하여, 이 선택에 따라 상기 구동회로의 동작을 제어하는 기판처리장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제어기구는, 상기 제 1 및 제 2 승강기구의 양자에 의해 상기 지지아암과 함께 덮개가 승강되도록, 상기 구동회로의 동작을 제어하는 기판처리장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제어기구는, 상기 지지아암과 함께 덮개를 상승시키는 데 필요한 구동력보다도 작은 구동력이 상기 제 1 및 제 2 피스톤중 어느 한쪽에 인가되도록, 상기 구동회로를 제어하는 기판처리장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 실린더 내에서의 상기 제 1 피스톤의 스트로크(L4)는 상기 제 2 실린더 내에서의 상기 제 2 피스톤의 스트로크(L3)와 다른 기판처리장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 피스톤의 스트로크는 상기 제 2 피스톤의 스트로크보다 크고, 상기 제 1 및 제 2 피스톤을 상사점(上死點)까지 상승시켰을 때에 상기 컵과 덮개와의 사이에 보수관리를 하기 위한 충분한 공간을 확보할 수 있는 높이로 덮개가 들어 올려지는 기판처리장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 지지아암은, 덮개의 하중부하를 수평인 지지아암의 한쪽의 끝단부에서 받는 2개의 아암부재로 이루어지는 기판처리장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    덮개의 승강동작에 이상이 생겼을 때에 상기 제어기구로부터 신호를 수취, 경보를 발하도록 구성된 경보기를 더욱 가지는 기판처리장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 구동회로에 포함되고, 상기 제 1 및 제 2 실린더중 적어도 한쪽에 연이어 통하고, 상기 제 1 및 제 2 실린더중 적어도 한쪽으로부터의 압력유체의 누출을 방지하도록 구성된 체크밸브를 더욱 가진 기판처리장치.
  10. 기판재치대와,
    상부 개구를 가지며, 상기 기판재치대를 둘러싸는 컵과,
    이 컵의 상부 개구를 개폐하는 덮개와,
    이 덮개를 지지하는 지지아암과,
    이 지지아암을 승강시키는 구동력을 지지아암에 전달하는 피스톤을 구비한 실린더기구와,
    이 실린더기구의 피스톤의 상사점(上死點)보다도 윗쪽에 위치하는 윗 풀리와,
    이 윗 풀리보다도 아래쪽에 위치하는 아랫 풀리와,
    이들 상하 풀리사이에 가로놓이고, 그 한쪽편에 상기 지지아암이 체결된 무단(無端) 벨트와,
    상기 지지아암 및 덮개와 균형을 잡도록 상기 무단벨트의 다른쪽에 체결된 추를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 추는, 상기 지지아암 및 덮개의 합계중량보다 무거운 기판처리장치.
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