JP2010091628A

JP2010091628A - 表示用パネル露光装置および露光方法並びに表示用パネル露光装置の組立てまたは調整方法

Info

Publication number: JP2010091628A
Application number: JP2008258836A
Authority: JP
Inventors: Nobuyuki Maki; 信行牧; Shigeo Watabe; 成夫渡部; Katsuaki Matsuyama; 勝章松山
Original assignee: Hitachi High Technologies Corp; Hitachi High Tech Corp
Current assignee: Hitachi High Tech Corp
Priority date: 2008-10-03
Filing date: 2008-10-03
Publication date: 2010-04-22
Also published as: TW201015246A; KR101114730B1; CN101713931B; CN101713931A; KR20100038153A

Abstract

【課題】
加工と輸送が容易な分割状態のステージであって、ステージの組立てでの接続強度を強くすることができる露光装置を提供及び容易に組立てができ、あるいは組立て後であっても分割状態から組立てた部位を容易に調整することができる露光装置または液晶露光方法を提供することにある。
【解決手段】
ステージを構成する複数テーブルを接続する中空であって４角柱の構造を有した接続テーブルを設け、接続面に突起物を設けて相手側のテーブルに挿入し前記突起物の位置をテーブルの上面から操作する。また、前記接続面に設けた空気溜め室における空気量を調節する。
【選択図】図１

Description

本発明は、表示用パネル等の基板の製造装置に係り、特にガラス基板上にパターンを形成する液晶露光装置に関する。

マスクと基板ガラスを１mm以下に近づけ、平行光を照射してマスクパターンを基板ガラスに転写するプロキシミティ方式の露光装置が、液晶を初めとして表示用パネル製造用に用いられている。この露光装置が処理する基板ガラスは、液晶パネルの生産性を向上させるために、露光装置が一巡の露光で作成する液晶パネルの数が多くなるよう大型化が進んでおり、場合によっては、そのサイズは１０ｍ(長さ)×５ｍ(幅)×８ｍ(高さ)、重さはステージだけでも１００トンにも及ぶ。露光装置の大型化に際して、装置組立工場から液晶パネル製造工場までの搬送時に、または、製造時にその重量や大きさが支障とならないよう、露光装置または、これを構成するステージ装置はいくつかに分割した部品から組立てるよう構成されている。

次の文献には、露光装置のステージ装置の分割構成およびその接続方法について記述がされている。特許文献１、２にとも、左右の搬入ステージから中央の露光ステージに交互にガラス基板を露光ステージに搬送し、露光する露光装置が開示されている。特許文献１は、移動レールが分割されないように搬入ステージと中央の露光ステージに移動する案内ステージが一体なって、左右に２分割する構成が提案されている。特許文献２には、左右の搬入ステージと露光ステージとでステージを３分割する構成が提案されている。

特開2005-189775号公報特開2007-065588号公報

しかし、特許文献１は、左右交互に露光することによって露光の高能率化を図ることを目的にしており、前述した大型装置に対する分割の認識はなく、また２つのテーブル接続においても、２つのテーブルをボルトでスペーサを介して接続する方法が開示されているが、移動レールが分割されていないのでその接続も必要ないとしている。一方、特許文献２は、大型装置に対する分割の認識はあるが、分割されたステージを如何に接続する等の開示はない。

本発明は、従来技術に認識されていない以下に記す新規な課題に対してなされたものである。即ち、従来技術のステージ装置は、分割状態のステージ装置を輸送した後、装置設置場所で組立てて使用するものである。この組立てでの接続強度は、接続に使用するネジの強度とネジが発生させる軸力に依存する。液晶露光装置に用いるステージは、そのサイズと必要な強度から、鋳物で製造することが多いため、これらを接続するネジの座面の凸凹やその傾きが軸力を低下させることがあった。（第１の課題）
また、ステージ装置が大型になり、これを支える脚の荷重を小さくするために、多数の脚が必要になった。ステージ装置は、組立て後数年から十年間可動を続けるが、この間、設置場所の地盤変動があっても、分割状態から組立てた部位の調整を行なうことは、ステージ下面の多数の脚に対して調整作業をすることが困難であった。（第２の課題）
また、ステージ装置の組立て部位には、接続面を上下にずらせる力の他、曲げようとする力が働く。調整のためにステージを組立てた部位のネジを緩めたり締めたりすると、この力により、各部位が自由に変位してしまうことがあり、調整が困難であった。（第３の課題）
従って、本発明の第１の目的は、加工と輸送が容易な分割状態のステージであって、ステージの組立てでの接続強度を強くすることができる液晶露光装置を提供することにある。

本発明の第２の目的は、容易に組立てができ、あるいは組立て後であっても分割状態から組立てた部位を容易に調整することができる液晶露光装置または液晶露光方法を並び露光装置の組立てまたは調整方法を提供することにある。

第１の目的を達成するために、本発明は、基板を搬送する複数のテーブルと、搬送後の露光位置で前記基板表面にマスク板のパターンを焼付ける露光装置において、前記複数のテーブルうち少なくとも一つのテーブルは多角柱の構造を有し、少なくともその一部が中空であって、他の２つのテーブルと接触する接続面を有する接続テーブルであることを第１の特徴とする。

また、第１の目的を達成するために、本発明は、第１の特徴に加え、前記接続面の内側に締結用のネジまたはナット用の座面と当該座面と対向する面に少なくとも座面直径よりも大きな穴を有することを第２の特徴とする。

さらに、第１の目的を達成するために、本発明は、第２の特徴に加え、前記座面は前記穴を通した切削手段により加工したことを第３の特徴とする。

また、第２の目的を達成するために、本発明は、前記複数のテーブルのうち接続面を有する２つのテーブルのうち一方テーブルの前記接続面に設けた突起部を、他のテーブルの前記接続面に設けた凹部に挿入し、前記他のテーブルの上面から前記突起部を上下し、前記一方のテーブルの位置を上下調整するテーブル上下調整工程を有することを第４の特徴とする。

さらに、第２の目的を達成するために、本発明は、第４の特徴に加え、前記テーブル上下調整工程と、前記他のテーブルの前記接続面に設けた凹部に隣接して、前記他のテーブルの前記接続面に設けた突起部を、前記一方のテーブルの前記接続面に突起部に隣接して、前記一方のテーブルの前記接続面に設けたけた凹部に挿入し、前記一方のテーブルの上面から前記突起部を上下し、前記一方のテーブルの位置を上下調整するテーブル上下調整工程を有することを第５の特徴とする。

また、第２の目的を達成するために、本発明は、前記複数のテーブルのうち２つのテーブルの接続面に設けた空気溜め室における空気量を調節することを第６の特徴とする。

本発明によれば、加工と輸送が容易な分割状態のステージであって、ステージの組立てでの接続強度を強くすることができる液晶露光装置を提供することができる。

また、本発明よれば、容易に組立てができ、あるいは組立て後であっても分割状態から組立てた部位を容易に調整することができる液晶露光装置または液晶露光方法を並び露光装置の組立てまたは調整方法を提供することができる。

以下、図面を参照して本発明を実施するための最良の形態について説明する。
図１は、本発明による液晶露光装置の一実施例を示す斜視図である。ステージ１は、テーブル１０と接続テーブル１１、テーブル１２で構成している。ステージ１の上面にはＸ軸レール２０が６本と設置され、前記ステージ１上面にある凹の側部にリニアモータの固定子３０が対向して設置されている。Ｘ軸レール２０の上には、Ｘ軸方向に移動するＸ軸可動ステージ４０が取り付けられており、表示しないリニアモータ可動子によってＸ軸レール２０上を移動する。

Ｘ軸可動ステージ上面には、Ｙ軸レール２１が２本設置されている。Ｘ軸可動ステージには、前記ステージ１と同様に、その上面にある凹の側部にリニアモータの固定子３１が対向して設置されている。Ｙ軸レール２１の上には、可動ステージ４１が取り付けられており、表示しないリニアモータ可動子によってＹ軸レール２１上を移動する。Ｙ軸可動ステージ４１上には、載置台５０が取り付けられており、基板ガラスをこの上面に載置し、Ｘ軸レール２０とＹ軸レール２１に沿ってステージ１上の露光位置に位置決めされる。

ステージ1を構成するテーブルの個数はステージ１の規模に基づいて、固定子３０、３１の設置数は可動ステージの動作目的に合わせて、Ｘ軸レール２０，Ｙ軸レール２１の設置数はレールに掛かる荷重を考慮して、上記説明に限定されず、増減することは可能である。

図２は、図１の装置において、テーブル１０、１２と接続テーブルとでステージ１を構成している様子を示したもので、説明のためテーブル１０を外した状態である。接続テーブル１１とテーブル１２は、接続テーブル１１の内側の空間７０内で、複数の締結ネジ６０を用いて締結される。図２の吹き出し図に示すように締結ネジ６０の首下６０aは、図３で後述する座グリしたネジ座面６１上にあるので、鋳物の素表面に比べて座面の落ち込みがなく、締結ネジ６０が緩むことはない。また、ネジ座面６１がネジ首下６０a面に平行となるよう形成されているため、締結ネジ６０の軸力が低下することなく締結することができる。また、本実施例では、防塵対策として座金を用いず締結しているがそれでも十分な締結力を有することができる。

図３は、接続テーブル１１において、空間７０内にネジ座面６１を加工する方法を示したものである。前述したように、ネジの座面に凸凹や傾きがあると軸力を低下させることがあり、平らな傾きのない座面とする必要がある。現在要求されている液晶露光装置に用いるステージのサイズと必要な強度から、面加工機ヘッド自体の大きさも１ｍ近くに及び、例え人が入れるスペースがあったとしても、接続テーブル１１の空間７０で座面形成の作業することはできない。

そこで、本実施例では、接続テーブル１１の接続面１５上(図２も参照)にネジ座面６１に対応する加工用穴６２を設け、前記面加工機のヘッドに搭載された加工ドリル１４を挿入してネジ座面６１を加工する。

すなわち、接続テーブル１１を面加工機ベッド１３上に搭載し、接続テーブル１１の接続面１５上に加工用穴６２を設け、その加工用穴６２は加工するネジ座面６１に対向する位置に設けられ、その径は加工ドリル１４が接続テーブル１１の接続面１５を通り抜けられる大きさとする。この加工用穴６２を図３に示すように接続面１５上に左右に(図２の接続時は上下になる)かつ列状に設ける。そこで、加工ドリル１４を加工用穴６２に通して、接続テーブル１１の空間７０内の内面１６にネジ座面６１を加工する。このネジ座面加工を図３に示すように接続面１５上に設けられた全ての加工用穴６２に対して行なう。その結果、ネジ座面６１は、前記加工用穴６２の列に対応した前記内面１６に列状に形成される。

図１に示すように、接続テーブル１１の両側面に他のテーブルを接続する場合は、他の接続面１５も同様に座面を加工する。本実施例では、この場合、ネジ座面６１と加工用穴６２とが、接続テーブル１１の空間７０内の内面１６に交互に一対となって一列に配置されるように加工する。

図４は従来の接続方法を示したものである。従来では、一方のテーブル１７に作業穴６４を設けて、その部分と端部とで締結ネジ６０で接続していた。このような従来接続では、締結ネジ６０を絞めるための作業穴６４をテーブル１７の強度を確保するためには穴を大きくできない。その結果、テーブル１７に本実施例のような加工用穴を設けることができず、座面を平らにかつ傾斜なく加工でない。また、作業穴６４による作業スペースが不十分で、作業穴６４の底面のネジ（図示せず）のネジ締め作業が困難であった。

一方、本実施例によれば、まず加工用穴を設けることで座面を平らにかつ傾斜なく加工できので、小さなネジで必要な接続強度を確保できる。また、ネジ締結本数を多くすることができるので、接続強度が高くなる。また、例え振動が発生しても、ネジ間で決まる共鳴振動数を振動エネルギーの小さな高周波にできる。これらの結果、前記接続テーブル１１を用いてテーブル１０とテーブル１２を接続する場合、耐震性の高く、Ｘ軸可動ステージがステージ１上を移動する際にその変形が小さいので、載置台５０上に搭載する基板ガラスの位置決めを正確にすることができ、強いては精度の高い露光装置を提供できる。

また、本実施例によれば、露光装置の規模によっては、接続テーブル１１の空間７０内に入って行なうことができ、ネジ締め作業は容易であるので、ステージ１の製作にあって作業性の高い方法を提供できる。

さらに、上記実施例では、接続テーブル１１の空間７０を１つ設けたが、接続テーブル１１、接続テーブル１１の左右に空間７０を２つ設置するように接続テーブル１１中央に隔壁を設置すれば、接続テーブル１１の曲げ剛性をさらに向上することができる。その結果、さらに、精度の高い露光装置を提供できる。

上記の実施例では締結をネジで行なったが同様な機能を持つナット等でおこなってもよい。

図５は、本発明による液晶露光装置の他の実施例を示す斜視図である。本実施例は、テーブル１０と１２と接続テーブル１１のテーブル間で位置合わせをして段差を無くし、このＸ軸レール２０の曲がりを小さくするための構成と方法に関するものである。

図５に示すようにステージ１は３つのテーブル１０、接続テーブル１１及びテーブル１２で構成している。この３つのテーブル１０、１１、１２は、脚１１１〜１１８等(他に図示してない脚あり)で支えられている。テーブル１０と１２は、接続テーブル１１を介して、先の実施例で示したように複数の締結ネジ６０で締結されている。図１で示したステージ１上に設置されるＸ軸可動ステージ等は説明を分かり易くするために図示していない。

テーブル１０と接続テーブル１１、接続テーブル１１と１２は、その上面にＸ軸レール２０を設置するため、このテーブル接続端面に段差があると、Ｘ軸レール２０がこの段差に沿うように曲がる。Ｘ軸可動テーブル４０がこのＸ軸レール２０が曲がった部分に位置した場合、Ｘ軸可動テーブル４０がＸ軸レール２０の曲がりに合わせて変位するため、載置台５０上に搭載する基板ガラスの位置決めに誤差が発生することがあった。

従来は、テーブル１０と接続テーブル１１、接続テーブル１１と１２接続端面の段差は、脚１１１〜１１８の高さ調整機構を利用して合わせていた。しかし、この方法では、調整した端面だけを動かすことは難しく、いずれか一つの脚でテーブル間の段差を調整すると、接続しているテーブルが共に動いたりしていた。特に、テーブル端面を下げるときは、脚の高さを低くしてもテーブルの接続面での摩擦力が大きいため下がらないことあり、テーブルを接続するネジを大幅に緩める必要があった。テーブルを接続するネジを大幅に緩めると、テーブル間に隙間が開くことがあり、段差を調整後、テーブルを接続するネジを締めるとテーブルの姿勢が変化したりした。

本実施例はこれらを解決する本発明の他の一実施例であり、図５乃至図７を用いて説明する。

図５に示すようにテーブル１０と接続テーブル１１の上面には、両テーブル間での高さ方向の位置合わせ(以下単に位置合わせという)をするための位置合わせネジ８１、８２および８５、８６が設けられている。同様に接続テーブル１１とテーブル１２の上面には、位置合わせネジ８３、８４および８７，８８が設けられている。

図６は、図５におけるステージ１でのテーブル１０と接続テーブル１１、または接続テーブル１１と１２の間で位置合わせをするための構成を説明するための図であり、締結ネジ６０（図示しない）による締結を外した状態を示したものである。

本実施例におけるテーブル１０と接続テーブル１１との位置合わせは、両テーブル１０，１１の接続面に設けた位置合わせ突起９１、９２を、それぞれ位置合わせ突起９１、９２に対向するテーブルの接続面に設けた位置合わせ穴９３，９４に挿入し、テーブル１０と接続テーブル１１の上面のから位置合わせネジ８５，８６を位置合わせ突起９１，９２に設けられた位置合わせネジ穴１０１、１０２に挿入しネジ留めする機構を、接続面の両端側に設けることで行われる。

前述において、位置合わせ穴９３は位置合わせ突起９１よりも一回り大きく作られ、位置合わせ突起９１は位置合わせ穴９３の中で自由に動くことができ、すなわち、テーブル１０は接続テーブル１１に対して位置合わせのために移動させることができる。同様に、位置合わせ穴９４は位置合わせ突起９２よりも一回り大きく作られ、位置合わせ突起９２は位置合わせ穴９４の中で自由に動くことができ、すなわち、接続テーブル１１はテーブル１０に対して位置合わせのために移動させることができる。

図７は、上記の機構でテーブル１０と接続テーブル１１、または、接続テーブル１１と１２の位置合わせをする方法を説明するために、位置合わせネジ８５，８６を含む断面図を示したものである。

前述したように、テーブル１０の上面には位置合わせネジ８５が設置され、その先端ネジ部は接続テーブル１１の突起９３先端の位置合わせネジ穴１０１に接続されており、同様に、接続テーブル１１の上面には位置合わせネジ８６が設置され、その先端ネジ部はテーブル１０の位置合わせ突起９１先端の位置合わせネジ穴１０１に接続されている。

テーブル１０と接続テーブル１１の上面の位置合わせにおいて、例えば、テーブル１０上面の位置合わせネジ８５を締めると、接続テーブル１１の位置合わせ突起９２がテーブル１０に引き寄せられるため、テーブル１０に対して接続テーブル１１の上面がせり上がる。接続テーブル１１上面の位置合わせネジ８６を締めると、テーブル１０の位置合わせ突起９１が接続テーブル１１に引き寄せられるため、接続テーブル１１に対してテーブル１０の上面がせり上がる。そこで、接続面の反対側に設けた位置合わせネジ８１、８２とを合わせた４本の位置合わせネジ８５、８６、８１及び８２を協調して調節することによりテーブル１０と１１の上面の位置合わせをすることにより、両テーブルの上面の段差をなくすことができる。締結ネジによる締結後は、十分な締結力が維持されているので、両テーブルの上面の段差をなくすという意味でステージ下の各脚１１１や１１２等の高さを調節する必要はなく、各脚に加重を均等にするとか、浮いている脚を調節する程度よい。

次に、同様に接続テーブル１１と１２の上面の位置合わせを行なうことによって、３つのテーブル１０，１１、１２の位置合わせを完了することができる。

上記において一旦、締結ネジ６０等で両テーブルを固定すれば、両テーブルは動かないのは明らかであり、調整後は、両ネジを締めておくことでテーブルが不用意に移動することを防ぐことができる。

本実施例によれば、テーブル１０と１１との上面の位置合わせは、ネジ８５または８６を締めるだけであり、ステージ下の脚１１１や１１２等は最後に簡単に調節するだけでよい。特に、テーブルのサイズが大きくなって、テーブル中央部下面の脚を操作するだけで、両テーブル間の上面の位置合わせは困難であるため、本方法による調整が有用である。

また、調整するテーブル１０と１１の間だけに調整力が発生するため、目的以外のテーブルが不用意に動くことはなく、調整作業が容易になる。

特に、テーブルサイズが大きくなっても、テーブル間の位置合わせは、テーブル上面において、従来テーブル自重による下向き方向の力に頼っていた一方のテーブル表面を引き下げる作業が、この調整機構が設置されているネジを操作するだけよく、また、調整後の固定は全てのネジを締め付けるだけでよく、調整作業を容易にすることができる。

図５から７に示した実施例では、テーブルに突起と、対向する突起を納める穴を設けたが、テーブルの突起をテーブル側面に設置しても同様の効果を得ることができるのは明らかである。また、ステージを構成するテーブルの個数は、本実施例では３つであったが、この限りでなく、より多くを接続することも可能である。

上記実施例では、ネジで突起を操作したが、ネジに限らずテーブル上面から操作できる方法なら他の方法を用いてもよい。

図８は、本発明による液晶露光装置の他の一実施例を示す斜視図である。本実施例は、前記テーブル１０、１２と接続テーブル１１との位置合わせを更に容易にするもので、位置合わせ調節時は接続面の摩擦を小さくし、位置合わせ調節後は摩擦を大きくしテーブルを確りと固定する構成と方法に関するものである。

図８において、説明の都合、テーブル１０と１１は締結ネジ６０による締結を外した状態を示したものである。接続テーブル１１の接続面１５には、摩擦調整くぼみ１２０を少なくとも１つ以上設け、接続テーブル１１がテーブル１０と接続した時に、くぼみ１２０と外部を結ぶ空気を通すことのできる空気穴１２１を設けている。空気穴１２１は、パイプを用いて高圧空気を通すことのできる接続部１２２に接続する。

テーブル１０と接続テーブル１１を接続した後、両テーブルの上面の位置合わせをするときには、接続部１２２を通して高圧空気注入する。例えば、40kgf毎平方センチメートルの高圧空気を摩擦調整くぼみ１２０の面積3000平方cmに注入すると、くぼみ全体では120000kgfの力でテーブル１０と接続テーブル１１の接続面を広げようとする力が発生する。この力によって、前記接続面に対する締結ネジ６０による締結力が減少することになる。接続面には摩擦があり、締結力が減少すると接続面内方向でテーブルを移動する力が減少するため、位置合わせネジ８５、８６等によるテーブル上面の位置合わせ作業が容易になる。

テーブル１０と接続テーブル１１、または接続テーブル１１と１２の接続は、ステージ１の使用時にこの接続部での変形を小さくするために締結ネジ６０を多く用いるため、テーブル上面の位置合わせ作業時にはこの締結ネジ６０を緩める作業から始める。この締結ネジ６０緩め具合が問題となる。その理由は、この作業において、ネジ６０を完全に緩めるとテーブル間の摩擦力は無くなりテーブル上面の位置合わせ作業は容易になるが、テーブルに曲げモーメント力が働いていると、接続面間でV字型に隙間が開くことがある。テーブル上面の位置合わせ完了後、再びネジ６０を締めると、この隙間は無くなるが、テーブルは傾く様に動いて接続されるため、テーブルの接続面以外の部分で、変位してしまう。

そこで、本実施例を適用すれば、締結ネジ６０を完全に緩めることなく、軸力を残したままでテーブル上面の位置合わせ作業をしてテーブルの傾きを少なくできるので、テーブル上面の位置合わせ完了後、再び締結ネジ６０を締めても、前述の如くテーブルが傾く様で動くことはなく、作業を容易に行なうことができる。

また、摩擦調整くぼみ１２０の容積は小さいほどここに注入する空気量が少なくて済む。摩擦調整くぼみ１２０の中に、摩擦調整くぼみ１２０の深さよりも薄い板を入れて容積を小さくすれば、ポンプの負荷が下がり小型のポンプを使用することができ、現場での作業性を高めることができるという効果がある。さらに、摩擦調整くぼみ１２０を取り巻くようにＯリングを設置し、摩擦調整くぼみ１２０からの空気の逃げを少なくしても同様の効果を得ることができる。

さらに、摩擦調整くぼみ１２０には、高圧空気を注入するとは逆に、摩擦調整くぼみ１２０内の空気を抜き取り、負圧を発生させることで、締結ネジ６０の締結力に加え負圧力によるテーブル接続の強度をより高めることができる。特に、テーブル上面の位置合わせ完了後、直ぐに負圧に切り替えることで、ネジ締結が完了するまでの時間でテーブル位置合わせが変化してしまうのを防ぐことができる。

さらにまた、摩擦調整くぼみ１２０に外部から空気が流入しないようにオーリングでこれを取り囲み、接続部１２２にバルブを設ければ、テーブル上面の位置合わせ完了後、一度空気を抜き取ることで露光装置としてステージ使用中にも効果を持続することが容易に可能となる。

本実施例では接続テーブル１１を用いているが、図４に示す従来例のように直接テーブル１０、１２を接続する場合に、接続面にて少なくともどちらかい一方のテーブルに摩擦調整くぼみを設けて本実施例を適用しても、本実施例の効果を得られる。

本発明は、液晶基板に拘わらず大型の薄い基板を表示用パネルにも適用可能である。

本発明による液晶露光装置の一実施例を示す斜視図である。本発明による液晶露光装置の一実施例を示す斜視図である。本発明による液晶露光装置の加工方法を示す斜視図である。従来のステージの接続方法を示す斜視図である。本発明による液晶露光装置の他の一実施例を示す斜視図である。本発明による液晶露光装置の他の一実施例を示す斜視図である。本発明による液晶露光装置の他の一実施例を示す断面図である。本発明による液晶露光装置の他の一実施例を示す斜視図である。

符号の説明

１：ステージ１０、１２、１３：テーブル
１１：接続テーブル１３：面加工機ベッド
１４：加工ドリル１５：接続テーブルの接続面
１６：接続テーブルの空間内の内面２０：Ｘ軸レール
２１：Ｙ軸レール３０、３１：リニアモータ固定子
４０：Ｘ軸可動ステージ４１：Ｙ軸可動ステージ
５０：載置台６０：締結ネジ
６１：ネジ座面６２：加工用穴
７０：接続テーブルの内側の空間８１〜８８：位置合わせネジ
９１、９２：位置合わせ突起９３，９４：位置合わせ穴
１０１、１０２：位置合わせネジ穴１１１〜１１８：脚
１２０：摩擦調整くぼみ１２１：空気穴
１２２：接続部。

Claims

基板を搬送する複数のテーブルと、搬送後の露光位置で前記基板表面にマスク板のパターンを焼付ける表示用パネル露光装置において、
前記複数のテーブルうち少なくとも一つのテーブルは多角柱の構造を有し、少なくともその一部が中空であって、他の２つのテーブルと接触する接続面を有する接続テーブルであることを特徴とする表示用パネル露光装置。
前記接続面の内側に締結用のネジまたはナット用の座面と当該座面と対向する面に少なくとも座面直径よりも大きな穴を有することを特徴とする請求項１に記載の表示用パネル露光装置。
前記座面は前記穴を通した切削手段により加工したことを特徴とする請求項２に記載の表示用パネル露光装置。
基板を搬送する複数のテーブルと、搬送後の露光位置で前記基板表面にマスク板のパターンを焼付ける表示用パネル露光装置において、
前記複数のテーブルのうち接続面を有する２つのテーブルであって、一方のテーブルの前記接続面に設けた突起部と、他のテーブルの前記接続面に設けた前記突起物を挿入可能な凹部と、前記他のテーブルの上面から前記突起物を上下する突起物上下手段とを具備するテーブル上下調整機構を有することを特徴とする表示用パネル露光装置。
前記テーブル上下調整機構と、前記テーブル上下調整機構に隣接して、前記他のテーブルの前記接続面に設けた突起部と、前記一方テーブルの前記接続面に設けた当該突起物を挿入可能な凹部と、前記一方のテーブルの上面から前記突起部を上下する突起物上下手段を具備する他のテーブル上下調整機構とを具備する一対のテーブル上下調整機構を有することを特徴とする請求項４に記載の表示用パネル露光装置。
前記突起物上下手段は、座面を前記他のテーブルの上面に持つ他端を前記突起部に係合するネジを有することを特徴とした請求項４または５に記載の表示用パネル露光装置。
基板を搬送する複数のテーブルと、搬送後の露光位置で前記基板表面にマスク板のパターンを焼付ける表示用パネル露光装置において、
前記複数のテーブルのうち２つのテーブルの接続面に設けた空気溜め室と、前記空気溜め室の空気量を調節する手段を有することを特徴とする表示用パネル露光装置。
前記空気溜め室は前記２つのテーブルのうち少なくとも一方の接続面に設けた凹部であることを特徴とする請求項７に記載の表示用パネル露光装置。
前記２つのテーブルうち一つのテーブルは、少なくともその一部が中空であって多角柱の構造を有していることを特徴とする請求項４または７に記載の表示用パネル露光装置。
前記多角柱は４角柱であることを特徴とする請求項１または９に記載の表示用パネル露光装置。
基板を複数のテーブル上で搬送し、搬送後の露光位置で前記基板表面にマスク板のパターンを焼付ける表示用パネル露光方法において、
前記複数のテーブルのうち接続面を有する２つのテーブルのうち一方のテーブルの前記接続面に設けた突起部を、他のテーブルの前記接続面に設けた凹部に挿入し、前記他のテーブルの上面から前記突起部を上下し、前記一方のテーブルの位置を上下調整するテーブル上下調整工程を有し、前記テーブル上下調整工程後に前記基板表面にマスク板のパターンを焼付けることを特徴とする表示用パネル露光方法。
前記テーブル上下調整工程と、前記他のテーブルの前記接続面に設けた凹部に隣接して、前記他のテーブルの前記接続面に設けた突起部を、前記一方のテーブルの前記接続面に突起部に隣接して、前記一方のテーブルの前記接続面に設けたけた凹部に挿入し、前記一方のテーブルの上面から前記突起部を上下し、前記一方のテーブルの位置を上下調整するテーブル上下調整工程を有することを特徴とする請求項１１に記載の表示用パネル露光方法。
基板を複数のテーブル上で搬送し、搬送後の露光位置で前記基板表面にマスク板のパターンを焼付ける表示用パネル露光方法において、
前記複数のテーブルのうち２つのテーブルの接続面に設けた空気溜め室における空気量を調節して前記２つのテーブルの位置合せする位置合せ工程を有し、前記位置合せ工程後に前記基板表面にマスク板のパターンを焼付けることを特徴とする表示用パネル露光方法。
前記空気溜め室は前記２つのテーブルのうち少なくとも一方の接続面に設けた凹部であることを特徴とする請求項１３に記載の表示用パネル露光方法。
基板を複数のテーブル上で搬送し、搬送後の露光位置で前記基板表面にマスク板のパターンを焼付ける露光装置の組立てまたは調整方法において、
前記複数のテーブルのうち接続面を有する２つのテーブルのうち一方のテーブルの前記接続面に設けた突起部を、他のテーブルの前記接続面に設けた凹部に挿入し、前記他のテーブルの上面から前記突起部を上下し、前記一方のテーブルの位置を上下調整するステージ上下調整工程を有することを特徴とする表示用パネル露光装置の組立てまたは調整方法。
さらに、前記複数のテーブルのうち２つのテーブルの接続面に設けた空気溜め室における空気量を調節する工程を有することを特徴とする請求項１５に記載の表示用パネル露光装置の組立てまたは調整方法。
前記空気量を調節する工程は前記接続面の締結力を緩和することなく行なうことを特徴とする請求項１６に記載の表示用パネル露光装置の組立てまたは調整方法。