KR100342844B1 - 기판의 자동 로딩장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 랙에 적재된 기판의 운반 및 보관시 스크래치(Scratch)가 발생되지 않도록 기판사이에 삽입되는 간지(종이)및 기판을 함께 로딩시킬 수 있도록 하는 기판의 자동 로딩장치에 관한 것으로, 랙으로부터 기판과 간지를 동시에 분리하여 제 1, 2 턴바에 의해 이들을 기판 이송용 로울러의 상면측으로 회동시킨 상태에서 기판에 얹혀져 있던 간지를 적재함측으로 언로딩함과 동시에 기판을 다음 공정으로 로딩할 수 있도록 한 것이다.
이를 위해, 승강판(15)상에 설치된 제 1 로드레스 실린더(16)의 구동에 따라 진퇴 운동하는 제 1 슬라이더(17)와, 상기 제 1 슬라이더에 설치된 승강실린더(18)의 구동에 따라 설정된 범위내에서 승강하는 복수개의 기판 흡착패드(20)와, 상기 제 1 슬라이더의 후방에 설치되어 제 1 슬라이더의 위치를 2단으로 제어하는 제 1 박형실린더(21)와, 상기 제 1 로드레스 실린더의 상측에 위치하는 승강판상에 설치되어 제 2 로드레스 실린더(25)의 구동에 따라 진퇴 운동하는 "ㄷ"형상의 제 2 슬라이더(26)와, 상기 제 2 슬라이더의 양측 선단에 고정되어 간지를 흡착하는 간지 흡착패드(27)와, 상기 제 2 슬라이더의 후방에 설치되어 제 2 슬라이더의 위치를 2단으로 제어하는 제 2 박형실린더(28)와, 상기 기판 흡착패드 및 간지 흡착패드의 로딩포지션에 회동가능하게 설치되어 기판 및 간지를 기판 이송용 로울러(5)측으로 회동시키는 한 쌍의 제 1 턴바(29)와, 상기 제 1 턴바의 외측에 위치되게 각각 설치되어 기판 및 간지를 동시에 홀딩하여 회동시키는 제 2 턴바(30)와, 상기 제 1,2 턴바를 동시에 회동시키거나, 개별 회동시키는 구동수단과, 상기 제 1 턴바의 직하방 및 제 1 턴바의 상단보다 낮은 수평 지점에 각각 설치되어 간지측으로 에어를 분사하는 에어분사노즐(42)(43)과, 상기 기판 이송용 로울러의 일측에 설치되어 기판 및 간지가 제 2 턴바의 홀딩지점으로부터 빠져 나옴을 감지함에 따라 제 2 턴바가 초기상태로 복원되도록 신호를 인가하는 센서(44)와, 상기 기판 이송용 로울러의 상측에 경사지게 설치되어 기판과 함께 기판 이송용 로울러측으로 회동된 간지를 홀딩하여 언로딩하는 간지 언로딩수단으로 구성된 것이다.
Description
본 발명은 랙에 적재된 기판을 생산라인으로 순차 이송시키는 기판의 자동 로딩장치에 관한 것으로서, 좀 더 구체적으로는 랙에 적재된 기판의 운반 및 보관시 스크래치(Scratch)가 발생되지 않도록 기판사이에 삽입되는 간지(종이) 및 기판을 함께 로딩시킬 수 있도록 하는 기판의 자동 로딩장치에 관한 것이다.
일반적으로 회로의 구성이 완료되어 랙에 적재되어 있던 기판은 세정작업 등을 위해 다음 공정으로 1장씩 순차 공급하여야 되는데, 종래에는 상기 랙에 적재된 기판을 작업자가 손으로 잡고 한 장씩 수작업에 의해 다음 공정으로 공급하였기 때문에 단순작업에 따른 작업자의 피로가 심화되어 생산성이 저하되었음은 물론 공정간의 자동화 실현이 불가능한 문제점이 있었다.
상기한 문제점을 감안하여 랙에 적재된 기판을 다음 공정으로 순차 이송시키는 장치가 출원인에 의해 개발되어 실용신안 제 114123 호로 등록된 바 있다.
도 1은 종래 장치의 사시도이고 도 2a 내지 도 2e는 종래 장치의 작동상태도로서, 그 구성을 살펴보면 다음과 같다.
본체(1)의 일측에 기판(2)이 적재된 랙(3)을 이송시키기 위한 복수개의 랙 이송용 로울러(4)가 인라인으로 설치되어 있고 상기 랙 이송용 로울러의 일측 상부에는 랙(3)에 적재된 기판을 기판 이송용 로울러(5)측으로 순차 로딩하기 위해 로드레스 실린더(6)의 구동에 따라 진퇴 운동하는 흡착패드(7)가 설치되어 있다.
그리고 본체(1)의 하부에 또 다른 로드레스 실린더(8)에는 로드레스 실린더의 구동에 따라 승강 운동하면서 기판의 상단부를 기판 이송용 로울러(5)측으로 밀어 주는 휨방지용 가이드(9)가 설치되어 있다.
상기 본체(1)의 일측에 설치된 랙 이송용 로울러(4)와 기판 이송용 로울러(5)의 사이에는 랙(3)으로부터 분리된 기판(2)을 기판 이송용 로울러(5)의 상면으로 로딩하는 도그(10)가 회동가능하게 설치되어 있는데, 상기 도그(10)의 하부는 수평실린더(11)의 동작으로 핀(12)을 중심으로 회전하는 아암(13)과 힌지 결합되어 있다.
따라서 도 2a와 같이 기판(2)이 적재된 랙(3)을 랙 이송용 로울러(4)의 상면에 얹어 흡착패드(7)에 의해 기판(2)이 흡착될 수 있는 위치로 이송시킨 후 로드레스 실런더(6)을 작동시키면 로드레스 실린더에 의해 진퇴 운동하는 흡착패드(7)가 도 2b와 같이 도면상 좌측으로 이동하여 랙(3)에 적재된 최외측의 기판(2)과 접속되므로 흡착패드(7)에 작용되는 진공압에 의해 1장의 기판을 흡착하게 된다.
이러한 상태에서 랙(3)을 후퇴시키면 랙(3)에 적재되어 있던 1장의 기판(2)이 랙으로부터 분리되어 도 2c와 같이 자중에 의해 휘어지게 되는데, 이 시점에서 본체(1)의 하부에 설치된 로드레스 실린더(8)가 구동하여 휨방지용 가이드(9)를 상승시키면 상기 휨방지용 가이드의 상단부가 기판(2)에 접속되면서 기판(2)을 도그(10)측으로 밀게 되므로 기판(2)이 랙(3)으로부터 완전히 분리된다.
상기한 바와 같은 동작으로 랙(3)으로부터 1장의 기판(2)이 완전히 분리되고 나면 로드레스 실린더(6)에 의해 전진하였던 흡착패드(7)를 초기상태로 환원시킴과 동시에 흡착패드에 작용하고 있던 진공압을 해제시키게 되므로 도 2d와 같이 기판(2)이 자중에 의해 도그(10)의 삽입홈(10a)내에 끼워져 지지된다.
그 후, 본체(1)에 설치된 수평실린더(11)를 구동시키면 아암(13)이 핀(12)을 중심으로 회동하게 되므로 상기 도그(10)에 지지된 기판(2)은 도 2e와 같이 기판 이송용 로울러(5)에 접속되고, 이에 따라 도그(10)에 지지되어 있던 기판(2)을 다음 공정을 이송시킬 수 있게 된다.
상기한 바와 같은 공정을 거쳐 랙(3)으로부터 로딩되는 기판(2)과 기판사이에는 기판의 운반 및 보관시 진동 등에 의한 스크래치가 발생되지 않도록 간지(종이)가 끼워져 있어 기판의 로딩시 기판사이에 있던 간지를 언로딩시켜 주어야 기판의 계속적인 로딩작업이 가능해지게 된다.
그러나 종래에는 기판(2)의 로딩시 작업자가 기판사이에 있던 간지를 수작업에 의해 제거시키거나, 로딩장치와는 별도로 일측에 간지 이송장치를 구비하여 수직상태를 유지하고 있던 도그(10)에 기판(2)이 지지되고 나면 상기 간지 이송장치를 이용하여 기판과 기판사이에 위치되어 있던 간지를 흡착한 다음 별도의 적재함 내에 언로딩하여야 되었으므로 별도의 간지 이송장치를 기판의 로딩장치 일측에 구비하여야만 되었고, 이에 따라 기기의 설치에 따른 공간 점유율이 커지게 되는 문제점이 있었다.
또한, 기판(2)의 로딩이 완료된 상태에서 랙의 외부로 노출된 간지를 이송장치가 흡착하여 이송시키도록 되어 있어 간지의 이송에 따른 시간이 지연되므로 생산성이 저하되는 문제점도 있었다.
본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 랙으로부터 기판과 간지를 동시에 분리하여 제 1, 2턴바에 의해 이들을 기판 이송용 로울러의 상면측으로 회동시킨 상태에서 기판에 얹혀져 있던 간지를 적재함측으로 언로딩함과 동시에 기판을 다음 공정으로 로딩할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 다른 목적은 기판 이송용 로울러에 얹혀진 기판의 이송간에 랙으로부터 기판과 간지를 분리하여 제 2 턴바의 상면에 얹어 놓을 수 있도록 하므로써 기판의 로딩에 따른 시간을 대폭 줄일 수 있도록 하는데 있다.
도 1은 종래 장치의 사시도
도 2a 내지 도 2e는 종래 장치의 작동상태도
도 3은 본 발명을 나타낸 사시도
도 4는 본 발명의 요부를 나타낸 사시도
도 5는 본 발명의 구동수단을 나타낸 사시도
도 6a 내지 도 6g는 본 발명의 작동을 설명하기 위한 정면도 및 평면도로서,
도 6a는 제 1 로드레스 실린더의 구동으로 기판 흡착패드가 최대한 전진한 상태도
도 6b는 기판 흡착패드가 기판을 흡착한 다음 제 1, 2 턴바와 일치되게 1단 후퇴하여 상사점까지 상승한 상태도
도 6c는 제 2 로드레스 실린더의 구동으로 간지 흡착패드가 최대한 전진한 상태도
도 6d는 간지 흡착패드가 간지를 흡착한 다음 제 1, 2 턴바와 일치되게 1단 후퇴한 상태도
도 6e는 간지 흡착패드가 간지의 홀딩을 해제한 다음 2단 후퇴함과 동시에 제 2 턴바가 약간 회동하여 기판과 간지를 동시에 홀딩한 상태도
도 6f는 구동수단에 의해 제 1, 2 턴바가 기판 이송용 로울러측으로 회동한 상태도
도 6g는 기판 이송용 로울러의 구동으로 제 2 턴바에 홀딩되어 있던 기판 및 간지가 센서로부터 이탈된 상태의 평면도
도 7a 및 도 7b는 기판과 함께 기판 이송용 로울러의 상면에 얹혀진 간지를 간지 언로딩수단이 홀딩하여 적재함내에 언로딩하는 상태를 설명하기 위한 정면도
도면중 주요 부분에 대한 부호의 설명
5 : 기판 이송용 로울러 15 : 승강판
16 : 제 1 로드레스 실린더 17 : 제 1 슬라이더
19 : 설치판 20 : 기판 흡착패드
21 : 제 1 박형실린더 22 : 기판 감지센서
25 : 제 2 로드레스 실린더 26 : 제 2 슬라이더
27 : 간지 흡착패드 28 : 제 2 박형실린더
29 : 제 1 턴바 30 : 제 2 턴바
39 : 지지턱 41: 집게편
42, 43 : 에어분사노즐 45 : 가이드레일
46 : 슬라이더 49 : 회동판
50 : 흡착패드 51 : 적재함
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 형태에 따르면, 승강판상에 설치된 제 1 로드레스 실린더의 구동에 따라 진퇴 운동하는 제 1 슬라이더와, 상기 제 1 슬라이더에 설치된 승강실린더의 구동에 따라 설정된 범위내에서 승강하는 복수개의 기판 흡착패드와, 상기 제 1 슬라이더의 후방에 설치되어 제 1 슬라이더의 위치를 2단으로 제어하는 제 1 박형실린더와, 상기 제 1 로드레스 실린더의 상측에 위치하는 승강판상에 설치되어 제 2 로드레스 실린더의 구동에 따라 진퇴 운동하는 "ㄷ"형상의 제 2 슬라이더와, 상기 제 2 슬라이더의 양측 선단에 고정되어 간지를 흡착하는 간지 흡착패드와, 상기 제 2 슬라이더의 후방에 설치되어 제 2 슬라이더의 위치를 2단으로 제어하는 제 2 박형실린더와, 상기 기판 흡착패드 및 간지 흡착패드의 로딩포지션에 회동가능하게 설치되어 기판 및 간지를 기판 이송용 로울러측으로 회동시키는 한 쌍의 제 1 턴바와, 상기 제 1 턴바의 외측에 위치되게 각각 설치되어 기판 및 간지를 동시에 홀딩하여 회동시키는 제 2 턴바와, 상기 제 1, 2 턴바를 동시에 회동시키거나, 개별 회동시키는 구동수단과, 상기 제 1 턴바의 직하방 및제 1 턴바의 상단보다 낮은 수평 지점에 각각 설치되어 간지측으로 에어를 분사하는 에어분사노즐과, 상기 기판 이송용 로울러의 일측에 설치되어 기판 및 간지가 제 2 턴바의 홀딩지점으로부터 빠져 나옴을 감지함에 따라 제 2 턴바가 초기상태로 복원되도록 신호를 인가하는 센서와, 상기 기판 이송용 로울러의 상측에 경사지게 설치되어 기판과 함께 기판 이송용 로울러측으로 회동된 간지를 홀딩하여 언로딩하는 간지 언로딩수단으로 구성된 것을 특징으로 하는 기판의 자동 로딩장치가 제공된다.
이하, 본 발명을 일 실시예로 도시한 도 3 내지 도 7을 참고하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 3은 본 발명을 나타낸 사시도이고 도 4는 본 발명의 요부를 나타낸 사시도이며 도 5는 본 발명의 구동수단을 나타낸 사시도로서, 본 발명은 본체(1)에 설치된 실린더(14)의 구동에 따라 승강 운동하는 승강판(15)상에 제 1 로드레스 실린더(16)가 설치되어 있고 상기 제 1 로드레스 실린더(16)에는 제 1 로드레스 실린더의 구동에 따라 진퇴 운동하는 제 1 슬라이더(17)가 고정되어 있다.
그리고 상기 제 1 슬라이더(17)의 선단에 설치된 승강실린더(18)의 로드에는 설치판(19)이 설정된 범위내에서 승강하도록 고정되어 있고 상기 설치판에는 랙(3)에 적재된 기판(2)을 흡착하는 복수개의 기판 흡착패드(20)가 설치되어 있는데, 제 1 로드레스 실린더(16)는 제 1 슬라이더(17)의 후방에 설치된 제 1 박형실린더(21)의 구동에 따라 위치가 2단으로 제어되도록 구성되어 있다.
상기 설치판(19)에는 기판 흡착패드(20)의 상측에 위치되어 기판흡착패드(20)와 함께 이동하는 기판 감지센서(22)가 진퇴 가능하게 스프링(23)으로 탄력 설치되어 있다.
이는, 기판 흡착패드(20)가 랙(3)에 적재된 기판(2)을 흡착하기 위해 전진시 랙의 최외측에 위치된 것이 기판(2)인지 간지(24)인지를 센싱하기 위함이다.
또한, 상기 제 1 로드레스 실린더(16)의 상측에 위치하는 승강판(15)상에 제 2 로드레스 실린더(25)의 구동에 따라 진퇴 운동하는 "ㄷ"형상의 제 2 슬라이더(26)가 설치되어 있고 상기 제 2 슬라이더의 양측 선단에는 간지(24)를 흡착하는 간지 흡착패드(27)가 설치되어 있는데, 상기 제 2 로드레스 실린더(25)는 제 2 슬라이더(26)의 후방에 설치된 제 2 박형실린더(28)의 구동에 따라 위치가 2단으로 제어되도록 구성되어 있다.
그리고 상기 기판 흡착패드(20) 및 간지 흡착패드(27)의 로딩포지션에 기판(2) 및 간지(24)를 기판 이송용 로울러(5)측으로 이송시키는 한 쌍의 제 1 턴바(29)가 회동가능하게 설치되어 있고 상기 제 1 턴바(29)의 외측에는 기판(2) 및 간지(24)를 동시에 홀딩하여 회동시키는 한 쌍의 제 2 턴바(30)가 각각 설치되어 이들이 구동수단에 의해 동시에 회동되거나, 개별 회동되도록 구성되어 있다.
상기 구동수단은 도 5에 나타낸 바와 같이 본체(1)의 외측에 설치된 제 1 수평실린더(31)의 구동에 따라 진퇴 운동하는 제 1 랙(32)과, 상기 제 1 랙과 맞물려 회전하는 제 1 피니언(33)과, 상기 제 1 피니언에 고정되어 제 1 턴바(29)를 회동시키는 제 1 축(34)과, 제 2 수평실린더(35)의 구동에 따라 진퇴 운동하는 제 2 랙(36)과, 상기 제 2 랙과 맞물려 회전하는 제 2 피니언(37)과, 상기 제 2 피니언에 고정되어 제 1 축에 외삽되며 제 2 턴바(30)를 회동시키는 제 2 축(38)으로 구성되어 있다.
그러나 상기 제 1, 2 축(34)(38)을 모터 등에 의해 설정된 범위내에서 동시 또는 개별적으로 회전시킬 수 있게 됨은 이해 가능한 것이다.
상기한 바와 같이 기판(2) 및 간지(24)를 동시에 홀딩하는 제 2 턴바(30)는 기판 및 간지의 일측면을 지지하는 지지턱(39)과, 상기 지지턱의 대향면에 설치되어 실린더(40)의 구동에 따라 진퇴 운동하는 집게편(41)으로 구성되어 있다.
한편, 상기 제 1 턴바(29)의 직하방 및 제 1 턴바의 상단보다 낮은 수평 지점에 간지(24)측으로 에어를 분사하는 에어분사노즐(42)(43)이 각각 설치되어 있고 기판 이송용 로울러(5)의 일측에는 기판(2) 및 간지(24)가 제 2 턴바(30)의 홀딩지점으로부터 빠져 나옴을 감지함에 따라 제 2 턴바(30)가 초기상태로 복원되도록 신호를 인가하는 센서(44)가 설치되어 있으며 상기 기판 이송용 로울러(5)의 상측에는 기판(2)과 함께 기판 이송용 로울러(5)측으로 회동된 간지(24)를 홀딩하여 언로딩하는 간지 언로딩수단이 구비되어 있다.
상기 간지 언로딩수단은 기판 이송용 로울러(5)의 상측에 경사지게 설치된 가이드레일(45)과, 상기 가이드레일을 따라 승강가능하게 설치된 슬라이더(46)와, 상기 슬라이더에 축(47)을 중심으로 회동가능하게 설치되어 실린더(48)의 구동에 따라 핀을 중심으로 설정된 각도만큼 회동하는 회동판(49)과, 상기 회동판의 하부로 노출되게 복수개 설치되어 진공압에 의해 간지를 홀딩하는 흡착패드(50)와, 상기 가이드레일의 상사점 직하방에 위치되게 설치되어 간지를 보관하는 적재함(51)으로 구성되어 있다.
이와 같이 구성된 본 발명의 작용을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 본 발명의 초기상태에서는 제 1, 2 수평실린더(31)(35)에 의해 회동하는 제 1, 2 턴바(29)(30)가 수직상태를 유지함과 동시에 실린더(40)에 의해 수평 이동하는 집게편(41)이 지지턱(39)으로부터 이탈되어 있고, 제 1, 2 로드레스 실린더(16)(25)에 의해 진퇴운동하는 기판 흡착패드(20) 및 간지 흡착패드(27)는 제 1, 2 박형실린더(21)(28)가 오프되어 최대한 후퇴되어 있다.
이러한 상태에서 실린더(14)를 구동하여 승강판(15)을 상사점까지 상승시킨 다음 기판(2)이 적재된 랙(3)을 로딩 포지션에 로딩한 후 승강판(15)을 다시 하사점까지 하강시키고 스타트 버튼(도시는 생략함)을 누르면 제 1 로드레스 실린더(16)의 구동으로 제 1 슬라이더(17)가 도 6a와 같이 최대한 전진하게 되므로 설치판(19)에 설치된 복수개의 기판 흡착패드(20)가 랙(3)에 적재되어 있던 기판(2)과 접속된다.
상기한 바와 같이 제 1 로드레스 실린더(16)의 구동으로 제 1 슬라이더(17)가 최대한 전진할 때 제 1 슬라이더(17)의 스토퍼역할을 하는 제 1 박형실린더(21)가 구동하여 로드를 전진시키게 된다.
상기 제 1 로드레스 실린더(16)의 구동으로 제 1 슬라이더(17)가 최대한 전진하여 기판 흡착패드(20)가 랙(3)의 최외측(도면상 우측)에 위치된 기판(2)과 접속될 때 설치판(19)에 고정되어 있던 기판 감지센서(22)도 동시에 전진하게 되므로 랙(3)의 최외측에 위치된 것이 기판(2)인지 간지(24)인지를 감지하여 기판이면 다음 공정을 순차적으로 수행하지만, 간지(24)인 경우에는 기판 흡착패드(20)를 초기 상태로 환원시킴과 동시에 간지 흡착패드(27)를 전진시킨 다음 간지를 흡착하여 언로딩한 후 다음공정을 수행하여야 되는데, 간지의 언로딩공정에 대하여는 후술하기로 한다.
이와 같이 기판 흡착패드(20)가 전진하여 랙(3)의 최외측에 위치된 기판(2)에 접속되고 나면 상기 기판 흡착패드에 진공압이 작용되므로 기판(2)이 기판 흡착패드(20)에 흡착된다.
상기 기판(2)이 기판 흡착패드에 흡착되고 나면 상기 기판 흡착패드가 설치된 제 1 슬라이드(17)가 제 1 로드레스 실린더(16)의 구동으로 도면상 우측으로 이동하게 되는데, 상기 제 1 슬라이더(17)는 제 1 박형실린더(21)의 로드가 인출되어 있어 이동이 1단으로 제어됨과 동시에 기판 흡착패드(20)가 설치된 설치판(19)은 도 6b와 같이 승강실린더(18)에 의해 상사점까지 상승하게 되므로 기판(2)의 후단에 위치되게 랙(3)에 적재되어 있던 간지(24)의 하부가 외부로 노출된다.
상기한 동작에 따라 랙(3)의 최외측에 위치되어 있던 기판(2)이 랙(3)으로부터 분리되고 나면 제 2 로드레스 실린더(25)가 구동하여 제 2 슬라이더(26)를 최대한 전진시키게 되므로 제 2 슬라이더의 양측 선단에 설치된 간지 흡착패드(27)가 도 6c와 같이 랙(3)에 적재된 간지(24)에 접속된다.
상기 동작시 간지 흡착패드(27)가 설치된 제 2 슬라이더(26)의 이동량을 제어하는 제 2 박형실린더(28)의 로드가 인출된다.
상기 간지 흡착패드(27)가 전진하여 간지(24)에 접속되고 나면 랙(3)에 적재된 간지(24)가 간지 흡착패드(27)에 홀딩되므로 제 2 슬라이더(26)가 도면상 우측으로 이동하면 도 6d와 같이 간지(24)가 수직상태를 유지하고 있는 제 1, 2 턴바(29)(30)와 일치된다.
이 때, 간지 흡착패드(27)에 흡착되어 있던 간지(24)가 일측으로 쓰러지지 않도록 에어 분사노즐(42)(43)을 통해 간지의 배면측으로 에어가 분사되므로 간지 흡착패드(27)에 흡착되어 있던 간지가 일측으로 쓰러지지 않게 된다.
상기한 동작에 의해 랙(3)으로부터 분리된 기판(2) 및 간지(24)가 제 1, 2턴바(29)(30)와 일치되고 나면 제 2 수평실린더(35)의 구동으로 제 2 턴바(30)가 약간 회동하여 간지(24)를 지지턱(39)과 집게편(41)사이에 위치시키게 된다.
상기한 동작시 간지 흡착패드(27)는 간지의 흡착상태를 해제함과 동시에 제 2 로드레스 실린더(25)의 재구동에 따라 도 6e와 같이 도면상 우측으로 최대한 후퇴하게 되는데, 이 때 로드를 전진시키고 있던 제 2 박형실린더(28)가 구동하여 로드가 후퇴시키게 되므로 제 2 슬라이더(26)의 이동이 가능해지게 된다.
이와 같이 간지 흡착패드(27)에 흡착되어 있다가 흡착이 해제된 간지(24)는 제 2 턴바(30)의 회동시 약간 상승하여 기판 흡착패드(20)에 흡착되어 있던 기판(2)의 저면과 일치하게 된다.
상기 동작에 따라 지지턱(39)과 집게편(41)사이에 기판(2) 및 간지(24)가 위치되고 나면 제 2 턴바(30)에 설치된 실린더(40)의 구동으로 집게편(41)이 전진하여 이들 사이에 위치된 기판(2) 및 전지(24)를 동시에 홀딩하게 됨과 동시에 기판(2)을 흡착하고 있던 기판 흡착패드(20)는 흡착상태를 해제한 다음 제 1 로드레스 실린더(16)의 재구동으로 도면상 우측으로 최대한 이동하게 되는데, 상기 동작시 인출되어 있던 제 1 박형실린더(21)의 로드가 동시에 후퇴하게 되므로 가능해지게 된다.
그 후, 승강실린더(18)의 구동으로 기판 흡착패드(20)가 설치된 설치판(19)을 초기 상태와 같이 하사점까지 하강시키게 되므로 랙(3)에 적재된 기판(2) 및 간지(24)를 흡착하여 제 2 턴바(30)측으로 이동시키기 위해 대기하게 된다.
상기한 동작으로 랙(3)에 적재되어 있던 기판(2) 및 간지(24)가 제 2 턴바(30)에 얹혀져 홀딩되고 나면 제 1, 2 수평실린더(31)(35)가 동시에 구동하여 제 1, 2 랙(32)(36)과 맞물린 제 1, 2 피니언(33)(37)을 회전시키게 되므로 제 1, 2턴바(29)(30)가 고정된 제 1, 2 측(34)(38)가 도면상 시계방향으로 회동하게 되고, 이에 따라 제 2 턴바(30)에 홀딩되어 있던 기판(2) 및 간지(24)가 도 6f와 같이 기판 이송용 로울러(5)의 상면에 얹혀지게 된다.
상기 동작시 상측에 설치된 에어 분사노즐(43)을 통해 간지(24)의 배면측으로 에어가 분사되므로 간지(24)가 일측으로 쓰러지지 않는다.
상기한 바와 같이 제 1, 2 턴바(29)(30)가 동시에 회동하여 기판(2) 및 간지(24)가 기판 이송용 로울러(5)의 상면에 얹혀지고 나면 상기 기판 이송용 로울러(5)의 일측에 설치되어 있던 센서(44)가 이를 감지하여 집게편(41)을 수평 이동시키는 실린더(40)를 작동시키게 되므로 기판(2) 및 간지(24)의 홀딩상태가 해제된다.
상기 기판(2) 및 간지(24)의 홀딩상태가 해제되고 나면 기판 이송용로울러(5)가 한시적으로 구동하여 기판(2) 및 간지(24)를 지지턱(39)과 집게편(41)사이에서 인출시키게 되는데, 상기 기판(2) 및 간지(24)의 인출량은 기판(2) 및 간지(24)가 지지턱(39)과 집게편(41)사이에서 빠져 나와 센서(44)가 오프되는 지점이다.
이와 같이 기판(2) 및 간지(24)가 도 6g와 같이 지지턱(39)과 집게편(41)사이에서 빠져 나와 센서(44)가 이를 감지하고 나면 기판 이송용 로울러(5)의 구동이 중단됨과 동시에 기판(2)에 얹혀져 있던 간지(24)를 기판으로부터 언로딩하여야 된다.
이하에서는 간지(24)를 언로딩하는 과정에 대하여 설명한다.
기판(2)과 함께 이송된 간지(24)를 언로딩하기 직전, 슬라이더(46)는 가이드레일(45)의 하사점에 위치되어 있고 흡착패드(50)가 장착된 회동판(49)은 도 7a의 실선과 같이 가이드레일(45)과 동일한 경사각도를 유지하고 있다.
이와 같이 슬라이더(46)가 하사점에 위치된 상태에서 간지(24)가 기판(2)과 함께 지지턱(39)과 집게편(41)사이에서 빠져 나오게 되면 실린더(48)가 구동하여 당겨져 있던 로드를 밀어내게 되므로 가이드레일(45)과 동일한 각도를 유지하고 있던 회동판(49)이 축(47)을 중심으로 회동하여 일점쇄선으로 나타낸 바와 같이 수평 상태를 유지하게 된다.
상기한 바와 같이 회동판(49)이 수평상태를 유지하고 나면 흡착패드(50)에 진공압이 작용되므로 기판(2)의 상면에 얹혀져 있던 간지(24)가 흡착패드(50)에 홀딩된다.
상기한 동작으로 간지(24)가 흡착패드(50)에 홀딩되고 나면 실린더(48)의 재 구동으로 회동판(49)이 가이드레일(45)과 동일한 각도를 갖도록 초기상태로 환원됨과 동시에 슬라이더(46)가 도 7b에 나타낸 바와 같이 상사점까지 상승하게 된다.
상기 슬라이더(46)가 상사점까지 상승하고 나면 흡착패드(50)에 홀딩되어 있던 간지(24)를 적재함(51)내에 언로딩하기 위해 회동판(49)을 도 7b에 일점쇄선으로 나타낸 바와 같이 회동시켜야 된다.
즉, 도 7b에 일점쇄선으로 나타낸 바와 같은 상태에서 실린더(48)가 구동하면 회동판(49)이 축(47)을 중심으로 회동하여 수평상태를 유지하게 되므로 흡착패드(50)에 홀딩되어 있던 간지(24)가 적재함(51)내에 위치되는데, 이 시점에서 흡착패드(50)에 작용하고 있던 진공압을 제거하면 흡착패드에 홀딩되어 있던 간지(24)가 적재함(51)내에 언로딩된다.
이와 같이 흡착패드(50)에 홀딩되어 있던 간지(24)를 적재함(51)내에 위치시키는 동안 제 2 턴바(30)는 제 2 수평실린더(35)의 재구동으로 수직상태로 환원되어 전술한 바와 같이 랙(3)으로부터 기판(2) 및 간지(24)를 분리시키는 동작을 계속적으로 수행하게 되고, 제 1 턴바(29)는 기판 이송용 로울러(5)의 구동에 따라 기판(2)이 제 1 턴바(29)를 완전히 벗어나면 제 1 수평실린더(31)의 구동에 따라 초기 상태로 환원된다.
상기한 바와 같이 제 1 턴바(29)의 복귀시 간지(24)를 적재함(51)내에 언로딩시키는 슬라이더(46)도 제 7a와 같은 상태로 환원되므로 기판(2)과 함께 기판 이송용 로울러(5)의 상면에 얹혀지는 간지(24)를 지속적으로 적재함(51)내에 언로딩시킬 수 있게 되는 것이다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 종래의 장치에 비하여 다음과 같은 장점을 갖는다.
첫째, 랙(3)에 적재된 기판(2)과 간지(24)를 동시에 홀딩하여 기판(2)을 다음공정으로 이송직전에 기판에 얹혀져 있던 간지를 언로딩하게 되므로 간지의 제거에 따른 시간을 대폭 줄일 수 있게 되므로 생산성을 2배로 향상시키게 된다.
둘째, 기판 이송 로울러(5)의 상측으로 간지(24)가 적재되는 적재함(51)을 구비하고 상기 적재함과 기판 이송용 로울러(5)사이에는 흡착패드(50)가 구비된 슬라이더(46)가 승강가능하게 설치되어 기판(2)에 얹혀진 간지(24)를 적재함내에 언로딩하게 되므로 간지 이송장치의 설치에 따른 별도의 공간을 구비하지 않아도 되고, 이에 따라 기기의 설치에 따른 공간 점유율을 최소화하게 된다.
셋째, 기판(2)사이에 위치하는 간지(24)를 기판의 로딩시 자동으로 제거하게 되므로 기판 자동 로딩장치의 완전 자동화 실현이 가능해지게 된다.
Claims (5)
- 승강판상에 설치된 제 1 로드레스 실린더의 구동에 따라 진퇴 운동하는 제 1 슬라이더와, 상기 제 1 슬라이더에 설치된 승강실린더의 구동에 따라 설정된 범위 내에서 승강하는 복수개의 기판 흡착패드와, 상기 제 1 슬라이더의 후방에 설치되어 제 1 슬라이더의 위치를 2단으로 제어하는 제 1 박형실린더와, 상기 제 1 로드레스 실린더의 상측에 위치하는 승강판상에 설치되어 제 2 로드레스 실린더의 구동에 따라 진퇴 운동하는 "ㄷ"형상의 제 2 슬라이더와, 상기 제 2 슬라이더의 양측 선단에 고정되어 간지를 흡착하는 간지 흡착패드와, 상기 제 2 슬라이더의 후방에 설치되어 제 2 슬라이더의 위치를 2단으로 제어하는 제 2 박형실린더와, 상기 기판 흡착패드 및 간지 흡착패드의 로딩포지션에 회동가능하게 설치되어 기판 및 간지를 기판 이송용 로울러측으로 회동시키는 한 쌍의 제 1 턴바와, 상기 제 1 턴바의 외측에 위치되게 각각 설치되어 기판 및 간지를 동시에 홀딩하여 회동시키는 제 2 턴바와, 상기 제 1, 2 턴바를 동시에 회동시키거나, 개별 회동시키는 구동수단과, 상기 제 1 턴바의 직하방 및 제 1 턴바의 상단보다 낮은 수평 지점에 각각 설치되어 간지측으로 에어를 분사하는 에어분사노즐과, 상기 기판 이송용 로울러의 일측에 설치되어 기판 및 간지가 제 2 턴바의 홀딩지점으로부터 빠져 나옴을 감지함에 따라 제 2 턴바가 초기상태로 복원되도록 신호를 인가하는 센서와, 상기 기판 이송용 로울러의 상측에 경사지게 설치되어 기판과 함께 기판 이송용 로울러측으로 회동된 간지를 홀딩하여 언로딩하는 간지 언로딩수단으로 구성된 것을 특징으로 하는 기판의 자동 로딩장치.
- 제 1항에 있어서,기판 및 간지를 동시에 홀딩하는 제 2 턴바는 기판 및 간지의 일측면을 지지하는 지지턱과, 상기 지지턱의 대향면에 설치되어 실린더의 구동에 따라 진퇴 운동하는 집게편으로 구성된 것을 특징으로 하는 기판의 자동 로딩장치.
- 제 1항에 있어서,상기 기판 흡착패드의 상측에 기판 흡착패드와 함께 이동하는 기판 감지센서를 진퇴 가능하게 탄력 설치한 것을 특징으로 하는 기판의 자동 로딩장치.
- 제 1항에 있어서,구동수단은 본체의 외측에 설치된 제 1 수평실린더의 구동에 따라 진퇴 운동하는 제 1 랙과, 상기 제 1 랙과 맞물려 회전하는 제 1 피니언과, 상기 제 1 피니언에 고정되어 제 1 턴바를 회동시키는 제 1 축과, 제 2 수평실린더의 구동에 따라 진퇴 운동하는 제 2 랙과, 상기 제 2 랙과 맞물려 회전하는 제 2 피니언과, 상기 제 2 피니언에 고정되어 제 1 축에 외삽되며 제 2 턴바를 회동시키는 제 2 축으로 구성된 것을 특징으로 하는 기판의 자동 로딩장치.
- 제 1항에 있어서,간지 언로딩수단은 기판 이송용 로울러의 상측에 경사지게 설치된 가이드레일과, 상기 가이드레일을 따라 승강가능하게 설치된 슬라이더와, 상기 슬라이더에 축을 중심으로 회동가능하게 설치되어 실린더의 구동에 따라 핀을 중심으로 설정된 각도만큼 회동하는 회동판과, 상기 회동판의 하부로 노출되게 복수개 설치되어 진공압에 의해 간지를 홀딩하는 흡착패드와, 상기 가이드레일의 상사점 직하방에 위치되게 설치되어 간지를 보관하는 적재함으로 구성된 것을 특징으로 하는 기판의 자동 로딩장치.
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