CN118119893A - 用于提高数字光刻精确度的网桥加固构件 - Google Patents

用于提高数字光刻精确度的网桥加固构件 Download PDF

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Abstract

一种网桥加固构件组件包括第一加固构件板和第二加固构件板、以及用于将第一加固构件板和第二加固构件板固定至数字光刻系统的网桥结构的夹板。夹板包括设置在第一加固构件板的第一端上的第一对夹板、设置在第一加固构件板的第二端和第二加固构件板的第一端上的第二对夹板、以及设置在第二加固构件板的第二端上的第三对夹板。网桥加固构件组件进一步包括加强梁，所述加强梁包括设置在第一对夹板上的第一加强梁、设置在第二对夹板上的第二加强梁、以及设置在第三对夹板上的第三加强梁。

Description

用于提高数字光刻精确度的网桥加固构件
技术领域
本说明书一般涉及电子设备制造。更特别来讲，本说明书涉及用于提高数字光刻精确度的网桥加固构件。
背景技术
光刻(Photolithography)用于制造半导体设备及显示设备，诸如平板显示设备。平板显示设备的示例包括薄膜显示设备，诸如，例如液晶显示(liquid crystal display；LCD)设备及有机发光二极管(organic light emitting diode；OLED)显示设备。大面积基板可用于制造平板显示设备，这些平板显示设备用于计算机、触摸面板设备、个人数字助理(personal digital assistant；PDA)、手机、电视监视器等。
发明内容
下文是本公开的简化概要以提供本公开的某些方面的基本理解。此概要并非对本公开的广泛概述。此说明既不意欲标识本公开的关键或重要元素，也不意欲描绘本公开的特定实施方式的任何范围或权利要求的任何范围。其唯一目的是以简化形式呈现本公开的一些概念，作为稍后呈现的更详细描述的序言。
根据一实施例，提供了一种网桥加固构件组件。网桥加固构件组件包括第一加固构件板和第二加固构件板、用于将第一加固构件板和第二加固构件板固定至数字光刻系统的网桥结构的多个夹板。多个夹板可包括设置在第一加固构件板的第一端上的第一对夹板、设置在第一加固构件板的第二端和第二加固构件板的第一端上的第二对夹板、以及设置在第二加固构件板的第二端上的第三对夹板。网桥加固构件组件进一步包括多个加强梁，该多个加强梁包括设置在第一对夹板上的第一加强梁、设置在第二对夹板上的第二加强梁、和设置在第三对夹板上的第三加强梁。
根据另一实施例，提供了一种数字光刻系统。该数字光刻系统包括曝光单元区域、包括各自设置在底座上的第一网桥、第二网桥和第三网桥的网桥结构、固定至网桥结构的第一网桥加固构件组件、以及固定至网桥结构的第二网桥加固构件组件。第一网桥加固构件组件包括设置在网桥结构的一端与曝光单元区域的第一端之间的第一加固构件板和第二加固构件板，第二网桥加固构件组件包括第三加固构件板和第四加固构件板，每一加固构件板均与曝光单元区域的第二端相邻。
根据又一实施例，提供了一种方法。该方法包括将第一组加固构件板和第二组加固构件板放置在数字光刻系统内的网桥结构上，以及由第一组加固构件板形成第一网桥加固构件组件，且由第二组加固构件板形成第二网桥加固构件组件。网桥结构包括第一网桥、第二网桥和第三网桥，第一组加固构件板包括放置在第一网桥和第二网桥上的第一加固构件板和放置在第二网桥和第三网桥上的第二加固构件板，并且第二组加固构件板包括放置在第一网桥和第二网桥上的第三加固构件板和放置在第二网桥和第三网桥上的第四加固构件板。
附图说明
本公开的方面及实施方式将从下文给出的详细描述且从附图中更加完全地理解，该详细描述及附图意欲通过示例而非限制的方式说明诸方面及实施方式。
图1A和图1B是根据一些实施例的包括网桥加固构件的数字光刻系统的透视图。
图2为根据一些实施例的第一网桥加固构件组件的透视图。
图3为根据一些实施例的第二网桥加固构件组件的透视图。
图4A至图4E图示根据一些实施例，将网桥加固构件组件的加固构件板插入到数字光刻系统内的过程流程的示例俯视图。
图5为根据一些实施例，用于将网桥加固构件集成到数字光刻系统中的示例方法的流程图。
图6为根据一些实施例，在图5的方法期间由第一组加固构件板形成第一网桥加固构件组件且由第二组加固构件板形成第二网桥加固构件组件的示例方法的流程图。
具体实施方式
数字光刻可用于在无需掩模的情况下(例如，无掩模光刻)产生数字对准的蚀刻掩模至基板表面上。在数字光刻期间，在控制系统的控制下，液滴源(例如，喷墨源)可用于形成液体掩模至基板表面上。例示性地，数字光刻可用于在电子设备制造期间执行大面积图案化。
数字光刻系统可包括安装至光学支撑结构或网桥结构的精确度光学模块或曝光单元的阵列。网桥结构通常包括多个不相交或不连接的网桥。亦即，网桥结构通常并非单体结构。网桥结构可悬垂于运动控制系统之上，该运动控制系统输送用于在数字光刻系统内处理的玻璃或其他适当材料。因为运动控制系统支撑网桥结构，所以可能存在传输至光学模块的可能影响性能的引发振动(例如，微振动)。
本公开的诸方面及实施方式通过提供用于提高数字光刻精确度的网桥加固构件组件来解决现有技术的这些及其他缺点。本文所述的网桥加固构件组件可被安装至网桥结构的顶部以向下夹紧于网桥上，由此减少和/或去除引发振动(例如，微振动)并且提高数字光刻系统性能。例如，网桥支撑加固构件可减少引发振动至少40％。由于存在的光学模块或曝光单元的阵列，网桥结构上的用于网桥加固构件组件的空间可能有限。通过将网桥加固构件组件放置于光学区域外部并且连接网桥结构的网桥，不连接的网桥可被有效地夹紧以充当单体结构并减少和/或去除引发振动。
图1A至图1B是根据一些实施例的数字光刻系统(“系统”)100的透视图。如图所示，系统100包括梯部110、包括底座120及多个网桥130-1至130-3的网桥结构、包括多个EYE电缆应变消除组件142的光学模块或曝光单元(“EYE”)区域140、EYE加固构件底板144、EYE控制器盒150、横跨网桥130-1的EYE支架梁或管155-1及横跨网桥130-3的EYE支架梁或管155-2。EYE电缆应变消除组件142有效地缩减到达网桥的EYE电缆振动以减少或消除经由电缆通过EYE传输的振动。EYE加固构件底板144为用于EYE加固构件气动管线及传感器的电缆通道提供支撑。EYE控制器盒150是用于EYE加固构件的气动控制盒。EYE支架梁155-1及155-2是用于EYE电缆应变消除组件142的安装结构。如由虚线所示，网桥130-1至130-3与底座120不相交或不连接。取决于实施例，网桥结构可包括某些其他数目的网桥，诸如与图1A至图1B中所示相比更多的网桥或更少的网桥。
系统100进一步包括在最靠近梯部110的一侧(“梯侧”)上的第一网桥加固构件组件，以及在与梯侧相对一侧(“梯侧相对侧”)上的第二网桥加固构件组件。更特别来讲，如图所示，第一网桥加固构件组件包括加固构件板160-1及160-2、加强梁或管162-1至162-3、及分别设置在加强梁或管162-1至162-3的孔内的紧固件(例如，螺钉、螺栓和/或螺杆)164-1至164-3。第二网桥加固构件组件包括加固构件板170-1及170-2、加强梁162-1至162-3、及分别设置在加强梁162-1至162-3的孔内的紧固件164-1至164-3。如在本文中进一步详细描述，加固构件板160-1、160-2、170-1及170-2被向下夹紧至网桥130-1至130-3以减少和/或去除将由网桥130-1至130-3所产生的引发振动(例如，微振动)。
第一网桥加固构件的加固构件板160-1与160-2及第二网桥加固构件的加固构件板170-1及170-2可具有被设计以紧固地配合在系统100内的几何形状。在此示例中，加固构件板160-1及160-2具有矩形形状，该矩形形状的尺寸由EYE区域140及网桥130-1至130-3的外边缘限定。关于第二网桥加固构件，加固构件板170-1具有梯形形状，该梯形形状的尺寸由EYE区域140及与EYE控制器盒150相邻的区域限定；并且加固构件板170-2具有矩形形状，该矩形形状的尺寸由EYE区域140及EYE控制器盒150限定。下文将参考图2描述关于第一网桥加固构件组件的进一步细节，并且下文将参考图3描述关于第二网桥加固构件组件的进一步细节。
图2是根据一些实施例的网桥加固构件组件(“组件”)200的透视图。例如，组件200可以是梯侧网桥加固构件组件，如上文参考图1所述。
如图所示，组件200包括一对加固构件板210-1及210-2。加固构件板210-1及210-2可被形成为具有适合于放置在图1中所示的数字光刻系统的梯侧内的几何形状和/或大小。例如，如图所示，加固构件板210-1及210-2中的每一者可以是具有适当长度、宽度及高度(即，厚度)尺寸的矩形棱柱体或立方体。在一些实施例中，加固构件板210-1及210-2中的每一者的长度可在约800毫米(mm)与约960mm之间的范围内，加固构件板210-1及210-2中的每一者的宽度可在约550mm与约710mm之间的范围内，并且加固构件板210-1及210-2中的每一者的厚度可在约15mm与约35mm之间的范围内。例如，加固构件板210-1及210-2中的每一者可具有约880mm×约630mm×约25mm的尺寸。然而，此类实施例不应视为限制性的。
加固构件板210-1及210-2可由具有用于在数字光刻系统内使用的适当材料性质的材料形成。在一些实施例中，加固构件板210-1及210-2可由相同材料形成。在一些实施例中，加固构件板210-1及210-2可各自由不同材料形成。
例如，加固构件板210-1及210-2可由具有适当热膨胀系数(coefficient ofthermal expansion；CTE)的材料形成。加固构件板210-1及210-2可具有可足够匹配底座结构的CTE，以便该加固构件板可与加固构件板组件的其余部分一起增长及收缩。例如，加固构件板210-1及210-2可由具有从约0份每百万(parts per million；ppm)至约25ppm(即，约25×10-6m/(m K)至约25×10-6m/(m K))的范围内的CTE的材料形成。
在一些实施例中，加固构件板210-1及210-2中的至少一者可由花岗石形成。在一些实施例中，加固构件板210-1及210-2中的至少一者可由钢(例如，不锈钢)形成。然而，此类实施例不应视为限制性的，并且加固构件板210-1及210-2可根据本文描述的实施例由具有适当材料性质的任何适当材料形成。根据本文所述的实施例，加固构件板210-1及210-2可具有任何适当的质量或重量。加固构件板210-1及210-2的质量或重量应选择为足够高以实现足够的网桥加固，但低于由系统规范定义的上限。例如，被设计以在数字光刻系统内提升和放置加固构件板210-1及210-2的适当的提升工具(例如，起重机)可能具有质量或重量限制。在一些实施例中，加固构件板210-1及210-2中的每一者具有范围在约100公斤(kg)与约113kg之间的质量。例如，加固构件板210-1及210-2中的每一者可具有约110kg的质量。
如进一步所示，组件200包括形成在加固构件板210-1内的吊钩孔215-1及形成在加固构件板210-2内的吊钩孔215-2。吊钩孔215-1及215-2是提升工具的附接点。
如图进一步所示，组件200包括多个加强梁或管220至240。加强梁220通过一对夹板222-1和222-2固定至加固构件板210-1的第一端，加强梁230通过一对夹板232-1和232-2固定至加固构件板210-1的第二端和加固构件板210-2的第一端，并且加强梁240通过一对夹板242-1和242-2固定至加固构件板210-2的第二端。孔224至244穿过加强梁220至240中的相应一者而形成。此外，安装支架226围绕加固构件板210-1的第一端放置，并且安装支架246围绕加固构件板210-2的第二端放置。孔224至244中的每一者都被设计以接收紧固件(例如，螺钉、螺栓和/或螺杆)。例如，紧固件可穿过孔224和安装支架226内的孔进入网桥结构，紧固件可穿过孔234进入网桥结构，并且紧固件可穿过孔244和安装支架246内的孔进入网桥结构。根据本文所述的实施例，组件222-1、222-2、230至240、232-1、232-2、242-1、242-2、226和246可由任何适当的材料形成。例如，这些组件中的一或多者可由钢(例如不锈钢)形成。然而，此举不应认为限制性的。
图3是根据一些实施例的网桥加固构件组件(“组件”)300的透视图。例如，组件300可以是梯部相对侧的网桥加固构件组件，如上文参考图1所描述。
如图所示，组件300包括一对加固构件板310-1及310-2。加固构件板310-1及310-2可被形成以具有适合于放置在图1中所示的数字光刻系统的梯侧内的几何形状和/或大小。例如，如图所示，加固构件板310-1可以是具有适当长度、宽度和高度(即厚度)尺寸的梯形棱柱体，并且310-1可以是具有适当的长度、宽度和高度(即厚度)尺寸的矩形棱柱体或立方体。
在此例示性示例中，梯形棱柱体是直角梯形棱柱体。例如，加固构件板310-1的长度(对应于直角梯形棱柱体的非对角腿)可在约550mm与约710mm之间的范围内，加固构件板310-1的宽度(对应于正交于垂直腿的直角梯形棱柱体的基部的较长一者)可在约755mm与约915mm之间的范围内，并且加固构件板310-1的厚度可在约30mm与约70mm之间的范围内。例如，加固构件板310-1可具有约630mm×约835mm×约50mm的尺寸。然而，这些实施例不应视为限制性的。
在一些实施例中，加固构件板310-2的长度可在约550mm与约710mm之间的范围内，加固构件板310-2的宽度可在约400mm与约560mm之间的范围内，并且加固构件板310-2的厚度可在约15mm与约35mm之间的范围内。例如，加固构件板310-2可具有约630mm×约480mm×约25mm的尺寸。然而，这些实施例不应视为限制性的。
加固构件板310-1及310-2可由具有用于在数字光刻系统内使用的适当材料性质的材料形成。在一些实施例中，加固构件板310-1及310-2可由相同材料形成。在一些实施例中，加固构件板310-1及310-2可各自由不同材料形成。
例如，加固构件板310-1及310-2可由具有适当CTE的材料形成。在一些实施例中，加固构件板310-1及310-2中的至少一者可由花岗石形成。在一些实施例中，加固构件板310-1及310-2中的至少一者可由钢(例如，不锈钢)形成。然而，这些实施例不应视为限制性的，并且加固构件板310-1及310-2可根据本文描述的实施例由具有适当材料性质的任何适当材料形成。根据本文所述的实施例，加固构件板310-1及310-2可具有任何适当的质量或重量。加固构件板310-1及310-2的质量或重量应选择为足够高以实现足够的网桥加固，但低于由系统规范定义的上限。例如，被设计以在数字光刻系统内提升加固构件板310-1及310-2的起重机或其他提升工具可能具有质量或重量限制。在一些实施例中，加固构件板310-1及310-2中的每一者具有范围在约100公斤(kg)与约113kg之间的质量。例如，加固构件板310-1及310-2中的每一者可具有约110kg的质量。
如进一步所示，组件300包括形成在加固构件板310-1内的吊钩孔315-1及形成在加固构件板310-2内的吊钩孔315-2。吊钩孔315-1和315-2用作附接点以使得起重机或其他提升工具能够提升数字光刻系统内的对应加固构件板310-1及310-2。
如进一步所示，组件300包括多个加强梁或管320至240。加强梁320通过一对夹板322-1和322-2固定至加固构件板310-1的第一端，加强梁330通过一对夹板332-1和332-2固定至加固构件板310-1的第二端和加固构件板310-2的第一端，并且加强梁340通过一对夹板342-1和342-2固定至加固构件板310-2的第二端。孔324至344穿过加强梁320至340中的相应一者形成。此外，安装支架326围绕加固构件板310-1的第一端放置，并且安装支架346围绕加固构件板310-2的第二端放置。孔324至344中的每一者都被设计以接收紧固件(例如，螺钉、螺栓和/或螺杆))。例如，紧固件可穿过孔324和安装支架326内的孔进入网桥结构，紧固件可穿过孔334进入网桥结构，并且紧固件可穿过孔344和安装支架346内的孔进入网桥结构。根据本文所述的实施例，组件322-1、322-2、330至240、332-1、332-2、342-1、342-2、326和346可由任何适当的材料形成。例如，这些组件中的一或多者可由钢(例如，不锈钢)形成。然而，此举不应认为限制性的。
图4A至图4E根据一些实施例图示将网桥加固构件组件的加固构件板插入到数字光刻系统400(“系统”)内的过程流程的俯视图。在该例示性示例中，加固构件板被示为梯部相对侧网桥加固构件组件的组件(例如，上文参考图1A至图1B描述的加固构件板170-1和170-2和/或上文参考图3描述的加固构件板310-1及310-2)。然而，类似的过程可用于插入梯侧网桥组件的加固构件板(例如，上文参考图1A至图1B描述的加固构件板160-1和160-2和/或上文参考图2描述的加固构件板210-1及210-2)。
图4A图示经由适当的提升工具(例如，起重机)(未图示)将加固构件板410-1放置于系统400内。如图所示，加固构件板410-1被放置在EYE支架梁或管420-1与对应于EYE加固构件控制器450的EYE加固构件控制器电缆管道430-1之间。系统400进一步包括服务网桥440。EYE加固构件控制器电缆管道430-1可用于承载用于加固构件组件的气动和传感器电缆。
图4B图示加固构件板410-1在服务网桥440下方的滑动或平移。图4C图示加固构件板410-1在EYE加固构件控制器电缆管道430-1下方的滑动或平移。如可从图4C中清楚看出，加固构件板410-1的直角梯形棱柱体形状的对角腿使得加固构件板410-1与EYE控制器450之间有足够的间隙。
图4D图示经由适当的提升工具(例如，起重机)(未图示)将加固构件板410-2放置于系统400内。如图所示，加固构件板410-2被放置于EYE加固构件控制器电缆管道430-1与EYE加固构件控制器电缆管道430-2(类似于EYE加固构件控制器电缆管道430-1)之间。系统400进一步包括EYE支架梁或管420-2。也图示了服务网桥440及EYE加固构件控制器450。图4E图示加固构件板410-2在EYE加固构件控制器电缆管道430-2下方的滑动或平移。
图5根据一些实施例图示用于将网桥加固构件集成至数字光刻系统中的示例方法500的流程图。
在框510处，第一组加固构件板和第二组加固构件板被放置在数字光刻系统内的网桥结构上。网桥结构包括设置在底座结构上的多个网桥。例如，网桥结构可以包括第一网桥、第二网桥及第三网桥。第一组加固构件板可包括放置在第一网桥和第二网桥上的第一加固构件板，以及放置在第二网桥和第三网桥上的第二加固构件板。可在第一和第二加固构件板与第二加固构件板之间形成间隙，该间隙对应于第二网桥上方的区域。第二组加固构件板可包括放置在第一网桥和第二网桥上的第三加固构件板，以及放置在第二网桥和第三网桥上的第四加固构件板。类似于第一组加固构件板，可在第三加固构件板与第四加固构件板之间形成间隙，该间隙对应于第二网桥上方的区域。加固构件板的重叠在网桥结构上应基本上相等。第二组加固构件板可能需要特殊的预防措施，因为第二组加固构件板可能需要侧移。
例如，第一组加固构件板可包括与数字光刻系统的“梯侧”相关联的一对加固构件板，并且第二组加固构件板可包括与数字光刻系统的“梯部相对侧”相关联的一对加固构件板。在该示例中，第一加固构件板可被放置在第一网桥和第二网桥上，与第一网桥和第二网桥的梯端齐平；并且第二加固构件板可被放置在第二网桥和第三网桥上，与第一网桥和第二网桥的梯端齐平。类似地，第三加固构件板可被放置在第一网桥和第二网桥上，与第一网桥和第二网桥的梯部相对端齐平；并且第四加固构件板可被放置在第二网桥和第三网桥上，与第一网桥和第二网桥的梯端齐平。
在一些实施例中，第一加固构件板和第二加固构件板各自具有矩形棱柱体或立方体形状，第三加固构件板具有梯形棱柱体(例如，直角梯形棱柱体)形状，并且第四加固构件板具有矩形棱柱体或立方体形状。在一些实施例中，第一组和第二组加固构件板中的每一者可由相同材料形成。在一些实施例中，加固构件板中的一或多者可由不同材料形成。例如，第一组和第二组加固构件板可各自包括由具有适当CTE的材料形成的加固构件板。在一些实施例中，加固构件板中的至少一者可由花岗石形成。在一些实施例中，加固构件板中的至少一者可由钢(例如，不锈钢)形成。然而，这些实施例不应视为限制性的，并且加固构件板可根据本文描述的实施例由具有适当材料性质的任何适当材料形成。上文参考图1至图4E描述了关于第一组和第二组加固构件板的进一步细节。
在框520处，第一网桥加固构件组件由第一组加固构件板形成，并且第二网桥加固构件组件由第二组加固构件板形成。上文参考图1至图4E描述了关于第一网桥加固构件组件及第二网桥加固构件组件的进一步细节，并且现在将在下文参考图6描述关于第一网桥加固构件组件及第二网桥加固构件组件的形成的进一步细节。
图6根据一些实施例图示由第一组加固构件板形成第一网桥加固构件组件且由第二组加固构件板形成第二网桥加固构件组件的示例方法600的流程图。例如，第一组和第二组加固构件板可被放置在数字光刻系统内，如上文参考图5所述。
在框610处，将多组间隔件安装在第一组及第二组加固构件板的相应位置处。更特别来讲，第一组间隔件安装在第一加固构件板上，第二组间隔件安装在第二加固构件板上，第三组间隔件安装在第三加固构件板上，并且第四组间隔件安装在第四加固构件板上。在一些实施例中，间隔件包括垫片。间隔件的目的是确保与下层的网桥结构接触。
例如，第一组间隔件可包括四个间隔件，每一间隔件设置在第一加固构件板的相应拐角处；第二组间隔件可包括四个间隔件，每一间隔件设置在第二加固构件板的相应拐角处；第三组间隔件可包括四个间隔件，每一间隔件设置在第三加固构件板的相应拐角处；并且第四组间隔件可包括四个间隔件，每一间隔件设置在第四加固构件板的相应拐角处。如果加固构件板的拐角中的一者不与网桥结构接触，则可将额外的间隔件添加至加固构件板。为了测试加固构件板的拐角中的一者是否未与网桥结构接触，可在加固构件板下方照射一束光。然后可在确定光可见的每一位置处添加间隔件。
在框620处，将一组支撑加固构件支架固定至数字光刻系统的梁上。例如，可去除数字光刻系统的现有支架并用支撑加固构件支架替换。用于固定数字光刻系统的现有支架的现有紧固件(例如，螺钉、螺栓和/或螺杆)可用适用于支撑加固构件支架的紧固件代替。
在框630处，第一组夹板及第二组夹板被组装以分别将第一组加固构件板固定至网桥结构并且将第二组加固构件板固定至网桥结构。组装夹板可包括将第一组夹板放置在第一组加固构件板上并且将第二组夹板放置在第二组加固构件板上，将杆放置在第一组夹板和第二组夹板的夹板上，并且安装紧固件以将第一组夹板和第二组夹板固定至第一组加固构件板和第二组加固构件板中的相应一者。例如，第一组夹板可包括形成在第一加固构件板的第一端上的第一对夹板、形成在第一加固构件板的第二端和第二加固构件板的第一端上(在间隙上方)的第二对夹板、以及形成在第二加固构件板的第二端上的第三对夹板。类似地，第二组夹板可以包括形成在第三加固构件板的第一端上的第四对夹板、形成在第三加固构件板的第二端和第四加固构件板的第一端上(在间隙上方)的第五对夹板、以及形成在第四加固构件板的第二端上的第六对夹板。
为了确保正确对准，固定夹板的紧固件可安装得足够松。一旦夹板与杆在数字光刻系统内充分对准，就可充分拧紧紧固件。在上文中参考图1至图5描述了关于由第一组加固构件板形成第一网桥加固构件组件和由第二组加固构件板形成第二网桥加固构件组件的进一步细节。
先前的描述阐述了许多特定细节，诸如特定系统、组件、方法等的示例，以提供对本发明的若干实施例的良好理解。然而，将对本领域技术人员显而易见的是，本发明的至少一些实施例可在没有这些特定细节的情况下实践。在其他情况下，众所熟知的组件或方法未被详细描述或以简单的框图格式呈现，以避免不必要地混淆本发明。因此，所阐述的特定细节仅是示例性的。特定实施可与这些示例性细节不同，并且仍然被预期在本发明的范围内。
在整个说明书中对“一个实施例”或“一实施例”的引用意味着结合所述实施例描述的特定特征、结构或特性被包括在至少一个实施例中。因此，在整个说明书的不同位置出现的用语“在一个实施例中”或“在一实施例中”不一定都指示相同的实施例。此外，术语“或”意欲意味着包含性的“或”而不是排他性的“或”。当本文使用术语“约”或“大约”时，其意欲意味着所呈现的标称值精确在±10％以内。
尽管以特定次序示出和描述了本文方法的操作，但是可改变每一方法的操作次序，以便可以相反的次序执行某些操作，或以便可至少部分地与其他操作同时进行某些操作。在另一实施例中，不同操作的指令或子操作可以间歇和/或交替的方式进行。
应将理解，上述描述意欲为例示性的，而非限制性的。在阅读和理解以上描述之后，许多其他实施方式示例对于本领域技术人员而言将是显而易见的。尽管本公开描述了特定示例，但是将认识到本公开的系统和方法不限于本文描述的示例，而是可在所附请求项的范围内进行修改来实施。因此，说明书及附图被认为是例示性的而非限制性的。因此，本公开的范围应当参考附加权利要求，以及该权利要求所赋予的等效物的全部范围来确定。

Claims (20)

1.一种网桥加固构件组件，包括：
第一加固构件板和第二加固构件板；
多个夹板，所述多个夹板用于将所述第一加固构件板和所述第二加固构件板固定至数字光刻系统的网桥结构，其中所述多个夹板包括：
第一对夹板，所述第一对夹板设置在所述第一加固构件板的第一端上；
第二对夹板，所述第二对夹板设置在所述第一加固构件板的第二端和所述第二加固构件板的第一端上；以及
第三对夹板，所述第三对夹板设置在所述第二加固构件板的第二端上；以及多个加强梁，所述多个加强梁包括设置在所述第一对夹板上的第一加强梁、设置在所述第二对夹板上的第二加强梁、和设置在所述第三对夹板上的第三加强梁。
2.根据权利要求1所述的网桥加固构件组件，其中所述第一加固构件板或所述第二加固构件板中的至少一者是由花岗石或不锈钢的至少一者形成。
3.根据权利要求1所述的网桥加固构件组件，其中所述第一加固构件板和所述第二加固构件板各自具有对应于矩形棱柱体的几何形状。
4.根据权利要求1所述的网桥加固构件组件，其中所述第一加固构件板具有对应于矩形棱柱体的几何形状，并且所述第二加固构件板具有对应于梯形棱柱体的几何形状。
5.根据权利要求1所述的网桥加固构件组件，进一步包括：
设置在所述第一加固构件板上的第一多个间隔件和设置在所述第二加固构件板上的第二多个间隔件，其中所述第一多个间隔件包括各自设置在所述第一加固构件板的相应拐角处的四个间隔件，并且所述第二多个间隔件包括各自设置在所述第二加固构件板的相应拐角处的四个间隔件。
6.根据权利要求1所述的网桥加固构件组件，进一步包括：
第一吊钩孔，所述第一吊钩孔形成在所述第一加固构件板内；以及
第二吊钩孔，所述第二吊钩孔形成在所述第二加固构件板内。
7.根据权利要求1所述的网桥加固构件组件，进一步包括：
加强梁孔，所述加强梁孔穿过所述多个加强梁中的每一加强梁形成以接收紧固件，所述紧固件用于将所述第一加固构件板和所述第二加固构件板固定至所述网桥结构。
8.根据权利要求1所述的网桥加固构件组件，进一步包括：
围绕所述第一加强梁设置的第一安装支架和围绕所述第三加强梁设置的第二安装支架，其中所述第一安装支架和所述第二安装支架用于分别将所述网桥加固构件组件固定至所述数字光刻系统的第一曝光单元支架梁和所述数字光刻系统的第二曝光单元支架梁。
9.一种数字光刻系统，包括：
曝光单元区域；
网桥结构，所述网桥结构包括各自设置在底座上的第一网桥、第二网桥和第三网桥；
第一网桥加固构件组件，所述第一网桥加固构件组件固定至所述网桥结构，所述第一网桥加固构件组件包括设置在所述网桥结构的一端与所述曝光单元区域的第一端之间的第一加固构件板和第二加固构件板；以及
第二网桥加固构件组件，所述第二网桥加固构件组件固定至所述网桥结构，所述第二网桥加固构件组件包括各自与所述曝光单元区域的第二端相邻的第三加固构件板和第四加固构件板。
10.根据权利要求9所述的数字光刻系统，进一步包括：
曝光单元控制器盒；
其中所述第二网桥加固构件组件被设置在所述曝光单元控制器盒与所述曝光单元区域的所述第二端之间。
11.根据权利要求9所述的数字光刻系统，其中所述第一加固构件板和所述第二加固构件板各自具有对应于矩形棱柱体的几何形状，其中所述第三加固构件板具有对应于矩形棱柱体的几何形状，并且所述第四加固构件板具有对应于梯形棱柱体的几何形状。
12.根据权利要求9所述的数字光刻系统，其中：
所述第一网桥加固构件组件进一步包括第一多个夹板，所述第一多个夹板用于将所述第一加固构件板和所述第二加固构件板固定至所述网桥结构，所述第一多个夹板包括设置在所述第一加固构件板的第一端上的第一对夹板、设置在所述第一加固构件板的第二端和所述第二加固构件板的第一端上的第二对夹板、以及设置在所述第二加固构件板的第二端上的第三对夹板；以及
所述第二网桥加固构件组件进一步包括第二多个夹板，所述第二多个夹板用于将所述第三加固构件板和所述第四加固构件板固定至所述网桥结构，所述第二多个夹板包括设置在所述第三加固构件板的第一端上的第四对夹板、设置在所述第三加固构件板的第二端和所述第四加固构件板的第一端上的第五对夹板、和设置在所述第四加固构件板的第二端上的第六对夹板。
13.根据权利要求12所述的数字光刻系统，其中：
所述第一网桥加固构件组件进一步包括第一多个加强梁，所述第一多个加强梁包括设置在所述第一对夹板上的第一加强梁、设置在所述第二对夹板上的第二加强梁、和设置在第三对夹板上的第三加强梁，其中所述多个加强梁中的每一加强梁；以及
所述第二网桥加固构件组件进一步包括第二多个加强梁，所述第二多个加强梁包括设置在所述第四对夹板上的第四加强梁、设置在所述第五对夹板上的第五加强梁、和设置在所述第六对夹板上的第六加强梁，其中所述多个加强梁中的每一加强梁。
14.根据权利要求13所述的数字光刻系统，进一步包括加强梁孔，所述加强梁孔穿过所述第一多个加强梁和所述第二多个加强梁中的每一加强梁形成以接收紧固件，所述紧固件用于将所述第一网桥组件和所述第二网桥组件固定至所述网桥结构。
15.根据权利要求9所述的数字光刻系统，进一步包括：
第一多个间隔件，所述第一多个间隔件设置在所述第一加固构件板上，所述第一多个间隔件包括各自设置在所述第一加固构件板的相应拐角处的四个间隔件；
第二多个间隔件，所述第二多个间隔件设置在所述第二加固构件板上，所述第二多个间隔件包括各自设置在所述第二加固构件板的相应拐角处的四个间隔件；
第三多个间隔件，所述第三多个间隔件设置在所述第三加固构件板上，所述第三多个间隔件包括各自设置在所述第三加固构件板的相应拐角处的四个间隔件；以及
第四多个间隔件，所述第四多个间隔件设置在所述第四加固构件板上，所述第四多个间隔件包括各自设置在所述第四加固构件板的相应拐角处的四个间隔件。
16.根据权利要求9所述的数字光刻系统，进一步包括：
第一吊钩孔，所述第一吊钩孔形成在所述第一加固构件板内；
第二吊钩孔，所述第二吊钩孔形成在所述第二加固构件板内；
第三吊钩孔，所述第三吊钩孔形成在所述第三加固构件板内；以及
第四吊钩孔，所述第四吊钩孔形成在所述第四加固构件板内。
17.根据权利要求9所述的数字光刻系统，进一步包括：
横跨所述第一网桥的第一曝光单元支架梁，和横跨所述第三网桥的第二曝光单元支架梁；
第一安装支架，所述第一安装支架围绕所述第一加强梁设置以将所述第一网桥加固构件组件固定至所述第一曝光单元支架梁；
第二安装支架，所述第二安装支架围绕所述第三加强梁设置以将所述第一网桥加固构件组件固定至所述第二曝光单元支架梁；
第三安装支架，所述第三安装支架围绕所述第四加强梁设置以将所述第二网桥加固构件组件固定至所述第一曝光单元支架梁；以及
第四安装支架，所述第四安装支架围绕所述第六加强梁设置以将所述第二网桥加固构件组件固定至所述第二曝光单元支架梁。
18.一种方法，包括：
将第一组加固构件板和第二组加固构件板放置在数字光刻系统内的网桥结构上，其中所述网桥结构包括第一网桥、第二网桥和第三网桥，其中所述第一组加固构件板包括放置在所述第一网桥和所述第二网桥上的第一加固构件板和放置在所述第二网桥和所述第三网桥上的第二加固构件板，并且其中所述第二组加固构件板包括放置在所述第一网桥和所述第二网桥上的第三加固构件板和放置在所述第二网桥和所述第三网桥上的第四加固构件板；以及
由所述第一组加固构件板形成第一网桥加固构件组件，并且由所述第二组加固构件板形成第二网桥加固构件组件。
19.根据权利要求18所述的方法，其中由所述第一组加固构件板形成所述第一网桥加固构件组件并且由所述第二组加固构件板形成所述第二网桥加固构件组件包括：
将第一组夹板和第二组夹板组装以分别将所述第一组加固构件板固定至所述网桥结构，并且将所述第二组加固构件板固定至所述网桥结构；
其中所述第一组夹板包括设置在所述第一加固构件板的第一端上的第一对夹板、设置在所述第一加固构件板的第二端和所述第二加固构件板的第一端上的第二对夹板、以及设置在所述第二加固构件板的第二端上的第三对夹板；以及
其中所述第二组夹板包括设置在所述第三加固构件板的第一端上的第四对夹板、设置在所述第三加固构件板的第二端和所述第四加固构件板的第一端上的第五对夹板、以及设置在所述第四加固构件板的第二端上的第六对夹板。
20.根据权利要求19所述的方法，其中由所述第一组加固构件板形成所述第一网桥加固构件组件并且由所述第二组加固构件板形成所述第二网桥加固构件组件进一步包括：
在组装所述第一组夹板和所述第二组夹板之前，将第一组间隔件安装在所述第一加固构件板上、将第二组间隔件安装在所述第二加固构件板上、将第三组间隔件安装在所述第三加固构件板上、并且将第四多个间隔件安装在所述第四加固构件板上；
其中所述第一组间隔件包括各自设置在所述第一加固构件板的相应拐角处的四个间隔件，所述第二组间隔件包括各自设置在所述第二加固构件板的相应拐角处的四个间隔件，所述第三组间隔件包括各自设置在所述第三加固构件板的相应拐角处的四个间隔件，并且所述第四组间隔件包括各自设置在所述第四加固构件板的相应拐角处的四个间隔件；以及
在安装所述第一组间隔件和所述第二组间隔件之后，将多个支撑加固构件支架固定至所述数字光刻系统的梁。
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