KR101882507B1 - 클린 리프터 - Google Patents

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Abstract

클린 리프터에 관하여 개시된다. 본 발명은, 제어신호로 회전이 제어되는 구동부의 축에 감기고 풀리는 케이블; 및 상기 케이블에 연결되어 케이블의 당김과 풀림으로 수직 방향으로 움직이면서 기판 또는 수용용기를 이동시키는 이동 장치;를 포함한다.

Description

클린 리프터{Clean lifter}
본 발명은 클린 리프터에 관한 것으로서 더 상세하게는 기판 제조공정상에서 기판의 이송 중 발생되는 파티클을 억제하거나 줄이는 클린 리프터에 관한 것이다.
클린 환경을 필요로 하는 반도체 제조공정 또는 LCD/OLED/PDP 등을 포함한 평판표시소자 등의 제조공정에서 운용되는 자동 이송장비는 기판이나 유리원판(이하, '기판'이라 한다)을 정해진 이송라인을 따라 반송하면서 단계별 공정 수행으로 제품을 제조하기 위해 리프터, 컨베이어, 디버터, 셔틀, 스토커 크레인 시스템, 픽 앤 플레이스 로봇, 핸들링 로봇, AGV(Automatic Guided Vehicle), OHT(Overhead Hoist Transfer System), OHS(Over Head Shuttle System)등의 다양한 장비들이 이용되고 있다. 기판의 취급에서 기판을 정해진 이송라인으로 반송하기 위해서는 여러 장의 기판을 동시에 적재하여 이동시키고 보관할 수 있는 카세트 또는 매거진(이하, '수용용기'라 한다) 등이 사용되는데 많은 수의 수용용기들을 자동 이송장치를 통해 반송하는 과정에서 이송장비를 구성하는 구동부 및 가이드의 작동 중 마찰과 마모, 충돌, 단차 진동, 기울어짐 등에 의해 파티클(Particle)이 발생 되고 있고 발생된 파티클은 제조 공정 라인을 따라 이송되는 기판에 침투되어 기판을 오염시키고 수율을 저하시키는 원인으로 작용 되고 있다.
자동 이송장치를 통한 기판의 이송처리 과정에서 파티클의 억제와 예방은 생산 공정의 연속성 유지와 제품의 질, 그리고 수율에 직접 영향을 미치고 있지만 이송장비의 운용은 그 자체로서 파티클의 발생을 동반하므로 원인을 찾아서 해결하는 방법이 대안일 수 있다.
파티클은 리프터에서도 발생 되고 있는데 현재 클린 환경의 기판 제조공정에서 운용되고 있는 리프터는 구조적으로 기계적 마찰과 마모에 따른 상당량의 파티클을 발생시키고 있어 파티클의 억제와 예방이 필요한 실정이다.
특허문헌 1. KR 공개특허 제10-2010-0098840(공개일 2010년09월10일)
특허문헌 2. KR 공개특허 제10-2002-0017494(공개일 2002년03월07일)
본 발명은 상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로, 본 발명의 목적은, 기판 이송에서 발생 되는 파티클을 억제하거나 줄이는 클린 리프터를 제공하는데 있다.
상기 목적들은, 본 발명에 따르면, 제어신호로 회전이 제어되는 구동부의 축에 감기고 풀리는 케이블; 및 상기 케이블의 당김과 풀림으로 수직 방향으로 움직이면서 기판 또는 수용용기를 이동시키는 이동 장치;를 포함하는 클린 리프터에 의해 달성될 수 있다.
본 발명의 실시 예에 의하면, 리프터는 이동 장치의 수직 방향 이동을 안내하고 가이드하는 가이드 유닛을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 의하면, 구동부는, 제어부로부터 제어신호로 구동되는 모터 및 그 모터의 축, 상기 축에 결합되어 케이블을 축의 회전 방향에 의해 권취하거나 풀어서 내리는 권취 릴을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 의하면, 케이블은, 구동부의 축에 감기고 풀릴 수 있는 연질성 소재 중에서 선택된 밴드형의 벨트로서, 전원선, 신호선, 심선 중 하나 이상이 밴드형의 벨트에 의해 감싸져 구성될 수 있다.
본 발명의 실시 예에 의하면, 이동 장치는, 케이블이 연결된 헤드, 상기 헤드는 케이블 장력으로 수직 방향 위치가 결정되고, 상기 헤드에는 기판 또는 수용용기를 클램핑 하는 클램핑 핑커를 구비할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 의하면, 이동 장치는, 헤드가 캐리어에 장착되어 있으며, 캐리어의 수직 방향 현재 위치에 따라 수직 방향 위치가 결정될 수 있다.
본 발명의 실시 예에 의하면, 가이드 유닛은, 리프터의 엘리베이션 영역을 결정하는 복수의 수직 프레임, 수직 프레임을 따라 롤링하도록 프레임과 조우하는 아암 들이 있고, 아암에는 수직 프레임의 벽면과 대면하여 접촉되는 롤러가 달린 롤러 헤드를 포함하는 캐리어 및 케이블 요소를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 의하면, 롤러 헤드는, 수직 프레임의 수직 벽면에 대하여 적어도 1면에 내접하는 1군의 롤러를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 의하면, 롤러 헤드는, 수직 프레임의 수직 벽면에 대하여 2면에 내접하는 직각 배열의 2군의 롤러를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 의하면, 롤러 헤드는, 캐리어의 사행 이동을 막기 위해 수직 방향으로 2개의 롤러로 정렬될 수 있다.
본 발명은, 클린 환경이 요구되는 기판 제조공정에서 파티클 발생을 억제하면서 운용할 수 있는 클린 리프터를 제공하는 효과가 있다. 본 발명은, 기판을 이동시키는 이동 장치의 승강 과정에서 마찰과 마모를 없애거나 최소화시키도록 유도되어 파티클 발생이 억제되거나 발생되는 양이 기존에 비해 감소된다.
도 1 은 본 발명의 실시 예에 따른 클린 리프터의 예이다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 클린 리프터의 일부를 확대하여 나타낸 예이다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 클린 리프터의 정면 예이다.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 클린 리프터의 케이블 설치 구조의 예이다.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 클린 리프터의 케이블 구조의 예이다.
도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 클린 리프터의 이동 장치의 예이다.
도 7은 본 발명의 실시 예에 따른 클린 리프터의 이동 장치의 저부를 나타낸 것으로 이동 장치의 작동 예이다.
도 8은 본 발명의 실시 예에 따른 클린 리프터의 가이드 유닛을 구성하는 롤러 헤드부의 예이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명에 따른 '클린 리프터'를 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
본 발명은, 기판 제조공정 중 기판의 이동에서 파티클 발생을 억제하거나 예방하여 클린 환경 유지에 부합되는 이송 장비의 하나로 운용 가능한 클린 리프터로 제시된다.
본 발명은, 기판을 이동시키는 이동 장치가 슬라이드 점 접촉 롤링으로 접촉 저항과 마찰을 줄이면서 승강 되도록 유도되어 파티클 발생이 억제되는 클린 리프터로 제시된다.
클린 환경의 반도체 제조공정에서 운용되는 리프터의 예를 반도체 제조공정 중 후공정에서 예를 들면, 다수의 기판을 수용용기에 적재하여 운반하고 운반 도중 수용용기의 로딩/언로딩 장치를 이용하여 취급하고 있으며 이러한 로딩/언로딩 장치에는 수용용기를 반송하는 리프터(엘리베이터라고도 한다)가 설치되어 수용용기 자체를 승강시키거나 또는 수용용기에 수납된 기판을 승하강 시키는 역할을 하고 있으며 반도체 제조공정의 후공정부에서 사용되고 있는 리프터의 구성은 일반적으로 제어수단에 의해 동작이 제어되는 구동수단, 구동수단의 작동으로 수용용기를 운반하는 이동블럭, 구동수단에 의해 회전되어 이동블럭을 위아래로 승강시키는 가이드로 되어 있다.
이동블럭을 승강시키는 방식으로는 흔히 볼스크류 방식과 벨트 체인 방식이 이용되고 있다. 이동블럭을 이동시키는 볼스크류 또는 벨트 체인은 이동블럭의 승강을 위해 업-다운이 반복되어 분진을 일으키거나 파티클 발생원으로 될 수 있는데 볼스크류식 리프터의 예를 들면 제어부 입력신호에 의해 모터(스테핑 모터)가 작동하면 공정 진행 방향과 수직으로 배치되는 볼스크류가 회전하고 여기에 맞물리는 이송너트 또는 볼스크류 홀더에 의해 이동블럭이 승강되는데 볼스크류 의존형 승강 방식의 리프터는 볼스크류와 가이드에서 기계적 마찰 마모가 지속적으로 발생되어 파티클 발생을 억제하는데 한계가 있고, 볼스크류 방식의 리프터의 운용은 그 자체로서 파티클 발생을 동반하게 된다. 따라서, 반도체 제조공정을 포함한 파티클 관리가 필요한 클린 환경의 기판 제조공정에서는 분진을 일으키지 않으면서도 파티클 제어가 가능한 리프터가 필요하다.
도 1 은 본 발명의 실시 예에 따른 클린 리프터의 예시이다. 도 2는 클린 리프터의 일부 확대도의 예시이다. 도 3은 클린 리프터의 정면도의 예시이다.
본 발명의 실시 예에 따른 클린 리프터(100)는 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이 제어부(미도시)의 제어신호로 제어되는 회전 구동부(110), 구동부(110)의 축(111)에 감기고 풀리는 케이블(200), 케이블(200)의 당김과 풀림으로 수직 방향으로 움직이는 이동 장치(300)로 이루어진다.
본 발명의 실시 예에 따른 클린 리프터(100)는 이동 장치(300)의 수직 방향 이동을 안정적으로 유도하고 가이드 하는 가이드 유닛(400)을 포함할 수 있다.
구동부(110)는, 제어부로부터 제어신호로 구동되는 모터(112) 및 그 모터(112)의 축(111), 상기 축(111)에 결합되어 케이블(200)을 축(111)의 회전 방향에 의해 권취 하거나 풀어서 내리는 권취 릴(113)로 구성될 수 있다. 구동부(110)는 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이 상부 플레이트(101)에 설치될 수 있으며 축(111)의 일단은 지지블럭(114)으로 지지되어 플레이트(101) 상에 설치될 수 있다. 상부 플레이트(101)에는 케이블(200)이 지나다니는 통로로서 가이드 홀(101a)이 뚫려져 있다(도 4 참조).
도 1 내지 도 3에서 미설명 부호 '500'은 여러 장의 기판(A)이 수용된 수용용기(510)를 리프터(100)의 이동 장치(300)를 중심으로 그 주변부로 보내는 '피더'로서, 피더(500)의 배치 위치와 수는 필요에 따라 조정하여 선택될 수 있으므로, 구체적인 설명은 생략한다.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 클린 리프터의 케이블 설치 구조의 예시이다. 도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 클린 리프터의 케이블 구조의 예시이다.
케이블(200)은, 도 5에 도시된 바와 같이 구동부의 축(111)에 감기고 풀릴 수 있는 연질 소재 중에서 선택된 띠 모양의 밴드형의 벨트(211)로서, 전원선, 신호선, 심선 중 하나 이상의 와이어(212)가 밴드형의 벨트(211)에 의해 감싸져 피복되어 있다.
와이어(212)들과 벨트(211) 사이는 절연제를 채워넣어 신호 교란을 줄일 수 있으며 바람직하게는 벨트(211)의 강성과 인성이 충분히 유지될 수 있도록 성형하는 것이 좋다. 벨트(211)를 따라 설치되는 와이어(212)들은 벨트 성형 과정에서 와이어(212)를 함침시켜 일체형으로 형성할 수도 있다.
벨트(211)는 와이어(212)를 보호하는 피복제로서 기능 하고, 바람직하게는 끊어지지 않고 질긴 인성과 릴에 자유롭게 감기고 휠 수 있는 물성이 있는 것이 좋다. 벨트(211)의 소재 재료로는 바람직하게는 내마모, 내진, 내충격성을 적어도 하나 이상 가지는 합성수지, 연질수지, 폴리우레탄, 폴리프로필렌 중에서 선택될 수 있다.
도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 클린 리프터의 이동 장치의 예시이다. 도 7은 본 발명의 실시 예에 따른 클린 리프터의 이동 장치의 저부를 나타낸 것으로 이동 장치의 작동 예이다.
이동 장치(300)는, 일종의 로봇을 포함할 수 있다. 이동 장치(300)는 케이블(200)에 연결된 되는 헤드(310), 헤드(310)는 케이블(310) 장력으로 수직 방향 위치가 결정되고, 헤드(310)에는 기판(A) 또는 수용용기(510)를 클램핑 하는 클램핑 핑거(320)를 구비할 수 있다.
이동 장치(300)는, 헤드(310)가 캐리어(410)에 대하여 수직 방향으로 장착되어 있으며, 캐리어(410)의 수직 방향 현재 위치에 의해 수직 방향 위치가 결정되도록 되어 있다.
이동 장치(300)는 도 7에 도시된 바와 같이 제어부로부터 제어신호에 의해 헤드(310) 및 클램핑 핑거(320)는 캐리어(410)를 중심으로 회전 방향(W3)으로 회전이 가능하고, 전후좌우 방향(W1/W2/W4)으로 일정한 스트로크로 작동되면서 수용용기나 기판을 잡고 움직이면서 이송시킬 수 있는 이동 가능한 통상의 장치로 구성될 수 있다.
본 발명에 적용 가능한 이동 장치로는 프로그램 제어로 작동 가능한 통상의 이동 장치(일종의 로봇을 포함할 수 있다)를 포함할 수 있으며 바람직하게는 캐리어에 장착하여 적용하는 것과 관련되므로 이동 장치의 작동 원리 및 구조는 본 발명의 요지와 직접 관련이 없어 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.
도 8은 본 발명의 실시 예에 따른 클린 리프터의 가이드 유닛을 구성하는 롤러 헤드를 나타낸 예시이다.
가이드 유닛(400)은, 도 1 내지 도 3 및 도 8에 도시된 바와 같이, 리프터의 엘리베이션 영역을 결정하는 복수의 수직 프레임(102)들, 수직 프레임(102)들을 따라 롤링하도록 수직 프레임(102)과 조우하는 아암(401) 들이 있고, 아암(401)에는 수직 프레임(102)의 벽면과 대면하여 접촉되는 롤러(402)가 달린 롤러 헤드(403)를 포함하는 캐리어(410) 및, 내마모성을 가지는 케이블(200)로 구성될 수 있다.
롤러 헤드(403)는, 수직 프레임(102)의 수직 벽면에 대하여 적어도 1면에 내접하는 1군의 롤러(402)로 구성될 수 있다.
롤러 헤드(403)는, 수직 프레임(102)의 수직 벽면에 대하여 2면에 내접하는 직각 배열의 2군의 롤러(402)로 구성될 수 있다.
수직 프레임(102)의 벽면에 대하여 수직 방향으로 2면에 동시에 내접하는 직각 배열로 되는 2군의 롤러(402)는 1군의 롤러(402)에 비해 수직 프레임(102)에 대하여 수직 방향으로 2점 접촉을 유도하여 캐리어(410)를 흔들림이나 유동 없이 승강시키는데 있어서 1군의 롤러(402)에 비해 유리할 수 있다. 도면에는 1개의 수직 프레임(102)에 대하여 직각 방향으로 2군의 롤러(402)가 배치된 예로 나타나 있다.
롤러 헤드(102)는, 캐리어(410)의 사행 이동(수평 방향 유동 또는 기울기 유동)을 막기 위해 수직 방향으로 2개의 롤러(402)를 정렬하여 구성될 수 있다. 수직 방향으로 나란한 2개의 롤러(402)는 1개의 롤러(402)에 비해 수직 프레임(102)에 대하여 수직 방향으로 2점 접촉을 유도하여 사행 유동을 막는데 유리하다. 롤러 헤드(403)에 회전 가능하게 설치되는 롤러(402)는 베어링 요소와 같다.
이와 같이 구성되는 본 발명의 실시 예에 따른 클린 리프터의 작동을 도면 도 1 내지 도 8을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
구동부(110)의 모터(112)가 제어부의 구동 명령에 의해 구동을 시작하면 축(111)이 회전하고 케이블(200)을 감는 권취 릴(113)은 축(111)의 회전 방향으로 연동 된다.
모터(110)의 정방향(시계방향) 회전이 이동 장치(300)의 상승이고, 역방향(반시계 방향)이 하강인 경우, 모터의 정방향 회전은 케이블(200)을 권취 릴(113)로 감아서 케이블(200)에 연결되어 있는 이동 장치(300)를 케이블(200)이 감겨진 거리만큼 끌어올려 상승시킨다. 모터의 구동이 정지되면 이동 장치(300)는 정지된 위치에 대기 된다.
이 상태에서 모터의 축이 역방향으로 회전되거나 또는 세팅된 릴리스 타이밍에 도달되면 권취 릴(113)에 감겨져 있던 케이블(200)이 풀리면서 이동 장치(200)가 하강을 시작하고 케이블(200)이 풀려나간 길이만큼 이동 장치(200)가 하강 된다. 모터의 구동이 정지되면 정지된 위치에서 하강을 멈추고 대기 된다.
기판(A)이 넣어져 있는 수용용기(510)는 피더(500)에 의해 이동 장치(200)로 공급될 수 있다. 피더(500)의 위치는 장비 세팅 환경에 따라 변동될 수 있는 것으로 정해진 위치는 아니다.
예를 들면 기판(A)이 담긴 수용용기(510)를 피더(500)를 통해 이동 장치(300)의 주변부로 보내면 이동 장치(300)는 기판(A) 또는 수용용기(510)의 위치를 검지하고 구동부의 이송 타이밍 제어에 따라 모터가 구동하여 기판(A) 또는 수용용기(510)에 이동 장치(300)를 접근시켜 클램핑 핑거(320)를 통해 기판(A) 또는 수용용기(510)를 홀딩하여 다음 위치로 반송시키고 원위치로 복귀될 수 있다. 이동 장치(300)는 다축 다방향으로 자유롭게 이동할 수 있는 기능을 구비할 수도 있다.
이동 장치(300)는 가이드 유닛(400)의 캐리어(410)에 의해 가이드 되면서 승강 될 수 있다. 승강 과정에서 이동 장치(300)는 캐리어 아암(401)들에 설치된 롤러 헤드(401)와 롤러(402)의 베어링 구름 점 접촉으로 사행 이동을 방지하고 흔들림이나 이탈 없이 규정된 수직 프레임(101)의 트랙을 따라 승강 되도록 유도된다.
이 과정에서 캐리어(410)는 이동 장치(300)의 이동을 수직 축 방향으로 흔들림이나 유동 없이 유도하고 롤러(402)들은 수직 프레임(101)의 벽면을 따르는 베어링 점 접촉 구름에 의해 습동면에서의 마찰 마모를 최대한으로 억제하게 된다.
캐리어(410)의 승강은 수직 프레임(101)과 점 접촉 구름운동으로 승강이 유도되는 방식이므로 마찰 저항과 마모는 거의 일어나지 않는다. 따라서 통상의 리프터에서 발생 되고 있는 파티클 문제는 가이드 유닛(400)으로 해결될 수 있다.
가이드 유닛(400)은 리프터(100)의 전체 엘리베이션 영역을 결정하는 복수의 수직 프레임(102)들을 따라 롤링하도록 수직 프레임(102)과 조우하는 아암(401)들이 수직 프레임(102)의 벽면 트랙과 대면하여 접촉되는 롤러(402)가 달린 롤러 헤드(403)가 장착된 캐리어(410)로 이루어져 있으므로 이동 장치(300)의 사행 이동을 방지하고 수직 프레임(101)의 트랙을 따라 유동 없이 승강 되도록 작용한다.
롤러(402)는 수직 프레임(102)의 수직 벽면에 대하여 적어도 1면에 내접하는 1군의 롤러(402), 또는 수직 프레임(102)의 수직 벽면에 대하여 2면에 내접하는 직각 배열의 2군의 롤러(402)가 배치될 수 있다. 수직 프레임(102)의 벽면 트랙에 대하여 수직 방향으로 2면에 동시에 내접하는 직각 배열로 되는 2군의 롤러(402)는 1군의 롤러(402)에 비해 캐리어(410)의 아암(401)들을 양편에서 동시에 지지하면서 유격 발생을 억제할 수 있으므로 흔들림이나 유동 없이 가이드 유닛(400)과 이동 장치(300)를 승강시킬 수 있게 된다.
또한, 롤러 헤드(102)에 캐리어(410)의 사행 이동을 막기 위해 수직 방향으로 2개의 롤러(402)를 정렬하여 구성되는 경우 수직 방향으로 나란한 2개의 롤러(402)는 1개의 롤러(402)에 비해 사행 이동과 유동을 방지하는데 효과적이다. 롤러는 베어링과 같은 것으로 상용화된 베어링이 롤러(402)로 적용될 수 있다.
케이블(200)은 제조과정에서 와이어(212)를 벨트(211)에 일체화시켜 적절한 재료 소재의 선택으로 내마모성을 가지도록 자유롭게 제조될 수 있다. 이를 통해 캐리어(400)의 승강 작동 중 마찰에 의한 파티클 발생을 자체적으로 최소화시킬 수 있다.
도 1 내지 도 3을 참조하면 케이블(200)은 캐리어(400)에 장착되어 구동부(110)의 회전이 있을 때 캐리어(400)를 수직 방향으로 들어올리거나 반대로 밑으로 내려 주는 역할만 하기 때문에 주변 구조물과 접촉되지 않고 마찰 저항 없이 무저항으로 올라가거나 내려가는 동작만 반복적으로 나타내므로 케이블(200)의 내마모성은 지속적으로 유지 보존될 수 있다.
이와 비교되는 벨트 체인 방식이 적용되고 있는 기존의 리프터는 벨트 체인이 이송블럭의 승강이 있을 때 정해진 궤도를 따라 반복적으로 작동되고 작동 과정에서 기계적 마찰에 의한 마모가 지속적으로 발생 되지만 케이블(200)이 적용된 본 발명은 케이블(200)이 권취 릴(113)에 감길 때 무리한 힘이 전달되지 않아 케이블(200)의 내마모성이 지속적으로 유지 보존될 수 있다(캐리어(400)를 승강시키는 경우에도 케이블(200)의 내마모성이 유지 보존될 수 있다).
케이블(200)의 내마모성은 파티클 발생을 억제 시키는 것과 같으므로 기존 벨트 체인에 비해 파티클을 줄이는 유리한 작용을 한다.
본 발명에 따른 클린 리프터는 케이블을 통해 이동 장치를 무저항 무마찰 상태로 직접 승강시킬 수 있을 뿐만 아니라 가이드 유닛을 통해 이동 장치를 승강시키는 경우에도 저마찰 저마모 상태로 승강시킬 수 있으므로 파티클 발생이 최소화될 수 있게 된다.
본 발명은, 클린 환경이 요구되는 기판 제조공정에서 파티클 발생을 억제하면서 운용할 수 있는 클린 리프터로 제공될 수 있고, 이동 장치의 승강과정에서 파티클 발생이 억제되거나 예방되어 클린 환경의 이송설비로서 적합한 고성능의 클린 리프터로 활용될 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 일 실시 예를 참고로 설명되었으나 실시 예로 한정되지 않으며 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 수정 및 변형하여 실시할 수 있으며 수정과 변형이 이루어진 것은 본 발명의 기술 사상에 포함된다.
100: 리프터 110: 구동부
101: 상판 102: 수직 프레임
111: 축 112: 모터
113: 권취 릴 114: 지지블럭
200: 케이블 211: 벨트
212: 와이어 300: 이동 장치
310: 헤드 320: 클램핑 아암
400: 가이드 유닛 401: 아암
402: 롤러(베어링) 403: 헤드
410: 캐리어 500: 피더
510: 수용용기

Claims (10)

  1. 제어신호로 회전이 제어되는 구동부의 축에 감기고 풀리는 케이블;
    상기 케이블에 연결되어 케이블의 당김과 풀림으로 수직 방향으로 움직이면서 기판 또는 수용용기를 이동시키는 이동 장치; 및
    클린 리프터의 엘리베이션 영역을 결정하는 복수의 수직 프레임, 상기 수직 프레임을 따라 롤링하도록 프레임과 조우하는 아암들이 있고, 상기 아암에는 수직 프레임의 벽면과 대면하여 접촉되는 롤러가 달린 롤러 헤드를 포함하는 캐리어로 구성되어 상기 이동 장치의 수직 방향 이동을 안내하는 가이드 유닛;을 더 포함하는, 클린 리프터.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 구동부는, 제어부로부터 제어신호로 구동되는 모터 및 그 모터의 축, 상기 축에 결합되어 케이블을 축의 회전 방향에 따라 감거나 풀어주는 권취 릴을 포함하는, 클린 리프터.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 케이블은, 상기 구동부의 축에 감기고 풀릴 수 있는 연질성 소재 중에서 선택된 밴드형의 벨트로서, 전원선, 신호선, 심선 중 하나 이상이 밴드형의 벨트에 의해 감싸져 있는, 클린 리프터.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 이동 장치는, 상기 케이블이 연결되는 헤드, 상기 헤드는 케이블 장력으로 수직 방향 위치가 결정되고, 상기 헤드에는 기판 또는 수용용기를 클램핑 하는 클램핑 핑거를 구비하는, 클린 리프터.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 이동 장치는, 헤드가 캐리어에 장착되어 있으며, 캐리어의 수직 방향 현재 위치에 따라 수직 방향 위치가 결정되는, 클린 리프터.
  7. 삭제
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 롤러 헤드는, 수직 프레임의 수직 벽면에 대하여 적어도 1면에 내접하는 1군의 롤러를 포함하는, 클린 리프터.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 롤러 헤드는, 수직 프레임의 수직 벽면에 대하여 2면에 내접하는 직각 배열의 2군의 롤러를 포함하는, 클린 리프터.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 롤러 헤드는, 캐리어의 사행 이동을 막기 위해 수직 방향으로 2개의 롤러가 정렬된, 클린 리프터.
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