KR102474232B1 - 챔버 장치 - Google Patents

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Abstract

챔버 장치가 개시된다.
본 발명의 일 실시예에 따른 챔버 장치는, 제1 챔버; 상기 제1 챔버와 결합하거나 이격되도록, 승하강 구동 유닛에 의해 승하강 가능한 제2 챔버; 및 상기 제2 챔버의 일 측에 편중 마련되고, 상기 제2 챔버의 승하강 동작을 안내하는 LM 가이드를 포함할 수 있다.

Description

챔버 장치{CHAMBER APPARATUS}
본 발명은 챔버 장치에 관련된 것으로, 보다 상세하게는 공간 집약도를 향상시킬 수 있는 챔버 장치에 관한 것이다.
디스플레이 기술이 발달함에 따라 다양한 형태의 표시 장치가 개발되고 있다. 휴대성을 높이면서도 대면적의 영상 구현을 위해 사용에 따라 표시 장치의 일부 영역이 접힐 수 있는 폴더블 표시 장치에 대한 수요가 증대되고 있는 추세이다.
표시 장치는, 서로 다른 기능성 패널들로 이루어지고, 각각의 패널을 합착 하는 합착 공정을 필요로 한다.
챔버 장치는, 제1 패널을 지지하는 제1 스테이지를 포함하는 제1 챔버와 제2 패널을 지지하는 제2 스테이지를 포함하는 제2 챔버를 구비한다.
합착 공정 상 외기의 영향이 미치지 않도록 제1 챔버와 제2 챔버가 결합시, 챔버 내부 공간을 진공 분위기로 형성해 합착 공정을 진행한다.
제1 패널과 제2 패널의 합착 공정을 하기에 앞서, 제1 패널과 제2 패널간 위치 정렬을 필요로 한다. 이러한 위치 정렬 기준을 제공하기 위해 위치 검출 장치가 제1 패널과 제2 패널의 위치를 검출한다.
종래 방식의 챔버 장치는, 제1 챔버와 제2 챔버의 안정적인 지지, 결합을 위해 적어도 2개의 지지부를 구비한 대칭 구조를 이루었다. 이러한 종래 방식의 챔버 장치는, 합착 공정 상 구조적 안정성을 제공하기는 하나, 지지부가 차지하는 공간만큼 위치 검출 장치나 패널 이송 장치 등 다른 장치의 설치나 배치, 작업 동선 상 공간 제약이 큰 문제점이 있었다.
또한 대면적의 표시 장치를 제조하는 공정 상, 제조 설비 또한 규모가 커질 수 밖에 없고, 제공되는 부지 면적이 커질 수 있는 것도 제약이 있어, 공간 활용성 증대 방안이 시급한 실정이다.
한국공개공보(공개공보번호 제10-2013-0078797호, "기판 처리장치 및 기판 처리방법")은, 기판 낙하에 따른 기판의 파손 방지를 위해 기판을 지지하는 압력이 챔버 내부의 압력 이상으로 유지되도록 하는 기판 처리장치를 제공하고 있으나, 제1 챔버에 대해 승강 구동되는 제2 챔버를 좌우 대칭 구조로 마련하고 있을 뿐 공간 제약이 있는 협소한 공간의 효욜적인 활용 방안을 개시하고 있지 않고 있다.
한국공개공보 제10-2013-0078797호(공개일자: 2013.07.10.)
본 발명이 해결하고자 하는 일 기술적 과제는, 구조를 단순화하면서 안정성을 높인 챔버 장치를 제공하는 데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 기술적 과제는, 공간 집약도를 향상시킨 챔버 장치를 제공하는 데 있다.
상기 기술적 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 챔버 장치를 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 챔버 장치는, 제1 챔버; 상기 제1 챔버와 결합하거나 이격되도록, 승하강 구동 유닛에 의해 승하강 가능한 제2 챔버; 및 상기 제2 챔버의 일 측에 편중 마련되고, 상기 제2 챔버의 승하강 동작을 안내하는 LM 가이드를 포함할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 제2 챔버 상에 복수개가 이격된 위치에 마련되고, 상기 위치마다 서로 동조화하여 상기 제2 챔버의 수평 편차를 조절 가능한 파워 베이스를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 베이스 프레임에서 제1 방향으로 연장 형성되고, 길이 방향을 따라 상기 LM 가이드를 지지 가능한 제1 지지 프레임; 및 상기 제1 지지 프레임에서 제2 방향으로 연장 형성되고, 브라켓을 매개로 상기 파워 베이스를 지지 가능한 제2 지지 프레임을 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 브라켓은, 상기 파워 베이스 상에 마련되어 일 방향으로 제1 장공이 형성된 제1 면; 및 상기 제1 면의 단부에 절곡 마련되고, 상기 일 방향으로 제2 장공이 형성된 제2 면을 포함하고, 상기 제1 장공은 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과 직교하는 제3 방향으로 가동 유격을 제공하고 상기 제2 장공은 상기 제1 방향으로 가동 유격을 제공할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 제2 챔버의 상부에 구비되고, 제1 홀이 형성된 제1 위치 정렬 링크; 상기 파워 베이스의 하부에 구비되고, 상기 제1 홀에 대응되는 위치에 제2 홀이 형성된 제2 위치 정렬 링크; 및 상기 제1 홀과 상기 제2 홀에 삽입 체결 가능한 조인트를 더 포함하고, 상기 제1 홀은 상기 제2 홀과 일 방향으로 다른 반지름을 가질 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 제1 홀은 일 방향으로 장공이 형성되어 상기 조인트의 가동 유격을 제공할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 LM 가이드는, 상기 제1 지지 프레임과 나란하게 마련된LM 레일의 단부에 연장 형성되어 상기 제1 지지 프레임과의 접촉면적을 증대시킨 제1 지지 서포트; 상기 LM 레일을 따라 승하강하는 LM 블럭의 단부에 연장 형성되어 상기 제2 챔버의 타면과 면접촉 가능한 제2 지지 서포트를 포함할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 제1 지지 서포트에는 일 방향으로 장공이 형성되어 상기 제1 지지 프레임에 결합시 가동 유격을 제공할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 제2 챔버의 승강 동작을 안내하는 LM 가이드가 일 측에 편중 마련됨으로써, 지지 공간의 점유 면적을 최소화하여 타측의 공간 활용성을 높일 수 있는 이점이 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면 파워 베이스는 일 측에 편중 마련된 LM 가이드에 의해 유발된 승하강 동력의 편중을 방지하고, 제1 방향에서 제2 챔버의 편평도를 높일 수 있는 이점이 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면 LM 가이드와 파워 베이스를 구비함으로써, 제2 챔버와 제1 챔버의 균일한 결합을 가능케 하고, 나아가 진공 분위기 형성시 진공 성능을 높일 수 있는 이점이 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면 LM 가이드를 구비함으로써 파워 베이스가 제2 챔버의 승하강 거리만큼 긴 스트로크로 구동이 가능케 한 이점이 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 챔버 장치를 개략적으로 보여주는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 챔버 장치를 개략적으로 보여주는 정면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 챔버와 제2 챔버, 승하강 구동 유닛, LM 가이드, 파워 베이스를 보여주는 사시도이다.
도 4은 본 발명의 일 실시예에 따른 LM 가이드를 보여주는 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 파워 베이스를 보여주는 사시도이다.
도 6(a)와 도 6(b)는 본 발명의 일 실시예에 따른 브라켓을 보여주는 도면이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 챔버와 파워 베이스, 제1 위치 정렬 링크, 제2 위치 정렬 링크를 보여주는 사시도이다.
도 8(a)와 도 8(b)는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 위치 정렬 링크와 제2 위치 정렬 링크를 보여주는 도면이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명할 것이다. 그러나 본 발명의 기술적 사상은 여기서 설명되는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화 될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 통상의 기술자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다.
본 명세서에서, 어떤 구성요소가 다른 구성요소 상에 있다고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제 3의 구성요소가 개재될 수도 있다는 것을 의미한다. 또한, 도면들에 있어서, 형상 및 크기는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다.
또한, 본 명세서의 다양한 실시예들에서 제1, 제2, 제3 등의 용어가 다양한 구성요소들을 기술하기 위해서 사용되었지만, 이들 구성요소들이 이 같은 용어들에 의해서 한정되어서는 안 된다. 이들 용어들은 단지 어느 구성요소를 다른 구성요소와 구별시키기 위해서 사용되었을 뿐이다. 따라서 어느 한 실시예에 제 1 구성요소로 언급된 것이 다른 실시예에서는 제 2 구성요소로 언급될 수도 있다. 여기에 설명되고 예시되는 각 실시예는 그것의 상보적인 실시예도 포함한다. 또한, 본 명세서에서 '및/또는'은 전후에 나열한 구성요소들 중 적어도 하나를 포함하는 의미로 사용되었다.
명세서에서 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함한다. 또한, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 구성요소 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 구성요소 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 배제하는 것으로 이해되어서는 안 된다. 또한, 본 명세서에서 "연결"은 복수의 구성 요소를 간접적으로 연결하는 것, 및 직접적으로 연결하는 것을 모두 포함하는 의미로 사용된다.
또한, 하기에서 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 것이다.
설명의 편의를 위하여 제1 방향은 직교 좌표계의 Z축을 지칭하고, 제2 방향은 직교 좌표계의 X축을 지칭하며, 제3방향은 직교 좌표계의Y축을 지칭하기로 한다. 이때 제1방향과 제2 방향, 제3 방향은 서로 직교한다.
이하에서는 본 발명의 구성과 작동관계를 도 1 내지 도 4를 참고해 살펴보기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 챔버 장치(10)를 개략적으로 보여주는 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 챔버 장치(10)를 개략적으로 보여주는 정면도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 챔버(100)와 제2 챔버(200), 승하강 구동 유닛(300), LM 가이드(400), 파워 베이스(500)를 보여주는 사시도이고, 도 4은 본 발명의 일 실시예에 따른 LM 가이드(400)를 보여주는 사시도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 파워 베이스(500)를 보여주는 사시도이고, 도 6(a)와 도 6(b)는 본 발명의 일 실시예에 따른 브라켓(700)을 보여주는 도면이고, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 챔버(200)와 파워 베이스(500), 제1 위치 정렬 링크(810), 제2 위치 정렬 링크(820)를 보여주는 사시도이며, 도 8(a)와 도 8(b)는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 위치 정렬 링크(810)와 제2 위치 정렬 링크(820)를 보여주는 도면이다.
도 1 내지 도 8(b)를 참조하면 챔버 장치(10)는, 제1 챔버(100)와 제2 챔버(200), LM 가이드(400)를 포함하고, 나아가 파워 베이스(500)와 제1 지지 프레임(610), 제2 지지 프레임(620), 브라켓(700), 제1 위치 정렬 링크(810), 제2 위치 정렬 링크, 조인트(820)를 더 포함할 수 있다.
다시 도 1 내지 도 3을 참조하면 제1 챔버(100)는, 제2 챔버(200)에 대향하여 개방된 중공부가 형성될 수 있다. 제1 챔버(100)의 중공부에는, 스테이지(미도시)와 스테이지 상부에 제1 패널(미도시)을 지지 하기 위한 지지 척(미도시)이 구비될 수 있다.
다시 도 1 내지 도 3을 참조하면 제2 챔버(200)는, 제1 챔버(100)와 결합하거나 이격될 수 있다. 제2 챔버(200)는, 승하강 구동 유닛(300)에 의해 승하강할 수 있다. 제2 챔버(200)는, 승강 구동에 의해 제1 챔버(100)와 이격되고, 하강 구동에 의해 제1 챔버(100)와 결합할 수 있다.
제2 챔버(200)는, 제1 챔버(100)와 대향하여 개방된 중공부가 형성될 수 있다. 제2 챔버(200)의 중공부에는, 스테이지(미도시)와 스테이지 상부에 제2 패널(미도시)을 지지 하기 위한 지지 척(미도시)이 구비될 수 있다.
제2 챔버(200)가 제1 챔버(100)와 결합시, 중공부에 진공 분위기를 형성하기 위해 제1 챔버(100)와 제2 챔버(200)의 결합면에는 실링 부재(미도시)가 구비될 수 있다.
다시 도 1 내지 도 3을 참조하면 승하강 구동 유닛(300)은, 제1 챔버(100) 또는 제2 챔버(200), 제1 챔버(100) 및 제2 챔버(200)에 제1 방향으로의 구동력을 제공해, 제1 챔버(100)와 제2 챔버(200)를 결합 또는 이격시킬 수 있다.
일 실시예에 따르면 승하강 구동 유닛(300)은, 제1 방향으로 제2 챔버(200)를 승하강 이동시킬 수 있다. 승하강 구동 유닛(300)은, 제2 챔버(200)의 단부에 연장 마련될 수 있다. 승하강 구동 유닛(300)은, 제2 챔버와 나란하게 구비되어, 구동축을 따라 제2 챔버(200)의 승하강을 위한 동력을 제2 챔버에 제공할 수 있다. 일 실시예에 따르면 승하강 구동 유닛(300)은 모터와 실린더일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
다시 도 1 내지 도 4를 참조하면 LM 가이드(400)는, 제2 챔버(200)의 승하강 동작을 안내할 수 있다. LM 가이드(400)는, 제2 챔버(200)의 일 측에 편중 마련될 수 있다. LM 가이드(400)는, 비대칭형으로 일 측의 공간을 점유하고 있어, 타 측의 공간 활용성을 증대시킬 수 있다.
제2 챔버(200)는, 외팔보 형태로 LM 가이드(400)에 의해 지지될 수 있다.
제2 챔버(200)는, 승하강 구동 유닛(300)의 구동에 의해 승강 또는 하강하고 이때, LM 가이드(400)가 이동 경로를 제공해 제1 방향으로 제2 챔버(200)의 안정적인 이동을 가능하게 할 수 있다.
LM 가이드(400)는, LM 레일(410)과 제1 지지 서포트(420), LM 블록(430), 제2 지지 서포트(440)를 포함할 수 있다.
LM 레일(410)은, 제1 지지 프레임(620)과 나란하게 마련될 수 있다. LM 레일(410)은, 제1 지지 프레임(620)에 면 접촉하여 지지 고정될 수 있다.
제1 지지 서포트(420)는, LM 가이드(400)의 지지 안정성을 높일 수 있다. 제1 지지 서포트(420)는, LM 가이드(400)의 접촉면적을 증대시킬 수 있다. 제1 지지 서포트(420)는, LM 레일(410)의 단부에 연장 마련될 수 있다.
제1 지지 서포트(420)는, 제1 지지 프레임(620)에 면 접촉해 지지 고정될 수 있다. 제1 지지 서포트(420)는, 조인트(미도시)에 의해 제1 지지 프레임(620)에 고정 결합 될 수 있다.
제1 지지 서포트(420)에는 일 방향으로 장공(421)이 형성될 수 있다. 일 실시예에 따른 제1 지지 서포트(420)에는 제2 방향으로 장공(421)이 형성됨으로써 제1 지지 프레임(620)에 결합시 가동 유격을 제공할 수 있다.
제2 방향으로 장공(421)이 마련됨으로써, 조인트(미도시)에 의해 제1 지지 프레임(620)과 LM 가이드(400)의 체결시 가동 유격을 조절해 LM 가이드(400)의 체결력을 높일 수 있다.
LM 블럭(430)은, LM 레일(410)을 따라 승하강할 수 있다. LM 블럭(430)에는 제2 지지 서포트(440)가 연장 형성될 수 있다. LM 블럭(430)의 일면은, 제2 챔버(200)와 면접촉해 결합될 수 있다.
제2 지지 서포트(440)는, LM 블럭(430)과 제2 챔버(200) 간 결합 안정성을 높일 수 있다. 제2 지지 서포트(440)는, LM 블럭(430)의 제2 챔버(200)에 대한 접촉면적을 증대시킬 수 있다. 제2 지지 서포트(440)는, LM 블럭(430)의 단부에 연장 마련될 수 있다.
제2 지지 서포트(440)는, 제2 챔버(200)에서 LM 블럭(430)과 접촉하는 면과 직교하는 타면에 면 접촉해 지지 고정될 수 있다. 제2 지지 서포트(440)는, 조인트(미도시)에 의해 제2 챔버(200)에 고정 결합 될 수 있다.
제2 지지 서포트(440)에는 일 방향으로 장공(441)이 형성될 수 있다. 일 실시예에 따른 제2 지지 서포트에는 제2 방향으로 장공(441)이 형성됨으로써 제2 챔버(210)에 결합시 가동 유격을 제공할 수 있다.
제2 지지 서포트(440)는 제2 챔버(200)의 측벽에 접촉 고정되고, 제3 지지 서포트(450)는 제2 챔버(200)의 상부벽을 접촉 고정될 수 있다.
제3 지지 서포트(450)는, 제2 지지 서포트(440)와 동시에 LM 블럭(430)과 제2 챔버(200) 간 결합 안정성을 높일 수 있다. 제3 지지 서포트(450)는, LM 블럭(430)의 제2 챔버(200)에 대한 접촉면적을 증대시킬 수 있다. 제3 지지 서포트(450)는, LM 블럭(430)의 단부에 연장 마련될 수 있다.
제3 지지 서포트(450)는, 제2 챔버(200)에서 LM 블럭(430)과 접촉하는 면 및 제2 챔버(200)에서 제2 지지 서포트(440)와 접촉하는 면에 직교하는 타면에 면 접촉해 지지 고정될 수 있다. 제3 지지 서포트(450)는, 조인트(미도시)에 의해 제2 챔버(200)에 고정 결합 될 수 있다.
제3 지지 서포트(450)에는 일 방향으로 장공(451)이 형성될 수 있다. 일 실시예에 따른 제3 지지 서포트(450)에는 제2 방향으로 장공(451)이 형성됨으로써 제2 챔버(210)에 결합시 가동 유격을 제공할 수 있다.
다시 도 1 내지 도 3, 도 5를 참조하면 파워 베이스(500)는, 승하강 하는 제1 방향으로 제1 챔버(100)에 대응하여 제2 챔버(200)의 평행도(parallelization)를 조절할 수 있다. 파워 베이스(500)는, 제2 챔버(200)의 수평 편차를 조절할 수 있다.
파워 베이스(500)는, 제2 챔버(200) 상에 복수개가 이격된 위치에 마련될 수 있다. 파워 베이스(500)는, 제1 방향의 랙 기어(510)와 제2 방향 또는 제3 방향의 피니언 기어 샤프트(530), 지지 플레이트(540), 플랜지(미도시)를 포함할 수 있다.
랙 기어(510)는, 제2 챔버(200)의 가장 자리 상에 상호 이격 구비될 수 있다. 일 실시예에 따른 랙 기어(510)는, 사각 형상의 제2 챔버(200)의 각 모서 리부에 각각 마련될 수 있다.
랙 기어(510)는, 제2 방향 또는 제3 방향의 피니언 기어 샤프트(520)의 단부와 맞물리도록 연결될 수 있다. 랙 기어(510)는, 길이 방향으로 기어치가 구비되고, 기어치는 각각의 피니언 기어 샤프트(520)와 맞물리도록 결합될 수 있다. 어느 하나의 랙 기어(510)는 다른 랙 기어(510)와 서로 동조화되어 구동할 수 있다.
피니언 기어 샤프트(520)는, 양 단부에 기어치가 구비되고, 기어치는 서로 다른 랙 기어(510)의 기어치에 맞물리도록 결합될 수 있다.
지지 플레이트(530)는, 랙 기어(510)와 피니언 기어 샤프트(520)를 지지할 수 있다. 지지 플레이트(530)는, 피니언 기어 샤프트(520)의 축 방향 및 제2 챔버(200)의 일면과 나란하게 배치되어, 지지 안정성을 높일 수 있다.
플랜지(미도시)는, 랙 기어(510)와 피니언 기어 샤프트(530)의 구동에 따른 틀어짐 발생을 완화할 수 있다.
다시 도 1과 도 2를 참조하면 베이스 프레임(610)과 제1 지지 프레임(620), 제2 지지 프레임(630)은, 챔버 장치(10)의 골격을 이루는 뼈대를 제공할 수 있다.
베이스 프레임(610)은, 기저면에 구비되고, 제1 지지 프레임(620)과 제2 지지 프레임(630)을 지지할 수 있다.
제1 지지 프레임(620)은, 베이스 프레임(610)에서 제1 방향으로 연장 형성될 수 있다. 제1 지지 프레임(620)은, 길이 방향을 따라 LM 가이드(400)를 지지할 수 있다. 제1 지지 프레임(620)은, 적어도 제2 챔버(200)의 승하강 이동 거리에 해당하는 길이를 가질 수 있다.
제2 지지 프레임(630)은, 제1 지지 프레임(620)에서 제2 방향으로 연장 형성될 수 있다. 제2 지지 프레임(630)은, 브라켓(700)을 매개로 파워 베이스(500)를 지지할 수 있다.
이때 브라켓(700)은, 각각의 파워 베이스(500), 보다 구체적으로 랙 기어(510)에 대응되는 개수로 구비될 수 있다.
다시 도 1과 도 2, 도 6(a), 도 6(b)를 참조하면 브라켓(700)은, 제1 면(710)과 제2 면(720)을 포함할 수 있다. 브라켓(700)은, 제2 지지 프레임(630)과 파워 베이스(500) 사이에 구비될 수 있다.
제1 면(710)은, 파워 베이스(500)와 면 접촉해 결합할 수 있다. 보다 구체적으로 제1 면(710)은, 파워 베이스(500), 보다 구체적으로 지지 플레이트(530)와 나란하게 마련될 수 있다. 제1 면(710)에는 일 방향으로 긴 길이의 제1 장공(711)이 형성될 수 있다.
제1 장공(711)은, 제3 방향으로의 가동 유격을 제공할 수 있다. 보다 구체적으로 제1 장공(711)은, 제2 지지 프레임(630)과 파워 베이스(500) 각각의 가공 및 조립 오차, 제2 지지 프레임(630)과 파워 베이스(500) 사이 및 이격 마련된 서로 다른 랙 기어(510) 간이의 움직임 차이에 따른 제3 방향으로의 틀어짐을 보상할 수 있다.
제2 면(720)은, 제2 지지 프레임(630)과 면 접촉해 결합할 수 있다. 보다 구체적으로, 제2 면(720)은, 제2 지지 프레임(630)의 일면에 면 접촉하도록 결합할 수 있다. 제2 면(720)은, 제1 면(710)의 단부에 절곡 마련될 수 있다. 일 실시예에 따르면 제2 면(720)은 제1 면(710)과 직각의 사잇각을 가질 수 있다.
제2 면(720)은, 제2 지지 프레임(630)와 면 접촉해 결합할 수 있다. 제2 면에는 일 방향으로 긴 길이의 제2 장공(721)이 형성될 수 있다.
제2 장공(721)은, 제1 방향으로의 가동 유격을 제공할 수 있다. 보다 구체적으로 제2 장공(721)은, 제2 지지 프레임(630)과 파워 베이스(500) 각각의 가공 및 조립 오차, 제2 지지 프레임(630)과 파워 베이스(500) 사이 및 이격 마련된 서로 다른 랙 기어(510) 간의 움직임 차이에 따른 제1 방향으로의 틀어짐을 보상할 수 있다.
다시 도 1과 도 2, 도 7, 도 8을 참조하면 제1 위치 정렬 링크(810)와 제2 위치 정렬 링크(820)는, 어느 일 방향에서 파워 베이스(500)와 제2 챔버(200) 사이 및 이격 마련된 서로 다른 랙 기어(510) 간의 움직임 차이에 따른 어느 일 방향으로의 틀어짐을 보상할 수 있다. 제1 위치 정렬 링크(810)는, 제2 위치 정렬 링크(820)와 맞물리도록 결합될 수 있다.
제1 위치 정렬 링크(810)는, 제2 챔버(200)의 상부에 구비될 수 있다. 제1 위치 정렬 링크(810)에는 제1 홀(811)이 형성될 수 있다.
제1 홀(811)은, 어느 일 방향으로의 위치 틀어짐을 보상할 수 있다. 보다 구체적으로 제1 홀(811)은, 제2 홀(821)과의 관계에서 제2 챔버(200)와 파워 베이스(500) 사이 어느 일 방향으로의 틀어짐을 보상할 수 있다. 제1 홀(811)은, 수직 방향에서 제1 위치 정렬 링크(81)에 관통 형성될 수 있다.
일 실시예에 따른 제1 홀(811)은, 제2 홀(821)과 일 방향으로 다른 반지름을 가질 수 있다. 즉, 제1 홀(811)은, 일 방향을 제외한 다른 방향에서는 제2 홀(821)과 동일한 반지름을 가질 수 있다. 즉 제1 홀(811)은, 일 방향으로 장공이 형성될 수 있다.
제2 위치 정렬 링크(820)는, 제1 위치 정렬 링크(810)와 면 접촉하며 결합할 수 있다. 제2 위치 정렬 링크(820)는, 파워 베이스(500)의 하부에 구비될 수 있다. 제2 위치 정렬 링크(820)에는 제2 홀(821)이 형성될 수 있다.
제2 홀(821)은, 제1 홀(811)에 대응되는 위치로 형성될 수 있다. 보다 구체적으로 제2 홀(821)은, 제2 위치 정렬 링크(820)와 제1 위치 정렬 링크(810)의 결합시, 제1 홀(811)에 대응되는 위치에 마련될 수 있다.
조인트(미도시)는, 제1 위치 정렬 링크(810)와 제2 위치 정렬 링크(820)를 고정 체결할 수 있다. 조인트(미도시)는, 제1 홀(811)과 제2 홀(821)에 삽입 체결될 수 있다.
조인트(미도시)에 의해 제1 위치 정렬 링크(810)를 제2 위치 정렬 링크(820)에 고정하는 경우에도, 제1 홀(811)은 제2 홀(821)에 비해 상대적으로 일 방향으로 장공을 이루어 긴 길이 방향으로 조인트(미도시)에 가동 유격을 제공할 수 있다.
이상, 본 발명을 바람직한 실시예를 사용하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 범위는 특정 실시예에 한정되는 것은 아니며, 첨부된 청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 또한, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 이해하여야 할 것이다.
10 : 챔버 장치
100 : 제1 챔버
200 : 제2 챔버
300 : 승하강 구동 유닛
400 : LM 가이드 410 : LM 레일
420 : 제1 지지 서포트 421 : 장공
430 : LM 블럭 440 : 제2 지지 서포트
441 : 장공 450 : 제3 지지 서포트
451 : 장공
500 : 파워 베이스 510 : 랙 기어
520 : 피니언 기어 샤프트 530 : 지지 플레이트
610 : 베이스 프레임 620 : 제1 지지 프레임
630 : 제2 지지 프레임
700 : 브라켓 710 : 제1 면
711 : 제1 장공 720 : 제2 면
721 : 제2 장공
810 : 제1 위치 정렬 링크 811 : 제1 홀
820 : 제2 위치 정렬 링크 821 : 제2 홀

Claims (8)

  1. 제1 챔버;
    상기 제1 챔버와 결합하거나 이격되도록, 승하강 구동 유닛에 의해 승하강 가능한 제2 챔버;
    상기 제2 챔버의 일 측에 편중 마련되고, 상기 제2 챔버의 승하강 동작을 안내하는 LM 가이드; 및
    상기 제2 챔버 상에 복수개가 이격된 위치에 마련되고, 상기 위치마다 서로 동조화하여 상기 제2 챔버의 수평 편차를 조절 가능한 파워 베이스를 포함하는, 챔버 장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    베이스 프레임에서 제1 방향으로 연장 형성되고, 길이 방향을 따라 상기 LM 가이드를 지지 가능한 제1 지지 프레임; 및
    상기 제1 지지 프레임에서 제2 방향으로 연장 형성되고, 브라켓을 매개로 상기 파워 베이스를 지지 가능한 제2 지지 프레임을 더 포함하는, 챔버 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 브라켓은,
    상기 파워 베이스 상에 마련되어 일 방향으로 제1 장공이 형성된 제1 면; 및
    상기 제1 면의 단부에 절곡 마련되고, 상기 일 방향으로 제2 장공이 형성된 제2 면을 포함하고,
    상기 제1 장공은 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과 직교하는 제3 방향으로 가동 유격을 제공하고 상기 제2 장공은 상기 제1 방향으로 가동 유격을 제공 가능한, 챔버 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제2 챔버의 상부에 구비되고, 제1 홀이 형성된 제1 위치 정렬 링크;
    상기 파워 베이스의 하부에 구비되고, 상기 제1 홀에 대응되는 위치에 제2 홀이 형성된 제2 위치 정렬 링크; 및
    상기 제1 홀과 상기 제2 홀에 삽입 체결 가능한 조인트를 더 포함하고,
    상기 제1 홀은 상기 제2 홀과 일 방향으로 다른 반지름을 가지는, 챔버 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 제1 홀은 일 방향으로 장공이 형성되어 상기 조인트의 가동 유격을 제공 가능한, 챔버 장치.
  7. 제 3 항에 있어서,
    상기 LM 가이드는,
    상기 제1 지지 프레임과 나란하게 마련된 LM 레일의 단부에 연장 형성되어 상기 제1 지지 프레임과의 접촉면적을 증대시킨 제1 지지 서포트;
    상기 LM 레일을 따라 승하강하는 LM 블럭의 단부에 연장 형성되어 상기 제2 챔버의 타면과 면접촉 가능한 제2 지지 서포트를 포함하는, 챔버 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 제1 지지 서포트에는 일 방향으로 장공이 형성되어 상기 제1 지지 프레임에 결합시 가동 유격을 제공 가능한, 챔버 장치.
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