KR102407281B1 - 클린 스토커 시스템 - Google Patents

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Abstract

클린 스토커 시스템에 관하여 개시된다. 본 발명은, 주행 레일을 구비하는 주행 궤도부, 상기 주행 레일에 안착되어 상기 주행 레일을 따라 수평 방향으로 이동 가능하도록 설치된 스토커 본체; 상기 스토커 본체의 상단에 설치되어 제어신호로 회전이 제어되는 구동부의 축에 감기고 풀리는 케이블; 및 상기 케이블에 연결되어 상기 구동부의 작동을 통한 케이블의 상하 당김과 풀림으로 수직 방향으로 움직이면서 물류를 수직 방향으로 이동시키는 승강 유닛;을 포함하여 구성될 수 있다.

Description

클린 스토커 시스템{Clean stocker system}
본 발명은 클린 스토커 시스템에 관한 것으로서 더 상세하게는 전후 좌우로 이동 중 발생되는 파티클을 억제하거나 줄이는 클린 스토커 시스템에 관한 것이다.
클린 환경을 필요로 하는 반도체 제조공정 또는 LCD/OLED/PDP 등을 포함한 평판표시소자 등의 제조공정에서 운용되는 자동 이송장비는 기판이나 유리원판(이하, '기판'이라 한다)을 정해진 이송라인을 따라 반송하면서 단계별 공정 수행으로 제품을 제조하기 위해 스토커 시스템(stocker system) 등의 장비들을 이용하고 있다. 예를 들면, 반도체 제조공정 중 기판의 취급에서 기판을 정해진 이송라인으로 반송하기 위해서는 여러 장의 기판을 동시에 적재하여 이동시키고 보관할 수 있는 카세트 또는 매거진(이하, '물류'라 한다) 등이 사용되는데 많은 수의 수용용기들을 스토커 시스템을 통해 반송하는 과정에서 스토커 시스템을 구성하는 구동부 및 가이드의 작동 중 마찰과 마모, 충돌, 단차 진동, 기울어짐 등에 의해 다량의 파티클(Particle)이 발생 되고 있다. 이렇게 발생된 파티클은 제조 공정 라인을 따라 이송되는 기판 또는 제품에 침투되어 기판을 오염시키고 수율을 저하시키는 원인이 되고 있다. 특히, 반도체 제조 공정 중 스토커 시스템을 통한 기판의 이송처리 과정에서 파티클의 억제와 예방은 생산 공정의 연속성 유지와 제품의 질, 그리고 수율에 직접 영향을 미치고 있지만 스토커 시스템의 운용은 그 자체로서 파티클의 발생을 동반하므로 원인을 찾아서 해결하는 방법이 대안일 수 있다. 현재 스토커 시스템은 구조적으로 기계적 마찰과 마모에 따른 상당량의 파티클을 발생시키고 있어 파티클의 발생을 억제하고 예방할 수 있는 새로운 클린 스토커 시스템이 필요한 요구되고 있다.
특허문헌 1. KR 공개특허 제10-2010-0098840(공개일 2010년09월10일)
특허문헌 2. KR 공개특허 제10-2002-0017494(공개일 2002년03월07일)
본 발명은 상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로, 본 발명에서 해결하고자 하는 기술적 과제 중 하나는, 스토커 시스템의 운용 중 발생되는 파티클을 효과적으로 억제하거나 줄이는 클린 스토커 시스템을 제공하는데 있다.
상기 목적들은, 본 발명에 따르면, 주행 레일을 구비하는 주행 궤도부, 상기 주행 레일에 안착되어 상기 주행 레일을 따라 수평 방향으로 이동 가능하도록 설치된 스토커 본체; 상기 스토커 본체의 상단에 설치되어 제어신호로 회전이 제어되는 구동부의 축에 감기고 풀리는 케이블; 및 상기 케이블에 연결되어 상기 구동부의 작동을 통한 케이블의 상하 당김과 풀림으로 수직 방향으로 움직이면서 물류를 수직 방향으로 이동시키는 승강 유닛;을 포함하는 클린 스토커 시스템으로부터 달성될 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따르면, 상기 주행 레일의 주변부에는 리츠 케이블을 설치하여 상기 리츠 케이블을 통해 비접촉으로 스토커 주행에 필요한 전원을 공급하도록 구성될 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따르면, 상기 스토커 본체의 하부에는 상기 주행 레일을 따라 이동하는 주행부를 설치하여 구성될 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따르면, 상기 주행부는, 주행 레일을 따라 이동하는 주행 휠의 주변부에 설치되어 상기 주행 휠의 회전 이동 중 발생되는 파티클의 회수를 유도하는 석션 휠 커버; 및 상기 석션 휠 커버의 외부에 장착되어 파티클의 흡입하는 흡입력을 발생시키는 석션 모터;를 포함하는 것으로 구성될 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따르면, 상기 주행부는 파티클을 정화 처리하는 정화장치를 포함하는 것으로, 상기 정화장치는, 상기 석션 모터에 의해 발생되는 흡입력으로 파티클을 회수하는 과정에서 비교적 입자가 큰 파티클을 사이클론 기류를 형성시켜 1차적으로 걸러주는 제1 필터; 및 상기 제1 필터의 상부에 설치되어 상기 제1 필터를 통과하는 파티클에 포함된 미세 입자를 걸러주는 헤파 필터;를 포함하여 구성될 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따르면, 상기 스토커 본체의 상부에 구동부가 위치되도록 설치하고, 상기 구동부는, 제어부로부터 제어신호로 구동되는 모터 및 그 모터의 축, 상기 축에 결합되어 상기 케이블을 축의 회전 방향에 따라 감거나 풀어주는 권취 릴을 포함하여 구성될 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따르면, 상기 구동부는 상기 스토커 본체의 상판에 오와 열을 맞추어 4개소로 대칭적으로 정렬 배치시켜 4개소의 각 케이블을 승강 유닛에 접속 연결하여, 상기 승강 유닛의 승하강 운동 중 힘의 비대칭 분배로 인한 사행 승강을 방지하도록 구성될 수 있다.
본 발명은, 클린 환경이 요구되는 제조 및 물류 이송 공정에서 파티클 발생을 억제하면서 운용할 수 있는 클린 스토커 시스템을 제공하는 효과가 있다.
또한, 본 발명은, 물류를 이동시키는 승강 유닛의 승강 과정에서 마찰과 마모를 없애거나 최소화시키도록 유도되어 파티클 발생이 억제되거나 발생되는 양이 기존에 비해 감소되는 클린 스토커 시스템을 제공하는 효과가 있다.
또한, 본 발명은, 주행 궤도부를 따라 리츠 케이블을 설치하여 스토커 시스템에 공급되는 전원을 비접촉으로 공급함으로써, 스토커 시스템의 전후 이동 시 파티클 발생을 최소화시키는 효과가 있다.
도 1 은 본 발명의 실시 예에 따른 클린 스토커 시스템의 예이다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 클린 스토커 시스템의 본체를 나타낸 예이다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 클린 스토커 시스템의 정면을 나타낸 예이다.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 클린 스토커 시스템의 일측면을 나타낸 예이다.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 클린 스토커 시스템을 구성하는 주행부의 예시이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명에 따른 '클린 스토커 시스템'을 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
클린 환경의 반도체 제조공정에서 운용되는 스토커 시스템의 예를 반도체 제조공정 중 후공정에서 예를 들면, 다수의 물류를 적재하여 운반하고 운반 도중 로딩/언로딩 장치를 이용하여 취급하고 있으며 이러한 로딩/언로딩 장치에는 물류를 반송하는 스토커가 설치되어 물류 자체를 승강시키거나 또는 수납된 기판을 승하강 시키는 역할을 하고 있으며 반도체 제조공정의 후공정부에서 사용되고 있는 스토커의 구성은 일반적으로 제어수단에 의해 동작이 제어되는 구동수단, 구동수단의 작동으로 물류를 운반하는 승강 블럭, 구동수단에 의해 회전되어 승강 블럭을 위아래로 승강시키는 가이드로 되어 있다.
승강 블럭을 승강시키는 방식으로는 흔히 볼스크류 방식과 벨트 체인 방식이 이용되고 있다. 승강 블럭을 이동시키는 볼스크류 또는 벨트 체인은 승강 블럭의 승강을 위해 업-다운이 반복되어 분진을 일으키거나 파티클 발생원으로 될 수 있는데 볼스크류식 리프터의 예를 들면 제어부 입력신호에 의해 모터가 작동하면 공정 진행 방향과 수직으로 배치되는 볼스크류가 회전하고 여기에 맞물리는 이송너트 또는 볼스크류 홀더에 의해 이동블럭이 승강되는데 볼스크류 의존형 승강 방식의 리프터는 볼스크류와 가이드에서 기계적 마찰 마모가 지속적으로 발생되어 파티클 발생을 억제하는데 한계가 있다.
볼스크류 방식의 리프터의 운용은 그 자체로서 파티클 발생을 동반하게 된다. 따라서, 반도체 제조공정을 포함한 파티클 관리가 필요한 클린 환경의 물류 처리 공정에서는 분진을 일으키지 않으면서도 파티클 제어가 가능한 클린 스토커 시스템을 필요로 하고 있다.
본 발명은, 물류를 이송하는 스토커 시스템의 운용 중 파티클 발생을 억제하거나 예방하여 클린 환경 유지에 부합되는 이송 장비의 하나로 운용 가능한 클린 스토커 시스템으로 제시된다.
본 발명은, 물류를 이동시키는 승강 유닛이 슬라이드 점 접촉 롤링으로 접촉 저항과 마찰을 줄이면서 승강 되도록 유도되어 파티클 발생이 억제되는 클린 스토커 시스템으로 제시된다.
본 발명은, 주행 궤도부를 따라 리츠 케이블을 설치하여 스토커 시스템에 공급되는 전원을 비접촉으로 공급함으로써, 스토커 시스템의 전후 이동 시 파티클 발생을 최소화시키는 클린 스토커 시스템으로 제시된다.
이를 위하여, 주행 모듈(Travel Driving Module), 승강 모듈(Lift Module), 이적재 모듈(Fork Module), 시스템을 통합 제어하는 Computer Control System에 대한 제안이 필요하다.
본 발명은 각각의 모듈(Module)들에 전원을 공급하기 위한 전원공급 장치로서 리츠 케이블(Litz-cable)을 설치하여 구성되는 비접촉식 전원 공급 장치가 제안된다.
도 1 은 본 발명의 실시 예에 따른 클린 스토커 시스템의 예이다. 도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 클린 스토커 시스템의 본체를 나타낸 예이다. 도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 클린 스토커 시스템의 정면을 나타낸 예이다. 도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 클린 스토커 시스템의 일측면을 나타낸 예이다.
본 발명의 실시 예에 따른 클린 스토커 시스템(100)은, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 제어부(미도시)의 제어신호로 제어되는 구동부(120), 구동부(120)의 축에 감기고 풀리는 케이블(130), 케이블(130)의 당김과 풀림으로 견인 또는 하강되도록 수직 방향으로 움직이는 승강 유닛(140)으로 이루어진다.
구체적으로는, 도 1에 도시된 바와 같이, 주행 레일(210)을 구비하는 주행 궤도부(200), 주행 레일(210)에 안착되어 주행 레일(210)을 따라 수평 방향으로 이동 가능하도록 설치된 스토커 본체(110)를 포함하여 구성될 수 있다.
그리고, 스토커 본체(110)의 상단에 설치되어 제어신호로 회전이 제어되는 구동부(120)의 축에 감기고 풀리는 케이블(130)을 포함하여 구성될 수 있다.
그리고, 케이블(130)에 연결되어 구동부(120)의 작동을 통한 케이블(130)의 당김과 풀림으로 수직 방향으로 움직이면서 물류를 수직 방향으로 이동시키는 승강 유닛(140)을 포함하여 구성될 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 클린 스토커 시스템(100)은, 도 1에 도시된 바와 같이, 주행 레일(210)에는 리츠 케이블(220)을 설치하여 리츠 케이블(220)을 통해 비접촉으로 전원을 공급하도록 구성될 수 있다. 이를 통해 스토커 본체(110)의 전후 이동 시 이동간 마찰에 의해 발생되는 파티클의 발생량을 최소화시킬 수 있다.
예를 들면, 전원 공급방식은 유선을 이용한 방식과 비접촉 무선을 이용하는 방법이 있으나 유선 방식의 경우 케이블의 보호를 위해 케이블을 감싸고 있는 케이블 베어에서 다수의 파티클이 발생되어 클린룸 환경에서 사용하기에 한계가 있어 비접촉 방식의 리츠 케이블(Litz Cable)을 이용하여 무선으로 전원을 공급하여 파티클 발생원을 줄이는 설계가 바람직할 수 있다. Ltiz Cable을 통해 통상적으로 5kW 대의 전기를 공급할 수 있으므로 주행 궤도부(200)의 주행 레일(210)의 주변부를 따라 리츠 케이블(220)을 설치하는 경우 이를 통해 필요로 하는 전기를 케이블 베어 방식을 대체하여 파티클 발생을 최소화시키면서 공급할 수 있게 된다.
또한, 본 발명의 실시 예에 따른 클린 스토커 시스템(100)은, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 스토커 본체(110)의 하부에는 주행 레일(210)을 따라 이동하는 주행부(150)를 설치하여 구성될 수 있다.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 클린 스토커 시스템을 구성하는 주행부의 예시이다.
바람직하게는, 주행부(150)는, 도 5에 도시된 바와 같이, 주행 레일(210)을 따라 이동하는 주행 휠(151)의 주변부에 설치되어 주행 휠(151)의 회전 이동 중 발생되는 파티클의 회수를 유도하는 석션 휠 커버(160)를 장착하여 구성될 수 있다.
그리고, 석션 휠 커버(160)의 외부에 장착되어 파티클의 흡입하는 흡입력을 발생시키는 석션 모터(161)를 설치하여 구성될 수 있다.
또한, 주행부(150)는 파티클을 정화 처리하는 정화장치를 포함하여 구성될 수 있다. 정화장치는, 석션 모터(161)에 의해 발생되는 흡입력으로 파티클을 회수하는 과정에서 비교적 입자가 큰 파티클을 사이클론 기류를 형성시켜 1차적으로 걸러주는 제1 필터(170)로 구성될 수 있다.
그리고, 제1 필터(170)의 상부에 설치되어 상기 제1 필터(170)를 통과하는 파티클에 포함된 미세 입자를 걸러주는 헤파 필터(171)를 포함하여 구성될 수 있다.
여기서, 제1 필터(170)는 입자가 큰 파티클을 1차적으로 회수하고, 연속적으로 미세 입자의 파티클을 분리하여 헤파 필터(171)를 통해 2차로 걸러주도록 작용한다. 이에 따라, 헤파 필터(171)의 가용 수명이 연장되고, 주행 휠(151)의 주행 중 발생되는 마찰 마모 파티클을 정화 장치를 통해 효과적으로 회수할 수 있으므로 스토커 시스템 운용 중 파티클의 대기 유출을 차단할 수 있으며, 실내 오염을 획기적으로 줄이게 된다.
또한, 본 발명의 실시 예에 따른 클린 스토커 시스템(100)은, 승강 유닛(140)의 수직 방향 이동을 안정적으로 유도하고 가이드 하는 가이드 유닛을 포함하여 구성될 수 있다.
또한, 스토커 본체(110)의 상부에 구동부(120)가 위치하도록 설치하고, 구동부(120)는, 제어부로부터 제어신호로 구동되는 모터 및 그 모터의 축, 상기 축에 결합되어 상기 케이블(130)을 축의 회전 방향에 따라 감거나 풀어주는 권취 릴(121)을 포함하여 구성될 수 있다.
또한, 구동부(120)는 상기 스토커 본체(110)의 상판(111)에 오와 열을 맞추어 4개소로 대칭적으로 정렬 배치시켜 각각 4개소의 케이블(130)을 승강 유닛(140)에 접속 연결하여, 승강 유닛(140)의 승하강 운동 중 힘의 비대칭 분배로 인한 사행 승강을 방지하도록 구성될 수 있다.
또한, 구동부(120)는, 제어부로부터 제어신호로 구동되는 모터 및 그 모터의 축, 축에 결합되어 케이블(130)을 축의 회전 방향에 의해 권취 하거나 풀어서 내리는 권취 릴(121)로 구성될 수 있으며, 구동부(120)는 스토커 본체(110)의 상판(111))에 설치될 수 있으며 축의 일단은 지지블럭으로 지지되어 상판(111) 상에 설치될 수 있다. 상판(111)에는 케이블(130)이 지나다니는 통로로서 가이드 홀(미도시)을 뚫어서 구성할 수 있다.
케이블(130)은, 구동부(120)의 축에 감기고 풀릴 수 있는 연질 소재 중에서 선택된 띠 모양의 밴드형의 벨트가 바람직할 수 있다. 전원선, 신호선, 심선 중 하나 이상의 와이어가 밴드형의 벨트에 의해 감싸져 피복된 상태의 구성이 바람직한 케이블(130)로 사용될 수 있다.
바람직하게는, 와이어들과 벨트 사이는 절연제를 채워넣어 신호 교란을 줄이도록 하고, 바람직하게는 벨트의 강성과 인성이 충분히 유지될 수 있도록 성형하는 하는 것이 좋으며, 벨트를 따라 설치되는 와이어들은 벨트 성형 과정에서 와이어를 함침시켜 일체형으로 형성하여 구성될 수 있다.
벨트는 와이어를 보호하는 피복제로서 기능 하고, 바람직하게는, 끊어지지 않고 질긴 인성과 릴에 자유롭게 감기고 휠 수 있는 물성이 있는 것이 좋다. 벨트의 소재 재료로는 바람직하게는 내마모, 내진, 내충격성을 적어도 하나 이상 가지는 합성수지, 연질수지, 폴리우레탄, 폴리프로필렌 중에서 선택될 수 있다.
승강 유닛(140)은, 일종의 로봇을 포함할 수 있다. 승강 유닛(140)은 케이블(130)에 연결되는 헤드, 헤드는 케이블 장력으로 수직 방향 위치가 결정되고, 헤드에는 물류를 클램핑 하는 클램핑 핑커를 구비할 수 있다.
본 발명에 적용 가능한 승강 유닛으로는 프로그램 제어로 작동 가능한 통상의 승강 유닛(일종의 로봇을 포함할 수 있다)을 포함할 수 있으며, 4-WAY 케이블(130)을 장착하여 승강시키는 것과 관련되므로 승강 유닛의 작동 원리 및 구조는 본 발명의 요지와 직접 관련이 없어 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.
승강 유닛(140)은, 스토커 본체(110)의 상판(111)에 대하여 수직 방향으로 장착되어 있으며, 수직 방향 현재 위치에 의해 수직 방향 위치가 결정되도록 되어 있다.
승강 유닛(140)은 제어부로부터 제어신호에 의해 상하 방향으로 일정한 스트로크로 승강 되면서 물류를 잡고 움직이면서 이송시킬 수 있는 이동 가능한 통상의 장치로 구성될 수 있다.
한편, 도 1 내지 도 5를 참조하면 케이블(130)은 승강 유닛(140)에 장착되어 구동부(120)의 회전이 있을 때 승강 유닛(140)을 수직 방향으로 들어올리거나 반대로 밑으로 내려 주는 역할만 하기 때문에 주변 구조물과 접촉되지 않고 마찰 저항 없이 무저항으로 올라가거나 내려가는 동작만 반복적으로 나타내므로 케이블(130)의 내마모성은 지속적으로 유지 보존될 수 있다.
이와 비교되는 벨트 체인 방식이 적용되고 있는 기존의 스토커는 벨트 체인이 이송블럭의 승강이 있을 때 정해진 궤도를 따라 반복적으로 작동되고 작동 과정에서 기계적 마찰에 의한 마모가 지속적으로 발생 되지만, 케이블(130)이 적용된 본 발명은 케이블(130)이 권취 릴(121)에 감길 때 무리한 힘이 전달되지 않아 케이블(120)의 내마모성이 지속적으로 유지 보존될 수 있다.
특히, 스토커 본체(110)의 상판(111)에 오와 열을 맞추어 4개소로 대칭적으로 정렬 배치된 구동부(120)와 각각 4개소의 케이블(130)을 승강 유닛(140)에 접속 연결하고, 이를 통해 승강 유닛(140)의 승하강 운동 중 힘의 비대칭 분배로 인한 사행 승강을 방지할 수 있으며, 사행 작동에 따른 마모를 줄여 파티클의 발생을 차단할 수 있게 되는데, 케이블(130)의 내마모성은 파티클 발생을 억제 시키는 것과 같으므로 기존 벨트 체인에 비해 파티클을 줄이는 유리한 작용을 한다.
본 발명에 따른 클린 스토커 시스템은 케이블을 통해 승강 유닛을 무저항 무마찰 상태로 직접 승강시킬 수 있을 뿐만 아니라 가이드 유닛을 통해 승강 유닛을 승강시키는 경우에도 저마찰 저마모 상태로 승강시킬 수 있으므로 파티클 발생을 최소로 억제할 수 있는 유리한 이점이 있다.
본 발명은, 클린 환경이 요구되는 물류 처리 과정에서 파티클 발생을 억제하면서 운용할 수 있는 클린 스토커 시스템으로 제공될 수 있고, 승강 유닛의 승강과정에서 파티클 발생이 억제되거나 예방되어 클린 환경의 이송설비로서 적합한 고성능의 클린 스토커 시스템으로 활용할 수 있는 유리한 이점이 있다.
본 발명은, 주행 궤도부를 따라 리츠 케이블을 설치하여 스토커 시스템에 공급되는 전원을 비접촉으로 공급함으로써, 스토커 시스템의 전후 이동 시 파티클 발생을 최소화시키는 유리한 이점이 있다.
본 발명은 도면에 도시된 일 실시 예를 참고로 설명되었으나 실시 예로 한정되지 않으며 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 수정 및 변형하여 실시할 수 있으며 수정과 변형이 이루어진 것은 본 발명의 기술 사상에 포함된다.
100: 클린 스토커 시스템 110: 스토커 본체
111: 상판 120: 구동부
121: 권취 릴 130: 케이블
140: 승강 유닛 150: 주행부
151: 주행 휠 160: 석션 휠 커버
161: 석션 모터 170: 제1 필터
171: 헤파 필터 200: 주행 궤도부
210: 주행 레일
220: 리츠 케이블(Litz-cable)

Claims (7)

  1. 주행 레일을 구비하는 주행 궤도부, 상기 주행 레일에 안착되어 상기 주행 레일을 따라 수평 방향으로 이동 가능하도록 설치된 스토커 본체; 상기 스토커 본체의 상단에 설치되어 제어신호로 회전이 제어되는 구동부의 축에 감기고 풀리는 케이블; 및 상기 케이블에 연결되어 상기 구동부의 작동을 통한 케이블의 상하 당김과 풀림으로 수직 방향으로 움직이면서 물류를 수직 방향으로 이동시키는 승강 유닛;을 포함하는 클린 스토커 시스템에 있어서,
    상기 구동부는 상기 스토커 본체의 상판 양편에 간격을 두고 오와 열을 맞추어 4개소에 독립적으로 각각 대칭적으로 정렬시켜 배치 구성하되 상기 4개소의 구동부는 각각 케이블을 통해 상기 승강 유닛에 접속 연결되어 상기 승강 유닛의 승하강 운동 중 힘의 비대칭 분배로 인한 사행 승강을 방지하도록 구성되고, 상기 케이블은 상기 구동부의 축에 감기고 풀릴 수 있는 연질 소재 중에서 선택된 띠 모양의 벨트로 구성하되 와이어가 벨트에 의해 감싸져 피복된 상태로 구성되고 상기 와이어와 벨트 사이는 절연제를 채워넣어 상기 구동부측 제어신호 교란을 억제하도록 구성된 것을 특징으로 하는 클린 스토커 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 주행 레일의 주변부에는 리츠 케이블을 설치하여 상기 리츠 케이블을 통해 비접촉으로 스토커 주행에 필요한 전원을 공급하도록 구성된 것을 특징으로 하는 클린 스토커 시스템.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 스토커 본체의 하부에는 상기 주행 레일을 따라 이동하는 주행부가 설치된 것을 특징으로 하는 클린 스토커 시스템.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 주행부는, 주행 레일을 따라 이동하는 주행 휠의 주변부에 설치되어 상기 주행 휠의 회전 이동 중 발생되는 파티클의 회수를 유도하는 석션 휠 커버; 및
    상기 석션 휠 커버의 외부에 장착되어 파티클의 흡입하는 흡입력을 발생시키는 석션 모터;로 구성된 것을 특징으로 하는 클린 스토커 시스템.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 주행부는 파티클을 정화 처리하는 정화장치를 포함하는 것으로, 상기 정화장치는, 상기 석션 모터에 의해 발생되는 흡입력으로 파티클을 회수하는 과정에서 비교적 입자가 큰 파티클을 사이클론 기류를 형성시켜 1차적으로 걸러주는 제1 필터; 및 상기 제1 필터의 상부에 설치되어 상기 제1 필터를 통과하는 파티클에 포함된 미세 입자를 걸러주는 헤파 필터;를 포함하는, 클린 스토커 시스템.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 스토커 본체의 상부에 구동부가 위치되도록 설치하고, 상기 구동부는, 제어부로부터 제어신호로 구동되는 모터 및 그 모터의 축, 상기 축에 결합되어 상기 케이블을 축의 회전 방향에 따라 감거나 풀어주는 권취 릴을 포함하는, 클린 스토커 시스템.
  7. 삭제
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