CN111204555A - 移载装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种移载装置(20)。该移载装置(20)具备：能够载放料盒(90)且使之在水平方向上进行进退移动的载货部(21)、使载货部(21)进行旋转的旋转部(24)、以及使载货部(21)进行升降的升降部(31)。升降部(31)被配置在：比通过旋转部(24)而被旋转的载货部(21)的旋转圆(R)靠向外侧的位置。

Description

移载装置
技术领域
本发明涉及一种移载装置，该移载装置具备：能够载放物品且使之在水平方向上进行进退移动的载货部、使载货部进行旋转的旋转部、以及使载货部进行升降的升降部。
背景技术
作为上述移载装置，例如，有这样一种装置：能够将通过搬送台车被搬送来的收装有基板的料盒(物品)移载到作为处理装置的处理室(例如，参照专利文献1)。在专利文献1的移载装置中，料盒搬送设备(移载装置)将通过搬送台车设备被搬送来的料盒从搬送台车设备移载到设置在处理室上方的收货台。或者，料盒搬送设备将收装有在处理室被处理过的基板的料盒从上述收货台移载到搬送台车设备。
料盒搬送设备具备：能够载放料盒且使之在水平方向上进行进退移动的载货部、使该载货部进行旋转的旋转部、以及使载货部进行升降的升降部。料盒搬送设备通过升降部而使朝向搬送台车设备进行伸长的载货部从料盒的下方开始上升，由此使料盒载放到载货部上。而且，料盒搬送设备在使载放有料盒的载货部进行弯曲的状态下，通过旋转部而使之进行旋转，由此将料盒移载到处理室的上方的收货台。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：韩国登录专利第10-1511963号公报
发明内容
然而，在上述那种以往的移载装置中，由于构成为：升降部配置在比载货部低的位置，而且，旋转部配置在升降部的下方，因此，在载货部的下方或者附近，必须确保升降部以及旋转部的设置空间，这样就产生了移载装置整体难以实现底盘低化的问题。
另外，在以往的移载装置中，由于升降部配置在载货部附近，因此，就产生了：载货部的进退移动因为升降部的配置而被限制为2方向或3方向的问题。
因此，本发明的目的在于提供一种下述的移载装置，即：能够载放物品且使之在水平方向上进行进退移动的载货部可以在4方向上进行进退移动，而且还能实现装置整体的底盘低化。
本发明所要解决的课题如上所述，接着，说明用于解决该课题的技术手段。
即，本发明的移载装置具备：能够载放物品且使之在水平方向上进行进退移动的载货部、使所述载货部进行旋转的旋转部、以及使所述载货部进行升降的升降部，所述升降部被配置在：比通过所述旋转部而被旋转的所述载货部的旋转圆靠向外侧的位置。
在上述构成中，升降部被配置在：比通过旋转部而被旋转的所述载货部的旋转圆靠向外侧的位置，由此，升降部与载货部被配置在相分离开的位置，并且升降部在比所述载货部的旋转圆靠向外侧的位置来进行载货部的升降。
本发明的移载装置是在上述移载装置的基础之上，在比通过所述旋转部而被旋转的所述载货部的旋转圆靠向外侧的位置具备4根支柱，在所述4根支柱的各支柱上设置所述升降部，所述载货部被支承于所述4根支柱，通过设置在所述4根支柱中的各支柱上的所述升降部来进行升降。
在上述构成中，通过设置在4根支柱中的各支柱上的升降部来进行载货部的升降。亦即，利用4轴来进行载货部的升降。
本发明的移载装置是在上述移载装置的基础之上，具备：使移载装置整体在水平方向上移动的行驶部。
根据上述构成，通过使行驶部进行行驶，移载装置整体在水平方向上进行移动。
根据本发明的移载装置，升降部被配置在：比通过旋转部而被旋转的所述载货部的旋转圆靠向外侧的位置，由此，升降部与载货部被配置在相分离开的位置。因此，不必在载货部的下方来确保升降部的设置空间，就能够容易地实现移载装置整体的底盘低化。
另外，由于升降部与载货部被配置在相分离开的位置，因此，不会出现：载货部的进退移动因为升降部的配置而受到限制的情形，从而能够使载货部在4方向上进行进退移动。
附图说明
图1是设置有本发明移载装置的制造设备的俯视图。
图2A是在本发明移载装置中使载货部的屈伸式臂进行弯曲的情况下的立体图。
图2B是在本发明移载装置中使载货部的屈伸式臂进行伸长的情况下的立体图。
图3A是在本发明移载装置中使载货部的屈伸式臂进行弯曲的情况下的俯视图。
图3B是在本发明移载装置中使载货部的屈伸式臂进行伸长的情况下的俯视图。
具体实施方式
说明本发明所涉及的移载装置20。
如图1所示，移载装置20是：设置在用于制造半导体产品或者液晶显示元件产品的制造设备10上的装置。详细而言，移载装置20是在蒸镀装置11附加设置的装置，其中，该蒸镀装置11是用于对半导体产品、或者液晶显示元件产品的未成品亦即基板进行蒸镀处理的装置。另外，移载装置20虽然是在蒸镀装置11附加设置的装置，但是，并非仅限定于此，只要是蒸镀装置11等处理装置之间、或者搬送台车与处理装置之间等等需要进行物品的移载而附加设置的装置，也可以是在蒸镀装置11以外的装置上附加设置的装置。
在制造设备10中，收装有板状体的基板的料盒90(“物品”的一例)通过沿着台车行驶导轨12而行驶的搬送台车13，而被搬送到蒸镀装置11附近。通过搬送台车13而被搬送的料盒90是由一个侧面或者两侧面呈开口的大致箱型形状的部件来形成的。料盒90构成为：在其内部能够收装多个基板。
通过搬送台车13而被搬送的料盒90又通过移载装置20而从搬送台车13上被搬下来，并被移载到在蒸镀装置11上方设置的升降移载机14的收货台15上。被移载到升降移载机14的收货台15上的料盒90的上部通过升降移载机14的卡止部14a而被卡止，在被卡止的状态下，下降并移载到在收货台15的下方设置的蒸镀装置11的载入埠11a。
另一方面，收装有通过蒸镀装置11而被处理的基板的料盒90的上部通过从载入埠11a的上方下降下来的升降移载机14的卡止部14a而被卡止，在被卡止的状态下，上升并移载到收货台15。被移载到收货台15的料盒90被移载装置20接收，并被移载于搬送台车13。
如上所述，移载装置20是：用于载放料盒90并使之在水平方向上进行进退移动的装置。移载装置20将料盒90从搬送台车13搬出来，并将所搬出来的料盒90移载到升降移载机14的收货台15。另外，移载装置20从收货台15接收料盒90，并将所接收到的料盒90移载于搬送台车13。
如图1至图3B所示，移载装置20主要由下述各部分构成，即：用于载放料盒90并使之在水平方向上进行进退移动的载货部21、使载货部21进行旋转的旋转部24、对载货部21以及旋转部24进行支承的4根支柱26、使载货部21进行升降的升降部31、以及使移载装置20整体在水平方向上进行移动的行驶部34。
载货部21主要由下述各部分构成，即：具有用于将料盒90载放在其上表面上的载放部22a的载货台22、用于使载货台22在水平方向上进行进退移动的屈伸式臂23、以及驱动屈伸式臂23的驱动马达(未图示)。
载货台22是通过能够载放料盒90并能够进行移载的大致长方形状的框体来构成的。载货台22在框体的上部形成有载放部22a。通过驱动马达的驱动而使屈伸式臂23进行屈伸，由此载货台22相对于搬送台车13以及收货台15而进行进退移动。
屈伸式臂23是通过能够屈伸的一对臂状的部件来构成的。在屈伸式臂23的前端部安装有载货台22的基端部。屈伸式臂23的基端部以能够旋转的方式连结于旋转部24。通过驱动马达的驱动而使一对臂状的部件进行伸长，由此屈伸式臂23能够使载货台22向前方进行水平移动。通过驱动马达的驱动而使一对臂状的部件进行弯曲，由此屈伸式臂23使载货台22向后方进行水平移动。
旋转部24主要由对屈伸式臂23进行支承用的旋转台25、以及对旋转台25进行旋转驱动的旋转驱动马达(未图示)构成。
旋转台25设置在移载装置20的中心部。通过旋转驱动马达的驱动而使旋转轴25a进行转动，由此旋转台25进行转动。在旋转台25的上部连结有屈伸式臂23的基端部。旋转台25通过旋转驱动马达的驱动而进行转动，由此屈伸式臂23进行旋转。
4根支柱26由支柱主体27、对支柱主体27进行支承的基座28构成。支柱主体27是由方管形成的。支柱主体27构成为：其长度方向的高度比载货台22进行进退移动的水平方向的轨道低。亦即，支柱主体27构成为其高度不会对载货台22的进退移动进行限制(与载货台22不会发生干涉)。如图3A所示，4根支柱26被配置在：比通过旋转部24而被旋转的载货部21的旋转圆R靠向外侧的位置。也就是说，4根支柱26被配置在：在屈伸式臂23弯曲的状态下载货台22进行旋转时，不会与载货台22的前端以及基端相接触的位置(与载货台22的前端以及载货台22的基端不发生干涉的位置)。在此，所谓载货部21的旋转圆R是指：在屈伸式臂23弯曲的状态下载货台22进行旋转时，通过载货台22的前端以及载货台22的基端进行移动而形成的圆轨道。
如图2A、图2B、图3A以及图3B所示，在4根支柱26之中的相邻支柱26之间，设置有作为跨接部件的横杆部29。亦即，4根支柱26借助横杆部29而被连接起来。横杆部29是通过双向插入的销结构(销接合)构成的。通过将横杆部29利用销结构来构成，能够减轻料盒90移载时所发生的对升降部31的升降引导件33或接合部施加的应力，并且能够吸收零部件误差、组装误差。
4根支柱26借助横杆部29以及支承在横杆部29之间的支承部件30来对载货部21以及旋转部24进行支承。
升降部31设置在4根支柱26中的各支柱上。亦即，在移载装置20中，升降部31被设置在：比通过旋转部24而被旋转的载货部21的旋转圆R靠向外侧的位置。通过升降部31被配置在比载货部21的旋转圆R靠向外侧的位置，升降部31与(屈伸式臂23弯曲时的)载货部21处于相分离开的位置。因此，不必在载货部21的下方来确保升降部31的设置空间，从而能够将载货部21以及旋转部24配置在较低的位置。亦即，能够容易地实现移载装置20整体的底盘低化。
另外，由于升降部31被配置在从载货部21离开的位置，此外，又被设置在形成为比载货台22进行进退移动的高度低的4根支柱26上，因此，不会出现：在载货台22进行进退移动时与载货台22相接触的情形。由此，载货台22的进退移动不会因为升降部31的配置而受到制限，从而能够使载货台22在4方向上进行进退移动。
如图2A以及图2B所示，升降部31主要由下述的部分构成，即：作为沿着支柱26而设置的升降轴来发挥作用的螺纹轴、以及具有伴随着该螺纹轴的旋转而能够与螺纹轴进行螺合进退动作的可动部的滚珠丝杠机构32、以及沿着支柱26而设置的且对滚珠丝杠机构32的可动部进行引导的升降引导件33。升降部31的滚珠丝杠机构32的可动部连结于横杆部29。升降部31通过未图示的升降马达的驱动而使滚珠丝杠机构32的螺纹轴进行旋转。通过该螺纹轴的旋转，滚珠丝杠机构32的可动部沿着螺纹轴进行移动。通过该可动部的移动，横杆部29沿着支柱26进行升降。而且，通过横杆部29进行升降，载货部21以及旋转部24就会进行升降。
设置在4根支柱26的升降部31通过使4个滚珠丝杠机构32与4个升降马达分别进行同步，而使载货部21进行升降。亦即，在移载装置20中，在4根支柱26的每一个支柱上设置有：用于驱使载货部21进行升降的升降马达(升降驱动部)，通过设置在4根支柱26上的4个升降马达，使设置在4根支柱26上的4根螺纹轴驱动(4轴驱动)，由此使载货部21进行升降。通过对升降部31进行4轴驱动，在料盒90移载时，通过反向移载侧(载货台22的基端侧)的升降部31的升降马达，能够对施加于移载侧(屈伸式臂23进行伸长的一侧、载货台22的前端侧)的升降部31的升降马达的负荷进行辅助。因此，能够减小设置在4根支柱26上的4个升降马达的马达功率。
在设置于4根支柱26之间的横杆部29的下方，设置有：对设置在各支柱26上的升降部31的升降的偏离(各轴的偏离量)进行检测的距离仪表(未图示)。根据该距离仪表所检测到的横杆部29的升降距离来计算出各横杆部29的升降距离的偏离，由此检测出使横杆部29升降的各升降部31的升降的偏离量。通过该距离仪表对各升降部31的升降的偏离进行检测，由此，当该升降的偏离在规定的偏离量以上的情况下，停止由升降部31执行的载货部21的升降，从而能够减轻：载货部21升降时所产生的过剩负荷施加给滚珠丝杠机构32的情形。
如图1至图3B所示，行驶部34是滑动机构，其由设置在4根支柱26的各基座28上的行驶引导件35、以及铺设在各基座28的下方的行驶导轨36构成。行驶部34通过未图示的行驶驱动部而使移载装置20整体在水平方向(行驶方向)上进行移动。
如图1所示，行驶引导件35通过能够沿着行驶导轨36滑动的滑块部件来构成。
行驶导轨36俯视观察时从搬送台车13的停止位置起，朝向蒸镀装置11(收货台15)的设置位置延伸设置规定的长度。
上述未图示的行驶驱动部例如由齿条/小齿轮机构来构成，该齿条/小齿轮机构具备：沿着行驶导轨36而设置的齿条、以及能够旋转地设置在行驶引导件35上且与所述齿条相卡合的小齿轮；通过该小齿轮的旋转，使行驶引导件35沿着行驶导轨36滑动。
接着，说明由移载装置20进行的料盒90的移载方法。
如图1至图3B所示，例如，在将料盒90从搬送台车13朝向升降移载机14的收货台15进行移载的情况下，首先，通过设置在4根支柱26中的各支柱上的升降部31，使载货部21以及旋转部24下降。此时，设置在4根支柱26中的各支柱上的升降部31的升降马达进行同步驱动，滚珠丝杠机构32的可动部沿着升降引导件33而下降。据此，支承在4根支柱26之间的4处的横杆部29、以及对横杆部29进行支承的支承部件30都分别以大致相同的下降量进行下降，与横杆部29以及支承部件30的下降一起地，载货部21以及旋转部24也进行下降。此时，载货部21以及旋转部24下降而沉入到由4根支柱26包围所形成的空间内。
载货部21一旦下降，通过载货部21的驱动马达的驱动，屈伸式臂23就会伸长，载货台22则移动到：载放在搬送台车13上的料盒90的下方位置。载货台22一旦移动到料盒90的下方位置，各个升降部31的升降马达就会进行同步驱动，滚珠丝杠机构32的可动部则沿着升降引导件33进行上升。据此，载货部21上升，料盒90被载放在载货台22的载放部22a。而且，料盒90通过载货台22而从搬送台车13上被抬起。
料盒90一旦从搬送台车13上被抬起，通过载货部21的驱动马达的驱动，屈伸式臂23就会弯曲，载货台22则移动到移载装置20的中心位置。而且，通过旋转部24的旋转驱动马达的驱动，旋转台25进行转动，载货部21朝向升降移载机14的收货台15的方向进行旋转。
载货部21一旦旋转，通过载货部21的驱动马达的驱动，屈伸式臂23就会伸长，载货台22则移动到收货台15的上方位置。而且，通过升降部31的升降马达的驱动，载货部21进行下降。据此，载货台22上的料盒90下降到收货台15。而且，载货台22经过收货台15而下降时，料盒90就会从载货台22移载到收货台15。
如上所述那样，本发明的移载装置20构成为：升降部31被配置在比通过旋转部24而被旋转的载货部21的旋转圆R靠向外侧的位置，由此升降部31和载货部21被配置在相分离开的位置。因此，不必在载货部21的下方确保升降部31的设置空间，能够容易地实现移载装置20整体的底盘低化。另外，由于升降部31与载货部21被配置在相分离开的位置，因此，不会出现：载货部21的进退移动因为升降部31的配置而受到限制的情形，从而能够使载货部21在4方向上进行进退移动。
另外，在本实施方式中，通过移载装置20而被移载的物品并非仅限定于料盒90，只要是能够通过载货部21进行移载的物品即可。
符号说明
20 移载装置 21 载货部
24 旋转部 26 支柱
31 升降部 34 行驶部
90 料盒(物品) R 旋转圆

Claims (3)

1.一种移载装置，其特征在于，
所述移载装置具备：能够载放物品且使之在水平方向上进行进退移动的载货部、使所述载货部进行旋转的旋转部、以及使所述载货部进行升降的升降部，
所述升降部被配置在：比通过所述旋转部而被旋转的所述载货部的旋转圆靠向外侧的位置。
2.根据权利要求1所述的移载装置，其特征在于，
在比通过所述旋转部而被旋转的所述载货部的旋转圆靠向外侧的位置具备4根支柱，在所述4根支柱中的各支柱上设置所述升降部，
所述载货部被支承于所述4根支柱，而且通过设置在所述4根支柱中的各支柱上的所述升降部来进行升降。
3.根据权利要求1或2所述的移载装置，其特征在于，
具备用于使移载装置整体在水平方向上移动的行驶部。
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Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA1239275A (en) * 1983-09-08 1988-07-19 Akira Koshigaya Heavy-object loading jig
JP2005311287A (ja) * 2004-03-26 2005-11-04 Shinko Electric Co Ltd 基板搬入出装置
CN101238021A (zh) * 2005-08-04 2008-08-06 株式会社大福 台车式运送装置
CN101337353A (zh) * 2007-07-05 2009-01-07 村田机械株式会社 搬送系统、搬送方法以及搬送车
CN101804903A (zh) * 2009-02-18 2010-08-18 村田机械株式会社 蛙腿型移载装置
CN108657761A (zh) * 2018-07-13 2018-10-16 大连誉洋工业智能有限公司 存取机构

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4502127B2 (ja) 2005-04-01 2010-07-14 株式会社ダイフク カセット保管及び被処理板の処理設備
JP4793654B2 (ja) * 2006-06-13 2011-10-12 株式会社ダイフク スライド式のフォーク装置
TWI408090B (zh) * 2007-06-28 2013-09-11 Daifuku Kk 物品保管庫
KR101511963B1 (ko) 2013-09-16 2015-04-14 주식회사 에스에프에이 카세트 공급시스템

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA1239275A (en) * 1983-09-08 1988-07-19 Akira Koshigaya Heavy-object loading jig
JP2005311287A (ja) * 2004-03-26 2005-11-04 Shinko Electric Co Ltd 基板搬入出装置
CN101238021A (zh) * 2005-08-04 2008-08-06 株式会社大福 台车式运送装置
CN101337353A (zh) * 2007-07-05 2009-01-07 村田机械株式会社 搬送系统、搬送方法以及搬送车
CN101804903A (zh) * 2009-02-18 2010-08-18 村田机械株式会社 蛙腿型移载装置
CN108657761A (zh) * 2018-07-13 2018-10-16 大连誉洋工业智能有限公司 存取机构

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