JP6095333B2 - 基板処理ライン、基板処理方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1実施形態にかかる基板処理ラインの一例を模式的に示した図である。同図および以下に示す図では、基板搬送方向をX軸方向とし、X軸方向に直交する直交方向をY軸方向とするXY直交座標軸を適宜示すこととする。この基板処理ライン1は、複数台(2台)の基板処理装置2、3をこの順番で基板搬送方向Xに配列し、基板搬送方向Xに基板A(図4)を搬送しつつ、基板処理装置2、3のそれぞれで基板Aに所定の処理を行う。
Processing Unit)やメモリーで構成されており、基板処理装置2で実行される動作を統括的に制御する。具体的には、制御回路27は、搬送ステージ10による基板Aの基板搬送方向Xへの搬送を制御したり、駆動制御信号Idを駆動機構21に与えて可動コンベア100dのY軸方向への位置を調整したりする。入出力回路29は、伝送信号として伝送可能に変換された信号を外部と送受信する回路であり、具体的には、基板処理装置3の入出力回路39との間で伝送信号を通信する。
・下流装置3の搬送ステージ10b上に基板Aが存在しないこと
・上流装置2で搬出対象の基板Aを支持する搬送ステージ10aに対して基板搬送方向Xに直列に並ぶ位置に、下流装置3の搬送ステージ10bが存在すること
が確認される。そして、制御回路27は、上記の搬出条件が満足されずに基板搬出が不能である場合(ステップS101で「NO」の場合)は、基板搬出を待機させ、上記の搬出条件が満足されて基板搬出が可能である場合(ステップS101で「YES」の場合)は、ステップS102に進む。
・搬送ステージ10bの幅が搬入されてきた基板Aの幅に対して適切であること
・搬送ステージ10bが搬入されてきた基板Aを受け取る受渡位置に存在すること
が求められる。つまり、受取条件の前者が満足されていない場合は、ステージ幅調整動作が必要となり、受取条件の後者が満足されていない場合は、ステージ移動動作が必要となる。換言すれば、受取条件の後者は、搬出対象の基板Aを支持する搬送ステージ10aに対して基板搬送方向Xに直列に並ぶ受渡位置Pr(図4)に、下流装置3の搬送ステージ10bが存在することを要求する。そして、ステップS204では、受取条件が満たされているか否かを判断した結果に基づいて、ステージ幅調整動作やステージ移動動作の要否が判断されて、可動コンベア100dを移動させるかが決定される。
図7は、本発明の第2実施形態にかかる基板処理ラインの一例を模式的に示した図である。第2実施形態の基板処理ライン1は、基板処理装置2、3の配列が第1実施形態のそれに対して反転している点で、第1実施形態の基板処理ライン1と異なる。したがって、基板処理装置2、3それぞれの詳細な構成は、第1実施形態で上述した内容と共通するため、説明を適宜省略する。
・下流装置2の基板Aの搬出先となる搬送ステージ10a上に基板Aが存在しないこと
・下流装置2で搬出対象の基板Aを受け入れる搬送ステージ10aに対して基板搬送方向Xに直列に並ぶ位置に、上流装置3の搬送ステージ10bが存在すること
が確認される。そして、制御回路37は、上記の搬出条件が満足されずに基板搬出が不能である場合(ステップS301で「NO」の場合)は、基板搬出を待機させ、上記の搬出条件が満足されて基板搬出が可能である場合(ステップS301で「YES」の場合)は、ステップS302に進む。
以上のように上記実施形態では、基板処理ライン1が本発明の「基板処理ライン」の一例に相当し、基板処理装置2、3が本発明の「処理装置」の一例に相当し、基板処理装置3が本発明の「一の処理装置」の一例に相当し、基板処理装置2が本発明の「他の処理装置」の一例に相当し、基板センサSbiが本発明の「一の位置検出部」の一例に相当し、基板センサSaoが本発明の「他の位置検出部」の一例に相当し、駆動機構31が本発明の「駆動部」の一例に相当し、制御回路37が本発明の「制御部」の一例に相当し、制御回路37と入出力回路39が協働して本発明の「通信制御部」の一例として機能し、ケーブルCsが本発明の「ケーブル」の一例に相当している。
2…基板処理装置(他の処理装置)
3…基板処理装置(一の処理装置)
10,10a,10b,10c…搬送ステージ
21…駆動機構
27…制御回路
29…入出力回路
31…駆動機構(駆動部)
37…制御回路(制御部、通信制御部)
39…入出力回路(通信制御部)
100…コンベア
100d…可動コンベア
A…基板
Cs…ケーブル
Id…駆動制御信号
Is…出力信号
Pp…処理位置
Pr…受渡位置
Sai,Sam,Sao,Sbi,Sbm,Sbo,Sci,Scm,Sco…基板センサ
Sbi…基板センサ(一の位置検出部)
Sao…基板センサ(他の位置検出部)
X…基板搬送方向
Claims (10)
- 基板を支持しつつ基板搬送方向に搬送するコンベアを具備する処理装置を前記基板搬送方向に複数併設し、前記複数の処理装置の前記コンベアの間で前記基板を受け渡しつつ前記各処理装置で前記基板に処理を行う基板処理ラインにおいて、
前記複数の処理装置のうち、前記基板搬送方向に直交する直交方向に移動自在な可動コンベアを前記コンベアとして具備する一の処理装置の前記可動コンベアを、前記直交方向に駆動する駆動部と、
前記駆動部による前記可動コンベアの移動を制御する制御部と、
前記一の処理装置の前記可動コンベアに支持された前記基板の前記基板搬送方向における位置を検出する一の位置検出部と、
前記複数の処理装置のうちの前記一の処理装置に隣接する他の処理装置の前記コンベアに支持された前記基板の前記基板搬送方向における位置を検出する他の位置検出部と
を備え、
前記制御部は、前記一の処理装置の前記可動コンベアと前記他の処理装置の前記コンベアとの間で前記基板を受け渡す基板受渡動作の実行状況を、前記一の位置検出部および前記他の位置検出部の両方の検出結果から判断した結果に基づいて、前記駆動部による前記可動コンベアの移動を制御するとともに、前記一の位置検出部と前記他の位置検出部の両方が前記基板を検出していないことを確認することで、前記一の処理装置の前記可動コンベアと前記他の処理装置の前記コンベアとの間を跨った前記基板が存在しないと判断する基板処理ライン。 - 前記制御部は、前記一の位置検出部および前記他の位置検出部の両方の検出結果から、前記基板受渡動作が実行中であると判断すると、前記駆動部は前記可動コンベアの移動を禁止する請求項1に記載の基板処理ライン。
- 前記制御部は、前記一の処理装置の前記可動コンベアによる前記基板の支持状態を判断した結果に基づいて、前記駆動部による前記可動コンベアの移動を制御する請求項1または2に記載の基板処理ライン。
- 前記一の処理装置では、前記直交方向に並ぶ2個の前記可動コンベアによって構成される支持テーブルが前記基板を支持しつつ前記基板搬送方向に搬送し、
前記駆動部は、前記2個の可動コンベアの間隔を変更するステージ幅変更動作および前記2個の可動コンベアをそれぞれの間隔を保ったまま移動させるステージ移動動作を実行する請求項3に記載の基板処理ライン。 - 前記制御部は、前記2個の可動コンベアによって前記基板が支持されていると判断すると、少なくとも前記ステージ幅変更動作を禁止する請求項4に記載の基板処理ライン。
- 前記制御部は、前記基板搬送方向において前記2個の可動コンベアそれぞれの内側に前記基板が収容されており、かつ前記基板受渡動作が実行中でないと判断すると、前記ステージ移動動作を許可する請求項5に記載の基板処理ライン。
- 前記制御部は、前記基板搬送方向において前記基板が収容範囲外にあると判断すると、前記ステージ幅変更動作および前記ステージ移動動作の両方を禁止する請求項5または6に記載の基板処理ライン。
- 前記制御部は、前記一の処理装置に配置される請求項1ないし7のいずれか一項に記載の基板処理ライン。
- 前記一の処理装置および前記他の処理装置は、相互に伝送信号をやり取りする通信制御部をそれぞれ有し、
前記他の処理装置は、前記他の位置検出部の検出結果を前記通信制御部に送るケーブルを有し、
前記他の処理装置の前記通信制御部は、前記ケーブルを介して受け取った検出結果を前記伝送信号に変換して、前記一の処理装置の前記通信制御部へ出力する請求項1ないし8のいずれか一項に記載の基板処理ライン。 - 基板を支持しつつ基板搬送方向に搬送するコンベアを具備する処理装置を前記基板搬送方向に複数併設し、前記複数の処理装置の前記コンベアの間で前記基板を受け渡しつつ前記各処理装置で前記基板に処理を行う基板処理方法において、
前記複数の処理装置のうち、前記基板搬送方向に直交する直交方向に移動自在な可動コンベアを前記コンベアとして具備する一の処理装置の前記可動コンベアに支持された前記基板の前記基板搬送方向における位置を一の位置検出結果として検出する工程と、
前記複数の処理装置のうち、前記一の処理装置に隣接する他の処理装置の前記コンベアに支持された前記基板の前記基板搬送方向における位置を他の位置検出結果として検出する工程と、
前記一の処理装置の前記可動コンベアと前記他の処理装置の前記コンベアとの間で前記基板を受け渡す基板受渡動作の実行状況を、前記一の位置検出結果および前記他の位置検出結果の両方から判断した結果に基づいて、前記可動コンベアの移動を制御する工程と
を備え、
前記一の位置検出結果と前記他の位置検出結果の両方が前記基板を検出していないことを確認することで、前記一の処理装置の前記可動コンベアと前記他の処理装置の前記コンベアとの間を跨った前記基板が存在しないと判断する基板処理方法。
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