CN103832798B - 基板处理线及基板处理方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及基板处理线及基板处理方法，所述基板处理线包括具备支撑基板并沿基板搬送方向搬送该基板的搬送带的多个处理装置。其中一处理装置具备作为所述搬送带的可动搬送带，该可动搬送带在与所述基板搬送方向正交的正交方向上移动自如。所述一处理装置及与该一处理装置相邻的另一处理装置中设置有检测基板位置的一位置检测部及另一位置检测部。控制可动搬送带的移动的控制部根据从所述一位置检测部及所述另一位置检测部这两者的检测结果判断在所述一处理装置的所述可动搬送带与所述另一处理装置的所述搬送带之间交接所述基板的基板交接动作的执行状况的结果，来控制所述可动搬送带的移动。由此，抑制可动搬送带在不适当的时期的移动。

Description

基板处理线及基板处理方法

技术领域

本发明涉及以下的基板处理技术：排列设置多台具备支撑基板并搬送该基板的搬送带的处理装置，在相邻的处理装置的所述搬送带间交接基板，并且在各处理装置中对基板进行处理。

背景技术

日本专利公开公报特开2010-087136号(专利文献)中公开了一种基板处理线(该专利文献的元件安装线)，该基板处理线中，基板投入机和元件安装机依次沿基板搬送方向排列，执行基板投入机与元件安装机之间的基板交接和对基板的处理。具体而言，基板投入机进行向位于基板搬送方向下游侧的元件安装机投入基板的处理，元件安装机进行对从基板搬送方向上游侧投入的基板安装元件的处理。而且，基板投入机及元件安装机等各处理装置具备通过搬送带沿基板搬送方向搬送基板的结构。因此，在相邻的处理装置各自的搬送带之间执行基板的交接，并在这些处理装置间执行基板的搬送。

上述处理装置中，通过采用使用在与基板搬送方向正交的正交方向上移动自如的可动搬送带来进行基板的支撑及搬送的结构，从而能够实现处理装置通用性的提高。但是，在排列有多个处理装置的基板处理线中，在利用具备可动搬送带的处理装置时，存在如下问题。即，可动搬送带的移动不能在任意时期进行。当在可动搬送带与其他搬送带之间进行基板的交接时，如果不慎移动可动搬送带，有可能无法由这些搬送带来可靠地支撑基板。因此，要求判断这些搬送带间的基板交接执行状况，以抑制可动搬送带的在不适当的时期的移动。

发明内容

本发明的目的在于在包含相互邻接的处理装置的基板处理线中抑制可动搬送带在不适当的时期的移动，所述相互邻接的处理装置的至少一者具备可动搬送带。

实现该目的的本发明的一方面所涉及的基板处理线包括：多个处理装置，分别具备支撑基板并沿基板搬送方向搬送该基板的搬送带，多个所述处理装置沿所述基板搬送方向排列设置，在多个所述处理装置的所述搬送带之间交接所述基板，各所述处理装置对所述基板进行处理；驱动部，沿与所述基板搬送方向正交的正交方向驱动多个所述处理装置中的一处理装置所具备的作为所述搬送带的可动搬送带，该可动搬送带在所述正交方向上移动自如；控制部，控制基于所述驱动部的所述可动搬送带的移动；一位置检测部，检测所述一处理装置的所述可动搬送带所支撑的所述基板在所述基板搬送方向上的位置；另一位置检测部，检测多个所述处理装置中的与所述一处理装置相邻的另一处理装置的所述搬送带所支撑的所述基板在所述基板搬送方向上的位置；其中，所述控制部根据从所述一位置检测部及所述另一位置检测部这两者的检测结果判断在所述一处理装置的所述可动搬送带与所述另一处理装置的所述搬送带之间交接所述基板的基板交接动作的执行状况的结果，来控制基于所述驱动部的所述可动搬送带的移动，所述控制部根据判断所述一处理装置的所述可动搬送带的支撑所述基板的支撑状态的结果，控制基于所述驱动部的所述可动搬送带的移动，所述可动搬送带为两个，所述一处理装置还具备支撑台，该支撑台包含沿所述正交方向排列的两个所述可动搬送带，该支撑台支撑所述基板并沿所述基板搬送方向搬送该基板，所述驱动部执行变更两个所述可动搬送带的间隔的台宽度变更动作及使两个所述可动搬送带在保持彼此的间隔的状态下移动的台移动动作。

本发明的另一方面所涉及的基板处理方法，将具备支撑基板并沿基板搬送方向搬送该基板的搬送带的处理装置沿所述基板搬送方向排列设置多个，在多个所述处理装置的所述搬送带之间交接所述基板并在各所述处理装置中对所述基板进行处理，所述基板处理方法包括如下步骤：检测多个所述处理装置中的、具备两个可动搬送带作为所述搬送带的一处理装置的所述可动搬送带所支撑的所述基板在所述基板搬送方向上的位置，以作为一位置检测结果的步骤，两个所述可动搬送带在与所述基板搬送方向正交的正交方向上移动自如、且沿所述正交方向排列；检测多个所述处理装置中的与所述一处理装置相邻的另一处理装置的所述搬送带所支撑的所述基板在所述基板搬送方向上的位置，以作为另一位置检测结果的步骤；根据从所述一位置检测结果及所述另一位置检测结果这两者判断在所述一处理装置的所述可动搬送带与所述另一处理装置的所述搬送带之间交接所述基板的基板交接动作的执行状况的结果，来控制所述可动搬送带的移动的步骤；根据判断所述一处理装置的两个所述可动搬送带的支撑所述基板的支撑状态的结果，通过沿所述正交方向驱动所述可动搬送带的驱动部来控制两个所述可动搬送带的移动的步骤；由沿所述正交方向排列的两个可动搬送带构成的支撑台支撑所述基板并沿所述基板搬送方向搬送该基板的步骤；执行变更两个所述可动搬送带的间隔的台宽度变更动作及使两个所述可动搬送带在保持彼此的间隔的状态下移动的台移动动作的步骤。

根据上述发明，能够抑制可动搬送带在不适当的时期的移动。

附图说明

图1是示意性地表示本发明的第一实施方式所涉及的基板处理线的一例的图。

图2是表示在第一实施方式中上游侧的基板处理装置所执行的基板搬出处理的一例的流程图。

图3是表示在第一实施方式中下游侧的基板处理装置所执行的基板搬入处理的一例的流程图。

图4是示意性地表示按照图2及图3的流程图执行的具体动作的一例的动作图。

图5是表示图4中例示的动作的时间经过的时序图。

图6是示意性地表示基板交接动作的各执行状况的一例的图。

图7是示意性地表示本发明的第二实施方式所涉及的基板处理线的一例的图。

图8是表示在第二实施方式中上游侧的基板处理装置所执行的基板搬出处理的一例的流程图。

图9是表示在第二实施方式中下游侧的基板处理装置所执行的基板搬入处理的一例的流程图。

图10是示意性地表示按照图8及图9的流程图执行的具体动作的一例的动作图。

图11是表示图10中例示的动作的时间经过的时序图。

具体实施方式

＜第一实施方式＞

图1是示意性地表示本发明的第一实施方式所涉及的基板处理线的一例的图。在该图及以下所示的图中，将适当示出设基板搬送方向为X轴方向、与X轴方向正交的正交方向为Y轴方向的XY正交坐标轴。该基板处理线1将多台(两台)基板处理装置2、3(多个处理装置)依次沿基板搬送方向X排列(排列设置)，沿基板搬送方向X搬送基板A(图4)，并且在基板处理装置2、3各自中对基板A进行指定的处理。

在基板处理线1中设置在基板搬送方向X的上游侧的基板处理装置2(另一处理装置，也就是第二处理装置)是将两台搬送台10沿Y轴方向排列，从而排列设置有两条基板搬送路径的所谓双路式处理装置。各搬送台10包含沿Y轴方向排列的两条搬送带100。各搬送带100从下方支撑基板A并沿基板搬送方向X搬送基板A。因此，搬送台10通过使构成自身的两条搬送带100工作，从而沿基板搬送方向X搬送基板A。在基板搬送方向X的上游侧的基板处理装置2的壁面，相对于两台搬送台10，分别开设有基板A的搬入口20i。在基板搬送方向X的下游侧的基板处理装置2的壁面，相对于两台搬送台，分别开设有基板A的搬出口20o。

从搬入口20i搬入基板处理装置2内的基板A相对于构成搬送台10的两条搬送带100沿Y轴方向架设，由搬送台10予以支撑。这样搬入的基板A由搬送台10沿基板搬送方向X搬送，并在作业位置Pa处停止以接受指定的处理。当在作业位置Pa处完成对基板A的处理时，搬送台10从作业位置Pa沿基板搬送方向X搬送基板A，朝向设置在基板搬送方向X的下游侧的基板处理装置3(一处理装置，也就是第一处理装置)搬出。

如上所述，该基板处理装置2具备两台搬送台10。因此，对于被定位在两台搬送台10各自的作业位置Pa处的基板A，能够并行地执行指定的处理。作为基板处理装置2所执行的处理的具体内容，可列举焊料糊剂往基板A上的印刷、电子元件往基板A上的安装等。例如，当如日本专利公开公报特开2011-151222号中公开的双路式印刷装置般构成基板处理装置2时，能够在两处作业位置Pa分别对基板A执行印刷处理。或者，当如日本专利公开公报特开2011-142241号中公开的双路式元件安装装置般构成基板处理装置2时，能够在两处作业位置Pa分别对基板A执行元件安装处理。另外，无须在两处作业位置Pa都进行同种处理，例如，也可以在一方的作业位置Pa执行印刷处理，并且在另一方的作业位置Pa执行元件安装处理。

此处，详细说明基板处理装置2中所设的搬送台10的详细结构。另外，由于两台搬送台10(10a)均具备同样的结构，因此，此处基本上对一台搬送台10进行说明。基板处理装置2中所设的搬送台10以改变在Y轴方向(正交方向)上的宽度的方式构成。即，构成搬送台10的两条搬送带100中的一条(Y轴方向外侧)的搬送带100d是接受来自驱动机构21的驱动力而向Y轴方向移动的可动搬送带100d。因此，通过利用驱动机构21来向Y轴方向移动可动搬送带100d，能够使两条搬送带100d、100的间隔在Y轴方向上发生变化，从而能够变更搬送台10在Y轴方向上的宽度(台宽度变更动作)。由此，在Y轴方向上，能够根据基板A的宽度来适当调整搬送台10的宽度。另外，作为使可动搬送带100d移动的驱动机构21的具体结构，能够使用以往已知的各种驱动机构。

在构成搬送台10的两条搬送带100中的一者处，沿基板搬送方向X隔开间隔排列的三个基板传感器Sai、Sam、Sao以从上方与该一者相向的方式设置。这些基板传感器Sai、Sam、Sao为光学式传感器。基板传感器Sai是设置在搬送带100的基板搬送方向X的上游端的传感器，位于基板A的搬入口20i附近。基板传感器Sam设置在基板搬送方向X上的搬送带100的中央稍下游侧。基板传感器Sao(另一位置检测部，也就是第二位置检测部)是设置在搬送带100的基板搬送方向X的下游端的传感器，位于基板A的搬出口20i附近。这些基板传感器Sai、Sam、Sao各自检测存在于正下方的基板A，若存在基板A则输出“ON”，若不存在基板A则输出“OFF”。因此，能够根据基板传感器Sai、Sam、Sao的输出信号Is来掌握由搬送台10a所支撑的基板A在基板搬送方向X上的位置。

基板处理装置2除了上述机械结构以外，作为电气结构，还具备控制电路27(通信控制部的一部分)及输入输出电路29(通信控制部的一部分)。控制电路27包含中央处理器(Central Processing Unit，CPU)及存储器，统一控制由基板处理装置2所执行的动作。具体而言，控制电路27控制搬送台10在基板搬送方向X上对基板A的搬送，或者将驱动控制信号Id给予驱动机构21以调整可动搬送带100d在Y轴方向上的位置。输入输出电路29是与外部收发已转换成能够作为传输信号来传输的信号的电路，具体而言，在与基板处理装置3的输入输出电路39(一处理装置的通信控制部的一部分)之间进行传输信号的通信。

本实施方式中，在基板处理装置2、3各自的输入输出电路29、39之间，交换基板传感器的输出信号Is。输出信号Is从基板传感器经由线缆Cs被送往控制电路27。控制电路27将输出信号Is转换成传输信号，并经由输入输出电路29将所述传输信号输出至基板处理装置3。这样的结构中，不论是否将来自基板传感器的输出信号Is送到基板处理装置3，作为线缆Cs，只要从基板传感器将输出信号Is输出到控制电路27即可，因此无须将线缆Cs绕设到基板处理装置3。其结果，线缆Cs的绕设变得容易。

在基板处理线1中设置在基板搬送方向X的下游侧的基板处理装置3沿基板搬送方向X串联排列有两台搬送台10(10b、10c)。各搬送台10包含沿Y轴方向排列的两条搬送带100(支撑台)。通过使这些搬送带100工作，从而支撑并沿基板搬送方向X搬送基板A。在基板搬送方向X的上游侧的基板处理装置3的壁面，与基板处理装置2的两个搬出口20o分别相向地开设有基板A的搬入口30i。在基板搬送方向X的下游侧的基板处理装置3的壁面，开设有一个基板A的搬出口30o。

从基板处理装置2经由搬入口30i搬入基板处理装置3内的基板A相对构成上游侧的搬送台10b的两条搬送带100沿Y轴方向架设，由搬送台10b予以支撑。这样搬入的基板A由搬送台10b沿基板搬送方向X搬送，并在作业位置Pb处接受指定的处理。当作业位置Pb处的基板A完成处理时，搬送台10b从作业位置Pb沿基板搬送方向X搬送基板A，以交接给下游侧的搬送台10c。

这样交接的基板A相对于构成下游侧的搬送台10c的两条搬送带100沿Y轴方向架设，由搬送台10c予以支撑。并且，基板A由搬送台10c沿基板搬送方向X搬送，并在作业位置Pc处接受指定的处理。当作业位置Pc处的基板A完成处理时，搬送台10c从作业位置Pc沿基板搬送方向X搬送基板A，并从搬出口30o搬出。

如上所述，该基板处理装置3具备两台搬送台10。因此，对于被定位在两台搬送台10各自的作业位置Pb、Pc的基板A，能够并行地执行指定的处理。本例中，基板处理装置3在作业位置Pb、Pc分别对基板A执行元件安装处理。

此处，详细说明基板处理装置3中所设的搬送台10的详细结构。另外，由于两台搬送台10均具备同样的结构，因此，此处基本上对一台搬送台10进行说明。基板处理装置3中所设的搬送台10以改变在Y轴方向(正交方向)上的宽度的方式构成。即，构成搬送台10的两条搬送带100均是接受来自驱动机构31的驱动力而向Y轴方向移动的可动搬送带100d。因此，通过利用驱动机构31来向Y轴方向移动可动搬送带100d，能够使两条搬送带100d、100d的间隔在Y轴方向上发生变化，从而能够变更搬送台10在Y轴方向上的宽度(台宽度变更动作)。由此，在Y轴方向上，能够根据基板A的宽度来恰当调整搬送台10的宽度。而且，通过利用驱动机构31使两条可动搬送带100在保持彼此的间隔的状态下向Y轴方向移动，从而能够使搬送台10在保持其宽度的状态下向Y轴方向移动(台移动动作)。另外，作为使可动搬送带100d移动的驱动机构31的具体结构，能够使用以往已知的各种驱动机构。

在构成上游侧的搬送台10b的两条搬送带100中的一者处，沿基板搬送方向X隔开间隔排列的三个基板传感器Sbi、Sbm、Sbo以从上方与该一者相向的方式设置。这些基板传感器Sbi、Sbm、Sbo为光学式传感器。基板传感器Sbi(一位置检测部，也就是第一位置检测部)是设置在搬送带100的基板搬送方向X的上游端的传感器，位于基板A的搬入口30i附近。基板传感器Sbm设置在基板搬送方向X上的搬送带100的中央稍下游侧。基板传感器Sbo是设置在搬送带100的基板搬送方向X的下游端的传感器，位于下游侧的搬送台10c附近。这些基板传感器Sbi、Sbm、Sbo各自检测存在于正下方的基板A，若存在基板A，则输出“ON”，若不存在基板A，则输出“OFF”。因此，能够根据基板传感器Sbi、Sbm、Sbo的输出信号Is来掌握由搬送台10b所支撑的基板A在基板搬送方向X上的位置。

而且，在构成下游侧的搬送台10c的两条搬送带100中的一者处，沿基板搬送方向X隔开间隔排列的三个基板传感器Sci、Scm、Sco以从上方与该一者相向的方式设置。这些基板传感器Sci、Scm、Sco为光学式传感器。基板传感器Sci是设置在搬送带100的基板搬送方向X的上游端的传感器，位于上游侧的搬送台10b附近。基板传感器Scm设置在基板搬送方向X上的搬送带100的中央稍下游侧。基板传感器Sco是设置在搬送带100的基板搬送方向X的下游端的传感器，位于基板A的搬出口30o附近。这些基板传感器Sci、Scm、Sco各自检测存在于正下方的基板A，若存在基板A，则输出“ON”，若不存在基板A，则输出“OFF”。因此，能够根据基板传感器Sci、Scm、Sco的输出信号Is来掌握由搬送台10c所支撑的基板A在基板搬送方向X上的位置。

基板处理装置3除了上述机械结构以外，作为电气结构，还具备控制电路37(通信控制部的一部分)及输入输出电路39(通信控制部的一部分)。控制电路37包含CPU及存储器，统一控制由基板处理装置3所执行的动作。具体而言，控制电路37控制搬送台10在基板搬送方向X上对基板A的搬送，或者将驱动控制信号Id给予驱动机构31以调整可动搬送带100d在Y轴方向上的位置。输入输出电路39是与外部收发已转换成能够作为传输信号来传输的信号的电路，具体而言，在与基板处理装置2的输入输出电路29之间进行传输信号的通信。

本实施方式中，在基板处理装置2、3各自的输入输出电路29、39之间，交换基板传感器的输出信号Is。输出信号Is从基板传感器经由线缆Cs被送往控制电路37。控制电路37将输出信号Is转换成传输信号，并经由输入输出电路39将所述传输信号输出至基板处理装置3。这样的结构中，不论是否将来自基板传感器的输出信号Is送到基板处理装置2，作为线缆Cs，只要从基板传感器将输出信号Is输出到控制电路37即可，因此无须将线缆Cs绕设到基板处理装置2。其结果，线缆Cs的绕设变得容易。

在沿基板搬送方向X串联排列有基板处理装置2、3的基板处理线1中，执行从基板处理装置2的搬送台10a将基板A交接给基板处理装置3的搬送台10b的基板交接动作。该基板交接动作是伴随下游侧的基板处理装置3搬入上游侧的基板处理装置2所搬出的基板A的动作而执行。因此，下面详述基板A的搬出处理及搬入处理和伴随于此而被执行的基板交接动作。

图2是表示在第一实施方式中上游侧的基板处理装置2所执行的基板搬出处理的一例的流程图。图3是表示在第一实施方式中下游侧的基板处理装置3所执行的基板搬入处理的一例的流程图。另外，在第一实施方式中的以下的说明中，适当地将上游侧的基板处理装置2称作上游装置2，将下游侧的基板处理装置3称作下游装置3。

首先，利用图2说明搬出基板A的上游装置2的动作。另外，图2的流程是在上游装置2的控制电路27的控制下执行。当借助上游装置2的基板搬出的流程开始时，在步骤S101中，判定是否能够从上游装置2搬出基板A。换言之，控制电路27确认下游装置3的搬送台10b是否处于接纳基板A的状态。具体而言，确认如下搬出条件：

●下游装置3的搬送台10b上不存在基板A；

●相对于上游装置2中支撑作为搬出对象的基板A的搬送台10a，在沿基板搬送方向X串联排列的位置处，存在下游装置3的搬送台10b。

控制电路27在不满足上述搬出条件而不能搬出基板时(步骤S101中为“否”时)，等待基板搬出。另一方面，控制电路27在满足上述搬出条件而能够搬出基板时(步骤S101中为“是”时)，使处理前进至步骤S102。

步骤S102中，载置(支撑)有作为搬出对象的基板A的搬送台10a的各搬送带100工作，基板A沿基板搬送方向X受到搬送，并从上游装置2搬出。继而，步骤S103中，确认载置有作为搬出对象的基板A的搬送台10a的基板传感器Sao发出的输出信号Is是否为“OFF”。若确认基板A已通过基板传感器Sao的正下方，基板传感器Sao的输出信号Is为“OFF”(步骤S103中判断为“是”时)，使处理前进至步骤S104。步骤S104中，确认从基板传感器Sao的输出信号Is变成“OFF”开始是否已经过了指定时间。若确认经过了指定时间(步骤S104中判断为“是”时)，结束上游装置2对基板搬出的流程。

继而，利用图3说明搬入基板A的下游装置3的动作。另外，图3的流程是在下游装置3的控制电路37的控制下执行。当借助下游装置3的基板搬入的流程开始时，在步骤S201中，判断下游装置3中是否能够搬入基板A。具体而言，确认要求下游装置3的搬送台10b上不存在基板A的搬入条件。控制电路37在不满足上述搬入条件而不能搬入基板时(步骤S201中为“否”时)，等待搬入基板。另一方面，控制电路37在满足上述搬入条件而能够搬入基板时(步骤S201中为“是”时)，使处理前进至步骤S202。

步骤S202中，确认上游装置2的搬出口20o附近的两基板传感器Sao、下游装置3的搬送台10b的上下游端的基板传感器Sbi、Sbo及下游装置3的搬送台10c的上游端的基板传感器Sci的输出信号Is全部为“OFF”。这是确认基板A并非处于横跨接纳基板A的搬送台10b与相邻的搬送台10a或搬送台10c之间的状态中。具体而言，通过确认基板传感器Sao、Sbi这两者为“OFF”，从而确认不存在横跨搬送台10b与搬送台10a之间的基板A。而且，通过确认基板传感器Sbo、Sci这两者为“OFF”，从而确认不存在横跨搬送台10b与搬送台10c之间的基板A。

步骤S202中，若无法确认基板传感器Sao、Sbi、Sbo、Sci全部为“OFF”(步骤S202中为“否”时)，控制电路37判断为基板A的交接动作正在执行。并且，控制电路37使处理前进至步骤S203，经由省略图示的用户接口输出错误显示，停止基板A的搬入，结束图3的流程(禁止可动搬送带100d的移动)。另一方面，步骤S202中，若确认了基板传感器Sao、Sbi、Sbo、Sci全部为“OFF”(步骤S202中为“是”时)，则前进至步骤S204，判断可动搬送带100d的移动的必要性。

具体而言，对于搬送台10b，判断台宽度调整动作及台移动动作的必要性。为了向下游装置3搬入基板A，要求以下的接受条件：

●搬送台10b的宽度相对于搬来的基板A的宽度为恰当；

●在取得被搬来的基板A的交接位置存在搬送台10b。

即，若不满足前一个接受条件，则台宽度调整动作成为必要，若不满足后一个接受条件，则台移动动作成为必要。换言之，后一个接受条件要求：相对于支撑作为搬出对象的基板A的搬送台10a，在沿基板搬送方向X串联排列的交接位置Pr(图4)，存在下游装置3的搬送台10b。步骤S204中，基于对是否满足接受条件进行判断的结果，判断是否需要台宽度调整动作或台移动动作，决定是否使可动搬送带100d移动。

为了更具体地说明步骤S204以后的流程，以下并用图4及图5进行说明。图4是示意性地表示按照图2及图3的流程图执行的具体动作的一例的动作图。图4中，例示了上游装置2的两台搬送台10a中的、图1及图4中上侧的搬送台10a搬出作为对象的基板A的情况。图5是表示图4中例示的动作的时间经过的时序图，表示基板传感器Sam、Sao、Sbi、Sbm的输出信号Is及搬送台10b的位置的时间变化。另外，图5的基板传感器Sam、Sao设置在搬出作为对象的基板A的搬送台10a上(即，图1、图4中上侧的搬送台10a)。

如上所述，步骤S204中，判断是否满足上述接受条件。若不满足接受条件，则处理前进至步骤S205，若满足接受条件，则处理前进至步骤S206。图4中，例示了在步骤S204中未满足接受条件的情况。即，图4的“动作M11”一栏所示的例子中，在上游装置2中，基板A被载置于搬送台10a的中央，在下游装置3中，搬送台10b位于处理位置Pp(即未位于交接位置Pr)，不满足接受条件。因此，步骤S204中，至少判断为需要台移动动作，以使搬送台10b移动到交接位置Pr。而且，若搬送台10b的宽度相对于基板A的宽度不适当，则判断为还需要台宽度调整动作。

在紧跟着的步骤S205中，驱动搬送台10b的可动搬送带100d，执行在步骤S204中判断为有必要的动作。其结果，搬送台10b耗费时刻t10～t11从处理位置Pp沿Y轴方向移动到交接位置Pr(图4的“动作M12”、图5)。这样，通过执行步骤S205的动作，从而满足接受条件，前进至步骤S206。

步骤S206中，上游装置2搬出基板A，并且下游装置3搬入基板A。伴随该动作，基板A从上游装置2的搬送台10a移动到下游装置3的搬送台10b。具体而言，如图4所示，基板A经由横跨搬送台10a与搬送台10b上的状态(动作M13)，转移到搬送台10b上(动作M14)。

对应于这样的基板A的移动，各基板传感器产生反应。即，由于基板A通过搬送台10a、10b的边界，因此夹着该边界设置的基板传感器Sao、Sbi各自暂时变成“ON”。具体而言，在时刻t12～t15的期间，基板搬送方向X的上游侧的基板传感器Sao变成“ON”。而且，在比时刻t12～t15稍晚的时刻t13～t16的期间，基板搬送方向X的下游侧的基板传感器Sbi变成“ON”(t12＜t13＜t15＜t16)。由于从上游装置2的搬送台10a搬出基板A，因此相对于搬送台10a的大致中央而设的基板传感器Sam在时刻t14由“ON”变成“OFF”(t13＜t14＜t15)。另一方面，由于向下游装置3的搬送台10b搬入基板A，因此相对于搬送台10b的大致中央而设的基板传感器Sbm在时刻t17由“OFF”变成“ON”。

在紧跟着步骤S206的步骤S207、S208中，确认各基板传感器的状态。即，步骤S207中，控制电路37检测基板传感器Sbm已变成“ON”的情况，判断为基板A向搬送台10b的搬入已完成，使搬送台10b的搬送带100停止。而且，步骤S208中，确认基板传感器Sao、Sbi、Sbo、Sci是否全部为“OFF”。若基板传感器Sao、Sbi、Sbo、Sci中的任一者为“ON”，则控制电路37使处理前进至步骤S203，经由省略图示的用户接口输出错误显示，结束图3的流程。

另一方面，在步骤S208中，若确认基板传感器Sao、Sbi、Sbo、Sci全部为“OFF”，则处理前进至步骤S209。步骤S209中，对于搬送台10b，使可动搬送带100d移动，判断台宽度调整动作或台移动动作的必要性。并且，若无必要(步骤S209中为“否”时)，则控制电路37结束图3的流程图，另一方面，若有必要(步骤S209中为“是”时)，则前进至步骤S210，执行被判断为有必要的动作。

此处，由于基板传感器Sbm变成“ON”，因此判明在搬送台10b上载置有基板A。因此，若对搬送台10b执行台宽度调整动作，则存在搬送台10b对基板A的支撑变得不稳定的危险，因此禁止台宽度调整动作。即，控制电路37在判断为由可动搬送带100d支撑基板A(可动搬送带100d对基板A的支撑状态的判断)时，禁止所述台宽度调整动作。

另一方面，由于基板传感器Sbi、Sbo为“OFF”且基板传感器Sbm为“ON”，因此判明在基板搬送方向X上，基板A收在搬送台10b的内侧。即，判明基板A处于被收容在两个可动搬送带100d在基板搬送方向X上的长度范围内的状态。因此，对于不改变搬送台10b的宽度的台移动动作，能够无问题地执行。尤其，在图4的“动作M14”的时间，搬送台10b处于交接位置Pr。因此，为了在作业位置Pb处对基板A进行处理，必须使搬送台10b移动到处理位置Pp。因此，对搬送台10b执行台移动动作，搬送台10b耗费时刻t18～t19从交接位置Pr沿Y轴方向移动到处理位置Pp(动作M15)。

这样，伴随基板A的搬出及搬入，执行从搬送台10a将基板A交接给搬送台10b的基板交接动作。该基板交接动作的执行状况主要能够根据基板传感器Sao、Sbi的输出信号Is来判断。此处，利用图6说明基板交接动作的执行状况与基板传感器的检测动作的关系。另外，图6是示意性地表示基板交接动作的各执行状况的一例的图。

该图的“执行状况1”，表示基板搬送方向X中基板A的下游端与搬送台10a的下游端一致的、基板交接动作的开始时间。当从该执行状况1开始沿基板搬送方向X搬送基板A时，在基板搬送方向X上，基板A的下游端在被相对于搬送台10a、10b的边界而位于上游侧的基板传感器Sao检测到之后，到达搬送台10b(执行状况2)。随后不久，基板A一边跨着搬送台10a、10b一边沿基板搬送方向X受到搬送，基板A被基板传感器Sao、Sbi这两者检测到(执行状况3)。继而，基板搬送方向X上，基板A的上游端通过了基板传感器Sao之后，到达搬送台10a的下游端(执行状况4)。基板A被进一步受到搬送，在基板搬送方向X上，基板A的上游端到达搬送台10b的上游端的时间，基板交接动作结束(执行状况5)。而且，如上所述，在基板A的搬送及搬出过程中，基板A相比图6的“执行状况5”的状况进一步受到搬送，在基板搬送方向X上，基板A的上游端通过基板传感器Sbi。这样，在基板交接动作的开始及结束的附近，基板A的端部通过基板传感器Sao、Sbi(执行状况1、5)，因此能够根据基板传感器Sao、Sbi的输出信号Is来判断基板交接动作的执行状况。

如以上所说明的，本实施方式中，根据由基板传感器Sao、Sbi(一位置检测部及另一位置检测部)对基板A在基板搬送方向X上的位置进行检测的结果，来判断在上游装置2的搬送台10a与下游装置3的搬送台10b之间执行的基板交接动作的执行状况。尤其，鉴于基板交接动作要由上游装置2与下游装置3的搬送台10a、10b协同执行的情况，由设在上游装置2的搬送台10a侧与下游装置3的搬送台10b侧这两侧的基板传感器Sao、Sbi来检测基板A的位置。因此，能够根据基板A的位置检测结果准确地判断基板交接动作的执行状况。并且，基于这样判断的执行状况(步骤S202、S208的判断结果)，控制构成下游装置3的搬送台10b的可动搬送带100d在Y轴方向上的移动(步骤S204、S205、S208、S209)。因此，例如，不会因基板A逼近或横跨搬送台10a、10b的边界之类的状况导致可动搬送带100d不慎移动，抑制可动搬送带100d在不适当时期的移动。

而且，本实施方式中，还有以下优点：即使在因基板A的翘曲或基板A的切口(狭缝、凹槽)，导致无法从基板传感器Sao、Sbi中的一者获得恰当的基板检测结果的情况下，也能够判断上游装置2与下游装置3之间的基板交接动作的执行状况。即，存在如下情况：因基板A存在翘曲导致基板传感器Sao、Sbi中一者的检测区域偏离基板A，或者因基板A存在切口导致切口覆盖基板传感器Sao、Sbi中一者的检测区域，从而无法从基板传感器Sao、Sbi中的一者获得恰当的基板检测结果。对此，本实施方式中，由执行基板交接动作的上游装置2及下游装置3各自执行借助基板传感器Sao、Sbi的基板检测，因此即使无法从一方的基板传感器获得恰当的基板检测结果，也能够根据另一方的基板传感器的基板检测结果来掌握基板交接动作的执行状况。其结果，即使存在基板A的翘曲或切口的情况下，也能够抑制可动搬送带在不适当时期的移动。

尤其，第一实施方式中，在步骤S202或步骤S208中确认基板传感器Sao、Sbi这两者为“OFF”，然后使可动搬送带100d移动(步骤S205、S210)。因此，在判断为基板交接动作正在执行的情况下，禁止可动搬送带100d的移动。由此，切实地抑制可动搬送带100d在基板交接动作执行过程中的时期内的移动。

另外，还存在如下情况：尽管基板交接动作并不正在执行，但根据搬送台10b对基板A的支撑状态，移动构成搬送台10b的可动搬送带100d并不恰当。因此，本实施方式中，也基于对搬送台10b对基板A的支撑状态进行判断的结果来控制构成搬送台10b的可动搬送带的移动。

具体而言，若判断由搬送台10b支撑着基板A，则至少禁止台宽度变更动作。即，若在由搬送台10b支撑着基板A的情况下执行台宽度变更动作，则搬送台10b对基板A的支撑会变得不稳定。因此，禁止台宽度变更动作为宜。

而且，若判断为基板A在基板搬送方向X上被收在搬送台10b(可动搬送带100d1、100d2)的内侧，即，基板A被收容在搬送台10b在基板搬送方向X上的长度范围内，且基板交接动作并不正在执行，则允许台移动动作。即，在基板A在基板搬送方向X上被收在搬送台10b内侧的情况下，即使进行台移动动作，搬送台10b对基板A的支撑也不会变得不稳定。因此，通过以基板交接动作并不正在执行为条件来允许台移动动作，从而能够抑制台移动动作的频发，能够顺畅地进行基板处理。

另外，若在基板A从搬送台10b(可动搬送带100d1、100d2)突出到基板搬送方向X的下游侧的情况(例如基板A横跨搬送台10b、10c上的情况)，即在基板A未被收容在搬送台10b在基板搬送方向X上的长度范围内的状态中，执行台宽度变更动作或台移动动作，则搬送台10b对基板A的支撑会变得不稳定。对此，本实施方式中，在判断为基板传感器Sbo、Sci为“ON”且这样的基板A的突出未发生的情况下，禁止台宽度变更动作及台移动动作这两者(步骤S202、S208)。由此，抑制搬送台10b对基板A的支撑变得不稳定的情况。

＜第二实施方式＞

图7是示意性地表示本发明的第二实施方式所涉及的基板处理线的一例的图。第二实施方式的基板处理线1与第一实施方式的基板处理线1的不同之处在于，基板处理装置2、3的排列相对于第一实施方式的排列而反转。因此，基板处理装置2、3各自的详细结构与在第一实施方式中上述的内容相同，此处适当省略说明。

第二实施方式的基板处理线1将两台基板处理装置3、2依次沿基板搬送方向X排列，沿基板搬送方向X搬送基板A，并且在基板处理装置3、2各自中对基板A进行处理。这样的基板处理线1中，执行从基板处理装置3的搬送台10b向基板处理装置2的搬送台10a交接基板A的基板交接动作。该基板交接动作是伴随下游侧的基板处理装置2搬入上游侧的基板处理装置3所搬出的基板A的动作而执行。因此，以下详述基板A的搬出处理及搬入处理与伴随于此执行的基板交接动作。

图8表示在第二实施方式中上游侧的基板处理装置3所执行的基板搬出处理的一例的流程图。图9是表示在第二实施方式中下游侧的基板处理装置2所执行的基板搬入处理的一例的流程图。另外，在第二实施方式中的以下的说明中，适当地将上游侧的基板处理装置3称作上游装置3，将下游侧的基板处理装置2称作下游装置2。

首先，利用图8说明搬出基板A的上游装置3的动作。另外，图8的流程是在上游装置3的控制电路37的控制下执行。当借助上游装置3的基板搬出的流程开始时，在步骤S301中，判定是否能够从上游装置3搬出基板A。换言之，控制电路37确认下游装置2中成为基板A的搬出目的地的搬送台10a是否处于接纳基板A的状态。具体而言，确认如下搬出条件：

●下游装置2的成为基板A的搬出目的地的搬送台10a上不存在基板A；

●相对于下游装置2中接纳作为搬出对象的基板A的搬送台10a，在沿基板搬送方向X串联排列的位置，存在上游装置3的搬送台10b。

控制电路37在不满足上述搬出条件而不能搬出基板时(步骤S301中为“否”时)，等待基板搬出。另一方面，控制电路37在满足上述搬出条件而能够搬出基板时(步骤S301中为“是”时)，使处理前进至步骤S302。

步骤S302中，确认下游装置2的搬入口20o附近的两基板传感器Sao、上游装置3的搬送台10b的上下游端的基板传感器Sbi、Sbo及上游装置3的搬送台10c的下游端的基板传感器Sci的输出信号Is全部为“OFF”。这是确认基板A并非处于横跨搬出基板A的搬送台10b与相邻的搬送台10a或搬送台10c之间的状态中。具体而言，通过确认基板传感器Sao、Sbi这两者为“OFF”，从而确认不存在横跨搬送台10a与搬送台10b之间的基板A。而且，通过确认基板传感器Sbo、Sci这两者为“OFF”，从而确认不存在横跨搬送台10a与搬送台10c之间的基板A。

步骤S302中，若无法确认基板传感器Sao、Sbi、Sbo、Sci全部为“OFF”(步骤S302中为“否”时)，控制电路37判断为基板A的交接动作正在执行。并且，控制电路37使处理前进至步骤S303，经由省略图示的用户接口输出错误显示，停止基板A的搬入，结束图8的流程(禁止可动搬送带100d的移动)。另一方面，步骤S302中，若确认了基板传感器Sao、Sbi、Sbo、Sci全部为“OFF”(步骤S302中为“是”时)，则前进至步骤S304，判断可动搬送带100d的移动的必要性。

具体而言，对于搬送台10b，判断台移动动作的必要性。即，为了将基板A搬入下游装置2，要求在向搬送台10a交接基板A的交接位置存在搬送台10b(交接条件)。换言之，要求：相对于下游装置2中取得基板A的搬送台10a，在沿基板搬送方向X串联排列的交接位置Pr(图10)，存在上游装置3的搬送台10b。步骤S304中，基于对是否满足该交接条件进行判断的结果，判断是否需要台移动动作，决定是否使可动搬送带100d移动。

为了更具体地说明步骤S304以后的流程，以下并用图10及图11进行说明。图10是示意性地表示按照图8及图9的流程图执行的具体动作的一例的动作图。图10中，例示了对下游装置2的两台搬送台10a中的、图7及图10中上侧的搬送台10b搬出作为对象的基板A的情况。图11是表示图10中例示的动作的时间经过的时序图，表示基板传感器Sbm、Sbi、Sao、Sam的输出信号Is及搬送台10b的位置的时间变化。另外，图11的基板传感器Sam、Sao设置在搬出作为对象的基板A的搬送台10a上(即，图7、图10中上侧的搬送台10a)。

如上所述，步骤S304中，判断是否满足上述交接条件。若不满足交接条件，则处理前进至步骤S305，若满足交接条件，则处理前进至步骤S306。图10中，例示了在步骤S304中未满足交接条件的情况。即，图10的“动作M21”一栏所示的例子中，在上游装置3中，搬送台10b位于处理位置Pp(即未位于交接位置Pr)，不满足交接条件。因此，步骤S304中，为了使搬送台10b移动到交接位置Pr，判断为需要台移动动作。

在紧跟着的步骤S305中，驱动搬送台10b的可动搬送带100d，执行台移动动作。其结果，搬送台10b耗费时刻t20～t21从处理位置Pp沿Y轴方向移动到交接位置Pr(图10的“动作M22”、图11)。这样，通过执行步骤S305的动作，从而满足接受条件，前进至步骤S306。

步骤S306中，上游装置3搬出基板A，并且下游装置2搬入基板A。伴随该动作，基板A从上游装置3的搬送台10b移动到下游装置2的搬送台10a。具体而言，如图10所示，基板A经由横跨搬送台10b与搬送台10a上的状态(动作M23)，转移到搬送台10a上(动作M24)。

对应于这样的基板A的移动，各基板传感器产生反应。即，由于基板A通过搬送台10b、10a的边界，因此夹着该边界设置的基板传感器Sbi、Sao各自暂时变成“ON”。具体而言，在时刻t22～t25的期间，基板搬送方向X的上游侧的基板传感器Sbi变成“ON”。而且，在比时刻t22～t25稍晚的时刻t23～t26的期间，基板搬送方向X的下游侧的基板传感器Sao变成“ON”(t22＜t23＜t25＜t26)。由于从上游装置3的搬送台10b搬出基板A，因此相对于搬送台10b的大致中央而设的基板传感器Sbm在时刻t24由“ON”变成“OFF”(t23＜t24＜t25)。另一方面，由于向下游装置2的搬送台10a搬入基板A，因此相对于搬送台10a的大致中央而设的基板传感器Sam在时刻t27由“OFF”变成“ON”。

在紧跟着步骤S306的步骤S307、S308中，确认各基板传感器的状态。即，步骤S307中，控制电路37检测基板传感器Sam已变成“ON”的情况，判断为基板A向搬送台10a的搬入已完成，使搬送台10a的搬送带100停止。而且，步骤S308中，确认基板传感器Sao、Sbi、Sbo、Sci是否全部为“OFF”。并且，若基板传感器Sao、Sbi、Sbo、Sci中的任一者为“ON”，则控制电路37使处理前进至步骤S303，经由省略图示的用户接口输出错误显示，结束图8的流程。

另一方面，在步骤S308中，若确认基板传感器Sao、Sbi、Sbo、Sci全部为“OFF”，则处理前进至步骤S309。步骤S309中，对于搬送台10b，使可动搬送带100d移动，判断台宽度调整动作或台移动动作的必要性。并且，若无必要(步骤S309中为“否”时)，则控制电路37结束图8的流程图，另一方面，若有必要(步骤S309中为“是”时)，则前进至步骤S310，执行被判断为有必要的动作。图10所示的例子中，搬送台10b耗费时刻t28～t29从交接位置Pr沿Y轴方向移动到处理位置Pp(动作M25)。

继而，利用图9说明搬入基板A的下游装置2的动作。另外，图9的流程是在下游装置2的控制电路27的控制下执行。当借助下游装置2的基板搬入的流程开始时，在步骤S401中，判断是否能够从上游装置3搬入基板A。具体而言，确认要求下游装置2中成为基板A的搬入目的地的搬送台10a上不存在基板A的搬入条件。控制电路27在不满足上述搬入条件而不能搬入基板时(步骤S401中为“否”时)，等待搬入基板。另一方面，控制电路27在满足上述搬入条件而能够搬入基板时(步骤S401中为“是”时)，使处理前进至步骤S402。

步骤S402中，成为搬入目的地的搬送台10a的各搬送带100工作，接纳从上游装置3沿基板搬送方向X搬来的基板A。继而，步骤S403中，确认搬入了基板A的搬送台10a的基板传感器Sam是否变成了“ON”。若确认变成了“ON”，则借助下游装置2的基板搬入的流程结束。

如以上所说明的，第二实施方式中，根据由基板传感器Sbi、Sao对基板A在基板搬送方向X上的位置进行检测的结果，来判断在上游装置3的搬送台10b与下游装置2的搬送台10a之间执行的基板交接动作的执行状况。尤其，鉴于基板交接动作要由上游装置3与下游装置2的搬送台10b、10a协同执行的情况，由设在上游装置3的搬送台10b侧与下游装置2的搬送台10a侧这两侧的基板传感器Sbi、Sao来检测基板A的位置。因此，能够根据基板A的位置检测结果准确地判断基板交接动作的执行状况。并且，基于这样判断的执行状况(步骤S302、S308的判断结果)，控制构成上游装置3的搬送台10b的可动搬送带100d在Y轴方向上的移动(步骤S304、S305、S308、S309)。因此，例如，不会因基板A逼近或横跨搬送台10b、10a的边界之类的状况导致可动搬送带100d不慎移动，抑制可动搬送带100d在不适当时期的移动。

而且，本实施方式还有以下优点：即使在因基板A的翘曲或基板A的切口(狭缝、凹槽)，导致无法从基板传感器Sbi、Sao中的一者获得恰当的基板检测结果的情况下，也能够判断上游装置3与下游装置2之间的基板交接动作的执行状况。即，存在如下情况：因基板A存在翘曲导致基板传感器Sbi、Sao中一者的检测区域偏离基板A，或者因基板A存在切口导致切口覆盖基板传感器Sbi、Sao中一者的检测区域，从而无法从基板传感器Sbi、Sao中的一者获得恰当的基板检测结果。对此，本实施方式中，由执行基板交接动作的上游装置3及下游装置2各自执行借助基板传感器Sbi、Sao的基板检测，因此即使无法从一方的基板传感器获得恰当的基板检测结果，也能够根据另一方的基板传感器的基板检测结果来掌握基板交接动作的执行状况。其结果，即使存在基板A的翘曲或切口的情况下，也能够抑制可动搬送带在不适当时期的移动。

尤其，第二实施方式中，在步骤S302或步骤S308中确认基板传感器Sbi、Sao这两者为“OFF”，然后使可动搬送带100d移动(步骤S305、S310)。因此，在判断为基板交接动作正在执行的情况下，禁止可动搬送带100d的移动。由此，切实地抑制可动搬送带100d在基板交接动作执行过程中的时期内的移动。

＜其他＞

如上所述，上述实施方式中，基板处理线1相当于本发明的“基板处理线”的一例，基板处理装置2、3相当于本发明的“处理装置”的一例，其中，基板处理装置3相当于本发明的“一处理装置”的一例，基板处理装置2相当于本发明的“另一处理装置”的一例，基板传感器Sbi相当于本发明的“一位置检测部”的一例，基板传感器Sao相当于本发明的“另一位置检测部”的一例，驱动机构31相当于本发明的“驱动部”的一例，控制电路37相当于本发明的“控制部”的一例，控制电路37与输入输出电路39协同作为本发明的“通信控制部”的一例发挥功能，线缆Cs相当于本发明的“线缆”的一例。

另外，本发明并不限定于上述实施方式，只要不脱离其主旨，能够在上述实施方式以外进行各种变更。例如，构成基板处理线1的基板处理装置的个数并不限于上述内容，可作适当变更。

基板处理装置2、3的具体结构也不限于上述结构。因此，能够分别对基板处理装置2、3，在搬送台10的个数或排列方法、可动搬送带100d的设置形态等进行各种变更。

基板处理装置2、3所执行的处理的内容也不限于上述内容，也可以是回流处理或只是单纯地搬送基板的搬送处理。

对于基板传感器的具体结构、安装形态、安装个数等，也能够追加各种变更。例如，上述实施方式中，基板传感器被安装在基板A的搬送路径的上方，以检测正下方的基板A。但是，基板传感器也可被安装在基板A的搬送路径的下方，以检测正上方的基板A，或者，还可以从水平方向面对基板A的搬送路径的方式安装。而且，基板传感器的种类也不限于反射式传感器，也可使用透过式传感器。

而且，上述实施方式中，作为表示基板A处于收容范围外的情况的例子，示出了基板A从搬送带100突出的情况。但是，也可采用如下结构：即使基板A未突出，但在判断为基板A未被收容于搬送带100的情况下，仍如上述实施方式般控制可动搬送带100d的动作。

上述具体实施方式中主要包含具有以下结构的发明。

本发明的一方面所涉及的基板处理线包括：多个处理装置，分别具备支撑基板并沿基板搬送方向搬送该基板的搬送带，该多个处理装置沿所述基板搬送方向排列设置，在该多个处理装置的所述搬送带之间交接所述基板，该多个处理装置中的各处理装置对所述基板进行处理；驱动部，沿与所述基板搬送方向正交的正交方向驱动所述多个处理装置中的一处理装置所具备的作为所述搬送带的可动搬送带，该可动搬送带在所述正交方向上移动自如；控制部，控制基于所述驱动部的所述可动搬送带的移动；一位置检测部，检测所述一处理装置的所述可动搬送带所支撑的所述基板在所述基板搬送方向上的位置；另一位置检测部，检测所述多个处理装置中的与所述一处理装置相邻的另一处理装置的所述搬送带所支撑的所述基板在所述基板搬送方向上的位置；其中，所述控制部根据从所述一位置检测部及所述另一位置检测部这两者的检测结果判断在所述一处理装置的所述可动搬送带与所述另一处理装置的所述搬送带之间交接所述基板的基板交接动作的执行状况的结果，来控制基于所述驱动部的所述可动搬送带的移动。也就是，本发明的一方面所涉及的基板处理线包括：多个处理装置，分别具备支撑基板并沿基板搬送方向搬送该基板的搬送带，该多个处理装置沿所述基板搬送方向排列设置，在该多个处理装置的所述搬送带之间交接所述基板，该多个处理装置中的各处理装置对所述基板进行处理；驱动部，沿与所述基板搬送方向正交的正交方向驱动所述多个处理装置中的一个处理装置(亦即第一处理装置)所具备的作为所述搬送带的可动搬送带，该可动搬送带在所述正交方向上移动自如；控制部，控制所述可动搬送带基于所述驱动部的驱动所产生的移动；第一位置检测部，检测所述第一处理装置具备的所述可动搬送带所支撑的所述基板在所述基板搬送方向上的位置；第二位置检测部，检测所述多个处理装置中的与所述第一处理装置相邻的另一个处理装置(亦即第二处理装置)具备的所述搬送带所支撑的所述基板在所述基板搬送方向上的位置；其中，所述控制部根据从所述第一位置检测部及所述第二位置检测部这两者的检测结果判断在所述第一处理装置具备的所述可动搬送带与所述第二处理装置具备的所述搬送带之间交接所述基板的基板交接动作的执行状况的结果，来控制基于所述驱动部的所述可动搬送带的移动。

本发明的另一方面所涉及的基板处理方法，将具备支撑基板并沿基板搬送方法搬送该基板的搬送带的处理装置沿所述基板搬送方向排列设置多个，在该多个处理装置的所述搬送带之间交接所述基板并在所述各处理装置中对所述基板进行处理，所述基板处理方法包括如下步骤：检测所述多个处理装置中的一处理装置所具备的作为所述搬送带的可动搬送带所支撑的所述基板在所述基板搬送方向上的位置，以作为一位置检测结果的步骤，所述可动搬送带在与所述基板搬送方向正交的正交方向上移动自如；检测所述多个处理装置中的与所述一处理装置相邻的另一处理装置的所述搬送带所支撑的所述基板在所述基板搬送方向上的位置，以作为另一位置检测结果的步骤；根据从所述一位置检测结果及所述另一位置检测结果这两者判断在所述一处理装置的所述可动搬送带与所述另一处理装置的所述搬送带之间交接所述基板的基板交接动作的执行状况的结果，来控制所述可动搬送带的移动的步骤。

如此构成的本发明(基板处理装置、基板处理方法)中，根据对基板在基板搬送方向上的位置进行检测的结果，来判断在一处理装置的可动搬送带与另一处理装置的搬送带之间执行的基板交接动作的执行状况。尤其，鉴于基板交接动作由一处理装置与另一处理装置各自的搬送带协同来执行的情况，基板的位置在一处理装置的可动搬送带侧与另一处理装置的搬送带侧这两侧被检测。因此，能够从基板位置的检测结果准确地判断基板交接动作的执行状况。并且，基于这样判断得到的执行状况来控制可动搬送带的移动，能够抑制可动搬送带在不适当的时期的移动。

而且，本发明还有以下优点：即使在因基板的翘曲或基板的切口(狭缝、凹槽)，而导致无法获得恰当的基板检测结果的情况下，仍能够判断一处理装置与另一处理装置之间的基板交接动作的执行状况。即，有时会出现因基板存在翘曲导致基板偏离进行基板检测的检测区域，或者因基板存在切口导致切口涉及到检测区域，从而无法获得恰当的基板检测结果。对此，本发明中，由执行基板交接动作的一处理装置与另一处理装置各自执行基板检测，因此即使无法在任一处理装置中获得恰当的基板检测结果，仍能够掌握基板交接动作的执行状况。其结果，即使在存在基板的翘曲或切口的情况下，也能够抑制可动搬送带在不适当的时期的移动。

具体而言，基板处理线也可构成为，所述控制部在从所述一位置检测部及所述另一位置检测部这两者的检测结果判断为所述基板交接动作正在执行中时，禁止基于所述驱动部的所述可动搬送带的移动。也就是，基板处理线也可构成为，所述控制部在从所述第一位置检测部及所述第二位置检测部这两者的检测结果判断为所述基板交接动作正在执行中时，禁止所述可动搬送带基于所述驱动部的驱动所产生的移动。由此，能够切实地抑制可动搬送带在基板交接动作执行中的时期的移动。

另外，尽管基板交接动作并非正在执行中，基于可动搬送带对基板的支撑状态，有时也会存在移动可动搬送带为不恰当的情况。因此，基板处理线也可构成为，所述控制部根据判断所述一处理装置的所述可动搬送带的支撑所述基板的支撑状态的结果，控制基于所述驱动部的所述可动搬送带的移动。也就是，基板处理线也可构成为，所述控制部根据判断所述第一处理装置具备的所述可动搬送带的支撑所述基板的支撑状态的结果，控制所述可动搬送带基于所述驱动部的驱动所产生的移动。

尤其，这样的控制适合于以如下方式构成的基板处理线，即，所述可动搬送带为两个，所述一处理装置还具备支撑台，该支撑台包含沿所述正交方向排列的该两个可动搬送带，该支撑台支撑所述基板并沿所述基板搬送方向搬送该基板，所述驱动部执行变更所述两个可动搬送带的间隔的台宽度变更动作及使所述两个可动搬送带在保持彼此的间隔的状态下移动的台移动动作。例如：所述第一处理装置还具备作为所述搬送带的另一可动搬送带，从而所述可动搬送带为两个，所述第一处理装置具备支撑台，该支撑台由沿所述正交方向排列的所述第一处理装置具备的所述两个可动搬送带，该支撑台支撑所述基板并沿所述基板搬送方向搬送该基板，所述驱动部执行台宽度变更动作和台移动动作，该台宽度变更动作是变更所述两个可动搬送带的间隔的动作，该台移动动作是保持所述两个可动搬送带的间隔而移动该两个可动搬送带的动作。

具体而言，基板处理线也可构成为，所述控制部在判断为由所述两个可动搬送带支撑着所述基板时，至少禁止所述驱动部执行所述台宽度变更动作。即，在由两个可动搬送带支撑着基板时，若执行台宽度变更动作，则两个可动搬送带的对基板的支撑会变得不稳定。因此，较为理想的是禁止台宽度变更动作。

而且，基板处理线也可构成为，所述控制部在判断为所述基板被收容在所述两个可动搬送带的所述基板搬送方向上的长度范围内且所述基板交接动作并非正在执行中时，允许所述驱动部执行所述台移动动作。即，当基板在基板搬送方向上被收容在两个可动搬送带在基板搬送方向上的长度范围内时，即使进行台移动动作，两个搬送带对基板的支撑也不会变得不稳定。因此，通过以基板交接动作并非正在执行中为条件来允许台移动动作，从而能够抑制台移动动作的频发，能够顺畅地进行基板处理。

另外，基板处理线也可构成为，所述控制部在判断为所述基板处于未被收容在所述两个可动搬送带的所述基板搬送方向上的长度范围内的状态时，禁止所述驱动部执行所述台宽度变更动作及所述台移动动作这两动作。即，当所述基板未被收容在所述两个可动搬送带的所述基板搬送方向上的长度范围内时，若执行台宽度变更动作或台移动动作，则两个可动搬送带的对基板的支撑会变得不稳定。因此，较为理想的是禁止台宽度变更动作及台移动动作这两者。

而且，基板处理线也可构成为，所述控制部设置在一处理装置。即，控制部的控制对象为设置在该一处理装置中的可动搬送带。因此，将控制部设置于所述一处理装置，以将控制部设置在可动搬送带附近的做法合理。

此时，必须将另一处理装置中的基板位置的检测结果传递至一处理装置中设置的控制部。因此，基板处理线也可构成为，所述一处理装置及所述另一处理装置分别具有相互交换传输信号的通信控制部，所述另一处理装置具有将所述另一位置检测部的检测结果送给所述通信控制部的线缆，所述另一处理装置的所述通信控制部将经由所述线缆取得的检测结果转换为所述传输信号，并输出给所述一处理装置的所述通信控制部。

这样，在利用各处理装置中所设的通信控制部来执行在另一处理装置与一处理装置之间的信号传递的结构中，例如能够在这些通信控制部之间执行基板位置的检测结果的交换。因此，即使在将另一处理装置的位置检测部的检测结果传递至一处理装置的情况下，也不需要为了传递检测结果而在处理装置间绕设线缆。即，只要在另一处理装置中，从其位置检测部将线缆连接至其通信控制部即可。因此，能够容易地进行用于传递检测信号的线缆的绕设。

根据以上说明的本发明，在包含相互邻接的处理装置且至少其中一处理装置具备可动搬送带的基板处理线中，能够准确地判断相邻的处理装置的各搬送带间的基板交接的执行状况，能够抑制可动搬送带在不适当的时期的移动。

Claims (8)

1.一种基板处理线，其特征在于包括：

多个处理装置，分别具备支撑基板并沿基板搬送方向搬送该基板的搬送带，多个所述处理装置沿所述基板搬送方向排列设置，在多个所述处理装置的所述搬送带之间交接所述基板，各所述处理装置对所述基板进行处理；

驱动部，沿与所述基板搬送方向正交的正交方向驱动多个所述处理装置中的一处理装置所具备的作为所述搬送带的可动搬送带，该可动搬送带在所述正交方向上移动自如；

控制部，控制基于所述驱动部的所述可动搬送带的移动；

一位置检测部，检测所述一处理装置的所述可动搬送带所支撑的所述基板在所述基板搬送方向上的位置；

另一位置检测部，检测多个所述处理装置中的与所述一处理装置相邻的另一处理装置的所述搬送带所支撑的所述基板在所述基板搬送方向上的位置；其中，

所述控制部根据从所述一位置检测部及所述另一位置检测部这两者的检测结果判断在所述一处理装置的所述可动搬送带与所述另一处理装置的所述搬送带之间交接所述基板的基板交接动作的执行状况的结果，来控制基于所述驱动部的所述可动搬送带的移动，

所述控制部根据判断所述一处理装置的所述可动搬送带的支撑所述基板的支撑状态的结果，控制基于所述驱动部的所述可动搬送带的移动，

所述可动搬送带为两个，所述一处理装置还具备支撑台，该支撑台包含沿所述正交方向排列的两个所述可动搬送带，该支撑台支撑所述基板并沿所述基板搬送方向搬送该基板，

所述驱动部执行变更两个所述可动搬送带的间隔的台宽度变更动作及使两个所述可动搬送带在保持彼此的间隔的状态下移动的台移动动作。

2.根据权利要求1所述的基板处理线，其特征在于：

所述控制部在从所述一位置检测部及所述另一位置检测部这两者的检测结果判断为所述基板交接动作正在执行中时，禁止基于所述驱动部的所述可动搬送带的移动。

3.根据权利要求1所述的基板处理线，其特征在于：

所述控制部在判断为由两个所述可动搬送带支撑着所述基板时，至少禁止所述台宽度变更动作。

4.根据权利要求3所述的基板处理线，其特征在于：

所述控制部在判断为所述基板被收容在两个所述可动搬送带的所述基板搬送方向上的长度范围内且所述基板交接动作并非正在执行中时，允许所述台移动动作。

5.根据权利要求3所述的基板处理线，其特征在于：

所述控制部在判断为所述基板处于未被收容在两个所述可动搬送带的所述基板搬送方向上的长度范围内的状态时，禁止所述台宽度变更动作及所述台移动动作这两者。

6.根据权利要求1所述的基板处理线，其特征在于：

所述控制部设置于所述一处理装置。

7.根据权利要求6所述的基板处理线，其特征在于：

所述一处理装置及所述另一处理装置分别具有相互交换传输信号的通信控制部，

所述另一处理装置具有将所述另一位置检测部的检测结果送给所述通信控制部的线缆，

所述另一处理装置的所述通信控制部将经由所述线缆取得的检测结果转换为所述传输信号，并输出给所述一处理装置的所述通信控制部。

8.一种基板处理方法，其特征在于：

将具备支撑基板并沿基板搬送方向搬送该基板的搬送带的处理装置沿所述基板搬送方向排列设置多个，在多个所述处理装置的所述搬送带之间交接所述基板并在各所述处理装置中对所述基板进行处理，所述基板处理方法包括如下步骤：

检测多个所述处理装置中的、具备两个可动搬送带作为所述搬送带的一处理装置的所述可动搬送带所支撑的所述基板在所述基板搬送方向上的位置，以作为一位置检测结果的步骤，两个所述可动搬送带在与所述基板搬送方向正交的正交方向上移动自如、且沿所述正交方向排列；

检测多个所述处理装置中的与所述一处理装置相邻的另一处理装置的所述搬送带所支撑的所述基板在所述基板搬送方向上的位置，以作为另一位置检测结果的步骤；

根据从所述一位置检测结果及所述另一位置检测结果这两者判断在所述一处理装置的所述可动搬送带与所述另一处理装置的所述搬送带之间交接所述基板的基板交接动作的执行状况的结果，来控制所述可动搬送带的移动的步骤；

根据判断所述一处理装置的两个所述可动搬送带的支撑所述基板的支撑状态的结果，通过沿所述正交方向驱动所述可动搬送带的驱动部来控制两个所述可动搬送带的移动的步骤；

由沿所述正交方向排列的两个可动搬送带构成的支撑台支撑所述基板并沿所述基板搬送方向搬送该基板的步骤；

执行变更两个所述可动搬送带的间隔的台宽度变更动作及使两个所述可动搬送带在保持彼此的间隔的状态下移动的台移动动作的步骤。