JPH0891570A - 無塵垂直リフター - Google Patents
無塵垂直リフターInfo
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- JPH0891570A JPH0891570A JP6232833A JP23283394A JPH0891570A JP H0891570 A JPH0891570 A JP H0891570A JP 6232833 A JP6232833 A JP 6232833A JP 23283394 A JP23283394 A JP 23283394A JP H0891570 A JPH0891570 A JP H0891570A
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- JP
- Japan
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- gap
- guide rail
- electromagnets
- dust
- guide
- Prior art date
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-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/60—Electric or hybrid propulsion means for production processes
Landscapes
- Types And Forms Of Lifts (AREA)
- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体工場のクリーンルーム等の内部で無発
塵で部品等を搬送させるためリニアガイド、ボールネジ
等を用いず搬送テーブルに設けた案内手段でガイドレー
ルに対して非接触で昇降させるようにする。 【構成】 垂直リフターはガイドレール１に対して昇降
する搬送テーブル２に案内手段３を設け、取付フレーム
４に取付けた電磁石５をガイドレール１に対して配置し
たものをｘ、ｙ軸のそれぞれ直交する軸線上に２対設け
る。これら電磁石５は搬送テーブル２の上下端に２組設
けてある。ギャップセンサ６による信号は制御回路７へ
送られ、その信号に基づいて電磁石５の励磁電流を制御
してギャップ調整する。駆動部は牽引ベルト８を介して
接続され、電源は給電ケーブル９により送られる。
塵で部品等を搬送させるためリニアガイド、ボールネジ
等を用いず搬送テーブルに設けた案内手段でガイドレー
ルに対して非接触で昇降させるようにする。 【構成】 垂直リフターはガイドレール１に対して昇降
する搬送テーブル２に案内手段３を設け、取付フレーム
４に取付けた電磁石５をガイドレール１に対して配置し
たものをｘ、ｙ軸のそれぞれ直交する軸線上に２対設け
る。これら電磁石５は搬送テーブル２の上下端に２組設
けてある。ギャップセンサ６による信号は制御回路７へ
送られ、その信号に基づいて電磁石５の励磁電流を制御
してギャップ調整する。駆動部は牽引ベルト８を介して
接続され、電源は給電ケーブル９により送られる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ガイドレールと非接
触で運搬テーブル等を昇降させる無塵垂直リフターに関
する。
触で運搬テーブル等を昇降させる無塵垂直リフターに関
する。
【０００２】
【従来の技術】各種工場等において、運搬テーブル等の
上に部品類を乗せてこれらを昇降させるのに用いられる
垂直リフターは、従来一般にテーブルがガイドレールに
リニアガイドを介して取り付けられ、ベルトにより上下
に牽引される方式、あるいはボールネジなどによりテー
ブルを上下動させる方式が採用されている。
上に部品類を乗せてこれらを昇降させるのに用いられる
垂直リフターは、従来一般にテーブルがガイドレールに
リニアガイドを介して取り付けられ、ベルトにより上下
に牽引される方式、あるいはボールネジなどによりテー
ブルを上下動させる方式が採用されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、電子部品等
を製造する工場等では室内の塵埃を高度に浄化したいわ
ゆるクリーンルームを必要とする場合があり、かかるク
リーンルームでは上述したいずれの方式の垂直リフター
も適合しない。これらはリニアガイド、ボールネジ等の
発塵箇所を有するからであり、かかる垂直リフターを使
用する場合は、リフターの全体をカバーで囲み局所排気
して防塵するなどの種々の対策を必要とする。従って、
かかる対策を施すのに伴なって吸引装置、フィルター等
の付帯設備が増え、占有スペースが大きくなる等種々の
問題があった。
を製造する工場等では室内の塵埃を高度に浄化したいわ
ゆるクリーンルームを必要とする場合があり、かかるク
リーンルームでは上述したいずれの方式の垂直リフター
も適合しない。これらはリニアガイド、ボールネジ等の
発塵箇所を有するからであり、かかる垂直リフターを使
用する場合は、リフターの全体をカバーで囲み局所排気
して防塵するなどの種々の対策を必要とする。従って、
かかる対策を施すのに伴なって吸引装置、フィルター等
の付帯設備が増え、占有スペースが大きくなる等種々の
問題があった。
【０００４】この発明は、かかる従来の垂直リフターに
伴なう問題点に留意して、ガイドレールに沿って昇降す
る搬送テーブルに案内手段を設け、ギャップセンサから
の信号に基づいてギャップ調整する電磁石の一対を対向
配置して非接触でガイドレールに対して搬送テーブルを
案内し無発塵で昇降させ、設備のコンパクト化、付帯設
備の簡素化を図った無塵垂直リフターを提供することを
課題とする。
伴なう問題点に留意して、ガイドレールに沿って昇降す
る搬送テーブルに案内手段を設け、ギャップセンサから
の信号に基づいてギャップ調整する電磁石の一対を対向
配置して非接触でガイドレールに対して搬送テーブルを
案内し無発塵で昇降させ、設備のコンパクト化、付帯設
備の簡素化を図った無塵垂直リフターを提供することを
課題とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
この発明は、垂直方向に設けられる磁性体のガイドレー
ルに沿って非接触で昇降する搬送テーブルを設け、この
テーブルにガイドレールとの間のギャップを電磁力で調
整しつつ案内する案内手段を設け、案内手段がガイドレ
ールを挟んでその断面の互いに直交する軸上の四面に対
向配置される２対の電磁石と、その励磁電流をギャップ
センサからのフィードバック信号に基づいて制御してギ
ャップを調整するギャップ制御手段を備えて成る無塵垂
直リフターの構成としたのである。
この発明は、垂直方向に設けられる磁性体のガイドレー
ルに沿って非接触で昇降する搬送テーブルを設け、この
テーブルにガイドレールとの間のギャップを電磁力で調
整しつつ案内する案内手段を設け、案内手段がガイドレ
ールを挟んでその断面の互いに直交する軸上の四面に対
向配置される２対の電磁石と、その励磁電流をギャップ
センサからのフィードバック信号に基づいて制御してギ
ャップを調整するギャップ制御手段を備えて成る無塵垂
直リフターの構成としたのである。
【０００６】上記解決手段において、前記電磁石を、対
向する磁極の２対にそれぞれコイルを巻いて形成し、そ
の一方にバイアス電流を他方に制御電流を流し、ギャッ
プセンサからのフィードバック信号に基づいて制御電流
を制御してギャップを調整するように構成するとよい。
向する磁極の２対にそれぞれコイルを巻いて形成し、そ
の一方にバイアス電流を他方に制御電流を流し、ギャッ
プセンサからのフィードバック信号に基づいて制御電流
を制御してギャップを調整するように構成するとよい。
【０００７】前記直交軸上の２対の電磁石をテーブルの
上下端に２組設けるようにしてもよい。
上下端に２組設けるようにしてもよい。
【０００８】さらに、前記ガイドレールの直交する一方
の軸線上の一対の電磁石を分割してその軸線に対称に２
対設けることもできる。
の軸線上の一対の電磁石を分割してその軸線に対称に２
対設けることもできる。
【０００９】又、以上のいずれかの解決手段において、
前記搬送テーブルの昇降のための駆動部としてリニアモ
ータを設けるようにしてもよい。
前記搬送テーブルの昇降のための駆動部としてリニアモ
ータを設けるようにしてもよい。
【００１０】さらに上記解決手段に対して、前記搬送テ
ーブルにカウンタウェイトを接続して駆動部の負荷を軽
減させるようにしたものとしてもよい。
ーブルにカウンタウェイトを接続して駆動部の負荷を軽
減させるようにしたものとしてもよい。
【００１１】
【作用】上記のように構成したこの発明の垂直リフター
は、案内手段のギャップセンサからのフィードバック信
号に基づいて電磁力を調整することにより最適のギャッ
プを保持しつつ上下方向にガイドレールに対して非接触
で昇降する。
は、案内手段のギャップセンサからのフィードバック信
号に基づいて電磁力を調整することにより最適のギャッ
プを保持しつつ上下方向にガイドレールに対して非接触
で昇降する。
【００１２】２対の電磁石を対向配置してそれぞれの電
磁石の励磁電流を制御すると、それぞれの電磁石で吸引
力を発生し、その場合電磁石とガイドレールとの吸引力
Ｆｍは一般に次式で与えられる。
磁石の励磁電流を制御すると、それぞれの電磁石で吸引
力を発生し、その場合電磁石とガイドレールとの吸引力
Ｆｍは一般に次式で与えられる。
【００１３】Ｆｍ＝Ｂ2 ・Ｓ／２μ０ ＝（μ０ ・Ｓ／８・ｇ2 ）×（ＮＩ）2 ここで、Ｂ ：ギャップ磁場 Ｓ ：磁極面積 μ0 ：透磁率 ｇ ：ギャップ長 Ｎ ：ターン数 Ｉ ：励磁電流 対向配置された電磁石による案内力Ｆは、それぞれの電
磁石の吸引力Ｆｍ1 、Ｆｍ2 の差で与えられ、次式で表
わされる。
磁石の吸引力Ｆｍ1 、Ｆｍ2 の差で与えられ、次式で表
わされる。
【００１４】Ｆ＝Ｆｍ1 −Ｆｍ2 なお、上式は各対の電磁石が案内手段のフレームに強固
に固定され電磁石対の互いに対向する電磁石間の距離は
変化しない、又電磁石の向きが変化することもないこと
を前提としている。上記吸引力Ｆｍ1 、Ｆｍ2 は理想的
には同じ値であるが、実際には荷室のアンバランスなど
の原因により若干異なるため、ガイドレールをはさんで
互いに反対向きに作用するものである。
に固定され電磁石対の互いに対向する電磁石間の距離は
変化しない、又電磁石の向きが変化することもないこと
を前提としている。上記吸引力Ｆｍ1 、Ｆｍ2 は理想的
には同じ値であるが、実際には荷室のアンバランスなど
の原因により若干異なるため、ガイドレールをはさんで
互いに反対向きに作用するものである。
【００１５】上記解決手段では一対の電磁石を直交軸上
に２対設けたから、直交する軸方向のいずれの方向に対
しても所定のギャップを正確に保持し、テーブルをガイ
ドレールに接触させることなく上下方向に案内できる。
に２対設けたから、直交する軸方向のいずれの方向に対
しても所定のギャップを正確に保持し、テーブルをガイ
ドレールに接触させることなく上下方向に案内できる。
【００１６】第二の解決手段におけるギャップ制御手段
の概略構成を図７に示す。この場合、バイアス電流をＩ
b 、制御電流をＩc とすると案内力は次式で表わされ
る。
の概略構成を図７に示す。この場合、バイアス電流をＩ
b 、制御電流をＩc とすると案内力は次式で表わされ
る。
【００１７】Ｆ＝Ｆｍ1 −Ｆｍ2 ＝（μ0 Ｓ／８ｇ2 ）｛（ＮＩc ＋ＮＩb ）2 −（ＮＩ
c −ＮＩb ）2 ｝ ＝（μ0 ＳＮ2 ／２ｇ2 ）・Ｉb ・Ｉc 上式から分るように、案内力Ｆはバイアス電流Ｉb と制
御電流１c の積で表わされ、近似的に制御電流Ｉc の１
次関数となり、正負両方向に力が発生する。なお、バイ
アス電流による磁力を永久磁石に置替えても同様の効果
が得られる。
c −ＮＩb ）2 ｝ ＝（μ0 ＳＮ2 ／２ｇ2 ）・Ｉb ・Ｉc 上式から分るように、案内力Ｆはバイアス電流Ｉb と制
御電流１c の積で表わされ、近似的に制御電流Ｉc の１
次関数となり、正負両方向に力が発生する。なお、バイ
アス電流による磁力を永久磁石に置替えても同様の効果
が得られる。
【００１８】さらに、第三の解決手段ではテーブルの上
下端に直交軸上の２対の電磁石を２組設けたから、直交
軸のそれぞれの軸の周りにテーブルを回転制御し、テー
ブル上下端でのガイドレールとの隙間を所定のギャップ
に保持して案内することができる。
下端に直交軸上の２対の電磁石を２組設けたから、直交
軸のそれぞれの軸の周りにテーブルを回転制御し、テー
ブル上下端でのガイドレールとの隙間を所定のギャップ
に保持して案内することができる。
【００１９】又、第四の解決手段では直交する軸線上の
一対の電磁石を分割して２対の電磁石を設けたから、ガ
イドレールの上下方向に軸線の周りにテーブルを回転制
御することもできる。
一対の電磁石を分割して２対の電磁石を設けたから、ガ
イドレールの上下方向に軸線の周りにテーブルを回転制
御することもできる。
【００２０】以上のいずれかの解決手段において駆動部
としてリニアモータを設けると、ガイドレールに対して
非接触で駆動力が与えられ、テーブルを無発塵で案内駆
動することができる。
としてリニアモータを設けると、ガイドレールに対して
非接触で駆動力が与えられ、テーブルを無発塵で案内駆
動することができる。
【００２１】上記リニアモータに対して搬送テーブルに
カウンタウェイトを接続するとリニアモータの負荷が軽
減され、軽負荷で昇降駆動できることになる。
カウンタウェイトを接続するとリニアモータの負荷が軽
減され、軽負荷で昇降駆動できることになる。
【００２２】
【実施例】以下この発明の実施例について図面を参照し
て説明する。図１は実施例の無塵垂直リフターの側面図
である。１はガイドレール、２は搬送テーブル、３は案
内手段である。ガイドレール１は磁性体から成り垂直方
向に設けられ、このガイドレール１に沿って搬送テーブ
ル２は非接触で案内され昇降する。案内手段３は搬送テ
ーブル２に付設されガイドレール１との間のギャップを
電磁力で調整しつつテーブル２を案内する。
て説明する。図１は実施例の無塵垂直リフターの側面図
である。１はガイドレール、２は搬送テーブル、３は案
内手段である。ガイドレール１は磁性体から成り垂直方
向に設けられ、このガイドレール１に沿って搬送テーブ
ル２は非接触で案内され昇降する。案内手段３は搬送テ
ーブル２に付設されガイドレール１との間のギャップを
電磁力で調整しつつテーブル２を案内する。
【００２３】案内手段３は、図２の平面図に示すよう
に、断面が中空四角形のガイドレール１を取り囲む矩形
状の取付フレーム４と複数組の電磁石５とから成る。こ
の実施例では電磁石５は取付フレーム４の内面に設けた
電磁石５ａ〜５ｄから成り、互いに対向する面に向けた
５ａと５ｃ、５ｂと５ｄをそれぞれ互いに対称なものと
している。さらに、電磁石５ｂ、５ｄはそれぞれ２分割
され、電磁石５ｂ1 と５ｂ2 、５ｄ1 と５ｄ2 から成
り、５ｂ1 と５ｄ1 、５ｂ2 と５ｄ2 がそれぞれ対にな
っている。
に、断面が中空四角形のガイドレール１を取り囲む矩形
状の取付フレーム４と複数組の電磁石５とから成る。こ
の実施例では電磁石５は取付フレーム４の内面に設けた
電磁石５ａ〜５ｄから成り、互いに対向する面に向けた
５ａと５ｃ、５ｂと５ｄをそれぞれ互いに対称なものと
している。さらに、電磁石５ｂ、５ｄはそれぞれ２分割
され、電磁石５ｂ1 と５ｂ2 、５ｄ1 と５ｄ2 から成
り、５ｂ1 と５ｄ1 、５ｂ2 と５ｄ2 がそれぞれ対にな
っている。
【００２４】上記電磁石５のグループは、図１に示すよ
うに搬送テーブル２に対して上下に２組設けられ、テー
ブル２の支持ブラケット２ａに固定されている。
うに搬送テーブル２に対して上下に２組設けられ、テー
ブル２の支持ブラケット２ａに固定されている。
【００２５】取付フレーム４には、電磁石５とガイドレ
ール１の間のギャップを測定するためのギャップセンサ
６が少なくとも２面に設けられており、このギャップセ
ンサ６からの信号により、電磁石５の励磁電流を制御す
る制御回路７が搬送テーブル２の下面に設けられてい
る。８は牽引ベルト、９は給電ケーブルである。牽引ベ
ルトの駆動部や電源は発塵対策を施した遠隔場所に設
け、適宜手段で牽引ベルト８、給電ベルト９に接続する
（図示省略）。又、これら牽引ベルト８、給電ケーブル
９をガイドレール内の空間に配置することにより発塵対
策とすることもできる。さらに、給電ケーブル９と牽引
ベルト８を兼用した形状のものとすることもできる。
ール１の間のギャップを測定するためのギャップセンサ
６が少なくとも２面に設けられており、このギャップセ
ンサ６からの信号により、電磁石５の励磁電流を制御す
る制御回路７が搬送テーブル２の下面に設けられてい
る。８は牽引ベルト、９は給電ケーブルである。牽引ベ
ルトの駆動部や電源は発塵対策を施した遠隔場所に設
け、適宜手段で牽引ベルト８、給電ベルト９に接続する
（図示省略）。又、これら牽引ベルト８、給電ケーブル
９をガイドレール内の空間に配置することにより発塵対
策とすることもできる。さらに、給電ケーブル９と牽引
ベルト８を兼用した形状のものとすることもできる。
【００２６】以上のように構成した実施例の垂直リフタ
ーは次のようにして無発塵でガイドレールに沿って昇降
される。即ち垂直リフターのテーブル２の昇降について
は牽引ベルト８で上下方向に駆動される。牽引ベルト８
は駆動部が発塵しない位置に設けられているから、無発
塵で搬送テーブル２を昇降させることができる。
ーは次のようにして無発塵でガイドレールに沿って昇降
される。即ち垂直リフターのテーブル２の昇降について
は牽引ベルト８で上下方向に駆動される。牽引ベルト８
は駆動部が発塵しない位置に設けられているから、無発
塵で搬送テーブル２を昇降させることができる。
【００２７】搬送テーブル２の昇降中にテーブルはガイ
ドレール１に対して電磁石５によりギャップを制御しな
がら案内される。電磁石５による案内は、図２に示すよ
うに、例えばｘ軸方向へは電磁石５ａと５ｃの一対によ
り行なわれる。ｙ軸方向に対しても同様であるが、この
場合電磁石５ｂ、５ｄはそれぞれ２つに分割されている
から、５ｂ1 と５ｄ1 、５ｂ2 と５ｄ2 の２対の電磁石
により図１に示すｚ軸の周りに回転制御することもでき
る。
ドレール１に対して電磁石５によりギャップを制御しな
がら案内される。電磁石５による案内は、図２に示すよ
うに、例えばｘ軸方向へは電磁石５ａと５ｃの一対によ
り行なわれる。ｙ軸方向に対しても同様であるが、この
場合電磁石５ｂ、５ｄはそれぞれ２つに分割されている
から、５ｂ1 と５ｄ1 、５ｂ2 と５ｄ2 の２対の電磁石
により図１に示すｚ軸の周りに回転制御することもでき
る。
【００２８】図３は、図２の電磁石対のうちの５ａ、５
ｃの２対に対する電磁石の構成及びその作用を説明する
図であって、基本的には図７と同じである。従って、案
内力はバイアス電流Ｉb と制御電流Ｉc の積に比例し、
バイアス電流Ｉb が一定であれば近似的に制御電流Ｉc
の１次関数となり正負両方向の力が発生する。
ｃの２対に対する電磁石の構成及びその作用を説明する
図であって、基本的には図７と同じである。従って、案
内力はバイアス電流Ｉb と制御電流Ｉc の積に比例し、
バイアス電流Ｉb が一定であれば近似的に制御電流Ｉc
の１次関数となり正負両方向の力が発生する。
【００２９】案内力はガイドレール１を挟んで対向する
２対の電磁石５ａ、５ｃが同じギャップ量ｇで正確に位
置しながら移動するときはゼロであるが、実際には荷重
のアンバランスなど種々の要因で向い合う電磁石対５
ａ、５ｃのガイドレール１に対するギャップ量ｇが変化
することにより発生する。
２対の電磁石５ａ、５ｃが同じギャップ量ｇで正確に位
置しながら移動するときはゼロであるが、実際には荷重
のアンバランスなど種々の要因で向い合う電磁石対５
ａ、５ｃのガイドレール１に対するギャップ量ｇが変化
することにより発生する。
【００３０】従って、制御電流Ｉc は上記案内力の方向
がガイドレール１に対するギャップ量ｇの値が変化した
際にその変化を打消す方向となるように正負いずれかの
電流として流し、常にギャップ量ｇが対向する側で同じ
となるように制御すればよい。
がガイドレール１に対するギャップ量ｇの値が変化した
際にその変化を打消す方向となるように正負いずれかの
電流として流し、常にギャップ量ｇが対向する側で同じ
となるように制御すればよい。
【００３１】なお、図３に示す２つの電磁石対は左側で
ＮとＮ極により反発し、右側ではＮとＳ極のため吸引し
合うが、電磁石５ａ、５ｃは取付フレーム４に強固に取
付けられているため、５ａと５ｃが斜めに向いて変形す
るようなことはない。
ＮとＮ極により反発し、右側ではＮとＳ極のため吸引し
合うが、電磁石５ａ、５ｃは取付フレーム４に強固に取
付けられているため、５ａと５ｃが斜めに向いて変形す
るようなことはない。
【００３２】さらに、上記３対の電磁石のグループは搬
送テーブル２の上下端にも設けられているから、ｘ軸上
の電磁石５ａ、５ｃのグループを上下で作動させること
によってｙ軸の周りに、又ｙ軸上の電磁石５ｂ、５ｄを
上下で作動させることによってｘ軸の周りにそれぞれ回
転制御することもできる。
送テーブル２の上下端にも設けられているから、ｘ軸上
の電磁石５ａ、５ｃのグループを上下で作動させること
によってｙ軸の周りに、又ｙ軸上の電磁石５ｂ、５ｄを
上下で作動させることによってｘ軸の周りにそれぞれ回
転制御することもできる。
【００３３】以上により、ガイドレール１と案内手段３
とのギャップはｘ、ｙ軸の２軸方向への移動制御と、
ｘ、ｙ、ｚ軸の３軸方向の回転制御をすることにより所
定の隙間に正確に制御される。
とのギャップはｘ、ｙ軸の２軸方向への移動制御と、
ｘ、ｙ、ｚ軸の３軸方向の回転制御をすることにより所
定の隙間に正確に制御される。
【００３４】図４に第二実施例の垂直リフターの側面図
を示す。この実施例は搬送テーブル２、案内手段３は基
本的に同じであるが、搬送テーブル２を昇降させるため
の駆動手段としてリニアモータ８′を設け、テーブルの
位置・速度を検出するためのリニアスケール１０ａとそ
のスケール読み取りのためのセンサー１０ｂを設けた点
が第一実施例と異なる。第一実施例と同じ機能部材には
同一符号を付して説明は省略する。
を示す。この実施例は搬送テーブル２、案内手段３は基
本的に同じであるが、搬送テーブル２を昇降させるため
の駆動手段としてリニアモータ８′を設け、テーブルの
位置・速度を検出するためのリニアスケール１０ａとそ
のスケール読み取りのためのセンサー１０ｂを設けた点
が第一実施例と異なる。第一実施例と同じ機能部材には
同一符号を付して説明は省略する。
【００３５】リニアモータ８′は、搬送テーブル２の取
付ブラケット２ａ又は案内手段３の取付フレーム４のい
ずれかの取付面にガイドレール１の面に対向して適当数
の１次側コイル８ａ′を取付け、ガイドレール１の面に
その長さ方向に沿って２次側導体８ｂ′を取付けたもの
から成る。かかるリニアモータ８′によって搬送テーブ
ル２は非接触でガイドレール１に沿って昇降する。
付ブラケット２ａ又は案内手段３の取付フレーム４のい
ずれかの取付面にガイドレール１の面に対向して適当数
の１次側コイル８ａ′を取付け、ガイドレール１の面に
その長さ方向に沿って２次側導体８ｂ′を取付けたもの
から成る。かかるリニアモータ８′によって搬送テーブ
ル２は非接触でガイドレール１に沿って昇降する。
【００３６】リニアスケール１０ａはバーコード状の識
別マークを長さ方向に沿って表示したものであり、その
識別マークをセンサー１０ｂにより光学的に読取って位
置・速度を検出し、この信号に基づきリニアモータ８’
の１次側コイル８ａの励磁電圧を制御し、リニアモータ
８の推力をコントロールする。なお、リニアスケールは
磁気式のものでもよい。
別マークを長さ方向に沿って表示したものであり、その
識別マークをセンサー１０ｂにより光学的に読取って位
置・速度を検出し、この信号に基づきリニアモータ８’
の１次側コイル８ａの励磁電圧を制御し、リニアモータ
８の推力をコントロールする。なお、リニアスケールは
磁気式のものでもよい。
【００３７】図５は、図４の第二実施例の垂直リフター
に対してカウンタウェイト１１を設けた例を示す。カウ
ンタウェイト１１はベルト１１ａを介してテーブル重量
と同等の重さで釣合せるようにしておくと、リニアモー
タ８の負荷を減少させることができ、さらにテーブル停
止時にはリニアモータ８の励磁電圧をゼロにすることが
できる。
に対してカウンタウェイト１１を設けた例を示す。カウ
ンタウェイト１１はベルト１１ａを介してテーブル重量
と同等の重さで釣合せるようにしておくと、リニアモー
タ８の負荷を減少させることができ、さらにテーブル停
止時にはリニアモータ８の励磁電圧をゼロにすることが
できる。
【００３８】図６は図５のリニアモータ８の１次側コイ
ル８ａと２次側導体８ｂとを逆にして設けた例を示す。
従って、この場合は地上側に固定される１次側コイル８
ａは適当な間隔で複数組必要である。２次側導体８ｂは
取付フレーム４と４に取付けられている。
ル８ａと２次側導体８ｂとを逆にして設けた例を示す。
従って、この場合は地上側に固定される１次側コイル８
ａは適当な間隔で複数組必要である。２次側導体８ｂは
取付フレーム４と４に取付けられている。
【００３９】なお、上記いずれの実施例も給電ケーブル
９により電源を供給するようにしているが、テーブルに
バッテリを搭載し、それにより電磁石等の電力を供給す
ることにより給電ケーブル９は省略してもよい。
９により電源を供給するようにしているが、テーブルに
バッテリを搭載し、それにより電磁石等の電力を供給す
ることにより給電ケーブル９は省略してもよい。
【００４０】
【効果】以上詳細に説明したように、この発明の垂直リ
フターは搬送テーブルを案内手段でガイドレールに対し
て非接触で案内して昇降させ、案内手段は少なくとも一
対の電磁石を対向配置しギャップ調整をするギャップ制
御手段を備えたものとしたから、一対の電磁石の吸引力
の差を案内力として搬送テーブルを案内することがで
き、従ってリニアガイド、ボールネジ等が不要となり潤
滑油の飛散や摺動部での摩耗による発塵を完全に防止で
きるという利点が得られ、半導体工場のクリーンルーム
内のウェハー移載用リフター等の用途に用いるとコンパ
クト化、付帯設備の簡素化等の効果がある。
フターは搬送テーブルを案内手段でガイドレールに対し
て非接触で案内して昇降させ、案内手段は少なくとも一
対の電磁石を対向配置しギャップ調整をするギャップ制
御手段を備えたものとしたから、一対の電磁石の吸引力
の差を案内力として搬送テーブルを案内することがで
き、従ってリニアガイド、ボールネジ等が不要となり潤
滑油の飛散や摺動部での摩耗による発塵を完全に防止で
きるという利点が得られ、半導体工場のクリーンルーム
内のウェハー移載用リフター等の用途に用いるとコンパ
クト化、付帯設備の簡素化等の効果がある。
【図１】実施例の無塵垂直リフターの側面図
【図２】図１の線II−IIから見た平面図
【図３】図２の電磁石の一対を拡大した説明図
【図４】第二実施例の無塵垂直リフターの側面図
【図５】第二実施例にカウンタウェイトを付加した例の
側面図
側面図
【図６】第二実施例のリニアモータを変形した例の側面
図
図
【図７】電磁石対による案内力の発生を説明する原理図
１ ガイドレール ２ 搬送テーブル ３ 案内手段 ４ 取付フレーム ５ 電磁石 ６ ギャップセンサ ７ 制御回路 ８ 牽引ベルト ９ 給電ケーブル １０ａ リニアケーブル １０ｂ センサー １１ カウンタウェイト
Claims (6)
- 【請求項１】 垂直方向に設けられる磁性体のガイドレ
ールに沿って非接触で昇降する搬送テーブルを設け、こ
のテーブルにガイドレールとの間のギャップを電磁力で
調整しつつ案内する案内手段を設け、案内手段がガイド
レールを挟んでその断面の互いに直交する軸上の四面に
対向配置される２対の電磁石と、その励磁電流をギャッ
プセンサからのフィードバック信号に基づいて制御して
ギャップを調整するギャップ制御手段を備えて成る無塵
垂直リフター。 - 【請求項２】 前記電磁石を、対向する磁極の２対にそ
れぞれコイルを巻いて形成し、その一方にバイアス電流
を他方に制御電流を流し、ギャップセンサからのフィー
ドバック信号に基づいて制御電流を制御してギャップを
調整することを特徴とする請求項１に記載の無塵垂直リ
フター。 - 【請求項３】 前記直交軸上の２対の電磁石をテーブル
の上下端に２組設けたことを特徴とする請求項１又は２
に記載の無塵垂直リフター。 - 【請求項４】 前記ガイドレールの直交する一方の軸線
上の一対の電磁石を分割してその軸線に対称に２対設け
たことを特徴とする請求項３に記載の無塵垂直リフタ
ー。 - 【請求項５】 前記搬送テーブルの昇降のための駆動部
としてリニアモータを設けたことを特徴とする請求項１
乃至４のいずれかに記載の無塵垂直リフター。 - 【請求項６】 前記搬送テーブルにカウンタウェイトを
接続して駆動部の負荷を軽減させるようにしたことを特
徴とする請求項５に記載の無塵垂直リフター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6232833A JPH0891570A (ja) | 1994-09-28 | 1994-09-28 | 無塵垂直リフター |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6232833A JPH0891570A (ja) | 1994-09-28 | 1994-09-28 | 無塵垂直リフター |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0891570A true JPH0891570A (ja) | 1996-04-09 |
Family
ID=16945509
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6232833A Pending JPH0891570A (ja) | 1994-09-28 | 1994-09-28 | 無塵垂直リフター |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0891570A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003341844A (ja) * | 2002-05-24 | 2003-12-03 | Korea Electrotechnology Research Inst | 移送装置 |
| JP2007221948A (ja) * | 2006-02-17 | 2007-08-30 | 智明 ▲高▼尾 | 超伝導体の常伝導転移を利用した電流制御装置 |
| JP2010111513A (ja) * | 2008-11-07 | 2010-05-20 | Sfa Engineering Corp | 移送装置 |
| KR20230100556A (ko) * | 2021-12-28 | 2023-07-05 | 세메스 주식회사 | 자기 부상 타워 리프트의 캐리지 가이드 시스템 및 이를 이용한 캐리지 시스템 |
-
1994
- 1994-09-28 JP JP6232833A patent/JPH0891570A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003341844A (ja) * | 2002-05-24 | 2003-12-03 | Korea Electrotechnology Research Inst | 移送装置 |
| JP2007221948A (ja) * | 2006-02-17 | 2007-08-30 | 智明 ▲高▼尾 | 超伝導体の常伝導転移を利用した電流制御装置 |
| JP2010111513A (ja) * | 2008-11-07 | 2010-05-20 | Sfa Engineering Corp | 移送装置 |
| KR20230100556A (ko) * | 2021-12-28 | 2023-07-05 | 세메스 주식회사 | 자기 부상 타워 리프트의 캐리지 가이드 시스템 및 이를 이용한 캐리지 시스템 |
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