TW392226B - Apparatus for processing substrate - Google Patents

Description

經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（1 ) . 〔發明之背景〕 本發明係有關具備要規定用以處理如液晶顯示器（ LCD)用玻璃之大型的基板用處理空間之杯狀物及蓋的 基板處理裝置。 在於L C D之製造工程中，將會與半導體裝置之製造 過程同樣，予以利用光刻法（照相平版印刷）之技術。於 L CD之光刻法中，乃形成抗蝕劑塗（敷）膜於玻璃基板 上，而進行圖案之曝光之後，予以顯像。而後’選擇性地 蝕刻所形成於基板之半導體層，絕緣體層’電極層，以形 成I T 0 ( Indium Tin Oxide )之薄膜或電極圖案。 當要塗敷抗蝕液於L C D基板之時，將利用所謂之旋 轉塗敷法。而對於旋轉塗敷法，將使用例如揭示於美國專 利之USP 5，688，322號公報的塗敷裝置。該先 前之塗敷裝置係以打開蓋（子），搬進基板於杯狀物內， 以旋轉卡盤（夾頭）吸著保持基板，滴下溶劑及抗蝕液於 基板表面，關閉蓋（子），以旋轉卡盤來旋轉基板，打開 蓋，從杯狀物搬出基板，及關閉蓋之過程來進行者。 惟在先前（習知）裝置之蓋，乃由氣缸機構所升降之 支撐臂形成外伸（overhung )狀被支撐著。且要從杯狀物 提升蓋之最大行程量爲相等於缸筒（氣缸）之行程量，爲 此，蓋與杯狀物之分離距離極爲短，因而，無法確保充分 之空間來實施杯狀物內部之窬潔便多»因此，每一次要淸 潔杯狀物內部時，就需，要從裝置本體卸下蓋與支撐臂，以 致煙爲术友^僂。 .....-- ^^^^1 nn n nn mHf I .^1^1 n^n ^^^^1 vl^f (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公泰> -4- 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 五、發明説明（2 ) 又蓋或支撐臂爲大型且重的物品，因而極難以操作， -- --- 有可能在從裝置本體卸下或在裝配它們之時，會使它們碰 撞至杯狀物及其附件而產生破壞之虞。又在提高蓋蓋之時 ，因會施加過大之負載於氣缸機構，而會招致故障變爲多 ，裝置之壽命變爲短。另一方面，當要下降蓋之時，會費 很多時間來排氣氣缸內之空氣，致使生長量成爲低》 〔發明之槪要〕 本發明之目的，係擬提供一種在實施基板處理時，可 迅速地來進行開閉蓋（子），且在維修管理之時，能在不 需要拆卸裝置之下，可簡易且安全地實施工作之基板處理 裝置。 有關本發明之基板處理裝置，其特徵爲具備有： 基板載置台； 上部具有開口且圍繞前述基板載置台之杯狀物； 要關閉該杯狀物之上部開口的蓋； 支撐該蓋之支撐臂； 具有以直接或間接地來支撐該支撐臂的第1活塞，及 要導引升降該第1活塞用之第1缸筒的第1升降機構； 具有以直接或間接地來支撐前述支撐臂用之第2活塞· ，及要導引升降該第2活塞用之第2缸筒的第2升降機構

I 個別供應壓力流體給予前述第1及第2之缸筒，且從 前述第1及第2之缸筒個別予以排氣壓力流體用之驅動迴 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -5 '(請先閱讀背面之注意事項再¾¾本頁) 訂 五、發明説明（3 ) # 路；及 個別控制該控制迴路之動作用之控制機構。 有關本發明之基板處理裝置，其特徵爲具備有 基板載置台； 上部具有開口且圍繞前述基板載置台之杯狀物·， 要關閉該杯狀物之上部開口的蓋； 支撐該蓋之支撐臂； 具備要傳達用以升降該支撐臂用之驅動力給予該支撐 臂之活塞的缸筒機構； 位於較該缸筒機構之活塞上死點更爲上方位置之上帶 輪； 位於較該上帶輪位於下方位置之下帶輪； 被架設於該等上下帶輪之間，並在其一方側被扣接（ 固定）有前述支撐臂之無端環帶；及 爲使與前述支撐臂及蓋形成平衡而扣接在前述無端環 帶之另一側之重物（錘）。 經濟部中央標隼局貝工消費合作社印製 {讀先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) .1.. 〔發明之實施形態〕 以下，將參照所附上之圖式之下，對於本發明之種種 理想之實施形態加以說明。 如圖1及圖2所示，塗敷•顯像處理系統1具備有： 裝載/卸載部2 ;第1過程Γ處理）部3 ;第2處理部4 :第3處理部5 ;及聯絡（連繫，Interface )部6。此一 處堙系統1乃具備有以塗敷光致抗蝕液於L CD基板G來 it 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -6 - Λ 7 Β' 五、發明説明（4 ) ' · 顯像抗蝕液塗（數）膜用之種種處理機構，而藉聯絡部6 來被聯結於曝光裝置7。 — 裝載/卸載部2乃具備有個別朝X方向所展延之卡匣 載置台1 0及搬運部1 1。在卡匣載置台1 0上，排列載 置最多爲4個之卡匣Cl、 C2。其中，2個之卡匣C1 收容有處理前之LCD基板G，而另外之2個卡匣C2將 收容處理後之LCD基板G。各卡匣Cl、 C2可收容例 如最多爲25片之LCD基板。 裝載/卸載部2之搬運部11配設有第1之副臂機構 13。而該第1副臂機構13乃具備有：對於卡匣C1、 C2搬出搬入基板G用之夾持具；使該夾持具予以前進或 後退用之進退驅動機構：朝X軸方向移動夾持具用之X軸 驅動機構；朝Z軸方向移動夾持具用之Z軸移動機構；及 使夾持具繞著Z軸旋轉擺動用之0旋轉驅動機構。 經濟部中央標準局負工消费合作社印製 {請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 第1處理（過程）部3乃具備有：朝Y軸方向展延之 中央搬運道15A:沿著該搬運道15A配設成可行走之 第1主臂機構14A;及複數之處理單元16、17、 18、 19。在搬運道15A之一方側配置有2部濕式洗 淨（淸潔）單元1 6。該單元1 6係具有對於基板灑洗淨 理液之同時，以旋轉刷子來實施擦洗淸潔基板G表面用.之 刷洗淸潔器S C R。在搬運道1 5 A之另一方側則配置有 加熱單元1 7、乾式清潔單π 1 8、冷卻單元1 9。加熱 單元1 7具有加熱基板G用之上下二層之熱板HP 1。乾 式淸潔單元1 8乃具有照射紫外線於基板G來淸潔（洗淨 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4現格（210X297公釐) 經濟部中央標準局負工消费合作社印製 B7 五、發明説明（5 ) )基板G表面用之紫外線淸潔裝置UV。冷卻單元1 9乃 具備有冷卻基板G用之冷卻板COL1。第1主臂機構 1 4A係具備有：保持（夾持）基板G用之夾持具1 4 a ;使該夾持具1 4 a前進或後退用之進退·驅動機構；朝Y 軸方向移動夾持具1 4 a用之Y軸驅動機構；使夾持具 1 4 a朝Z軸方向移動用之Z軸移動機構；及使夾持具 14a繞著Z軸擺動旋轉用之0旋轉驅動機構。 第2處理部4乃具備有：朝Y軸方向展延之中央搬運 道1 5 B ;沿著該搬運道1 5 B配設成可行走之第2主臂 機構14B:及複數之處理單元21、 24、 25、 26 。在搬運道1 5 B之一方側配置有抗蝕劑塗敷/周‘（邊） 緣抗蝕劑去除單元2 1。該單元21乃具備有旋轉基板G 之下予以塗敷抗蝕液之塗敷裝置CT，及從基板G之周（ 邊）緣部去除塗膜之周邊緣抗蝕劑去除裝置E R。搬運道 1 5 B之另一方側乃配置有黏著/冷卻單元2 4、加熱/ 冷卻單元2 5，加熱/加熱單元2 6。黏著/冷卻單元 2 4乃具備有以HMD S之蒸氣來對於基板G表面實施疏 水化處理之黏著裝置AD，及冷卻基板G用之冷卻板 COL3。加熱/冷卻單元25乃具備有加熱基板G用之 熱板Η P 2，及冷卻基板G用之冷卻板C0L3。加熱/ 加熱單元2 6乃具備上、下兩層之加熱基板用之熱板 Η Ρ 2。 — 第3處理部5乃具備有：朝Υ軸方向展延之中央搬運 道1 5 C ;沿著該搬運道1 5 C配設成可行走之第3主臂 -------—αΐ (請先閲請背面之注意事項再填寫本頁) -口 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ25»7公釐) ΓβΊ 五、發明説明（6 ) * 機構14C;及複數之處理單元28、 29、 30、 31 、3 2、3 3、3 4 »在搬運道Ί 5 C之一方側配置有三 部顯像單元28、 29、 30。各單元28、 29、 30 具備有對於基板G灑顯像液以進行顯像處理抗蝕劑塗敷膜 用之顯像裝置DEV。而在搬運道1 5 C之另一方側則配 置有標題機（TITLER)31、加熱/加熱單元32 、加熱/冷卻單元33、 34。再者，第2及第3之主臂 機構14B、 14C係與上述之第1主臂機構14A在實 質上爲相同者。又在第1處理部3和第2處理部4之間予 以配設冷卻單元2 0，在第2處理部4和第3處理部5之 間則配設有冷卻單元2 7。該等之冷卻單元2 0、2 7係 用以暫時性地令等待處理之基板使之待命用所使用者。 聯絡部6係配設於第3處理部5和曝光裝置7之間。 聯絡部6具備有搬運/待命部3 6及交接部3 7。搬運/

待命部3 6配設有第2副臂機構3 5及2個緩衝卡匣B C 。第2副臂機構3 5在實質上與第1副臂機構1 3爲相同

者。各緩衝卡匣B C收容有等待處理基板，而形成基板G 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 暫時性地在此等待。在交接部3 7設有交接台（未圖示） ，並形成基板G乃藉該交接台能在曝光裝置7之搬運機構 (耒圖示）和第2副臂機構3 5之間進行交接。 接著，以參照圖3〜圖6之下來對於抗蝕劑塗敷/周 邊緣塗膜去除單元2 1加以說_明。 如圖4所示，單元2 1乃具備有抗蝕劑塗敷裝置 * 21ACCT)及周邊緣塗膜去除裝置21B(ER)。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) 7〇Ί Λ 7 ____ = ' - - .........- - - -一 ...... 1 五、發明説明（7 ) , 在單元2 1之正面壁形成了 2個開閉口（未圖示）’而以 藉一方開閉口來搬基板G進入於抗蝕劑塗敷裝置2 1A ’ 以藉另一方之開閉口來使基板G從周邊緣塗膜去除裝置 2 1 B被搬出。再者，配設有移送機構2 6 2於抗飩·劑塗 敷裝置21A和周邊緣塗膜去除部21B之間’而形成可 從抗蝕劑塗敷裝置2 1 A朝向周邊緣塗膜去除部2 1 B移 送基板G。 如圖3及圖6所示，抗蝕劑塗敷裝置2 1 A具備有： 旋轉卡盤4 3、旋轉杯狀物C P ;排流（用）杯狀物（ drain cup ) 4 1 ;蓋4 2 ;及塗敷液供應機構1 5 0。旋 轉卡盤4 3乃具備有具有步進馬達（電動機）4 5之旋轉 驅動機構，和真空吸著機構4 8 A及升降缸筒機構4 8 B 。馬達4 5之驅動帶輪和旋轉卡盤之（旋）轉軸4 7之從 動帶輪之間有架掛皮帶》真空吸著機構4 8 A之通道的一 方側乃在旋轉卡盤4 3上面開□，另一方側係藉曲徑軸封 部來連通於真空排氣泵（未圖示）之吸入側。而升降缸筒 機構4 8 B之柱則被聯結於旋轉卡盤之旋轉軸4 7。 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 旋轉杯狀物C P係設成圍繞著旋轉卡盤4 3。該旋轉 杯狀物C P和旋轉卡盤4 3係形成由共同之馬達4 5以同 步旋轉者。旋轉杯狀物C P上部成開口，而形成可被蓋（ 子）42蓋上》旋轉杯狀物CP乃具有例如可收容830 mm X 6 5 0 mm大小之基板G之容積。並予以形成複數 之排出孔於旋轉杯狀.物.C P之外周下面，以藉該等之排出 孔來使靖滴下之液體或霧可從旋轉杯狀物C P排出於排流 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ -ι〇. 經濟部中央標準局員工消费合作社印掣 Λ7

IT 五、發明説明（8 ) , * ·. 杯狀物4 1。 再以形成圍繞旋轉杯狀物C_P狀來配設有排流（用） 杯狀物4 1。而形成有複數之排液口 4 1 d於排流杯狀物 4 1底部，而藉該等之排液口 4 1 d形成可從排流杯狀物 4 1排出廢液於回收再生裝置（未圖示）。又在排流杯狀 物4 1之側面周緣部形成有4個之排氣口 4 1 f，而藉該 等排氣口41f來使霧從排流杯狀物41排出至回收再生 裝置（未圖示）。再者，各排氣口 4 1 f乃藉排氣口 4 1 e個別連通於真空排氣泵（未圖示）之吸入口。 塗敷液供應機構150乃具備有：水平臂155 ;擺 動機構156 ;噴嘴部157 ;及待命部158。水平臂 1 5 5之基端部係被支撐成可旋轉於擺動機構1 5 6之垂 直驅動軸。噴嘴部1 5 7係被安裝於水平臂1 5 5之自由 端部。噴嘴部1 5 7係由擺動機構1 5 6而形成可往回移 動於待命部15 8 (原始位置）和旋轉卡盤4 3之旋轉中 心上方（使用位置）之間。又噴嘴部1 5 7具備有2個噴 嘴（未圖示）。其中一方之噴嘴爲抗蝕液供應用，另一方 噴嘴爲溶劑（稀釋劑）供應用。 如圖4所示，周邊緣塗膜去除部2 1 B乃具備有：吸 著保持基板G用之載置台2 3 0 ;配設於載置台2 3 0周 圍之4條導軌2 3 2 ;配設成可沿著各導軌2 3 2移動之 溶劑吐出噴嘴2 3 4 ;及個別令各噴嘴2 34使之移動用 之掃描移動機構2 3 6。再者，在適當場所配設了防止噴 嘴2 3 4彼此產生踫衝用之複數之接近察覺（測感）器 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ,ιτ i 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4規格（210X297公釐) -11 五、發明説明（9 ) . 2 3 8。 如圖.8所示，將在旋轉杯狀物C P予以覆蓋蓋（子） 42。該蓋42係由鋁合金所製成，直徑爲約1 100 mm。蓋42和支撐臂6 1之總計重量爲約50kg。蓋 4 2中央部貫穿有軸4 2 b，而軸4 2 b上端安裝有把手 4 2 a，軸4 2 b下端則安裝有將後述之矯直（整流）板 (未圖示）。把手4 2 a係被聯結於將後述之升降檄構 6 0之支撐臂6 1。 蓋4 2之周邊部乃形成階梯差狀而成爲較其他部分有 少許之高狀。而在該周邊緣階梯部下面予以形成有複數之 凹處4 2 c。另一方面旋轉杯狀物C P之周邊緣部上面則 形成有複數之突起4 1 c。當覆蓋蓋（子）4 2於旋轉杯 狀物CP之時，突起41c會嵌入於各凹處42c，而使 蓋4 2卡合於旋轉杯狀物C P。由而，蓋4 2與旋轉杯狀 物C P形成緊密狀之一體化，並在其內部形成要處理基板 所用之處理空間。 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 {請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 蓋4 2下部乃安裝有整流板（未圖示）。空氣將形成 經由供氣孔4 2 d未被導入於處理（用）空間，且沿著整 流板成輻射狀擴大而經由排出孔從處理空間流出至排流杯 狀物4 1 »該空氣之氣流乃具有可迅速且順暢地從處理空 間排出抗蝕液之液滴或霧的功能。又供氣孔4 2 d因具有 可防止旋轉杯狀物C P之內S力形成過度之負壓力之功能 ，因而可容易地從旋轉杯狀物C P卸下蓋4 2。如圖6所 示，在進行塗敷處理時，旋轉卡盤4 3將由升降缸筒機構 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -12 _ 經濟部中央標準局貝工消費合作社印裝 Λ7

IT 五、發明説明（10 ) · 48B被下降直至較杯狀物CP、 41上面更低之位置。 .另一方面，在交接基板之時，旋轉卡盤4 3將由升降缸筒 機構48B而被提升至較杯狀物41、 CP上面更爲高之 位置。 接著，將對於要升降蓋4 2用之升降機構6 0以參照 圖3〜圖15及圖18〜圖20來加以說明。 如圖4所示，升降機構6 0係配設於從塗敷部2 1 A 內之周邊緣塗膜去除部（Edge Remover ) 2 1 B最爲遠 離之部位。升降機構6 0具備有支撐臂6 1，及導柱6 2 。支撐臂6 1係從導柱6 2成水平伸出，並在其前端成外 伸狀支撐著蓋4 2。支撐臂6 1乃具備有要夾持蓋4 2用 之一對臂構件6 1 a，及用以互相聯結加強該等一對之臂 構件6 la用之兩支之肋6 lb。 如圖3所示，在導柱6 2正面予以形成一對之平行垂 直溝6 2 a，並使臂構件6 1 a形成可個別地被引導移動 於各溝6 2 a內。如圖4及圖6所示，在導柱6 2兩側之 內壁個別配設有垂直直線性導件6 3，並藉棒狀突起 6 1 c來使各個臂構件6 1 a之基端部卡合於各直線性導 件。 如圖6所示，在支撐臂61下部配設有缸筒機構64 。該缸筒機構6 4係以貫穿底板4 4來配設，而其上半部 係位於導柱6 2之內部，其T半部則位於導柱6 2之外部 〇 * 如圖7及圖8〜圖2 0所示，爲了安全操作和防止損 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐> ..13- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 4. 訂 H7 五、發明説明（11 ) · 傷而安裝有3個之減震器190A、190B、1 9 0 C 於導柱6 2。第1減震器1 9 0A係安裝於導柱6 2之上 部，形成可吸收緩和由於急遽之上升而所產生之支撐臂 6 1碰衝時之衝擊力。第2減震器1 9 Ο B則被安裝於導 柱6 2下部，而形成可吸收緩和由於急遽下降（蓋4 2之 掉落）而所產生之支撐臂6 1碰衝時之衝擊力。第3減震 器1 9 0 C係如圖1 8所示，被安裝於被支撐於支柱 193之水平臂192之前端。水平臂192形成有開縫 導引（slit _guide ) 1 9 2 a，而臂1 9 2 a係經由該開 縫導引1 9 2 a由固定件1 94被鎖緊於支柱1 9 3。當 放鬆固定件1 9 4時，臂1 9 2就成爲可滑動而使第3減 震器1 9 0 C可進出於導柱6 2之中間部。該第3減震器 1, 9 0 C係在基板之處理時，被設於導柱6 2之中間部， 並在維修管理時，就會從導柱6 2之中間部撤走。 接著，將對於升降機構6 0之缸筒機構6 4以參照圖 7及圖9〜圖1 1來加以詳細地說明。 經濟部中央標準局貝工消费合作社印來 (諳先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 桿6 5乃形成可徉缸筒機構6 4上部予以突出退回。 該桿6 5之上部6 5 a係被聯結於支撐臂6 1下部。另一 方面，桿65下部則被聯結於活塞66。 ^ ：. 如圖7及圖9所示，缸筒機構64乃具備有上側之第 1缸筒64a，及下側之第2缸筒64b。而在該等之第 1缸筒64a和第2缸筒6 4飞之間，配設有隔板69, 由而被劃分爲上部缸筒室（第1及第2之空氣室）A，B 及下部缸筒室（3第及第4之空氣室c、D。在第1缸筒 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) .14- Λ 7 Β7 五、發明説明（12 ) ， 6 4 a內，設有第1活塞6 6及桿6 5形成可升降。由而 第1活塞6 6來使第1缸筒6 43之內部空間被劃分爲上 側之第1空氣室A和下側之第2空氣室Β »再者，第1活 塞6 6係形成可從第1缸筒6 4 a之下方階梯部6 4 c移 動直至上方階梯部6 4 d爲止，該行程L 4爲4 5 0〜 5 0 Omm之長。又第2活塞6 8係形成可從第2缸筒 64b之下方階梯部64e移動直至上方階梯部64 f爲 止，該行程L3係220〜250mm之長》 爲了個別偵測第1及第2之活塞6 6、6 8之位置， 而安裝有3個之磁敏元件_( magneto_sensor ) 12 1、 1 2 3於缸筒6 4 a、6 4b之外壁。第1之磁敏元件（ 或簡稱爲察覺器）1 2 1係配設於從第1缸筒6 4 a之下 方階梯部6 4 c起有距離L 4之位置（在於上方階梯部 64d之附近）》第2察覺器122係配設於從第1缸筒 6 4 a之下方階梯部6 4 c起有距離L 3之位置。第3察 覺器1 2 3係配設於從第2缸筒6 4 b下方階梯部6 4 e 起有距離L 3之位置（在於上方階梯部6 4 ί之附近）。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 {#先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 各活塞6 6、6 8乃個別埋設有永久磁鐵（未圖示） 。並形成當活塞66、 68藉缸筒之壁與磁敏元件 · ] 121、122. 1 23成相對向時，從永久磁鐵所洩漏 之磁通會被察覺器121、 122、 123所偵測，而傳 送偵測信號給予控制器20Γ。 第1紅筒6 4 a上部乃安裝有管線（管路）7 1 ,而 在第1缸筒6 4A下部安裝有管線7 2。該等管線7 1、 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) Τις ' 五、發明説明（13 ) 7 2乃個別連通於將後述之空氣供應系統2 0 0 (參照圖 12)，而形成藉流道7 la來使空氣進出於第1空氣室 A，藉流道7 2 a來使空氣進出於第2空氣室B。 在第2缸筒6 4 b內，將第2活塞6 8及桿6 7配設 成可升降。而由第2活塞6 8來使第2缸筒6 4 b之內部 空間劃分爲上側之第3空氣室C及下側之第4空氣室D » 在第2缸筒6 4b上部安裝有管線7 0，而在第2缸 筒64b下部安裝有管線73。該等管線70、 73係形 成個別連通於將後述之空氣供應系統2 0 0 (參照圖12 )，以藉流道7 0 a來使空氣可進出於第3空氣室C，藉 流道73a來使空氣可進出於第4空氣室。 隔板6 9中央予以形成貫穿孔，而形成第2桿6 7可 經過該貫穿孔來出入於第1缸筒6 4 a之第2空氣室B。 而在隔板6 9和第2桿67之間，配設有V型密封（物） 經濟、部中央標準局負工消費合作社印製 6 9 a，由而，予以防止第2空氣室B和第3空氣室c之 間所能產生之空氣的洩漏。該V型密封6 9 a係低摩擦阻 力者，因而形成可順暢地令第2桿67滑動於隔板69» 第2桿6 7之長度係較第2缸筒6 4 b之長度更長， 並形成桿6 7之前端部分，經常能位於第2空氣室B內。 雖第2桿67和活塞68形成互相聯結，第1桿65和活 塞6 6形成互相聯結，惟第2桿6 7並未與第1活塞相聯 '結（形成分離狀）。第2桿7係如圖9及圖1 〇所示， 會形成抵接於第1活塞,6 6，或如圖1 1所示，會形成從 4 第1活i 6 6分開。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) -16- Λ7 B7 ------ ' - 1 * — ~- - - , - , ----- ----- 五、發明説明（14 ) . · • % 接著，將對於缸筒機構64供應空氣時之動作，以參 照圖9〜圖1 1之下來加以說明、 如圖9所示，在於未供應空氣給予流道7 1 a、 72a、 73a之狀態時’第1及第2之活塞66、 68 乃個別位於第1及第2之缸筒64 a、6 4b之最低點（ 下死點）之位置，而形成第2桿6 7之上端.抵接於第1活 塞66之下面中央部。 如圖1 0所示，當供應壓力爲P 2之空氣給予第4空 氣室D時，第2活塞6 8就會上升，而使第2桿6 7抵接 於第1活塞6 6且朝上方提升。此時，同時供應壓力P 1 之空氣給予第2空氣室B，以賦與第1活塞6 6上升力。 由而，形成如圖17所示，可從第1位置PS1 (杯狀物 C P之位置）提上蓋4 2至第2位置P S 2 (基板處理時 之打開蓋時之位置）。 經濟部中央標率局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填、寫本頁) 如圖1 1所示，當供應壓力P 2之空氣至第2空氣室 B時，第1活塞6 6就會更上升而達到第1缸筒6 4 a之 上死點。由而，如圖1 9所示，蓋4 2可從第2位置 PS2更被提上至第3位置PS3(維修管理時之打開蓋 的位置）。 而在該狀態時，從流道7 2 a供應壓力P 1之空氣給 予第2空氣室B，且從安裝之管線（以下簡稱爲配管） 7 3供應壓力P 2之空氣給予_第4空氣室D。並使壓力 P 1、P 2之間具有如下式子（1.)之關係。 ♦ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公漦） -17- Λ7 B? 五、發明説明（15 ) ^ P 1 < W < P 2 ...... ( 1 ) 惟上式中，假設P1爲要供應於第1缸筒6 4 a (第 2空氣室B )之空氣壓力，W爲要提上支撐臂6 1及蓋 42所需要之空氣壓力，P2爲將供應於第2缸筒6 4 b (第4空氣室D)之空氣壓力。 由而，第1及第2活塞66、 68均會作用了朝垂直 方向朝上之驅動力。並在此時，第2活塞6 8係由壓力爲 P 2之空氣所驅動，且具有所謂如上式（1 )所示之較空 氣壓力W，空氣壓力P 2 —方爲更大（W< P 2 )之關係 。爲此，僅以第2活塞6 8單獨亦可提高支撐臂6 1及蓋 4 2。 另一方面，雖亦會對於第1活塞6 6作用朝垂直方向 朝上之驅動力，惟該驅動力係依據壓力P 1之空氣來供應 者，而如上式（1 )所示，較空氣壓力W具有空氣壓力 P 1 —方爲小（P 1 <W)之關係。爲此，以第1活塞 6 6單獨之時，並無法提高支撐臂6 1及蓋4 2。 經濟部中央標準局貝工消费合作社印裝 {請先閱讀背面之注意事項再^湾本頁) 以缸筒機構6 4整體言，將形成僅將支撐臂6 1及蓋 4 2能提高第2活塞6 8之行程L 3之份量而已。亦即， 以維持第2桿6 7和第1活塞6 6抵接之狀態下，第1及 第2之活塞66、 68同樣地均朝上方僅移動行程L3而 已。 —- 以如上述，在通常之基板處理時，主要由下側之第2 活塞6 4 b來負責提高（提升）支撐臂6 1及蓋4 2之負 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4規格（21〇χ297公釐）. -18- Λ? B7 ____ __ 五、發明説明（16 ) , 載。而此時，第1活塞6 6係由第2桿6 7所被推向上方 .。然而，雖爲輔助性，從第1缸筒6 4 a亦可對於第1活 塞6 6賦與驅動力，因而，較以第2缸筒6 4 b單獨來進 行之時，由第1及第2之缸筒64a、 64b協力合作之 時，更能提高要提升之支撐臂6 1及蓋4 2的速度。 接著，將對於在維修管理之時的開閉蓋4 2之動作， 以參照圖1 1、圖1 9、圖20之下來加以說明。 首先，從流道7 2 a供應壓力P 1之空氣給予第2空 氣室B之同時，從流道7 3 a供應壓力P 2之空氣給予第 4空氣室D。由而，可從第1位置P S 1提升蓋4 2直至 第2位置PS2爲止。 經濟部中央標华局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再ίΛη本頁) 接著，切換空氣供應系統2 0 0之迴路，而維持來自 流道7 3 a所供應之空氣壓力P 2之下，將來自流道 7 2 a所供應之空氣壓力從P 1改變爲P 2。由而，可對 於第1活塞6 6賦與要提升支撐臂61及蓋4 2所需之充 分之驅動力，而能以第1活塞6 6單獨地來開始提升支撐 臂6 1及臂42，並以如圖1 1所示，第1活塞66將上 升直至第1缸筒6 4 a之上死點而停止。該時，由於僅以 第1活塞6 6單獨來提升支撐臂6 1及蓋4 2，且其驅動 力源僅有壓力P 2之空氣，因此，該維修管理時之蓋的上 升速度會較基板處理當時爲慢。然而，該蓋4 2之打開時 間僅佔維修管理所需之時間整體言，所佔之比例僅爲少許 而已，因而，該打開時間之延遲，能在於可許可之範圍內 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -19 -

經濟部中央標準局負工消費合作社印掣 五、發明説明（17 ) • 以如上述，第1桿6 5係較第2桿6 7極爲長，因而 ’支撐臂6 1可提高至相當高之髙度，而可在蓋4 2和塗 敷裝置2 1 A之上部框之間，確保要進行維修管理所需要 之空間。 接著，對於供應空氣給予缸筒機構6 4用之空氣供應 系統2 0 0，以參照圖1 2及圖9〜圖1 1之下來加以說 明。 空氣供應系統2 0 0乃具備有要控制以下所要陳述之 多種多樣之元件（液體機器）的動作用之控制器2 0 1。 該控制器2 0 1係構成爲在於升降機構6 0發生誤動作之 時’會傳送信號至警報系統2 0 4而以警報機2 0 6來通 知操作者之同時，傳送要使異常動作使之停止用信號至蓋 提高器驅動部。管線7 1係連通於第1缸筒6 4 a上部之 第1空氣室A。該管線7 1係經由控速器（SC) 74， 管線 7 7，引示節制閥（Pilot check valve )( P V C ) 78、管線80、快速排氣閥（QEV) 105，管線 84、控速器（SC) 88、管線96來連通於電磁閥（ S0LV) 94。而電磁閥（S0LV) 94乃具備有吸 氣側之管線1 0 1及排氣側之管線1 〇 2。吸氣側之管線 101係連通於空氣供應源（供空氣源）2 0 2之供應口 。再者，電磁閥（solv ) 9 4之管線9 7係連通於第2缸 筒6 4 b下部之第4空氣室D_。 管線7 2係連通於第1缸筒6 4 a下部之第2空氣室 B。該管線72係經由控速器（SC) 7 5、引示節制閥 (請先閲讀背而之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（_CNS )八4規格（210X297公釐） _ 20 - Λ7 B" 五、發明説明（18 ) . · (PCV) 7 9 B及管線9 2來連通於梭動閥（Shuttle Valve ) (SHV)ll〇。梭動閥（SHV)llO 乃 具備有閥室1 1 0 a及珠閥休1 1 1，且3條管線8 6、 9 1、92連通於閥室ll〇a。該電磁閥（SO LV) 9 3乃具備有供氣側之管線9 9及排氣側之管線1 〇 〇。 再者，在電磁閥（SOLV) 93乃配設有要切換供氣側 和排氣側時所需要之管線9 8，而該管線9 8係開放於大 氣。' 第2管線9 1係連通於調整器（REG) 10 3之進 入口（入口）側。而管線9 0連通於調整器（REG) 10 3之出口側，該管線9 0係合流於從電磁閥（ SOLV)94朝向第2缸筒64b下部之第4空氣室D 之管線8 5之途中。第3管線9 2係經由引示節制閥（ 卩（：乂）798、控速器（8(：0 75及管線72來連通 於第1缸筒64a下部之第2空氣室B。 經濟部中央標準局員工消费合作社印聚 (討先閔讀背面之注意事項苒读寫本頁) 管線7 0係連通於第2缸筒6 4 b上部之第3空氣室 C，並經由未圖示之管線來開放（放洩）於大氣》另一方 面，第2缸筒6 4 b下部之管線7 3係連通於第4空氣室 D。該管線73係經由控速器（SC.) 76、管線104 、引示節制閥（卩（：/)79厶，管線8 3、快速排氣閥 (QEV) 106、管線 85、控速器（SC) 89、管 線97來連通於電磁閥（SCTLV) 94〇 接著，對於使用於上述空氣供應系統2 0 0之迴路之 各種元件，以參照圖1 3〜圖1 5之下來加以說明。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） .21 - . __ B" * ·—— __ 五、發明説明（19 ) # 電磁閥（S OLV) 9 3、9 4係形成電性驅動之閥 ，用以進行吸氣、排氣之開始或_停止，或者予以切換（轉 換）流動於管線中之空氣流動方向爲順向與反向之間所用 者。 如圖13所示，控速器（SC) 74 (7 5、76、 87、88、89)係在進口 77 (92、95、96、 97、104)和出口 71 (72、7 3、73、84、 85、 86)之間，具有針166之流量調整器。本體 161具備有做爲成正交之流道的進口 77 (92、95 、96、97、10 4)及出口 71 (72、73、84 、85、86)。針 16 6 係藉機身環（body ring ) 1 6 2、平頂環（sheet ring ) 163、導件 164、倂 緊螺帽1 6 5來裝配於本體1 6 1。而當旋轉把手1 6 7 時，針1 6 6之前端就會形成抵接或離開U形襯墊1 6 8 ，由而可變更流道之剖面積。 如圖14所示，快速排氣閥（QEV) 105、 經濟部中央標準局員工消費合作社印聚 {請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 106乃具備有：具有進口 84、85、出口 80、83 及緊急排出（排氣）口 81、82之本體71;可撓性閥 體17 2 ;第1閥座173 ;及第2閥座175。當在正 在之狀態下使用Q E V 1〇5、106時，可撓性閥體 172會抵接於第1及第2之閥座173、 175,緊急 排出口 8 1、8 2則形成關閉著，因而流體會從進口 8 4 、8 5朝向出口 80.、，83流動。當有需要在短時間內極 有效率地加以排出之時，可撓性閥體1 7 2會從第1閥座 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4規格（210X 297公釐） -22 - 經濟.部中央標準局員工消费合作社印聚 Λ 7 Β7 五、發明説明（20 ) . * 17 3.離開而打開緊急排出口 8 1、82，流體就會從進 口 84、8 5流向緊急排出口 8 _1、8 2。由於緊急排出 口 81、8 2較出口 80、83之狹窄部174的開口量 爲大，因而流體可藉它能在短時間內以高速排氣。 如圖15所示，引示節制閥PCV78 (79A、 7 9 B )乃具備有對於產生異常壓力時，可做爲安全裝置 來作用之止回閥體183 (18 4 )。另一方面，止回閥 78之口 1 8 1 a連通有第1空氣室。另一方之止回閥 79B (79A)之口 182a側連通於第2空氣室B ( 第4空氣室D)。閥體183、 184爲了個別開閉內部 流道181d、182d而配設成可滑動。流道80乃個 別連通於止回閥7 8之1 8 1 C及止回閥79 B之（響） 導壓口 1 8 2 b。又流道9 2乃個別連通於止回閥7 9 b 之口 1 8 2 c及止口閥78之導壓口 1 8 1 b。如此之引 示節制閥（PCV) 78、79B (79A)係在來自流 道80、92 (83)之壓力流體之供應有被切斷（截流 )之時，就切斷內部流道181d、 182d，以保持成 第1、第2、第4空氣室A、B、D內之壓力流體流出於 管線80、92 (83) ，則可保持現狀之第1、第2、 第4之空氣室A、 B、 D之內壓力。 梭動閥（SHV) 1 1 0係用以連通2個輸入側管線 86、91中之一方與輸出俱ί管線9 2用者。梭（件） 1 1 1乃形成可移動狀來被收容於梭動閥1 1 〇之小室 1 10a內。小室1 l〇a兩側配置有成對向之兩條管線 --ί-------- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 乂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS M4規格（210X297公釐） -23- 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（21 ) ♦ 86、91，小室110a中央則連接有管線92。當從 該兩條管線86、 91所供應之空氣壓力有差異之時，梭 1 1 1會從壓力高之管線側被推向壓力爲低之管線側而移 動，因而會使壓力爲高之管線與管線9 2形成連通，而空 氣會從壓力爲高之管線流至管線9 2。以如此，梭動閥（ SHV)110係由空氣壓力來轉換流道者》 調整器（REG) 8 3係一種減壓裝置，以降低所被 供應之空氣壓力或多或少來輸出者。 其次，以參照圖1 6之下來對於L CD基板G之一連 串的抗蝕劑處理過程加以說明。 從卡匣C1以副搬運臂1 3來取出一片基板G。將基 板G從副搬運臂1 3交給至第1主搬運臂1 4A，而第1 主搬運臂14A將基板G接連地搬運至刷洗淸潔單元16 ，黏接單元2 4，冷卻單元2 5，並在各單元對於基板G 進行所需要之處理。當完成了一連串所需要之處理時，第 1主搬運臂1 4A將基板G交給於第2主搬運臂1 4B。 而第2主搬運臂1 4 B將會搬運基板G至單元2 1。當第 2主搬運臂1 4 B到達抗蝕劑塗敷部2 1 A之前面時，就 打開擋門（未圖示）而搬進基板G於抗蝕劑塗敷部2 1 A 內。 接著，操動氣缸機構6 4來打開蓋4 2 (過程S1) 。而要打開蓋42,首先令《磁閥（SOLV) 94產生 動作來連通管線1 0 1之流道和管線9 7之流道。在管線 ♦ 1 0 1，因從空氣供應源（空氣壓縮機）2 0 2供應有壓 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) .24- ~ (鍺先閱讀背面之注意事項再祐艿本頁)

B7 五、發明説明（22 ) # 縮空氣，因而該壓縮空氣將經由電磁閥（S 0 L V ) 9 4 來於控速器（SC) 89 〇假想從空氣壓縮機2 0 2藉管 線1 0 1所供應之空氣壓力爲例如4 . 5 kg/cm2之時 ，管線8 5亦會供應4 . 5 k g / c m 2之壓縮空氣。管線 8 5會在途中分岐於管線9 0之一方，而形成劃分爲朝向 快速排氣閥（QEV) l 0 6之空氣及朝向調整器（ R E G ) 1 0 3之空氣之狀態。 朝向快速排氣閥（QEV) 1〇 6之壓縮空氣係經由 該快速排氣閩（QEV) 106，並經由管線83、引示 節制閥（PCV) 79A、管線104、控速器（SC) 7 6及管線7 2來供應給予第2缸筒6 4 b之第4空氣室 D »因此，所供應於該第4空氣室D之空氣壓力爲4 · 5 k g/cm2，而該壓力將會作用爲要提升（提高）第2活 塞Θ 8之力量。 另一方面，朝向調整器（REG) 10 3之空氣係藉 管線9 0來流入於調整器（REG) 1 0 3。所要通過之 空氣壓力將會在調整器（REG) 10 3被減壓。例如從 經濟部中央標準局員工消费合作社印聚 管線9 0所流進之4 · 5 kg/ cm2壓力之空氣’會被減 壓至1.5kg/cm2,且流出至管線91。而流出至管 線9 1之空氣，將會被輸送至梭動閥（SHV) 1 1 0。 該時，在於梭動閥（SHV) 1 1 0之另一之輸入側管線 86，因未從電磁閥93供0有空氣，因而作用於梭 1 1 1之空氣將僅有從管線9 1所供應之空氣而已。爲此 * ，梭1 1 1會被該空氣所推壓而移動小室1 1 1 a內’致 -25- (請先間讀背面之注意事項再填巧本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210><297公釐）

經濟部中央標準局員工消费合作社印衮 五、發明説明（23 ) · 使流道9 1和流道9 2相連通，而空氣會流入於流道9 2 。流入於該流道92之空氣，將經由控速器（SC) 75 和管線7 2來供予第1缸筒6 4 a下部之第2空氣室B。 因而，供予第2空氣室B之空氣壓力會成爲1.5 k g/cm2，而該壓力之空氣將會提高第1活塞6 6。 再者，流道70a，在上流側連通於第3空氣室C ( 在第2缸筒6 4 b上部空間），下流側係經由其他之流道 (未圖示）來放洩於大氣。又流道7 1 a，在下流側連通 於第1空氣室A (在第1缸筒6 4 a上部空間），上流側 係經由控速器（S C ) 7 4、·引示節制閥（P C V ) 7 8 、快速排氣閥（QEV) 105、控速器（SC) 88來 連通於電磁閥（SOLV) 94。在該電磁閥（SOLV )9 4，管線9 6被連接於排氣側管線1 0 2。第1空氣 室A及第3空氣室C內之空氣，因可通過上述路徑迅速地 被排氣，因而第1及第2之活塞66、 68可迅速地被提 高。再者，該時，PCV78之內部流道181d會由經 由流道9 2所供應之壓力流體之（響）導壓而形成打開著 〇 ·' 以如上述，第2活塞6 8係由壓力4 . 5 k g / c m 2 之空氣所驅動，第1活塞6 6則由壓力1 . 5 k g / c m 2 之空氣所驅動。而該等壓力之空氣會爲了提高蓋（子） 4 2而協力合作。 · 此時，倘若壓力4 . 5 kg/ cm2之空氣所要提高第 ♦ 2活塞68之力當作4 · 5Ρ，壓力1· 5kg/cm2之 (討先閱讀背面之注意事項再鎮轉本頁)

本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS)A4現格（210X297公釐） -26 經濟部中央標準局貝工消費合作社印裝 五、發明説明（24 ) 空氣所要提高第1活塞6 6之力當作1 . 5P，要提高支 撐臂6 1及蓋4 2所需要之壓力當作w之時，就可成立要 滿足上述不等式（1)之1 . 5P<W<4 . 5之關係。 因此’蓋4 2將會停止於僅上升有第2活塞6 8之行程（ 衝程）L 3之份量之處。而該時，蓋4 2之上升速度會形 成較以第2缸筒6 4 b單獨來提高時爲更快上升。再者， 第2位置P S 2係做成可確保充分地能使主臂機構之夾持 具1 4 b進行進出於蓋4 2和杯狀物C P、4 1之間的空 間之位置。· 再者，將由控制器2 0 1傳送命令信號於配設在系統 2 0 0之迴路的各機器（設備），並依據該命令各機器之 動作會形成聯鎖，而蓋4 2就會停止於第2位置P S 2。 又蓋4 2之上升動作亦由減震器1 9 0 c而形成機械性之 限制，致使蓋4 2並無法朝著較第2位置p s 2更上方移 動。又在開始進行搬入及搬出之動作間，將會確認在察覺 器之輸出狀況，當偵測有異常之時，控制器2 0 1會使警 報系統2 0 4產生動作之同時，立即予以停止供應空反排 出動作。 又在此時，於其他處理部會至少予以完成處理中之基 板處理，並儘可能地繼續進行處理。在等待處理之基板， 將會暫時性地被保管於緩衝卡匣之空位置，又在具有複數 之塗敷裝置的系統時，就會由·其他之塗敷裝置來替代對基 板實施處理乙事。 * 當蓋4 2停止於第2位置P S 2之時，就使旋轉卡盤 (請先閱讀背面之注意事項再填"本頁) - ---I I! ..... - · 訂-- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -27- 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 Λ? Β* 五、發明説明（25 ) · 4 3上升，並將基板G從臂之夾持具1 4 b轉移載置於旋 轉卡盤4 3上。而後，使退出臂夾持具1 4 b，關閉擋門 。且由旋轉卡盤43來吸著保持基板G並降下旋轉卡盤 4 3 (過程 S 2 )。 以供應空氣給予空氣缸筒（氣缸）機構6 4之第1空 氣室A來降下第1活塞6 6之同時，供應空氣給予第3空 氣室C來降下第2活塞6 8 ,而以如圖1 8所示來關上蓋 子42至杯狀物CP(過程S3)。 以下，將對於關閉蓋4 2之動作加以說明。 首先予以轉換電磁閥（SOLV) 94，以令直今連 通有管線9 7和供氣管線1 0 1之狀態轉換成管線9 7和 排氣管線1 0 2相連通。該時，會停止來自管線1 〇 1之 供應空氣，而支撐臂6 1及蓋4 2之重量，將會藉第1活 塞6 6作用朝下之力於第2活塞6 8。爲此，第1活塞 6 6並無支撐該等支撐臂6 1及蓋4 2而開始下降。則在 於第4空氣室D內之空氣，將會經由管線7 3、控速器（ SC)76、管線104、引示節制閥（PCV)79A 、管線8 3來傳送至快速排氣閥（Q E V ) 1 〇 6。而快 速排氣閥（QEV) 10 6之流道將會連通於管線8 2， 並使空氣朝管線8 2排出》由於管線8 2爲大口徑者，·因 而空氣會從第4空氣室D迅速地被排氣，而第2活塞6 8 會迅速地下降。再者，該時"PCV79A之內部流道 1 8 2 d，會由經過流，道8 0所供應之壓力流體的（響） φ 導壓力茜形成打開著。 (銪先沏讀背面之注意事項再读寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0><297公釐） -28- A7 B7 五、發明説明（26 ) · * 另一方面，當停止從管線1 0 1供應空氣給予第4空 氣室D之時，就會使第1活塞6 6喪失要提高之力量’而 形成對於第1活塞66有支撐臂61及蓋42之重量的負 載。因而，第2空氣室B內之空氣，將會經由管線7 2、 控速器（SC)75、引示節制閥（PCV) 79B ’管 線92來進入於梭動閥（SHV) 11〇，且更進一層地 經由管線9 1、調整器10 3、管線9 0來進入於管線 8 5。而進入於管線8 5之空氣，因與前述同樣會經由快 速排氣閥（QEV) 106來傳送至管線82，因而，可 藉該管線8 2來迅速地實施排氣，致使第1活塞6 6可迅 速地下降。再者，此時，PCV79B之內部流道 1 8 2 d乃由琿過流道8 0所供應之壓力流體之（響）導 壓力而形成打開著。 當支撐臂6 1下降到最爲低位會之附近時，支撐臂 6 1之下面會抵接於減震器1 9 0 B。而該減震器_ 經漪部中央標準局只工消费合作社印裝 1 9 0 B之擋板（domper )係較支撐臂6 1之下降停止 位置少許許朝上方賦與力量。而在蓋42及支撐臂6 1之 重量附加於擋板之時，擋板下側之緩衝構件會產生變形， 而使蓋4 2之下降速度變成緩慢，使之蓋4 2慢慢地下降 來裝配於杯狀物C P。因此如此地來使蓋4 2之下降速度 減速，因而並不會產生由蓋4 2來傷害到杯狀物C P。 關閉蓋4 2之後，在形成·氣密之杯狀物C P內予以調 節基板G之溫度（過程S4)。調節基板溫度之後，打開 蓋42 (過程S5)、並使臂15 5旋轉以令噴嘴157 -29- (誚尤閲讀背而之注意事項再填寫本頁) 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規栝（210X297公犮） 經濟部中央標挲局员工消费合作社印製 A7 ___B7 五、發明説明（27 ) # 位於基板G中央之正上面的位置。而後以低速旋轉基板G 之同時，從噴嘴157供應溶劑至基板G(過程S6)。 再度關閉蓋42 (過程S7)，而使基板G和排流杯狀物 4 1形成同步旋轉，以令溶劑擴散在基板G之表面上（過 程S 8 )»由於同步旋轉基板G和排流杯狀物4 1，致使 在基板G周圍，實質上會幾乎不產生氣流，因而，可抑制 溶劑產生溫度差。 打開蓋42 (過程S9)、並使噴嘴157位於基板 G中央之正上方位置，而從噴嘴1 5 7供應抗蝕液至基板 G (過程S 1 0 )。而後，.關閉4 2 (過程S 1 1 )，且 開始排氣排流杯狀物4 1之同時，以同步旋轉基板G和杯 狀物C P，以令抗蝕液擴散在基板G之表面上（過程 5 1 2 )。 而後，打開蓋42(過程S 13)，並使旋轉卡盤 4 3上升而轉載基板G至移送機構26 2。移送機構 2 6 2將從抗蝕劑塗敷部2 1 A搬出基板G，並將其朝向 周（邊）緣塗膜去除部21B搬運（過程S14)。移送 機構2 6 2退出迴避之後，將旋轉卡盤4 3予以下降，並 關閉蓋42(過程S15)。 於周邊緣塗膜去部2 1 B ’將予以上升載置台2 3 0 ，而從移送機構2 6 2轉載基板G於載置台2 3 0上。予 以退出迴避移送機構2 6 2 並予以降下載置台2 3 0。 將各噴嘴2 3 4個別沿著基板G四邊移動之同時，個別予 以吐出稀釋劑，以令抗蝕劑塗膜從基板<3周邊緣部加以去 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4规掊（210X297'i>« ) -30- (誚尤閲讀背面之注¾事項再填?ξ本頁) 1 1 ml m ^ϋϋ m> nn n In m ml In mt m^i n '一-iJn I I In i^ln ^^1 - 1^1 n ^^^1 ^^^1 ^^^1 ^^^1 · 經濟部中央標準局R工消费合竹社印裝 A7 B7 五、發明説明（28 ) ， 除。而後，上升載置台230，且以第2主搬運臂機構 1 4B從載置台2 3 0拾起基板Ό並從單元2 1搬出。 而後，由第2及第3之主搬運臂14B、1.4C依序 搬運基板G至烘焙單元2 6及冷卻單元，並予以進行處理 。然後，第3主搬運臂1 4C以藉聯絡部6來搬入基板G 於曝光裝置7，而由曝光裝置7來對於抗飩劑塗膜進行圖 案曝光。 曝光處理後，搬運基板G至顯像單元2 8，以顯像被 實施圖案曝光之抗蝕劑塗膜。然後，以純水來沖洗並加熱 烘乾。接著，搬運基板G至冷卻單元3 3予以冷卻。而處 理完成之基板G，將交給於第1〜第3主搬運臂14A、 14B、 14C及副搬運臂13,並由副搬運臂13來收 容於裝載部2之卡匣C 2內。最後，基板G將與卡匣C 2 整個一齊從系統1搬出，且朝向其次之製程之處理裝置搬 運。 其次，將對於要維修管理上述裝置時之狀況，以參照 圖1 1、圖1 9、圖2 0之下來加以說明》 於抗蝕劑塗敷部2 1 A，所飛散之抗蝕液會附著於杯 狀物CP、 41等之各部，並會污穢該等部分。爲此，當 長時間連續使用抗蝕劑塗敷部2 1 A之時，最好加以淸潔 裝置各部其理想。且在該維修管理之時，有需要從裝置本 體卸下各部分，以致蓋4 2會妨礙工作之進行。爲此，將 有需要在裝置本體上方確保充分之工作用之空間。 首先，從導柱6 2卸下減震器1 9〇c。將使電磁閲 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)八4蚬拮（2】Ox297^jm - 31 - —：------^^衣— (对先間讀背谪之注¾事項再填8本頁) 訂 經滴部中央標4·-局貝工消费合作社印製 -32- A7 B7___ 五、發明説明（29 ) , (SOLV)94產生動作，以令管線1〇1和管線97 形成連通而傳送壓力4 . 5 kg/cm2之空氣至管線9 7 ，並對於第4空氣室D供應壓力4.5kg/cm2之空氣 ，而對於第2空氣室B供應在調整器（REG) 10 3減 壓所獲得之1.5kg/cm2之空氣。由而，可提高蓋 4 2至第3位置P S 3。 接著，操動電磁閥（.SOLV) 9 3來使管線9 9和 管線9 5形成連通，以供應壓力4 . 5 k g/cm2之空氣 至管線95。該空氣將經由控速器（SC) 8 7、管線 86而流入於梭動閥（SHV·) 110。此時，在梭動閥 (SHV) 110雖供有來自管線9 1之壓力1 . 5 k g/c m2之空氣，惟管線8 6所流入之空氣壓力爲高， 致使梭動閥（SHV)11〇內之梭111被推壓朝壓力 爲低之管線9 1側移動，而使管線8 6和管線9 2相連通 。因而’壓力4 . 5kg/cm2之空氣會流入於管線9 2 內，並藉控速器（SC) 75、管線72來流入於第2空 氣室B內。爲此，在活塞6 6會有由壓力4.5 k g/cm 2之 空氣所作用之朝垂直方向朝上之驅動力。則由於如上述具 有1.5P<W<4.5P之關係，可由該力來提高蓋 42和支撐臂61。如圖19所示，將蓋42提高至第3 位置PS3，並予以維持該狀態。再者，如圖1 1所示， 第1活塞6 6將會從第2桿6_7分離且以單獨地來上升》 以如此地令蓋4 2保持於可上升之最高位置之狀態下 、............ ^ ..................__ .............— ------------------- — —— 來進行維修管理工作，並在終了維修管理工作時，就下降 本紙張尺度適用中關家辟（CNS ) A4^ ( 21GX297公势） -------------—I —訂 (litMl讀背而之注念事項·?}-填寫本I) A7 B7 經濟部中央標準局只工消f合作社印聚 五、 發明説明 (30 ) 蓋 4 2 〇 以 下 將對於 蓋4 2 之 下 降動作加以 說 明 0 首 先 予以轉 換電磁 閥 ( SOL V ) 9 3 來 連通 管 線 9 5 和排 氣 側之管 線1 0 0 0 則在第 1 活塞 6 6 ，因無來 白 管 線 9 9 之供氣 ，以致不 會 作用有 朝 垂 直 方 向 朝上 驅 動 之 力 而 會 附加朝 下方之 蓋 4 2及支 撐 臂 6 1 之 重量 〇 由 而 第 1 活 塞 6 6會 被推下 而 第2空 氣 室 B 內 之空氣 將 經 由 管 線 7 2、控 速器（ S C )7 5 管 線 9 2 來流 入 於 梭 動 閥 ( S Η V ) 110 內 〇 而在梭 動 閥 ( S Η V ) 1 1 0 內 梭1 1 1在於 管 線 9 1側 因 而 該 空氣 就 流 入於 管 線 8 6，並 經由控 速 器 (S C ) 8 7 管 線9 5 而 到 達 電 磁 閥 (SO L V ) 9 3 。又該 電 磁 閥 ( S 0 L V ) 9 3 因 形成連通 著管線 9 5 和排氣 管 線 1 0 0 之狀 態 9 致使空 氣 會 經由排 氣管線 1 0 0而被排 氣 〇 其 結 果， 第 1 活 塞 6 6 會下_降，. 並其底部 會 抵接於 第 2 桿 6 7 〇 而 事 先於其底部之抵 接 » 在於電 磁 閥 ( S 0 L V ) 9 4 亦 會 與電磁 閥9 3 成 同 步地來 連 通 管 線 9 7和排 氣 管 線 1 0 2 ，而停止從管 線 1 0 1供 應 空 氣 給予 第4 空 氣 室 D 〇 爲 此 ，第2 活塞6 8 已 未作用有 朝 上 驅 動 之力 因 而 當 第 1 活塞6 6下降時 7 由該力 旦 里 亦 會 使 第 2活 塞 6 8 開 始下降。 其結果 ，第4 空氣室 D 內 ‘之空氣 會 流 出 至 管 線7 3 內 1 且 再 經 由 控速器 (S C ) 7 6、管 線 1 0 4 引示 節 制 閥 ( P C V )7 9 A、管 線 8 3來流 入於快 速 排 氣閥 ( 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297^« ) -33- A 7 . B7 五、發明説明（31 ) * QEV) 106內。而在該快速排氣閥（QEV) 106 ，乃形成連通著管線8 3和管線名2之狀態，因而流入於 該快速排氣閥（QEV) 10 6內之空氣會流入於管線 8 2內，並藉此可迅速地加以排氣。以如此，第4空氣室 D內之空氣因可藉管線8 2迅速地被排氣，因而蓋亦可迅 速地下降。 依據上述實施形態之裝置，因能以正常之基板處理時 和維修管理時之狀況來改變提高蓋4 2之高度位置*因而 ，並不需要解開裝置之各部分之下，可簡單且安全地來進 行維修管理工作。 又依據上述實施形態之裝置，可令要提高蓋4 2之速 度成爲快速，且可順暢地來進行要提高蓋4 2之動作。 再者，當要降下蓋4 2之時，可藉快速排氣閥（ QEV)105、 106來高速地排氣，因而可從氣缸機 構6 4迅速地排出空氣，且可令下降蓋4 2之速度變爲快 ，並可安全地來關閉蓋42。 經^-部中央標準局Η工消费合作社印製 (τί先閜讀背面之注¾事項再填ΪΪΤ本頁) 在上述實施形態，雖以塗敷抗蝕劑於L C D基板的塗 敷裝置爲例來加以說明，惟只要爲具備蓋的基板處理裝置 就適用，對於顯像裝置等之其他裝置均可適用。又對於塗 敷抗蝕液於半導體晶圓，或要實施顯像處理之裝置，本發 明亦可適用。 再者，在上述實施形態/雖構成爲在於提高蓋4 2之 時，以供應空氣給予各缸筒64a、 64b之活塞66、 -» 68之卞側的第2及第4之空氣室B、 D而使各缸筒 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4坭格（210X 297公势) -34 - 經米-部中央標準局kc工消费合作社印裝 A7 _ B7 五、發明説明（32 ) * * 64a、 64b產生動作，惟在該時，亦可同時對於上側 之第1及第3之空氣室A、 C作用上負壓力。 再者，在上述之正常的製造過程中，亦能以組合在提 高蓋4 2時倂用負壓力，及在蓋下降時併用正壓力之兩方 來加以使用。 再者，本發明並非僅限於上述實施形態而已，亦可構 成爲並列配置第1升降機構和第2升降機構，且第1及第 2之升降機構可個別單獨地來提高支撐臂6 1之狀態。再 者，此時，亦可令第1升降機構之缸筒內徑和第2升降機 構之缸筒內徑形成爲不相同。 接著，將對於有關本發明之其他實施形態之基板處理 裝置，以參照圖2 1〜圖2 4之下來加以說明。再者，對 於本實施形態會與上述實施形態重覆之部分，將省略其說 明。 如圖2 1所示，在導柱6 2中’配設有與氣缸機構 6 4成並行之升降機構3 0 0。升降輔助機構3 0 0乃在 上部和下部個別具備2個，總計爲4個之帶輪3 4 4、 345、 346、 347。第1帶輪344之正下面配置 有第2帶輪3 4 5，而在第3帶輪3 4 6之正下面配置有 第4帶輪3 47。第1及第2之帶輪間架設有（皮）帶 3 4 8、第3及第4之帶輪間則架設有（皮）帶3 4 9。 並在該等兩條（皮）帶3 4 8' 349之一方側’以結件 構件3 5 0來固定支撐臂6 1之底部（根部）部分6 1 c 本紙張尺度適用中國國家標準_( CNS ) A4規枱（210X297公垃> -35 - i m· i^n n_l ftm ^ m *l^i ^^^1 1- nn ^^^1 v·* (閱讀背而之注意事項再填:^本I) 經滴部中央標卑局Μ工消费合作.社印掣 A7 B7 五、發明説明（33 ) . 而在（皮）帶348、 349之另一方側’乃安裝有 錘352 »該錘352係用以要與支撐臂61及蓋42之 重量形成均衡用之均衡裝置。當支撐臂6 1使之位於最下 面之位置時，該錘3 5 2會形成位於最上面之位置。·而該 錘352乃形成可沿著導軌353、 354升降被引導， 且形成支撐臂6 1予以下降時，錘3 5 2就會上升，當提 高支撐臂6 1時，錘3 5 2就會下降。 再者，上部帶輪342、 344乃配設於較氣缸機構 6 4更高之位置。又錘3 5 2可構成爲較蓋4 2和支撐臂 61之總計重量少微重。 依據本發明，不需要分解（拆卸）裝置之下可簡單且 安全地來進行維修管理。又依據本發明，在進行基板處理 時，可迅速地來上升蓋（子>，可迅速地來降下蓋（子） 〔圖式之簡單說明〕 圖1係顯示L C D基板處理系統槪要的平面布置圖。 圖2係顯示LCD基板處理系統槪要的正面外觀圖。 圖3係顯示塗敷/周（邊）緣塗膜去除單元之塗敷部 的斜示（立體）圖。 圖4係顯示塗敷/周邊緣塗膜去除單元槪要的平面圖 〇 圖5係顯示從塗敷部之杯狀物卻下蓋之狀態的平面圖 * * W Γ •^^1 m -1 _ m nn :-^一 11- — ....... m i - < (誚5L閲讀背而之注念事項再填寫本頁) 本纸張尺度適用中國國家標準<(^5)/\4坭枋（2丨0/297公犮） -36- A7 B7 五、發明説明（34 ) # 圖6」系顯示塗敷部之主要部分之透視剖面圖一。 圖7係顯示有關本發明之實施形態—的基梅.處理,裝置之 妻升降用ϋ聲搆、的透視剖面圖》 圖8係顯示杯狀物和葦之分解斜視圖。 圖9係顯示在塗數'處理-持之蓋升降用缸筒機構（關閉 蓋之狀.態）的放大剖面圖。 圖1 〇係顯示在塗敷處理時之蓋m缸機展（打 開蓋之狀態）的放大剖面圖》 圖1 1係顯示在維修檢驗晴；^蓋升降用缸筒機構（提 高蓋至臨限高度位置爲止之狀態）的放大剖面圖。 圖1 2係顯示有關本發明之實施形態的基板處理裝置 ... .,.'·.'· . · 之务塊-路圖。 圖1 3係控速器（S C )之縱向剖面圖。 圖：1 4係快速排氣调（Q E. V )之縱向剖面圖。 圖1 5係引示節制閥（P C V )之迴路圖。 .圖1 6係顯示基板處理方法的流程圖。 經濟部中央標準扃只工消费合作社印裝 圖、1 7係顯示有關本發明之實施形態的基板處理裝置 (基板處理時之打Μ蓋之動作）的方塊迴路圖。 圖1 8係顯示有關本發明之實施、形-撒的基板處、理裝置 (基板處理時之關閉蓋之動作）的方塊迴路圖。/ 圖1 9係顯示有關本發明之實施形態的基板處理裝置 _(在維修檢驗時之蓋的迴避動'作）的方塊回路圖。 圖2 0係顯示有關本發明之實施形態的基板處理裝置 - 一 (在維修檢麗時之葦殷回行動作.）的方塊回路圖。 -37- {計^間讀背而之注念事項界填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS )，\4说格（210Χ29·?公耸） 經^‘部中央標準局只工消费合作社印裝 Α7 Β7 五、發明説明（35 ) ♦ 圖2 1係顯示有關本發明之其他實施形態览基_板處理 裝置之平面圖。 * 圖、2 2係顯示有關本發明之其他實施形態的基板ϋ 裝.置之部分剖面圖。 圖2 3係顯示有關本發明之名他實施形麗的§板處理 裝置之部分剖面凰。 麗2 4係顯示有關本.發明之其他實施形態亦基板處理 * ......... .......-.................... ................................ . + X..... ....... ................ 裝置之部_分剖面圖。 〔符號之說明〕 _ 1 :塗敷·顯像處理系統，2 :裝載/卸載部，3 : 第1過程（處理）部，4 :第2處理部，5 :第3處理部 ，6 :聯絡（連繫）部，7 :曝光裝置，10 :卡匣載置 台，11:搬運部，13 :第1副臂機構，14Α:第1 主臂機構，14a、14b、14c :夾持具，14Β : 第2主臂機構，14C:第3主臂機構，15A:中央搬 運道’ 15B :中央搬運道，15C :中央搬運道，16 :濕式洗淨（淸潔）單元，17 :加熱單元，18 :乾式 加熱單元’ 1 9 :冷卻單元，20、27:冷卻單元， 2 1 :抗蝕劑塗敷/周（邊）緣抗蝕劑去除單元，2 1 A :抗蝕劑塗敷裝置（CT) ，21 B :周（邊）緣塗膜（ 抗蝕劑）去除裝置（E R ) ，~2 4 :黏著/冷卻單元， 2 5、33、3 4 :加熱/冷卻單元，26、32:加熱 /加熱單元，2 7 :冷卻單元，2 8、2 9、3 0 :顯像 ^^^^1 ^i·^· n n n I ml mt 1^1 ^^^1· (閲沭15r而之注念事項再填巧本Η ) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4^格（210X29*7^^ -38 經滅部中央^4,-^只工消费合作社印絜 A7 B7 五、發明説明（36 ) 單元，31 :標題機，35 :第2副臂機構，36:搬運 /待命部，37 :交接部，41·:排流（用）杯狀物， 4 1 c :突起’ 4 1 d :排液口 ’ 4 1 e :排氣管， 41f :排氣‘口 ’ 42 :蓋（子）’.42 a :把手，. 42b :軸，42c :凹處，42d:供氣孔，43 :旋 轉卡盤，44:底板，45:步進馬達（電動機），46 :(皮）帶’ 4 7 :(旋.）轉軸，4 8A :真空吸著機構 ，48B :升降缸筒機構’ 60 :升降降機構，6 1 :支 撐臂，61 a :臂構件，61b :肋，61c :棒狀突起 ，62 :導柱’ 62a :平行垂直溝，6 3 :直線性導件 ，64 :缸筒機構，64a :第1缸筒，64b :第2缸 筒，64c:下方階梯部（第1缸筒），64d:上方階 梯部（第1缸筒）’ 6 4 e :下方階梯部（第2缸筒）、 64f :上方階梯部（第2缸筒），6 5、67:(第1 及第2)桿，65a :上部’ 66 :第1活塞，68 :第 2活塞，69 :隔板，69a :V型密封（物），70〜 73、77、83〜86、90〜93 ......:管線（管路 )’70a〜73a、 80、 83' 91〜93:流道， 74 〜7 6、87 〜89:控速器（SC) ，78、 7 9A、79B:引示節制閥（pcv) ，81、82: 緊急排出口 ’93、94:電磁閥（SOLV) »1〇〇 、1 0 2 :排氣側管線，9 9' 1 0 1 :吸氣側管線， 103:調整器（REG) ’105、106:快速排氣 閥（QEV) ，110:梭動閥（SHV) * 1 1 〇 a ： 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4現枯（210X 297公起 39- t I ·1·1 I tn n^i nn nn m nn mu mu ^^4 、1 (1?1元閱讀1S··而之注意事項再填寫本s) A7 B7 五、發明説明（37 ) 閥室，111:球閥體（梭），121、122、12 3 :(第1〜第3 )磁敏元件，1 5 0:塗敷液供應機構， 155:水平臂，156:擺動機構，157:噴嘴部， 158:待命部，162:機身環，163:平頂環， 經滂部中央標準局貝工消费合作社印奴 1 6 4 :導件，1 6 5 :倂緊螺帽，1 6 6 :針，1 6 7 :把手，168:U形襯墊，172:可撓性閥體， 173、175:閥座，181a、182a: 口， 181d，182d :內部流道，182b :導壓口， 183、184:止回閥體，190A、190B、 190C:減震器、192:水平臂，192a:開縫導 引，193 :支柱，194 :固定件，200 :空氣供應 系統，201 :控制器，202 :空氣供應源（空氣壓縮 機），204:警報系統，206:警報機（器）， 230 :載置台，232 :導軌，234 :溶劑吐出噴嘴 ，236 :掃描移動機構，238 :接近察覺（測感）器 ，262:移送機構，G:基板，Cl、 C2:卡匣， CP:旋轉杯狀物，SCR:刷洗淸潔器，HP1、 11?2:熱板，（：01^1、（：01^2:冷卻板，（：丁：塗 敷裝置，ER :周邊緣塗膜（抗蝕劑）去除裝置，AD : 黏著裝置，B C :緩衝卡匣，UV:紫外線淸潔裝置，A :第1空氣室、B :第2空氣室，C :第3空氣室，D : 第4空氣室，PS1 :第1位'置，P S 2 :第2位置， P S 3 :第3位置。 -40- (4先閱讀背而之注念事項再填"本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4«ί格（210X 297公垃）

Claims (1)

1. A8 B8 C8 D8 六、申請專利範園 .· * . ·· 1.一種基板處理裝置，其特徵爲具備有： 基板載置台； / 上部具有開口且圍繞前述基板載置台之杯狀物； 要關閉該杯狀物之上部開口的蓋； 支撐該蓋之支撐臂： 具有以直接或間接地來支撐該支撐臂的第1活塞，及 聲導弓i升降該第1活塞用之第1缸筒的第1升降機搆； 具有以直接或間接地來支撐前述支撐臂用之f 2活塞 ，及要導引升降該第2活塞用之第2缸筒的第2升降機構 * 個別供應壓力流體給予前述第1及第2之缸筒，且從 前述第1及第2之缸筒個別予以排氣壓力流體用之驅動迴 路：及 個別控制該控制迴路之動作用之控制機構。 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 I 1'---I I I ----In (請先鬩讀背面之注意事項再填寫本頁) 2 .如申請專利範圍第1項之基板處理裝置，其中上 述控制機構，將予以選擇由上述第1及第2之升降撵構之 兩者而與，上述支撐臂一齊來升降蓋，或由上述。第1及第2 之升降機構之任何一方而與上述X里臂一齊來歼降蓋，並 依據該選熳jfif控制.上述驅動迴路之動作。 ,_ 3 .如申請專利範圍第1項之基板處理裝置，其中上 述控制機構，將控制上述驅動迴路使之可由上述第1及第 2之升降機構兩者麥使蓋與、上述支撐臂一齊升降。 ;4 .如申請專利範凰第3項之基板處理裝置，甚宁上 i 4 -、，*(. 述控制機構，將控制上述驅軌迴路使之可施加較要使蓋與 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -41 - A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 Λ 上述支撐臂一齊所需要之驅凰Λ..爲小之驅動力於上述第1 及第2 £活.塞之任何一方。 · 5 ·如申請專利範圍第1項之基板處揮裝置，其中上 述第1活塞之行程（衝程）係奥上述第2活塞之行程有:.不 相同。 6 Λ.如申請專利範圍第1項之基板處理裝置，其中上 述第2活塞係至少會藉上述第1活塞來間接地支撐上述支 持臂。 7 .如申請專利範圍第1項之基板處理裝置，其中上 述第1活塞之行程爲較上述、第2活塞之行程爲大（長）， 而在上升上述第1及第？之活塞直至上死點爲止時，就可 提高蓋至可確保維修管理用之充..分-的空間於上述杯狀物和 蓋之間的高度。 8.如申請專利範圍第1項之基板處理裝置，其中上 述支撐〜臂係由外..怦2支之置.構-件來支撐蓋之構成者。 9 .如申請專利範圍第1項名基板處理裝置，其中更 ν 禺政有在蓋之ft降動作產生異常時，會接收來自上述控制 經濟部中央標率局貝工消費合作社印装 (請先E婧背面之注意事項再填寫本頁) 機構之信號而發生警報之機構。 1 〇 .如申請專利範圍第1項之基板處理裝置，其中 ，更具備有包括於上述驅動迴路，且至少連通玲上述第1及 第2之缸筒中之一，〜、以__防jh從上述第1及第2之缸筒之至 受.拽漏壓力體之止回_閥（che'ck valve )。 1 1 種基板處理裝-置，其特徵爲具備有： 一 基板載置台； . 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） - 42- A8 C8 D8 々、申請專利範園 . 上部具有開口且圍繞前述基板載置台之杯狀物； 要關閉該'杯狀物之上部開口的蓋； 支撐該蓋之支撐臂； 具備要傳達用以升降該支撰臂用之驅動力給f該支撐 臂之活塞的缸筒機構； 位於較麗缸筒機搆;t活塞上死點更爲上方位置之上帶 輪； 位於較該上帶輪位於下方位置之下帶輪」 ...... 被翠設於該等上下帶輪之間，並在其一友風被扣接（ 固定有前述支撐臂之無端環帶；及 爲使與前述支撐臂及蓋形成平衡而扣接在前述無端環 帶之另一側之重物（錘）。 1 2 .如申請專利範圍第1 1項之基:板處理裝置，其 中上'述重物乃較上述支撐臂及蓋之總計重量更爲重。 ...... -.....- (请先《讀背面之注$項再填寫本頁) 經濟部中央標隼局貝工消费合作社印装 本紙張尺度適用中國國家搮準（CNS)A4规格（210x297公釐）