CN102760677A - 基板的输送装置及输送方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种基板的输送装置和输送方法。该基板的输送装置具备：设定一对导轨(1)的间隔的旋转驱动源(9)；支承由一对导轨支承宽度方向两端部的基板的下面的工作台(3)；喷嘴体(19)，使正压或负压的气压作用于位于一对导轨间的工作台的宽度方向的端面；压力传感器(24)，当伴随基板的尺寸变更、工作台更换为不同宽度尺寸的工作台时，通过边使气压从喷嘴体作用于更换后的工作台的侧面，边向接近工作台侧面的方向驱动设置了喷嘴体的导轨，检测因喷嘴体与工作台的侧面的间隔变化而产生的气体的压力变化；和控制装置，利用压力传感器检测的、流过喷嘴体的气体的压力变化，控制旋转驱动源的驱动，设定一对导轨的间隔。

Description

基板的输送装置及输送方法

技术领域

本发明涉及一种沿一对导轨来输送定位基板的基板输送装置及输送方法。

背景技术

例如，在基板上安装IC芯片等电子部件的情况下，沿导轨将上述基板输送至设置了安装用工作台(stage)的安装位置，若在该安装位置由上述工作台支承上述基板的下表面，则利用安装工具将上述电子部件安装在上述基板的上表面。

上述基板由平行地离开相对的一对导轨来支承宽度方向的两端部，沿上述导轨，例如利用卡盘机构等传送机构，每隔规定距离地间歇输送。

在上述基板上安装上述电子部件的情况下，最近要提高电子部件对基板的安装密度，所以相对于一对导轨的离开方向、即上述基板的宽度方向，以规定间隔安装多列上述电子部件。即，安装上述电子部件，使得相对于基板的宽度方向不产生无用的空间。

因此，上述工作台使用具有能支承去除上述基板中由上述导轨支承的部分的宽度尺寸的基本全长的部分之宽度尺寸的工作台。即，工作台使用具有比一对导轨的间隔稍小的宽度尺寸的工作台。

如此在基板上安装电子部件的情况下，在变更种类等时，上述基板的尺寸会与上次时有所变更。即，基板会尺寸变更到不同的宽度尺寸。

在变更基板的尺寸的情况下，对应于该尺寸变更来设定一对导轨的间隔。与此同时，支承基板下表面的工作台也对应于基板的尺寸变更而更换为不同尺寸的工作台。即，工作台被更换成比尺寸变更后的基板的宽度尺寸稍少的宽度尺寸的工作台。

在对应于基板的尺寸变更而将工作台变更为不同宽度尺寸的工作台的情况下，必须对应于基板的尺寸变更，将该工作台定位于按规定间隔设定的一对导轨间的中央，并能在宽度方向的基本全长上确实支承被支承在导轨上的基板的下表面。

将上述工作台可拆装地装配在可动体上。该可动体被驱动源在水平方向及上下方向上驱动。另外，将对应于基板尺寸变更的尺寸的工作台装配在上述可动体上。

以前，在设定一对导轨间隔的情况下，首先以足够大的间隔使一对导轨分离，将尺寸变更后的工作台装配在位于这些导轨间的上述可动体上。

接着，以宽度方向的一侧面相对于一个导轨为规定间隔的方式相对于水平方向定位上述工作台的同时，将上述工作台定位成位于一对导轨的中心。

专利文献1：特开平5-55787号公报

但是，在以前如上所述变更基板的尺寸的情况下，调整一对导轨的间隔，并且对这些导轨定位调整工作台。

但是，当执行上述一对导轨的间隔调整与上述工作台相对于一对导轨的定位调整时，会发生作业失误，或会装配弄错尺寸的工作台。

在将上述工作台弄错为比应更换的尺寸大的工作台的情况下，工作台与导轨会干扰，若相反将工作台弄错为小的工作台，则工作台的宽度方向的端部与导轨的间隔过大，不能确实支承基板的宽度方向整体，所以无法相对于基板的宽度方向以规定间隔确实安装多个电子部件。

另外，导轨的间隔调整时的上述作业失误不限于变更基板尺寸的情况，在用于输送最初基板的调整时也可能发生。

发明内容

本发明的目的在于提供一种基板的输送装置及输送方法，当对应于输送的基板的尺寸来设定一对导轨的间隔与支承基板的工作台的尺寸时，能确实且迅速地执行这些作业，并当弄错工作台的尺寸时，能检测该情况。

本发明是一种基板的输送装置，利用平行地离开相对而配置的一对导轨来支承基板的宽度方向的两端部而进行输送，其特征在于：

具备：

驱动机构，在彼此接近的方向上驱动上述一对导轨的至少一个；

工作台，设置在上述一对导轨之间，支承由上述一对导轨支承宽度方向两端部的基板的下表面；

喷嘴体，设置在由上述驱动机构驱动的至少一个导轨上，使正压或负压的气压作用于位于一对导轨间的上述工作台的宽度方向的端面；

压力传感器，边使正压或负压的气压从上述喷嘴体作用于上述工作台的侧面，边由上述驱动机构向接近上述工作台的侧面的方向驱动设置了上述喷嘴体的至少一个导轨，从而检测因上述喷嘴体与上述工作台的侧面的间隔变化而产生的、流过上述喷嘴体的上述气体的压力变化；和

控制机构，利用该压力传感器检测的、流过上述喷嘴体的上述气体的压力变化，控制上述驱动机构的驱动，设定上述一对导轨的间隔。

本发明是一种基板的输送方法，利用平行地离开相对而配置的一对导轨来支承基板的宽度方向的两端部而进行输送，其特征在于：

具备如下工序：

由驱动机构驱动上述一对导轨的至少一个，设定一对导轨的间隔的工序；

利用设置在上述一对导轨之间的工作台，支承由上述一对导轨支承宽度方向两端部的基板的下表面的工序；

使正压或负压的气压从设置在由上述驱动机构驱动的至少一个导轨上的喷嘴体作用于位于一对导轨间的上述工作台的宽度方向的端面的工序；和

边使正压或负压的气压从上述喷嘴体作用于上述工作台的侧面，边由上述驱动机构向接近上述工作台侧面的方向驱动设置了上述喷嘴体的至少一个导轨，由压力传感器检测因上述喷嘴体与上述工作台的侧面的间隔变化而产生的、流过上述喷嘴体的上述气体的压力变化的工序，

在设定上述一对导轨的间隔的工序中，利用上述压力传感器检测的、流过上述喷嘴体的上述气体的压力变化，驱动控制上述驱动机构，设定一对导轨的间隔。

发明效果

根据本发明，不但能容易且确实地执行对应于基板尺寸的导轨的间隔设定或工作台的设定，而且在弄错工作台的尺寸的情况下还能确实检测该情况。

附图说明

图1是表示本发明第1实施方式的输送装置的示意构成的俯视图。

图2是图1所示的输送装置的侧视图。

图3是矩阵状安装电子部件的基板的俯视图。

图4是图1所示的输送装置的控制系统的框图。

图5是表示从可动体取下工作台、并且以最大间隔使一对导轨离开的状态的输送装置的侧视图。

图6是表示在可动体上装配新的工作台、将一对导轨从以最大间隔离开的状态向接近方向驱动的状态的输送装置的侧视图。

图7是表示本发明第2实施方式的输送装置的示意构成的俯视图。

图8是表示本发明第3实施方式的输送装置的示意构成的俯视图。

符号说明

具体实施方式

下面，参照附图来说明本发明的实施方式。

图1-图6表示本发明的第1实施方式。图1所示的输送装置具备矩形基盘11。在该基盘11的上表面的宽度方向具备以规定间隔离开的一对导轨1。设一对导轨1的离开方向为图1所示的X、Y方向中的Y方向。在一对导轨1的上端，如图2所示，形成有在上面卡合支承着安装IC芯片等电子部件P的基板W的宽度方向两端部的台阶部2。

使宽度方向两端部卡合于上述台阶部2后载置的基板W由未图示的卡盘机构等沿上述导轨1每隔规定距离地间距传送。

另外，若将上述基板W定位在规定位置、例如安装位置，则在上述基板W由设定成比上述一对导轨1的相对间隔小的宽度尺寸的平面形状为矩形的工作台3支承其下表面后，在其上表面沿宽度方向以规定间隔安装上述电子部件P，且相对于与宽度方向正交的长度方向将多个电子部件P安装成一列。即，在基板W的上表面，如图3所示，遍及宽度方向和与宽度方向正交的方向的大致整个面地矩阵状安装多个电子部件P。

在上述一对导轨1的长度方向的两端部的下端面分别设置卡合部件5。各导轨1的各自一对卡合部件5可移动地卡合于配置在与上述基盘11的上述一对导轨1的相对方向即Y方向正交的X方向的两端部上的一对直线导轨6。

在上述一对导轨1的长度方向中央部分别设置内螺纹体7。设置在一个导轨1上的内螺纹体7与设置在另一个导轨1中的内螺纹体7形成为反螺纹，在各内螺纹体7上分别螺纹结合有螺旋轴8的、形成为方向对应于上述一对内螺纹体7的反螺纹的第1外螺纹部8a与第2外螺纹部8b。

如图1所示，上述螺旋轴8由旋转驱动源9旋转驱动。若上述螺旋轴8由上述旋转驱动源9例如沿顺时针方向驱动，则一对导轨1由上述螺旋轴8的反向形成的第1外螺纹部8a与第2外螺纹部8b向接近的方向同步驱动，若将上述螺旋轴8沿逆时针方向驱动，则向离开的方向同步驱动。

即，一对导轨1由上述旋转驱动源9沿相对于这些导轨1的相对方向的中心线即宽度方向的中心线O(图1所示)接近的方向或背离的方向、相对上述螺旋轴8的旋转、以相同距离驱动，可调整沿Y方向的间隔。

另外，由上述旋转驱动源9、上述螺旋轴8构成设定一对导轨1的间隔的驱动机构。

在上述一对导轨1之间配置上述工作台3。该工作台3可拆装地设置在沿X、Y及Z方向驱动的可动体13的上面。上述可动体13如图2所示，经XY台(table)14及Z台15沿水平方向及上下方向可驱动地设置。这些台14、15由图4所示的XY驱动源16及Z驱动源17分别沿XY方向及Z方向驱动。

定位上述可动体13，以使沿一对导轨1的离开方向即Y方向的宽度方向的中心与上述一对导轨1的离开方向的中心线O一致，上述工作台3的宽度方向的中心与上述可动体13的宽度方向中心一致地可拆装地装配在该可动体13上。

因此，装配在上述可动体13上的工作台3的宽度方向的中心与一对导轨1的离开方向的中心即中心线O一致。

在上述一对导轨1的一方的长度方向的中央部，前端面向导轨1的内面侧即一对导轨1之间设置的上述工作台3的宽度方向一侧面地，设置喷嘴体19。

在上述喷嘴体19上连接压缩空气等加压气体的供气管21的前端。该供气管21的基端经压力调整阀23连接于供气源22上。并且，在上述供气管21中，如图1或图4所示，在上述压力调整阀23的下游侧设置检测上述供气管21内的气体压力变化的压力传感器24。

设置于一个导轨1的喷嘴体19的前端与该前端相对的上述工作台3的宽度方向的一侧面的间隔变得越小，上述压力传感器24检测的上述供气管21内的气体压力就变得越大。

若上述压力传感器24检测到上述供气管21内的上述压力调整阀23的下游侧的加压气体的压力变化，则如图4所示，将其检测信号输出到构成控制机构的控制装置25。

上述控制装置25将上述压力传感器24的检测信号与由图4所示的设定部27事先设定的设定值S相比较。该设定值S，例如当上述喷嘴体19的前端与上述工作台3的侧面的间隔为几mm左右的规定间隔、例如Nmm时，设定为与上述压力传感器24输出的检测信号的输出同等的值。

如图4所示，上述控制装置25控制上述旋转驱动源9、上述XY驱动源16及上述Z驱动源17的驱动。在上述控制装置25中，连接于该控制装置25的上述设定部27除上述设定值S外，还能进行对应于支承在一对导轨1上输送的基板W的宽度尺寸的一对导轨1的间隔等各种设定。

在上述控制装置25上连接有蜂鸣器28(如图4所示)，当由上述压力传感器24检测到的压力比控制装置25中设定的设定值S大时、该蜂鸣器28输出警报。并且，如图4所示，向上述控制装置25输入来自检测基于上述旋转驱动源9的上述螺旋轴8的转速的编码器29的检测信号。上述控制装置25可利用来自上述编码器29的检测信号来检测上述螺旋轴8的转速、即对应于基板W的宽度尺寸的一对导轨1的间隔。

由控制装置25将上述编码器29的检测信号与由上述设定部27设定的、与基板W的宽度尺寸对应的一对导轨1的间隔相比较，若其差基本为0、即一对导轨1的间隔为最适于支承所设定的基板W的间隔，则停止由上述控制装置25驱动上述旋转驱动源9，结束一对导轨1的间隔设定。

接着，参照图5与图6来说明上述构成的输送装置中、对应于基板W的尺寸变更、导轨1与工作台3A的对位。

首先，如图5所示，在将输送装置的一对导轨1自动打开事先设定的最大间隔之后，由设定部27将输送的基板W的宽度尺寸、即一对导轨1的间隔输入设定于控制装置25，再从可动体13取下工作台3。

接着，如图6所示，将宽度尺寸对应于供给到输送装置的基板W的宽度尺寸的工作台3A装配到上述可动体13上。在本实施方式中，工作台3A的宽度尺寸比更换前的工作台3A的大。

若如此工作台3A的更换结束，则边从供气源22向喷嘴体19供给由压力调整阀23设定为规定压力的加压气体，边由上述控制装置25开始输送装置的一对导轨1的间隔的自动设定。

若开始自动设定，则旋转驱动源9动作，例如顺时针方向旋转驱动螺旋轴8。由此，如图5所示，以最大间隔离开的一对导轨1沿直线导轨6向图6中箭头+Y与-Y所示彼此接近的方向驱动。

另外，如图6所示，若设置在一个直线导轨6上的喷嘴体19的前端与该喷嘴体19的前端相对的工作台3A的侧面3a的间隔逐渐变小，则从上述喷嘴体19的前端开口喷射的压力气体的阻力增大，所以流过连接于上述喷嘴体19的供气管21内的上述压力调整阀23的下游侧的气体压力上升。

流过上述供气管21的气体的压力由压力传感器24检测，将其检测信号输出到控制装置25，由该控制装置25比较检测信号的检测值与控制装置25中设定的设定值S。

之后，压力传感器24检测的压力、即检测值与控制装置25中设定的设定值相等，且上述编码器29检测的基于上述旋转驱动源9的上述螺旋轴8的转速、即一对导轨1的间隔与对应于控制装置25中事先设定的基板W的宽度尺寸的一对导轨的间隔基本相同时，停止由上述控制装置25驱动上述旋转驱动源9。即，一对导轨1的间隔设定结束。

在这种构成中，例如在将对应于基板W的宽度尺寸更换的工作台3的宽度尺寸例如错更换成小的宽度尺寸的情况下，即便一对导轨1为所设定的间隔，也处于压力传感器24检测的压力比设定值S低的状态。

在这种情况下，由控制装置25检测工作台3异常，根据该检测，蜂鸣器28鸣叫，在让作业者知道异常的同时，停止一对导轨1的驱动。

相反，在将对应于基板W的宽度尺寸更换的工作台3A的宽度尺寸例如错更换成大的宽度尺寸的情况下，在一对导轨1为所设定的间隔之前，压力传感器24检测的压力比设定值S高。

在这种情况下，控制装置25也检测到工作台3A的宽度尺寸异常，根据该检测，蜂鸣器28鸣叫，在让作业者知道异常的同时，停止一对导轨1的驱动。

即，根据上述构成的输送装置，对应于基板W的宽度尺寸的变更，将支承该基板W下表面的工作台3更换为比上述基板W的宽度尺寸稍小的不同宽度尺寸的工作台，并相对于上述工作台3、对应于基板W的宽度尺寸定位一对导轨1的间隔的情况下，可自动且正确地执行上述一对导轨1的定位。

并且，在将应更换的工作台3的宽度尺寸错弄成比基板W的宽度尺寸小或大的宽度尺寸而进行更换的情况下，利用压力传感器24检测的喷嘴体19与工作台3的侧面间隔、及由编码器29检测的一对导轨1的间隔、与相对于控制装置25中设定的基板W的宽度尺寸的一对导轨1的间隔的比较，仅在更换后的工作台3A的宽度尺寸适应于基板W的宽度尺寸的情况下，才定位成一对导轨1为规定的间隔，否则，在检测到此情况的时刻，停止驱动导轨1，并由蜂鸣器28警报异常。

因此，在更换为相对于基板W的宽度尺寸不适当的宽度尺寸的工作台3A的情况下，能确实检测该情况，所以在弄错为宽度尺寸大的工作台3A的情况下，能确实防止导轨1撞上工作台3A后导致变形等损伤，在弄错为宽度尺寸小的工作台3A的情况下，能确实防止以不能确实支承基板W的宽度方向的基本全长的状态下、执行电子部件的安装、导致安装故障等。

在第1实施方式中，举例说明了能沿水平方向和上下方向驱动定位工作台3的构成，但当将上述工作台3装配在可动体13上时，若工作台3的宽度方向中心与一对导轨1的相对方向的中心线O一致，则只要是上述工作台3不相对于X、Y驱动、仅能沿Z方向驱动的构成即可。

图7示出本发明的第2实施方式。在第2实施方式中，在一对导轨1之间，设置多个、在本实施方式中为至少宽度方向(Y方向)尺寸为相同尺寸的3个工作台，即第1-第3工作台3X-3Z。各工作台3X-3Z可相对于水平方向与上下方向中至少上下方向定位驱动。

沿一对导轨1输送的基板W在对应于第1工作台3X的位置预热，在对应于第2工作台3Y的位置在预热后的基板W上安装电子部件P。在对应于第3工作台3Z的位置慢冷却安装了电子部件P的基板W。

在一对导轨1的一方的、例如对应于第2工作台3Y的侧面的部位，设置喷嘴体19。另外，一对导轨1利用上述喷嘴体19检测的气体的压力变化，与第1实施方式一样，进行间隔设定。

即，若使用喷嘴体19进行一对导轨1的间隔设定，则即便是具有3个工作台3X-3Z的输送装置，也能利用检测从1个喷嘴体19向第2工作台3Y的侧面喷射的气体的压力变化的1个压力传感器24的检测信号，设定一对导轨1的间隔。即，因为不使用数量对应于工作台3X-3Z的数量的压力传感器24即可，所以能实现构成的简化或成本下降。

在上述第2实施方式中，举例说明了对3个工作台设置1个喷嘴体的实例，但也可在导轨的对应于各工作台的侧面的部位分别设置喷嘴体。

据此，即便在装配尺寸与各工作台中1个或2个以上的工作台、即至少1个工作台不同的工作台的情况下，若流过3个喷嘴体中至少1个喷嘴体的气体压力变化，则也能利用设置在供气管中的1个压力传感器来检测该情况。

即，在存在多个工作台的情况下，若设置数量对应于工作台数量的喷嘴体，则能利用1个压力传感器来容易定位工作台，并确实地执行弄错尺寸而装配了的工作台的检测。

例如，在设置光学传感器来代替喷嘴体的情况下，对于各光学传感器需要各自控制用的放大器，但通过从喷嘴体喷射气体，能仅使用1个压力传感器来检测，所以能简化整体构成。

另外，在第2实施方式中，向与第1实施方式相同的部分附加相同记号，省略说明。

图8是本发明的第3实施方式。该实施方式中，一对导轨1中、一个导轨1可由直线导轨6沿Y方向移动地设置，另一个导轨1固定设置于基盘11。

在上述一个导轨1的一端部设置内螺纹体7，在该内螺纹体7上螺纹结合由旋转驱动源9旋转驱动的第1螺旋轴31。由此，一个导轨1沿相对于固定配置在基盘11上的另一个导轨1接近分离的方向驱动。

另一方面，可更换地载置工作台3的可动体13与第1实施方式一样，设置在Z台15上，该Z台15由Z驱动源17沿上下方向驱动。图8中省略上述可动体13及Z台15。上述Z台15载置在可沿一对导轨1的相对方向即Y方向移动的Y台18上。在该Y台18上螺纹结合有轴线与上述第1螺旋轴31平行地配置的第2螺旋轴32的一端侧。上述第2螺旋轴32的另一端可旋转地支承在上述基盘11上所设置的轴承30上，中途部插通于一个导轨1上所形成的通孔37中。

上述第2螺旋轴32与上述第1螺旋轴31一样，由上述旋转驱动源9旋转驱动。即，在上述第1螺旋轴31的一端部嵌着驱动链轮33，在第2螺旋轴32的另一端部嵌着与上述驱动链轮33同径的从动链轮34。在这些链轮33、34上张设有链条35。因此，若第1螺旋轴31旋转，则第2螺旋轴32联动于该旋转。

将上述第1螺旋轴31的间距设定为上述第2螺旋轴32的间距的2倍间隔。因此，若旋转驱动第1、第2螺旋轴31、32，则上述第1螺旋轴31螺纹结合的一个导轨1以与设置上述工作台3的可动体13成倍的距离，沿接近另一个导轨1的方向或背离的方向驱动。

另外，与第1实施方式一样，在上述一个导轨1中设置喷嘴体19，旋转驱动第1、第2螺旋轴31、32的旋转驱动源9的旋转由编码器29检测后，输出到控制装置25。

另外，在该第3实施方式中，向与第1实施方式相同的部分附加相同记号，省略说明。

设置成当使一个导轨1相对于另一个导轨1沿打开方向移动最大限度的初始状态时，上述工作台3的宽度方向的中心线与一对导轨1的间隔的中心线一致。

即，当上述初始状态时，设定上述工作台3的Y方向的位置，以便当设另一个导轨1与工作台3的一个侧面3a的间隔为d1时，一个导轨1与工作台3的另一个侧面3b的间隔为d1＝d2。

根据这种构成，若设置喷嘴体19的一个导轨1通过由旋转驱动源9旋转驱动的第1螺旋轴31的旋转、从全开位置向接近工作台3的方向驱动，则该工作台3通过第2螺旋轴32的旋转，向接近另一个导轨1的方向，以一个导轨1的移动量的一半移动量移动。

从设置在一个导轨1的喷嘴体19喷射气体。之后，若喷嘴体19接近工作台3的一侧面，则向该喷嘴体19供给气体的供气管21内的压力上升，由压力传感器24检测该压力上升。

若压力传感器24检测的压力变为控制装置25中设定的设定值S，且由编码器29检测的一个导轨1的移动量变为控制装置25中设定的移动量、即一对导轨1的间隔变为对应于尺寸变更的基板W的宽度尺寸的移动量，则停止由上述旋转驱动源9驱动一个导轨1。这与第1实施方式相同。

即，根据上述构成的输送装置，因为工作台3的移动量为一个导轨1的驱动量的1/2，所以即便是仅驱动一个导轨1的构成，也能对应于基板W的尺寸变更将上述工作台3的宽度方向的中心定位成与一对导轨1间的相对方向的中心一致。

在上述各实施方式中，举例说明了从喷嘴体向工作台侧面喷射气体、即作用正压的情况，但也可向喷嘴体作用负压来代替从喷嘴体喷射气体，利用对应于喷嘴体与工作台的侧面的间隔而变化的负压变化来使压力传感器动作。

此时，若向关闭方向驱动导轨、喷嘴体的前端接近工作台的侧面，则作用于喷嘴体的负压变大，所以能利用上述压力传感器来检测喷嘴体的前端与工作台侧面的间隔。

另外，在将工作台误更换为比确定的宽度尺寸小的工作台的情况下，即便一对导轨的间隔为设定间隔，也因为作用于喷嘴体的负压基本无变化，所以与使正压作用于喷嘴体的情况一样，能检测到该情况。

相反，在将工作台误更换为比确定的宽度尺寸大的工作台的情况下，因为一对导轨的间隔变为设定间隔之前，作用于喷嘴体的负压变大，由压力传感器检测该情况，所以检测到工作台比设定的宽度尺寸大。

另外，在上述各实施方式中，因为仅在设定一对导轨的间隔的情况下使正压或负压作用于喷嘴体，所以若一对导轨的间隔设定结束，则能不使正压或负压作用于上述喷嘴体地进行基板的输送。

因此，在一对导轨的间隔设定结束之后，作用于喷嘴体的正压或负压不影响周围。例如，在第2实施方式中设置3个工作台的情况下，能防止第1工作台的预热温度、第2工作台的安装温度或第3工作台的慢冷却温度变动。并且，因为在工作台的周围无尘埃飞舞，所以能防止污染基板或电子部件。

另外，在上述实施方式中将喷嘴体仅组入一个导轨中，但也可组入另一个导轨中。由此，即便在工作台相对于一对导轨不对称的情况下，也能对应。

另外，在上述实施方式中，说明了基板尺寸变更的情况下的导轨的调整，但本发明也可适用于最初的用于输送基板的调整时。

Claims (6)

1.一种基板的输送装置，利用平行地离开相对而配置的一对导轨来支承基板的宽度方向的两端部而进行输送，其特征在于：

具备：

驱动机构，在彼此接近的方向上驱动上述一对导轨的至少一个；

工作台，设置在上述一对导轨之间，支承由上述一对导轨支承宽度方向两端部的基板的下表面；

喷嘴体，设置在由上述驱动机构驱动的至少一个导轨上，使正压或负压的气压作用于位于一对导轨间的上述工作台的宽度方向的端面；

压力传感器，边使正压或负压的气压从上述喷嘴体作用于上述工作台的侧面，边由上述驱动机构向接近上述工作台的侧面的方向驱动设置了上述喷嘴体的至少一个导轨，从而检测因上述喷嘴体与上述工作台的侧面的间隔变化而产生的、流过上述喷嘴体的上述气体的压力变化；和

控制机构，利用该压力传感器检测的、流过上述喷嘴体的上述气体的压力变化，控制上述驱动机构的驱动，设定上述一对导轨的间隔。

2.根据权利要求1所述的基板的输送装置，其特征在于：

当由上述压力传感器检测到流过上述喷嘴体的上述气体的压力达到事先设定的规定值时，上述控制机构使上述驱动机构停止驱动上述导轨。

3.根据权利要求1所述的基板的输送装置，其特征在于：

上述控制机构中设有：

设定上述基板的尺寸的设定部；和

警报机构，当由上述驱动机构驱动至少一个设置了上述喷嘴体的上述导轨并设定一对导轨的间隔时，在一对导轨的间隔变为由上述设定部设定的基板间隔之前、上述压力传感器检测的气体压力变为设定值时，告知上述工作台的宽度尺寸比与上述基板相对应的宽度尺寸大，在即便一对导轨的间隔变为上述设定部设定的、对应于上述基板的间隔，上述压力传感器检测的气体压力也不变为设定值时，告知上述工作台的宽度尺寸比与上述基板相对应的宽度尺寸小。

4.根据权利要求1所述的基板的输送装置，其特征在于：

当上述驱动机构驱动一对导轨时，使上述一对导轨沿接近上述工作台的方向同步驱动。

5.根据权利要求1所述的基板的输送装置，其特征在于：

当上述驱动机构仅驱动一对导轨中的一个时，相对于上述导轨的驱动，沿与上述一个导轨相同的方向、以上述一个导轨的1/2距离驱动上述工作台。

6.一种基板的输送方法，利用平行地离开相对而配置的一对导轨来支承基板的宽度方向的两端部而进行输送，其特征在于：

具备如下工序：

由驱动机构驱动上述一对导轨的至少一个，设定一对导轨的间隔的工序；

利用设置在上述一对导轨之间的工作台，支承由上述一对导轨支承宽度方向两端部的基板的下表面的工序；

使正压或负压的气压从设置在由上述驱动机构驱动的至少一个导轨上的喷嘴体作用于位于一对导轨间的上述工作台的宽度方向的端面的工序；和

边使正压或负压的气压从上述喷嘴体作用于上述工作台的侧面，边由上述驱动机构向接近上述工作台侧面的方向驱动设置了上述喷嘴体的至少一个导轨，由压力传感器检测因上述喷嘴体与上述工作台的侧面的间隔变化而产生的、流过上述喷嘴体的上述气体的压力变化的工序，

在设定上述一对导轨的间隔的工序中，利用上述压力传感器检测的、流过上述喷嘴体的上述气体的压力变化，驱动控制上述驱动机构，设定一对导轨的间隔。

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