KR20090006052A - 수직 롤러를 포함하는 운반 시스템 - Google Patents

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배리 키타즈미
미히르 파리크
마이클 브레인
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아퀘스트 시스템즈 코포레이션
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Abstract

본 발명은 직선, 곡선, 수평, 상향 경사 및 하향 경사 이송 섹션을 포함하는 이송 경로를 따라 물품을 이송하는 운반 시스템에 관한 것이다. 물품은 수직 벨트로부터 연장하는 돌출부에 의해 지지되면서 한 쌍의 수직 벨트 사이에서 이송된다. 수직 벨트는 직선, 곡선 및 동적으로 변하는 이송 섹션으로 구성될 수 있는 다수의 수직 롤러들을 사용하여 안내된다. 다중 이송 섹션이 복잡한 경로와 긴 거리에 대해 물품을 운반하도록 단부 대 단부 방식으로 결합될 수 있다. 이송되는 물품은 반도체 웨이퍼를 포함할 수 있다.
이송 경로, 수직 벨트, FOUP, 수직 롤러, 지지 돌출부, 반도체 웨이퍼

Description

수직 롤러를 포함하는 운반 시스템 {TRANSPORT SYSTEM INCLUDING VERTICAL ROLLERS}
본 발명은 이송 경로를 따라 물품을 이송하는 운반 시스템 및 방법에 관한 것이며, 특히 반도체 제조 설비에서의 반도체 웨이퍼 이송에 관한 것이다.
운반 시스템은 작업 스테이션 사이에서 물품을 이송하기 위한 산업적 제조 설비에서 광범위하게 사용된다. 원래, 이러한 시스템은 수동이었으며, 작업자들이 직접 또는 카트로 물품을 이동시켰다. 현대적 공장은 자동으로 물품을 이송하는 특성화된 장치를 개발하였다. 특히, 최근에 반도체 제조 설비는 제조 공정 중 반도체 웨이퍼를 이동시키는 자동화된 운반 시스템을 사용한다. 통상, 일군의 웨이퍼는 전방 개방 통합식 포드(Front Opening Unified Pod, FOUP)로 알려진 용기 내에서 함께 이송될 수 있다. 반도체 웨이퍼 제조사는 웨이퍼를 과도한 오염, 진동이나 또는 과도한 가속 또는 감속력에 노출시키지 않으면서 기계에서 기계로 웨이퍼를 효율적으로 이송하는 운반 시스템을 사용하여 제조 생산성을 증가시키려고 노력 해왔다.
현재의 운반시스템은 진동을 제거하기 위해 차량 기반 장치를 사용하지만, 이러한 시스템의 성능은 사용 가능한 차량의 수에 의해 제한된다. 이러한 문제를 해결하기 위해, 물품이 예컨대 롤러 상의 운반 벨트의 수평 평면을 가로질러 직접 이송되거나 또는 롤러 상에서 직접 이송되는 운반 장치가 사용된다. 이러한 운반 시스템은 도1A에 도시된다. 현재의 이러한 시스템의 공통적인 특징은 진동의 측면에서 물품이 이동되는 표면으로부터 이송되는 물품을 격리하기 어렵다는 것이다. 물품이 이동되는 표면이 편평하지 않으면, 이송중에 물품에 진동이 가해진다. 이러한 진동원은 반도체 웨이퍼 제조 산업의 공지된 문제점이다. 예컨대, 도1A에 도시된 바와 같이, 수평 롤러(110)는 수평 벨트(130)가 놓이는 환형 표면(120)을 포함한다. 수평 벨트(130)는 길이(140), 긴 단면축(150), 짧은 단면축(160)에 의해 기술될 수 있다. 긴 단면축(150)과 짧은 단면축(160)은 길이에 수직이며, 각각 수평 평면과 수직 평면에 배치된다. FOUP(170)의 중량은 도1B에 도시된 바와 같이 수평 벨트(130)의 짧은 단면축(160)을 통해 환형 표면(120) 상으로 전달된다. 수평 벨트(130)는 FOUP(170)의 중량이 가해지고 수평 롤러(110)에 의해 연속적으로 지지되지 않는 짧은 단면축(160)에서 가요적이기 때문에, 수평 벨트(130)의 높이는 수평 롤러(110)들 사이에서 가변적이다. 이러한 불균일함은 FOUP(170)가 진동 한계 내에 유지되면서 이송될 수 있는 속도를 제한한다.
반도체 웨이퍼 제조 산업에서 사용되는 현재의 운반 시스템의 다른 문제점은 순간적으로 FOUP와 같은 물품의 이동을 멈추지 않고는 상기 물품의 이송 방향을 변경 또는 전환하기 어렵다는 것이다.
따라서, 제조 설비에서 물품을 이송하는 개선된 시스템 및 방법이 요구된다.
본 발명은 다양한 실시예에서, 직선, 곡선, 수평, 상향 경사(inclined) 및/또는 하향 경사(declined) 섹션을 포함하는 이송 경로를 따라 물품을 이동시키는 운반 시스템을 포함한다. 물품은 이송 방향으로의 이동을 제공하도록 회전하는 환형 표면을 구비한 본질적으로 수직인 롤러들 사이에서 이송된다. 수직 배향된 벨트가 선택적으로 수직 롤러들과 물품들 사이에 배치된다. 일부 실시예에서, 수직 벨트는 수직 평면에 대체로 평행한 긴 단면축과 수직 롤러의 회전축에 대체로 수직인 짧은 단면축을 포함한다. 운반되는 물품의 중량은 수직축에 평행한 방향으로 지지된다. 따라서, 이러한 중량은 수직 롤러의 수직 회전축에 대체로 평행하게 배향되고 수직 롤러의 환형 표면에 의해 지지될 필요가 없다. 이러한 구성으로 인해, 물품의 중량은 불균일한 환형 표면으로부터 분리될 수 있다.
수직 벨트를 포함하는 이러한 실시예에서, 운반되는 물품의 중량은 선택적으로 수직 벨트의 긴 단면축에 걸쳐 추가로 지지될 수 있다. 예컨대, 수직 벨트는 선택적으로 짧은 단면축에서 보다 중량을 지지하는 긴 단면축에서 더욱 강성이다. 이로 인해 지지점들(예컨대, 롤러들) 사이에서 수직 벨트의 높이 방향으로의 진동이 종래 기술의 수평 벨트의 높이 방향으로의 진동에 비해 감소된다. 따라서, 본 발명의 시스템은 일반적으로 종래 기술에 비해 이송 경로에서의 분균일성이 감소된다. 다양한 실시예에서, 이러한 불균일성의 감소는 반도체 웨이퍼를 포함하는 FOUP와 같은 물품이 여전히 진동 한계 내에 유지되면서 종래 기술보다 더 빠르게 운반될 수 있게 한다.
다양한 실시예에서, 물품들은 제1 수직 벨트와 제2 수직 벨트로부터 연장하는 하나 이상의 돌출부에 의해 제1 및 제2 수직 벨트 사이에서 지지된다. 물품의 중량은 지지 돌출부를 통해 수직 벨트로 전달된다. 다양한 실시예에서, 지지 돌출부, 수직 벨트 및 수직 롤러는 선택적으로 물품과 결합 및 결합 해제되도록 구성된다. 일부 실시예에서, 지지 돌출부는 특히 반도체 제조 설비 내에서 반도체 웨이퍼를 운반하는데 사용되는 FOUP를 지지하도록 구성된다.
운반 시스템은 선택적으로 개별 수직 벨트 및/또는 수직 롤러의 개별 세트를 각각 포함하는 몇 개의 운반 섹션을 포함한다. 개별 운반 섹션 내에서, 수직 롤러는 선택적으로 곡선 경로 내에 구성되어, 물품이 만곡된 이송 경로를 따라 이송될 때 물품의 이동을 유지할 수 있다. 또한, 개별 운반 섹션 내에서, 수직 롤러들은 선택적으로 상향 경사 또는 하향 경사 경로 내에 구성될 수 있어, 물품의 높이가 변경될 수 있다. 수직 벨트를 포함하지 않는 실시예에서, 물품은 통상적으로 수직 롤러와 직접 접촉하면서 운반된다.
본 발명의 다양한 실시예는 이송 경로의 양측 상에 배치되어 이송 경로를 따라 물품을 이송하도록 구성된 제1 벨트 및 제2 벨트와, 제1 벨트와 제2 벨트를 안내하도록 구성된 복수의 수직 롤러와, 제1 벨트와 제2 벨트로부터 연장하며 물품의 중량을 지지하도록 구성된 복수의 지지 돌출부를 포함하는 시스템을 포함한다.
본 발명의 다양한 실시예는 이송 방향으로 운반 벨트를 구동하도록 구성된 수직 롤러에 결합되도록 구성된 제1 표면을 포함하는 운반 벨트와, 운반 벨트에 의해 이송 경로를 따라 이송되는 물품의 중량을 지지하도록 구성된 지지 돌출부와, 물품으로부터의 힘에 반응하여 지지 돌출부를 이동 가능하게 하여 운반 벨트가 충격 흡수기로 작동할 수 있도록 구성된 유연 재료(compliant material)를 포함한다.
본 발명의 다양한 실시예는, 제1 수직 벨트 및 제2 수직 벨트와 제1 수직 벨트 및 제2 수직 벨트를 안내하도록 구성된 복수의 수직 롤러를 포함하는 이송 섹션 상에 물품을 적재하는 단계와, 제1 수직 벨트 및 제2 수직 벨트를 사용하여 이송 경로를 따라 물품을 이송하는 단계와, 물품을 내리는 단계를 포함한다.
본 발명의 더욱 완전한 이해와 추가의 특징 및 장점을 위해, 첨부된 도면과 함께 취해지는 후속의 설명이 참조된다.
도1A는 종래 기술의 운반 시스템의 사시도이고,
도1B는 확대를 목적으로 확장된 도1A의 일부이고,
도2A는 본 발명의 다양한 실시예에 따른, 수직 벨트를 포함하는 운반 섹션을 도시하고,
도2B는 확대를 목적으로 확장된 도2A의 일부이고,
도2C는 수평 및 수직축에 대한 수직 벨트의 배향을 도시하고,
도3은 본 발명의 다양한 실시예에 따른, 도2A의 운반 섹션의 평면도이고,
도4A, 도4B, 도4C 및 도4D는 본 발명의 다양한 대체 실시예에 따른, 수직 벨트 및 수직 롤러의 단면을 도시하고,
도5는 본 발명의 다양한 실시예를 따른, 곡선 이송 경로를 형성하도록 구성된 운반 섹션을 포함하는 운반 시스템의 일 실시예를 도시하고,
도6A 및 도6B는 본 발명의 다양한 실시예에 따른, 두 개의 상이한 동적으로 상호 교환 가능한 상태인 운반 시스템의 실시예들을 도시하고,
도7A, 도7B, 도7C 및 도7D는 본 발명의 다양한 실시예에 따른, 상이한 동력학적 상호 교환 가능 상태인 수직 벨트의 단면을 도시하고,
도8A 및 도8B는 제1 수직 벨트와 제2 수직 벨트가 물품을 적재하거나 또는 물품을 내리기 위해 별도로 이동되는 운반 섹션을 도시하고,
도9는 본 발명의 다양한 실시예에 따른, 물품 이송 방법을 도시하고,
도10은 본 발명의 다양한 실시예에 따른, 이송 경로를 동력학적으로 변경하는 방법을 도시한다.
본 발명의 다양한 실시예는 FOUP와 같이 물품을 자동으로 운반하는 개선된 시스템 및 방법을 포함한다. 예컨대, 일부 예들은 이송 방향으로 물품을 추진하기 위한 수직 롤러의 사용을 포함한다. 종래 기술과 비교하여, 수직 롤러의 사용은 물품의 더욱 고른 지지를 가능하게 하여, 진동 처리가 개선된다. 다양한 실시예에서, 수직 롤러를 사용함으로써 직선, 상향 경사, 하향 경사, 곡선(예컨대, 만곡된) 및/또는 동적으로 변화하는 이송 경로를 따라 물품을 이송할 수 있다.
수직 벨트(운반 벨트)는 선택적으로 수직 롤러와 운반될 물품 사이에 배치된다. 일부 실시예에서, 수직 벨트는 종래 기술에서와 같이 짧은 단면축과는 반대로 긴 수직 단면축을 통해 물품의 중량을 지지하도록 구성된다. 긴 단면축을 통해 중량을 지지함으로써, 짧은 단면축을 통해 지지되는 시스템에 비해 더욱 강성이고 따라서 더욱 균일한 지지가 제공된다. 일부 실시예에서, 이러한 더욱 균일한 지지는 진동 한계 내에 유지되면서 종래 기술의 시스템에서보다 더욱 빠르게 물품을 운반하는데 사용된다. 일부 실시예에서, 수직 벨트는 운반 중 물품의 진동을 감소시키도록 구성된 유연 재료를 포함한다.
다양한 실시예에서, 물품은 수직 벨트로부터 대략 수평으로 연장하는 돌출부에 의해 지지된다. 이러한 실시예에서, 물품의 중량은 지지 돌출부로부터 수직 벨트의 긴 단면축에 걸쳐 전달된다. 지지 돌출부는 선택적으로 특정 유형의 물품을 지지하도록 구성된다. 예컨대, 일부 실시예는 FOUP를 지지하도록 구성된 지지 돌출부를 포함한다. 지지 돌출부의 크기와 간격은 선택적으로 각각의 수직 벨트로부터의 하나 이상의 돌출부가 물품에 지지부를 제공하도록 구성된다. 일부 실시예에서, 지지 돌출부는 물품이 지지 돌출부 상에서 약간의 이동을 가능하게 하는 상표명 Telflon™과 같은 저마찰 재료를 포함한다. 일부 실시예에서, 지지 돌출부는 높은 가속 및/또는 감속 중 미끄러짐을 감소시키는 고마찰 재료를 포함할 수 있다.
다양한 실시예에서, 수직 벨트는 물품이 지지 돌출부 상에 배치될 때 형상을 굽히거나, 변형하거나, 만곡시키거나 또는 변경하도록 구성된 유연 재료를 포함한다. 이러한 유연 재료는 충격 흡수 특성을 가질 수 있으며 이송되는 물품 표면의 불규칙성의 효과를 감소시키도록 작용할 수 있다. 예컨대, 일부 실시예에서 유연 재료는 FOUP의 중량을 지지할 때 지지 돌출부가 수직으로 이동가능하도록 구성된다. 유연 재료는 플라스틱 또는 고무와 같은 폴리머를 포함할 수도 있다.
다양한 실시예에서, 수직 벨트는 저마찰 활주면, 미세하게 이격된 수평 롤러의 어레이, 수직 롤러의 지지 립 등에 의해 지지된다. 일부 실시예에서, 수직 벨 트는 수직 롤러 내의 v-홈 또는 노치 내에 부분적으로 끼워맞춤되도록 구성되고 이러한 v-홈 또는 노치 내에서 표면에 의해 지지된다.
일부 실시예들은 운반 시스템에 대한 물품의 이동을 저지하도록 구성된 저지 립을 포함한다. 이러한 저지 립은 지지 돌출부의 일부일 수 있으며, 이는 수직 벨트에 결합된 별도의 돌출부이거나 또는 고정 지지 구조체에 부착될 수 있다. 저지 립은 선택적으로 FOUP를 저지하도록 구성되어, 가속 및 감속 중 팁핑(tipping)을 방지한다.
수직 롤러 및/또는 수직 벨트의 위치에 의해 결정되는 이송 경로는 직선, 곡선, 상향 경사, 하향 경사 및/또는 동적으로 가변적일 수 있다. 예컨대, 일부 실시예에서, 수직 롤러는 가동 장착부에 결합되고 이송 경로를 변경하기 위해 다양한 다른 위치들 사이에서 이동하도록 구성된다. 일부 실시예에서, 수직 롤러는 물품을 이송하는 도중에 이동하도록 구성된다.
도2A는 제1 수직 벨트(210), 제2 수직 벨트(220) 및 선택적인 지지 돌출부(230)를 포함하는 운반 섹션(240)을 도시한다. 운반 섹션(240)은 FOUP(170)와 같은 물품을 이송하도록 구성되고, 개별적인 운반 섹션(240)의 여러 예로 구성될 수 있다. 제1 수직 벨트(210)와 제2 수직 벨트(220)는 일부 실시예에서 선택적이다.
제1 수직 벨트(210)와 제2 수직 벨트(220)는 수직축(260)을 따라 강성이며 수평축(270)에서는 덜 강성이다. 수직축(260)은 제1 수직 벨트(210)의 긴 단면축에 평행하고 수평축(270)은 제1 수직 벨트(210)의 짧은 단면축에 평행하다. 긴 단 면축과 짧은 단면축은 제1 수직 벨트(210)의 길이에 수직하며, 따라서 제1 수직 벨트의 길이는 이송 방향(280)과 평행하다. 통상적인 예에서, FOUP(170)의 중량은 수직축의 방향(260)으로 지지되어, 제1 수직 벨트(210)의 더 강성인 긴 단면축을 통해 지지된다.
제1 수직 벨트(210)와 제2 수직 벨트(220)는 각각 복수의 수직 롤러(290A)와 복수의 수직 롤러(290B) 각각에 의해 이송 방향(280)으로 개별적으로 또는 함께 구동된다. 수직 롤러(290A)는 수직 롤러(290B)로부터 이격되어, FOUP(170)가 제1 수직 벨트(210)와 제2 수직 벨트(220) 사이에서 지지된다. 수직 롤러(290A)와 수직 롤러(290B)가 배치된 경로는 FOUP(170)가 이동하는 이송 경로를 형성한다. 수직 롤러(290A)와 수직 롤러(290B)의 선택적인 배치를 통해, 직선 또는 곡선 이송 경로가 형성될 수 있다. 다수의 운반 섹션(240)과 같은 다양한 운반 섹션을 사용하면, FOUP(170)는 복잡하고 다양한 이송 경로를 따라 운반될 수 있다. 통상적으로, 운반 섹션의 각 단부에서 제1 수직 벨트(210)와 제2 수직 벨트(220)는 각각 일 수직 롤러(290A)와 일 수직 롤러(290B)의 주위를 감싼다. 이것은 제1 수직 벨트(210)와 제2 수직 벨트(220)가 수평축(270)으로 가요적이기 때문에 가능하다.
통상적인 실시예에서, 하나 이상의 지지 돌출부(230)는 제1 수직 벨트(210) 및 제2 수직 벨트(220)의 각각에 부착된다. 지지 돌출부(230)는 제1 수직 벨트(210)와 제2 수직 벨트(220)로부터 연장하고, 선택적으로 이송되는 물품의 중량이 제1 수직 벨트(210)와 제2 수직 벨트(220)의 긴 단면축을 통해 지지되도록 구성된다. 도2B는 FOUP(170), 제2 수직 벨트(220), 지지 돌출부(230) 및 하나의 수직 롤러(290B)를 더욱 상세하게 도시하도록 확대된 도2A의 일부이다. 제1 수직 벨트(210)와 제2 수직 벨트(220)가 수직 롤러(290A)와 수직 롤러(290B)에 의해 구동(이동)되면, 지지 돌출부(230) 상에 놓인 물품은 이송 방향(280)으로 운반 섹션(240)을 따라 반송된다.
도2C는 제1 수직 벨트(210)와, 수직축(260), 수평축(270) 및 이송 방향(280) 간의 관계를 더욱 상세하게 도시한다.
도3은 운반 섹션(240)의 평면도를 도시한다. 이 도면은 외형선(310)에 의해 도시된 FOUP(170)가 제1 수직 벨트(210) 및 제2 수직 벨트(220)와, 수직 롤러(290A) 및 수직 롤러(290B)에 의해 측방향(수평축(270) 방향)으로 형성된 상태를 도시한다. 다양한 실시예에서, 제1 수직 벨트(210)와 제2 수직 벨트(220)의 수직 평면(320)은 390㎜, 415㎜ 및 500㎜ 이하의 거리(330)로 이격된다. 따라서, 예컨대 폭이 390㎜인 FOUP(170)의 경우, 0㎜, 25㎜ 또는 110㎜ 미만의 측면 이동 여유를 갖거나, 또는 0㎜, 25㎜ 또는 110㎜를 초과하는 측면 이동 여유를 갖는다. 본 발명의 일부 실시예는 FOUP(170)가 운반 섹션(240)으로부터 내려질 때, 이러한 이동의 여유 내에서 FOUP(170)를 위치 설정하도록 구성된 3지점 운동학적 인터페이스(도시 안됨)를 포함한다.
또한, 도3은 외형선(310)에 의해 도시된 FOUP(170)가 지지 돌출부(230) 상에 놓여진 상태를 도시한다. 다양한 실시예에서, 지지 돌출부(230)는 수직 평면(320)으로부터 10㎜, 50㎜ 또는 100㎜ 이하의 거리로 연장한다. 다양한 실시예에서, 지지 돌출부(230)는 FOUP(170) 아래에서 10㎜, 50㎜ 또는 100㎜ 이상의 거리만큼 연 장한다.
제1 수직 벨트(210)에 부착된 지지 돌출부(230)는 다양한 거리로 서로 이격될 수 있다. 예컨대, 운반 섹션(240)이 FOUP(170)를 직선 이송 경로를 따라 운반하도록 구성된 경우, 지지 돌출부(230)는 FOUP(170)를 곡선 이송 경로에서 운반하도록 구성된 경우보다 더 이격될 수 있다. 다양한 실시예에서, 제1 수직 벨트(210)에 부착된 지지 돌출부(230)들은 서로로부터 10㎜, 30㎜ 또는 100㎜ 이하로 이격되어 배치된다. 일 실시예에서, 지지 돌출부(230)는 서로 접촉한다. 일 실시예에서, 지지 돌출부(230)는 본질적으로 연속적인 지지체를 형성한다.
도4A, 도4B, 도4C 및 도4D는 제1 수직 벨트(210), 지지 돌출부(230) 및 수직 롤러(290A)의 다른 실시예의 단면을 도시한다. 제1 수직 벨트(210), 지지 돌출부(230) 및 수직 롤러(290A, 290B)의 도시된 실시예들로부터 많은 변형예가 본 발명의 범주 내에 있다는 것이 본원에 도시된 실시예로부터 명확하게 이해될 것이다. 또한, 제2 수직 벨트(220) 및 수직 롤러(290B)는 선택적으로 제1 수직 벨트(210) 및 수직 롤러(290A)와 동일하게 구성된다.
도4A는 환형 표면(410)과 지지 표면(420)을 포함하는 수직 롤러(290A)의 일 예를 도시한다. 수직 롤러(290A)의 이러한 예는 수직 회전축(430)을 중심으로 회전하고 지지 표면(420) 상에서 제1 수직 벨트(210)를 지지하도록 구성된다. 지지 표면(420)은 선택적으로 수직 롤러(290A)의 외형선 에지(440)를 향해 상향 또는 하향으로 경사지며, 선택적으로 Telfon™과 같은 저마찰 재료로 구성된다. 지지 표면(420)은 제1 수직 벨트(210)의 중량을 지지하고, 지지 돌출부(230)를 통해 FOUP(170)의 중량을 지지한다. 수직 롤러(290A)는 도4A에 도시된 바와 같이 양측상에서 또는 일측상에서 제1 수직 벨트(210)를 지지하도록 구성된다. 예컨대, 제1 수직 벨트(210)가 루핑(looping) 경로에서 복귀할 때 수직 롤러(290A)의 상이한 예들이 제1 수직 벨트(210)를 지지하도록 사용되면, 수직 롤러(290A)의 일예의 일측만이 제1 수직 벨트(210)를 지지하도록 사용될 수 있다.
일반적인 예에서, 지지 돌출부(230)는 FOUP(170)가 지지 표면(450) 상에 놓이도록 구성된다. 지지 표면(450)은 선택적으로 수직 표면(320)에 수직/또는 수평 방향으로 만곡된다. 지지 표면(450)은 선택적으로 저마찰 코팅(도시 안됨)을 포함한다. 일부 실시예에서, 지지 표면(450)은 제1 수직 벨트(210)의 상부 에지(465) 아래로 거리(460)에 배치된다. 따라서, 운반되는 물품의 일부는 제1 수직 벨트(210)의 일부 아래 존재할 수 있다. 다양한 실시예에서, 거리(460)는 10㎜, 20㎜ 또는 50㎜ 이상이다.
도4B는 제1 수직 벨트(210)와 다수의 수직 롤러(290A)의 다른 실시예들의 단면을 도시한다. 이 실시예들에서, 수직 롤러(290A)는 제1 수직 벨트(210)의 일부(475)를 수용하도록 구성된 V-홈(470)과 같은 노치 또는 홈을 포함한다. V-홈(470)은 제1 수직 벨트(210)를 지지하도록 구성된 조합된 환형/지지 표면(480)을 포함한다. 이러한 실시예에서, 지지 표면(420)은 요구되지 않는다.
도4c는 제1 수직 벨트(210)와 수직 롤러(290A)의 다른 실시예의 단면을 도시한다. 이 실시예들은 포획 립(485)과 지지부(490)를 포함한다. 통상적으로, 포획 립(485)은 선택적으로 도4A 및 도4B에 도시된 바와 같은 다른 실시예들에도 포함된 다. 포획 립(485)은 제1 수직 벨트(210)에 부착되고 FOUP(170)의 수직 이동을 제한하도록 구성된다. 포획 립(485)은 선택적으로 지지 돌출부(230)에 연결된다. 다른 실시예들에서, 포획 립(485)은 개별적이며 선택적으로 고정식인 지지부(도시 안됨)에 부착된다.
지지부(490)는 제1 수직 벨트(210)를 통해 FOUP(170)의 중량을 지지하도록 구성된다. 일부 실시예에서, 지지부(490)는 제1 수직 벨트(210)가 활주하도록 구성된 고정식 저마찰 표면을 포함한다. 일부 실시예에서, 지지부(490)는 볼 베어링과 같은 롤링 요소 또는 수평으로 배치된 롤러(도시 안됨)를 포함한다. 수평으로 배치된 롤러는 선택적으로 수직 롤러(290A)보다 작고 더 밀접하게 이격된다.
도4D는 벨트(415)와 다수의 수직 롤러(290A)의 단면을 도시한다. 벨트(415)는 수직 벨트(210)의 다른 실시예이다. 이 실시예에서, 벨트(415)는 둥글게된(예컨대, 환형 또는 타원형) 단면을 가지며, 수직 롤러(290A)는 벨트(415)를 수용하도록 구성된 홈(425)을 포함한다. 벨트(415)가 둥글기 때문에, 길고 짧은 단면축은 명확하게 도시되지 않는다. 하지만, 벨트(415)가 제1 수직 벨트(210) 상에 배치될 때, 벨트(415)는 여전히 단면이 수직 평면 및 수평 평면에 대해 형성될 수 있는 수직축 및 수평축을 갖는다.
제1 수직 벨트(210)와 제2 수직 벨트(220)뿐만 아니라 벨트(415)도 선택적으로 운반되는 물품의 진동을 감소시키도록 구성된 유연 재료를 포함한다. 다양한 실시예에서, 이러한 유연 재료는 듀로미터 경도가 25A 내지 75D 사이인 우레탄, 실리콘(silicone), PVC(폴리 염화 비닐), 고무 등을 포함할 수 있다. 유연 재료는 연속적인 가요성을 가질 수 있다. 유연 재료는 예컨대 벨트(415)에서 먼 지지 돌출부(230)의 에지(435)의 수직 이동을 가능하게 하여 진동을 감소시킨다. 이러한 이동은 물품이 벨트(415)에 적재되거나 또는 벨트로부터 내려질 때, 지지 표면(450) 상에서 물품의 힘(예컨대, 중량)이 변경될 때, 또는 벨트(415)가 곡선, 상향 경사 또는 하향 경사 경로에 배치될 때, 발생될 수 있다. 예컨대, 벨트(415)의 높이가 불균일하면, 지지 표면(450) 상의 물품의 힘은 물품이 운반될 때 변경될 수 있다. 이러한 예에서, 에지(435) 또는 지지 표면(450)의 이동은 이러한 힘의 변화의 일부를 흡수하고, 벨트(415)는 충격 흡수부로서 작용한다.
제1 수직 벨트(210) 및 제2 수직 벨트(220)는 선택적으로 벨트(415)와 유사한 방식으로 진동을 감소하도록 구성된다. 예컨대, 도4A를 참조하면, 제1 수직 벨트(210)는 FOUP(170)가 제1 수직 벨트(210) 상으로 적재될 때, 상부 에지(465)가 수직 롤러(290A)로부터 멀어지게 이동할 수 있도록 구성된 유연 재료를 포함할 수 있다. 이러한 이동은 지지 표면(450)의 이동을 초래한다. FOUP(170)이 운반될 때, 진동을 유발하는 힘이 제1 수직 벨트(210)에 의해 흡수된다. 상부 에지(465)에 대해 유효한 이동의 여유는 제1 수직 벨트(210)가 충격 흡수부로서 작용할 수 있도록 한다.
도5는 곡선 이송 경로를 형성하도록 구성된 운반 섹션(510)을 포함한다. 운반 섹션(510)은 선택적으로 운반 섹션(240)의 일 실시예이다. 다양한 실시예에서, 운반 섹션(510)의 제1 수직 벨트(210)의 내부 수직 평면(320)은 2.0m, 1.5m 또는 1.0m 이하인 곡률 반경(520) 내에 배치된다. 일부 실시예에서, 운반 섹션(510)은 횡경사될 수 있다(banked). 이는 더욱 촘촘한 곡률 반경을 가능하게 할 수 있다. 운반 섹션(510) 내에서, 제1 수직 벨트(210)는 통상 제2 수직 벨트(220)와 다른 속도로 작동하도록 설계된다. 예컨대, 일 실시예에서, 제1 수직 벨트(210)는 제2 수직 벨트(220)보다 느린 선형 속도로 이동하도록 구성된다. 따라서, 운반 섹션(510)은 FOUP(170)를 운반하는 동안 상이한 속도로 작동하는 벨트 및 롤러를 포함할 수 있다.
운반 섹션(510)을 사용하면, FOUP(170)는 느려지거나 순간적으로 정지하지 않고 회전될 수 있다. 따라서, FOUP(170)의 이동 방향은 감속 또는 정지 없이 변경될 수 있다. 또한, FOUP(170)의 하나 이상의 예는 운반 섹션(510)에 의해 동시에 회전될 수 있다. 몇몇 운반 섹션(510)과 운반 섹션(240)을 함께 배치함으로써, 복잡하고 다양한 곡선 및 직선 이송 경로가 형성될 수 있다. 일부 실시예에서, 운반 섹션(510) 및/또는 운반 섹션(240)은 FOUP(170)가 이송 경로를 따라 이동할 때, 지면 위로의 FOUP(170)의 높이를 변경하도록 구성된다.
도6A 및 도6B는 두 개의 다른 동적으로 상호 교환 가능한 상태의 운반 시스템(500)의 실시예를 도시한다. 이 실시예들은 형상을 변경하여, FOUP(170)를 대체 이송 경로를 따라 이송하도록 구성된 동적 운반 섹션(610)을 포함한다. 도6A는 동적 운반 섹션(610)이 운반 섹션(240)의 제1 예로부터 운반 섹션(240)의 제2 예로의 선형 이송 경로를 따라 FOUP(170)를 이송하도록 배치된 제1 상태를 도시한다. 도6B는 동적 운반 섹션(610)이 운반 섹션(240)의 제1 예로부터 운반 섹션(240)의 제3 예까지의 곡선 이송 경로를 따라 FOUP(170)를 이송하도록 배치된 제2 상태를 도시 한다. 제1 상태와 제2 상태 간의 전이는 자동으로 수행되고 선택적으로 동적 운반 섹션(610)이 FOUP(170)를 운반하도록 사용되는 동안 수행된다. 따라서, 상태의 변화는 FOUP(170) 운반을 정지하지 않고 수행될 수 있다.
도6A 미 도6B에 도시된 바와 같이, 동적 운반 섹션(610)의 길이는 제1 상태 및 제2 상태에서 다를 수 있다. 동적 운반 섹션(610)은 제1 상태로부터 제2 상태로 길이가 변경되기 때문에, 동적 운반 섹션(610)은 선택적으로 제1 수직 벨트(210)와 제2 수직 벨트(220)의 인장을 유지하도록 구성된 하나 이상의 인장 롤러(620)를 포함한다. 인장 롤러(620)는 통상 수직 롤러(290A)의 일 실시예이다. 도6A 및 도6B에 도시된 동적 운반 섹션(610)의 형태의 변화는 요구된 이동이 제1 수직 벨트(660)와 수직 벨트(670)가 덜 강성인 수평축(270) 내에 있기 때문에 부분적으로 가능하다.
제1 상태로부터 제2 상태로의 동적 운반 섹션(610)의 변화는 선택적으로 인장 롤러(620)와 다양한 예의 수직 롤러의 일치된 이동을 포함한다. 예컨대, 상태 변화는 수직 롤러(290C, 290D)의 수평 평면에서의 이동을 포함할 수 있다. 이러한 이동이 FOUP(170)의 운반 도중 발생하면, 수직 롤러(290C)와 수직 롤로(290D) 사이의 간격이 이동 중에 적절하게 유지될 수 있다. 유사하게, 수직 롤러(290E)와 수직 롤로(290F) 사이의 간격은 새로운 위치로 이동될 때 적절하게 유지될 수 있다. 도6B에 도시된 곡선 경로를 생성하기 위해, 수직 롤러(290E)와 수직 롤로(290F)는 수직 롤러(290C)와 수직 롤로(290D)보다 도6A의 원래 위치로부터 더 멀리 이동한다. 통상적으로, 수직 롤러(290A 내지 290F)의 이동은 컴퓨터 제어 운반 시스템 (도시 안됨)에 의해 관리된다. 수직 롤러(290A 내지 290F)는 수직 롤러(290A)와 수직 롤러(290B)의 실시예이다.
도6A 및 도6B는 우측으로부터 좌측으로 FOUP(170)의 예의 이송을 도시하지만, 다른 실시예는 좌측으로부터 우측으로의 이송을 위해 구성될 수도 있다. 따라서, 동적 운반 섹션(610)은 복수의 다른 목적지 중 선택된 부재로 FOUP(170)를 안내하거나, 또는 복수의 다른 공급원 중 선택된 부재로부터 FOUP(170)를 수용하도록 사용될 수 있다.
일부 실시예에서, 동적 운반 섹션(610)은 운반 시스템(500) 내에서 FOUP(170)의 예들을 재정리하도록 구성된다. 예컨대, 동적 운반 섹션(610)은 전방의 제1 FOUP(170)가 1차 이송 경로로부터 2차 이송 경로로 이동하는데 사용될 수 있으며, 이는 제2 FOUP(170)가 제1 FOUP(170)를 앞지를 수 있게 한다. 따라서, 제1 FOUP(170)는 제2 FOUP(170) 뒤에서 동적 운반 섹션(610)의 제2 예를 사용하여 1차 이송 경로로 복귀한다. 위치의 이러한 교대는 제1 FOUP(170)와 제2 FOUP(170) 모두를 연속적으로 이동시키면서 수행될 수 있다.
운반 섹션(240) 및 동적 운반 섹션(610)은 선택적으로 FOUP(170)를 적재하는 것과 내리는 것을 용이하게 하도록 구성된 기구를 포함한다. 이 기구들은 예컨대 포획 립(485)이 없는 구역, 포획 립(485)이 이동된 구역, 제1 수직 벨트(210)가 만곡 또는 경사진 구역, 또는 제1 수직 벨트(210) 및/또는 제2 수직 벨트(220)가 개별적으로 이동되는 구역을 포함한다.
도7A 및 도7B는 FOUP(170)의 적재 및/또는 내림을 용이하게 하기 위해 제1 수직 벨트(210)가 수직축(260)으로 만곡되는 실시예를 도시한다. 도7A는 적재/내림 위치에서 제1 수직 벨트(210)를 도시한다. 이 위치에서, 제1 수직 벨트(210)의 상단부(725)는 수직 롤러(710)의 수직 회전축(430)을 향해 만곡된다. 수직 롤러(710)는 수직 롤러(290A) 또는 수직 롤러(290B)의 일 실시예이며, 제1 수직 벨트(210)의 만곡을 촉진하기 위해 선택적으로 볼록한 형상이다. 제1 수직 벨트(210)가 도7A에 도시된 바와 같이 만곡될 때, FOUP(170)은 포획 요소(730)로부터 분리된다.
포획 요소(730)는 제1 수직 벨트(210)와 제2 수직 벨트(220) 사이에서 FOUP(170)를 견고하게 보유하기 위해 FOUP(170)의 일측에 대해 압력을 가하도록 구성된다. 포획 요소(730)는 통상 우레탄과 같은 유연 재료이다. 포획 요소(730)가 FOUP(170)로부터 분리될 때, FOUP(170)는 운반 시스템(500)으로부터 적재될 수 있거나 내려질 수 있다.
도7B는 운반 위치에서의 제1 수직 벨트(210)를 도시한다. 이 위치에서, 제1 수직 벨트(210)는 수직 롤러(720)에 의해 수직으로 유지되고 포획 요소(730)는 FOUP(170)의 에지에 가해진다. 수직 롤러(710)와 수직 롤러(720)는 선택적으로 운반 섹션(240)의 동일한 예에 포함된다. 따라서, 제1 수직 벨트(210)는 운반 섹션(240) 내에 일부 지점에서 만곡될 수 있고 운반 섹션(240) 내의 다른 지점에서 직선을 유지할 수 있다. 제1 수직 벨트(210)가 반곡되는 지점들은 적재 또는 내림을 위해 사용될 수 있는 반면에, FOUP(170)는 제1 수직 벨트(210)[및 제2 수직 벨트(220)]가 직선인 지점들에서 제1 수직 벨트(210)와 제2 수직 벨트(220) 사이에 견고하게 유지된다.
도7C 및 7D는 FOUP(170)의 적재 및 내림을 용이하게 하기 위해 수직 롤러(290A)가 수직축(260) 내에서 경사진 실시예를 도시한다. 도7C는 운반 위치에서의 제1 수직 벨트(210)와 수직 롤러(290A)를 도시하는 반면에, 도7D는 적재/내림 위치에서의 제1 수직 벨트(210)와 수직 롤러(290A)를 도시한다. 적재/내림 위치에서, 수직 롤러(290A)와 수직 회전축(430)은 수평축(270)에 대해 경사진다. 이러한 경사는 포획 요소(730)를 FOUP(170)로부터 멀어지게 이동시키고 FOUP(170)의 적재 또는 내림을 가능하게 한다. 수직 롤러(290A) 또는 수직 롤러(290B)의 경사는 기계적 또는 전자기계적 경사 제어 요소(740)에 의해 제어된다. 통상적으로, 수직 롤러(290A)와 수직 롤러(290B) 모두는 FOUP(170)를 적재 또는 내리기 위해 도7D에 도시된 바와 같이 경사진다. 이러한 경사들은 선택적으로 반대 방향일 수 있다.
도7A 내지 도7D에 도시된 실시예들이 포획 요소(730)를 사용하는 반면에, 다른 실시예에서는 포획 요소(730)는 포획 립(485)으로 대체된다. 포획 요소(730)를 사용하면, 포획 립(485)은 FOUP(170)의 이동을 제한하도록, 예컨대 FOUP(170)가 운반 섹션(240)으로부터 부주의하게 결합 해제되는 것을 방지하도록 구성된다. 하지만, 포획 립(485)은 우선 수직 이동을 제한하도록 구성되고 정상적인 운반중 FOUP(170)와 물리적으로 접촉할 필요가 없다.
도8A 및 8B는 FOUP(170)를 적재하거나 또는 내리기 위해 제1 수직 벨트(210)와 제2 수직 벨트(220)가 별개로 이동되는 운반 섹션(240, 850)의 실시예를 도시한다. 도8A는 FOUP(170)를 이송하는데 사용되는 정상 운반 모드에서의 운반 섹 션(240, 850)을 도시한다. 이 모드에서, 운반 섹션(850)의 제1 수직 벨트(210)와 제2 수직 벨트(220)는 대략 서로로부터 균일한 거리(810)에 존재한다.
도8B는 수직 롤러(830A) 및 수직 롤러(830B)와, 이에 따라 제1 수직 벨트(210)와 제2 수직 벨트(220)가 운반 섹션(850) 내에서 개별적으로 이동되는 적재/내림 모드의 운반 섹션(240, 850)을 도시한다. 수직 롤러(830A)와 수직 롤러(830B)는 각각 제1 수직 벨트(210)와 제2 수직 벨트(220)의 실시예이다. 적재/내림 모드에서, 제1 수직 벨트(210)와 제2 수직 벨트(220)의 이러한 예들의 전부 또는 일부는 서로로부터 거리(820)에 존재한다. 거리(820)는 거리(810)보다 통상 크다. 거리(820)는 FOUP(170)로부터 포획 요소(730)를 결합 해제하거나 또는FOUP(170)가 포획 립(485)에 걸리지 않기에 충분하다. 그러나 거리(820)는 선택적으로 FOUP(170)가 지지 돌출부(230)에 의해 더 이상 지지되지 않을 정도로 크지는 않다. 다양한 실시예에서, 수직 롤러(830A)와 수직 롤러(830B)는 운반 섹션(850)의 일단부를 향해 배치되거나 또는 운반 섹션(850) 내에 임의의 장소에 배치된다. 수직 롤러(830A)와 수직 롤러(830B)는 도8A에 도시된 위치로부터 도8B에 도시된 위치로 기계적 또는 전자 기계적 제어 요소에 의해 이동된다.
도9는 다양한 실시예에 따라 물품을 이송하는 방법을 도시한다. 이 방법에서, 물품은 본원에 설명된 바와 같이 운반 시스템상에 적재되고 운반되고 내려진다. 물품 적재 단계(910)에서, 이송될 물품은 운반 섹션(240, 850)과 같은 운반 섹션 상에 배치된다. 특히, 물품을 적재하고 내리도록 구성된 운반 섹션(240)의 일 섹션에 물품이 선택적으로 배치된다. 예컨대, 반도체 웨이퍼를 포함하는 FOUP(170)는 도7A 내지 도7D, 도8A 또는 도8B와 관련하여 논의된 적재 지점에 적재될 수 있다. 물품이 배치되는 운반 섹션은 수직 롤러(290A)와 수직 롤러(290B)를 포함하고, 선택적으로 제1 수직 벨트(210)와 제2 수직 벨트(220)를 포함한다. 배치된 물품의 중량은 환형 표면(410), 또는 수직 롤러(290A)나 수직 롤러(290B)에 의해 지지될 필요는 없다. 따라서, 배치된 물품의 중량은 선택적으로 수직 롤러(290A) 및 수직 롤러(290B)와 분리된다.
물품 운반 단계(920)에서는, 물품 적재 단계(910)에서 적재된 물품이 수직 롤러(290A) 및 수직 롤러(290B)를 사용하여 이송 방향으로 이송된다. 이러한 이송은 선택적으로 종래 기술의 시스템에서 가능한 것보다 더 빠른 속도 및/또는 더 낮은 진동율로 수행될 수 있다. 물품 운반 단계(920)는 선택적으로 도5에 도시된 바와 같은 곡선 경로를 따라 물품을 안내하는 단계를 포함한다. 곡선 경로에서는 선택적으로 물품을 잠시 멈추거나 감속하지 않고도 이동이 가능하다.
물품 내림 단계(930)에서, 물품은 운반 시스템으로부터 제거된다. 이러한 제거는 선택적으로 본원에 개시된 바와 같이, 물체의 적재 및/또는 내림을 위해 구성된 위치에서 발생한다. 물품 적재 단계(910) 및/또는 물품 내림 단계(930)는 선택적으로 도7A 및 도7B에 도시된 바와 같이 제1 수직 벨트(210)의 형상을 변경하는 단계와, 도7C 및 도7D에 도시된 바와 같이 수직 롤러(290A) 또는 수직 롤러(290B)를 경사지게 하는 단계와, 도8A 및 도8B에 도시된 바와 같이 수직 롤러(290A) 및 수직 롤러(290B)를 개별적으로 이동시키는 단계를 포함한다.
도10은 본 발명의 다양한 실시예에 따른 이송 경로를 동적으로 변경하는 방 법을 도시한다. 도10에 도시된 방법은 선택적으로 물품 운반 단계(920)(도9) 중 도6A 및 도6B에 도시된 시스템을 사용하여 수행된다.
물품 운반 단계(1010)에서, FOUP(170)와 같은 물품은 물품 운반 단계(920)에서와 같이 운반된다. 이송 경로 조절 단계(1020)에서, 물품에 대한 이송 경로는 수직 롤러(290A) 또는 수직 롤러(290B)를 이동시켜 변경된다. 이러한 이동은 수평 또는 수직 평면에서 이루어질 수 있다. 일부 실시예에서, 인장 롤러(620)는 수직 롤러(290A) 또는 수직 롤러(290B)에 결합된 수직 벨트의 인장을 조절하는데 사용된다. 인장 조절은 수직 롤러(290A) 또는 수직 롤러(290B)를 이동시키기 전, 이동시키는 도중 또는 이동시킨 이후에 이루어질 수 있다. 일부 실시예에서, 수직 롤러(290A) 또는 수직 롤러(290B)의 이동은 이들 롤러가 FOUP(170)를 이송하는 동안 수행된다. 물품 운반 단계(1030)에서, 물품은 물품 운반 단계(920) 또는 물품 운반 단계(1010)에서와 같이 다시 이송된다.
일부 실시예들이 본원에 특히 도시 및/또는 개시된다. 하지만, 변형 또는 변경이 본 발명의 사상 및 의도된 범주 내에서 청구된 청구항의 범주 내에서 그리고 상술된 교시에 의해 커버 된다는 것은 명백하다. 예컨대, 반도체 제조 시 FOUP(170)의 운반이 도시적 예로서 본원에서 사용되었지만, 본 발명의 시스템 및 방법은 예컨대 액정, 유기 전기 발광 다이오드(organic light emitting diode) 또는 다른 유형의 디스플레이 장치 제조용 기판과 같은 다른 재료를 운반하거나, 디스크 기판, 판독 헤드, 디스크 조립체 또는 하드 디스크의 다른 구성 요소와 같은 데이터 저장 장치의 구성 요소를 운반하거나, 또는 배터리 또는 파워-셀(power- cell)과 같은 전원의 구성 요소를 운반하도록 구성될 수 있다. 또한, 본원에서 논의된 수직 롤러 및 수직 벨트는 완벽하게 수직일 필요는 없다. 본원에 도시된 수직 롤러의 배치는 도시를 목적으로 한 것일 뿐이다. 다양한 실시예에서, 수직 롤러는 밀접하게 패킹된 배치로부터, 벨트의 각 단부에만 위치되는 단일 롤러 또는 롤러들을 포함하는 넓게 분산된 배치까지 매우 다양한 배치로 배치될 수 있다.
본원에서 논의된 실시예들은 본 발명의 실시예들이다. 본 발명의 이러한 실시예들이 도면을 참조로 설명되었기 때문에, 당업자는 개시된 방법 및/또는 특정 구조의 다양한 변형 또는 개조를 명확하게 이해할 것이다. 본 발명의 교시에 따르며 이러한 교시가 본 기술을 발전시킨 이러한 모든 변형, 개조 또는 변경은 본 발명의 사상 및 범주 내에 있는 것으로 간주된다. 따라서, 본 발명이 도시된 실시예로만 제한되지 않는다는 것이 이해되기 때문에, 이러한 설명 및 도면을 제한적 의미로 간주하면 안 된다.

Claims (50)

  1. 이송 경로의 어느 한 측에 배치되어 이송 경로를 따라 물품을 이송하도록 구성된 제1 벨트 및 제2 벨트로서, 제1 벨트와 제2 벨트 사이에 전방 개방 통합식 포드(FOUP)를 배치하도록 구성된 거리와, 디스플레이 장치를 제조하는데 사용되는 기판을 배치하도록 구성된 거리만큼 이격된 제1 벨트 및 제2 벨트와,
    제1 벨트 및 제2 벨트를 안내하도록 구성된 복수의 대략 수직인 롤러와,
    제1 벨트와 제2 벨트로부터 연장하여 물품의 중량을 지지하도록 구성된 복수의 지지 돌출부를 포함하는 시스템.
  2. 제1항에 있어서, FOUP는 반도체 웨이퍼인 시스템.
  3. 제1항에 있어서, FOUP는 110㎜ 이하의 측면 이동 여유를 갖는 시스템.
  4. 제1항에 있어서, 제1 벨트와 제2 벨트는 각각 두 개 이상의 수직 롤러에 의해 지지되는 시스템.
  5. 제1항에 있어서, 제1 벨트는 우레탄, 실리콘, PVC 또는 고무를 포함하는 유연 재료를 포함하는 시스템.
  6. 이송 경로의 어느 한 측에 배치되어 이송 경로를 따라 물품을 이송하도록 구성된 제1 벨트 및 제2 벨트로서, 제1 벨트와 제2 벨트 사이에 전방 개방 통합식 포드(FOUP)를 배치하도록 구성된 거리만큼 이격된 제1 벨트 및 제2 벨트와,
    제1 벨트 및 제2 벨트를 안내하도록 구성되고, FOUP는 제1 벨트와 제2 벨트 사이에 110㎜ 이하의 측면 이동 여유를 갖는, 복수의 대략 수직인 롤러와,
    제1 벨트와 제2 벨트로부터 연장하여 물품의 중량을 지지하도록 구성된 복수의 지지 돌출부를 포함하는 시스템.
  7. 제6항에 있어서, 제1 벨트 및 제2 벨트는 각각 제1 수직 벨트 및 제2 수직 벨트이며 수직 단면축을 따라 강성이며 수평 단면축에서는 덜 강성인 시스템.
  8. 제6항에 있어서, 제1 및 제2 벨트는 물품이 이송 경로를 따라 이송될 때 물품의 진동을 감소시키도록 구성된 유연 재료를 포함하는 시스템.
  9. 제6항에 있어서, 제1 벨트 및 제2 벨트는 복수의 지지 돌출부 중 일 부재가 물품의 중량에 반응하여 이동할 수 있도록 구성된 유연 재료를 포함하는 시스템.
  10. 제6항에 있어서, 제1 벨트 및 제2 벨트는 상이한 속도로 이동하도록 구성된 시스템.
  11. 제6항에 있어서, 복수의 수직 롤러는 이송 경로가 곡선이 되도록 배치되는 시스템.
  12. 제6항에 있어서, 복수의 수직 롤러는 이송 경로가 하향 경사 또는 상향 경사지도록 배치되는 시스템.
  13. 제6항에 있어서, 복수의 지지 돌출부 중 하나 이상은 둥근 물품 지지 표면을 포함하는 시스템.
  14. 제6항에 있어서, 복수의 지지 돌출부는 제1 벨트 또는 제2 벨트의 길이를 따라 본질적으로 연속적인 지지 돌출부를 포함하는 시스템.
  15. 제6항에 있어서, 수직 롤러는 이송 방향으로의 이동을 제공하도록 회전되는 환형 표면을 가지며, 물품의 중량은 수직 롤러의 환형 표면으로부터 분리되는 시스템.
  16. 제6항에 있어서, 제1 벨트 또는 제2 벨트는 물품의 바닥부 위로 연장하는 부분을 포함하는 시스템.
  17. 제6항에 있어서, 제1 벨트는 물품의 수직 이동을 제한하도록 구성된 포획 립 에 결합되는 시스템.
  18. 제6항에 있어서, 제1 벨트 위에 위치된 포획 립을 추가로 포함하며, 포획 립은 물품의 수직 이동을 제한하도록 구성된 시스템.
  19. 제6항에 있어서, 복수의 수직 롤러는 물품의 이송 경로를 변경하기 위해 수평으로 이동하도록 구성된 시스템.
  20. 제6항에 있어서, 제1 벨트는 폴리머를 포함하는 시스템.
  21. 제6항에 있어서, 제1 벨트 및 제2 벨트는 각각 두 개 이상의 수직 롤러에 의해 지지되는 시스템.
  22. 제6항에 있어서, 복수의 지지 돌출부 중 일 부재는 제1 벨트의 일부분 아래에 배치된 물품 지지 표면을 포함하는 시스템.
  23. 제6항에 있어서, 전방 개방 통합식 포드(FOUP)와 적어도 하나 이상의 반도체 웨이퍼를 포함하는 물품을 더 포함하는 시스템.
  24. 제6항에 있어서, 물품을 조종하도록 구성된 3지점 운동학적 인터페이스를 더 포함하는 시스템.
  25. 제6항에 있어서, 제1 벨트는 복수의 수직 롤러 중 일 부재 내에 홈 또는 노치로 끼워맞춤되도록 구성된 시스템.
  26. 이송 경로의 어느 한 측에 배치되어 이송 경로를 따라 물품을 이송하도록 구성된 제1 벨트 및 제2 벨트로서, 제1 벨트와 제2 벨트 사이에 전방 개방 통합식 포드(FOUP)를 배치하도록 구성된 거리만큼 이격된 제1 벨트 및 제2 벨트와,
    제1 벨트 및 제2 벨트를 안내하도록 구성된 복수의 대략 수직인 롤러와,
    제1 벨트와 제2 벨트로부터 연장하여 물품의 중량을 지지하도록 구성된 복수의 지지 돌출부와,
    제1 벨트와 제2 벨트 사이에서 물품을 조종하도록 구성된 3지점 운동학적 인터페이스를 포함하는 시스템.
  27. 이송 경로의 어느 한 측에 배치되어 이송 경로를 따라 물품을 이송하도록 구성된 제1 벨트 및 제2 벨트로서, 제1 벨트와 제2 벨트 사이에 전방 개방 통합식 포드(FOUP)를 배치하도록 구성된 거리만큼 이격된 제1 벨트 및 제2 벨트와,
    제1 벨트 및 제2 벨트를 안내하도록 구성된 복수의 대략 수직인 롤러와,
    제1 벨트와 제2 벨트로부터 연장하여 물품의 중량을 지지하도록 구성된 복수의 지지 돌출부와,
    제1 벨트 및 제2 벨트로부터 물품을 내리도록 구성되고, 제1 벨트와 제2 벨트 사이에 물품을 위치시키도록 구성되고, 제1 벨트와 제2 벨트 사이의 거리가 물품의 폭보다 큰 3지점 운동학적 인터페이스를 포함하는 시스템.
  28. 제1 수직 벨트 및 제2 수직 벨트로서, 제1 수직 벨트와 제2 수직 벨트 사이에 물품을 배치하도록 구성된 거리만큼 이격된 제1 수직 벨트 및 제2 수직 벨트와,
    제1 수직 벨트를 안내하도록 구성된 적어도 3개의 수직 롤러와,
    제2 수직 벨트를 안내하도록 구성된 적어도 3개의 수직 롤러를 포함하는 운반 섹션 상에 물품을 적재하는 단계와,
    제1 수직 벨트와 제2 수직 벨트를 사용하여 이송 경로를 따라 물품을 이송하는 단계와,
    물품을 내리는 단계를 포함하는 방법.
  29. 제28항에 있어서, 제1 수직 벨트를 사용하는 물품의 진동을 흡수하는 단계를 더 포함하는 방법.
  30. 제28항에 있어서, 물품은 FOUP, 반도체 웨이퍼, 데이터 저장 장치의 부품, 전원의 부품 또는 디스플레이 장치를 제조하는데 사용되는 기판을 포함하는 방법.
  31. 제30항에 있어서, 물품은 제1 벨트와 제2 벨트 사이에 110㎜ 이하의 측면 이 동 여유를 갖는 방법.
  32. 제28항에 있어서, 물품을 이송 경로에서 내리는 단계는 제1 수직 벨트를 경사지게 하는 단계를 포함하는 방법.
  33. 제28항에 있어서, 이송 경로는 곡선인 방법.
  34. 제28항에 있어서, 물품의 이송 중 이송 경로를 동적으로 변경하는 단계를 더 포함하는 방법.
  35. 제1 수직 벨트 및 제2 수직 벨트로서, 제1 수직 벨트와 제2 수직 벨트 사이에 물품을 배치하도록 구성된 거리만큼 이격된 제1 벨트 및 제2 벨트와,
    제1 수직 벨트와 제2 수직 벨트를 안내하도록 구성된 복수의 수직 롤러를 포함하는 운반 섹션 상에 물품을 적재하는 단계와,
    제1 수직 벨트와 제2 수직 벨트를 사용하여 이송 경로를 따라 물품을 이송하는 단계와,
    제1 수직 벨트와 제2 수직 벨트 사이에 물품을 위치시키도록 구성된 3지점 운동학적 인터페이스를 사용하여 물품을 내리는 단계를 포함하며,
    제1 수직 벨트와 제2 수직 벨트 사이의 거리가 물품의 폭보다 큰 방법.
  36. 제35항에 있어서, 물품은 반도체 웨이퍼를 포함하는 시스템.
  37. 제35항에 있어서, 물품은 디스플레이 장치를 제조하는데 사용되는 기판을 포함하는 시스템.
  38. 제35항에 있어서, 물품은 제1 벨트와 제2 벨트 사이에서 110㎜ 이하의 측면 이동 여유를 갖는 시스템.
  39. 제1 수직 벨트 및 제2 수직 벨트로서, 제1 수직 벨트와 제2 수직 벨트 사이에 물품을 배치하도록 구성된 거리만큼 이격된 제1 수직 벨트 및 제2 수직 벨트와,
    제1 수직 벨트와 제2 수직 벨트를 안내하도록 구성된 복수의 수직 롤러를 포함하는 운반 섹션 상에 물품을 적재하는 단계와,
    제1 수직 벨트와 제2 수직 벨트를 사용하여 이송 경로를 따라 물품을 이송하는 단계와,
    FOUP, 반도체 웨이퍼 또는 디스플레이 장치를 제조하는데 사용되는 기판을 포함하는 물품을 내리는 단계를 포함하는 방법.
  40. 제1 수직 벨트 및 제2 수직 벨트로서, 제1 수직 벨트와 제2 수직 벨트 사이에 전방 개방 통합식 포드(FOUP)를 배치하도록 구성된 거리만큼 이격되고, 제1 수직 벨트는 제1 벨트의 일부 아래 배치되는 물품 지지 표면을 포함하는 복수의 지지 돌출부에 부착된, 제1 수직 벨트 및 제2 수직 벨트와,
    제1 수직 벨트 및 제2 수직 벨트를 안내하도록 구성된 복수의 수직 롤러를 포함하는 운반 섹션 상에 물품을 적재하는 단계와,
    제1 수직 벨트 및 제2 수직 벨트를 사용하여 이송 경로를 따라 물품을 이송하는 단계와,
    물품을 내리는 단계를 포함하는 방법.
  41. 제1 수직 벨트 및 제2 수직 벨트로서, 제1 수직 벨트와 제2 수직 벨트 사이에 전방 개방 통합식 포드(FOUP)를 배치하도록 구성된 거리만큼 이격된, 제1 수직 벨트 및 제2 수직 벨트와,
    제1 수직 벨트 및 제2 수직 벨트를 안내하도록 구성되고, 제1 벨트는 복수의 수직 롤러 중 일 부재 내에 홈 또는 노치에 끼워맞춤되도록 구성된, 복수의 수직 롤러를 포함하는 운반 섹션 상에 물품을 적재하는 단계와,
    제1 수직 벨트 및 제2 수직 벨트를 사용하여 이송 경로를 따라 물품을 이송하는 단계와,
    물품을 내리는 단계를 포함하는 방법.
  42. 제1 수직 벨트 및 제2 수직 벨트로서, 제1 수직 벨트와 제2 수직 벨트 사이에 전방 개방 통합식 포드(FOUP)를 배치하도록 구성된 거리만큼 이격된, 제1 수직 벨트 및 제2 수직 벨트와,
    제1 수직 벨트 및 제2 수직 벨트를 안내하도록 구성된 복수의 수직 롤러를 포함하는 운반 섹션 상에 3지점 운동학적 인터페이스를 사용하여 물품을 적재하는 단계와,
    제1 수직 벨트 및 제2 수직 벨트를 사용하여 이송 경로를 따라 물품을 이송하는 단계와,
    물품을 내리는 단계를 포함하는 방법.
  43. 제1 수직 벨트 및 제2 수직 벨트로서, 제1 수직 벨트와 제2 수직 벨트 사이에 전방 개방 통합식 포드(FOUP)를 배치하도록 구성된 거리만큼 이격된, 제1 수직 벨트 및 제2 수직 벨트와,
    제1 수직 벨트 및 제2 수직 벨트를 안내하도록 구성된 복수의 수직 롤러를 포함하는 운반 섹션 상에 3지점 운동학적 인터페이스를 사용하여 물품을 적재하는 단계와,
    제1 수직 벨트 및 제2 수직 벨트를 사용하여 이송 경로를 따라 물품을 이송하는 단계와,
    물품을 내리는 단계를 포함하는 방법.
  44. 디스플레이 장치를 제조하는데 사용되는 기판을 포함하는 물품과,
    이송 경로 중 어느 한 측 상에 배치되어 이송 경로를 따라 물품을 이송하도록 구성된 제1 벨트 및 제2 벨트로서, 제1 벨트와 제2 벨트 사이에 물품을 배치하 도록 구성된 거리만큼 이격된 제1 벨트 및 제2 벨트와,
    제1 벨트 및 제2 벨트를 안내하도록 구성된 복수의 대략 수직인 롤러와,
    제1 벨트 및 제2 벨트로부터 연장하고 물품의 중량을 지지하도록 구성된 복수의 지지 돌출부를 포함하는 시스템.
  45. 제44항에 있어서, 제1 벨트 및 제2 벨트는 복수의 지지 돌출부 중 일 부재가 물품의 중량에 반응하여 이동할 수 있도록 구성된 유연 재료를 포함하는 시스템.
  46. 제44항에 있어서, 제1 벨트 또는 제2 벨트는 물품의 바닥부 위로 연장하는 부분을 포함하는 시스템.
  47. 제44항에 있어서, 복수의 수직 롤러는 이송 경로가 곡선이 되도록 배치되는 시스템.
  48. 제44항에 있어서, 제1 벨트는 물품의 수직 이동을 제한하도록 구성된 포획 립에 결합된 시스템.
  49. 이송 경로의 어느 한 측에 배치되어 이송 경로를 따라 물품을 이송하도록 구성된 제1 벨트 및 제2 벨트로서, 제1 벨트와 제2 벨트 사이에 전방 개방 통합식 포드(FOUP)를 배치하도록 구성된 거리만큼 이격되고, FOUP는 제1 벨트와 제2 벨트 사 이에 110㎜ 이하의 측면 이동 여유를 갖는 제1 벨트 및 제2 벨트와,
    제1 벨트 및 제2 벨트를 안내하도록 구성된 복수의 대략 수직인 롤러와,
    제1 벨트와 제2 벨트로부터 연장하여 물품의 중량을 지지하도록 구성된 복수의 지지 돌출부를 포함하며,
    복수의 지지 돌출부 중 일 부재는 제1 벨트의 일부 아래 배치되는 물품 지지 표면을 포함하는 시스템.
  50. 이송 경로의 어느 한 측에 배치되어 이송 경로를 따라 물품을 이송하도록 구성된 제1 벨트 및 제2 벨트로서, 제1 벨트와 제2 벨트 사이에 전방 개방 통합식 포드(FOUP)를 배치하도록 구성된 거리만큼 이격된 제1 벨트 및 제2 벨트와,
    제1 벨트 및 제2 벨트를 안내하도록 구성된 복수의 대략 수직인 롤러와,
    제1 벨트와 제2 벨트로부터 연장하여 물품의 중량을 지지하도록 구성된 복수의 지지 돌출부로서, 복수의 지지 돌출부 중 일 부재는 제1 벨트의 일부 아래 배치되는 물품 지지 표면을 포함하는 복수의 지지 돌출부와,
    제1 벨트 및 제2 벨트로부터 물품을 내리도록 구성된 3지점 운동학적 인터페이스를 포함하는 시스템.
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