KR100342843B1 - 기판의 자동 언로딩 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 생산라인을 거치면서 공정을 마친 기판을 랙에 자동으로 언로딩하는 기판의 자동 언로딩장치에 관한 것으로, 기판의 언로딩장치 일측에 별도의 간지 이송장치를 구비하지 않고 장비의 상측에 간지 이송장치를 구비하여 기판이 이송되는 동안 1매의 간지를 홀딩하여 대기하고 있다가 기판의 이송이 완료되고 나면 홀딩하고 있던 간지를 기판의 상면에 신속하게 얹어 놓을 수 있도록 한 것이다.

이를 위해, 기판(2)을 이송시키는 기판 이송용 로울러(3)의 끝단에 도그(4)를 회동가능하게 설치하여 도그(4)에 기판이 얹혀짐에 따라 도그(4)에 얹혀진 기판(2)을 랙(10)에 언로딩하는 기판의 자동 언로딩장치에 있어서, 기판 이송용 로울러(3)의 상측에 경사지게 설치된 가이드레일(13)과, 상기 가이드레일을 따라 승강가능하게 설치된 슬라이더(14)와, 상기 슬라이더(14)에 축(15)을 중심으로 회동가능하게 설치되어 실린더(17)의 구동에 따라 핀을 중심으로 설정된 각도만큼 회동하는 회동판(16)과, 상기 회동판의 하부로 노출되게 복수개 설치되어 진공압에 의해 간지(21)를 홀딩하는 흡착패드(18)와, 상기 가이드레일의 상사점 직하방에 위치되게 설치되어 간지가 보관되는 스택커(22)와, 상기 스택커내에 위치되어 간지(21)가 얹혀지며 모터(24)의 구동에 따라 승강하는 안착판(23)으로 구성된 것이다.

Description

기판의 자동 언로딩장치{.}

본 발명은 생산라인을 거치면서 공정을 마친 기판을 랙에 자동으로 언로딩하는 기판의 자동 언로딩장치에 관한 것으로서, 좀 더 구체적으로는 랙에 언로딩되는기판사이에 운반 및 보관시 스크래치(Scratch)가 발생되지 않도록 간지(종이)를 자동으로 로딩하는 기판의 자동 언로딩장치에 관한 것이다.

일반적으로 패턴형성작업이나, 세정작업 등의 공정을 거쳐 배출되는 기판은 도 3과 같은 형상의 랙(10)에 언로딩되어 운반 또는 보관된다.

도 1a 내지 도 2는 출원인에 의해 선출원되어 실용신안 제 129169 호로 등록된 기판의 자동 언로딩장치로서, 도 1a 및 도 1b는 종래의 기판 언로딩장치를 나타낸 종단면도이고 도 1은 도 1a의 평면도이다.

그 구성을 살펴보면, 본체(1)의 상측에 공정을 완료한 기판(2)을 배출시키기 위해 복수개의 기판 이송용 로울러(3)가 인라인(In-line)으로 배열되어 있고 상기기판 이송용 로울러(3) 중 분할 형성된 부위에는 안착면(4a)을 갖는 도그(4)가 공정을 마친 기판(2)을 도 3과 같은 랙(10)의 상면에 언로딩하도록 회전가능하게 설치되어 있는데, 상기 도그(4)의 하부는 수평실린더(5)의 동작으로 핀(6)을 중심으로 회전하는 아암(7)과 힌지 결합되어 있다.

그리고 상기 도그(4)에 얹혀져 도그와 함께 회동된 기판(2)을 벨트(8)상의 랙(10)에 언로딩하기 위해 도그(4)에 얹혀진 기판(2)을 홀딩하는 흡착패드(9)가 로드레스실린더(11)의 구동에 따라 진퇴운동하도록 되어 있다.

따라서 도 1a와 같이 랙 이송용 로울러(12)의 회전에 따라 일정 궤적을 이동하는 벨트(8)상에 랙(10)이 얹혀지고, 도그(4)가 수평상태를 이루고 있는 상태에서 공정을 거친 1개의 기판(2)이 기판 이송용 로울러(3)에 얹혀져 이송되면 상기 기판은 수평상태를 유지하고 있던 도그(4)의 안착면(4a)에 걸려 이송이 제어됨과 동시에 감지수단(도시는 생략함)에 의해 1개의 기판(2)이 이송되었음을 감지하게 되므로 수평실린더(5)가 구동하여 당겨져 있던 로드를 밀어내게 된다.

이와 같이 수평실린더(5)가 구동하여 당겨져 있던 로드를 밀어내면 핀(6)을 중심으로 회동가능하게 설치된 아암(7)이 도 1b와 같이 회동하게 되므로 도그(4)에 얹혀져 있던 기판(2)이 랙(10)과 동일한 기울기를 갖게 된다.

그 후, 도그(4)에 얹혀진 기판(2)을 흡착패드(9)가 흡착한 상태에서 로드레스실린더(11)가 구동하면 기판(2)이 도그(4)로부터 분리되어 랙(10)의 상측에 위치되므로 흡착패드(9)의 흡착력 제거에 따라 기판(2)이 랙(10)으로 언로딩된다.

상기한 바와 같은 공정을 거쳐 랙(10)에 언로딩되는 기판(2)과 기판사이에는 기판의 운반 및 보관시 진동 등에 의한 스크래치가 발생되지 않도록 간지(종이)를 넣어주어야 된다.

그러나 종래에는 언로딩장치와는 별도로 일측에 간지 이송장치를 구비하여 수평상태를 유지하고 있던 도그(4)의 상면에 기판(2)이 얹혀지고 나면 상기 간지 이송장치가 적재함내에 적재되어 있던 1매의 간지를 흡착한 다음 이를 도그(4)에 얹혀진 기판(2)의 상면에 올려 놓은 상태에서 도그(4)를 회동시켜야 되었으므로 별도의 간지 이송장치를 기판의 언로딩장치 일측에 구비하여야만 되었고, 이에 따라 기기의 설치에 따른 공간 점유율이 커지게 되는 문제점이 있었다.

또한, 기판(2)의 이송이 완료된 상태에서 적재함내에 위치된 간지를 이송장치가 흡착하여 이송시키도록 되어 있어 간지의 이송에 따른 시간이 지연되므로 생산성이 저하되는 문제점도 있었다.

본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 기판의 언로딩장치 일측에 별도의 간지 이송장치를 구비하지 않고 장비의 상측에 간지이송장치를 구비하여 기판이 이송되는 동안 1매의 간지를 홀딩하여 대기하고 있다가 기판의 이송이 완료되고 나면 홀딩하고 있던 간지를 기판의 상면에 신속하게 얹어 놓을 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.

도 1a 및 도 1b는 종래의 기판 언로딩장치를 나타낸 종단면도

도 2는 도 1a의 평면도

도 3은 기판의 언로딩장치에 적용되는 랙의 사시도

도 4는 본 발명을 나타낸 사시도

도 5a 및 도 5b는 본 발명의 작동상태를 설명하기 위한 종단면도

도 6은 도 5b의 "A"부 상세 사시도

도면중 주요 부분에 대한 부호의 설명

3 : 기판 이송용 로울러 4 : 도그

13 : 가이드레일 14 : 슬라이더

16 : 회동판 18 : 흡착패드

22 : 스택커 23 : 안착판

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 형태에 따르면, 기판을 이송시키는 기판 이송용 로울러의 끝단에 도그를 회동가능하게 설치하여 도그에 기판이 얹혀짐에 따라 도그에 얹혀진 기판을 랙에 언로딩하는 기판의 자동 언로딩장치에 있어서, 기판 이송용 로울러의 상측에 경사지게 설치된 가이드레일과, 상기 가이드레일을 따라 승강가능하게 설치된 슬라이더와, 상기 슬라이더에 축을 중심으로 회동가능하게 설치되어 실린더의 구동에 따라 핀을 중심으로 설정된 각도만큼 회동하는 회동판과, 상기 회동판의 하부로 노출되게 복수개 설치되어 진공압에 의해 간지를 홀딩하는 흡착패드와, 상기 가이드레일의 상사점 직하방에 위치되게 설치되어 간지가 보관되는 스택커와, 상기 스택커내에 위치되어 간지가 얹혀지며 모터의 구동에 따라 승강하는 안착판으로 구성된 것을 특징으로 하는 기판의 자동 언로딩장치가 제공된다.

이하, 본 발명을 일 실시예로 도시한 도 4 내지 도 6을 참고하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 4는 본 발명을 나타낸 사시도이고 도 5a 및 도 5b는 본 발명의 작동상태를 설명하기 위한 종단면도이며 도 6은 도 5b의 "A"부 상세 사시도로서, 본 발명의 구성 중 종래의 구성과 동일한 부분은 그 설명을 생략하고 동일부호를 부여하기로한다.

본 발명은 공정을 마친 기판(2)이 얹혀져 배출되는 기판 이송용 로울러(3)의 상측에 가이드레일(13)이 일정 각도 경사지게 설치되어 있고 상기 가이드레일에는 공압에 의해 승강하는 슬라이더(14)가 설치되어 있다.

그리고 상기 슬라이더(14)에는 축(15)을 중심으로 회동가능하게 회동판(16)이 설치되어 실린더(17)의 구동에 따라 상기 회동판(16)이 설정된 각도만큼 회동하도록 되어 있는데, 상기 실린더(17)의 일단은 슬라이더(14)에 힌지 결합되어 있고 로드는 회동판(16)에 힌지 결합되어 있다.

또한, 상기 가이드레일(13)을 따라 승강하는 슬라이더(14)에 설치된 회동판의 하부에는 진공압에 의해 간지를 홀딩하는 복수개의 흡착패드(18)가 설치되어 있는데, 상기 흡착패드(18)는 고정부재(19)에 의해 슬라이더(14)에 고정되어 있고 상기 고정부재에는 흡착부재(18)를 장착하기 위한 복수개의 체결공(20)이 형성되어 있다.

이는, 고정부재(19)를 교체하지 않고도 간지(21)의 크기에 따라 흡착부재(18)의 위치를 용이하게 변경할 수 있도록 하기 위함이다.

한편, 상기 가이드레일(13)의 상사점 직하방에 간지(21)가 보관되는 스택커(22)가 설치되어 있고 상기 스택커내에는 간지(21)가 적재되는 안착판(23)이위치되어 모터(24)의 구동에 따라 승강하여 최상면에 위치된 간지를 흡착패드(18)가 용이하게 홀딩할 수 있도록 되어 있는데, 상기 안착판(23)은 모터(24)의 구동에 따라 가이드봉(25)에 의해 안정적으로 승강운동하게 된다.

이와 같이 구성된 본 발명의 작용을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 스택커(22)의 안착판(23)상에 복수매의 간지(21)가 적재된 상태에서 스타트 버튼을 누르면 하사점에 위치되어 있던 슬라이더(24)가 공압에 의해 상사점까지 상승하게 되는데, 상기한 동작시 흡착패드(18)가 장착된 회동판(16)은 도 5a의 일점쇄선과 같이 가이드레일(13)과 동일한 경사각도를 유지하고 있다.

이는, 슬라이더(14)의 이송시 스택커(22)와의 간섭을 방지하기 위함이다.

이와 같이 슬라이더(14)가 상사점까지 상승하고 나면 실린더(17)가 구동하여 당겨져 있던 로드를 밀어내게 되므로 가이드레일(13)과 동일한 각도를 유지하고 있던 회동판(16)이 축(15)을 중심으로 회동하여 실선으로 나타낸 바와 같이 수평상태를 유지하게 되는데, 이 때 회동판(16)은 간지(21)가 적재된 스택커(22)상에 위치하게 된다.

상기한 바와 같이 회동판(16)이 수평상태를 유지하고 나면 흡착패드(18)에 진공압이 작용되므로 안착판(23)의 최상측에 위치되어 있던 1매의 간지(21)가 흡착패드(18)에 홀딩된다.

상기한 동작으로 1매의 간지(21)가 흡착패드(18)에 홀딩되고 나면 실린더(17)의 재구동으로 회동판(16)이 가이드레일(13)과 동일한 각도를 갖도록 초기상태로 환원됨과 동시에 슬라이더(14)가 하사점까지 하강하여 공정을 마친 1개의기판(2)이 기판 이송용 로울러(3)에 얹혀져 이송되어 수평상태를 유지하고 있던 도그(4)의 안착면(4a)에 걸릴 때까지 대기하고 있게 된다.

한편, 수평실린더(5)의 로드가 당겨져 도그(4)가 수평상태를 유지하고 있는 상태에서 공정을 마친 기판(2)이 기판 이송용 로울러(3)에 얹혀져 이송되어 도그(4)의 안착면(4a)에 의해 이송이 제어되면 흡착패드(18)에 홀딩되어 있던 간지(21)를 기판(2)의 상면에 얹어 놓기 위해 회동판(16)을 도 5b에 일점쇄선으로 나타낸 바와 같이 회동시켜야 된다.

즉, 도 5b에 실선으로 나타낸 바와 같은 상태에서 실린더(17)가 구동하면 회동판(16)이 축(15)을 중심으로 회동하여 수평상태를 유지하게 되므로 흡착패드(18)에 홀딩된 간지(21)가 기판(2)의 직상부에 위치하게 되는데, 이 시점에서 흡착패드(18)에 작용하고 있던 진공압을 제거하면 흡착패드에 홀딩되어 있던 간지(21)가 도그(4)에 얹혀져 있던 기판(2)의 상면에 위치하게 된다.

이와 같이 기판(2)의 이송과 동시에 흡착패드(18)에 홀딩되어 있던 간지(21)를 기판(2)의 상면에 위치시키고 나면 종래의 장치와 마찬가지로 수평실린더(5)가 구동하여 수평상태를 유지하고 있던 도그(4)를 회동시키게 되므로 기판(2)과 간지(21)를 동시에 랙(10)의 상면으로 언로딩할 수 있게 되는 것이다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 기판 이송 로울러(3)의 상측으로 간지(21)가 적재되는 스택커(22)를 구비하고 상기 스택커와 도그(4)에 얹혀진 기판(2) 사이에는 흡착패드(18)가 구비된 슬라이더(14)가 승강가능하게 설치되어이송이 완료된 기판(2)의 상면에 간지(21)를 올려 놓게 되므로 간지 이송장치의 설치에 따른 별도의 공간을 구비하지 않아도 됨은 물론 기판의 이송간에 흡착패드(18)가 간지를 홀딩하여 대기하고 있다가 이송이 완료되는 즉시 기판(2)의 상면에 간지를 올려 놓게 되므로 기판의 언로딩에 소요되는 시간을 단축시킬 수 있게 된다.

Claims (2)

1. 기판을 이송시키는 기판 이송용 로울러의 끝단에 도그를 회동가능하게 설치하여 도그에 기판이 얹혀짐에 따라 도그에 얹혀진 기판을 랙에 언로딩하는 기판의 자동 언로딩장치에 있어서, 기판 이송용 로울러의 상측에 경사지게 설치된 가이드레일과, 상기 가이드레일을 따라 승강가능하게 설치된 슬라이더와, 상기 슬라이더에 축을 중심으로 회동가능하게 설치되어 실린더의 구동에 따라 핀을 중심으로 설정된 각도만큼 회동하는 회동판과, 상기 회동판의 하부로 노출되게 복수개 설치되어 진공압에 의해 간지를 홀딩하는 흡착패드와, 상기 가이드레일의 상사점 직하방에 위치되게 설치되어 간지가 보관되는 스택커와, 상기 스택커내에 위치되어 간지가 얹혀지며 모터의 구동에 따라 승강하는 안착판으로 구성된 것을 특징으로 하는 기판의 자동 언로딩장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 흡착패드가 고정부재에 의해 슬라이더에 고정되고 상기 고정부재에는 흡착부재를 장착하기 위한 복수개의 체결공이 형성된 것을 특징으로 하는 기판의 자동 언로딩장치.