KR20100098840A - 웨이퍼 반송 장치와 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 웨이퍼 반송 장치와 방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 웨이퍼 반송 장치는 다수의 웨이퍼가 적재되도록 하는 카세트유닛; 상기 카세트유닛을 통과하고, 웨이퍼의 일측이 접촉되며, 상기 카세트유닛으로부터 상기 접촉된 웨이퍼를 인출하거나 상기 카세트유닛에 웨이퍼를 인입하는 웨이퍼이송로봇; 상기 웨이퍼이송로봇에 안착된 웨이퍼와 상기 웨이퍼이송로봇을 이격시키고, 상기 웨이퍼이송로봇에서 이격된 웨이퍼를 운반하거나 운반되는 웨이퍼를 상기 웨이퍼이송로봇에 안착시키는 운반유닛;을 포함하고, 상기 카세트유닛과 상기 웨이퍼이송로봇과 상기 운반유닛은 상호 연동되어 움직이는 것을 특징으로 한다.
이에 의하여, 웨이퍼의 표면에 발생되는 외력을 방지할 수 있고, 웨이퍼 표면에 발생되는 긁힘이나 파티클(particle)을 방지할 수 있는 웨이퍼 반송 장치와 방법을 제공된다.
웨이퍼, 카세트, 이송로봇, 블레이드, 밸트

Description

웨이퍼 반송 장치와 방법{apparatus and method for carrying the wafer}
본 발명은 웨이퍼 반송 장치와 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 웨이퍼를 검사하거나 웨이퍼에 후속 공정을 실시하기 위해 카세트에서 웨이퍼를 인출하고 필요에 따라 다른 장치에 반송하거나, 다른 장치로부터 반송되는 웨이퍼를 카세트에 인입할 수 있고, 웨이퍼의 반송, 인입, 인출시 웨이퍼 표면에 가해지는 외력을 최소화하고, 웨이퍼의 표면이 손상되는 것을 방지할 수 있는 웨이퍼 반송 장치와 방법에 관한 것이다.
종래의 웨이퍼 반송 장치는 다수의 웨이퍼를 적층 수용한 웨이퍼카세트가 엘리베이터에 의해 수직 방향으로 이동 가능하게 형성되고, 웨이퍼카세트의 하측에는 회전하는 컨베이어가 설치되며, 웨이퍼카세트는 하면이 개구되어 컨베이어가 삽입될 수 있도록 하는 개략적인 구성을 갖는다. 그러면, 엘리베이터를 이용하여 웨이퍼카세트를 하강시켜 컨베이어 상면에 웨이퍼카세트에 적재된 웨이퍼의 하면이 접촉하도록 한다. 이때, 엘리베이터에 의해 적재된 웨이퍼는 컨베이어를 가압한다. 그런 다음 컨베이어를 회전시키면, 웨이퍼와 컨베이어 사이의 접촉력에 의해 웨이퍼가 컨베이어에 접촉된 채 웨이퍼카세트로부터 인출되어 다른 장치로 반송된다. 여기서 웨이퍼와 컨베이어 사이에 발생되는 접촉력은 적어도 웨이퍼카세트와 적재된 웨이퍼 사이의 마찰력보다 커야 하고, 한다.
종래의 다른 웨이퍼 반송 장치는 다수의 웨이퍼가 적재된 웨이퍼카세트가 마련되고, 반송암이 엘리베이터에 의해 수직 또는 수평 방향으로 이동 가능하게 형성되며, 반송암에는 공기가 흡입되는 흡착부가 형성되는 개략적인 구성을 갖는다. 그러면, 엘리베이터를 이용하여 반송암의 흡착부가 웨이퍼의 표면에 접촉하도록 반송암을 웨이퍼카세트의 상측 또는 하측으로 이동시킨다. 그런 다음 흡착부에서 흡입력이 발생하도록 공기를 흡입하면, 웨이퍼가 반송암에 흡착 접촉된 채 웨이퍼카세트로부터 인출되어 다른 장치로 반송된다. 반송암의 흡착부에서 발생되는 흡착력은 적어도 흡착된 웨이퍼의 무게를 지탱할 수 있어야 한다.
하지만, 종래기술에 따른 웨이퍼 반송 장치는 웨이퍼카세트에서 웨이퍼를 인출하기 위해서는 웨이퍼와 컨베이어 사이의 접촉력 또는 반송암의 흡입력과 같은 외력을 웨이퍼의 표면에 발생시켜야 하는 문제점이 있다.
또한, 웨이퍼카세트로부터 웨이퍼를 인출시, 웨이퍼의 표면은 직접 컨베이어 또는 반송암에 접한 채 인출 또는 반송되기 때문에, 웨이퍼 표면에는 긁힘이나 파티클(particle)이 발생되는 문제점이 있었다.
또한, 웨이퍼를 흡착하는 경우 흡착부에서 균일한 흡착이 이루어지지 않아 흡착력이 저하되어 웨이퍼의 흡착이 제대로 이루어지지 못하고, 공정 진행에 차질이 발생되는 문제점이 있다.
또한, 상술한 문제점들로 인해 웨이퍼의 불량이 증가하고, 생산 수율이 저하 되는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 웨이퍼카세트에서 웨이퍼를 인출 또는 인입하거나 웨이퍼를 다른 장치로 반송할 때, 웨이퍼의 표면에 발생되는 외력을 방지할 수 있는 웨이퍼 반송 장치와 방법을 제공함에 있다.
또한, 웨이퍼카세트에서 웨이퍼를 인출 또는 인입하거나 웨이퍼를 다른 장치로 반송할 때, 웨이퍼 표면에 발생되는 긁힘이나 파티클(particle)을 방지할 수 있는 웨이퍼 반송 장치와 방법을 제공함에 있다.
또한, 웨이퍼카세트에서 웨이퍼를 인출 또는 인입하거나 웨이퍼를 다른 장치로 반송할 때, 웨이퍼를 안정되게 인출 또는 인입 또는 반송하여 공정 진행에 발생되는 차질을 방지할 수 있는 웨이퍼 반송 장치와 방법을 제공함에 있다.
또한, 웨이퍼카세트에 대한 웨이퍼의 인출 또는 인입에 따라, 또는 웨이퍼의 반송에 따라 발생되는 웨이퍼의 불량을 최소화하고, 이에 따라 생산 수율을 향상시킬 수 있는 웨이퍼 반송 장치와 방법을 제공함에 있다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 다수의 웨이퍼가 적재되도록 하는 카세트유닛; 상기 카세트유닛을 통과하고, 웨이퍼의 일측이 접촉되며, 상기 카세트유닛으로부터 상기 접촉된 웨이퍼를 인출하거나 상기 카세트유닛에 웨이퍼를 인입하는 웨이퍼이송로봇; 상기 웨이퍼이송로봇에 안착된 웨이퍼와 상기 웨이퍼이송로봇을 이격 시키고, 상기 웨이퍼이송로봇에서 이격된 웨이퍼를 운반하거나 운반되는 웨이퍼를 상기 웨이퍼이송로봇에 안착시키는 운반유닛;을 포함하고, 상기 카세트유닛과 상기 웨이퍼이송로봇과 상기 운반유닛은 상호 연동되어 움직이는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 반송 장치에 의해 달성된다.
여기서 상기 웨이퍼이송로봇은 상기 카세트유닛을 통과하고 웨이퍼의 일측이 접촉되도록 하는 블레이드; 상기 카세트유닛 또는 상기 운반유닛의 동작에 연동되어 상기 블레이드를 왕복 운동시키는 수평이동부;를 포함하여 구성되도록 하는 것이 바람직하다.
여기서 상기 블레이드는 웨이퍼가 안착되는 안착부; 상기 안착부로 공급되는 웨이퍼의 일측이 걸리도록 상기 안착부에서 돌출되게 형성되는 걸림부;를 포함하여 구성되도록 하는 것이 바람직하다.
여기서 상기 걸림부는 상기 블레이드의 진행 방향에 따라 상기 안착부의 전단부에 돌출되게 형성되는 제1리브와 상기 블레이드의 진행 방향에 따라 상기 안착부의 후단부에 돌출되게 형성되는 제2리브 중 적어도 어느 한 리브를 포함하여 구성되도록 하는 것이 바람직하다.
여기서 상기 제1리브와 제2리브 중 한 리브는 함께 형성되는 상기 제1리브 또는 상기 제2리브보다 높게 돌출되도록 하는 것이 바람직하다.
여기서 상기 안착부는 웨이퍼가 안착되는 바닥면이 상기 걸림부(또는 제1리브 또는 제2리브)를 향해 하향 경사를 이루도록 하는 것이 바람직하다.
여기서 상기 카세트유닛과 상기 웨이퍼이송로봇과 상기 운반유닛은 상호 이 격되어 설치되고, 상기 상호 이격된 구성 사이에서 물체를 감지하는 감지부를 더 포함하여 구성되고, 상기 감지부의 감지에 따라 상기 카세트유닛과 상기 웨이퍼이송로봇과 상기 운반유닛 중 적어도 하나의 동작을 제어하도록 하는 것이 바람직하다.
여기서 상기 카세트유닛은 상기 다수의 웨이퍼가 적재 가능한 카세트; 상기 웨이퍼이송로봇과 상기 운반유닛의 동작에 연동되어 상기 카세트를 왕복 이동시키는 카세트이동부;를 포함하여 구성되도록 하는 것이 바람직하다.
여기서 상기 카세트유닛은 상기 카세트가 안착되는 거치대; 상기 거치대에 형성되어 상기 카세트에 적재되는 웨이퍼의 유무를 판단하는 웨이퍼인식부;를 더 포함하여 구성되고, 상기 웨이퍼인식부의 판단에 따라 상기 카세트유닛과 상기 웨이퍼이송로봇과 상기 운반유닛 중 적어도 하나의 동작을 제어하도록 하는 것이 바람직하다.
여기서 상기 운반유닛은 다수의 롤러에 의해 무한 궤도를 형성하는 밸트; 상기 밸트가 상기 다수의 롤러를 따라 이동되도록 상기 다수의 롤러 중 적어도 한 롤러를 회전시키는 구동모터; 상기 밸트를 상하로 왕복 이동시키는 밸트이동부;를 더 포함하여 구성되도록 하는 것이 바람직하다.
여기서 상기 웨이퍼이송로봇(또는 블레이드)이 삽입 또는 이탈되도록 상기 밸트에는 상기 다수의 롤러 중 변환롤러에 의해 함몰되는 블레이드삽입부가 형성되도록 하는 것이 바람직하다.
여기서 상기 운반유닛은 상기 블레이드삽입부 내에서 상기 변환롤러를 왕복 이동시키는 롤러이동부; 상기 롤러이동부에 의한 상기 변환롤러의 동작에 따라 상기 밸트의 장력을 조절하는 조절롤러를 더 포함하여 구성되도록 하는 것이 바람직하다.
여기서 상기 운반유닛은 상기 하나의 구동모터를 통해 한 쌍의 밸트를 동시에 회전시키도록 하는 것이 바람직하다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 적재된 다수의 웨이퍼를 낱장으로 공급하는 웨이퍼 반송 방법에 있어서, 상기 제1항 내지 제13항 중 어느 한 항에 기재된 웨이퍼 반송 장치를 이용하고, 상기 웨이퍼이송로봇(또는 블레이드)이 다수의 웨이퍼가 적재된 상기 카세트유닛( 또는 카세트)을 통과하여 이동되는 제1단계; 상기 웨이퍼이송로봇(또는 블레이드)의 이동에 따라 웨이퍼가 상기 웨이퍼이송로봇(또는 블레이드의 안착부)에 안착된 채 상기 운반유닛(또는 밸트 또는 밸트의 블레이드삽입부) 상측에 위치하면, 상기 운반유닛(또는 밸트)을 상승시키는 제2단계; 상기 운반유닛(또는 밸트)의 상승에 따라 웨이퍼가 상기 운반유닛(또는 밸트)에 안착되면, 상기 운반유닛(또는 구동모터)을 통해 상기 운반유닛(또는 밸트)에 안착된 웨이퍼를 운반하는 제3단계;를 포함하여 구성되는 웨이퍼 반송 방법에 의해 달성된다.
여기서 상기 운반유닛(또는 밸트)의 상승에 따라 웨이퍼가 상기 운반유닛(또는 밸트)에 안착되면, 상기 웨이퍼이송로봇(또는 블레이드)이 초기 위치로 이동되는 제4단계와, 상기 운반유닛(또는 밸트)의 상승에 따라 웨이퍼가 상기 운반유닛(또는 밸트)에 안착되면, 상기 카세트유닛(또는 카세트)이 상승 또는 하강하는 제5단계와, 상기 운반유닛(또는 밸트)의 상승에 따라 웨이퍼가 상기 운반유닛(또는 밸 트)에 안착되면, 상기 운반유닛(또는 밸트)를 하강시켜 초기 위치로 이동하는 제6단계 중 적어도 한 단계를 더 포함하여 구성되도록 하는 것이 바람직하다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 낱장으로 공급되는 웨이퍼를 적재하는 웨이퍼 반송 방법에 있어서, 상기 제1항 내지 제13항 중 어느 한 항에 기재된 웨이퍼 반송 장치를 이용하고, 상기 운반유닛(또는 밸트)에 안착된 낱장의 웨이퍼가 상기 카세트유닛(또는 카세트)와 대응되도록 상기 운반유닛(또는 구동모터)을 통해 상기 운반유닛(또는 밸트)에 안착된 웨이퍼를 운반하는 제1단계; 상기 운반된 웨이퍼와 상기 운반유닛(또는 밸트, 또는 밸트의 블레이드삽입부) 사이에 상기 웨이퍼이송로봇(또는 블레이드)이 삽입되도록 상기 웨이퍼이송로봇(또는 블레이드)을 이동시키는 제2단계; 상기 운반된 웨이퍼와 상기 운반유닛(또는 밸트, 또는 밸트의 블레이드삽입부) 사이에 상기 웨이퍼이송로봇(또는 블레이드)이 삽입되면, 상기 운반유닛(또는 밸트)을 하강시키는 제3단계; 상기 웨이퍼가 상기 웨이퍼이송로봇(또는 블레이드의 안착부)에 안착되면, 상기 웨이퍼이송로봇(또는 블레이드)을 상기 카세트유닛(또는 카세트)으로 이동시키는 제4단계;를 포함하여 구성되는 웨이퍼 반송 방법도록 하는 것이 바람직하다.
여기서 상기 제4단계에서 상기 웨이퍼이송로봇(또는 블레이드의 안착부)에 안착된 낱장의 웨이퍼가 상기 카세트유닛(또는 카세트)에 인입되면, 상기 카세트유닛(또는 카세트)을 상승 또는 하강시키는 제5단계와, 상기 제4단계에서 상기 웨이퍼이송로봇(또는 블레이드의 안착부)에 안착된 낱장의 웨이퍼가 상기 카세트유닛(또는 카세트)에 인입되면, 상기 웨이퍼이송로봇(또는 블레이드)을 초기 위치로 이 동시키는 제6단계와, 상기 제3단계에서 하강된 상기 운반유닛(또는 밸트)를 상승시켜 초기 위치로 이동시키는 제7단계 중 적어도 한 단계를 더 포함하여 구성되도록 하는 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면, 카세트유닛에서 웨이퍼를 인출 또는 인입하거나 웨이퍼를 다른 장치로 반송할 때, 웨이퍼의 표면에 발생되는 외력을 방지할 수 있는 웨이퍼 반송 장치와 방법을 제공된다.
또한, 카세트유닛에서 웨이퍼를 인출 또는 인입하거나 웨이퍼를 다른 장치로 반송할 때, 웨이퍼 표면에 발생되는 긁힘이나 파티클(particle)을 방지할 수 있는 웨이퍼 반송 장치와 방법을 제공된다.
또한, 카세트유닛에서 웨이퍼를 인출 또는 인입하거나 웨이퍼를 다른 장치로 반송할 때, 웨이퍼를 안정되게 인출 또는 인입 또는 반송하여 공정 진행에 발생되는 차질을 방지할 수 있는 웨이퍼 반송 장치와 방법을 제공함에 있다.
또한, 카세트유닛에 대한 웨이퍼의 인출 또는 인입에 따라, 또는 웨이퍼의 반송에 따라 발생되는 웨이퍼의 불량을 최소화하고, 이에 따라 생산 수율을 향상시킬 수 있는 웨이퍼 반송 장치와 방법을 제공함에 있다.
설명에 앞서, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1실시예와 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 일실시예에 따른 웨이퍼 반송 장치에 대하여 상세하게 설명한다. 본 발명의 일실시예에 따른 웨이퍼 반송 장치는 웨이퍼를 카세트에 인출하거나 인입하는 것은 물론 웨이퍼를 다른 장치로 운반하거나 다른 장치로부터 웨이퍼를 운반할 수 있다. 본 발명의 일실시예에서 설치되는 카세트를 기준으로 카세트가 적재되는 방향을 상하로 하고, 웨이퍼가 인출 또는 인입되는 방향을 전후로 한다.
첨부 도면 도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 웨이퍼 반송 장치를 개략적으로 도시한 사시도로써, 도 1을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 웨이퍼 반송 장치는 카세트유닛(1)과 웨이퍼이송로봇(2)과 운반유닛(3)으로 구분하고, 카세트유닛(1)과 웨이퍼이송로봇(2)과 운반유닛(3)은 작업테이블에 설치되며, 설치 위치는 변경될 수 있다. 카세트유닛(1)과 웨이퍼이송로봇(2)과 운반유닛(3)은 상호 연동되어 움직인다.
도시되지 않았지만, 작업테이블(5)에는 감지부(미도시)가 더 설치될 수 있다. 카세트유닛(1)과 웨이퍼이송로봇(2)과 운반유닛(3)은 상호 이격되어 설치되는데, 이때, 감지부(미도시)는 상호 이격된 구성(카세트유닛(1)과 웨이퍼이송로봇(2)과 운반유닛(3)) 사이에서 이물질을 감지하고, 감지부(미도시)의 감지에 따라 카세트유닛(1)과 웨이퍼이송로봇(2)과 운반유닛(3) 중 적어도 하나의 동작을 제어한다. 여기서 이물질은 카세트유닛(1)과 웨이퍼이송로봇(2)과 운반유닛(3)의 동작에 방해되는 물체 또는 방해 물체를 제거하기 위한 작업자의 손 등이다. 상호 이격된 공간 에서 움직이는 카세트유닛(1)과 웨이퍼이송로봇(2)과 운반유닛(3)의 세부 구성이 동작은 감지되지 않도록 한다.
일예로 감지부(미도시)에 의해 이물질이 감지되면, 웨이퍼 반송 장치는 일시 정지된다. 그리고 감지부(미도시)에 의해 감지된 이물질을 제거하면, 웨이퍼 반송 장치를 다시 동작시킬 수 있다. 여기서 일시정지 후에는 재동작시키기 위한 스위치(미도시)가 구성될 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따른 카세트유닛은 도 2를 참조하여 상세하게 설명한다. 첨부 도면 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 웨이퍼 반송 장치에서 카세트유닛을 개략적으로 도시한 사시도이다.
카세트유닛(1)은 다수의 웨이퍼(W)가 적재되도록 하고, 카세트(11)와 거치대(13)와 카세트이동부(12)로 구분할 수 있다.
카세트(11)는 중공 함체로 내부 공간에 다수의 웨이퍼가 적재 되도록 한다. 그리고 카세트(11)의 전면부와 배면부는 개구되어 웨이퍼(W)의 인입 또는 인출이 가능하도록 하고, 후술하는 웨이퍼이송로봇(2)의 블레이드(21)가 통과할 수 있도록 한다. 카세트(11)에는 양측벽에 적재홈(111)이 형성되어 웨이퍼(W)가 상호 이격되어 적층되도록 하고 있다. 이때, 상호 인접한 웨이퍼(W) 사이의 간격은 후술하는 웨이퍼이송로봇(2)의 블레이드(21)가 용이하게 통과할 수 있도록 한다. 본 발명의 일실시예에서 카세트(11)는 사각형의 웨이퍼(W)가 적재되도록 하고 있다.
거치대(13)에는 카세트(11)가 안착 고정되어 정위치되도록 하고, 웨이퍼인식 부(14)가 형성되어 거치대(13)에 적재되는 웨이퍼(W)의 유무를 판단한다. 그러면, 웨이퍼인식부(14)의 판단에 따라 카세트유닛(1)과 웨이퍼이송로봇(2)과 운반유닛(3) 중 적어도 하나의 동작을 제어할 수 있다. 일예로 웨이퍼인식부(14)는 카세트(11)의 무게를 이용하여 웨이퍼(W)의 유무를 판단하거나, 카세트(11)의 최상단 또는 최하단에 적재된 웨이퍼(W)의 유무를 판단할 수 있으며, 본 발명은 여기에 한정하지 않는다.
카세트이동부(12)는 웨이퍼이송로봇(2)과 운반유닛(3)의 동작에 연동되어 카세트(11)를 왕복 이동시킨다. 카세트이동부(12)는 실린더 또는 볼스크류 등으로 구성될 수 있고, 카세트(11)를 상하로 왕복 이동시키면서 이동거리를 정밀하게 제어할 수 있다. 거치대(13)의 양측에는 카세트안내부(15)를 설치하여 카세트이동부(12)의 동작에 따라 거치대(13)에 안착된 다수의 카세트(11)의 수평도를 유지할 수 있다. 카세트안내부(15)는 슬라이더와 슬라이드 홈의 구성 등과 같이 복합 구성되어 거치대(13)와 작업테이블(5)에 각각 설치되는 것이 유리하다. 그러면, 카세트이동부(12)의 동작에 따라 거치대(13)를 상하로 왕복 이동시키며, 카세트안내부(15)에 의해 거치대(13)와 카세트(11)가 수평을 유지하면서 부드럽게 이동된다.
본 발명의 일실시예에 따른 웨이퍼이송로봇(2)은 도 3을 참조하여 상세하게 설명한다.첨부 도면 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 웨이퍼 반송 장치에서 웨이퍼이송로봇을 개략적으로 도시한 사시도이다.
웨이퍼이송로봇(2)은 카세트유닛(1)을 통과하고, 웨이퍼(W)의 일측이 접촉되 며, 카세트유닛(1)으로부터 웨이퍼(W)를 인출하거나 카세트유닛(1)에 웨이퍼(W)를 인입할 수 있도록 하고, 블레이드(21)와 연결판(22)과 수평이동부(23)로 구분할 수 있다. 웨이퍼이송로봇(2)은 본 발명의 일실시예에서 카세트유닛(1)의 배면측에 설치되고, 도시되지 않았지만, 카세트유닛(1)의 전면측에 형성될 수 있다.
블레이드(21)는 카세트유닛(1)을 통과하고 웨이퍼(W)의 일측이 접촉되도록 하고, 안착부(211)와 걸림부(213)로 구분할 수 있다. 안착부(211)는 웨이퍼(W)가 안착되는 부분이고, 걸림부(213)는 안착부(211)로 공급되는 웨이퍼(W)의 일측이 걸리도록 안착부(211)에서 돌출되게 형성되는 부분이다. 블레이드(21)가 카세트유닛(1)의 카세트(11)를 통과할 때, 카세트(11)에서 웨이퍼(W)를 인출하는 동안은 안착부(211)와 웨이퍼(W)가 이격되어 있게 된다. 걸림부(213)는 제1리브(215)와 제2리브(217)로 구분할 수 있으며, 블레이드(21)의 이동 방향에 따라 제1리브(215)와 제2리브(217) 중 적어도 한 리브가 형성된다. 제1리브(215)는 블레이드(21)의 진행 방향에 따라 안착부(211)의 전단부에 돌출되게 형성되고, 제2리브(217)는 블레이드(21)의 진행 방향에 따라 안착부(211)의 후단부에 돌출되게 형성된다. 그리고, 제1리브(215)와 제2리브(217) 중 한 리브는 함께 형성되는 제1리브(215) 또는 제2리브(217)보다 높게 돌출되도록 하며, 본 발명의 일실시예에서는 제2리브(217)가 제1리브(215)보다 더 높게 형성되어 있다. 또한, 도시되지 않았지만, 안착부(211)는 바닥면이 제1리브(215) 또는 제2리브(217)를 향해 하향 경사를 이룰 수 있다.
연결판(22)은 적재되는 카세트(11)에 대응하여 형성되는 블레이드(21)를 상호 연결하여 고정시킨다.
수평이동부(23)는 카세트유닛(1) 또는 운반유닛(3)의 동작에 연동되어 블레이드(21)를 왕복 운동시킨다. 수평이동부(23)는 실린더 또는 볼스크류 등으로 구성될 수 있고, 블레이드(21)를 카세트(11)의 전후로 왕복 이동시키면서 이동거리를 정밀하게 제어할 수 있다. 연결판(22)의 양측에는 블레이드안내부(24)를 설치하면, 수평이동부(23)의 동작에 따라 연결판(22)에 고정된 블레이드(21)가 수평도를 유지하면서 왕복 이동될 수 있다. 블레이드안내부(24)는 슬라이더와 슬라이드 홈의 구성 등과 같이 복합 구성되어 연결판(22)과 작업테이블(5)에 각각 설치되는 것이 유리하다. 그러면, 수평이동부(23)의 동작에 따라 연결판(22)을 전후로 왕복 이동시키며, 블레이드안내부(24)에 의해 연결판(22)과 블레이드(21)가 수평을 유지하면서 부드럽게 이동된다.
도시되지 않았지만, 웨이퍼이송로봇(2) 또는 블레이드(21)를 상하로 왕복 이동시킬 수 있는 수직이동부(미도시)가 더 형성될 수 있다. 수직이동부(미도시)는 실린더 또는 볼스크류 등으로 구성될 수 있고, 웨이퍼이송로봇(2) 또는 블레이드(21)를 상하로 왕복 이동시키면서 이동거리를 정밀하게 제어할 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따른 운반유닛(3)은 도 4를 참조하여 상세하게 설명한다. 첨부 도면 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 웨이퍼 반송 장치에서 운반유닛을 개략적으로 도시한 사시도이다.
운반유닛(3)은 웨이퍼이송로봇(2)에 안착된 웨이퍼(W)와 웨이퍼이송로봇(2)을 이격시키고, 웨이퍼이송로봇(2)에서 이격된 웨이퍼(W)를 운반하거나, 운반되는 웨이퍼(W)를 웨이퍼이송로봇(2)에 안착시키도록 하며, 밸트(31)와 구동모터(32)와 밸트이동부(33)와 롤러(34)와 고정플레이트(35)로 구분할 수 있다. 본 발명의 일실시예에서 운반유닛(3)은 카세트유닛(1)의 전면측에 형성되고, 도시하지 않았지만, 카세트유닛(1)과 웨이퍼이송로봇(2) 사이에 설치될 수 있다. 여기서 운반유닛(3)은 하나의 구동모터(32)를 통해 한 쌍의 밸트(31)를 동시에 회전시킬 수 있다.
밸트(31)는 다수의 롤러(34)에 의해 무한 궤도를 형성하고, 한 쌍으로 구성되어 있다. 구동모터(32)는 밸트(31)가 다수의 롤러(34)를 따라 이동되도록 다수의 롤러(34) 중 적어도 한 롤러(34)를 회전시킨다. 밸트이동부(33)는 밸트(31)를 상하로 왕복 이동시킨다. 밸트이동부(33)는 실린더 또는 볼스크류 등으로 구성될 수 있고, 밸트(31)를 상하로 왕복이동시키면서 이동거리를 정밀하게 제어할 수 있다.
롤러(34)는 변환롤러(341)와 조절롤러(미도시)와 구동롤러(342)와 보조롤러(343)와 연결롤러(344)로 구분할 수 있다. 변환롤러(341)는 밸트(31)를 함몰시키는 롤러이고, 조절롤러(미도시)는 밸트의 장력을 조절하는 롤러이며, 구동롤러(342)는 구동모터(32)의 구동축(321)에 연결되어 구동모터(32)의 회전력을 전달하는 롤러이고, 보조롤러(343)는 일측의 밸트(31)와 타측의 밸트(31)에 각각 설치되어 보조축(345)에 의해 연결된 롤러로 일측의 밸트(31)에 전달된 구동모터(32)의 회전력을 타측의 밸트(31)에 전달하는 롤러이며, 연결롤러(344)는 밸트(31)가 무한 궤도를 형성하도록 하는 롤러이다. 상술한 구동모터(32)와 다수의 롤러(34)는 고정플레이트(35)에 의해 고정설치되고 롤러(34)가 회전할 수 있도록 한다. 고정플레이트(35)에는 블레이드삽입부(311)에 대응하여 함몰 형성되는 함몰부(351)가 형성된 다.
밸트(31)에는 블레이드삽입부(311)가 함몰 형성되어 웨이퍼이송로봇(2)의 블레이드(21)가 삽입 또는 이탈되도록 한다. 블레이드삽입부(311)는 블레이드(21)의 이동에 대응하여 다수의 롤러(34) 중 변환롤러(341)에 의해 밸트(31)가 함몰되는 일부분이다.
그리고 블레이드삽입부(311) 내에서 변환롤러(341)를 왕복 이동시키는 롤러이동부(미도시)가 더 형성될 수 있으며, 이때 조절롤러(미도시)가 롤러이동부(미도시)에 의한 변환롤러(341)의 동작에 따라 밸트(31)의 장력을 조절할 수 있다.
운반유닛(3)에서 구동모터(32)가 동작되면 구동롤러(342)를 회전시키고, 밸트(31)에 의해 전달된 회전력은 보조롤러(343)를 회전시키고, 보조축(345)에 의해 연결된 보조롤러(343)에 의해 한 쌍의 밸트(31)가 연결롤러(344)를 따라 함께 이동하게 된다. 이때, 변환롤러(341)는 밸트(31)에 블레이드삽입부(311)를 형성하고, 조절롤러(미도시)는 이동되는 밸트(31)의 장력을 조절한다.
도시되지 않았지만, 보조롤러(343) 없이 구동모터(32)의 양측에 동일한 구동축(321)을 형성하고 구동축(321)에 각각 구동롤러(342)를 설치하여 한 쌍의 밸트(31)를 함께 이동시킬 수 있다.
지금부터는 상술한 본 발명의 일실시예에 따른 웨이퍼 반송 장치를 이용하여 웨이퍼를 인출하여 운반하는 동작(즉, 웨이퍼 반송 방법)에 대하여 설명한다.
첨부 도면 도 5 내지 도 9는 본 발명의 일실시예에 따른 웨이퍼 반송 장치에 서 카세트에 적재된 웨이퍼를 꺼내는 동작을 개략적으로 도시한 도면으로 도 5는 카세트(11)에 다수의 웨이퍼(W)가 적재되어 거치대(13)에 안착 고정된 상태를 도시한 도면이고, 도 6은 웨이퍼이송로봇(2)의 블레이드(21)가 이동되는 상태를 도시한 도면이고, 도 7은 웨이퍼이송로봇(2)의 블레이드(21)가 카세트(11)에서 웨이퍼(W)를 인출한 상태를 도시한 도면이고, 도 8은 웨이퍼이송로봇(2)의 블레이드(21)에 안착된 웨이퍼(W)를 분리한 상태를 도시한 도면이고, 도 9는 인출된 웨이퍼(W)의 상측에 적재된 웨이퍼(W)를 인출하기 위해 카세트유닛(1)과 웨이퍼이송로봇(2)과 운반유닛(3)이 이동한 상태를 도시한 도면이다.
도 5 내지 도 9를 참조하면, 카세트(11)에서 웨이퍼(W)를 인출하는 웨이퍼 반송 방법은 제1단계, 제2단계, 제3단계, 제4단계, 제5단계, 제6단계로 구분할 수 있으며, 상술한 본 발명의 일실시예에 따른 웨이퍼 반송 장치를 이용한다. 이하 웨이퍼 반송 방법에서는 운반유닛(3)과 카세트유닛(1)과 웨이퍼이송로봇(2)이 차례로 설치되고, 카세트(11)의 하단부부터 웨이퍼(W)를 차례로 인출하여 운반하는 방법을 일실시예로 설명하지만, 여기에 한정하는 것은 아니다.
제1단계에서는 수평이동부(23)에 의해 블레이드(21)가 다수의 웨이퍼(W)가 적재된 카세트(11)를 통과하여 이동된다.
좀 더 자세하게는, 도 5에 도시된 바와 같이 다수의 웨이퍼(W)가 적재된 카세트(11)가 거치대(13)에 설치된다. 이때, 카세트(11)의 배면측에 블레이드(21)가 위치되고, 카세트(11)의 전면측에 블레이드삽입부(311)가 위치된다. 그러면, 카세 트(11)에서 인출된 웨이퍼(W)의 하단면과 동일한 가상 평면 하측에 제1리브(215)의 상면과 밸트(31)의 상면이 이격되어 위치되고, 안착부(211)의 바닥면과 동일한 가상 평면 하측에 밸트(31)의 상면이 이격되어 위치된다.
그리고 도 6에 도시된 바와 같이 수평이동부(23)에 의해 블레이드(21)가 이동되고, 블레이드(21)는 웨이퍼(W)로부터 이격된 채 카세트(11)를 통과한다. 블레이드(21)의 이동에 따라 웨이퍼(W)의 후단부가 제2리브(217)에 걸리고, 웨이퍼(W)는 제2리브(217)가 미는 것에 의해 적재홈(111)을 따라 슬라이드되면서 카세트(11)로부터 인출된다. 여기서 웨이퍼(W)가 카세트(11)에서 슬라이드 이동되는 동안 웨이퍼(W)는 안착부(211)의 바닥면과 이격되며, 웨이퍼(W)가 거의 인출되면, 웨이퍼(W)의 전단부가 안착부(211)의 바닥에 접촉될 수 있다. 웨이퍼(W)가 카세트(11)에서 완전히 인출되면, 웨이퍼(W)는 안착부(211)에 안착되어 운반유닛(3)을 향해 이동된다.
블레이드(21)는 계속 이동하여 함몰된 함몰부(351) 및 블레이드삽입부(311)에 삽입되며, 웨이퍼(W)는 블레이드(21)에 안착된 채 밸트(31)의 상측에서 이격된다. 그러면, 도 7에 도시된 바와 같이 웨이퍼(W)가 밸트(31)의 상측에서 이격 상태가 된 채 블레이드(21)가 정지한다.
제2단계에서는 블레이드(21)의 이동에 따라 웨이퍼(W)가 블레이드(21)의 안착부(211)에 안착된 채 밸트(31) 상측에 위치하면, 밸트(31)를 상승시킨다.
좀더 자세하게는 도 8에 도시된 바와 같이 제1단계를 거쳐 웨이퍼(W)가 블레 이드(21)의 안착부(211)에 안착된 채 밸트(31) 상측에 위치하면, 운반유닛(3)의 밸트이동부(33)가 동작하여 밸트(31) 또는 고정플레이트(35)를 상승시킨다. 그러면, 블레이드(21)의 안착부(211)에서 웨이퍼(W)가 분리되어 밸트(31)의 상면에 안착된다.
이때, 밸트(31) 또는 고정플레이트(35)의 상승은 블레이드(21)가 블레이드삽입부(311) 및 함몰부(351) 내에서 어디에도 접촉되지 않고, 변환롤러(341)와 이격되도록 상승되는 것이며, 웨이퍼(W)가 블레이드(21)의 안착부(211)에서 분리되어 밸트(31)의 상면에 안착되면, 상승이 정지된다.
제3단계에서는 밸트(31)상승에 따라 웨이퍼(W)가 밸트(31)에 안착되면, 구동모터(32)를 통해 밸트(31)에 안착된 웨이퍼를 운반한다.
좀더 자세하게는, 제2단계를 거쳐 밸트(31)의 상면에 웨이퍼(W)가 안착되면, 구동모터(32)가 동작하여 구동롤러(342)를 회전시키고, 구동롤러(342)의 회전에 따라 한 쌍의 밸트(31)가 이동되어 밸트(31)에 안착된 웨이퍼(W)를 운반할 수 있다.
제4단계에서는 밸트(31)의 상승에 따라 웨이퍼(W)가 밸트(31)에 안착되면, 블레이드(21)가 초기 위치로 이동된다. 제5단계에서는 밸트(31)의 상승에 따라 웨이퍼(W)가 밸트(31)에 안착되면, 카세트(11)가 상승 또는 하강한다. 제6단계에서는 밸트(31)의 상승에 따라 웨이퍼(W)가 밸트(31)에 안착되면, 밸트(31)를 하강시켜 초기 위치로 이동한다. 제2단계를 거친 다음에는 동작 순서에 따라 상술한 제4단계 내지 제6단계를 거치게 되어 카세트유닛(1)은 상승되고, 웨이퍼이송로봇(2)과 운반유닛(3)은 원위치되어 후순위 웨이퍼(W)를 인출할 준비를 한다.
좀더 자세하게는 도 10에 도시된 바와 같이 밸트(31)의 상승에 따라 웨이퍼(W)가 밸트(31)에 안착되면, 블레이드(21)는 수평이동부(23)에 의해 후방으로 이동하여 원위치되고, 카세트(11)는 카세트이동부(12)에 의해 하강되어 후순위 웨이퍼(W)가 인출되도록 하며, 밸트(31)는 밸트이동부(33)에 의해 하강되어 원위치된다. 여기서 카세트(11)의 하강 상태는 도 5에 도시된 웨이퍼(W)와 블레이드(21)와 밸트(31)의 상호 연관된 위치 관계와 같이 카세트(11)의 배면측에 블레이드(21)가 위치되고, 카세트(11)의 전면측에 블레이드삽입부(311)가 위치되도록 한다. 그러면, 카세트(11)에서 인출된 웨이퍼(W)의 하단면과 동일한 가상 평면 하측에 제1리브(215)의 상면과 밸트(31)의 상면이 이격되어 위치되고, 안착부(211)의 바닥면과 동일한 가상 평면 하측에 밸트(31)의 상면이 이격되어 위치된다.
지금부터는 상술한 본 발명의 일실시예에 따른 웨이퍼 반송 장치를 이용하여 웨이퍼를 운반하여 인입하는 동작(즉, 웨이퍼 반송 방법)에 대하여 설명한다.
첨부 도면 도 10 내지 도 14는 본 발명의 일실시예에 따른 웨이퍼 반송 장치에서 웨이퍼를 카세트에 적재하는 동작을 개략적으로 도시한 도면으로, 도 10은 웨이퍼(W)가 적재되지 않은 빈 카세트(11)가 거치대(13)에 안착 고정되고, 웨이퍼(W)를 카세트(11)에 인입할 수 있도록 운반유닛(3)이 웨이퍼(W)를 운반한 상태를 도시한 도면이고, 도 11은 블레이드(21)가 이동하여 밸트(31)에 안착된 웨이퍼(W)의 하 측에 삽입된 상태를 도시한 도면이고, 도 12는 밸트(31)가 하강되어 웨이퍼(W)가 블레이드(21)의 안착부(211)에 안착된 상태를 도시한 도면이고, 도 13은 블레이드(21)가 이동되어 블레이드(21)의 안착부(211)에 안착된 웨이퍼(W)가 카세트(11)에 인입된 상태를 도시한 도면이고, 도 14는 후속으로 운반유닛(3)에 공급되는 웨이퍼(W)를 인입하기 위해 카세트유닛(1)과 웨이퍼이송로봇(2)과 운반유닛(3)이 이동한 상태를 도시한 도면이다.
도 10 내지 도 14를 참조하면, 운반되는 웨이퍼(W)를 카세트(11)에 인입하는 웨이퍼 반송 방법은 제1단계 내지 제7단계로 구분할 수 있으며, 상술한 본 발명의 일실시예에 따른 웨이퍼 반송 장치를 이용한다. 이하 웨이퍼 반송 방법에서는 운반유닛(3)과 카세트유닛(1)과 웨이퍼이송로봇(2)이 차례로 설치되고, 카세트(11)의 상단부부터 운반되는 웨이퍼(W)를 차례로 인입할 수 있는 방법을 일실시예로 설명한다.
제1단계에서는 밸트(31)에 안착된 웨이퍼(W)가 카세트(11)와 대응되도록 구동모터(32)를 통해 밸트(31)에 안착된 웨이퍼(W)를 운반한다.
좀더 자세하게는, 다른 장치로부터 웨이퍼(W)가 운반유닛(3)에 공급되면, 웨이퍼(W)는 밸트(31)에 안착되고, 구동모터(32)가 동작하여 밸트(31)를 이동시키면, 밸트(31)에 안착된 웨이퍼(W)는 운반되어 카세트(11) 전면측의 웨이퍼(W)가 인입되는 위치에서 정지된다. 그러면, 웨이퍼(W)는 도 10에 도시된 바와 같이 블레이드삽입부(311)의 상측에서 밸트(31)에 안착된 상태가 된다. 이때, 웨이퍼(W)의 하단면 과 동일한 가상 평면의 하측에는 블레이드(21)의 제1리브(215) 상면이 이격되어 설치되도록 한다.
제2단계에서는 운반된 웨이퍼(W)와 밸트(31)의 블레이드삽입부(311) 사이에 블레이드(21)가 삽입되도록 블레이드(21)가 이동된다.
좀더 자세하게는 도 11에 도시된 바와 같이 수평이동부(23)의 동작에 따라 블레이드(21)가 카세트(11)를 통과하여 블레이드삽입부(311)에 삽입된다. 밸트(31)에 의해 운반된 웨이퍼(W)가 블레이드(21)의 안착부(211) 상측에 이격되도록 블레이드(21)가 이동하면, 블레이드(21)가 정지된다. 이때, 블레이드(21)는 블레이드삽입부(311) 및 함몰부(351) 내에서 어디에도 접촉되지 않고, 변환롤러(341)와 이격된다.
제3단계에서는 운반된 웨이퍼(W)와 밸트(31)의 블레이드삽입부(311) 사이에 블레이드(21)가 삽입되면, 밸트(31)를 하강시킨다.
좀더 자세하게는, 블레이드(21)의 안착부 상측에 웨이퍼(W)가 위치되어 블레이드(21)가 정지되면, 밸트이동부(33)의 동작에 따라 밸트(31)를 하강시킨다. 그러면, 도 12에 도시된 바와 같이 밸트(31)에서 웨이퍼(W)가 이격되고, 이격된 웨이퍼(W)는 블레이드(21)의 안착부(211)에 안착된다. 그런 다음 밸트(31)는 정지한다.
제4단계에서는 웨이퍼(W)가 블레이드(21)의 안착부(211)에 안착되면, 블레이 드(21)를 카세트(11)로 이동시킨다.
좀더 자세하게는, 웨이퍼(W)가 블레이드(21)의 안착부(211)에 안착되면, 수평이동부(23)를 통해 블레이드(21)를 카세트(11)로 이동시킨다. 그러면, 도 13에 도시된 바와 같이 웨이퍼(W)는 안착부(211)에 안착된 채 이동하다가 적재홈(111)에 웨이퍼(W)의 양측단부가 삽입되고, 적재홈(111)을 따라 슬라이드 이동된다. 이때, 제1리브(215)의 형성에 의해 웨이퍼(W)를 카세트(11)에 안정되게 인입할 수 있다. 이후 블레이드(21)는 정지된다.
제5단계에서는 제4단계에서 블레이드(21)의 안착부(211)에 안착된 웨이퍼(W)가 카세트(11)에 인입되면, 카세트(11)를 상승시킨다. 제6단계에서는 제4단계를 거친 다음 블레이드(21)를 초기 위치로 이동시킨다. 제7단계에서는 제3단계에서 하강된 밸트(31)를 상승시켜 초기 위치로 이동시킨다. 그리고 동작 순서에 따라 상술한 제5단계 내지 제7단계를 거치게 되어 카세트유닛(1)은 상승되고, 웨이퍼이송로봇(2)과 운반유닛(3)은 원위치되어 후순위 웨이퍼(W)를 인입할 준비를 한다.
좀더 자세하게는 도 14에 도시된 바와 같이 블레이드(21)의 안착부(211)에 안착된 웨이퍼(W)가 카세트(11)에 인입되면, 카세트이동부(12)에 의해 카세트(11)를 상승시킨다. 그러면, 웨이퍼(W)의 하단면과 동일한 가상 평면의 하측으로 제1리브(215)의 상면이 위치되고, 블레이드(21)의 안착부(211)에서 웨이퍼(W)가 이격된다. 그러면 블레이드(21)는 수평이동부(23)에 의해 동작되어 카세트(11)의 배면측으로 이동하여 도 10과 같은 초기 위치로 복귀한 다음 정지한다. 여기서 블레이 드(21)는 상술한 수직이동부(미도시)가 형성될 수 있으므로, 블레이드(21)가 웨이퍼(W)를 인입한 다음에는 수직이동부(미도시)에 의해 하강한 다음 초기위치로 복귀할 수 있다. 또한, 밸트(31)의 상측에서 웨이퍼(W)가 이동되면, 밸트(31)는 초기 위치로 상승되어 도 10과 같이 다른 장치에서 공급되는 웨이퍼(W)를 운반할 수 있다.
상술한 카세트(11)의 상승과 블레이드(21)의 복귀와 밸트(31)의 상승은 후순위 인입될 웨이퍼(W)가 대응되는 적재홈(111)에 삽입될 수 있도록 하기 위함이고, 도 14에 도시된 바와 같이 후순위 웨이퍼(W)가 적재홈(111)에 대응하여 운반되어 웨이퍼(W)의 하단면과 동일한 가상 평면의 하측에는 블레이드(21)의 제1리브(215) 상면이 이격되어 설치되도록 한다.
본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 웨이퍼 반송 장치를 개략적으로 도시한 사시도,
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 웨이퍼 반송 장치에서 카세트유닛을 개략적으로 도시한 사시도,
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 웨이퍼 반송 장치에서 웨이퍼이송로봇을 개략적으로 도시한 사시도,
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 웨이퍼 반송 장치에서 운반유닛을 개략적으로 도시한 사시도,
도 5 내지 도 9는 본 발명의 일실시예에 따른 웨이퍼 반송 장치에서 카세트에 적재된 웨이퍼를 꺼내는 동작을 개략적으로 도시한 도면,
도 10 내지 도 14는 본 발명의 일실시예에 따른 웨이퍼 반송 장치에서 웨이퍼를 카세트에 적재하는 동작을 개략적으로 도시한 도면이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1: 카세트유닛 2: 웨이퍼이송로봇 3: 운반유닛
5: 작업테이블 11: 카세트 12: 카세트이동부
13: 거치대 14: 웨이퍼인식부 15: 카세트안내부
21: 블레이드 22: 연결판 23: 수평이동부
24: 블레이드안내부 31: 밸트 32: 구동모터
33: 밸트이동부 34: 롤러 35: 고정플레이트
111: 적재홈 211: 안착부 213: 걸림부
215: 제1리브 217: 제2리브 311: 블레이드삽입부
321: 구동축 341: 변환롤러 342: 구동롤러
343: 보조롤러 344: 연결롤러 345: 보조축
351: 함몰부 W: 웨이퍼

Claims (17)

  1. 다수의 웨이퍼가 적재되도록 하는 카세트유닛;
    상기 카세트유닛을 통과하고, 웨이퍼의 일측이 접촉되며, 상기 카세트유닛으로부터 상기 접촉된 웨이퍼를 인출하거나 상기 카세트유닛에 웨이퍼를 인입하는 웨이퍼이송로봇;
    상기 웨이퍼이송로봇에 안착된 웨이퍼와 상기 웨이퍼이송로봇을 이격시키고, 상기 웨이퍼이송로봇에서 이격된 웨이퍼를 운반하거나 운반되는 웨이퍼를 상기 웨이퍼이송로봇에 안착시키는 운반유닛;을 포함하고,
    상기 카세트유닛과 상기 웨이퍼이송로봇과 상기 운반유닛은 상호 연동되어 움직이는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 반송 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 웨이퍼이송로봇은 상기 카세트유닛을 통과하고 웨이퍼의 일측이 접촉되도록 하는 블레이드;
    상기 카세트유닛 또는 상기 운반유닛의 동작에 연동되어 상기 블레이드를 왕복 운동시키는 수평이동부;를 포함하여 구성되는 웨이퍼 반송 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 블레이드는 웨이퍼가 안착되는 안착부;
    상기 안착부로 공급되는 웨이퍼의 일측이 걸리도록 상기 안착부에서 돌출되게 형성되는 걸림부;를 포함하여 구성되는 웨이퍼 반송 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 걸림부는 상기 블레이드의 진행 방향에 따라 상기 안착부의 전단부에 돌출되게 형성되는 제1리브와 상기 블레이드의 진행 방향에 따라 상기 안착부의 후단부에 돌출되게 형성되는 제2리브 중 적어도 어느 한 리브를 포함하여 구성되는 웨이퍼 반송 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제1리브와 제2리브 중 한 리브는 함께 형성되는 상기 제1리브 또는 상기 제2리브보다 높게 돌출되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 반송 장치.
  6. 제3항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 안착부는 웨이퍼가 안착되는 바닥면이 상기 걸림부(또는 제1리브 또는 제2리브)를 향해 하향 경사를 이루는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 반송 장치.
  7. 제1항 내지 제5항에 있어서,
    상기 카세트유닛과 상기 웨이퍼이송로봇과 상기 운반유닛은 상호 이격되어 설치되고, 상기 상호 이격된 구성 사이에서 물체를 감지하는 감지부를 더 포함하여 구성되고, 상기 감지부의 감지에 따라 상기 카세트유닛과 상기 웨이퍼이송로봇과 상기 운반유닛 중 적어도 하나의 동작을 제어하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 반송 장치.
  8. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 카세트유닛은 상기 다수의 웨이퍼가 적재 가능한 카세트;
    상기 웨이퍼이송로봇과 상기 운반유닛의 동작에 연동되어 상기 카세트를 왕복 이동시키는 카세트이동부;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 반송 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 카세트유닛은 상기 카세트가 안착되는 거치대;
    상기 거치대에 형성되어 상기 카세트에 적재되는 웨이퍼의 유무를 판단하는 웨이퍼인식부;를 더 포함하여 구성되고,
    상기 웨이퍼인식부의 판단에 따라 상기 카세트유닛과 상기 웨이퍼이송로봇과 상기 운반유닛 중 적어도 하나의 동작을 제어하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 반송 장치.
  10. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 운반유닛은 다수의 롤러에 의해 무한 궤도를 형성하는 밸트;
    상기 밸트가 상기 다수의 롤러를 따라 이동되도록 상기 다수의 롤러 중 적어도 한 롤러를 회전시키는 구동모터;
    상기 밸트를 상하로 왕복 이동시키는 밸트이동부;를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 반송 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 웨이퍼이송로봇(또는 블레이드)이 삽입 또는 이탈되도록 상기 밸트에는 상기 다수의 롤러 중 변환롤러에 의해 함몰되는 블레이드삽입부가 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 반송 장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 운반유닛은 상기 블레이드삽입부 내에서 상기 변환롤러를 왕복 이동시키는 롤러이동부;
    상기 롤러이동부에 의한 상기 변환롤러의 동작에 따라 상기 밸트의 장력을 조절하는 조절롤러를 더 포함하여 구성되는 웨이퍼 반송 장치.
  13. 제10항에 있어서,
    상기 운반유닛은 상기 하나의 구동모터를 통해 한 쌍의 밸트를 동시에 회전시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 반송 장치.
  14. 적재된 다수의 웨이퍼를 낱장으로 공급하는 웨이퍼 반송 방법에 있어서,
    상기 제1항 내지 제13항 중 어느 한 항에 기재된 웨이퍼 반송 장치를 이용하고,
    상기 웨이퍼이송로봇(또는 블레이드)이 다수의 웨이퍼가 적재된 상기 카세트유닛( 또는 카세트)을 통과하여 이동되는 제1단계;
    상기 웨이퍼이송로봇(또는 블레이드)의 이동에 따라 웨이퍼가 상기 웨이퍼이송로봇(또는 블레이드의 안착부)에 안착된 채 상기 운반유닛(또는 밸트 또는 밸트의 블레이드삽입부) 상측에 위치하면, 상기 운반유닛(또는 밸트)을 상승시키는 제2단계;
    상기 운반유닛(또는 밸트)의 상승에 따라 웨이퍼가 상기 운반유닛(또는 밸트)에 안착되면, 상기 운반유닛(또는 구동모터)을 통해 상기 운반유닛(또는 밸트)에 안착된 웨이퍼를 운반하는 제3단계;를 포함하여 구성되는 웨이퍼 반송 방법.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 운반유닛(또는 밸트)의 상승에 따라 웨이퍼가 상기 운반유닛(또는 밸트)에 안착되면, 상기 웨이퍼이송로봇(또는 블레이드)이 초기 위치로 이동되는 제4단계와,
    상기 운반유닛(또는 밸트)의 상승에 따라 웨이퍼가 상기 운반유닛(또는 밸트)에 안착되면, 상기 카세트유닛(또는 카세트)이 상승 또는 하강하는 제5단계와,
    상기 운반유닛(또는 밸트)의 상승에 따라 웨이퍼가 상기 운반유닛(또는 밸 트)에 안착되면, 상기 운반유닛(또는 밸트)를 하강시켜 초기 위치로 이동하는 제6단계 중 적어도 한 단계를 더 포함하여 구성되는 웨이퍼 반송 방법.
  16. 낱장으로 공급되는 웨이퍼를 적재하는 웨이퍼 반송 방법에 있어서,
    상기 제1항 내지 제13항 중 어느 한 항에 기재된 웨이퍼 반송 장치를 이용하고,
    상기 운반유닛(또는 밸트)에 안착된 낱장의 웨이퍼가 상기 카세트유닛(또는 카세트)와 대응되도록 상기 운반유닛(또는 구동모터)을 통해 상기 운반유닛(또는 밸트)에 안착된 웨이퍼를 운반하는 제1단계;
    상기 운반된 웨이퍼와 상기 운반유닛(또는 밸트, 또는 밸트의 블레이드삽입부) 사이에 상기 웨이퍼이송로봇(또는 블레이드)이 삽입되도록 상기 웨이퍼이송로봇(또는 블레이드)을 이동시키는 제2단계;
    상기 운반된 웨이퍼와 상기 운반유닛(또는 밸트, 또는 밸트의 블레이드삽입부) 사이에 상기 웨이퍼이송로봇(또는 블레이드)이 삽입되면, 상기 운반유닛(또는 밸트)을 하강시키는 제3단계;
    상기 웨이퍼가 상기 웨이퍼이송로봇(또는 블레이드의 안착부)에 안착되면, 상기 웨이퍼이송로봇(또는 블레이드)을 상기 카세트유닛(또는 카세트)으로 이동시키는 제4단계;를 포함하여 구성되는 웨이퍼 반송 방법.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 제4단계에서 상기 웨이퍼이송로봇(또는 블레이드의 안착부)에 안착된 낱장의 웨이퍼가 상기 카세트유닛(또는 카세트)에 인입되면, 상기 카세트유닛(또는 카세트)을 상승 또는 하강시키는 제5단계와,
    상기 제4단계에서 상기 웨이퍼이송로봇(또는 블레이드의 안착부)에 안착된 낱장의 웨이퍼가 상기 카세트유닛(또는 카세트)에 인입되면, 상기 웨이퍼이송로봇(또는 블레이드)을 초기 위치로 이동시키는 제6단계와,
    상기 제3단계에서 하강된 상기 운반유닛(또는 밸트)를 상승시켜 초기 위치로 이동시키는 제7단계 중 적어도 한 단계를 더 포함하여 구성되는 웨이퍼 반송 방법.
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