CN108464065A - 元件安装机 - Google Patents

Abstract

沿周向配置有多个保持吸嘴(60)的吸嘴支架(62)的旋转头具备第二负压供给系统(75)，第二负压供给系统(75)与向全部吸嘴(60)的吸附口供给负压的第一负压供给系统(71)独立地仅向在吸嘴支架(62)下降时保持于该吸嘴支架(62)的吸嘴(60)(对象吸嘴)供给负压。由此，在通过吸嘴(60)进行吸附动作、安装动作时，该吸嘴(60)的状态能够不被其它吸嘴(60)的状态所影响。

Description

元件安装机

技术领域

本发明涉及一种吸附元件并将该元件向安装对象物安装的元件安装机。

背景技术

以往，作为这种元件安装机，提出有如下结构：具有沿周向配置有多个吸嘴的旋转头，通过使多个吸嘴回转并使位于预定回转位置的吸嘴下降而进行吸嘴对元件的吸附动作与安装动作(例如，参照专利文献1)。在该元件安装机中，负压源经由负压分支流路与多个吸嘴连接，并且正压源经由正压分支流路与多个吸嘴连接。在负压分支流路和正压分支流路分别配置有切换负压、正压向多个吸嘴的供给、切断的滑阀。由此，元件安装机能够通过使吸嘴下降并使负压作用于该吸嘴来吸附元件，能够通过使吸嘴下降并使正压作用于该吸嘴来安装所吸附的元件。

专利文献1：WO2013/145228号公报

发明内容

然而，在上述元件安装机中，全部吸嘴的吸附口在分支流路的分支点相连。因此，进行吸附动作、安装动作的一个吸嘴的状态易于被其它吸嘴的状态(有无漏气、有无吸附元件)所影响。

本发明的主要目的在于使得多个吸嘴中的进行吸附动作、安装动作的一个吸嘴的状态不被其它吸嘴的状态所影响。

本发明为了实现上述主要目的而采取以下的手段。

本发明的第一元件安装机是吸附元件并将该元件向安装对象物安装的元件安装机，其主旨在于，所述第一元件安装机具备：吸嘴，在前端部吸附元件；旋转头，具有沿周向配置有分别保持所述吸嘴的多个吸嘴支架的旋转体；移动装置，使所述旋转头沿水平方向移动；旋转装置，使所述旋转体旋转而使所述多个吸嘴支架沿周向回转；及升降装置，使所述多个吸嘴支架中的位于预定回转位置的吸嘴支架下降，所述多个吸嘴支架具有与分别保持的所述吸嘴的前端部相连的吸嘴通路，所述旋转体具有：第一负压系统，能够经由第一口对所述多个吸嘴支架中的全部吸嘴支架的吸嘴通路供给负压；及第二负压系统，能够经由第二口对所述多个吸嘴支架中的位于所述预定回转位置的吸嘴支架的吸嘴通路供给负压，所述第一口构成为，在所述吸嘴支架位于上升位置时打开，在所述吸嘴支架位于下降位置时关闭，所述第二口构成为，在所述吸嘴支架位于上升位置时关闭，在所述吸嘴支架位于下降位置时打开。

本发明的第一元件安装机在沿周向配置有分别保持吸嘴的多个吸嘴支架的旋转体设置第一负压系统和第二负压系统。将第一负压系统设为能够经由第一口对多个吸嘴支架中的全部吸嘴通路供给负压，将第二负压系统设为能够经由第二口对多个吸嘴支架中的位于预定回转位置的吸嘴支架的吸嘴通路供给负压。并且，将第一口构成为，在吸嘴支架位于上升位置时打开，在吸嘴支架位于下降位置时关闭，将第二口构成为，在吸嘴支架位于上升位置时关闭，在吸嘴支架位于下降位置时打开。即，与第一负压系统独立地设置仅向在吸嘴支架下降时保持于该吸嘴支架的吸嘴供给负压的其它负压系统(第二负压系统)。由此，在通过吸嘴进行吸附动作、安装动作时，该吸嘴的状态能够不被其它吸嘴的状态所影响。

在这样的本发明的第一元件安装机中，也可以是，所述第一口及所述第二口构成为，在所述吸嘴支架位于所述上升位置与所述下降位置之间的中间位置时同时打开。如此一来，能够在通过吸嘴支架的升降来切换向该吸嘴支架的吸嘴通路供给负压的负压系统(第一负压系统、第二负压系统)时，防止产生负压缺失。

另外，在本发明的第一元件安装机中，也可以是，所述第一元件安装机具备：负压供给状态检测传感器，检测所述第二负压系统的负压供给状态；及吸附判定单元，基于由所述负压供给状态检测传感器检测出的负压供给状态，判定所述吸嘴对元件的吸附状态或所述吸嘴的状态。如上所述，设有负压状态检测传感器的第二负压系统对位于预定回转位置的吸嘴支架的吸嘴供给负压。由此，由负压供给状态检测传感器检测的负压供给状态能够不被其它吸嘴的状态所影响。其结果是，能够基于由负压供给状态检测传感器检测的负压供给状态更加精确地判定元件的吸附状态、吸嘴的状态。

进而，在本发明的第一元件安装机中，也可以是，所述第一元件安装机具备：负压供给状态检测传感器，检测所述第二负压系统的负压供给状态；及维护判定单元，基于由所述负压状态检测传感器检测出的负压供给状态，判定是否需要对所述旋转头或所述吸嘴进行维护。由此，由负压供给状态检测传感器检测的负压供给状态能够不被其它吸嘴的状态所影响。其结果是，能够基于由负压供给状态检测传感器检测的负压供给状态更加精确地判定旋转头、吸嘴是否需要维护。

另外，在本发明的第一元件安装机中，也可以是，所述旋转体具有：正压系统，能够经由所述第二口对所述多个吸嘴支架中的位于所述预定回转位置的吸嘴支架供给正压；及切换阀，切换所述第二负压系统及所述正压系统中的与所述第二口连接的系统。

本发明的第二元件安装机是吸附元件并将该元件向安装对象物安装的元件安装机，其主旨在于，所述第二元件安装机具备：吸嘴，在前端部吸附元件；旋转头，具有沿周向配置有保持所述吸嘴的多个吸嘴支架的旋转体；移动装置，使所述旋转头沿水平方向移动；旋转装置，使所述旋转体旋转而使所述多个吸嘴支架沿周向回转；及升降装置，使所述多个吸嘴支架中的位于预定回转位置的吸嘴支架下降，所述多个吸嘴支架具有与分别保持的所述吸嘴的前端部相连的吸嘴通路，所述旋转体具有：负压系统，能够分别对所述多个吸嘴支架中的全部吸嘴通路供给负压；及正压系统，能够经由预定口对所述多个吸嘴支架中的位于所述预定回转位置的吸嘴支架的吸嘴通路供给正压，所述预定口构成为，在所述吸嘴支架位于上升位置时关闭，在所述吸嘴支架位于下降位置时打开。

在这样的本发明的第二元件安装机中，也可以是，所述第二元件安装机具备：正压供给状态检测传感器，检测所述正压系统的正压供给状态；及安装判定单元，基于由所述正压供给状态检测传感器检测出的正压供给状态，判定所述吸嘴对元件的安装状态。

另外，在本发明的第二元件安装机中，也可以是，所述第二元件安装机具备：正压供给状态检测传感器，检测所述正压系统的正压供给状态；及维护判定单元，基于由所述正压状态检测传感器检测出的正压供给状态，判定是否需要对所述旋转头或所述吸嘴进行维护。

附图说明

图1是表示本发明的一实施方式的元件安装机10的结构的概略的结构图。

图2是表示头单元40的结构的概略的结构图。

图3是表示负压正压供给装置70的结构的概略的结构图。

图4是表示旋转头42的截面的剖视图。

图5是表示图4的A-A截面、B-B截面、C-C截面的剖视图。

图6是表示使用负压正压供给装置70向下降的吸嘴60供给负压的情况和供给正压的情况的说明图。

图7是表示使用负压正压供给装置70向下降的吸嘴60供给负压的情况和供给正压的情况的说明图。

图8是表示比较例的负压正压供给装置70B的结构的概略的结构图。

图9是表示元件安装机10的控制装置90及管理装置100的结构的概略的结构图。

图10是表示由控制装置90的CPU91执行的元件安装处理的一个例子(前半部分)的流程图。

图11是表示由控制装置90的CPU91执行的元件安装处理的一个例子(后半部分)的流程图。

图12是表示由控制装置90的CPU91执行的清洗处理的一个例子的流程图。

图13是表示变形例的负压正压供给装置170的结构的概略的结构图。

图14是表示使用负压正压供给装置170向下降的吸嘴60供给负压的情况和供给正压的情况的说明图。

图15是表示使用负压正压供给装置170向下降的吸嘴60供给负压的情况和供给正压的情况的说明图。

具体实施方式

接下来，参照附图说明用于实施本发明的实施方式。

图1是表示本实施方式的元件安装机10的结构的概略的结构图，图2是表示头单元40的结构的概略的结构图，图3是表示负压正压供给装置70的结构的概略的结构图，图4是表示旋转头42的截面的剖视图，图5是表示图4的A-A截面、B-B截面、C-C截面的剖视图，图6及图7是使用负压正压供给装置70向下降的吸嘴60供给负压的情况和供给正压的情况的说明图，图8是表示比较例的负压正压供给装置70B的结构的概略的结构图，图9是表示元件安装机10的控制装置90及管理装置100的结构的概略的结构图。此外，图1的左右方向为X轴方向，前(近前)后(里)方向为Y轴方向，上下方向为Z轴方向。

作为元件安装机10的外观，如图1所示，该元件安装机10具备基台11和支撑于基台11的壳体12。作为元件安装机10的结构，如图1所示，该元件安装机10具备：元件供给装置20，将元件P供给至元件供给位置；基板搬运装置24，搬运基板S；头单元40，通过吸嘴60吸附供给至元件供给位置的元件P并将该元件P向基板S安装；XY机器人30，使头单元40沿XY轴方向移动；及控制装置90(参照图9)，控制装置整体。另外，除此以外，元件安装机10还具备用于拍摄被吸嘴60吸附的元件P的姿势的零件相机26、设于头单元40而用于读取标记于基板S的定位基准标记的标记相机(未图示)等。另外，元件安装机10能够双向通信地与管理装置100连接。

如图1所示，XY机器人30具备X轴导轨31、X轴滑动件32、Y轴导轨33及Y轴滑动件34。左右一对Y轴导轨33沿前后方向(Y轴方向)设于壳体12的上段部。Y轴滑动件32架设于左右一对Y轴导轨33，通过Y轴马达38(参照图9)的驱动沿Y轴方向移动。X轴导轨31沿左右方向(X轴方向)设于Y轴滑动件34的侧面。X轴滑动件32安装于头单元40，通过X轴马达36(参照图9)的驱动沿X轴方向移动。由此，头单元40通过XY机器人30(X轴马达36及Y轴马达38)的驱动而能够向XY平面上的任意的位置移动。另外，XY机器人30还具备检测X轴滑动件32的X轴方向上的位置的X轴位置传感器37(参照图9)和检测Y轴滑动件34的Y轴方向上的位置的Y轴位置传感器39(参照图9)。

如图2所示，头单元40具备：吸嘴60；吸嘴支架62，能够装卸地保持吸嘴60；旋转头42，在与旋转轴同轴的圆周方向上以预定角度间隔(例如30度间隔)配置有多个吸嘴支架62；及负压正压供给装置70(参照图3)，能够对分别保持于多个吸嘴支架62的多个吸嘴60的吸附口供给负压或正压。另外，作为驱动用的促动器，头单元40具备：R轴马达44，使旋转头42旋转而使吸嘴60沿周向回转；θ轴马达46，使各吸嘴支架62旋转(自转)；及升降装置50，使吸嘴支架62沿Z轴方向移动(升降)。

如图2所示，旋转头42具备：轴部42a；作为旋转体的支架保持部42b，形成为直径比轴部42a大的圆柱形状，并将多个吸嘴支架62保持为能够沿Z轴方向移动；及支撑轴42c(参照图4)，插入于轴部42a及支架保持部42b的轴中心，将轴部42a及支架保持部42b支撑为旋转自如，并且分隔负压正压供给装置70的后述各负压通路73、77及正压通路83。另外，旋转头42具有：齿轮43，与轴部42a同轴，被轴部42a支撑为能够相对于该轴部42a旋转自如；及齿轮47，伴随着齿轮43的旋转而旋转。齿轮43与安装于θ轴马达46的旋转轴的齿轮45啮合，齿轮47与安装于各吸嘴支架62的齿轮66啮合。由此，头单元40通过驱动θ轴马达46而能够将保持于各吸嘴支架62的吸嘴60调整为任意的旋转角度。另外，在齿轮66的下表面与支架保持部42b的上表面之间配置有弹簧64。弹簧64将吸嘴支架62向Z轴方向的上方施力。

吸嘴60通过在将负压作用于前端的吸附口的状态下使元件P与吸附口抵接而吸附元件P，通过在元件P被吸附口吸附的状态下使正压作用于吸附口而解除元件P的吸附。

吸嘴支架62构成为沿Z轴方向延伸的圆筒部件，在其内部形成有与吸嘴60的吸附口相连的吸嘴通路62c(参照图3、图7)。

如图2所示，升降装置50具备：Z轴马达52；及Z轴滑动件54，通过Z轴马达52的驱动而升降。升降装置50能够通过使Z轴滑动件54下降而克服弹簧64的作用力下压多个吸嘴支架62中的位于Z轴滑动件54的下方的吸嘴支架62。另一方面，升降装置50能够通过使Z轴滑动件54上升来解除吸嘴支架62的下压，从而通过弹簧64的作用力而使该吸嘴支架62上升。这样，升降装置50构成为能够仅使多个吸嘴支架62中的位于Z轴滑动件54的下方的吸嘴支架62升降。在本实施方式中，吸附动作是通过如下方式来进行的：通过驱动Z轴马达52而使吸嘴支架62下降至元件P与吸嘴60抵接，并使负压作用于吸嘴60，安装动作是通过如下方式来进行的：通过驱动Z轴马达52而使吸嘴支架62下降至被吸嘴60吸附的元件P与基板S抵接，并使正压作用于吸嘴60。此外，升降装置50还具备检测Z轴滑动件54的Z轴方向上的位置的Z轴位置传感器56(参照图9)。

如图3所示，负压正压供给装置70具备第一负压供给系统71、第二负压供给系统75及正压供给系统81。以下，参照图3～图7说明负压正压供给装置70的详细内容。此外，在图4及图5中省略吸嘴支架62的图示。

第一负压供给系统71构成为能够向多个吸嘴支架62中的全部吸嘴支架62的吸嘴通路62c供给负压。如图3所示，第一负压供给系统71具备：负压泵等负压源72；负压通路73，与负压源72连接；及多个开闭阀74，与多个吸嘴支架62分别对应地配置，进行吸嘴通路62c与负压通路73的连通及切断。如图4所示，负压通路73形成于支架保持部42b的内周部与支撑轴42c的外周部之间的间隙。如图3所示，多个开闭阀74均具有与负压通路73连接的负压通路侧口74a和与吸嘴通路62c连接的吸嘴通路侧口74b。该开闭阀74在与上侧连接的情况下设为连通负压通路侧口74a与吸嘴通路侧口74b的状态，在与下侧连接的情况下设为切断负压通路侧口74a与吸嘴通路侧口74b的连通的状态。如图4及图5的(a)所示，负压通路侧口74a经由从轴中心呈放射状地形成于支架保持部42c的放射状通路而始终与负压通路73连接。如图6所示，吸嘴通路侧口74b根据对应的吸嘴支架62的升降位置而经由贯通孔62a、62b与吸嘴通路62c连接、或从吸嘴通路62c断开。

第二负压供给系统75构成为能够向多个吸嘴支架62中的位于能够下降的回转位置的一个吸嘴支架62(位于预定回转位置的吸嘴支架62)的吸嘴通路62c供给负压。如图3所示，第二负压供给系统75具备：负压源76；负压通路77，与负压源76连接；多个切换阀78，与多个吸嘴支架62分别对应地配置，进行吸嘴通路62c与负压通路77的连通及切断；及流量传感器79，用于计测负压通路77内的空气的流量。此外，负压源76既可以与负压源72共用，也可以与负压源72独立地设置。如图3所示，多个切换阀78均构成为具有与负压通路77连接的负压通路侧口78a、与后述正压通路83连接的正压通路侧口78b及与吸嘴通路62c连接的吸嘴通路侧口78c的三口式的切换阀。该切换阀78在与上侧连接的情况下设为连通负压通路侧口78a与吸嘴通路侧口78c并且切断正压通路侧口78b与吸嘴通路侧口78c的连通的状态，在与下侧连接的情况下设为切断负压通路侧口78a与吸嘴通路侧口78c的连通并且连通正压通路侧口78b与吸嘴通路侧口78c的状态。在本实施方式中，将切换阀78设为与开闭阀74共用阀驱动的促动器。当然，也可以在切换阀78与开闭阀74独立地设置阀驱动的促动器。如图4及图5的(b)、图5的(c)所示，负压通路侧口78a和正压通路侧口78b中，仅与位于能够下降的回转位置的吸嘴支架62相对应的口分别与负压通路77和正压通路83连接。如图6所示，吸嘴通路侧口78c根据相对应的吸嘴支架62的升降位置而经由贯通孔62b与吸嘴通路62c连通、或从吸嘴通路62c断开。

正压供给系统81构成为能够向多个吸嘴支架62中的位于能够下降的回转位置的一个吸嘴支架62的吸嘴通路62c供给正压。如图3所示，正压供给系统81具备：正压泵等正压源82；正压通路83，与正压源82连接；调压阀84及开闭阀85，设于从正压通路83分支后再次与正压通路83合流的分支通路的一方(安装用路线)；开闭阀86，设于分支通路的另一方(清洗用路线)；大气打开用的控制阀87，设于合流后的正压通路83；上述切换阀78；及流量传感器89，用于计测正压通路83内的空气的流量。开闭阀85经由调压阀84将来自正压源82的正压向正压通路侧口78b供给、或对该正压进行切断。开闭阀86不经由调压阀84而直接将来自正压源82的正压向正压通路侧口78b供给、或对该正压进行切断。如上所述，切换阀78的正压通路侧口78b中，仅与位于能够下降的回转位置的吸嘴支架62相对应的口与正压通路83连接。

在此，如图7所示，支架保持部42b在插入孔42d插入有吸嘴支架62。插入孔42d形成为比吸嘴支架62的外径大的内径。另外，插入孔42d在上端部与下端部分别安装有带凸缘的圆筒部件63、65，在吸嘴支架62插通圆筒部件63、65的内周部的状态下将该吸嘴支架62支撑为能够升降。由吸嘴支架62、插入孔42d及圆筒部件63、65围起的空间(第二圆筒空间63b)与上述切换阀78的吸嘴通路侧口78c连接。另外，安装于插入孔42d的上端部的圆筒部件63中，轴向中央部的内周的直径比吸嘴支架62的外径大。通过圆筒部件63的内周的扩径而形成的空间(第一圆筒空间63a)经由沿径向贯通圆筒部件63的贯通孔与上述开闭阀74的吸嘴通路侧口74b连接。吸嘴支架62在轴向上隔开预定间隔地形成有以与沿轴向(Z轴方向)延伸的吸嘴通路62c连通的方式沿径向贯通的两个贯通孔(第一贯通孔62a、第二贯通孔62b)。

现在，考虑如下情况：开闭阀74连通负压通路侧口74a与吸嘴通路侧口74b，切换阀78连通负压通路侧口78a与吸嘴通路侧口78c，并且切断正压通路侧口78b与吸嘴通路侧口78c的连通。在该情况下，在吸嘴支架62上升时，形成为第一贯通孔62a及第二贯通孔62b同时与第一圆筒空间63a连通的状态。在该状态下，吸嘴通路侧口74b经由第一圆筒空间63a、第一贯通孔62a、第二贯通孔62b与吸嘴通路62c连通，吸嘴通路侧口78c与吸嘴通路62c的连通被切断(参照图6的(a)、图7的(a))。由此，负压源72(负压通路73)的负压作用于吸嘴60的吸附口。在吸嘴支架62从该状态下降时，形成为第一贯通孔62a与第一圆筒空间63a连通但第二贯通孔62b与第二圆筒空间63b连通的状态。在该状态下，吸嘴通路侧口74b经由第一圆筒空间63a、第一贯通孔62a与吸嘴通路62c连通，吸嘴通路侧口78c经由第二圆筒空间63b、第二贯通孔62b与吸嘴通路62c连通(参照图6的(b)及图7的(b))。由此，负压源72(负压通路73)的负压与负压源76(负压通路77)的负压这两者作用于吸嘴60的吸附口。另外，在吸嘴支架62进一步下降时，形成为贯通孔62a、62b同时与第二圆筒空间63b连通的状态。在该状态下，吸嘴通路侧口74b与吸嘴通路62c的连通被切断，吸嘴通路侧口78c经由第二圆筒空间63b、第一贯通孔62a、第二贯通孔62b与吸嘴通路62c连通(参照图6的(c)、图7的(c))。由此，负压源76(负压通路77)的负压作用于吸嘴60的吸附口。

接下来，考虑如下情况：在第一贯通孔62a、第二贯通孔62b同时与第二圆筒空间63b连通的状态(图6的(c)、图7的(c)的状态)下，开闭阀74切断负压通路侧口74a与吸嘴通路侧口74b的连通，切换阀78切断负压通路侧口78a与吸嘴通路侧口78c的连通并且切换为连通正压通路侧口78b与吸嘴通路侧口78c的状态。在该情况下，如图6的(d)所示，来自负压通路侧口74a的负压被切断，来自正压通路侧口78b的正压取而代之地作用于吸嘴60的吸附口。

这样，负压正压供给装置70相对于多个吸嘴支架62中的上升的全部吸嘴支架62的吸嘴通路62c连接负压通路73，另一方面，相对于下降的吸嘴支架62的吸嘴通路62c连接负压通路77及正压通路83中的任一者。由此，由于能够仅使进行吸附动作的一个吸嘴60的吸附口与负压通路77连通，因此能够通过设于负压通路77的流量传感器79检测空气流量，从而精确地捕捉与吸附动作相伴的负压通路77的流量。另外，由于能够仅使进行安装动作的一个吸嘴60的吸附口与正压通路83连通，因此能够通过设于正压通路83的流量传感器89检测空气流量，从而精确地捕捉与安装动作相伴的正压通路83的流量。即，能够更加精确地判定与吸附动作、安装动作相伴的吸嘴60的状态。

与此相对，比较例的负压正压供给装置70B具备与第一负压供给系统71相同的负压供给系统71B、与正压系统81相同的正压系统81B及使负压供给系统71B的负压通路73和正压系统81B的正压通路83选择性地与吸嘴通路62c连通的切换阀74B。吸嘴通路62c不受吸嘴60(吸嘴支架62)的升降影响而供给来自负压供给系统71B的负压或来自正压系统81B的正压。在这样的比较例的负压正压供给装置70B中，能够通过在负压通路73设置流量传感器79B而通过流量传感器79B检测与吸附动作相伴的负压通路73的流量。然而，由于负压通路73向全部吸嘴60供给负压，因此进行吸附动作的吸嘴60的状态会被其它吸嘴60有无漏气、有无吸附元件较大地影响。因此，产生有无法通过流量传感器79B精确地捕捉与吸附动作相伴的负压通路73的流量的情况。另外，即使取代流量传感器79B而在负压通路73设置压力传感器，也同样会产生无法精确地捕捉与吸附动作相伴的负压通路73的负压的情况。

如图9所示，控制装置90具备CPU91、ROM92、HDD93、RAM94及输入输出接口95。这些经由总线96电连接。在控制装置90中，经由输入输出接口95输入有来自零件相机26、标记相机、流量传感器79、89、X轴位置传感器37、Y轴位置传感器39、Z轴位置传感器56等的各种信号。另一方面，从控制装置90经由输入输出接口95输出有向元件供给装置20、基板搬运装置24、XY机器人30(X轴马达36及Y轴马达38)、头单元40(R轴马达44、θ轴马达46、Z轴马达52、开闭阀74、85、86、切换阀78等)等的驱动信号。

管理装置100例如是通用的计算机，如图9所示，具备CPU101、ROM102、HDD103、RAM104及输入输出接口105等。这些经由总线106电连接。在该管理装置100中，从鼠标、键盘等输入设备107经由输入输出接口105输入有输入信号。另外，从管理装置100经由输入输出接口105输出有向显示器108的图像信号。HDD103存储基板S的生产步骤。在此，基板S的生产步骤指的是决定在各元件安装机10中将何种元件P以何种顺序向基板S安装、以及制作多少块像这样安装有元件P的基板S等的步骤。在该生产步骤中，包含与生产的基板S相关的基板数据、与使用的头单元40相关的头数据、与使用的吸嘴60相关的吸嘴数据、与安装的元件P相关的元件数据、各元件P的目标安装位置等。管理装置100基于操作人员经由输入设备107输入的数据来生成生产步骤，并将生成的生产步骤向各元件安装机10发送。

接下来，说明这样构成的元件安装机10的动作、特别是吸附由元件供给装置20供给至元件供给位置的元件P时的动作。图10及图11是表示由控制装置90的CPU91执行的元件安装处理的一个例子的流程图。该处理在由管理装置100进行了包含生产步骤的安装指示时被执行。

当执行元件安装处理时，首先，控制装置90的CPU91驱动控制XY机器人30(X轴马达36及Y轴马达38)和R轴马达44，使得多个吸嘴60中的位于能够下降的回转位置的吸嘴60(对象吸嘴)的XY轴方向上的位置与元件供给位置的XY坐标一致(S100)。然后，CPU91驱动控制升降装置50(Z轴马达52)，使得对象吸嘴开始下降(S110)，并将切换阀78向负压侧切换，使得对象吸嘴的吸嘴通路侧口74b与负压通路侧口74a(负压通路77)连通(S115)。

CPU91在对象吸嘴下降时，在与对象吸嘴的吸附口(吸嘴通路62c)连通的负压通路从负压通路73向负压通路77切换后元件P与对象吸嘴抵接前的时机下，将来自设于负压通路77的流量传感器79的空气流量作为吸附前流量Q1而输入(S120)，判定输入的吸附前流量Q1的绝对值是否大于阈值A(S130)。如上所述，在对象吸嘴下降时，对象吸嘴的吸附口(吸嘴通路62c)从与负压通路73连通的状态切换为与负压通路77连通的状态。负压通路73与全部吸嘴60的吸附口连通，负压通路77仅与对象吸嘴的吸附口连通。由此，能够在不被其它吸嘴60中的有无空气泄漏、有无吸附元件等所影响的情况下通过在负压通路77设置流量传感器79来精确地检测从对象吸嘴的吸附口吸引而通过负压通路77的空气的流量。在此，阈值A是用于判定对象吸嘴的吸附口、吸嘴通路62c等空气通路是否因垃圾、尘埃等的附着而堵塞的阈值。CPU91在判定为吸附前流量Q1的绝对值为阈值A以下时，判定为对象吸嘴需要进行维护(S140)，在判定为吸附前流量Q1的绝对值大于阈值A时，判定为无需对对象吸嘴进行维护。此外，在基板S的生产开始时也可以不进行元件P的吸附而进行该判定动作。如此一来，能够在基板S的生产开始前检测有无不良吸嘴，能够防止生产效率的降低。

接下来，CPU91等待至使用未图示的触摸式传感器检测到对象吸嘴接触(吸附)到元件P为止(S150)。CPU91在判定为对象吸嘴接触到(吸附)元件P时，驱动控制升降装置50(Z轴马达52)以开始对象吸嘴的上升(S160)。在此，在对象吸嘴(吸嘴支架62)上升时，与对象吸嘴的吸嘴通路62c连通的负压通路从负压通路77切换为负压通路73。在本实施方式中，负压通路73、77的切换是经由负压通路73、77这两者相对于吸嘴通路62c连通的状态来进行的。由此，能够抑制在伴随着对象吸嘴的上升而切换与吸嘴通路62c连通的负压通路73、77时对象吸嘴产生负压缺失的情况，能够防止吸附于对象吸嘴的元件P的落下。另外，CPU91在与对象吸嘴的吸附口(吸嘴通路62c)连通的负压通路从负压通路77向负压通路73切换前的时机下，将来自流量传感器79的空气流量作为吸附后流量Q2而输入(S170)，并通过从吸附前流量Q1减去吸附后流量Q2来计算流量变化ΔQ(S180)，判定流量变化ΔQ的绝对值是否大于阈值B(S190)。在此，阈值B是用于判定在对象吸嘴未产生空气的泄漏等的情况下是否正常地吸附有元件P的阈值。即，对象吸嘴的吸附口在正常地吸附有元件P时，从打开状态变化为关闭状态。因此，流量变化ΔQ的绝对值在元件P被吸附口正常地吸附时变大，在元件P未被吸附口正常地吸附时变小。CPU91在判定为流量变化ΔQ的绝对值大于阈值B时，判定为在对象吸嘴正常地吸附有元件P，在判定为流量变化ΔQ的绝对值为阈值B以下时，判定为在对象吸嘴未正常地吸附元件P的吸附错误(S200)。

然后，CPU91接下来判定是否存在应吸附元件P的吸嘴60(S210)。CPU91在判定为存在有下一个吸嘴60时，驱动控制R轴马达44，使该吸嘴60向能够下降的位置回转而作为对象吸嘴(S220)，返回S100的处理，重复S100～S210的处理。并且，CPU91在S210中判定为不存在下一个吸嘴60时，进入S230的处理。

接下来，CPU91驱动控制XY机器人30，使吸附有元件P的吸嘴60向零件相机26上方移动(S230)。然后，CPU91进行基于零件相机26的拍摄(S240)，处理所获得的拍摄图像(S250)，基于该元件P的吸附位置来修正目标安装位置(S260)。

CPU91在修正目标安装位置时，判定对象吸嘴是否为判定为吸附错误的错误吸嘴(S270)。CPU91在判定为对象吸嘴为错误吸嘴时，使下一个吸嘴60向能够下降的位置回转而作为对象吸嘴(S280)，并判定该对象吸嘴是否为错误吸嘴(S270)。CPU91在判定为对象吸嘴不是错误吸嘴时，驱动控制XY机器人30，使得对象吸嘴的XY轴方向上的位置与目标安装位置的XY坐标一致(S290)，驱动控制升降装置50，使得对象吸嘴开始下降(S300)。在此，当对象吸嘴(吸嘴支架62)下降时，与对象吸嘴的吸嘴通路62c连通的负压通路从负压通路73切换为负压通路77。如上所述，在本实施方式中，负压通路73、77的切换是经由负压通路73、77这两者相对于吸嘴通路62c连通的状态来进行的。由此，能够抑制在伴随着对象吸嘴的下降而切换与吸嘴通路62c连通的负压通路73、77时对象吸嘴产生负压缺失的情况，能够防止被对象吸嘴吸附的元件P的落下。然后，CPU91使用未图示的触摸式传感器，判定被对象吸嘴吸附的元件P是否与基板S接触(S310)。CPU91在判定为元件P与基板S接触时，驱动控制切换阀78和开闭阀85、86，使得对象吸嘴的吸嘴通路62c经由调压阀84与正压源82连通，从而将元件P向基板S安装(S320)。

CPU91在将元件P安装于基板S后，驱动控制升降装置50(Z轴马达52)，使得对象吸嘴开始上升(S330)。然后，CPU91在维持正压通路83与吸嘴通路62c的连通的时机下将由流量传感器89检测出的空气流量作为安装后流量Q3而输入(S340)，判定安装后流量Q3的绝对值是否大于阈值C(S350)。在此，阈值C是用于在对象吸嘴将元件P安装于基板S后在使对象吸嘴上升时元件P未从对象吸嘴分离而是被原样带回的带回错误的阈值。即，对象吸嘴的吸附口在元件P安装于基板S而从吸附口分离时，从关闭状态变化为打开状态。因此，安装后流量Q3的绝对值在元件P从吸附口分离时变大，在元件P维持被吸附口吸附的状态时变小。CPU91在判定为安装后流量Q3的绝对值大于阈值C时，判定为元件P被正常地安装于基板S，继而判定是否存在有接下来应安装的元件P(S360)。CPU91在判定为存在有接下来应安装的元件P时，使下一个吸嘴60向能够下降的位置回转而作为对象吸嘴(S280)，返回S270。另一方面，CPU91在判定为不存在接下来应安装的元件P时，就此结束元件安装处理。另外，CPU91在S350中判定为安装后流量Q3的绝对值为阈值C以下时，判定为产生了元件带回错误(S370)，结束元件安装处理。

接下来，说明对旋转头42(吸嘴60、吸嘴支架62)进行维护时的动作。图12是表示由控制装置90的CPU91执行的清洗处理的一个例子的流程图。该处理是在未进行吸附动作及安装动作的空闲时间来执行的、或另行根据来自操作人员、管理装置100的指示来执行。

当执行清洗处理时，首先，CPU91判定是否存在有在元件安装处理的S140中判定为需要维护的吸嘴60(需要清洗的吸嘴)(S400)。CPU91在判定为不存在需要清洗的吸嘴时，直接结束清洗处理。另一方面，CPU91在判定为存在有需要清洗的吸嘴时，驱动控制R轴马达44，使需要清洗的吸嘴向能够下降的位置回转而作为对象吸嘴(S410)。然后，CPU91关闭开闭阀85，使得经由调压阀84使正压源82与正压通路侧口78b连接的安装用路线被切断(S420)，并且打开开闭阀86，使得直接使正压源82与正压通路侧口78b连接的清洗用路线被连通(S430)。另外，CPU91切换切换阀78，使得正压通路侧口78b与吸嘴通路侧口78c连通(S440)。

然后，CPU91驱动控制升降装置50，使得对象吸嘴下降(S450)。如上所述，在对象吸嘴下降时，对象吸嘴的吸嘴通路62c与吸嘴通路侧口78c连通。由此，来自正压源82的正压在不被调压阀84调压(降压)的情况下经由开闭阀86(清洗用路线)、切换阀78(正压通路侧口78b、吸嘴通路侧口78c)向吸嘴通路62c、对象吸嘴的吸附口供给。由此，能够吹飞附着于吸嘴通路62c、吸附口等路线内的垃圾、尘埃，能够消除路线内的堵塞。

然后，CPU91将来自设于正压通路83的流量传感器89的空气流量作为清洗时流量Q4而输入(S460)，等待至输入的清洗时流量Q4的绝对值大于阈值D为止(S470)。在此，阈值D是用于判定吸嘴通路62c、吸附口等路线内的堵塞是否被消除的阈值。CPU91在判定为清洗时流量Q4大于阈值D时，判定为对象吸嘴的清洗结束，驱动控制升降装置50，使得对象吸嘴上升(S480)，返回S400，继续判定是否存在有还需要清洗的吸嘴。CPU91在判定为存在有需要清洗的吸嘴时，将该需要清洗的吸嘴作为对象吸嘴而重复S410～S480的处理，当判定为不存在需要清洗的吸嘴时，就此结束清洗处理。此外，在本实施方式中，CPU91在清洗时流量Q4的绝对值大于阈值D时判定为清洗结束，但是也可以在从清洗开始起的经过时间达到预定时间时判定为清洗结束。

在此，明确本实施方式的结构要素与本发明的结构要素的对应关系。本实施方式的元件安装机10相当于本发明的“元件安装机”，吸嘴60相当于“吸嘴”，旋转头42相当于“旋转头”，XY机器人30相当于“移动装置”，R轴马达44相当于“旋转装置”，升降装置50相当于“升降装置”，第一负压供给系统71相当于“第一负压系统”，第二负压供给系统75相当于“第二负压系统”，吸嘴通路侧口74b相当于“第一口”，吸嘴通路侧口78c相当于“第二口”。另外，流量传感器79相当于“负压供给状态检测传感器”，执行元件安装处理的S170～S200的处理的CPU91相当于“吸附状态判定单元”。另外，执行元件安装处理的S130、S140的处理的CPU91相当于“维护判定单元”。另外，正压系统81相当于“正压系统”，切换阀78相当于“切换阀”。

以上说明的本实施方式的元件安装机10具备与向全部吸嘴60的吸附口供给负压的第一负压供给系统71独立地向在吸嘴支架62下降时保持于该吸嘴支架62的吸嘴60(对象吸嘴)供给负压的第二负压供给系统75。由此，在通过吸嘴60进行吸附动作、安装动作时，该吸嘴60的状态能够不被其它吸嘴60的状态所影响。

另外，本实施方式的元件安装机10在对象吸嘴升降时，经由从第一负压供给系统71及第二负压供给系统75这两者供给负压的状态来切换向对象吸嘴供给负压的负压供给系统(第一负压供给系统71、第二负压供给系统75)。由此，能够在切换向对象吸嘴供给负压的负压供给系统时抑制对象吸嘴产生负压缺失的情况，能够防止被对象吸嘴吸附的元件P的落下。

进而，本实施方式的元件安装机10在第二负压供给系统75的负压通路77设置流量传感器79，通过流量传感器79检测进行吸附动作的吸嘴60(对象吸嘴)的空气流量。由此，能够在不受其它吸嘴60的状态影响的情况下更加精确地判定进行吸附动作的对象吸嘴对元件P的吸附状态。

另外，本实施方式的元件安装机10具备向在吸嘴支架62下降时保持于该吸嘴支架62的吸嘴60(对象吸嘴)供给正压的正压供给系统81，并通过切换阀78来切换从正压供给系统81向对象吸嘴的正压的供给与从第二负压供给系统76向对象吸嘴的负压的供给。由此，在通过吸嘴60进行安装动作时，该吸嘴60的状态能够不被其它吸嘴60的状态所影响。

另外，本实施方式的元件安装机10在正压供给系统81的正压通路83设置流量传感器89，通过流量传感器89检测进行安装动作的吸嘴60(对象吸嘴)的空气流量。由此，能够更加精确地判定进行安装动作的对象吸嘴对元件P的安装状态。

此外，本发明并不局限于上述实施方式，不言而喻，只要从属于本发明的技术的范围，就能够通过各种方式进行实施。

例如，在上述实施方式中，作为负压正压供给装置70，元件安装机10具备第一负压供给系统71、第二负压供给系统75及正压供给系统81，在吸嘴支架62下降时通过切换阀78来切换相对于该吸嘴支架62的吸嘴通路62c的来自第二负压供给系统76的负压的供给和来自正压供给系统81的正压的供给。与此相对，元件安装机也可以取代负压正压供给装置70而具备变形例的负压正压供给装置170，该变形例的负压正压供给装置170不具备第二负压供给系统75。图13是表示变形例的负压正压供给装置170的结构的概略的结构图。如图所示，变形例的负压正压供给装置170具备：与第一负压供给系统71相同的负压供给系统171；与正压供给系统81相同的正压供给系统181；及多个切换阀174，与多个吸嘴支架62分别对应地配置，切换负压供给系统171的负压通路73及正压供给系统181的正压通路83中的与吸嘴通路162c连通的通路。多个切换阀174均构成为具有与负压通路73连接的负压通路侧口174a、与正压通路83连接的正压通路侧口174b、与吸嘴通路162c连接的第一吸嘴通路侧口174c及第二吸嘴通路侧口174d的四口式的切换阀。该切换阀174在与上侧连接的情况下设为连通负压通路侧口174a与第一吸嘴通路侧口174c并且切断正压通路侧口174b与第二吸嘴通路侧口174d的连通的状态，在与下侧连接的情况下设为切断负压通路侧口174a与第一吸嘴通路侧口174c的连通并且连通正压通路侧口174b与第二吸嘴通路侧口174d的状态。负压通路侧口174a始终与负压通路73连接。正压通路侧口174b中，仅与位于能够下降的回转位置的吸嘴支架62相对应的口和正压通路83连接。第一吸嘴通路侧口174c不受吸嘴支架62的升降位置的影响而经由贯通孔162a与吸嘴通路162c连接。第二吸嘴通路侧口174d根据吸嘴支架162的升降位置而经由贯通孔162b与吸嘴通路162c连接、或从吸嘴通路162c断开。

图14及图15是表示使用负压正压供给装置170向下降的吸嘴60供给负压的情况和供给正压的情况的说明图。在此，如图15所示，安装于支架保持部42b的插入孔42d的上端部的圆筒部件163形成为在轴向(升降方向)上比本实施方式的圆筒部63长。并且，通过圆筒部件163的内周的扩径而形成的第一圆筒空间163a形成为在轴向上比本实施方式的第一圆筒空间63a宽，由吸嘴支架162、插入孔42d及圆筒部件163、65围起的第二圆筒空间163b形成为在轴向上比本实施方式的第二圆筒空间63b窄。另外，吸嘴支架162中，以与在内部沿轴向(Z轴方向)延伸的吸嘴通路162c连通的方式沿径向贯通的两个贯通孔(第一贯通孔162a、第二贯通孔162b)形成为在轴向上隔开比本实施方式的贯通孔62a、62b宽的间隔。

现在，考虑如下情况：切换阀174连通负压通路侧口174a与第一吸嘴通路侧口174c并且切断正压通路侧口174b与第二吸嘴通路侧口174d的连通。在该情况下，在吸嘴支架162上升时，形成为第一贯通孔162a及第二贯通孔162b同时与第一圆筒空间163a连通的状态。在该状态下，第一吸嘴通路侧口174c经由第一圆筒空间163a、第一贯通孔162a、第二贯通孔162b与吸嘴通路162c连通，切断第二吸嘴通路侧口174d与吸嘴通路162c的连通(参照图14的(a)、图15的(a))。由此，负压源72(负压通路73)的负压作用于吸嘴60的吸附口。由于在吸嘴支架162从该状态下降时，第一圆筒空间163a与第二贯通孔162b的连通被切断，但是第一圆筒空间163a与第一贯通孔162a的连通被维持，因此来自负压源72的负压作用于吸嘴60的吸附口的状态被维持(参照图14的(b)、图15的(b))。并且，在吸嘴支架162进一步下降时，形成为一边维持第一贯通孔162a与第一圆筒空间163a的连通一边连通第二贯通孔162b与第二圆筒空间163b的状态。因此，来自负压源72的负压作用于吸嘴60的吸附口的状态被继续维持(参照图14的(c)、图15的(c))。

接下来，考虑如下情况：在第一贯通孔162a与第一圆筒空间163a连通且第二贯通孔162b与第二圆筒空间163b连通的状态下(图14的(c)、图15的(c)的状态)，切换阀174切换为切断负压通路侧口174a与第一吸嘴通路侧口174c的连通并且连通正压通路侧口174b与第二吸嘴通路侧口174d的状态。在该情况下，如图14的(d)所示，来自负压通路侧口178a的负压被切断，取而代之的是来自正压通路侧口178b的正压作用于吸嘴60的吸附口。

这样，变形例的负压正压供给装置170使负压通路73与多个吸嘴支架62中的不受升降影响的全部吸嘴支架62的吸嘴通路62c连接，另一方面，能够对于下降的吸嘴支架62的吸嘴通路62c进行负压通路73与正压通路83的切换。由此，由于能够仅使进行安装动作的一个吸嘴60的吸附口与正压通路83连通，因此能够通过设于正压通路83的流量传感器89检测空气流量，从而精确地捕捉与安装动作相伴的正压通路83的流量。

另外，在上述实施方式中，基于来自设于第二负压供给系统75的负压通路77的流量传感器79的空气流量，判定是否需要对对象吸嘴进行维护。与此相对，也可以基于来自设于正压供给系统81的正压通路83的流量传感器89的空气流量，判定是否需要对对象吸嘴进行维护。在该情况下，例如，也可以在安装动作结束后，基于在使对象吸嘴略微上升而维持正压通路83与吸嘴通路62c的连通的状态下由流量传感器89检测的空气流量(在S340中输入的安装后流量Q3)，判定是否需要进行维护。

另外，在上述实施方式中，如图5的(b)所示，使第二负压供给系统75的负压通路77仅与位于能够下降的回转位置的一个对象吸嘴(吸嘴通路侧口78a)连通。与此相对，也可以使负压通路77也与位于对象吸嘴的附近的吸嘴60(吸嘴通路侧口78a)连通。

另外，在上述实施方式中，在仅向下降时的吸嘴60供给负压的负压通路77设置流量传感器79。与此相对，也可以取代流量传感器79而设置压力传感器等，只要是检测负压通路77内的负压供给状态的装置，则可以设置任意传感器。另外，在实施方式中，在仅向下降时的吸嘴60供给正压的正压通路83设置流量传感器89。与此相对，也可以取代流量传感器89而设置压力传感器等，只要是检测正压通路83内的正压供给状态的装置，则可以设置任意传感器。

工业实用性

本发明能够应用于元件安装机的制造工业等。

附图标记说明

10 元件安装装置、11 基台、12 壳体、20 元件供给装置、24基板搬运装置、26 零件相机、30 XY机器人、31 X轴导轨、32 X轴滑动件、33 Y轴导轨、34 Y轴滑动件、36 X轴马达、37 X轴位置传感器、38 Y轴马达、39 Y轴位置传感器、40 头单元、42 旋转头、42a 轴部、42b 支架保持部、42c 支撑轴、42d 插入孔、43齿轮、44 R轴马达、45 齿轮、46 θ轴马达、47齿轮、50 升降装置、52 Z轴马达、54 Z轴滑动件、56 Z轴位置传感器、60 吸嘴、62、162 吸嘴支架、62a、162a 第一贯通孔、62b、162b 第二贯通孔、62c、162c 吸嘴通路、63、163 圆筒部件、63a、163a 第一圆筒空间、63b、163b 第二圆筒空间、64 弹簧、65 圆筒部件、66 齿轮、68上端部、70、70B、170 负压正压供给装置、71、71B、171 第一负压供给系统、72 负压源、73负压通路、74、74B 开闭阀、74a 负压通路侧口、74b 吸嘴通路侧口、75 第二负压供给系统、76 负压源、77 负压通路、78 切换阀、78a 负压通路侧口、78b 正压通路侧口、78c 吸嘴通路侧口、79、79B 流量传感器、8181B 正压供给系统、82 正压源、83 正压通路、84 调压阀、85 86开闭阀、87 控制阀、89 流量传感器、90 控制装置、91 CPU、92ROM、93 HDD、94 RAM、95输入输出接口、96 总线、100 管理装置、101 CPU、102 ROM、103 HDD、104 RAM、105 输入输出接口、106 总线、107 输入设备、108 显示器、174 切换阀、174a 负压通路侧口、174b 正压通路侧口、174c 第一吸嘴通路侧口、174d 第二吸嘴通路侧口。

Claims (8)

1.一种元件安装机，吸附元件并将该元件向安装对象物安装，所述元件安装机的特征在于，具备：

吸嘴，在前端部吸附元件；

旋转头，具有沿周向配置有分别保持所述吸嘴的多个吸嘴支架的旋转体；

移动装置，使所述旋转头沿水平方向移动；

旋转装置，使所述旋转体旋转而使所述多个吸嘴支架沿周向回转；及

升降装置，使所述多个吸嘴支架中的位于预定回转位置的吸嘴支架下降，

所述多个吸嘴支架具有与分别保持的所述吸嘴的前端部相连的吸嘴通路，

所述旋转体具有：第一负压系统，能够分别经由第一口对所述多个吸嘴支架中的全部吸嘴支架的吸嘴通路供给负压；及第二负压系统，能够经由第二口对所述多个吸嘴支架中的位于所述预定回转位置的吸嘴支架的吸嘴通路供给负压，

所述第一口构成为，在所述吸嘴支架位于上升位置时打开，在所述吸嘴支架位于下降位置时关闭，

所述第二口构成为，在所述吸嘴支架位于上升位置时关闭，在所述吸嘴支架位于下降位置时打开。

2.根据权利要求1所述的元件安装机，其特征在于，

所述第一口及所述第二口构成为，在所述吸嘴支架位于所述上升位置与所述下降位置之间的中间位置时同时打开。

3.根据权利要求1或2所述的元件安装机，其特征在于，

所述元件安装机具备：

负压供给状态检测传感器，检测所述第二负压系统的负压供给状态；及

吸附判定单元，基于由所述负压供给状态检测传感器检测出的负压供给状态，判定所述吸嘴对元件的吸附状态或所述吸嘴的状态。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的元件安装机，其特征在于，

所述元件安装机具备：

负压供给状态检测传感器，检测所述第二负压系统的负压供给状态；及

维护判定单元，基于由所述负压状态检测传感器检测出的负压供给状态，判定是否需要对所述旋转头或所述吸嘴进行维护。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的元件安装机，其特征在于，

所述旋转体具有：正压系统，能够经由所述第二口对所述多个吸嘴支架中的位于所述预定回转位置的吸嘴支架供给正压；及切换阀，切换所述第二负压系统及所述正压系统中的与所述第二口连接的系统。

6.一种元件安装机，吸附元件并将该元件向安装对象物安装，所述元件安装机的特征在于，具备：

吸嘴，在前端部吸附元件；

旋转头，具有沿周向配置有保持所述吸嘴的多个吸嘴支架的旋转体；

移动装置，使所述旋转头沿水平方向移动；

旋转装置，使所述旋转体旋转而使所述多个吸嘴支架沿周向回转；及

升降装置，使所述多个吸嘴支架中的位于预定回转位置的吸嘴支架下降，

所述多个吸嘴支架具有与分别保持的所述吸嘴的前端部相连的吸嘴通路，

所述旋转体具有：负压系统，能够分别对所述多个吸嘴支架中的全部吸嘴通路供给负压；及正压系统，能够经由预定口对所述多个吸嘴支架中的位于所述预定回转位置的吸嘴支架的吸嘴通路供给正压，

所述预定口构成为，在所述吸嘴支架位于上升位置时关闭，在所述吸嘴支架位于下降位置时打开。

7.根据权利要求6所述的元件安装机，其特征在于，

所述元件安装机具备：

正压供给状态检测传感器，检测所述正压系统的正压供给状态；及

安装判定单元，基于由所述正压供给状态检测传感器检测出的正压供给状态，判定所述吸嘴对元件的安装状态或所述吸嘴的状态。

8.根据权利要求6或7所述的元件安装机，其特征在于，

所述元件安装机具备：

正压供给状态检测传感器，检测所述正压系统的正压供给状态；及

维护判定单元，基于由所述正压状态检测传感器检测出的正压供给状态，判定是否需要对所述旋转头或所述吸嘴进行维护。