JP2010111513A - 移送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】移送装置を提供する。
【解決手段】垂直軸線を形成するプロファイルと、プロファイルに隣接して設けられて被移送物を支持し、プロファイルの垂直軸線に沿ってプロファイルに対して相対的にアップ／ダウン移動するカーアセンブリーと、プロファイルとカーアセンブリーとのうち少なくとも何れか一つに設けられてカーアセンブリーのアップ／ダウン移動時、プロファイルに対するカーアセンブリーの移動経路を非接触式で案内する非接触式アップ／ダウン案内ユニットと、を含むことを特徴とする移送装置。本発明によれば、被移送物に対する高速移送が可能でありながらも、移送速度を安定的に維持及び制御し、かつ被移送物の移送過程中にパーティクルの発生を防止できるということはもとより、従来よりさらにノイズを減らせて、耐久性を向上させうる。
【選択図】図１

Description

本発明は、移送装置に係り、より詳細には、被移送物に対する高速移送が可能でありながらも、移送速度を安定的に維持及び制御し、かつ被移送物の移送過程中にパーティクルの発生を防止できるということはもとより、従来よりさらにノイズを減らせて、耐久性を向上させることができる移送装置に関する。

移送装置とは、被移送物を移送する装置である。ここで、被移送物とは、ＬＣＤ（Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）、 ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ ＤｉｓｐｌａｙＰａｎｅｌ）及びＯＬＥＤ（Ｏｒｇａｎｉｃ Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅｓ）などを含む基板、半導体用ウェーハ、基板やウェーハを収容して支持するトレーやカセットになり得る。それ以外に、一般的なボックスを含めた各種の多様な物流品にもなりうる。しかし、説明の便宜上、以下では、被移送物をＬＣＤ基板を収容したカセットについてのみ限定して説明する。

最近、半導体産業のうち、電子ディスプレイ産業の急な発展に伴って平面ディスプレイ（Ｆｌａｔ Ｐａｎｅｌ Ｄｉｓｐｌａｙ、ＦＰＤ）が登場し始めた。平面ディスプレイは、ＴＶやコンピュータモニターなどにディスプレイ（Ｄｉｓｐｌａｙ）として主に使われた陰極線管（ＣＲＴ、Ｃａｔｈｏｄｅ Ｒａｙ Ｔｕｂｅ）より薄くて軽い映像表示装置である。このような平面ディスプレイには、ＬＣＤ、ＰＤＰ及びＯＬＥＤなどの基板があるが、そのうち、ＬＣＤは現在、電子時計を含めて、電子計算機、ＴＶ、ノート型パソコンなど電子製品から自動車、航空機の速度表示板及び運行システムなどに至るまで幅広く使われている。

ＬＣＤの製造工程上、各工程に順次または個別的にＬＣＤ基板が移送される必要があり、ＬＣＤ基板を収容したカセットがベルトコンベヤーなどの水平移送装置または昇降エレベーターなどの垂直移送装置を用いて各工程に移送される。

垂直移送装置は、一般的に支持フレームと、カセットが積載されるアップ／ダウンフレームと、アップ／ダウンフレームをアップ／ダウンさせる駆動部とを備える。アップ／ダウンフレームのアップ／ダウン方式は、ギアやベルトなどがアップ／ダウンフレームと駆動部とを機械的に連結して駆動部の動力でアップ／ダウンフレームの昇降が行われる。機械的な連結は、主にギアまたはベルトなどの接触式方式を用いて昇降駆動されて動作する方式が適用された。

ところが、このような従来の接触式方式の垂直移送装置は、支持フレームに対してアップ／ダウンフレームの一領域が接触案内されながら、アップ／ダウン駆動されるために、アップ／ダウンフレームの移送速度、言い換えれば、被移送物の移送速度を高めるのに限界があるが、それにもかかわらず、アップ／ダウンフレームの移送速度を高める場合には、アップ／ダウンフレームの速度を安定的に維持及び制御するのが容易ではないという問題点がある。

また、従来の接触式方式の垂直移送装置は、接触式という構造的な限界によってアップ／ダウンフレームと支持フレームとの間の接触領域でパーティクルが発生する恐れが高く、工程に要求されるクリーンルーム設備で使われるのに不適であり、多くのノイズを誘発させるということはもとより、接触領域で摩耗が容易に発生して耐久性が著しく落ちる問題点がある。このような問題を解決するために、支持フレームとアップ／ダウンフレームとの間の接触領域を非接触方式で構成する移送装置が導入される必要がある。

一方、このような非接触方式のアップ／ダウンフレームは、支持フレーム上に直接接触または結合されないために、アップ／ダウンフレームを固定するのが容易ではない。また、アップ／ダウンフレーム上に被移送物の引き込み及び取り出し時にさまざまな外部要人によるアップ／ダウンフレームが搖れるか、反る現象が発生する恐れがある。被移送物を引き込みまたは取り出す過程でアップ／ダウンフレームが搖れるか、不安定な状態を引き起こせば、被移送物の破損など作業生産性が阻害されることがあり、任意墜落などによって作業者の安全にも問題となる。

本発明の目的は、被移送物に対する高速移送が可能でありながらも、移送速度を安定的に維持及び制御し、かつ被移送物の移送過程中にパーティクルの発生を防止できるということはもとより、従来よりさらにノイズを減らせて、耐久性を向上させることができる移送装置を提供することである。

本発明の他の目的は、カーアセンブリーをより安定的に固定させ、作業生産性を向上させ、かつ作業者の安全事故予防にも助けになり得る移送装置を提供することである。

前記目的は、本発明によって、垂直軸線を形成するプロファイル（ｐｒｏｆｉｌｅ）と、前記プロファイルに隣接して設けられて被移送物を支持し、前記プロファイルの垂直軸線に沿って前記プロファイルに対して相対的にアップ／ダウン（ｕｐ／ｄｏｗｎ）移動するカーアセンブリー（ｃａｒ ａｓｓｅｍｂｌｙ）と、前記プロファイルと前記カーアセンブリーとのうち少なくとも何れか一つに設けられて、前記カーアセンブリーのアップ／ダウン移動時、前記プロファイルに対する前記カーアセンブリーの移動経路を非接触式で案内する非接触式アップ／ダウン案内ユニット（ｍａｇｌｅｖ ｕｐ／ｄｏｗｎ ｇｕｉｄｅ ｕｎｉｔ）と、を含むことを特徴とする移送装置によって達成される。

前記目的は、本発明によって、垂直軸線を形成するプロファイルと、前記プロファイルまたは前記カーアセンブリーに設けられて被移送物を支持し、前記プロファイルの垂直軸線に沿って前記プロファイルに対して相対的にアップ／ダウン移動するカーアセンブリーと、前記プロファイルと前記カーアセンブリーとのうち少なくとも何れか一つに設けられて、前記プロファイルに対して前記カーアセンブリーを選択的にロッキング／アンロッキング（ｌｏｃｋｉｎｇ／ｕｎｌｏｃｋｉｎｇ）させるロッキング／アンロッキングユニットと、を含むことを特徴とする移送装置によっても達成される。

本発明によれば、被移送物に対する高速移送が可能でありながらも、移送速度を安定的に維持及び制御し、かつ被移送物の移送過程中にパーティクルの発生を防止できるということはもとより、従来よりさらにノイズを減らせて、耐久性を向上させうる。

また、カーアセンブリーをより安定的に固定させ、作業生産性を向上させ、かつ作業者の安全事故予防にも助けになり得る。

本発明の一実施形態による移送装置の正面図である。 図１の側面図である。 図１の部分拡大平面図である。 図１の移送装置に備えられたカーアセンブリーの側面図である。 図３のＡ領域でロッキング／アンロッキングユニットを除去した状態の拡大図である。 図３のＡ領域でロッキング／アンロッキングユニットを強調した状態の拡大図である。 ロッカーのアンロッキング及びロッキング動作を示したロッキング／アンロッキングユニットの側面図である。 ロッカーのアンロッキング及びロッキング動作を示したロッキング／アンロッキングユニットの側面図である。

本発明と本発明の動作上の利点及び本発明の実施によって達成される目的を十分に理解するためには、本発明の望ましい実施形態を例示する添付図面及び添付図面に記載の内容を参照しなければならない。

以下、添付図面を参照して、本発明の望ましい実施形態を説明することによって、本発明を詳しく説明する。各図面に付された同じ参照符号は、同じ部材を表わす。

図面の説明に先立って、以下で説明される被移送物とは、ＬＣＤ（Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）、ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｐａｎｅｌ）及びＯＬＥＤ（Ｏｒｇａｎｉｃ Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅｓ）などを含む基板、半導体用ウェーハ、基板やウェーハを収容して支持するトレーやカセットになり得るだけではなく、一般的なボックスを含めた各種の多様な物流品になり得る。しかし、説明の便宜上、以下の実施形態では、被移送物をカセットと言って説明する。

図１は、本発明の一実施形態による移送装置の正面図であり、図２は、図１の側面図であり、図３は、図１の部分拡大平面図であり、図４は、図１の移送装置に備えられたカーアセンブリーの側面図であり、図５は、図３のＡ領域でロッキング／アンロッキングユニットを除去した状態の拡大図であり、図６は、図３のＡ領域でロッキング／アンロッキングユニットを強調した状態の拡大図であり、図７Ａ及び図７Ｂは、ロッカーのアンロッキング及びロッキング動作を示したロッキング／アンロッキングユニットの側面図である。

これら図面に示されたように、本実施形態による移送装置は、装置の外観を形成するフレーム１００と、フレーム１００に部分的に結合され、垂直軸線を形成するプロファイル１１０と、プロファイル１１０に隣接して設けられて被移送物であるカセット（図示せず）を支持し、プロファイル１１０の垂直軸線に沿ってプロファイル１１０に対して相対的にアップ／ダウン移動するカーアセンブリー２００と、プロファイル１１０とカーアセンブリー２００とに設けられてカーアセンブリー２００のアップ／ダウン移動時、プロファイル１１０に対するカーアセンブリー２００の移動経路を非接触式で案内する非接触式アップ／ダウン案内ユニット２２０、２３０とを含む。

図１及び図２に示されたように、フレーム１００は、本実施形態の移送装置に対する外観を形成する部分であって、プロファイル１１０、１２０を含めてフレーム１００の下端の移送駆動部２５０及び空気流入／排出部４００を支持する。

フレーム１００は、図１に示されたように、ボックス構造の形態で製作することができる。本実施形態の場合、フレーム１００は、金属フレームを横及び縦に相互組み立てて製作され、大部分の側壁は開放されている。カセットを多層間に移送する必要がある場合には、個別的に複数のフレームを製作し、これを積層させてフレーム１００を製作することもできる。

フレーム１００の中心を基点に両側面が対称になるので、以下の説明は、一側の構造についてのみ説明する。

フレーム１００の両側面部には、一対のプロファイル１１０が垂直方向に設けられている。プロファイル１１０は、図３及び図５を参照すれば、相互対称になる２つの傾斜面を有するほぼ三角状の横断面構造を有するが、プロファイル１１０の２つの傾斜面には、それぞれ非接触式アップ／ダウン案内ユニット２２０、２３０が対応して配される。プロファイル１１０は、非接触式アップ／ダウン案内ユニット２２０、２３０と相互作用して非接触された状態でカーアセンブリー２００の移動経路を形成するが、これについては非接触式アップ／ダウン案内ユニット２２０、２３０についての説明で詳しく後述する。

プロファイル１１０、１２０は、圧出成形方式を通じて製作することができる。プロファイル１１０、１２０は、長手方向に沿って内部が空き空間が形成される中空タイプに設けられる。この内部空間を通じてプロファイル１１０の２つの傾斜面上にスチールブロック１１１、１１３がボルト結合される。ところが、もし示されたものとは異なって、プロファイル１１０の２つの傾斜面を厚く製作しながら、その材質をステンレススチール（ｓｔａｉｎｌｅｓｓ ｓｔｅｅｌ）で製作する場合であれば、敢えてスチールブロック１１１、１１３を設けなくても良い。

プロファイル１１０の一側の先端部、すなわち、三角状の頂点付近の形状は、図４で示されたように、突出した形状に製作される。これは、ロッキング／アンロッキングユニット２６０のロッカー２６１と対応する部分であるので、ロッキング／アンロッキングユニット２６０のついての説明で詳しく説明する。

カーアセンブリー２００は、図３及び図４に示されたように、その全体がフレーム１００の内部に設けられて、フレーム１００内でアップ／ダウン可能に設けられる。被移送物であるカセットは、このようなカーアセンブリー２００の上面に置かれてカーアセンブリー２００とともにアップ／ダウンされながら、所望の位置に移送される。

図４に示されたように、カーアセンブリー２００は、支持フレーム２０１と、支持フレーム２０１上に設けられてプロファイル１１０の２つの傾斜面を追従し、移動経路を形成させる非接触式アップ／ダウン案内ユニット２２０、２３０、２４０、２５０の一構成と、プロファイル１１０に対するカーアセンブリー２００のロッキング及びアンロッキングのためのロッキング／アンロッキングユニット２６０、２７０とを含む。

支持フレーム２０１は、垂直支持フレーム２０２と水平支持フレーム２０３とを含むが、垂直支持フレーム２０２は四角形状で、ほぼ‘□’字状に形成される。垂直支持フレーム２０２の側面部の上部領域には、一対の非接触式アップ／ダウン案内ユニット２２０、２３０が備えられ、側面部の下部領域に一対の非接触式アップ／ダウン案内ユニット２４０、２５０が備えられる。

水平支持フレーム２０３は、垂直支持フレーム２０２の内部貫通空間上に配されて水平支持フレーム２０３と結合されるが、四角形状の内部貫通空間上に水平支持フレーム２０３の中央領域が載置されて結合させる。

また、水平支持フレーム２０３と垂直支持フレーム２０２との間には、補強支持フレーム２０４が結合される。これは、垂直支持フレーム２０２と水平支持フレーム２０３との間の結合を補強するためである。また、外郭フレーム２０７が長方形に形成されてカーアセンブリー２００の外郭を形成する。外郭フレーム２０７の上部領域には、空気流入／排出部４００が設けられる。

このように、水平支持フレーム２０３と垂直支持フレーム２０２とに補強支持フレーム２０４と外郭フレーム２０７とを形成することによって、垂直支持フレーム２０２と水平支持フレーム２０３との間の締結力が確保され、水平支持フレーム２０３上に積載されるカセットの荷重をより安定的に支持することができる。

水平支持フレーム２０３上には、カセットの積載と取り出しを容易にするための一対の移送ローラー２０８と駆動モータ２０５とが設けられる。すなわち、カーアセンブリー２００が図１のＡに位置されて外部からカセットが移送されて来るか、それともカーアセンブリー２００が図１のＣに位置されてカセットを外部に移送させるために移送ローラー２０８と駆動モータ２０５とが設けられ、駆動モータ２０５による移送ローラー２０８の回転に基づいて、カセットは位置移動することができる。

移送ローラー２０８は、実質的にカセットと接触する部分である。基板が積載されたカセットは、外部から加えられる衝撃に非常に脆弱な特性を有する。したがって、カセットが移送ローラー２０８によって接触されて移送される過程でカセットに加えられる衝撃が緩衝されるように、移送ローラー２０８の材質は、ウレタンやシリコン、あるいはゴムで製作することができる。

このような移送ローラー２０８は、水平支持フレーム２０３上の両側に一列に配されており、これに隣接して配される一対の回転軸２０６とそれぞれ連結される。そして、各回転軸２０６には、回転軸２０６に隣接して配される駆動モータ２０５が連結されており、回転軸２０６に連結された移送ローラー２０８は駆動されることができる。両側に設けられる駆動モータ２０５は、同期制御されることができる。

本実施形態では、駆動モータ２０５と回転軸２０６との間に傘歯車（図示せず）で連結され、回転軸２０６と各移送ローラー２０８も傘歯車（図示せず）で連結されて駆動モータ２０５が作動することによって、各移送ローラー２０８が回動する。

本発明の権利範囲がこれに制限されるものではないので、一つの回転軸に結合される移送ローラー２０８の個数と駆動モータと移送ローラー２０８との間の駆動方式などは適切に選択変更されることができる。また、水平支持フレームに設けられた回転軸の個数も適切に選択変更されることができる。

これとは違って、移送ローラー２０８ごとに個別駆動モータ（図示せず）を利用することもできる。この場合、移送ローラー２０８の回転軸に垂直する一対の回転軸は省略され、複数の個別駆動モータ（図示せず）の動作を制御する制御部（図示せず）をさらに含みうる。制御部（図示せず）によって個別駆動モータ（図示せず）の動作が個別的に制御されるようにすれば、カセットの移送と関連した動作上の効率、構造及び動力上の効率を高めることができる。

非接触式アップ／ダウン案内ユニット２２０、２３０は、図５に示されたように、プロファイル１１０とカーアセンブリー２００とに設けられてカーアセンブリー２００がアップ／ダウン移動する時、プロファイル１１０に対するカーアセンブリー２００のアップ／ダウン移動、すなわち、相対移動を非接触式で案内する役割を果たす。このように、本実施形態の場合、カーアセンブリー２００が非接触式で案内されながら、アップ／ダウン移動することができるために、カセットに対する高速移送が可能でありながらも、移送速度を安定的に維持及び制御することができる。また、カセットの移送過程中にパーティクルの発生を防止できるということはもとより、従来よりさらにノイズを減らせて、耐久性を向上させうる。

図４及び図５に示されたように、非接触式アップ／ダウン案内ユニット２２０、２３０、２４０、２５０は、垂直支持フレーム２０２の上部領域及び下部領域にそれぞれ同一個数と同一位置に設けられてプロファイル１１０に対してカーアセンブリー２００を安定的に案内させる。以下の説明では、説明の便宜上、垂直支持フレーム２０２の上部領域に設けられる非接触式アップ／ダウン案内ユニット２２０、２３０についてのみ説明する。

非接触式アップ／ダウン案内ユニット２２０、２３０は、プロファイル１１０の２つの傾斜面上に設けられる一対のスチールブロック１１１、１１３と、カーアセンブリー２００に設けられて一対のスチールブロック１１１、１１３とそれぞれ対をなしながら、磁気的に相互作用する一対のマグネットアセンブリー２２１、２３１とを含む。

一対の、マグネットアセンブリー２２１、２３１のそれぞれは、ユニット本体２２２、２３２と、ユニット本体２２２、２３２の端部に設けられてスチールブロック１１１、１１３との間に浮上力を発生させるマグネット２２３、２３３と、ユニット本体２２２、２３２に設けられてマグネット２２３、２３３と、スチールブロック１１１、１１３との間のギャップをセンシングするギャップセンサー２２４、２３４とを備える。

スチールブロック１１１、１１３は、プロファイル１１０の三角状の２つの傾斜面に沿って形成される。スチールブロック１１１、１１３は、スチールブロック１１１、１１３に隣接して配されるマグネットアセンブリー２２１、２３１と相互作用してマグネットで発生した磁場を通じてカーアセンブリー２００を磁気浮上させる役割を果たす。

マグネットアセンブリー２２１、２３１は、ユニット本体２２２、２３２と、ユニット本体２２２、２３２の端部に設けられるマグネット２２３、２３３と、ユニット本体２２２、２３２の一側に設けられるギャップセンサー２２４、２３４とを含む。

ユニット本体２２２、２３２は、垂直支持フレーム２０２の上部及び下部領域上にプロファイル１１０の２つの傾斜面形状に対応して配される。このために、各ユニット本体２２２、２３２は、所定の角度を形成しながら、フレーム１００上のプロファイル１１０の形状に対応して設けられる。

マグネット２２３、２３３は、ユニット本体２２２、２３２の先端部に設けられてスチールブロック１１１、１１３と直接的に相互作用して磁場を形成する。マグネット２２３、２３３は、電気的に連結されており、電流増減によって磁場の変化を誘導することができ、これにより、浮上力を調節させうる。本実施形態では、プロファイル１１０の各傾斜面上にマグネット２２３、２３３を２つずつ上下に隣接配置して磁場形成を容易にする。

カーアセンブリー２００に設けられる非接触式アップ／ダウン案内ユニット２２０、２３０とスチールブロック１１１、１１３は、所定のギャップを形成しながら、浮き上がる。非接触式アップ／ダウン案内ユニット２２０、２３０がカーアセンブリー２００の両端に設けられるために、浮上力が互いに相殺されながらｘ軸方向とｙ軸方向との拘束が引っ掛かる。

このように、非接触アップ／ダウン案内ユニット２２０、２３０がプロファイル１１０の傾斜面を非接触して追従し、これにより、カーアセンブリー２００がフレーム１００に対して非接触し、アップ／ダウンさせうる。

ギャップセンサー２２４、２３４は、非接触式アップ／ダウン案内ユニット２２０、２３０とプロファイル１１０との間のギャップを測定する。このような誤差信号を考慮してマグネット２２３、２３３に向ける電流量を調節する制御部（図示せず）をさらに含みうる。ギャップセンサー２２４、２３４によって測定された誤差信号はフィードバックされ、制御部（図示せず）は実際ギャップと基準ギャップとの誤差を補正する。このような誤差補正は、電流の増減を通じて行われる。結局、エラーを補正した結果、基準ギャップを維持した状態でカーアセンブリー２００の平衡を維持させうる。

このような非接触式アップ／ダウン案内ユニット２２０、２３０は、１つのプロファイル１１０当たり上部及び下部にそれぞれ２つずつ設けられることによって、カーアセンブリー２００のプロファイル１１０に対する追従性がより安定的に具現されるようになる。

本発明では、非接触式アップ／ダウン案内ユニット２２０、２３０に設けられたマグネット２２３、２３３、２４３、２５３がプロファイル１１０上に設けられたスチールブロック１１１、１１３との相互作用として磁気浮上された状態がなされると説明したが、非接触式アップ／ダウン案内ユニット２２０、２３０の磁気浮上方式は、吸引式、永久磁石反発式、常電導吸引制御方式、誘導反発式などのような多様な浮上方式が使われる。

一方、従来の移送装置（図示せず）に適用された接触式方式のカーアセンブリーに比べて、本実施形態のようなカーアセンブリー２００は、フレーム１００に非接触式方式で連結されるために、カーアセンブリー２００とフレーム１００との間の締結力が相対的に弱い可能性がある。これにより、カーアセンブリー２００上にカセットの積載及び取り出し過程でカーアセンブリー２００が搖れが発生することがある。カセットを積載または取り出す過程でカーアセンブリー２００が搖れるか、不安定な状態を維持すれば、作業生産性が阻害されるだけではなく、カセットの破損を引き起こす可能性もあり、カーアセンブリー２００の墜落などで作業者の安全に深刻な危害となる。

これを防止するために、本実施形態の移送装置には、ロッキング／アンロッキングユニット２６０、２７０が備えられる。ロッキング／アンロッキングユニット２６０、２７０は、図４に示されたように、カーアセンブリー２００の両側部に非接触式アップ／ダウン案内ユニット２２０、２３０、２４０、２５０の間に設けられてカーアセンブリー２００のアップ／ダウンが停止される時、カーアセンブリー２００の位置を固定させて外部要人による外乱に対応してカーアセンブリー２００が安定的に維持されるようにする。

ロッキング／アンロッキングユニット２６０、２７０は、相互隣接して配される一対のアップ／ダウン案内ユニット２２０、２３０の間と他の一対のアップ／ダウン案内ユニット２４０、２５０との間にそれぞれ一つずつ設けられる。これにより、垂直支持フレーム２０２の一側部分には、上部及び下部にそれぞれ一つずつのロッキング／アンロッキングユニット２６０、２７０が設けられるが、これらロッキング／アンロッキングユニット２６０、２７０は、同一構造及び機能を遂行するので、垂直支持フレーム２０２の一側の上部領域に設けられるロッキング／アンロッキングユニット２６０についてのみ説明する。

図６に示されたように、ロッキング／アンロッキングユニット２６０は、カーアセンブリー２００の一側の端部に設けられる一対の非接触式アップ／ダウン案内ユニット２２０、２３０の隣接して設けられる。ロッキング／アンロッキングユニット２６０は、カーアセンブリー２００に設けられてプロファイル１１０に向けて接近及び離隔するロッカー２６１と、ロッカー２６１と連結されてロッカー２６１を駆動させるロッカー駆動部２６３とを含む。

ロッカー２６１は、プロファイル１１０の一側の先端部と実質的に接触する部分であって、本実施形態でのロッカー２６１は、自由回転型ローラーで設けられる。ロッカー２６１の側面は鼓状を有するが、プロファイル１１０の側面に形成されるチャング型突出部１１５と結合されるように、ロッカー２６１の側面にはチャング型溝部２６３が形成される。これは、プロファイル１１０の先端部とロッカー２６１の側面との間の接触面積を増加させて摩擦力を増大させる役割を果たす。これにより、ロッキング動作が安定的に維持されることができる。また、プロファイル１１０の先端部と直接接触するロッカー２６１の形状が自由回転型ローラー２６１で設けられることによって、接触支持過程及び接触が解除される過程で発生しうる衝撃が最小化される長所がある。

ロッカー駆動部２６３は、図７Ａ及び図７Ｂに示されたように、ロッカー２６１とプロファイル１１０とが接触支持されるロッキング動作と接触支持が解除されるアンロッキング動作とを行える。特に、予期せぬ外乱によってロッキング動作が解除されないように、ロッキング駆動部２６３の構造は信頼性があるように製作される必要がある。

ロッカー駆動部２６３は、プロファイル１１０に対して接近及び離隔する方向（以下、Ｘ方向と称する）へのロッカー２６１の位置を変更させる。ロッカー駆動部２６３は、ロッカー２６１を支持し、ロッカー２６１がカーアセンブリー２００に対して接近及び離隔可能に一側のピボット軸２６８を中心に回動可能なロッカーハウジング２６４及びロッカーハウジング２６４の周辺に配されてロッカーハウジング２６４に向けて接近及び離隔しながら、ロッカーハウジング２６４を回動させるアクチュエータ２６５を含む。

ロッカーハウジング２６４は、相互対称になる一対の側壁部分と側壁部分との間に設けられて側壁部分を相互連結する支持部分に形成される。ロッカーハウジング２６４の側壁部分の一領域には、ロッカー２６１が自由回転することができる回動軸が形成される。そして、ロッカーハウジング２６４の上部の一領域には、ピボット軸２６８が形成されており、ロッカーハウジング２６４がカーアセンブリー２００に連結され、ロッカーハウジング２６４はピボット軸２６８を中心にカーアセンブリー２００に対して相対回動させうる。すなわち、プロファイル１１０に対してＸ方向にロッカー２６１の位置を変更させる。そして、ロッカーハウジング２６４の他端部には、フランジ部２６４ｂが上方に突設され、フランジ部２６４ｂとカーアセンブリー２００との間には、復元バネ２６９が挿設される。復元バネ２６９の一端は、カーアセンブリー２００に結合され、他端は、フランジ部２６４ｂの側面に結合されてロッカーハウジング２６４がピボット軸２６８を中心に逆時計回り方向に回動した場合に、時計回り方向の復元力が加えられるようにする。

ロッカーハウジング２６４の下部領域には、接触摺動ブロック２６４ａが備えられる。接触摺動ブロック２６４ａは、伝達ブロック２６７の端部と直接接触して摺動するが、接触摺動ブロック２６４ａには、伝達ブロック２６７の上部と対応する形状の傾斜面を有するように形成される。これにより、伝達ブロック２６７が上方に移動することによって、接触摺動ブロック２６４ａと伝達ブロック２６７の傾斜面とが相互摺動する。それでは、伝達ブロック２６７がロッカーハウジング２６４とカーアセンブリー２００との間に挿入される結果、ロッカーハウジング２６４が逆時計回り方向に回動される。これは、実質的にプロファイル１１０に対して接近及び離隔する方向（以下、Ｘ方向と称する）にロッカー２６１のＸ軸位置を変更させるようになる。ロッカーのｘ軸方向への変位が増加すれば、結局にはプロファイル１１０の先端部と結合されてロッキングがなされる。

このような構造のロッキング／アンロッキングユニットは、ロッカー２６１がプロファイル１１０の先端部に結合されてロッキングされた状態で、ロッキング力が相対的に弱い場合、Ｘ方向の力によってロッカー２６１のロッキングがプロファイル１１０の先端部から解除される可能性を遮断させうる。言い換えれば、カーアセンブリー２００上に外乱が加えられる場合、外乱が加えられる場合に作用する外乱の作用方向に対してアクチュエータ２６５の作動方向を垂直に配置することによって、ロッカー２６１に加えられる力を適切に分散させることができる。これにより、ロッカー２６１の解除動作を防止することができる。

本実施形態でのアクチュエータ２６５は、シリンダー２６５で設けられ、シリンダー２６５の駆動方式は油圧式または空圧式であり得る。アクチュエータ２６５は、シリンダー本体とシリンダー本体に対して長さ延長及び収縮可能に結合されるシリンダーロッド２６６とを備える。

伝達ブロック２６７は、シリンダーロッド２６６の端部と結合されてシリンダーロッド２６６の線形運動をロッカーハウジング２６４の回動に伝達する。このような伝達ブロック２６７は‘Ｌ’字状に形成され、伝達ブロック２６７の上部には、ロッカーハウジング２６４の下部の接触摺動ブロック２６４ａの傾斜面と接触して摺動する傾斜面が形成される。伝達ブロック２６７の下部は、アクチュエータ２６５のロッドと一体に結合されており、アクチュエータ２６５のロッドが伸張または縮小されることによって、ロッドの伸張または縮小された長さほど伝達ブロック２６７はＺ方向に移動する。

このような構成のロッキング駆動部を製作すれば、ロッキング駆動部２６３のアクチュエータ２６５、例えば、シリンダー２６５の破損を防止させうる。すなわち、アクチュエータ２６５及び伝達ブロック２６７とロッカーハウジング２６４との間に構造的に直接的な連結がされていないまま別途のモジュールで形成される。これにより、Ｘ軸方向の外乱が加えられる場合に、ロッカーハウジング２６４に加えられる外乱が別途のモジュールで設計された伝達ブロック２６７及びアクチュエータ２６５には最小化されることができて、アクチュエータ２６５の誤作動及び破損を防止することができる。

ロッキング／アンロッキングユニット２６０のロッキング／アンロッキング動作過程を簡単に説明すれば、図７Ａ及び図７Ｂに示されたように、シリンダー２６５ロッドが長さ延長される場合、ロッドに結合されている伝達ブロック２６７がＺ方向に移動する。それでは、伝達ブロック２６７の上部の傾斜面とロッカーハウジング２６４の下部の接触摺動ブロック２６４ａの傾斜面とが相互接触して伝達ブロック２６７がＺ方向に移動することによって、これら傾斜面は面接触状態で摺動する。接触摺動ブロック２６４ａが摺動すると同時にロッカーハウジング２６４は逆時計回り方向に回動する。接触摺動ブロック２６４ａに伝達ブロック２６７が上方に挿入される深さに対応してロッカーハウジング２６４の反時計回り方向の回動角が大きくなる。結局、ロッカー２６１の側面部がプロファイル１１０の一側の先端部に接触されてロッカーハウジング２６４のＸ軸方向の加圧力が維持されたままロッカー２６１のチャング型溝部２６２がプロファイル１１０のチャング型突出部１１５と結合されてロッキング動作が完了する。

これとは違って、アンロッキング動作は、シリンダー２６５ロッドが長さ収縮される場合、前述した動作の逆順に進行してロッカー２６１の側面部がプロファイル１１０の一側の先端部から離隔される。この際、伝達ブロック２６７が下方に移動することによって、ロッカーハウジング２６４の上端部に設けられた復元バネ２６８が弾性復元力によってロッカーハウジング２６４は時計方向に回動して原位置に復元される。

このように、ロッキング／アンロッキングユニット２６０は、カーアセンブリー２００がアップ／ダウン動作が停止された場合、例えば、カセットの引き込みと取り出し過程などのようなカーアセンブリー２００の停止状態を要する場合に、カーアセンブリー２００の昇降を阻止させる役割を果たす。また、カーアセンブリー２００の搖れを防止して外部要人による外乱に対応してカーアセンブリー２００を安定的に固定させる。

これにより、被移送物をより安定的に移送できるようになって作業生産性が向上することができ、カーアセンブリー２００の任意墜落が防止されることができて、作業者の安全に万全を期するようになる。

また、カーアセンブリー２００の運行中には、ロッキング／アンロッキングユニット２６０のロッカー２６１は非接触式アップ／ダウン案内ユニット２２０、２３０のマグネット２２３、２３３を保護する役割を果たす。シリンダー２６５のロッドが完全に収縮した状態であるアンロッキング状態でロッカー２６１とプロファイル１１０の一側の先端部との間のＸ軸方向に所定の間隔（図７ＡのＡ区間）が維持される。この間隔は、マグネット２２３、２３３とプロファイル１１０のスチールブロック１１１、１１３との間の間隔より相対的に小さい。すなわち、外部要人によってカーアセンブリー２００の位置が平衡が割れるとしてもマグネット２２３、２３３がスチールブロック１１１、１１３に衝突する前にロッカー２６１がプロファイル１１０のチャング型突出部１１５に先に接触することによって、マグネット２２３、２３３とスチールブロック１１１、１１３との間の衝突を阻止させてマグネット２２３、２３３を保護する。

より詳しく説明すれば、マグネット２２３、２３３に異常原因が発生するか、あるいは振動などの外部外乱が発生する場合に、カーアセンブリー２００の重量中心が移動して非接触式アップ／ダウン案内ユニット２２０のマグネット２２３、２３３とプロファイル１１０との間のギャップが変化されて、マグネット２２３、２３３が直接スチールブロック１１１、１１３に衝突してマグネット２２３、２３３が損傷される可能性が生ずる。このような場合、ロッカー２６１が先にプロファイル１１０の先端部と接触されてｘ軸方向へのカーアセンブリー２００の移動を阻止させることによって、マグネット２２３、２３３がプロファイル１１０のスチールブロック１１１、１１３に直接接触する可能性を遮断する。

図１または図２に示されたように、フレーム１００の下端領域にはアップ／ダウン駆動部３００が設けられる。アップ／ダウン駆動部３００は、複数の回転モータ３０１と、ワイヤ３０２と滑車３０３及び滑車３０３を基準に回転モータ３０１の反対側上に設けられるバランスバー３０４とを含む。

回転モータ３０１は、フレーム１００の両側に隣接して配されるが、回転モータ３０１はフレーム１００のプロファイル１１０、１２０に隣接して設けられ、２つずつ全部４つが設けられる。したがって、カーアセンブリー２００の傾き、反りなどを防止できるように４つの回転モータ３０１は同期制御される必要があり、これを制御するための制御部（図示せず）を別途に設けられることができる。

ワイヤ３０２の一端部は、回転モータ３０１に連結されて巻き取られ、他端部は、カーアセンブリー２００に連結される。その間に滑車３０３を基準に両端に設けられる。

ワイヤ３０２上の一区間には、バランスバー３０４が設けられて少ない動力でカーを相対移動させることができる。

このように、本実施形態による移送装置は、フレーム１００上に設けられた回転モータ３０１とこれに連結されたワイヤ３０２と滑車３０３とによってＺ軸方向への推進力を発生する。カーアセンブリー２００に設けられた非接触式アップ／ダウン案内ユニット２２０とフレーム１００上のスチールブロック１１１、１１３との間に磁気浮上効果が作動してカーアセンブリー２００をフレーム１００に対して非接触させた後、アップ／ダウン駆動部３００が実質的な垂直アップ／ダウンを遂行する。

図２に示されたように、フレームの下部の中央領域付近には、カーアセンブリー２００の任意墜落に対して弾性的に抵抗する多数の墜落防止用バネ１３０がさらに設けられることができる。

本実施形態では、総４つのバネ１３０がフレーム１００の中心を基点に相互対称的に離隔して配される。カーアセンブリー２００の任意墜落時、カーアセンブリー２００を弾性的に抵抗してカーアセンブリー２００及び積載されたカセットを保護することができる。

フレーム１００の上部、下部、側面の一部領域及びカーアセンブリー２００の上部には、カーアセンブリー２００の上下運動時に発生する流動の流れを円滑にするための空気流入／排出部４００をさらに含みうる。

このように、本実施形態によれば、フレームとカーアセンブリーとの間が所定の間隔が維持された状態で、カーアセンブリーを垂直にアップ／ダウンさせ、フレームとカーアセンブリーとの間に機械的な摩擦及び接触を阻止させうる。これにより、被移送物に対する高速移送が可能でありながらも、移送速度を安定的に維持及び制御し、カセットの移送工程中にパーティクルの発生を沮止し、ノイズを減少させうる。

このような構成を有する移送装置の昇降動作について説明すれば、次の通りである。

図１または図４に示されたように、カーアセンブリー２００は、１層の高さ上に整列されてロッキング／アンロッキングユニット２６０、２７０によってロッキング状態にある。別途の水平移送装置（図示せず、例えば、コンベヤーなど）によってカセットが移送装置側に移されれば、まず制御部（図示せず）は、カーアセンブリー２００に設けられた駆動モータ２０６の動作をオンさせる。駆動モータ２０６の動作によって回転軸が一方向に回転すれば、これに結合されている移送ローラー２０８が回転することによって、移送ローラー２０８に接触されたカセットの引き込みがＡ方向になされる。

カーアセンブリー２００にカセットが完全に収容された後、ロッキング／アンロッキングユニット２６０のアンロッキング動作が行われる。図７Ａ及び図７Ｂを参照すれば、シリンダー２６５のロッドが完全に収縮してロッカー２６１とプロファイル１１０は、所定の間隔で離隔される。

次いで、図１または図２に示されたように、カーアセンブリー２００がＢ方向に昇降される。これは、フレーム１００の両側上に設けられた回転モータ３０１が作動して回転モータ３０１に連結された滑車３０３を回転させてワイヤ３０２に連結されたカーアセンブリー２００をＢ方向に移動させる。

２層の高さ、すなわち、カーアセンブリー２００が最高点に至れば、ロッキング／アンロッキングユニット２６０がロッキング作動してカーアセンブリー２００をフレーム１００上に固定する。以後、カーアセンブリー２００の駆動モータ２０５（図４参照）を通じて移送ローラー２０８（図４参照）を動作させてカセットをＣ方向に取り出させる。

このように、本実施形態によれば、フレームとカーアセンブリーとの間を非接触式方式で動力伝達させることによって、被移送物に対する高速移送が可能でありながらも、移送装置の移送効率の低下を防止して、移送速度を安定的に制御させうる。

また、カーアセンブリーとフレームとの間に直接的な機械摩擦や接触がないために、カセットの移送工程中にパーティクルの発生を沮止し、移送過程中にノイズの発生を減少させ、移送装置の耐久性も向上させて、移送装置の信頼性が保障される。

このように本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の思想及び範囲を外れずに多様に修正及び変形できるということは、当業者に自明である。したがって、そのような修正例または変形例は、本発明の特許請求の範囲に属すると理解しなければならない。

本発明は、移送装置関連の技術分野に適用可能である。

１００：フレーム
１１０、１２０：プロファイル
１１１、１１３：スチールブロック
１１５：チャング型突出部
２００：カーアセンブリー
２２０、２３０：非接触式アップ／ダウン案内ユニット
２６０：ロッキング／アンロッキングユニット
２６１：ロッカー
３００：アップ／ダウン駆動部
４００：空気流入／排出部

Claims (34)

1. 垂直軸線を形成するプロファイルと、
   前記プロファイルに隣接して設けられて被移送物を支持し、前記プロファイルの垂直軸線に沿って前記プロファイルに対して相対的にアップ／ダウン移動するカーアセンブリーと、
   前記プロファイルと前記カーアセンブリーとのうち少なくとも何れか一つに設けられて、前記カーアセンブリーのアップ／ダウン移動時、前記プロファイルに対する前記カーアセンブリーの移動経路を非接触式で案内する非接触式アップ／ダウン案内ユニットと、
   を含むことを特徴とする移送装置。
2. 前記非接触式アップ／ダウン案内ユニットは、
   前記プロファイルと前記カーアセンブリーとのうち何れか一つに設けられるスチールブロックと、
   前記プロファイルと前記カーアセンブリーとのうち他の一つに設けられて、前記スチールブロックと磁気的に相互作用しながら、前記プロファイルに対する前記カーアセンブリーの移動経路を非接触式で案内するマグネットアセンブリーと、
   を含むことを特徴とする請求項１に記載の移送装置。
3. 前記スチールブロックは、前記プロファイルに設けられ、前記マグネットアセンブリーは、前記カーアセンブリーに設けられることを特徴とする請求項２に記載の移送装置。
4. 前記プロファイルには、前記カーアセンブリー側に向け、相互間対称的に傾くように形成された一対の傾斜面が形成され、
   前記スチールブロックは、前記プロファイルの一対の傾斜面にそれぞれ結合される一対のスチールブロックであり、
   前記マグネットアセンブリーは、前記一対のスチールブロックとそれぞれ対をなす一対のマグネチックアセンブリーであることを特徴とする請求項３に記載の移送装置。
5. 前記一対のマグネチックアセンブリーのそれぞれは、
   ユニット本体と、
   前記ユニット本体の端部に設けられて、前記スチールブロックとの間に磁気的な作用力を発生させるマグネットと、
   前記ユニット本体に設けられて、前記マグネットと前記スチールブロックとの間のギャップをセンシングするギャップセンサーと、
   を含むことを特徴とする請求項４に記載の移送装置。
6. 前記マグネットと前記スチールブロックとの間に形成されるギャップが所定の許容公差内に維持されるように、前記ギャップセンサーのセンシング信号に基づいて、前記マグネットに印加される電流量を調節する制御部をさらに含むことを特徴とする請求項５に記載の移送装置。
7. 前記プロファイルは、前記カーアセンブリーを挟んで、前記カーアセンブリーの両側に一対設けられ、
   前記非接触式アップ／ダウン案内ユニットは、前記プロファイルの各傾斜面当たり前記プロファイルの垂直軸線に沿って相互離隔して２つ設けられることを特徴とする請求項４に記載の移送装置。
8. 前記プロファイルを支持するフレームと、
   前記フレームに部分的に結合されて、前記カーアセンブリーをアップ／ダウン駆動させるアップ／ダウン駆動部をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の移送装置。
9. 前記アップ／ダウン駆動部は、
   前記フレームの両側に配される複数の回転モータと、
   一端部は、前記回転モータに連結されて巻き取り及び巻き取り解除され、他端部は、前記カーアセンブリーに連結されるワイヤと
   前記フレームの一側に設けられて、前記ワイヤを支持する滑車と、
   を含むことを特徴とする請求項８に記載の移送装置。
10. 前記アップ／ダウン駆動部は、前記ワイヤの一区間に設けられて、前記カーアセンブリーのアップ／ダウン移動を助けるバランスバーをさらに含むことを特徴とする請求項９に記載の移送装置。
11. 前記フレームの下部に設けられて、前記カーアセンブリーの任意墜落に対して弾性的に抵抗する多数の墜落防止用バネをさらに含むことを特徴とする請求項８に記載の移送装置。
12. 前記カーアセンブリーのアップ／ダウン移動時、前記フレームの内外側に形成される空気流動の円滑な流れのために、前記フレームまたは前記カーアセンブリーの何れか一側に設けられる少なくとも一つの空気流入／排出部をさらに含むことを特徴とする請求項８に記載の移送装置。
13. 前記プロファイルと前記カーアセンブリーとのうち少なくとも何れか一つに設けられて、前記プロファイルに対して前記カーアセンブリーを選択的にロッキング／アンロッキングさせるロッキング／アンロッキングユニットをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の移送装置。
14. 前記ロッキング／アンロッキングユニットは、
    前記カーアセンブリーと前記プロファイルとのうち何れか一つに設けられて、他の一つに向けて接近及び離隔するロッカーと、
    前記ロッカーと連結され、前記ロッカーが前記接近及び離隔方向に駆動されるように、前記ロッカーを駆動させるロッカー駆動部と、
    を含むことを特徴とする請求項１３に記載の移送装置。
15. 前記ロッカーと前記ロッカー駆動部は、前記カーアセンブリーに設けられることを特徴とする請求項１４に記載の移送装置。
16. 前記ロッカー駆動部は、
    前記ロッカーを支持し、前記ロッカーが前記カーアセンブリーに対して接近及び離隔可能に一側のピボット軸を中心に回動可能なロッカーハウジングと、
    前記ロッカーハウジングの周辺に配されて、前記ロッカーハウジングに向けて接近及び離隔しながら、前記ロッカーハウジングを回動させるアクチュエータと、
    を含むことを特徴とする請求項１５に記載の移送装置。
17. 前記アクチュエータは、
    シリンダー本体と、前記シリンダー本体に対して長さ延長及び収縮可能に結合されるシリンダーロッドとを備えたシリンダーと、
    前記シリンダーロッドの端部に結合されて、前記シリンダーロッドの線形運動を前記ロッカーハウジングの回動に伝達する伝達ブロックと、
    を含むことを特徴とする請求項１６に記載の移送装置。
18. 前記ロッカーハウジングの一側には、前記伝達ロッドの端部と接触される接触摺動ブロックがさらに形成されており、
    前記接触摺動ブロックと前記伝達ブロックとの間の接触領域には、傾斜面が形成されていることを特徴とする請求項１７に記載の移送装置。
19. 前記ロッカー駆動部には、前記ロッカーハウジングの他端に連結されて、前記ロッカーハウジングの回動時に復元力を加えることができる復元バネをさらに含むことを特徴とする請求項１６に記載の移送装置。
20. 前記ロッカーは、鼓状を有する非動力方式の自由回転型ローラーであり、
    前記ロッカーの側面には、内側に陷沒されたチャング型溝部が形成されることを特徴とする請求項１６に記載の移送装置。
21. 前記プロファイルの一側面には、前記ロッカーの側面に形成されたチャング型溝部と結合されるチャング型突出部が形成されることを特徴とする請求項２０に記載の移送装置。
22. 前記被移送物は、ＬＣＤ（Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）基板が積載されたカセットであることを特徴とする請求項１に記載の移送装置。
23. 垂直軸線を形成するプロファイルと、
    前記プロファイルまたは前記カーアセンブリーに設けられて被移送物を支持し、前記プロファイルの垂直軸線に沿って前記プロファイルに対して相対的にアップ／ダウン移動するカーアセンブリーと、
    前記プロファイルと前記カーアセンブリーとのうち少なくとも何れか一つに設けられて、前記プロファイルに対して前記カーアセンブリーを選択的にロッキング／アンロッキングさせるロッキング／アンロッキングユニットと、
    を含むことを特徴とする移送装置。
24. 前記ロッキング／アンロッキングユニットは、
    前記カーアセンブリーと前記プロファイルとのうち何れか一つに設けられて、他の一つに向けて接近及び離隔するロッカーと、
    前記ロッカーと連結され、前記ロッカーが前記接近及び離隔方向に駆動されるように、前記ロッカーを駆動させるロッカー駆動部と、
    を含むことを特徴とする請求項２３に記載の移送装置。
25. 前記ロッカーと前記ロッカー駆動部は、前記カーアセンブリーに設けられることを特徴とする請求項２４に記載の移送装置。
26. 前記ロッカー駆動部は、
    前記ロッカーを支持し、前記ロッカーが前記カーアセンブリーに対して接近及び離隔可能に一側のピボット軸を中心に回動可能なロッカーハウジングと、
    前記ロッカーハウジングの周辺に配されて、前記ロッカーハウジングに向けて接近及び離隔しながら、前記ロッカーハウジングを回動させるアクチュエータと、
    を含むことを特徴とする請求項２５に記載の移送装置。
27. 前記アクチュエータは、
    シリンダー本体と、前記シリンダー本体に対して長さ延長及び収縮可能に結合されるシリンダーロッドとを備えたシリンダーと、
    前記シリンダーロッドの端部に結合されて、前記シリンダーロッドの線形運動を前記ロッカーハウジングの回動に伝達する伝達ブロックと、
    を含むことを特徴とする請求項２６に記載の移送装置。
28. 前記ロッカーハウジングの一側には、前記伝達ロッドの端部と接触される接触摺動ブロックがさらに形成されており、
    前記接触摺動ブロックと前記伝達ブロックとの間の接触領域には、傾斜面が形成されていることを特徴とする請求項２７に記載の移送装置。
29. 前記ロッカー駆動部には、前記ロッカーハウジングの他端に連結されて、前記ロッカーハウジングの回動時に復元力を加えることができる復元バネをさらに含むことを特徴とする請求項２４に記載の移送装置。
30. 前記ロッカーは、鼓状を有する非動力方式の自由回転型ローラーであり、
    前記ロッカーの側面には、内側に陷沒されたチャング型溝部が形成されることを特徴とする請求項２４に記載の移送装置。
31. 前記プロファイルの一側面には、前記ロッカーの側面に形成されたチャング型溝部と結合されるチャング型突出部が形成されることを特徴とする請求項２４に記載の移送装置。
32. 前記プロファイルを支持するフレームと、
    前記フレームに部分的に結合されて、前記カーアセンブリーをアップ／ダウン駆動させるアップ／ダウン駆動部と、
    をさらに含むことを特徴とする請求項２３に記載の移送装置。
33. 前記フレームの下部に設けられて、前記カーアセンブリーの任意墜落に対して弾性的に抵抗する多数の墜落防止用バネをさらに含むことを特徴とする請求項３２に記載の移送装置。
34. 前記カーアセンブリーのアップ／ダウン移動時、前記フレームの内外側に形成される空気流動の円滑な流れのために、前記フレームまたは前記カーアセンブリーの何れか一側に設けられる少なくとも一つの空気流入／排出部をさらに含み、
    前記被移送物は、ＬＣＤ基板が積載されたカセットであることを特徴とする請求項２３に記載の移送装置。

Images