KR20100038153A

KR20100038153A - 표시용 패널 노광 장치 및 노광 방법 및 표시용 패널 노광 장치의 조립 또는 조정 방법

Info

Publication number: KR20100038153A
Application number: KR1020090093651A
Authority: KR
Inventors: 노부유끼 마끼; 나루오 와따나베; 가쯔아끼 마쯔야마
Original assignee: 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈
Priority date: 2008-10-03
Filing date: 2009-10-01
Publication date: 2010-04-13
Also published as: KR101114730B1; TW201015246A; CN101713931A; CN101713931B; JP2010091628A

Abstract

본 발명은, 가공과 수송이 용이한 분할 상태의 스테이지로서, 스테이지의 조립에서의 접속 강도를 강하게 할 수 있는 노광 장치를 제공 및 용이하게 조립을 할 수 있거나, 혹은 조립 후에도 분할 상태로부터 조립한 부위를 용이하게 조정할 수 있는 노광 장치 또는 액정 노광 방법을 제공하는 것에 있다.

이를 해결하기 위해, 스테이지를 구성하는 복수의 테이블을 접속하는 중공이며 4각 기둥의 구조를 갖는 접속 테이블을 설치하고, 접속면에 돌기물을 형성하여 상대측의 테이블에 삽입하여 상기 돌기물의 위치를 테이블의 상면으로부터 조작한다. 또한, 상기 접속면에 설치한 공기 저류실에 있어서의 공기량을 조절한다.

가공, 수송, 스테이지, 돌기물, 접속면

Description

표시용 패널 노광 장치 및 노광 방법 및 표시용 패널 노광 장치의 조립 또는 조정 방법 {DISPLAY PANEL EXPOSURE DEVICE, EXPOSURE METHOD AND ASSEMBLING OR ADJUSTING METHOD OF DISPLAY PANEL EXPOSURE DEVICE}

본 발명은, 표시용 패널 등의 기판의 제조 장치에 관한 것으로, 특히 글래스 기판 상에 패턴을 형성하는 액정 노광 장치에 관한 것이다.

마스크와 기판 글래스를 1㎜ 이하로 근접시켜 평행광을 조사하여 마스크 패턴을 기판 글래스에 전사하는 프록시미티 방식의 노광 장치가, 액정을 비롯하여 표시용 패널 제조용으로 사용되고 있다. 이 노광 장치가 처리하는 기판 글래스는, 액정 패널의 생산성을 향상시키기 위해 노광 장치가 일순(一巡)의 노광으로 작성하는 액정 패널의 수가 많아지도록 대형화가 진행되고 있으며, 경우에 따라서는, 그 사이즈는 10m(길이)×5m(폭)×8m(높이), 무게는 스테이지만 해도 100톤이나 달한다. 노광 장치의 대형화에 있어서, 장치 조립 공장으로부터 액정 패널 제조 공장까지의 반송 시에 또는 제조 시에 그 중량이나 크기가 지장이 되지 않도록 노광 장치 또는 이것을 구성하는 스테이지 장치는 수 개로 분할된 부품으로 조립되도록 구성되어 있다.

다음 문헌에는, 노광 장치의 스테이지 장치의 분할 구성 및 그 접속 방법에 대하여 기술되어 있다. 특허 문헌1, 2에는 좌우의 반입 스테이지로부터 중앙의 노광 스테이지로 교대로 글래스 기판을 노광 스테이지로 반송하여, 노광하는 노광 장치가 개시되어 있다. 특허 문헌1은, 이동 레일이 분할되지 않도록 반입 스테이지와 중앙의 노광 스테이지로 이동하는 안내 스테이지가 일체로 되어, 좌우로 2분할되는 구성이 제안되어 있다. 특허 문헌2에는 좌우의 반입 스테이지와 노광 스테이지로 스테이지를 3분할하는 구성이 제안되어 있다.

<특허 문헌1> 일본 특허 출원 공개 제2005-189775호 공보

<특허 문헌2> 일본 특허 출원 공개 제2007-065588호 공보

그러나, 특허 문헌1은 좌우 교대로 노광함으로써 노광의 고능률화를 도모하는 것을 목적으로 하고 있으며, 전술한 대형 장치에 대한 분할의 인식은 없고, 또 2개의 테이블 접속에 있어서도, 2개의 테이블을 볼트로 스페이서를 통하여 접속하는 방법이 개시되어 있으나, 이동 레일이 분할되어 있지 않으므로 그 접속도 필요없는 것으로 되어 있다. 한편, 특허 문헌2는 대형 장치에 대한 분할의 인식은 있으나, 분할된 스테이지를 어떻게 접속할지에 관한 개시는 없다.

본 발명은, 종래 기술에 인식되어 있지 않은 이하에 기재하는 신규 과제에 대하여 이루어진 것이다. 즉, 종래 기술의 스테이지 장치는, 분할 상태의 스테이지 장치를 수송한 후, 장치 설치 장소에서 조립하여 사용하는 것이다. 이 조립에서의 접속 강도는 접속에 사용하는 나사의 강도와 나사가 발생시키는 축력에 의존한다. 액정 노광 장치에 사용하는 스테이지는, 그 사이즈와 필요한 강도로부터 주물로 제조하는 경우가 많기 때문에, 이들을 접속하는 나사의 시트면의 요철이나 그 기울기가 축력을 저하시키는 일이 있었다(제1 과제).

또한, 스테이지 장치가 대형이 되어, 이것을 지지하는 다리의 하중을 작게 하기 위해, 다수의 다리가 필요하게 되었다. 스테이지 장치는, 조립 후 수 년 내지 십년간 가동을 계속하지만, 그 동안 설치 장소의 지반 변동이 있어도 분할 상태로부터 조립한 부위의 조정을 행하는 것은, 스테이지 하면의 다수의 다리에 대하여 조정 작업을 하는 것이 곤란했었다(제2 과제).

또한, 스테이지 장치의 조립 부위에는 접속면을 상하로 어긋나게 하는 힘 외에, 구부리려고 하는 힘이 작용한다. 조정을 위해 스테이지를 조립한 부위의 나사를 완화시키거나 체결하거나 하면, 이 힘에 의해 각 부위가 자유롭게 변위되어버리는 경우가 있어, 조정이 곤란하였다(제3 과제).

따라서, 본 발명의 제1 목적은, 가공과 수송이 용이한 분할 상태의 스테이지로서, 스테이지의 조립에서의 접속 강도를 강하게 할 수 있는 액정 노광 장치를 제공하는 것에 있다.

본 발명의 제2 목적은, 용이하게 조립을 할 수 있거나, 혹은 조립 후에도 분할 상태로부터 조립한 부위를 용이하게 조정할 수 있는 액정 노광 장치 또는 액정 노광 방법 및 노광 장치의 조립 또는 조정 방법을 제공하는 것에 있다.

제1 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 기판을 반송하는 복수의 테이블과, 반송 후의 노광 위치에서 상기 기판 표면에 마스크판의 패턴을 베이킹하는 노광 장치에 있어서, 상기 복수의 테이블 중 적어도 하나의 테이블은 다각 기둥의 구조를 갖고, 적어도 그 일부가 중공이며, 다른 2개의 테이블과 접촉하는 접속면을 갖는 접속 테이블인 것을 제1 특징으로 한다.

또한, 제1 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 제1 특징 외에 추가로, 상기 접속면의 내측에 체결용의 나사 또는 너트용의 시트면과 당해 시트면과 대향하는 면에 적어도 시트면 직경보다도 큰 구멍을 갖는 것을 제2 특징으로 한다.

또한, 제1 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 제2 특징 외에 추가로, 상기 시 트면은 상기 구멍을 통과시킨 절삭 수단에 의해 가공한 것을 제3 특징으로 한다.

또한, 제2 목적을 달성하기 위해, 본 발명은, 상기 복수의 테이블 중 접속면을 갖는 2개의 테이블 중 한쪽 테이블의 상기 접속면에 형성된 돌기부를, 다른 쪽의 테이블의 상기 접속면에 형성된 오목부에 삽입하고, 상기 다른 테이블의 상면으로부터 상기 돌기부를 업다운시켜, 상기 한쪽의 테이블의 위치를 상하 조정하는 테이블 상하 조정 공정을 갖는 것을 제4 특징으로 한다.

또한, 제2 목적을 달성하기 위해, 본 발명은, 제4 특징 외에 추가로, 상기 테이블 상하 조정 공정과, 상기 다른 쪽의 테이블의 상기 접속면에 형성된 오목부에 인접하여 상기 다른 테이블의 상기 접속면에 형성된 돌기부를, 상기 한쪽의 테이블의 상기 접속면에 형성된 돌기부에 인접하여 상기 한쪽의 테이블의 상기 접속면에 형성된 오목부에 삽입하고, 상기 한쪽의 테이블의 상면으로부터 상기 돌기부를 업다운시켜 상기 한쪽의 테이블의 위치를 상하 조정하는 테이블 상하 조정 공정을 갖는 것을 제5 특징으로 한다.

또한, 제2 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 상기 복수의 테이블 중 2개의 테이블의 접속면에 설치한 공기 저류실에 있어서의 공기량을 조절하는 것을 제6 특징으로 한다.

본 발명에 따르면, 가공과 수송이 용이한 분할 상태의 스테이지로서, 스테이지의 조립에서의 접속 강도를 강하게 할 수 있는 액정 노광 장치를 제공할 수 있다.

또한, 본 발명에 따르면, 용이하게 조립할 수 있거나, 혹은 조립 후에도 분할 상태로부터 조립한 부위를 용이하게 조정할 수 있는 액정 노광 장치 또는 액정 노광 방법 및 노광 장치의 조립 또는 조정 방법을 제공할 수 있다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명을 실시하기 위한 최선의 형태에 있어서 설명한다.

도 1은 본 발명에 따른 액정 노광 장치의 일 실시예를 도시하는 사시도이다. 스테이지(1)는 테이블(10)과 접속 테이블(11), 테이블(12)로 구성하고 있다. 스테이지(1)의 상면에는 X축 레일(20)이 6개 설치되고, 상기 스테이지(1) 상면에 있는 오목부의 측부에 리니어 모터의 고정자(30)가 대향하여 설치되어 있다. X축 레일(20) 위에는 X축 방향으로 이동하는 X축 가동 스테이지(40)가 설치되어 있으며, 표시하지 않은 리니어 모터 가동자에 의해 X축 레일(20) 위를 이동한다.

X축 가동 스테이지 상면에는 Y축 레일(21)이 2개 설치되어 있다. X축 가동 스테이지(40)에는, 상기 스테이지(1)와 마찬가지로, 그 상면에 있는 오목부의 측부에 리니어 모터의 고정자(31)가 대향하여 설치되어 있다. Y축 레일(21) 위에는 Y축 가동 스테이지(41)가 설치되어 있으며, 표시하지 않은 리니어 모터 가동자에 의해 Y축 레일(21) 위를 이동한다. Y축 가동 스테이지(41) 위에는 적재대(50)가 설치되어 있고, 기판 글래스를 이 상면에 적재하여 X축 레일(20)과 Y축 레일(21)을 따라 스테이지(1) 상의 노광 위치에 위치 결정한다.

스테이지(1)를 구성하는 테이블의 개수는 스테이지(1)의 규모에 기초하고, 고정자(30, 31)의 설치수는 가동 스테이지의 동작 목적에 맞추며, X축 레일(20), Y축 레일(21)의 설치수는 레일에 가해지는 하중을 고려하여 상기 설명에 한정되지 않고, 증감시키는 것은 가능하다.

도 2는, 도 1의 장치에 있어서, 테이블(10, 12)과 접속 테이블(11)로 스테이지(1)를 구성하고 있는 모습을 도시한 것으로, 설명을 위해 테이블(10)을 분리한 상태이다. 접속 테이블(11)과 테이블(12)은 접속 테이블(11)의 내측의 공간(70) 내에서 복수의 체결 나사(60)를 사용하여 체결된다. 도 2의 분출도에 도시된 바와 같이 체결 나사(60)의 네크 하부(under neck)(60a)는, 도 3에서 후술하는 스폿 페이싱한 나사 시트면(61) 위에 있으므로, 주물의 맨표면에 비교하여 시트면의 가라앉음이 없어 체결 나사(60)가 느슨해지는 일은 없다. 또한, 나사 시트면(61)이 나사 네크 하부(60a)면에 평행해지도록 형성되어 있기 때문에 체결 나사(60)의 축력이 저하되는 일 없이 체결할 수 있다. 또한, 본 실시예에서는, 방진 대책으로서 와셔를 사용하지 않고 체결하고 있으나 그것으로도 충분한 체결력을 가질 수 있다.

도 3은 접속 테이블(11)에 있어서, 공간(70) 내에 나사 시트면(61)을 가공하는 방법을 도시한 것이다. 전술한 바와 같이, 나사의 시트면에 요철이나 기울기가 있으면 축력을 저하시키는 경우가 있어, 편평하면서 경사가 없는 시트면으로 할 필요가 있다. 현재 요구되고 있는 액정 노광 장치에 사용하는 스테이지의 사이즈와 필요한 강도로부터, 면 가공기 헤드 자체의 크기도 1m 가까이에 달하여 설령 사람이 들어갈 수 있는 스페이스가 있었다고 해도 접속 테이블(11)의 공간(70)에서 시트면 형성을 작업할 수는 없다.

따라서, 본 실시예에서는, 접속 테이블(11)의 접속면(15) 위(도 2도 참조)에 나사 시트면(61)에 대응하는 가공용 구멍(62)을 형성하고, 상기 면 가공기의 헤드에 탑재된 가공 드릴(14)을 삽입하여 나사 시트면(61)을 가공한다.

즉, 접속 테이블(11)을 면 가공기 베드(13) 위에 탑재하고, 접속 테이블(11)의 접속면(15) 위에 가공용 구멍(62)을 형성하고, 그 가공용 구멍(62)은 가공하는 나사 시트면(61)에 대향하는 위치에 형성되고, 그 직경은 가공 드릴(14)이 접속 테이블(11)의 접속면(15)을 빠져 나갈 수 있는 크기로 한다. 이 가공용 구멍(62)을 도 3에 도시된 바와 같이 접속면(15) 위에 좌우로(도 2의 접속 시에는 상하로 된다) 또한 열 형상으로 형성한다. 따라서, 가공 드릴(14)을 가공용 구멍(62)에 통과시켜 접속 테이블(11)의 공간(70) 내의 내면(16)에 나사 시트면(61)을 가공한다. 이 나사 시트면 가공을 도 3에 도시된 바와 같이 접속면(15) 위에 형성된 모든 가공용 구멍(62)에 대하여 행한다. 그 결과, 나사 시트면(61)은 상기 가공용 구멍(62)의 열에 대응한 상기 내면(16)에 열 형상으로 형성된다.

도 1에 도시된 바와 같이, 접속 테이블(11)의 양측면에 다른 테이블을 접속하는 경우는 다른 접속면(15)도 마찬가지로 시트면을 가공한다. 본 실시예에서는, 이 경우 나사 시트면(61)과 가공용 구멍(62)이 접속 테이블(11)의 공간(70) 내의 내면(16)에 교대로 한 쌍으로 되어 일렬로 배치되도록 가공한다.

도 4는 종래의 접속 방법을 도시한 것이다. 종래에는 한 쪽의 테이블(17)에 작업 구멍(64)을 형성하여, 그 부분과 단부에서 체결 나사(60)로 접속하고 있었다. 이러한 종래 접속에서는, 테이블(17)의 강도를 확보하기 위해서는 체결 나사(60)를 조이기 위한 작업 구멍(64)을 크게 할 수 없다. 그 결과, 테이블(17)에 본 실시예와 같은 가공용 구멍을 형성할 수 없어, 시트면을 편평하면서 경사없이 가공할 수 없다. 또한, 작업 구멍(64)에 의한 작업 스페이스가 불충분하여 작업 구멍(64)의 저면의 나사(도시하지 않음)의 나사 체결 작업이 곤란하였다.

한편, 본 실시예에 따르면 우선 가공용 구멍을 형성함으로써 시트면을 편평하면서 경사없이 가공할 수 있으므로, 작은 나사로 필요한 접속 강도를 확보할 수 있다. 또한, 나사 체결 개수를 많게 할 수 있으므로, 접속 강도가 높아진다. 또한, 설령 진동이 발생해도 나사 사이에서 결정되는 공명 진동수를 진동 에너지가 작은 고주파로 할 수 있다. 이들 결과, 상기 접속 테이블(11)을 사용하여 테이블(10)과 테이블(12)을 접속할 경우, 내진성이 높고 X축 가동 스테이지가 스테이지(1) 위를 이동할 때에 그 변형이 작으므로, 적재대(50) 위에 탑재하는 기판 글래스의 위치 결정을 정확하게 할 수 있어, 억지로라도 정밀도가 높은 노광 장치를 제공할 수 있다.

또한, 본 실시예에 따르면 노광 장치의 규모에 따라서는 접속 테이블(11)의 공간(70) 내에 들어가 행할 수 있어 나사 체결 작업은 용이하므로 스테이지(1)의 제작에 있어서 작업성이 높은 방법을 제공할 수 있다.

또한, 상기 실시예에서는 접속 테이블(11)의 공간(70)을 1개 설치했으나, 접속 테이블(11), 접속 테이블(11)의 좌우로 공간(70)을 2개 설치하도록 접속 테이블(11) 중앙에 격벽을 설치하면, 접속 테이블(11)의 굽힘 강성을 더욱 향상시킬 수 있다. 그 결과, 더욱 정밀도가 높은 노광 장치를 제공할 수 있다.

상기한 실시예에서는 체결을 나사로 행했지만 마찬가지의 기능을 갖는 너트 등으로 행해도 좋다.

도 5는 본 발명에 따른 액정 노광 장치의 다른 실시예를 도시하는 사시도이다. 본 실시예는, 테이블(10과 12)과 접속 테이블(11)의 테이블 사이에서 위치 정렬을 하여 단차를 없애어, 이 X축 레일(20)의 구부러짐을 작게 하기 위한 구성과 방법에 관한 것이다.

도 5에 도시된 바와 같이 스테이지(1)는 테이블(10), 접속 테이블(11) 및 테이블(12)의 3개의 테이블로 구성되어 있다. 이 3개의 테이블(10, 11, 12)은, 다리(111 내지 118) 등(이외에 도시하지 않은 다리도 있음)으로 지지되어 있다. 테이블(10과 12)은 접속 테이블(11)을 개재하여 앞선 실시예에서 기재한 바와 같이 복수의 체결 나사(60)로 체결되어 있다. 도 1에서 도시된 스테이지(1) 위에 설치되는 X축 가동 스테이지 등은 설명을 이해하기 쉽게 하기 위하여 도시하지 않는다.

테이블(10)과 접속 테이블(11), 접속 테이블(11)과 테이블(12)은 그 상면에 X축 레일(20)을 설치하기 때문에 이 테이블 접속 단부면에 단차가 있으면, X축 레일(20)이 이 단차를 따르듯이 구부러진다. X축 가동 테이블(40)이 X축 레일(20)이 굽은 부분에 위치한 경우, X축 가동 테이블(40)이 X축 레일(20)의 구부러짐에 맞추어 변위되기 때문에 적재대(50) 위에 탑재하는 기판 글래스의 위치 결정에 오차가 발생하는 경우가 있었다.

종래는 테이블(10)과 접속 테이블(11), 접속 테이블(11)과 테이블(12)의 접속 단부면의 단차는, 다리(111 내지 118)의 높이 조정 기구를 이용하여 맞추었다. 그러나, 이 방법으로는 조정하려는 단부면만을 움직이는 것은 어려워, 어느 한 다리로 테이블 사이의 단차를 조정하면 접속되어 있는 테이블이 함께 움직이거나 하였다. 특히, 테이블 단부면을 내릴 때는 다리의 높이를 낮게 해도 테이블의 접속면에서의 마찰력이 크기 때문에 내려가지 않는 일이 있어, 테이블을 접속하는 나사를 대폭 완화시킬 필요가 있었다. 테이블을 접속하는 나사를 대폭 완화시키면, 테이블 사이에 간극이 생기는 일이 있어, 단차를 조정 후, 테이블을 접속하는 나사를 체결하면 테이블의 자세가 변화되거나 하였다.

본 실시예는 이들을 해결하는 본 발명의 다른 일 실시예로서, 도 5 내지 도 7을 사용하여 설명한다.

도 5에 도시된 바와 같이 테이블(10)과 접속 테이블(11)의 상면에는 양 테이블 사이에서의 높이 방향의 위치 정렬(이하 단순히 위치 정렬이라고 한다)을 하기 위한 위치 정렬 나사(81, 82 및 85, 86)가 설치되어 있다. 마찬가지로 접속 테이블(11)과 테이블(12)의 상면에는 위치 정렬 나사(83, 84 및 87, 88)가 설치되어 있다.

도 6은, 도 5에 있어서의 스테이지(1)에서의 테이블(10)과 접속 테이블(11) 또는 접속 테이블(11)과 테이블(12) 사이에서 위치 정렬을 하기 위한 구성을 설명하기 위한 도면으로서, 체결 나사(60)(도시하지 않은)에 의한 체결을 푼 상태를 도시한 것이다.

본 실시예에 있어서의 테이블(10)과 접속 테이블(11)의 위치 정렬은, 양 테이블(10, 11)의 접속면에 형성된 위치 정렬 돌기(91, 92)를 각각 위치 정렬 돌 기(91, 92)에 대향하는 테이블의 접속면에 형성된 위치 정렬 구멍(93, 94)에 삽입하고, 테이블(10)과 접속 테이블(11)의 상면으로부터 위치 정렬 나사(85, 86)를 위치 정렬 돌기(91, 92)에 형성된 위치 정렬 나사 구멍(101, 102)에 삽입하여 나사 고정하는 기구를, 접속면의 양단부측에 설치함으로써 행하여진다.

전술에 있어서, 위치 정렬 구멍(93)은 위치 정렬 돌기(91)보다도 한층 크게 만들어져, 위치 정렬 돌기(91)는 위치 정렬 구멍(93) 안에서 자유롭게 움직일 수 있고, 즉 테이블(10)은 접속 테이블(11)에 대하여 위치 정렬을 위해 이동시킬 수 있다. 마찬가지로, 위치 정렬 구멍(94)은 위치 정렬 돌기(92)보다도 한층 크게 만들어져, 위치 정렬 돌기(92)는 위치 정렬 구멍(94) 안에서 자유롭게 움직일 수 있고, 즉 접속 테이블(11)은 테이블(10)에 대하여 위치 정렬을 위해 이동시킬 수 있다.

도 7은 상기한 기구로 테이블(10)과 접속 테이블(11), 또는 접속 테이블(11)과 테이블(12)의 위치를 정렬하는 방법을 설명하기 위해 위치 정렬 나사(85, 86)를 포함하는 단면도를 도시한 것이다.

전술한 바와 같이, 테이블(10)의 상면에는 위치 정렬 나사(85)가 설치되고, 그 선단 나사부는 접속 테이블(11)의 돌기(92) 선단의 위치 정렬 나사 구멍(102)에 접속되어 있고, 마찬가지로 접속 테이블(11)의 상면에는 위치 정렬 나사(86)가 설치되어, 그 선단 나사부는 테이블(10)의 위치 정렬 돌기(91) 선단의 위치 정렬 나사 구멍(101)에 접속되어 있다.

테이블(10)과 접속 테이블(11)의 상면의 위치 정렬에 있어서, 예를 들어 테 이블(10) 상면의 위치 정렬 나사(85)를 체결하면 접속 테이블(11)의 위치 정렬 돌기(92)가 테이블(10)에 끌어당겨지기 때문에 테이블(10)에 대하여 접속 테이블(11)의 상면이 조금씩 올라간다. 접속 테이블(11) 상면의 위치 정렬 나사(86)을 체결하면, 테이블(10)의 위치 정렬 돌기(91)가 접속 테이블(11)에 끌어당겨지기 때문에 접속 테이블(11)에 대하여 테이블(10)의 상면이 조금씩 올라간다. 따라서, 접속면의 반대측에 설치한 위치 정렬 나사(81, 82)를 합한 4개의 위치 정렬 나사(85, 86, 81 및 82)를 협조하여 조절함으로써 테이블(10과 11)의 상면의 위치 정렬을 함으로써, 양 테이블의 상면의 단차를 없앨 수 있다. 체결 나사에 의한 체결 후는 충분한 체결력이 유지되고 있으므로, 양 테이블의 상면의 단차를 없앤다고 하는 의미에서 스테이지 아래의 각 다리(111이나 112) 등의 높이를 조절할 필요는 없고, 각 다리에 가중을 균등하게 한다든가, 떠 있는 다리를 조절하는 정도이면 된다.

다음에, 마찬가지로 접속 테이블(11)과 테이블(12)의 상면의 위치 정렬을 행함으로써, 3개의 테이블(10, 11, 12)의 위치 정렬을 완료시킬 수 있다.

상기에 있어서 일단, 체결 나사(60) 등으로 양 테이블을 고정하면, 양 테이블은 움직이지 않는 것은 명백하며, 조정 후는 양 나사를 체결해 둠으로써 테이블이 부주의하게 이동하는 것을 방지할 수 있다.

본 실시예에 따르면, 테이블(10과 11)의 상면의 위치 정렬은, 나사(85 또는 86)를 체결하는 것뿐이며, 스테이지 아래의 다리(111이나 112) 등은 마지막에 간단하게 조절하기만 하면 된다. 특히, 테이블의 사이즈가 커져, 테이블 중앙부 하면의 다리를 조작하는 것만으로, 양 테이블 사이의 상면의 위치 정렬은 곤란하기 때 문에, 본 방법에 따른 조정이 유용하다.

또한, 조정하는 테이블(10과 11)의 사이에만 조정력이 발생하기 때문에, 목적 이외의 테이블이 부주의하게 이동되는 일은 없어, 조정 작업이 용이해진다.

특히, 테이블 사이즈가 커져도 테이블 사이의 위치 정렬은, 테이블 상면에 있어서, 종래 테이블 자중에 의한 하향 방향의 힘에 의지하고 있던 한쪽의 테이블 표면을 내리는 작업이, 이 조정 기구가 설치되어 있는 나사를 조작하기만 해도 되며, 또한 조정 후의 고정은 모든 나사를 체결하기만 해도 되므로, 조정 작업을 용이하게 할 수 있다.

도 5 내지 도 7에 도시된 실시예에서는, 테이블에 돌기와, 대향하는 돌기를 넣는 구멍을 형성했으나, 테이블의 돌기를 테이블 측면에 형성해도 마찬가지의 효과를 얻을 수 있는 것은 명백하다. 또한, 스테이지를 구성하는 테이블의 개수는, 본 실시예에서는 3개였으나, 이것에 한하지 않고, 보다 많이 접속하는 것도 가능하다.

상기 실시예에서는, 나사로 돌기를 조작했으나, 나사에 한하지 않고 테이블 상면으로부터 조작할 수 있는 방법이면 다른 방법을 사용해도 된다.

도 8은 본 발명에 따른 액정 노광 장치의 다른 일 실시예를 도시하는 사시도이다. 본 실시예는, 상기 테이블(10, 12)과 접속 테이블(11)의 위치 정렬을 더욱 용이하게 하는 것으로, 위치 정렬 조절 시는 접속면의 마찰을 작게 하고 위치 정렬 조절 후는 마찰을 크게 하여 테이블을 확실하게 고정하는 구성과 방법에 관한 것이다.

도 8에 있어서, 설명의 편의상, 테이블(10과 11)은 체결 나사(60)에 의한 체결을 푼 상태를 도시한 것이다. 접속 테이블(11)의 접속면(15)에는, 마찰 조정 오목부(120)를 적어도 1개 이상 형성하고, 접속 테이블(11)이 테이블(10)과 접속했을 때에, 오목부(120)와 외부를 연결하는 공기를 통과시킬 수 있는 공기 구멍(121)을 형성하고 있다. 공기 구멍(121)은, 파이프를 사용하여 고압 공기를 통과시킬 수 있는 접속부(122)에 접속한다.

테이블(10)과 접속 테이블(11)을 접속한 후, 양 테이블의 상면의 위치 정렬을 할 때에는 접속부(122)를 통하여 고압 공기를 주입한다. 예를 들어, 4Okgf 매 평방 센티미터의 고압 공기를 마찰 조정 오목부(120)의 면적 3000평방 센티미터로 주입하면, 오목부 전체에서는 120000kgf의 힘으로 테이블(1O)과 접속 테이블(11)의 접속면을 넓히려고 하는 힘이 발생한다. 이 힘에 의해, 상기 접속면에 대한 체결 나사(60)에 의한 체결력이 감소하게 된다. 접속면에는 마찰이 있어, 체결력이 감소되면 접속면내 방향으로 테이블을 이동하는 힘이 감소되기 때문에 위치 정렬 나사(85, 86) 등에 의한 테이블 상면의 위치 정렬 작업이 용이해진다.

테이블(10)과 접속 테이블(11) 또는 접속 테이블(11)과 테이블(12)의 접속은, 스테이지(1)의 사용 시에 이 접속부에서의 변형을 작게 하기 위하여 체결 나사(60)를 많이 사용하기 때문에 테이블 상면의 위치 정렬 작업 시에는 이 체결 나사(60)를 완화시키는 작업부터 시작한다. 이 체결 나사(60)의 완화 상태가 문제가 된다. 그 이유는, 이 작업에 있어서, 나사(60)를 완전히 완화시키면 테이블 사이의 마찰력은 없어져 테이블 상면의 위치 정렬 작업은 용이해지지만, 테이블에 굽힘 모멘트력이 작용하고 있으면, 접속면 사이에서 V자형으로 간극이 생기는 일이 있다. 테이블 상면의 위치 정렬 완료 후, 다시 나사(60)를 체결하면, 이 간극은 없어지지만 테이블은 기울듯이 움직여 접속되기 때문에 테이블의 접속면 이외의 부분에서 변위되어버린다.

따라서, 본 실시예를 적용하면, 체결 나사(60)를 완전히 완화시키는 일 없이, 축력을 남긴 채로 테이블 상면의 위치 정렬 작업을 하여 테이블의 기울기를 적게 할 수 있으므로, 테이블 상면의 위치 정렬 완료 후, 다시 체결 나사(60)를 체결해도 전술한 바와 같이 테이블이 기울듯이 움직이는 일은 없어 작업을 용이하게 행할 수 있다.

또한, 마찰 조정 오목부(120)의 용적은 작을수록 여기에 주입되는 공기량이 적어도 된다. 마찰 조정 오목부(120) 안에 마찰 조정 오목부(120)의 깊이보다도 얇은 판을 넣어 용적을 작게 하면, 펌프의 부하가 감소되어 소형의 펌프를 사용할 수 있어, 현장에서의 작업성을 높일 수 있다는 효과가 있다. 또한, 마찰 조정 오목부(120)를 둘러싸듯이 O링을 설치하여 마찰 조정 오목부(120)로부터의 공기의 누출을 적게 해도 마찬가지의 효과를 얻을 수 있다.

또한, 마찰 조정 오목부(120)에는, 고압 공기를 주입하는 것과는 반대로, 마찰 조정 오목부(120) 내의 공기를 빼내어 부압을 발생시킴으로써 체결 나사(60)의 체결력 외에 부압력에 의한 테이블 접속의 강도를 보다 높일 수 있다. 특히, 테이블 상면의 위치 정렬 완료 후, 바로 부압으로 절환함으로써 나사 체결이 완료될 때까지의 시간에 테이블 위치 정렬이 변화되어버리는 것을 방지할 수 있다.

또한, 마찰 조정 오목부(120)에 외부로부터 공기가 유입되지 않도록 O링으로 이것을 둘러싸고, 접속부(122)에 밸브를 설치하면, 테이블 상면의 위치 정렬 완료 후, 한번 공기를 빼냄으로써 노광 장치로서 스테이지 사용 중에도 효과를 지속하는 것이 용이하게 가능해진다.

본 실시예에서는 접속 테이블(11)을 사용하고 있으나, 도 4에 도시된 종래예와 같이 직접 테이블(10, 12)을 접속할 경우에, 접속면에서 적어도 어느 한쪽의 테이블에 마찰 조정 오목부를 형성하여 본 실시예를 적용해도 본 실시예의 효과가 얻어진다.

본 발명은, 액정 기판에 상관없이 대형의 얇은 기판을 표시용 패널에도 적용 가능하다.

도 1은 본 발명에 따른 액정 노광 장치의 일 실시예를 도시하는 사시도.

도 2는 본 발명에 따른 액정 노광 장치의 일 실시예를 도시하는 사시도.

도 3은 본 발명에 따른 액정 노광 장치의 가공 방법을 도시하는 사시도.

도 4는 종래의 스테이지의 접속 방법을 도시하는 사시도.

도 5는 본 발명에 따른 액정 노광 장치의 다른 일 실시예를 도시하는 사시도.

도 6은 본 발명에 따른 액정 노광 장치의 다른 일 실시예를 도시하는 사시도.

도 7은 본 발명에 따른 액정 노광 장치의 다른 일 실시예를 도시하는 단면도.

도 8은 본 발명에 따른 액정 노광 장치의 다른 일 실시예를 도시하는 사시도.

<부호의 설명>

1 : 스테이지

11 : 접속 테이블

14 : 가공 드릴

16 : 접속 테이블의 공간 내의 내면

21 : Y축 레일

40 : X축 가동 스테이지

50 : 적재대

61 : 나사 시트면

70 : 접속 테이블의 내측의 공간

91, 92 : 위치 정렬 돌기

101, 102 : 위치 정렬 나사 구멍

120 : 마찰 조정 오목부

122 : 접속부

10, 12 : 테이블

13 : 면 가공기 베드

15 : 접속 테이블의 접속면

20 : X축 레일

30, 31 : 리니어 모터 고정자

41 : Y축 가동 스테이지

60 : 체결 나사

62 : 가공용 구멍

81 내지 88 : 위치 정렬 나사

93, 94 : 위치 정렬 구멍

111 내지 118 : 다리

121 : 공기 구멍

Claims

기판을 반송하는 복수의 테이블과, 반송 후의 노광 위치에서 상기 기판 표면에 마스크판의 패턴을 베이킹하는 표시용 패널 노광 장치에 있어서,

상기 복수의 테이블 중 적어도 하나의 테이블은 다각 기둥의 구조를 갖고, 적어도 그 일부가 중공이며, 다른 2개의 테이블과 접촉하는 접속면을 갖는 접속 테이블인 것을 특징으로 하는, 표시용 패널 노광 장치.
제1항에 있어서, 상기 접속면의 내측에 체결용의 나사 또는 너트용의 시트면과 당해 시트면과 대향하는 면에 적어도 시트면 직경보다도 큰 구멍을 갖는 것을 특징으로 하는, 표시용 패널 노광 장치.
제2항에 있어서, 상기 시트면은 상기 구멍을 통과시킨 절삭 수단에 의해 가공한 것을 특징으로 하는, 표시용 패널 노광 장치.
기판을 반송하는 복수의 테이블과, 반송 후의 노광 위치에서 상기 기판 표면에 마스크판의 패턴을 베이킹하는 표시용 패널 노광 장치에 있어서,

상기 복수의 테이블 중 접속면을 갖는 2개의 테이블로서, 한 쪽의 테이블의 상기 접속면에 형성된 돌기부와, 다른 쪽의 테이블의 상기 접속면에 형성된 상기 돌기물을 삽입 가능한 오목부와, 상기 다른 쪽의 테이블의 상면으로부터 상기 돌기 물을 업다운시키는 돌기물 업다운 수단을 구비하는 테이블 상하 조정 기구를 갖는 것을 특징으로 하는, 표시용 패널 노광 장치.
제4항에 있어서, 상기 테이블 상하 조정 기구와, 상기 테이블 상하 조정 기구에 인접하여 상기 다른 쪽의 테이블의 상기 접속면에 형성된 돌기부와, 상기 한쪽의 테이블의 상기 접속면에 형성된 당해 돌기물을 삽입 가능한 오목부와, 상기 한쪽의 테이블의 상면으로부터 상기 돌기부를 업다운시키는 돌기물 업다운 수단을 구비하는 다른 테이블 상하 조정 기구를 구비하는 한 쌍의 테이블 상하 조정 기구를 갖는 것을 특징으로 하는, 표시용 패널 노광 장치.
제4항 또는 제5항에 있어서, 상기 돌기물 업다운 수단은, 시트면을 상기 오목부를 갖는 테이블의 상면에 갖고, 타단부를 상기 돌기부에 결합하는 나사를 갖는 것을 특징으로 하는, 표시용 패널 노광 장치.
기판을 반송하는 복수의 테이블과, 반송 후의 노광 위치에서 상기 기판 표면에 마스크판의 패턴을 베이킹하는 표시용 패널 노광 장치에 있어서,

상기 복수의 테이블 중 2개의 테이블의 접속면에 설치한 공기 저류실과, 상기 공기 저류실의 공기량을 조절하는 수단을 갖는 것을 특징으로 하는, 표시용 패널 노광 장치.
제7항에 있어서, 상기 공기 저류실은 상기 2개의 테이블 중 적어도 한쪽의 접속면에 형성된 오목부인 것을 특징으로 하는, 표시용 패널 노광 장치.
제4항에 있어서, 상기 2개의 테이블 중 하나의 테이블은, 적어도 그 일부가 중공이며 다각 기둥의 구조를 갖고 있는 것을 특징으로 하는, 표시용 패널 노광 장치.
제7항에 있어서, 상기 2개의 테이블 중 하나의 테이블은 적어도 그 일부가 중공이며 다각 기둥의 구조를 갖고 있는 것을 특징으로 하는, 표시용 패널 노광 장치.
제1항 또는 제9항 또는 제10항에 있어서, 상기 다각 기둥은 4각 기둥인 것을 특징으로 하는, 표시용 패널 노광 장치.
기판을 복수의 테이블 상에서 반송하고, 반송 후의 노광 위치에서 상기 기판 표면에 마스크판의 패턴을 베이킹하는 표시용 패널 노광 방법에 있어서,

상기 복수의 테이블 중 접속면을 갖는 2개의 테이블 중 한쪽의 테이블의 상기 접속면에 형성된 돌기부를, 다른 쪽의 테이블의 상기 접속면에 형성된 오목부에 삽입하고, 상기 다른 쪽의 테이블의 상면으로부터 상기 돌기부를 업다운시켜, 상기 한쪽의 테이블의 위치를 상하 조정하는 테이블 상하 조정 공정을 갖고, 상기 테이 블 상하 조정 공정 후에 상기 기판 표면에 마스크판의 패턴을 베이킹하는 것을 특징으로 하는, 표시용 패널 노광 방법.
제12항에 있어서, 상기 테이블 상하 조정 공정과, 상기 다른 쪽의 테이블의 상기 접속면에 형성된 오목부에 인접하여 상기 다른 테이블의 상기 접속면에 형성된 돌기부를, 상기 한쪽의 테이블의 상기 접속면에 돌기부에 인접하여 상기 한쪽의 테이블의 상기 접속면에 형성된 오목부에 삽입하고, 상기 한쪽의 테이블의 상면으로부터 상기 돌기부를 업다운시켜 상기 한쪽의 테이블의 위치를 상하 조정하는 테이블 상하 조정 공정을 갖는 것을 특징으로 하는, 표시용 패널 노광 방법.
기판을 복수의 테이블 상에서 반송하고, 반송 후의 노광 위치에서 상기 기판 표면에 마스크판의 패턴을 베이킹하는 표시용 패널 노광 방법에 있어서,

상기 복수의 테이블 중 2개의 테이블의 접속면에 설치한 공기 저류실에 있어서의 공기량을 조절하여 상기 2개의 테이블의 위치 정렬을 행하는 위치 정렬 공정을 갖고, 상기 위치 정렬 공정 후에 상기 기판 표면에 마스크판의 패턴을 베이킹하는 것을 특징으로 하는, 표시용 패널 노광 방법.
제14항에 있어서, 상기 공기 저류실은 상기 2개의 테이블 중 적어도 한쪽의 접속면에 형성된 오목부인 것을 특징으로 하는, 표시용 패널 노광 방법.
기판을 복수의 테이블 상에서 반송하고, 반송 후의 노광 위치에서 상기 기판 표면에 마스크판의 패턴을 베이킹하는 노광 장치의 조립 또는 조정 방법에 있어서,

상기 복수의 테이블 중 접속면을 갖는 2개의 테이블 중 한쪽의 테이블의 상기 접속면에 형성된 돌기부를, 다른 쪽의 테이블의 상기 접속면에 형성된 오목부에 삽입하고, 상기 다른 쪽의 테이블의 상면으로부터 상기 돌기부를 업다운시켜, 상기 한쪽의 테이블의 위치를 상하 조정하는 스테이지 상하 조정 공정을 갖는 것을 특징으로 하는, 표시용 패널 노광 장치의 조립 또는 조정 방법.
제16항에 있어서, 상기 복수의 테이블 중 2개의 테이블의 접속면에 설치한 공기 저류실에 있어서의 공기량을 조절하는 공정을 더 갖는 것을 특징으로 하는, 표시용 패널 노광 장치의 조립 또는 조정 방법.
제17항에 있어서, 상기 공기량을 조절하는 공정은 상기 접속면의 체결력을 완화시키는 일 없이 행하는 것을 특징으로 하는, 표시용 패널 노광 장치의 조립 또는 조정 방법.