TW202304276A - 用於增進數位微影蝕刻精確度的橋接器加固構件 - Google Patents

用於增進數位微影蝕刻精確度的橋接器加固構件 Download PDF

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Abstract

橋接器加固構件組件包括第一加固構件板和第二加固構件板，以及用於將第一加固構件板和第二加固構件板固定至數位微影蝕刻系統的橋接器結構的夾板。夾板包括安置在第一加固構件板的第一端上的第一對夾板、安置在第一加固構件板的第二端和第二加固構件板的第一端上的第二對夾板，以及安置在第二加固構件板的第二端上的第三對夾板。橋接器加固構件組件進一步包括加強梁，該等加強梁包括安置在第一對夾板上的第一加強梁、安置在第二對夾板上的第二加強梁，及安置在第三對夾板上的第三加強梁。

Description

用於增進數位微影蝕刻精確度的橋接器加固構件
本說明書通常係關於電子裝置製造。更特定言之，本說明書係關於用於增進數位微影蝕刻精確度的橋接器加固構件。
微影蝕刻係用於製造半導體裝置及顯示裝置，諸如平板顯示器裝置。平板顯示器裝置的實例包括薄膜顯示器裝置，諸如例如，液晶顯示器(liquid crystal display; LCD)裝置及有機發光二極體(organic light emitting diode; OLED)顯示器裝置。大面積基板可用以製造平板顯示器裝置，該等平板顯示器裝置用於電腦、觸控面板裝置、個人數位助理(personal digital assistant; PDA)、手機、電視監視器等。
下文為本案之簡化說明以提供本案某些態樣的基本理解。此說明並非對本案之廣泛概述。此說明既不意欲識別本案之關鍵或臨界元素，亦不意欲描繪本案的特定實施的任何範圍或申請專利範圍的任何範圍。其唯一目的係以簡化形式呈現本案之一些概念，作為稍後呈現的更詳細描述的序言。
根據一實施例，提供了一種橋接器加固構件組件。橋接器加固構件組件包括第一加固構件板和第二加固構件板、用於將第一加固構件板和第二加固構件板固定至數位微影蝕刻系統的橋接器結構的複數個夾板。複數個夾板可包括安置在第一加固構件板的第一端上的第一對夾板、安置在第一加固構件板的第二端和第二加固構件板的第一端上的第二對夾板，以及安置在第二加固構件板的第二端上的第三對夾板。橋接器加固構件組件進一步包括複數個加強梁，該複數個加強梁包含安置在第一對夾板上的第一加強梁、安置在第二對夾板上的第二加強梁，及安置在第三對夾板上的第三加強梁。
根據另一實施例，提供了一種數位微影蝕刻系統。該數位微影蝕刻系統包括曝光單元區域、包含各自安置在底座上的第一橋接器、第二橋接器和第三橋接器的橋接器結構、固定至橋接器結構的第一橋接器加固構件組件，以及固定至橋接器結構的第二橋接器加固構件組件。第一橋接器加固構件組件包括安置在橋接器結構的一端與曝光單元區域的第一端之間的第一加固構件板和第二加固構件板，第二橋接器加固構件組件包括第三加固構件板和第四加固構件板，每一加固構件板均與曝光單元區域的第二端相鄰。
根據又一實施例，提供了一種方法。該方法包括將第一組加固構件板和第二組加固構件板置放在數位微影蝕刻系統內的橋接器結構上，以及由第一組加固構件板形成第一橋接器加固構件組件且由第二組加固構件板形成第二橋接器加固構件組件。橋接器結構包括第一橋接器、第二橋接器和第三橋接器，第一組加固構件板包括置放在第一橋接器和第二橋接器上的第一加固構件板及置放在第二橋接器和第三橋接器上的第二加固構件板，並且第二組加固構件板包括置放在第一橋接器和第二橋接器上的第三加固構件板及置放在第二橋接器和第三橋接器上的第四加固構件板。
數位微影蝕刻可用以在無需遮罩的情況下（例如，無遮罩微影蝕刻）產生數位對準的蝕刻遮罩至基板表面上。在數位微影蝕刻期間，在控制系統的控制下，液滴源（例如，噴墨源）可用以形成液體遮罩至基板表面上。說明性地，數位微影蝕刻可用於在電子裝置製造期間執行大面積圖案化。
數位微影蝕刻系統可包括安裝至光學支撐結構，或橋接器結構的精確度光學模組或曝光單元的陣列。橋接器結構通常包括數個不相交或不連接的橋接器。亦即，橋接器結構通常並非整體結構。橋接器結構可懸垂於運動控制系統之上，該運動控制系統輸送用於在數位微影蝕刻系統之內處理的玻璃或其他適當材料。因為運動控制系統支撐橋接器結構，所以可能存在傳輸至光學模組的可影響效能的經引發的振動（例如，微振動）。
本案之諸態樣及實施藉由提供用於增加數位微影蝕刻精確度的橋接器加固構件組件來解決現有技術的該等及其他缺點。本文所述的橋接器加固構件組件可經安裝至橋接器結構的頂部以向下夾緊於橋接器上，從而減少及/或移除引發的振動（例如，微振動）並且提高數位微影蝕刻系統效能。例如，橋接器支撐件加固構件可減少引發的振動至少40%。歸因於存在的光學模組或曝光單元的陣列，橋接器結構上的橋接器加固構件組件的空間可能有限。藉由將橋接器加固構件組件置放於光學區域之外並且連接橋接器結構的橋接器，經斷開的橋接器可經有效地夾緊以充當整體結構並減少及/或移除引發的振動。
第 1A 圖至第 1B 圖為根據一些實施例的數位微影蝕刻系統（「系統」）100的透視圖。如圖所示，系統100包括梯子110、包括底座120及數個橋接器130-1至130-3的橋接器結構、包括數個EYE電纜應變消除組件142的光學模組或曝光單元（「EYE」）區域140、EYE加固構件底板144、EYE控制器盒150、橫跨橋接器130-1的EYE支架梁或管155-1及橫跨橋接器130-3的EYE支架梁或管155-2。EYE電纜應變消除組件142有效地縮減到達橋接器的EYE電纜振動以減少或消除經由電纜透過EYE傳輸的振動。EYE加固構件底板144為用於EYE加固構件氣動管線及感測器的電纜通道提供支撐。EYE控制器盒150為用於EYE加固構件的氣動控制盒。EYE支架梁155-1及155-2為EYE電纜應變消除組件142的安裝結構。如由虛線所示，橋接器130-1至130-3與底座120不相交或不連接。取決於實施例，橋接器結構可包括某些其他數目的橋接器，諸如與 第 1A 圖至第 1B 圖中所示相比更多的橋接器或更少的橋接器。
系統100進一步包括在最靠近梯子110的一側（「梯側」）上的第一橋接器加固構件組件，以及在與梯側相對一側（「梯側相對側」）上的第二橋接器加固構件組件。更特定言之，如圖所示，第一橋接器加固構件組件包括加固構件板160-1及160-2、加強梁或管162-1至162-3，及分別安置在加強梁或管162-1至162-3的孔之內的緊固件（例如，螺釘、螺栓及/或螺桿）164-1至164-3。第二橋接器加固構件組件包括加固構件板170-1及170-2、加強梁162-1至162-3，及分別安置在加強梁162-1至162-3的孔之內的緊固件164-1至164-3。如在本文中進一步詳細描述，加固構件板160-1、160-2、170-1及170-2經向下夾緊至橋接器130-1至130-3以減少及/或移除將由橋接器130-1至130-3所產生的感應振動（例如，微振動）。
第一橋接器加固構件的加固構件板160-1與160-2及第二橋接器加固構件的加固構件板170-1及170-2可具有經設計以牢固地配合在系統100之內的幾何形狀。在此實例中，加固構件板160-1及160-2具有矩形形狀，該矩形形狀的尺寸由EYE區域140及橋接器130-1至130-3的外邊緣界定。關於第二橋接器加固構件，加固構件板170-1具有梯形形狀，該梯形形狀的尺寸由EYE區域140及與EYE控制器盒150相鄰的區域界定；並且加固構件板170-2具有矩形形狀，該矩形形狀的尺寸由EYE區域140及EYE控制器盒150界定。下文將參考 第 2 圖描述關於第一橋接器加固構件組件的進一步細節，並且下文將參考 第 3 圖描述關於第二橋接器加固構件組件的進一步細節。
第 2 圖為根據一些實施例的橋接器加固構件組件（「組件」）200的透視圖。例如，組件200可為梯側橋接器加固構件組件，如上文參考 第 1 圖所述。
如圖所示，組件200包括一對加固構件板210-1及210-2。加固構件板210-1及210-2可經形成以具有適合於置放在 第 1 圖中所示的數位微影蝕刻系統的梯側之內的幾何形狀及/或大小。例如，如圖所示，加固構件板210-1及210-2中的每一者可為具有適當長度、寬度及高度（即，厚度）尺寸的矩形稜柱體或立方體。在一些實施例中，加固構件板210-1及210-2中的每一者的長度可在約800毫米(mm)與960 mm之間的範圍內，加固構件板210-1及210-2中的每一者的寬度可在約550 mm與約710 mm之間的範圍內，並且加固構件板210-1及210-2中的每一者的厚度可在約15 mm與約35 mm之間的範圍內。例如，加固構件板210-1及210-2中的每一者可具有約880 mm × 約630 mm × 約25 mm的尺寸。然而，該等實施例不應視為限制性的。
加固構件板210-1及210-2可由具有用於數位微影蝕刻系統之內的適當材料特性的材料形成。在一些實施例中，加固構件板210-1及210-2可由相同材料形成。在一些實施例中，加固構件板210-1及210-2可各自由不同材料形成。
例如，加固構件板210-1及210-2可由具有適當熱膨脹係數(coefficient of thermal expansion; CTE)的材料形成。加固構件板210-1及210-2可具有可足夠匹配底座結構的CTE，以便該加固構件板可與加固構件板組件的其餘部分一起增大且收縮。例如，加固構件板210-1及210-2可由具有從大約百萬分之0 (parts per million; ppm)至大約25 ppm（即，約25 × 10 -6m/(m K)至約25 × 10 -6m/(m K)）之範圍內的CTE的材料形成。
在一些實施例中，加固構件板210-1及210-2中的至少一者可由花崗石形成。在一些實施例中，加固構件板210-1及210-2中的至少一者可由鋼形成（例如，不銹鋼）。然而，該等實施例不應視為限制性的，並且加固構件板210-1和210-2可根據本文描述的實施例由具有適當材料特性的任何適當材料形成。根據本文所述的實施例，加固構件板210-1和210-2可具有任何適當的質量或重量。加固構件板210-1和210-2的質量或重量應選擇為足夠高，但低於系統規範定義的上限以實現足夠的橋接器加固。例如，經設計以在數位微影蝕刻系統內提升和置放加固構件板210-1和210-2的適當的提升工具（例如，起重機）可能具有質量或重量限制。在一些實施例中，加固構件板210-1和210-2中的每一者具有範圍在大約100公斤(kg)與大約113 kg之間的質量。例如，加固構件板210-1和210-2中的每一者可具有大約110 kg的質量。
如進一步所示，組件200包括形成在加固構件板210-1內的吊鉤孔215-1及形成在加固構件板210-2內的吊鉤孔215-2。吊鉤孔215-1及215-2為起吊工具的附接點。
如圖進一步所示，組件200包括數個加強梁或管220至240。加強梁220藉由一對夾板222-1和222-2固定至加固構件板210-1的第一端，加強梁230藉由一對夾板232-1和232-2固定至加固構件板210-1的第二端和加固構件板210-2的第一端，並且加強梁240藉由一對夾板242-1和242-2固定至加固構件板210-2的第二端。孔224至244穿過加強梁220至240的相應各者形成。此外，安裝支架226圍繞加固構件板210-1的第一端置放，並且安裝支架246圍繞加固構件板210-2的第二端置放。孔224至244中的每一者皆經設計以接收緊固件（例如，螺釘、螺栓及/或螺桿）。例如，緊固件可穿過孔224和安裝支架226內的孔進入橋接器結構，緊固件可穿過孔234進入橋接器結構，並且緊固件可穿過孔244和安裝支架246內的孔進入橋接器結構。根據本文所述的實施例，元件222-1、222-2、230至240、232-1、232-2、242-1、242-2、226和246可由任何適當的材料形成。例如，該等元件中的一或多者可由鋼（例如不銹鋼）形成。然而，此舉不應認為限制性的。
第 3 圖為根據一些實施例的橋接器加固構件組件（「組件」）300的透視圖。例如，組件300可為梯子相對側的橋接器加固構件組件，如上文參考 第 1 圖所描述。
如圖所示，組件300包括一對加固構件板310-1及310-2。加固構件板310-1及310-2可經形成以具有適合於置放在 第 1 圖中所示的數位微影蝕刻系統的梯側之內的幾何形狀及/或大小。例如，如圖所示，加固構件板310-1可為具有適當長度、寬度和高度（即厚度）尺寸的梯形稜柱體，並且310-1可為具有適當的長度、寬度和高度（即厚度）尺寸的矩形稜柱體或立方體。
在此說明性實例中，梯形稜柱體為直角梯形稜柱體。例如，加固構件板310-1的長度（對應於直角梯形稜柱體的非對角腿）可在大約550 mm與大約710 mm之間的範圍內，加固構件板310-1的寬度（對應於垂直於垂直腿的直角梯形稜柱體的基部之較長一者）可在大約755 mm與大約915 mm之間的範圍內，並且加固構件板310-1的厚度可在大約30 mm與大約70 mm之間的範圍內。例如，加固構件板310-1可具有大約630 mm ×大約835 mm ×大約50 mm的尺寸。然而，該等實施例不應視為限制性的。
在一些實施例中，加固構件板310-2的長度可在大約550 mm與大約710 mm之間的範圍內，加固構件板310-2的寬度可在大約400 mm與大約560 mm之間的範圍內，並且加固構件板310-2的厚度可在大約15 mm與大約35 mm之間的範圍內。例如，加固構件板310-2可具有大約630 mm ×大約480mm ×大約25 mm的尺寸。然而，該等實施例不應視為限制性的。
加固構件板310-1及310-2可由具有用於數位微影蝕刻系統之內的適當材料特性的材料形成。在一些實施例中，加固構件板310-1及310-2可由相同材料形成。在一些實施例中，加固構件板310-1及310-2可各自由不同材料形成。
例如，加固構件板310-1及310-2可由具有適當CTE的材料形成。在一些實施例中，加固構件板310-1及310-2中的至少一者可由花崗石形成。在一些實施例中，加固構件板310-1及310-2中的至少一者可由鋼（例如，不銹鋼）形成。然而，該等實施例不應視為限制性的，並且加固構件板310-1和310-2可根據本文描述的實施例由具有適當材料特性的任何適當材料形成。根據本文所述的實施例，加固構件板310-1和310-2可具有任何適當的質量或重量。加固構件板310-1和310-2的質量或重量應選擇為足夠高以實現足夠的橋接器加固，但低於系統規範定義的上限。例如，經設計以在數位微影蝕刻系統內起吊加固構件板310-1和310-2的起重機或其他起吊工具可能具有質量或重量限制。在一些實施例中，加固構件板310-1和310-2中的每一者具有範圍在大約100公斤(kg)與大約113 kg之間的質量。例如，加固構件板310-1和310-2中的每一者可具有大約110 kg的質量。
如進一步所示，組件300包括形成在加固構件板310-1內的吊鉤孔315-1及形成在加固構件板310-2內的吊鉤孔315-2。吊鉤孔315-1和315-2用作附接點以使得起重機或其他起吊工具能夠吊起數位微影蝕刻系統內的相應加固構件板310-1和310-2。
如進一步所示，組件300包括數個加強梁或管320至240。加強梁320藉由一對夾板322-1和322-2固定至加固構件板310-1的第一端，加強梁330藉由一對夾板332-1和332-2固定至加固構件板310-1的第二端和加固構件板310-2的第一端，並且加強梁340藉由一對夾板342-1和342-2固定至加固構件板310-2的第二端。孔324至344穿過加強梁320至340的相應各者形成。此外，安裝支架326圍繞加固構件板310-1的第一端置放，並且安裝支架346圍繞加固構件板310-2的第二端置放。孔324至344中的每一者皆經設計以接收緊固件（例如，螺釘、螺栓及/或螺桿）)。例如，緊固件可穿過孔324和安裝支架326內的孔進入橋接器結構，緊固件可穿過孔334進入橋接器結構，並且緊固件可穿過孔344和安裝支架346內的孔進入橋接器結構。根據本文所述的實施例，元件322-1、322-2、330至240、332-1、332-2、342-1、342-2、326和346可由任何適當的材料形成。例如，該等元件中的一或多者可由鋼（例如不銹鋼）形成。然而，此舉不應認為限制性的。
第 4A 圖至第 4E 圖圖示根據一些實施例，將橋接器加固構件組件的加固構件板插入於數位微影蝕刻系統400（「系統」）之內的製程流程的俯視圖。在該說明性實例中，加固構件板經示為梯子相對側的橋接器加固構件組件的元件（例如，上文參考 第 1A 圖至第 1B 圖描述的加固構件板170-1和170-2及/或上文參考 第 3 圖描述的加固構件板板310-1和310-2)。然而，類似的製程可用於插入梯側橋接器組件的加固構件板（例如，上文參考 第 1A 圖至第 1B 圖描述的加固構件板160-1和160-2及/或上文參考 第 2 圖描述的加固構件板210-1和210-2）。
第 4A 圖圖示經由適當的起吊工具（例如，起重機）（未圖示）將加固構件板410-1置放於系統400之內。如圖所示，加固構件板410-1經置放在EYE支架梁或管420-1與對應於EYE加固構件控制器450的EYE加固構件控制器電纜管道430-1之間。系統400進一步包括維護橋接器440。EYE加固構件控制器電纜管道430-1可用於承載加固構件組件的氣動和感測器電纜。
第 4B 圖圖示加固構件板410-1在服務橋接器440下方的滑動或平移。 第 4C 圖圖示加固構件板410-1在EYE加固構件控制器電纜管道430-1下方的滑動或平移。如可從 第 4C 圖中顯而易見，加固構件板410-1的直角梯形稜柱形狀的對角腿使得加固構件板410-1與EYE控制器450之間有足夠的間隙。
第 4D 圖圖示經由適當的起吊工具（例如，起重機）（未圖示）將加固構件板410-2置放於系統400之內。如圖所示，加固構件板410-2經置放於EYE加固構件控制器電纜導管430-1與EYE加固構件控制器電纜導管430-2（類似於EYE加固構件控制器電纜導管430-1）之間。系統400進一步包括EYE支架梁或管420-2。亦圖示了維護橋接器440及EYE加固構件控制器450。 第 4E 圖圖示加固構件板410-2在EYE加固構件控制器電纜管道430-2下方的滑動或平移。
第 5 圖圖示根據一些實施例，用於將橋接器加固構件整合至數位微影蝕刻系統中的示例性方法500的流程圖。
在方塊510處，第一組加固構件板和第二組加固構件板經置放在數位微影蝕刻系統內的橋接器結構上。橋接器結構包括安置在底座結構上的多個橋接器。例如，橋接器結構可以包括第一橋接器、第二橋接器及第三橋接器。第一組加固構件板可包括置放在第一橋接器和第二橋接器上的第一加固構件板，以及置放在第二橋接器和第三橋接器上的第二加固構件板。可在第一與第二加固構件板之間形成間隙，該間隙對應於第二橋接器上方的區域。第二組加固構件板可包括置放在第一橋接器和第二橋接器上的第三加固構件板，以及置放在第二橋接器和第三橋接器上的第四加固構件板。類似於第一組加固構件板，可在第三與第四加固構件板之間形成間隙，該間隙對應於第二橋接器上方的區域。加固構件板的重疊在橋接器結構上應大體上相等。第二組加固構件板可能需要特殊的預防措施，因為第二組加固構件板可能需要側移。
例如，第一組加固構件板可包括與數位微影蝕刻系統的「梯側」相關聯的一對加固構件板，並且第二組加固構件板可包括與數位微影蝕刻系統的「梯子相對側」相關聯的一對加固構件板。在該實例中，第一加固構件板可經置放在第一橋接器和第二橋接器上，與第一和第二橋接器的梯端齊平；並且第二加固構件板可經置放在第二橋接器和第三橋接器上，與第一和第二橋接器的梯端齊平。類似地，第三加固構件板可經置放在第一橋接器和第二橋接器上，與第一和第二橋接器的梯子相對端齊平；並且第四加固構件板可經置放在第二橋接器和第三橋接器上，與第一和第二橋接器的梯端齊平。
在一些實施例中，第一和第二加固構件板各自具有矩形稜柱或立方體形狀，第三加固構件板具有梯形稜柱（例如，直角梯形稜柱）形狀，並且第四加固構件板具有矩形稜柱或立方體形狀。在一些實施例中，第一組及第二組的加固構件板中的每一者可由相同材料形成。在一些實施例中，加固構件板中的一或多者可由不同材料形成。例如，第一組和第二組加固構件板可各自包括由具有適當CTE的材料形成的加固構件板。在一些實施例中，加固構件板中的至少一者可由花崗石形成。在一些實施例中，加固構件板中的至少一者可由鋼（例如，不銹鋼）形成。然而，該等實施例不應視為限制性的，並且加固構件板可根據本文描述的實施例由具有適當材料特性的任何適當材料形成。上文參考 第 1 圖至第 4E 圖描述了關於第一組和第二組加固構件板的進一步細節。
在方塊520處，第一橋接器加固構件組件由第一組加固構件板形成，並且第二橋接器加固構件組件由第二組加固構件板形成。上文參考 第 1 圖至第 4E 圖描述了關於第一及第二橋接器加固構件組件的進一步細節，及現將在下文參考 第 6 圖描述關於第一及第二橋接器加固構件組件之形成的進一步細節。
第6 圖圖示根據一些實施例，由第一組加固構件板形成第一橋接器加固構件組件且由第二組加固構件板形成第二橋接器加固構件組件的示例性方法600的流程圖。例如，第一組和第二組加固構件板可經置放在數位微影蝕刻系統之內，如上文參考 第 5 圖所述。
在方塊610處，將多組間隔墊安裝在第一組及第二組加固構件板的相應位置處。更特定言之，第一組間隔墊安裝在第一加固構件板上，第二組間隔墊安裝在第二加固構件板上，第三組間隔墊安裝在第三加固構件板上，並且第四組間隔墊安裝在第四加固構件板上。在一些實施例中，間隔墊包括墊片。間隔墊的目的係確保與下層的橋接器結構接觸。
例如，第一組間隔墊可包括四個間隔墊，每一間隔墊安置在第一加固構件板的相應轉角處；第二組間隔墊可包括四個間隔墊，每一間隔墊安置在第二加固構件板的相應轉角處；第三組間隔墊可包括四個間隔墊，每一間隔墊安置在第三加固構件板的相應轉角處；並且第四組間隔墊可包括四個間隔墊，每一間隔墊安置在第四加固構件板的相應轉角處。若加固構件板的轉角之一者不與橋接器結構接觸，則可將額外的間隔墊添加至加固構件板。為了測試加固構件板的轉角之一者是否未與橋接器結構接觸，可在加固構件板下方照射一束光。然後可在確定光可見的每一位置處添加間隔墊。
在方塊620處，將一組支撐加固構件支架固定至數位微影蝕刻系統的梁上。例如，可移除數位微影蝕刻系統的現有支架並用支撐加固構件支架替換。用於固定數位微影蝕刻系統的現有支架的現有緊固件（例如，螺釘、螺栓及/或螺桿）可用適用於支撐加固構件支架的緊固件代替。
在方塊630處，第一組夾板及第二組夾板經組裝以分別將第一組加固構件板固定至橋接器結構並且將第二組加固構件板固定至橋接器結構。組裝夾板可包括將第一組夾板置放在第一組加固構件板上並且將第二組夾板置放在第二組加固構件板上，將桿置放在第一和第二組夾板的夾板上，並且安裝緊固件以將第一和第二組夾板固定至第一和第二組加固構件板中的相應者。例如，第一組夾板可包括形成在第一加固構件板的第一端上的第一對夾板、形成在第一加固構件板的第二端和第二加固構件板的第一端上（在間隙上方）的第二對夾板，以及形成在第二加固構件板的第二端上的第三對夾板。類似地，第二組夾板可以包括形成在第三加固構件板的第一端上的第四對夾板、形成在第三加固構件板的第二端和第四加固構件板的第一端上（在間隙上方）的第五對夾板，以及形成在第四加固構件板的第二端上的第六對夾板。
為了確保正確對準，固定夾板的緊固件可安裝得足夠松。一旦夾板與桿在數位微影蝕刻系統內充分對準，就可充分擰緊緊固件。在上文中參考 第 1 圖至第 5 圖描述了關於由第一組加固構件板形成第一橋接器加固構件組件和由第二組加固構件板形成第二橋接器加固構件組件的進一步細節。
先前的描述闡述了許多特定細節，諸如特定系統、元件、方法等的實例，以提供對本發明的若干實施例的良好理解。然而，將對熟習該項技術者顯而易見的是，本發明之至少一些實施例可在無該等特定細節的情況下實踐。在其他情況下，眾所熟知的元件或方法未經詳細描述或以簡單的方塊圖格式呈現，以避免不必要地混淆本發明。因此，所闡述的特定細節僅是示例性的。特定實施可與該等示例性細節不同，並且仍然被預期在本發明的範圍內。
在整個說明書中對「一個實施例」或「一實施例」的引用意謂結合實施例描述的特定特徵、結構或特性包括在至少一個實施例中。因此，在整個說明書的不同位置出現的用語「在一個實施例中」或「在一實施例中」不一定皆代表相同的實施例。此外，術語「或」意欲意謂包含的「或」而非排他的「或」。當本文使用術語「約」或「大約」時，其意欲意謂所呈現的標稱值精確在±10%以內。
儘管以特定次序示出和描述了本文方法的操作，但是可改變每一方法的操作次序，以便可以相反的次序執行某些操作，或以便可至少部分地與其他操作同時進行某些操作。在另一實施例中，不同操作的指令或子操作可以間歇及/或交替的方式進行。
應將理解，上述描述意欲為說明性的，而非限制性的。在閱讀和理解以上描述之後，許多其他實施實例對於熟習該項技術者而言將是顯而易見的。儘管本案描述了特定實例，但是將認識到本案的系統和方法不限於本文描述的實例，而是可在所附請求項的範圍內進行修改來實施。因此，說明書及附圖被認為是說明性的而非限制性的。因此，本案的範圍應當參考附加申請專利範圍，以及該申請專利範圍所賦予的等效物的全部範圍來確定。
100:數位微影蝕刻系統 110:梯子 120:底座 130-1:橋接器 130-2:橋接器 130-3:橋接器 140:EYE區域 142:EYE電纜應變消除組件 144:EYE加固構件底板 150:EYE控制器盒 155-1:EYE支架梁 155-2:EYE支架梁 160-1:加固構件板 160-2:加固構件板 162-1:加強梁或管 162-2:加強梁或管 162-3:加強梁或管 164-1:緊固件 164-2:緊固件 164-3:緊固件 170-1:加固構件板 170-2:加固構件板 200:橋接器加固構件組件 210-1:加固構件板 210-2:加固構件板 215-1:吊鉤孔 215-2:吊鉤孔 220:加強梁 222-1:夾板 222-2:夾板 224:孔 226:安裝支架 230:加強梁 232-1:夾板 232-2:夾板 234:孔 240:加強梁或管 242-1:夾板 242-2:夾板 244:孔 246:安裝支架 300:橋接器加固構件組件 310-1:加固構件板 310-2:加固構件板 315-1:吊鉤孔 315-2:吊鉤孔 320:加強梁或管 322-1:夾板 322-2:夾板 324:孔 326:安裝支架 330:加強梁 332-1:夾板 332-2:夾板 334:孔 340:加強梁 342-1:夾板 344:孔 346:安裝支架 400:數位微影蝕刻系統 410-1:加固構件板 410-2:加固構件板 420-1:EYE支架梁或管 420-2:EYE支架梁或管 430-1:EYE加固構件控制器電纜管道 430-2:EYE加固構件控制器電纜導管 440:橋接器 450:EYE加固構件控制器 500:方法 510:步驟 520:步驟 600:方法 610:步驟 620:步驟 630:步驟
本案之態樣及實施將從下文給出的詳細描述且從附圖中更加完全地理解，該詳細描述及附圖意欲藉由實例而非限制的方式說明諸態樣及實施。
第 1A 圖及第 1B 圖為根據一些實施例的包括橋接器加固構件的數位微影蝕刻系統的透視圖。
第 2 圖為根據一些實施例的第一橋接器加固構件組件的透視圖。
第 3 圖為根據一些實施例的第二橋接器加固構件組件的透視圖。
第 4A 圖至第 4E圖圖示根據一些實施例，將橋接器加固構件組件的加固構件板插入於數位微影蝕刻系統之內的製程流程的示例性俯視圖。
第 5 圖為根據一些實施例，用於將橋接器加固構件整合至數位微影蝕刻系統中的示例性方法的流程圖。
第6 圖為根據一些實施例，在 第 5 圖的方法期間由第一組加固構件板形成第一橋接器加固構件組件且由第二組加固構件板形成第二橋接器加固構件組件的示例性方法的流程圖。
國內寄存資訊(請依寄存機構、日期、號碼順序註記) 無 國外寄存資訊(請依寄存國家、機構、日期、號碼順序註記) 無
100:數位微影蝕刻系統
130-1:橋接器
130-2:橋接器
130-3:橋接器
140:EYE區域
142:EYE電纜應變消除組件
144:EYE加固構件底板
150:EYE控制器盒
155-1:EYE支架梁
155-2:EYE支架梁
160-1:加固構件板
160-2:加固構件板
162-1:加強梁或管
162-2:加強梁或管
162-3:加強梁或管
164-1:緊固件
164-2:緊固件
164-3:緊固件
170-1:加固構件板
170-2:加固構件板

Claims (20)

  1. 一種橋接器加固構件組件，包含： 一第一加固構件板及一第二加固構件板； 複數個夾板，用於將該第一加固構件板及該第二加固構件板固定至一數位微影蝕刻系統的一橋接器結構，其中該複數個夾板包含： 一第一對夾板，安置在該第一加固構件板的一第一端上； 一第二對夾板，安置在該第一加固構件板的一第二端及該第二加固構件板的一第一端上；以及 一第三對夾板，安置在該第二加固構件板的一第二端上；以及 複數個加強梁，該複數個加強梁包含安置在該第一對夾板上的一第一加強梁、安置在該第二對夾板上的一第二加強梁，及安置在該第三對夾板上的一第三加強梁。
  2. 如請求項1所述之橋接器加固構件組件，其中該第一加固構件板或該第二加固構件板中的至少一者係由花崗石或不銹鋼的至少一者形成。
  3. 如請求項1所述之橋接器加固構件組件，其中該第一加固構件板及該第二加固構件板各自具有對應於一矩形稜柱的一幾何形狀。
  4. 如請求項1所述之橋接器加固構件組件，其中該第一加固構件板具有對應於一矩形稜柱的一幾何形狀，並且該第二加固構件板具有對應於梯形稜柱的一幾何形狀。
  5. 如請求項1所述之橋接器加固構件組件，進一步包含： 安置在該第一加固構件板上的第一複數個間隔墊及安置在該第二加固構件板上的第二複數個間隔墊，其中該第一複數個間隔墊包含各自安置在該第一加固構件板的一相應轉角處的四個間隔墊，並且該第二複數個間隔墊包含各自安置在該第二加固構件板的一相應轉角處的四個間隔墊。
  6. 如請求項1所述之橋接器加固構件組件，進一步包含： 一第一吊鉤孔，形成在該第一加固構件板內；以及 一第二吊鉤孔，形成在該第二加固構件板內。
  7. 如請求項1所述之橋接器加固構件組件，進一步包含： 一加強梁孔，穿過該複數個加強梁的每一加強梁形成以接收一緊固件，用於將該第一加固構件板及該第二加固構件板固定至該橋接器結構。
  8. 如請求項1所述之橋接器加固構件組件，進一步包含： 圍繞該第一加強梁安置的一第一安裝支架及圍繞該第三加強梁安置的一第二安裝支架，其中該第一安裝支架及該第二安裝支架用於分別將該橋接器加固構件組件固定至該數位微影蝕刻系統的一第一曝光單元支架梁及該數位微影蝕刻系統的一第二曝光單元支架梁。
  9. 一種數位微影蝕刻系統，包含： 一曝光單元區域； 一橋接器結構，包含各自安置在一底座上的一第一橋接器、一第二橋接器及一第三橋接器； 一第一橋接器加固構件組件，固定至該橋接器結構，該第一橋接器加固構件組件包含安置在該橋接器結構的一端與該曝光單元區域的一第一端之間的一第一加固構件板及一第二加固構件板；以及 一第二橋接器加固構件組件，固定至該橋接器結構，該第二橋接器加固構件組件包含各自相鄰於該曝光單元區域的一第二端的一第三加固構件板及一第四加固構件板。
  10. 如請求項9所述之數位微影蝕刻系統，進一步包含： 一曝光單元控制器盒； 其中該第二橋接器加固構件組件經安置在該曝光單元控制器盒與該曝光單元區域的該第二端之間。
  11. 如請求項9所述之數位微影蝕刻系統，其中該第一加固構件板及該第二加固構件板各自具有對應於一矩形稜柱的一幾何形狀，其中該第三加固構件板具有對應於一矩形稜柱的一幾何形狀，並且該第四加固構件板具有對應於梯形稜柱的一幾何形狀。
  12. 如請求項9所述之數位微影蝕刻系統，其中： 該第一橋接器加固構件組件進一步包含第一複數個夾板，用於將該第一加固構件板及該第二加固構件板固定至該橋接器結構，該第一複數個夾板包含安置在該第一加固構件板的一第一端上的一第一對夾板、安置在該第一加固構件板的一第二端和該第二加固構件板的一第一端上的一第二對夾板，以及安置在該第二加固構件板的一第二端上的一第三對夾板；以及 該第二橋接器加固構件組件進一步包含第二複數個夾板，用於將該第三加固構件板及該第四加固構件板固定至該橋接器結構，該第二複數個夾板包含安置在該第三加固構件板的一第一端上的一第四對夾板、安置在該第三加固構件板的一第二端和該第四加固構件板的一第一端上的一第五對夾板，以及安置在該第四加固構件板的一第二端上的一第六對夾板。
  13. 如請求項12所述之數位微影蝕刻系統，其中： 該第一橋接器加固構件組件進一步包含第一複數個加強梁，該第一複數個加強梁包含安置在該第一對夾板上的一第一加強梁、安置在該第二對夾板上的一第二加強梁，及安置在第三對夾板上的一第三加強梁，其中該複數個加強梁中的每一加強梁；以及 該第二橋接器加固構件組件進一步包含第二複數個加強梁，該第二複數個加強梁包含安置在該第四對夾板上的一第四加強梁、安置在該第五對夾板上的一第五加強梁，及安置在該第六對夾板上的一第六加強梁，其中該複數個加強梁中的每一加強梁。
  14. 如請求項13所述之數位微影蝕刻系統，進一步包含一加強梁孔，該加強梁孔穿過該第一複數個加強梁及該第二複數個加強梁的每一加強梁形成以接收一緊固件，用於將該第一橋接器組件及該第二橋接器組件固定至該橋接器結構。
  15. 如請求項9所述之數位微影蝕刻系統，進一步包含： 第一複數個間隔墊，安置在該第一加固構件板上，該第一複數個間隔墊包含各自安置在該第一加固構件板的一相應轉角處的四個間隔墊； 第二複數個間隔墊，安置在該第二加固構件板上，該第二複數個間隔墊包含各自安置在該第二加固構件板的一相應轉角處的四個間隔墊； 第三複數個間隔墊，安置在該第三加固構件板上，該第三複數個間隔墊包含各自安置在該第三加固構件板的一相應轉角處的四個間隔墊；以及 第四複數個間隔墊，安置在該第四加固構件板上，該第四複數個間隔墊包含各自安置在該第四加固構件板的一相應轉角處的四個間隔墊。
  16. 如請求項9所述之數位微影蝕刻系統，進一步包含： 一第一吊鉤孔，形成在該第一加固構件板內； 一第二吊鉤孔，形成在該第二加固構件板內； 一第三吊鉤孔，形成在該第三加固構件板內；以及 一第四吊鉤孔，形成在該第四加固構件板內。
  17. 如請求項9所述之數位微影蝕刻系統，進一步包含： 橫跨該第一橋接器的一第一曝光單元支架梁，及橫跨該第三橋接器的一第二曝光單元支架梁； 一第一安裝支架，圍繞該第一加強梁安置以將該第一橋接器加固構件組件固定至該第一曝光單元支架梁； 一第二安裝支架，圍繞該第三加強梁安置以將該第一橋接器加固構件組件固定至該第二曝光單元支架梁； 一第三安裝支架，圍繞該第四加強梁安置以將該第二橋接器加固構件組件固定至該第一曝光單元支架梁；以及 一第四安裝支架，圍繞該第六加強梁安置以將該第二橋接器加固構件組件固定至該第二曝光單元支架梁。
  18. 一種方法，包含以下步驟： 將一第一組加固構件板和一第二組加固構件板置放在一數位微影蝕刻系統內的一橋接器結構上，其中該橋接器結構包含一第一橋接器、一第二橋接器和一第三橋接器，其中該第一組加固構件板包括置放在該第一橋接器和該第二橋接器上的一第一加固構件板及置放在該第二橋接器和該第三橋接器上的一第二加固構件板，並且其中該第二組加固構件板包含置放在該第一橋接器和該第二橋接器上的一第三加固構件板及置放在該第二橋接器和該第三橋接器上的一第四加固構件板；以及 由該第一組加固構件板形成一第一橋接器加固構件組件，並且由該第二組加固構件板形成一第二橋接器加固構件組件。
  19. 如請求項18所述之方法，其中由該第一組加固構件板形成該第一橋接器加固構件組件，並且由該第二組加固構件板形成該第二橋接器加固構件組件之步驟包含以下步驟： 將一第一組夾板及一第二組夾板組裝以分別將該第一組加固構件板固定至該橋接器結構，並且將該第二組加固構件板固定至該橋接器結構； 其中該第一組夾板包含安置在該第一加固構件板的一第一端上的一第一對夾板、安置在該第一加固構件板的一第二端和該第二加固構件板的一第一端上的一第二對夾板，以及安置在該第二加固構件板的一第二端上的一第三對夾板；以及 其中該第二組夾板包含安置在該第三加固構件板的一第一端上的一第四對夾板、安置在該第三加固構件板的一第二端和該第四加固構件板的一第一端上的一第五對夾板，以及安置在該第四加固構件板的一第二端上的一第六對夾板。
  20. 如請求項19所述之方法，其中由該第一組加固構件板形成該第一橋接器加固構件組件，並且由該第二組加固構件板形成該第二橋接器加固構件組件之步驟進一步包含以下步驟： 在組裝該第一組夾板及該第二組夾板之前，將一第一組間隔墊安裝在該第一加固構件板上、將一第二組間隔墊安裝在該第二加固構件板上，將一第三組間隔墊安裝在該第三加固構件板上，並且將第四複數個間隔墊安裝在該第四加固構件板上； 其中該第一組間隔墊包含各自安置在該第一加固構件板的一相應轉角處的四個間隔墊，並且該第二組間隔墊包含各自安置在該第二加固構件板的一相應轉角處的四個間隔墊，該第三組間隔墊包含各自安置在該第三加固構件板的一相應轉角處的四個間隔墊，並且該第四組間隔墊包含各自安置在該第四加固構件板的一相應轉角處的四個間隔墊；以及 在安裝該第一組間隔墊及該第二組間隔墊之後，將數個支撐加固構件支架固定至該數位微影蝕刻系統的梁。
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