CN101337353A - 搬送系统、搬送方法以及搬送车 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种搬送系统，能够在搬送车到达装置的面前之后，不产生待机时间而立即开始移载动作。在无人搬送车(1)与处理装置(2)之间移载物品的搬送系统中，无人搬送车(1)具有：移载机构部(31)，其通过把所装载的物品递交给处理装置(2)，或从处理装置(2)把物品取出，来移载物品；搬送车通信部(33)，其向处理装置(2)发出请求许可移载的移载请求信号，并取得表示许可该请求的移载许可信号；以及搬送车控制部(15)，其在搬送车通信部(33)取得移载许可信号之前控制移载机构部(31)，以使移载机构部(31)在不侵入处理装置(2)的范围内进行移载动作。

Description

搬送系统、搬送方法以及搬送车
技术领域
本发明涉及在搬送车与处理装置之间移载物品的搬送系统，特别涉及具备了互锁通信功能的搬送系统。
背景技术
在半导体器件或液晶显示器的制造生产线上，随着微细加工的高精度化和工序数量的增加，把各个工序的作业以及工序之间的工件传递，设计成无人化和自动化的情况越来越多。特别是在工序之间的工件传递中，无人搬送车与各个处理装置边进行相互通信，边按照工序移载工件。
例如，在半导体器件制造生产线上，作为无人搬送车而使用在规定的搬送路径上以车轮自动行驶的AGV(Automated Guided Vehicle)。该AGV通过向被配置在该搬送路径两侧的半导体处理装置伸出机械臂和机械手，来传递晶片盒。
上述的晶片盒的传递，是根据控制半导体器件制造生产线整体的控制系统的指示，由被配置在无人搬送车和半导体处理装置各自中的计算机来实现的。为了实现传递，多数情况是采用设在无人搬送车和半导体处理装置双方中的光数据通信装置。
另外，半导体器件生产线的移载物、即晶片等，由于贵重且容易碎裂，所以需要安全地进行无冲击的自动搬送。因此，采用通过有效利用上述光数据通信装置，确定移载对方，了解对方的状态，在确认了来自对方的响应的基础上，进行移载作业的互锁通信系统。
这里，对以往的互锁通信的移载动作进行说明。
图10是表示在无人搬送车把晶片盒卸载到半导体处理装置中时的基于光信号进行的互锁通信的时序图。首先，当无人搬送车到达处理装置站的面前时，无人搬送车把移载请求信号设为ON，并且发送给半导体处理装置(S81)。由此开始互锁通信。接收到移载请求信号的半导体处理装置，确认在晶片盒载置部中是否已经存在其他晶片盒，在载置部中不存在晶片盒的情况下，把用于表示能够接受晶片盒的移载许可信号设为ON，并发送给无人搬送车(S82)。在无人搬送车接收到该移载许可信号的时刻，互锁成立。然后，无人搬送车把移载动作信号设为ON，从此开始移载动作。从该移载请求信号的发送到移载动作的开始的时间Ta，在半导体器件制造生产线上，例如是5秒钟左右，为无人搬送车不动作的待机时间。
不久，在完成了无人搬送车的移载动作后，无人搬送车把移载动作信号设为OFF，同时把移载结束请求信号设为ON(S83)，并发送给半导体处理装置(S84)。接收到移载结束请求信号的半导体处理装置确认在该载置部中存在晶片盒，把移载结束许可信号设为ON，并发送给无人搬送车(S85)。接收到移载结束许可信号的无人搬送车把移载结束请求信号和移载请求信号设为OFF(S86)。此时，解除互锁并同时结束互锁通信。从该无人搬送车发送移载结束请求信号到接收移载结束许可信号的时间Tc，也和Ta同样例如为5秒钟左右，此期间，无人搬送车不动作，与移载动作开始前同样，成为待机时间。
另外，在把晶片盒从半导体处理装置站装载到无人搬送车上时，进行与上述同样的步骤，在无人搬送车的移载动作开始之前和移载动作结束之后，产生同样的待机时间。
由于该待机时间在加工处理工序多的半导体器件的生产线上，在每个处理工序中都发生，所以待机时间的发生导致生产线整体的制造效率的低下，并成为降低制造成本的障碍。
作为解决上述问题的方法，提出了一种光数据传送系统，该系统在无人搬送车到达处理装置站的面前之前，即，无人搬送车的移动过程中，由无人搬送车向对方的半导体处理装置发送移载请求信号，开始互锁通信(专利文献1)。具体地是，为了在无人搬送车的移动过程中实现光通信，增大在无人搬送车和移载对方的半导体处理装置双方所设置的各个光通信器件的光投射区域和光接收区域，并且为了避免因增大了这些区域而引起的处理装置之间的信号干扰，设定自身的ID。
即，该光数据传送系统在无人搬送车到达对方的处理装置站的面前之前，不会发生与其他半导体处理装置的干扰，开始互锁通信，通过消除或缩短无人搬送车的待机时间，提高了制造效率。
专利文献1：日本国特开2000-299364号公报
但是，在加工处理工序数量多、且工序复杂的半导体制造生产线等当中，不限于在无人搬送车到达处理装置站的面前之前，即在无人搬送车与处理装置站不是正对的状态下，配置能够相互通信的装置。因此，可以是在到达了处理装置站的面前时已经建立了互锁的情况。
因此，在到达处理装置站的面前之后、互锁成立之前，存在着无人搬送车产生待机时间的情况，因而作为制造工序整体，存在着不能有效缩短制造时间的问题。
发明内容
鉴于上述的问题，本发明提供一种在加工处理工序数量多且工序复杂的半导体制造生产线等当中，在无人搬送车的移动过程中不开始互锁通信，而在无人搬送车到达处理装置站的面前之后，不存在待机时间，立即开始移载动作的搬送系统。
为了达到上述的目的，本发明提供一种的搬送系统，在搬送车与装置之间移载物品，其特征在于，上述搬送车和上述装置的一方具有：移载机构部，其通过把所装载的物品递交给作为上述搬送车和上述装置的另一方的对方侧，或从对方侧把物品取出，来移载物品；通信单元，其向上述对方侧发出请求许可移载的移载请求信号，并取得用于表示许可该请求的移载许可信号；以及控制单元，其在上述通信单元取得上述移载许可信号之前，控制上述移载机构部，以使上述移载机构部在不侵入上述对方侧的范围内进行移载动作。
由此，搬送车和装置的一方可以在取得移载许可信号之前不保持待机时间，在搬送车停止后立即执行移载动作。由此，能够在确保移载物和搬送系统的安全性的同时，缩短搬送车的停止时间，从而可缩短制造时间，达到降低制造成本的效果。
另外，所谓“不侵入对方侧的范围”是指，即使在对方侧进行了任意动作的情况下，在装置之间也不会产生物理上干扰的范围，具体地是，不侵入对方侧的动作空间的范围。
这里，上述移载机构部也可以具有覆盖所装载的物品的闸门，上述控制单元作为不侵入上述对方侧范围内的移载动作还可以进行打开上述闸门的控制。
由此，不增加搬送车的停止时间，可防止在搬送车的移动中和刚停止时的移载物的损伤。
另外，也可以是，上述通信单元还向上述对方侧发送请求许可移载结束的结束请求信号，并取得用于表示许可该请求的结束许可信号，上述控制单元还在上述移载机构部从上述对方侧退出时，控制上述通信单元，以使上述通信单元发出上述结束请求信号。
由此，上述搬送车和装置的一方能够在发出结束请求信号的同时，执行本身区域内的移载结束动作。这样，由于该搬送车和装置的一方在接收到结束许可信号时已经完成了移载动作，所以搬送车能够在该完成后立即移动。这样，有利于尽量防止被加工处理的晶片等的随时间的变化。
另外，为了达到上述目的，本发明的搬送方法是在搬送车与装置之间移载物品的搬送方法，其特征在于，包括：通信步骤，在上述搬送车与上述装置之间，进行从一方装置向另一方装置请求许可移载，从上述另一方装置向上述一方装置提示针对该请求的许可的通信；和移载步骤，通过由上述一方装置把所装载的物品递交给上述另一方装置，或者由上述一方装置从上述另一方装置取出物品，来移载物品，在上述通信步骤中提示上述许可之前，开始上述移载步骤。
此时，在上述移载步骤中，在上述通信步骤中提示上述许可之前，上述一方装置进行侵入上述另一方装置为止的移载动作。
由此，搬送车和装置的一方可以在从对方提示移载许可之前不需要保持待机时间，在搬送车停止后立即执行移载动作。由此，能够在确保移载物和搬送系统的安全性的同时，缩短搬送车的停止时间，从而可缩短制造时间，达到降低制造成本的效果。
另外，本发明不仅可作为搬送系统和搬送方法来实现，而且还能够作为进行构成搬送系统的特征动作的搬送车个体或装置个体来实现。
根据本发明，在加工处理工序多、且工序复杂的半导体制造生产线等当中，在无人搬送车到达处理装置站面前后，不产生基于互锁通信的无人搬送车的待机时间，缩短了无人搬送车在站前的停车时间。由此，可缩短制造时间，其结果可降低制造成本，因而，本发明具有极高的实用价值。
附图说明
图1是表示本发明的搬送系统的构成的一例的图。
图2是本发明的实施方式中的无人搬送车的俯视图。
图3是本发明的实施方式中的无人搬送车的主视图。
图4是表示本发明的实施方式中的搬送系统的功能构成的方框图。
图5是表示本发明的实施方式中的搬送系统的处理步骤的流程图。
图6是表示载入晶片时的无人搬送车1的移载动作的详细流程图。
图7是说明图6和图9的流程图所示的修正动作的图。
图8是说明盒载入时的互锁通信的时序图。
图9是表示盒载出时的无人搬送车1的移载动作的详细的流程图。
图10是说明以往的搬送系统中的互锁通信的时序图。
图中符号说明：1-无人搬送车；2-处理装置；3、10-光通信；4-晶片盒；5-光数据通信装置；6-搬送车控制器；7-终端装置；8-LAN；9-搬送用导轨；11-SCARA机械臂；12-闸门；13-升降部；14-旋转台；15-搬送车控制部；21-处理装置站；31-移载机构部；33-搬送车通信部；34-载置部；35-装置控制部；36-装置通信部；37-加工部；111-第1臂；112-第2臂；113-机械手；114-物品支撑台；141-距离传感器；211-目标板(target)。
具体实施方式
下面，参照附图，对本发明的实施方式进行说明。
图1是表示本发明的搬送系统的构成的一例的图，在本实施方式中，说明半导体器件制造生产线上的晶片盒的搬送系统的构成。该系统由无人搬送车1、处理装置2、光通信3、晶片盒4、搬送车控制器6、终端装置7、LAN8、和搬送用导轨9构成。
无人搬送车1具有SCARA机械臂11和光数据通信装置5。而且，无人搬送车1利用光通信3与搬送车控制器6进行通信，并在搬送用导轨9上移动。
处理装置2具有处理装置站21和光数据通信装置5。
无人搬送车1和处理装置2通过各自具有的光数据通信装置5和光通信3，进行互锁通信。
搬送车控制器6根据从终端装置7接收的指示、或生产线整体的步骤以及无人搬送车1的规格，通过光通信10，向无人搬送车1发出各种指示，进行各种设定。
终端装置7是通过LAN8访问搬送车控制器6，向搬送车控制器6发出各种指示，或进行各种设定的终端装置。
无人搬送车1由搬送车控制器6接收晶片盒4的移载指示，在处理装置站21的面前停止，一边通过光通信3与处理装置2进行互锁通信，一边开始晶片盒4的移载动作。
无人搬送车1是本发明的搬送系统的构成要素的一例，下面，结合图2所示的无人搬送车1的俯视图和图3所示的无人搬送车1的主视图，对其构成进行说明。
无人搬送车1具有SCARA机械臂11、闸门12、升降部13、旋转台14、和搬送车控制部15。
旋转台14具有距离传感器141。
处理装置站21具有距离传感器141的目标板211。基于该距离传感器141和目标板211，检测出无人搬送车1对于处理装置站21的停止位置的偏差。
旋转台，为了使移载动作时的SCARA机械臂的突出方向成为移载对方的处理装置方向，具备使SCARA机械臂11自由旋转的功能。
SCARA机械臂11，具有第1臂111、第2臂112、和具有设在第2臂112前端的旋转自如的物品支撑台114的机械手113，并在驱动机构的驱动下进退。
闸门12用于作为保护移载物的晶片盒4，其在无人搬送车1在搬送用导轨9上移动的期间关闭，在无人搬送车1处于停止在处理装置站21的面前的状态时打开。
升降部13，在把晶片盒4向处理装置站21卸载时，为了使物品支撑台114与晶片盒4分离，使SCARA机械臂11整体下降。另外，升降部13在从处理装置站21取得(或取出)晶片盒4时，为了使物品支撑台114与晶片盒4接触，使SCARA机械臂11整体上升。
另外，SCARA机械臂11也可以把升降部13内置于机械手113中，只升降物品支撑台114。
搬送车控制部15控制上述说明的SCARA机械臂11、闸门12、升降部13、和旋转台14的动作。
图4是表示图1所示的本发明的搬送系统的功能结构的方框图。
该搬送系统，从功能上，分为在无人搬送车1中具有移载机构部31、搬送车控制部15和搬送车通信部33；在处理装置2中具有载置部34、装置控制部35、装置通信部36和加工部37。
移载机构部31是通过把装载的物品提供给(载入)处理装置2、或从处理装置2取出(载出)物品，来移载物品的机构部，其具有图2和图3中的SCARA机械臂11、闸门12、升降部13、和旋转台14，并且在搬送车控制部15的控制下，执行无人搬送车1的闸门的开闭、SCARA机械臂11的伸缩、旋转、以及升降。
搬送车通信部33具有图1中的光数据通信装置5，其具有根据来自搬送车控制部15的指示，向装置通信部36发送光信号，而且接收来自装置通信部36的光信号，把该信号传递给搬送车控制部15的功能，例如，在向处理装置2发出了请求移载许可的移载请求信号后，取得表示对该请求许可的移载许可信号，或在向处理装置2发出了请求许可移载的结束的结束请求信号后，取得表示对该请求许可的结束许可信号。
搬送车控制部15是根据移载机构部31的动作状态和来自搬送车通信部33的信号，判断处理装置2的状态，向移载机构部31发出进行下一个工作的指示，而且向搬送车通信部33发出进行下一个信号收发的指示的CPU等，其控制移载机构部31，在搬送车通信部33取得移载许可信号之前，使移载机构部31在不侵入处理装置2的范围内进行移载动作，或控制搬送车通信部33，在移载机构部31从处理装置2退出后，使搬送车通信部33发出结束请求信号。
载置部34具有处理装置站21，并提供晶片盒4的载置空间。另外，把载置空间中的晶片盒4的存在与否的信息，传递给装置控制部35。
装置通信部36具有图1中的光数据通信装置5，其根据来自装置控制部35的指示，向搬送车通信部33发送光信号，另外，接收来自搬送车通信部33的光信号，并把该信号传递给装置控制部35。
装置控制部35从载置部34接收在载置空间内是否存在晶片盒4的信息，并且根据来自装置通信部36的信号，判断无人搬送车1的状态，向装置通信部36发出下一个信号收发的指示。另外，向加工部37发出对已经收到的晶片盒4进行加工处理的指示。
加工部37根据装置控制部35的指示，对已经收到的晶片盒4执行加工处理。
下面，对上述构成的本实施方式的搬送系统的动作进行说明。
图5是表示该搬送系统的晶片盒4的移载动作步骤的流程图。这里，说明把晶片盒4从无人搬送车1载入(以下称为盒载入)处理装置2时的无人搬送车1的移载动作的步骤。
首先，无人搬送车1在到达处理装置站21的面前时，从搬送车通信部33向装置通信部36发出移载请求信号(S10)。由此，开始互锁通信。
同时，搬送车控制部15对移载机构部31执行在不侵入处理装置2的区域的范围内的移载前动作(S20)。此时，搬送车通信部33还没有接收到来自装置通信部36的移载许可信号。
在装置通信部36中，与该移载前动作并行地接收从搬送车通信部33发送的移载请求信号。另外，装置控制部35对载置部34中是否载置有其他晶片盒4进行确认(S110)。
然后，当装置控制部35确认在载置部34中不存在其他晶片盒4时，与上述无人搬送车1的移载机构部31的移载前动作的结束大致同时地，从装置通信部36向搬送车通信部33发送移载许可信号(S120)。
然后，在搬送车通信部33接收到来自装置通信部36的移载许可信号(S30)时，在无人搬送车1与处理装置2之间建立互锁。
在互锁成立之后，无人搬送车1根据移载机构部31执行侵入处理装置2的区域中的正式移载动作(S40)。
然后，在正式移载动作结束时，搬送车通信部33在移载机构部31从处理装置2的区域退出的时刻，立即向装置通信部36发出移载结束请求信号(S50)。
同时，搬送车控制部15对移载机构部31执行在不侵入处理装置2的区域的范围内的移载后动作(S60)。此时，搬送车通信部33还没有接收到来自装置通信部36的移载结束许可信号。
在装置通信部36中与该移载后动作并行地接收由搬送车通信部33发送的移载结束请求信号。装置控制部35在接收到该信号后，进行确认，确认在载置部34中是否正常载置了作为移载对象的晶片盒(S130)。
然后，当装置控制部35确认在载置部34中正常地载置了移载对象的晶片盒4时，在与上述的无人搬送车1的移载后动作的结束大致同时地，从装置通信部36向搬送车通信部33发出移载结束许可信号(S140)。这里，移载结束许可信号发挥在确认了装置侧的移载是正常结束后许可结束的作用。
然后，当搬送车通信部33接收到来自装置通信部36的移载结束许可信号(S70)时，解除无人搬送车1与处理装置2之间的互锁。
这样，由于无人搬送车1在取得移载许可信号之前，进行不侵入处理装置2的范围内的移载动作，所以，与在取得移载许可信号后才开始移载动作的情况相比，缩短了移载时间。并且，由于无人搬送车1在移载机构部31从处理装置2退出时发送结束请求信号，所以与在移载动作结束后发送结束请求信号的情况相比，缩短了移载结束时的处理时间。
图6的流程图与详细说明了图5的流程图中的从移载开始到移载结束的部分对应。关于相同点，省略说明，下面，对不同点的移载前动作、正式移载动作、和移载后动作进行说明。
其1，首先说明盒载入时的移载前动作(S20)。如上述那样，该移载前动作由于是互锁成立前的动作，所以被限定为在未侵入对方的处理装置2的区域范围内而进行的动作。首先，无人搬送车1打开盒载入侧的闸门12(S201)。然后使旋转台14向盒载入的方向旋转(S202)。然后，为了使处理装置2的载置部34的高度与物品支撑台114的高度一致，利用升降部13使SCARA机械臂11上升(S203)。最后，作为修正动作，使旋转台14进行修正旋转(S204)。
这里，结合图7，对上述的修正动作进行说明。在图7中，用虚线表示的位置是无人搬送车1的理想停止位置。停止的无人搬送车1如实线所示，有时会停止在相对理想位置倾斜、并且在前后方向错位的位置。无人搬送车1通常把设置有距离传感器的面朝向行进方向。在处理装置站21前停止后，无人搬送车1根据处理装置站21的存在方向，使旋转台14顺时针旋转90度、或逆时针旋转90度。然后测量距离传感器141与目标板211之间的距离。根据测定的结果，计算出无人搬送车1的实际停止位置与理想停止位置之间的偏差。根据该计算值，执行旋转台14的修正旋转(图中的旋转角度a)，使SCARA机械臂前端的物品支撑台114能够到达处理装置站21的载置目的位置。这是上述的盒载入时的修正动作。在后述的载出时的修正动作中，执行上述旋转台14的修正旋转和物品支撑台114的臂上修正旋转(图中的臂上旋转角度b)。
其2，说明图6中的盒载入时的正式移载动作(S40)。该正式移载动作由于是互锁成立后的动作，所以执行侵入到对方处理装置2的区域中的动作。首先，在使物品支撑台114以处理装置站21的载置模式旋转之前，使处于无人搬送车1区域内的第1臂111和第2臂112伸展到规定的位置(S401)。然后，使物品支撑台114以处理装置站21的载置模式进行臂上旋转(S402)。然后，使第1臂111和第2臂112伸展到规定的位置，使物品支撑台114到达处理装置站21的载置位置(S403)。然后为了把晶片盒4和物品支撑台114分离，利用升降部13使SCARA机械臂11下降，把晶片盒4传递到处理装置站21侧(S404)。最后，把第1臂111和第2臂112返回到原点位置(S405)。
其3说明图6中的盒载入时的移载后动作(S60)。该移载后动作虽然是互锁成立中的动作，但由于是从处理装置2的区域内退出后的动作，所以能够与有无互锁的成立无关地执行。首先，把旋转台14返回到原点位置(S601)。然后，把物品支撑台114返回到原点位置(S602)。最后，关闭闸门12(S603)。
下面，结合图8所示的时序图，对以上的盒载入时的移载动作进行说明。图8是表示盒载入时的互锁通信的时序图。首先，当无人搬送车1到达处理装置站21的面前时，开始互锁通信，无人搬送车1把移载请求信号设为ON，并向处理装置2发送移载请求信号(S10)。接收到移载请求信号的处理装置2进行在载置部34中是否已经存在其他晶片盒的确认(S110)。在载置部中不存在晶片盒的情况下，把表示可以接收晶片盒的移载许可信号设为ON，并发送给无人搬送车1(S120)。在执行该S10、S110、S120的时间T1中，无人搬送车1不是把时间T1作为待机时间，而是并行地执行上述的移载前动作(S20)。
然后，在经过时间T1后，建立互锁。无人搬送车1把正式移载动作信号设为ON，在时间T2中开始正式移载动作(S40)。
之后，当无人搬送车1的正式移载动作结束时，无人搬送车1把移载动作信号设为OFF，同时把移载结束请求信号设为ON，向处理装置2发送移载结束请求信号(S50)。接收到移载结束请求信号的处理装置2确认在载置部34中存在晶片盒4(S130)，把移载结束许可信号设为ON，向无人搬送车1发送移载结束许可信号(S140)。接收到移载结束许可信号的无人搬送车1把移载结束请求信号和移载请求信号设为OFF。在执行该步骤S130、S140的时间T3中，无人搬送车1不把时间T3作为待机时间，而且并行地执行上述的移载后动作(S60)。然后在经过时间T3后，解除互锁。
另外，在以上记载的把移载结束许可信号设为ON，并向无人搬送车1发送移载结束许可信号(S140)的动作中，也可以不设置移载结束许可信号，可以代替把移载结束许可信号设为ON，而把移载许可信号设为OFF。在这种情况下，无人搬送车1通过接收移载许可信号的从ON到OFF的变化，把移载结束请求信号和移载请求信号设为OFF。
以往的移载动作是，如图10所示那样，移载前动作、正式移载动作、和移载后动作都是在时间T2中执行，与本实施方式的情况相比，延长了时间T2。另一方面，时间T1和T3分别是建立互锁所必要的通信时间和解除互锁所必要的通信时间，在以往和本实施方式中，分别为相同的时间。
根据本发明的实施方式，无人搬送车1在时间T1中执行移载前动作，在时间T2中执行正式移载动作，在时间T3中执行移载后动作，因此，消除了无人搬送车1的待机时间，而且还缩短了时间T2，所以缩短了在移载动作整体中必要的停止时间。
图9是无人搬送车1从处理装置2收取或取出(以下称为盒载出)晶片盒4时的无人搬送车1的移载动作的详细流程图。即，图9的流程图与详细说明了图5的流程图中的从移载开始到移载结束的部分对应。对于相同点省略说明，以下，对不同点的移载前动作、正式移载动作、和移载后动作进行说明。
其1，首先说明盒载出时的移载前动作(S20)。如上所述，由于该移载前动作是互锁成立前的动作，所以，被限定为在不侵入对方处理装置2的区域的范围内进行动作。
首先，打开盒载出侧的闸门12(S211)。然后，使旋转台14向盒载出方向旋转(S212)。然后，使物品支撑台114按照处理装置站21的载置模式进行臂上旋转(S213)。然后，作为修正动作，使旋转台14进行修正旋转，使物品支撑台114进行臂上修正旋转(S214)。关于修正动作，由于已经在盒载入时的移载动作中进行了说明，所以在此省略说明。
其2，说明盒载出时的正式移载动作(S40)。该正式移载动作由于是互锁成立后的动作，所以执行侵入到对方处理装置2的区域内的动作。首先，使第1臂111和第2臂112伸展到规定的位置，使物品支撑台114到达处理装置站21的载置位置(S411)。然后，利用升降部13使SCARA机械臂11上升，使得通过物品支撑台114能够容易取得位于处理装置2的载置部34中的晶片盒4(S412)。然后，收缩第1臂111和第2臂112，使物品支撑台114回到臂上旋转的位置(S413)。然后，使物品支撑台114进行臂上旋转(S414)。最后，把SCARA机械臂11返回到原点位置(S415)。
其3，说明盒载出时的移载后动作(S60)。该移载后动作虽然是互锁成立中的动作，但由于是在从处理装置2的区域内退出后的动作，所以能够与互锁是否成立无关地执行。首先，把旋转台14返回到原点位置(S611)。然后利用升降部13使SCARA机械臂11下降(S612)。最后关闭闸门12(S613)。
关于表示盒载出时的移载动作的时序图，由于与图8所示的表示盒载出时的移载动作的时序图相同，所以此处省略说明。
这样，根据本发明的实施方式，即使在盒载出时，也和盒载入时同样，在发送移载请求信号的同时执行移载前动作，在互锁成立后立即执行正式移载动作，并且在发送移载结束请求信号的同时执行移载后动作。由此，不会产生无人搬送车1的待机时间，缩短移载动作整体中必要的停止时间。
如上所述，根据本实施方式的搬送系统，无人搬送车在到达了移载对方的处理装置站的面前之后，(1)在互锁成立之前，执行闸门打开动作、台旋转动作、SCARA机械臂升降动作、修正旋转动作等不侵入对方的处理装置的区域范围内的移载动作；(2)在互锁成立后，立即执行SCARA机械臂的伸缩动作、臂上旋转动作、SCARA机械臂升降动作等侵入对方的处理装置的区域内的正式移载动作；(3)在互锁解除之前，执行物品支撑台和旋转台的原点返回动作、SCARA机械臂的升降动作、闸门关闭动作等不侵入对方的处理装置的区域范围内的移载后动作，由此，削减了无人搬送车的待机时间，并且缩短了停止时间，其结果，可缩短制造时间，降低制造成本。
以上，结合实施方式对本发明的搬送系统进行了说明，但本发明不限于这些实施方式。
例如，在本实施方式中，移载物是晶片盒，但本发明不限于这样的半导体器件制造工序中的搬送系统，在把大片玻璃作为移载物的液晶显示器的制造生产线等中，使用了互锁通信的无人搬送车搬送移载物的系统也可以，当然也可以用于其他的搬送系统。
另外，在本实施方式中，采用了光数据通信作为互锁通信手段，但本发明不限于这样的光数据通信，也可以是使用了RF频段或红外线的无线通信。
另外，在本实施方式中，无人搬送车具有SCARA机械臂，但本发明不限于把这样的无人搬送车作为主体进行移载动作的搬送系统，也可以是由设置的处理装置具有SCARA机械臂等移载机构，执行基于互锁通信的移载动作的搬送系统。即，在取得移载许可信号之前在不侵入对方侧的范围内进行移载动作的主体也可以不是无人搬送车，而是处理装置。并且，在移载机构部从对方侧退出时发出结束请求信号的主体也可以不是无人搬送车，而是处理装置。
另外，在本实施方式中，搬送系统由无人搬送车和处理装置构成，但也可以由无人搬送车和无人搬送车构成，也可以取代无人搬送车而由有人搬送车构成。
另外，在本实施方式中，在无人搬送车到达处理装置站的面前开始互锁通信，但也可以在无人搬送车到达处理装置站的面前之前开始互锁通信。只是，在这种情况下，正式移载动作当然应该在无人搬送车停止后执行，在无人搬送车的移动中可以执行的移载前动作必须限定为对移载物和无人搬送车不会造成损伤的动作。
产业上应用的可能性
本发明可以作为半导体器件和液晶显示器等的生产线上的具备了互锁功能的搬送系统、无人搬送车、以及处理装置，在产业上应用。

Claims (6)

1.一种搬送系统，用于在搬送车与装置之间移载物品，其特征在于，
上述搬送车和上述装置的一方具有：
移载机构部，其通过把所装载的物品递交给作为上述搬送车和上述装置的另一方的对方侧，或从对方侧把物品取出，来移载物品；
通信单元，其向上述对方侧发出请求许可移载的移载请求信号，并取得用于表示许可该请求的移载许可信号；以及
控制单元，其在上述通信单元取得上述移载许可信号之前，控制上述移载机构部，以使上述移载机构部在不侵入上述对方侧的范围内进行移载动作。
2.根据权利要求1所述的搬送系统，其特征在于，
上述移载机构部具有覆盖所装载的物品的闸门，
上述控制单元，作为不侵入上述对方侧范围内的移载动作，进行打开上述闸门的控制。
3.根据权利要求1所述的搬送系统，其特征在于，
上述通信单元还向上述对方侧发送用于请求许可移载的结束的结束请求信号，并取得用于表示许可该请求的结束许可信号，
上述控制单元还在上述移载机构部从上述对方侧退出时，控制上述通信单元，以使上述通信单元发出上述结束请求信号。
4.一种搬送方法，用于在搬送车与装置之间移载物品，其特征在于，
包括：通信步骤，在上述搬送车与上述装置之间，进行从一方装置向另一方装置请求许可移载，从上述另一方装置向上述一方装置提示针对该请求的许可的通信；以及
移载步骤，通过由上述一方装置把所装载的物品递交给上述另一方装置，或者由上述一方装置从上述另一方装置取出物品，来移载物品，
在上述通信步骤中提示上述许可之前，开始上述移载步骤。
5.根据权利要求4所述的搬送方法，其特征在于，
在上述移载步骤中，由上述通信步骤提示上述许可之前，由上述一方装置进行侵入上述另一方装置之前的移载动作。
6.一种搬送车，在与对方装置之间移载物品，其特征在于，
具有：
移载机构部，其通过把所装载的物品递交给上述对方装置，或从对方装置取出物品，来移载物品；
通信单元，其向上述对方装置发出请求许可移载的移载请求信号，并从上述对方装置取得用于表示许可该请求的移载许可信号；以及
控制单元，其在上述通信单元取得上述移载许可信号之前，控制上述移载机构部，以使上述移载机构部在不侵入上述对方装置的范围内进行移载动作。
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