CN108430207A - 部件搭载装置以及部件搭载方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供部件搭载装置以及部件搭载方法。在通过使具备多个装配有吸嘴的吸嘴轴的旋转体以旋转轴为中心进行旋转、而使多个吸嘴轴朝包括部件保持及搭载工作台与部件检测工作台的多个工作台依次移动这一结构的部件搭载装置中，构成为在吸嘴轴的内侧配置有通过滑柱的移动而将吸嘴的吸引路选择性地与正压源和负压源连接的流路切换部，将驱动滑柱的动力用空气经由设置有与旋转体的表面接触的动力空气用连通插头的歧管而朝旋转体供给。

Description

部件搭载装置以及部件搭载方法

技术领域

本公开涉及利用负压保持部件并将该部件搭载于工件的规定的搭载位置的部件搭载装置以及部件搭载方法。

背景技术

在基板等工件搭载部件的部件搭载装置中，使用具备利用负压吸引并保持部件的吸嘴的搭载头。作为这样的搭载头，已知有将多个吸嘴绕头中心的轴旋转自如地配置的回转式的搭载头(例如参照日本特开2000-294990号公报、日本特开2013-069798号公报)。在该回转式的搭载头中，各吸嘴朝作为旋转动作中的停止位置而设定于搭载头的多个工作台依次移动。然后，在这些工作台中的为了保持来自部件供给部的部件以及朝工件搭载部件而设定的特定的部件保持及搭载工作台处进行升降动作。

在日本特开2000-294990号公报、日本特开2013-069798号公报所示的在先技术中，在多个吸嘴的每个都设置有用于利用吸嘴保持部件的真空吸引、用于使部件从吸嘴脱离的真空破坏以及用于正压赋予的切换阀装置。这些切换阀装置在搭载头中配置于吸嘴的外侧，进而，在搭载头的外侧与吸嘴进行升降动作的上述的部件保持及搭载工作台对应的位置，固定配置有驱动切换阀装置的驱动机构。通过这样的结构，在通过搭载头的旋转而吸嘴位于部件保持及搭载工作台的状态下，能够将吸嘴的状态切换成真空吸引、真空破坏以及正压赋予的任一个。

发明内容

本公开的部件搭载装置具备：多个吸嘴，朝多个吸嘴的吸引路导入负压而使多个吸嘴保持部件；多个吸嘴轴，其在下端部将所述多个吸嘴保持为更换自如，且具有与所述吸引路连通的内部流路；旋转体，其将所述多个吸嘴轴以等间距且升降自如的方式保持在以旋转轴为中心的圆周上，通过以旋转轴为中心进行旋转，使所述多个吸嘴朝多个工作台依次移动，该多个工作台包括供所述多个吸嘴进行保持部件或者将所保持的部件搭载于工件的规定的搭载位置的动作的部件保持及搭载工作台、以及进行由所述多个吸嘴保持的部件的检测的部件检测工作台；吸嘴升降机构，其在所述部件保持及搭载工作台处使所述多个吸嘴升降；部件检测部，其在所述部件检测工作台处对由所述多个吸嘴保持的部件进行检测；负压流路，其是形成于所述旋转体的内部的空气流路，与外部的负压源连通；正压流路，其是形成于所述旋转体的内部的空气流路，与外部的正压源连通；连接流路，其是形成于所述旋转体的内部的空气流路，与所述多个吸嘴轴各自的内部流路连通；流路切换部，其内置于所述旋转体，具有借助动力用空气而移动的滑柱，通过所述滑柱的移动使所述连接流路选择性地与所述负压流路和所述正压流路连通；第一先导流路以及第二先导流路，它们内置于所述旋转体，供给用于驱动所述流路切换部的滑柱的动力用空气；以及动力空气用连通插头，其与所述旋转体的表面接触，从外部将动力用空气朝所述第一先导流路以及所述第二先导流路供给。

本公开的部件搭载方法是部件搭载装置的部件搭载方法，所述部件搭载装置具备：多个吸嘴，朝多个吸嘴的吸引路导入负压而使多个吸嘴保持部件；多个吸嘴轴，其在下端部将所述多个吸嘴保持为更换自如，且具有与所述吸引路连通的内部流路；旋转体，其将所述多个吸嘴轴以等间距且升降自如的方式保持在以旋转轴为中心的圆周上，通过以旋转轴为中心进行旋转，使所述多个吸嘴朝多个工作台依次移动，该多个工作台包括供所述多个吸嘴进行保持部件或者将所保持的部件搭载于工件的规定的搭载位置的动作的部件保持及搭载工作台、以及进行由所述多个吸嘴保持的部件的检测的部件检测工作台；负压流路，其是形成于所述旋转体的内部的空气流路，与外部的负压源连通；正压流路，其是形成于所述旋转体的内部的空气流路，与外部的正压源连通；连接流路，其是形成于所述旋转体的内部的空气流路，与所述多个吸嘴轴的内部流路连通；流路切换部，其内置于所述旋转体，具有借助动力用空气而移动的滑柱，通过所述滑柱的移动使所述连接流路选择性地与所述负压流路和所述正压流路连通；第一先导流路，其内置于所述旋转体，输送用于使所述滑柱朝所述连接流路与所述负压流路连通的位置移动的动力用空气；以及第二先导流路，其内置于所述旋转体，输送用于使所述滑柱朝所述连接流路与所述正压流路连通的位置移动的动力用空气，其中，所述部件搭载方法包括如下动作：使所述旋转体旋转而使所述多个吸嘴中的一号吸嘴位于所述部件保持及搭载工作台，朝所述第一先导流路供给动力用空气而朝所述一号吸嘴的吸引路导入负压，利用被导入负压的所述一号吸嘴吸引并保持部件，使所述旋转体旋转而使所述一号吸嘴朝所述部件检测工作台移动，在所述部件检测工作台处对所述一号吸嘴保持的部件的有无进行检查，在所述检查中未检测到部件的情况下，朝所述第二先导流路供给动力用空气而从所述负压流路切断所述一号吸嘴的吸引路，使所述旋转体旋转而使所述一号吸嘴位于所述部件保持及搭载工作台，朝所述第二先导流路供给动力用空气而朝所述一号吸嘴的吸引路导入来自所述正压源的正压，并搭载由所述一号吸嘴保持的部件。

根据本公开，在具备多个吸嘴的搭载头中能够进行所希望的工作台处的吸嘴的状态的切换，并且能够实现设备的紧凑化与成本降低。

附图说明

图1是示出本公开的一实施方式的部件搭载装置的整体结构的立体图。

图2是本公开的一实施方式的部件搭载装置所具备的搭载头的结构说明图。

图3是本公开的一实施方式的部件搭载装置所具备的搭载头的部分剖视图。

图4是向本公开的一实施方式的部件搭载装置所具备的搭载头供给空压的歧管的剖视图。

图5是示出本公开的一实施方式的部件搭载装置所具备的搭载头的旋转体的内部的空气流路的配置的水平剖视图。

图6是本公开的一实施方式的部件搭载装置所具备的搭载头的部件检测工作台的部件检测的说明图。

图7是本公开的一实施方式的部件搭载装置所具备的搭载头的正压供给系统以及真空排气系统的结构说明图。

图8是示出本公开的一实施方式的部件搭载装置的控制系统的结构的框图。

图9是本公开的一实施方式的部件搭载装置的部件搭载处理的流程图。

图10是示出本公开的一实施方式的部件搭载方法中的搭载头部件保持工序的作业处理的流程图。

图11是示出本公开的一实施方式的部件搭载方法中的搭载头部件搭载工序的作业处理的流程图。

具体实施方式

在说明实施方式之前，简单说明现有的问题点。

在日本特开2000-294990号公报、日本特开2013-069798号公报所示的在先技术中，由于该结构而存在以下所述的课题。即，在在先技术中，在搭载头中将切换阀装置配置于相比吸嘴靠外侧的位置，因此，无法避免搭载头的径尺寸的增大。此外，构成为将驱动切换阀装置的驱动机构仅固定配置于与部件保持及搭载工作台对应的位置，因此，仅能够在部件保持及搭载工作台处进行各吸嘴的真空吸引、真空破坏以及正压赋予的切换，无法在其他的工作台处切换吸嘴的状态而实现最佳的部件保持动作。而且，为了也能够在其他的工作台处切换吸嘴的状态，也需要在其他的多个工作台设置驱动切换阀装置的驱动机构，成为设备的紧凑化与成本降低的妨碍。

因此，本公开的目的在于提供一种能够在具备多个吸嘴的搭载头中切换所希望的工作台处的吸嘴的状态，并且能够实现设备的紧凑化与成本降低的部件搭载装置以及部件搭载方法。

接着，参照附图对本公开的实施方式进行说明。首先，参照图1对本实施方式的部件搭载装置1的构造进行说明。以下，将基板的搬运方向定义为X方向，与X方向在水平面内正交的方向定义为Y方向，相对于XY平面正交的方向定义为Z方向，以Z方向为轴而旋转的水平面内的方向定义为θ方向。部件搭载装置1具有朝吸嘴的吸引孔导入负压而通过真空吸附来保持部件并将该部件搭载于作为工件的基板的规定的搭载位置的功能。

在图1中，在基台1a的中央部配设有具备沿着X方向延伸的一对输送机的基板搬运机构2。基板搬运机构2从上游侧装置接收部件搭载对象的基板3并搬运，将基板3定位保持于以下说明的部件搭载机构的搭载作业位置。在基板搬运机构2的两侧方配设有部件供给部4。部件供给部4通过在进给台4a上并排设置多个带供给器5而构成。带供给器5通过对收纳有要向基板3搭载的部件的载带进行间距进给，从而将搭载对象的部件向部件搭载机构的搭载头8的取出位置供给。

接着，对部件搭载机构进行说明。在基台1a的X方向的端部配设有具备线性驱动机构的Y轴工作台6，具备线性驱动机构的X轴工作台7以沿着Y方向移动自如的方式装配于Y轴工作台6。板构件9以沿着X轴方向移动自如的方式装配于X轴工作台7，在板构件9经由保持框架10装配有搭载头8。

搭载头8具有利用吸嘴19(参照图2、图3)从部件供给部4拾取并保持要向基板3搭载的部件(省略图示)的功能。通过驱动Y轴工作台6、X轴工作台7而使搭载头8沿X方向、Y方向水平移动，将由吸嘴19保持的部件搭载于定位保持于基板搬运机构2的基板3的规定的搭载位置。作为吸嘴19，使用朝在前端部开口的吸引路19a(参照图3)导入由负压源48(参照图7)产生的负压而保持部件的吸附嘴。在搭载头8设置有在图1中省略了图示的基板识别用相机51a以及基板识别用照明51b、利用基板识别用相机51a对由基板搬运机构2搬入的基板3进行摄像，由此识别基板3的位置。

接着，参照图2、图3对搭载头8的构造进行说明。在图2中，搭载头8具有侧面与上表面被保持框架10与固定于保持框架10的罩8a覆盖的构造。在保持框架10的下部沿着水平方向伸出地设置有旋转体保持部11。在旋转体保持部11，圆柱形的旋转体12经由轴承11a被保持为以Z方向的旋转轴CL为轴心而旋转自如(参照图3)。旋转体12构成为包括由轴承11a轴支承的旋转体本体部12a、以及与旋转体本体部12a的下表面结合的旋转体下部12b。

旋转体12在以旋转轴CL为中心的圆周上等间距地保持多个(此处，12个)吸嘴轴16，吸嘴轴16利用图2所示的吸嘴升降机构24而升降自如。在吸嘴轴16各自的下端部经由吸嘴支架18将吸嘴19保持为更换自如。在本实施方式中，对保持于吸嘴轴16的多个(12个)吸嘴19以一号吸嘴～十二号吸嘴的方式编号，以便单独地确定这些吸嘴19。一号吸嘴相当于本公开的对象吸嘴。

吸嘴轴16具有在保持吸嘴19的状态下与吸引路19a连通的内部流路16b(参照图3)。通过使内部流路16b与负压源连通，朝吸嘴19的吸引路19a导入负压，在吸嘴19的前端部通过真空吸附来保持部件。另外，通过从负压源切断内部流路16b、破坏吸引路19a内的真空，解除吸嘴19的前端部处的部件的真空吸附。此外，通过使内部流路16b与正压源连通，朝吸嘴19的吸引路19a内赋予正压，能够通过空气吹送使存在于吸嘴19的前端部的部件脱离。

旋转体12以旋转轴CL为中心进行旋转，由此，保持于吸嘴轴16的多个吸嘴19朝旋转体12的分度旋转中的吸嘴19的停止位置亦即12个位置(参照图5所示的ST1～ST12)的吸嘴停止工作台依次移动。在这些吸嘴停止工作台包括：供各个吸嘴19进行保持部件P或者将所保持的部件P向作为工件的基板3的规定的搭载位置搭载的动作的部件保持及搭载工作台ST1、利用部件检测部31进行由吸嘴19保持的部件P的检测的部件检测工作台ST3、以及进行由吸嘴19保持的部件P的识别的部件识别工作台ST7。

上述的旋转体12的分度旋转动作由以下所示的驱动机构进行。在旋转体12的上表面固定有以旋转轴CL为轴心的保持体从动齿轮13，在从保持框架10沿横向伸出设置的上搁板构件10a配设有位于旋转体保持部11的上方的分度马达14。在分度马达14搭载有与保持体从动齿轮13啮合的分度驱动齿轮14a。通过驱动分度马达14，经由分度驱动齿轮14a驱动保持体从动齿轮13，由此，旋转体12与保持体从动齿轮13一起进行分度旋转(箭头a)。

在旋转体下部12b的下表面配设有由固定于旋转体保持部11的结合构件11b保持的歧管40。在歧管40设置有与正压源46(参照图7)连通的空气用连通插头42(参照图4)，空气用连通插头42以与旋转体下部12b的下表面的接触面CS滑动接触的方式设置。通过这样的结构，在上述的旋转体12的分度旋转中，空气用连通插头42能够将来自正压源46的正压空气经由与各吸嘴轴16对应地设置于旋转体12的接触面CS(参照图3)的正压空气供给用的开口而朝形成于旋转体12的内部的空气流路供给。

在图2中，在保持框架10的上部沿着水平方向伸出设置有固定圆筒凸轮22的凸轮保持部21。在圆筒凸轮22的外周面设置有引导槽22a。引导槽22a设置成与保持框架10相反的一侧高，随着接近保持框架10而缓慢降低。安装于各吸嘴轴16的顶部的凸轮从动件20以能够沿着引导槽22a移动的方式组装于圆筒凸轮22。

当旋转体12进行分度旋转时，吸嘴轴16响应于此而沿着水平方向环绕移动并沿着圆筒凸轮22的引导槽22a进行上下运动。此时，吸嘴轴16处于由设置于旋转体12的上表面的弹簧构件23向上方施力的状态。圆筒凸轮22在引导槽22a最低的部位处被切除一部分，在该切除部位处引导槽22a中断。

在保持框架10与圆筒凸轮22之间配设有吸嘴升降机构24。吸嘴升降机构24构成为包括沿着Z方向延伸的螺纹轴24a、旋转驱动螺纹轴24a的Z轴马达24b、以及与螺纹轴24a螺合的螺母24c。在螺母24c设置有能够沿着圆筒凸轮22的切除部位升降移动的凸轮从动保持件24d。凸轮从动保持件24d通过Z轴马达24b的驱动而与螺母24c一起升降。凸轮从动保持件24d具有补足在切除部位处中断的引导槽22a的形状。

沿着引导槽22a移动而来的凸轮从动件20在该位置处从引导槽22a脱离，转移到在与引导槽22a相同的高度位置处待机的凸轮从动保持件24d而被保持。在该状态下驱动Z轴马达24b，由此，凸轮从动保持件24d以及凸轮从动件20与凸轮从动件20一起升降(箭头b)。

吸嘴轴16的顶部经由接头部(省略图示)与凸轮从动件20旋转自如地结合。通过该结构，当凸轮从动件20升降时，经由接头部结合的吸嘴轴16升降，保持于吸嘴轴16的下端部的吸嘴支架18的吸嘴19升降(箭头c)。即，凸轮从动保持件24d保持凸轮从动件20的吸嘴轴16的位置成为吸嘴轴16进行升降以便利用吸嘴19吸附并取出部件以及将所保持的部件搭载于基板3的部件保持及搭载工作台ST1。

在圆筒凸轮22以相对于圆筒凸轮22相对旋转自如的方式设置有上下贯通的圆柱状的旋转轴25。如图3所示，旋转轴25的下端部25a经由轴承25b嵌入以旋转轴CL为中心设置于旋转体12的上部的安装孔12e，从而相对于旋转体12旋转自如。在旋转轴25的内部形成有上下贯通而到达旋转体12的旋转轴内孔25c、旋转轴内孔25c的下端部与设置于旋转体12的内部的负压流路12f连通。此外，旋转轴25的上端部经由吸引管29与负压源48连接，由此，能够经由旋转轴内孔25c对负压流路12f内进行真空吸引(箭头g)。

在旋转体12的内部与各吸嘴轴16对应地设置有多个流路切换部32(也参照图3)。流路切换部32是滑阀形式的切换阀，具有将装配于吸嘴轴16的吸嘴19的吸引路19a选择性地与和负压源48连通的负压流路12g以及和正压源46连通的正压流路12h连接的功能，该负压流路12g以及正压流路12h均是形成于旋转体12的内部的空气流路。即，在将吸嘴19的吸引路19a与负压源48连接的情况下，流路切换部32与旋转轴内孔25c连通而导入负压。而且，在吸嘴19的吸引路19a与正压源46连接的情况下，流路切换部32与歧管40的空气用连通插头42连通。

在本实施方式中，利用具有上述功能的流路切换部32，在部件搭载时将吸嘴19的吸引路19a从与负压流路12g连接的状态切换成与正压流路12h连接的状态，由此，向吸引路19a导入正压而使部件从该吸嘴19脱离，在利用检测存在于吸嘴19的前端的部件的部件检测部31进行带回部件的检测之前，将吸引路19a与负压流路12g连接而导入负压。这样，通过向部件搭载后的吸嘴19的吸引路19a强制性地导入负压，能够防止带回部件不经意地落下。

此外，流路切换部32构成为，在利用部件检测部31未在搭载有部件的吸嘴19检测到带回部件的情况下，将该吸引路19a与正压流路12h连接，由此将该吸嘴19的吸引路19a从负压流路12g切断。由此，能够防止从没有带回部件的吸嘴19不必要地泄漏真空。

在旋转轴25的上端部附近固定有以旋转轴CL为轴心的θ旋转从动齿轮26。在圆筒凸轮22的上方配置有结合了与θ旋转从动齿轮26啮合的θ旋转驱动齿轮27a的θ轴马达27。θ旋转从动齿轮26通过θ轴马达27的驱动而经由θ旋转驱动齿轮27a沿着θ方向旋转。由此，旋转轴25与θ旋转从动齿轮26一起沿着θ方向旋转(箭头d)。

在旋转轴25中的旋转体12与圆筒凸轮22之间结合有与吸嘴轴16的升降行程对应地沿着上下方向延伸的形状的吸嘴驱动齿轮28。在各吸嘴轴16，在与吸嘴驱动齿轮28啮合的位置结合有吸嘴旋转齿轮28a。各吸嘴轴16通过吸嘴驱动齿轮28的驱动而经由吸嘴旋转齿轮28a一并沿着θ方向旋转。这样，吸嘴轴16通过θ轴马达27的驱动而沿着θ方向旋转，由此，保持于吸嘴轴16的下端部的吸嘴支架18的吸嘴19也沿着θ方向旋转。

在上搁板构件10a的下方设置有从保持框架10沿横向伸出的下搁板构件10b，在从下搁板构件10b的端部朝下方伸出的保持托架10c配设有部件识别部30。此外，在从保持托架10c的下端部沿着水平方向伸出并被保持的镜筒部31d配设有部件检测部31。部件识别部30具有如下功能：在保持于旋转体12的吸嘴轴16的下端部的吸嘴19通过旋转体12的分度旋转而位于部件识别工作台ST7的时刻，从下方对保持于该吸嘴19的部件P的状态进行摄像。

即，在镜筒部31d配设有位于部件识别工作台ST7以及部件识别用相机30a各自的下方的反射镜30b。利用部件识别用照明30c(参照图8)对由位于部件识别工作台ST7的吸嘴19保持的部件照射照明光，并利用这些反射镜30b将该反射光引导至部件识别用相机30a(箭头e)，由此取得由吸嘴19保持的部件的图像。然后，通过对这些取得图像进行识别处理而识别部件的标识、位置偏移状态。当将部件搭载于基板3时，考虑部件识别部30对部件的识别结果，进行搭载头8中的吸嘴轴16的θ方向位置以及基于部件搭载机构的XY方向位置的搭载位置修正。

部件检测部31具有对在部件检测工作台ST3上位于吸嘴19的前端的部件P进行检测的功能。作为部件检测部31，使用光检测设备、CCD、CMOS等光学地检测部件的光学传感器。在本实施方式所示的例子中，由配置于镜筒部31d的侧相机31a以及反射镜31b、侧相机用照明31c(参照图6)构成部件检测部31，利用侧相机31a对位于部件检测工作台ST3的吸嘴19的前端部进行摄像。

即，如图6所示，隔着位于部件检测工作台ST3的吸嘴19而配置侧相机用照明31c以及反射镜31b，利用侧相机31a接收由反射镜31b反射从侧相机用照明31c投射并透过吸嘴19的照明光(箭头h)而得到的反射光(箭头f)并进行摄像。然后，利用控制部50的部件姿势检测处理部50f(参照图8)对该摄像结果进行识别处理，由此能够检测部件检测工作台ST3处的吸嘴19所保持的部件P的存在的有无，此外能够检测由吸嘴19保持的部件P的姿势。

在本实施方式中，在搭载头8移动至保持于基板搬运机构2的基板3上并将保持于各吸嘴19的部件P搭载于基板3后，借助部件检测部31的功能检测存在于吸嘴19的前端的带回部件。然后，在利用部件检测部31检测到带回部件的情况下，在设定于部件搭载装置1的搭载头8的移动路径中的规定的部件回收位置处废弃该部件。

接着，参照图3、图5对形成于搭载头8的旋转体12的内部的空气流路以及基于这些空气流路的吸引及排气系统进行说明。需要说明的是，图5示意性地示出图3所示的旋转体12的水平剖面。如图3所示，在旋转体12中，吸嘴轴16穿过设置成上下贯通旋转体12的吸嘴轴保持孔15。

如图5所示，在旋转体12中，在以旋转轴CL为中心的同心圆周上形成有用于等间距地保持多个(此处为12个)吸嘴轴16的多个吸嘴轴保持孔15。吸嘴轴保持孔15的内径被设定为大于吸嘴轴16的外径，在吸嘴轴16穿过吸嘴轴保持孔15的状态下，在吸嘴轴保持孔15的内周面15a与吸嘴轴16的外周面16a之间形成允许空气的流动的空隙部15b。在各吸嘴轴保持孔15的上下两端部设置有轴承部17，吸嘴轴16与轴承部17滑动自如且气密地嵌合。由此，在相对于外部密封空隙部15b的状态下，能够进行吸嘴轴16的升降以及绕轴的旋转。

在设置于吸嘴轴16的内部的内部流路16b的上方，在夹在上下的两个轴承部17之间的位置设置有朝吸嘴轴16的外周面16a开口且与空隙部15b连通的开口部16c。即便吸嘴轴16上下移动，开口部16c也位于夹在上下的两个轴承部17之间的空隙部15b的范围内。

在旋转体12的内部在沿着旋转轴CL的纵向上设置有经由旋转轴内孔25c以及吸引管29(参照图2)与负压源48连通的负压流路12f。在负压流路12f与吸嘴轴保持孔15之间的阀保持孔33中，圆筒状的流路切换部32与各吸嘴轴保持孔15对应地配置在同心圆周上。流路切换部32贯通旋转体下部12b并从下方插入阀保持孔33，借助紧固于旋转体下部12b的下表面12d的阀保持构件12c固定于旋转体12。通过像这样将流路切换部32在旋转体12中配置于吸嘴轴16的内周侧，能够将回转形式的搭载头8构成为小型及紧凑。

流路切换部32在中央部具备阀缸体34。阀缸体34是在内部具有供滑柱35上下滑动自如地嵌合的嵌合孔的筒状构件。滑柱35形成为具有与阀缸体34嵌合的上部活塞35a、下部活塞35b以及将上部活塞35a与下部活塞35b连结的连结杆35c的形状。滑柱35上升而上部活塞35a位于上方(一端侧)，由此，在下部活塞35b的下方(另一端侧)形成第一空间32a(参照图3中右侧的流路切换部32)。

此外，滑柱35下降而下部活塞35b位于下方(另一端侧)，由此，在上部活塞35a的上方(一端侧)形成第二空间32b(参照图3中左侧的流路切换部32)。然后，上部活塞35a与下部活塞35b之间的连结空间32c伴随着滑柱35的上下移动而在阀缸体34内移动。

在阀缸体34设置有使流路切换部32的内部空间(第一空间32a、第二空间32b以及连结空间32c)与形成于旋转体12的内部的以下的空气流路连通的连接端口亦即第一驱动端口34a、第二驱动端口34b、连接端口34c、正压端口34d、负压端口34e。

这些空气流路包括与外部的负压源连通的负压流路12f、12g、与外部的正压源连通的多个正压流路12h、以及与吸嘴轴16的内部流路16b连通的多个连接流路12i。此外，在旋转体12中，作为空气流路而内置有供给用于驱动流路切换部32的滑柱35的动力用空气的多个第一先导流路12j以及多个第二先导流路12k。

利用经由第一先导流路12j、第二先导流路12k供给的动力用空气驱动滑柱35而使之上下移动，由此，流路切换部32选择性地使连接流路12i与负压流路12g以及正压流路12h连通。此处，驱动滑柱35的动力用空气经由与旋转体12的表面(此处为设定于旋转体下部12b的下表面12d的外缘部的接触面CS)接触的多个空气用连通插头42(参照图4)中的至少两个空气用连通插头42、即第一动力空气用连通插头42(1)、第二动力空气用连通插头42(2)，从外部向第一先导流路12j、第二先导流路12k供给(参照图5所示的第一动力空气用连通插头42(1)～正压空气用连通插头42(5))。

对动力用空气的供给以及流路切换部32的功能的详细情况进行说明。如图3所示，在旋转体下部12b的下表面12d的外缘部设置有呈以旋转轴CL为中心的环状且从旋转轴CL观察时在半径方向上具有规定的宽度B的平坦的环圈状的接触面CS(也参照图5)。在第一先导流路12j、第二先导流路12k以及正压流路12h的入口、即与第一先导流路12j、第二先导流路12k以及正压流路12h分别连通地设置于旋转体下部12b的第一空气流路36、第二空气流路37、第三空气流路38中，在接触面CS开口的多个第一开口36a、第二开口37a、第三开口38a与各流路切换部32对应地分别配置于接触面CS。

此处，参照图4对空气用连通插头42的构造以及功能进行说明。在图4中，旋转体下部12b的外缘部的下表面12d成为空气用连通插头42接触而与旋转体12的空气流路连通的接触面CS。在接触面CS的外周侧配置有与第一先导流路12j连通的第一空气流路36开口的第一开口36a，在接触面CS的内周侧配置有与第二先导流路12k、正压流路12h连通的第二空气流路37、第三空气流路38开口的第二开口37a、第三开口38a。

在旋转体下部12b的下方配设有装配了与接触面CS接触的多个空气用连通插头42的歧管40。在与外周侧的第一开口36a对应的位置装配第一动力空气用连通插头42(1)、第三动力空气用连通插头42(3)，在与内周侧的第二开口37a、第三开口38a对应的位置装配第二动力空气用连通插头42(2)、第四动力空气用连通插头42(4)、正压空气用连通插头42(5)。

各空气用连通插头42是在与接触面CS接触的接触部具有供气开口42a、且具有与设置于歧管40的带阶梯形状的嵌合孔41嵌合的凸缘部42b以及轴部42c的形状的中空状构件。凸缘部42b由装配在嵌合孔41内的弹簧构件43朝上方施力，由此，空气用连通插头42的上端部与接触面CS滑动接触。

在歧管40设置有向各个空气用连通插头42供给空压且与正压源46连接的第一空气流路44、第二空气流路45。需要说明的是，供气开口42a的形状以及大小被设定为长圆形状等能够包括第一开口36a、第二开口37a、第三开口38a的形状，能够从空气用连通插头42即将到达目标位置的时刻起确保连通状态。

第一动力空气用连通插头42(1)在与接触面CS接触的状态下从第一开口36a经由第一空气流路36与第一先导流路12j连通，第二动力空气用连通插头42(2)在与接触面CS接触的状态下从第二开口37a经由第二空气流路37与第二先导流路12k连通。如上所述，流路切换部32具有设置于滑柱35的一端侧的第一空间32a、以及设置于另一端侧的第二空间32b，当滑柱35借助供给至第一空间32a的动力用空气而朝另一端侧移动时，连接流路12i与负压流路12g连通。然后，当滑柱35借助供给至第二空间32b的动力用空气而朝一端部移动时，连接流路12i与正压流路12h连通。

即，内置于旋转体12的第一先导流路12j具有输送使滑柱35朝连接流路12i与负压流路12g连通的位置移动的动力用空气的功能，第二先导流路12k具有输送使滑柱35朝连接流路12i与正压流路12h连通的位置移动的动力用空气的功能。换言之，通过从第一空气流路36朝第一驱动端口34a供给动力用空气，滑柱35上升而成为形成第一空间32a的状态。此外，通过从第二空气流路37朝第二驱动端口34b供给动力用空气，滑柱35下降而成为形成第二空间32b的状态。在该流路切换部32的动作中，第一先导流路12j与第一空间32a连通，第二先导流路12k与第二空间32b连通。

连接端口34c与连接流路12i连通，连接流路12i在吸嘴轴保持孔15的内周面15a开口而与空隙部15b连通。此时，不论滑柱35位于上升及下降的哪个位置，连接端口34c都处于始终与连结空间32c连通的状态，由此空隙部15b始终与连结空间32c连通。

正压端口34d与正压流路12h连通，此外，正压流路12h与形成于旋转体下部12b的正压供给用的第三空气流路38连通。在滑柱35下降的状态下，当从第三空气流路38朝正压端口34d供给正压空气时，朝连接端口34c内供给正压空气，由此，经由连接流路12i、空隙部15b、开口部16c朝内部流路16b供给正压空气。

与此相对，在滑柱35上升的状态下，正压端口34d由下部活塞35b堵塞，切断正压空气的供给。与此相伴，成为与负压端口34e连通的负压流路12g与连结空间32c连通的状态，在该状态下使负压流路12f成为负压，由此，经由负压流路12g、连接端口34c、连接流路12i、空隙部15b、开口部16c朝内部流路16b内导入负压。

此处，参照图5对旋转体12中的与各吸嘴停止工作台ST对应的第一开口36a、第二开口37a、第三开口38a以及空气用连通插头42的配置进行说明。需要说明的是，在图5中，省略设置有空气用连通插头42的歧管40的图示。如图5所示，在搭载头8设定有在旋转体12的分度旋转中吸嘴19停止的12个吸嘴停止工作台ST(部件保持及搭载工作台ST1～ST12)。

在旋转体12中，与位于各吸嘴停止工作台ST的吸嘴轴保持孔15以及流路切换部32对应地配置第一开口36a、第二开口37a、第三开口38a。这些开口成为将位于外周侧的第一开口36a作为顶点且将连结内周侧的第二开口37a、第三开口38a的线作为底边的3角配置。

在歧管40中，在与部件保持及搭载工作台ST1对应的第一开口36a、第二开口37a、第三开口38a的位置，分别配置第一动力空气用连通插头42(1)、第二动力空气用连通插头42(2)、正压空气用连通插头42(5)。第一动力空气用连通插头42(1)在部件保持及搭载工作台ST1处在与接触面CS接触的状态下从第一开口36a与第一先导流路12j连通，第二动力空气用连通插头42(2)在部件保持及搭载工作台ST1处在与接触面CS接触的状态下从第二开口37a与第二先导流路12k连通。

此外，正压空气用连通插头42(5)在部件保持及搭载工作台ST1处在与接触面CS接触的状态下从第三开口38a与正压流路12h连通。在部件保持及搭载工作台ST1处吸嘴19进行部件的搭载动作的情况与吸嘴19废弃部件的情况下，正压空气用连通插头42(5)朝正压流路12h供给正压空气，以使得该吸嘴19的吸引路19a成为正压而促进部件的脱离。

在歧管40中，在与相比部件保持及搭载工作台ST1靠后且相比部件检测工作台ST3靠前的吸嘴停止工作台ST中的一个工作台(在此处所示的例子中为部件保持及搭载工作台ST1的下一个的第二吸嘴停止工作台ST2)对应的第一开口36a的位置，配置有从第一开口36a与第一先导流路12j连通的第三动力空气用连通插头42(3)。在部件保持及搭载工作台ST1处进行部件搭载动作后的吸嘴19到达部件检测工作台ST3之前，第三动力空气用连通插头42(3)朝第一先导流路12j供给动力用空气，以便朝该吸嘴19的吸引路19a导入负压。

即，在部件保持及搭载工作台ST1与部件检测工作台ST3之间具有至少一个吸嘴停止工作台ST，流路切换部32在部件保持及搭载工作台ST1的下一个的吸嘴停止工作台ST处，在结束部件的搭载的多个吸嘴19到达部件检测工作台ST3之前，将该多个吸嘴19的吸引路19a与负压流路12g连接。这样，通过朝部件搭载后的吸嘴19的吸引路19a强制性地导入负压，能够防止带回部件不经意地落下。

在歧管40中，在与部件检测工作台ST3或者相比部件检测工作台ST3靠后的吸嘴停止工作台ST对应的第二开口37a的位置，配置有从第二开口37a与第二先导流路12k连通的第四动力空气用连通插头42(4)。当在部件检测工作台ST3处未检测到部件的情况下，第四动力空气用连通插头42(4)朝第二先导流路12k供给动力用空气，以便对该吸嘴19的吸引路19a进行真空破坏。

即，在利用部件检测部31在搭载部件后的吸嘴19未检测到带回部件的情况下，流路切换部32在部件检测工作台ST3或者其下一个吸嘴停止工作台ST处，将该吸嘴19的吸引路19a与正压流路12h连接，由此从负压流路12g切断该吸引路19a。由此，能够防止从没有带回部件的吸嘴19不必要地泄漏真空。

接着，参照图7对搭载头8的正压供给系统以及真空排气系统的结构进行说明。形成于旋转体12的内部的负压流路12f经由包括旋转轴内孔25c以及吸引管29(参照图2)的排气路径与负压源48连接。在该排气路径夹设有真空开闭阀VV，通过开闭真空开闭阀VV，能够使负压源48向负压流路12f内的负压的导入接通/断开。在装置运转状态下真空开闭阀VV处于打开状态，负压流路12f、12g始终处于被赋予负压的状态。

配置于部件保持及搭载工作台ST1的第二动力空气用连通插头42(2)、第一动力空气用连通插头42(1)、正压空气用连通插头42(5)分别经由第一空气流路44、第二空气流路45、第一空气流路44与正压源46连接。在第一空气流路44、第二空气流路45、第一空气流路44分别夹设有第二开闭阀V2、第一开闭阀V1、第五开闭阀V5，此外，在到达第五开闭阀V5的第一空气流路44夹设有减压阀RV。

通过开闭第二开闭阀V2、第一开闭阀V1、第五开闭阀V5，能够使向第二动力空气用连通插头42(2)、第一动力空气用连通插头42(1)的动力用空气的供给、向正压空气用连通插头42(5)的吹送用的正压空气的供给接通/断开。在该正压空气的供给中，通过调整减压阀RV，能够将正压空气的供给压调整为所希望的压力值(例如0.01MPa)。

配置于第二吸嘴停止工作台ST2的第三动力空气用连通插头42(3)经由第二空气流路45与正压源46连接。在第二空气流路45夹设有第三开闭阀V3，通过开闭第三开闭阀V3，能够使向第三动力空气用连通插头42(3)的动力用空气的供给接通/断开。配置于第四吸嘴停止工作台ST4的第四动力空气用连通插头42(4)经由第一空气流路44与正压源46连接。在第一空气流路44夹设有第四开闭阀V4，通过开闭第四开闭阀V4，能够使向第四动力空气用连通插头42(4)的动力用空气的供给接通/断开。

接着，参照图8对部件搭载装置1的控制系统的结构进行说明。在图8中，在对部件搭载装置1的装置整体进行控制的控制部50连接有作为控制、输入的对象的以下的控制对象要素。在这些控制对象要素中包括第一开闭阀V1～第五开闭阀V5、真空开闭阀VV、Z轴马达24b、θ轴马达27、分度马达14、X轴工作台7、Y轴工作台6、基板搬运机构2、部件供给部4、侧相机31a、侧相机用照明31c、部件识别用相机30a、部件识别用照明30c、基板识别用相机51a、基板识别用照明51b以及触摸面板52。需要说明的是，触摸面板52具有显示控制部50所进行的控制处理的操作输入时的引导画面等的功能。

此外，在控制部50，作为对这些控制对象要素进行控制的控制处理功能，设置有搭载头控制部50a、目标位置运算部50b、存储部50c、XY轴控制部50d、单元控制部50e、部件姿势检测处理部50f、部件识别处理部50g、基板识别处理部50h。

搭载头控制部50a对设置于搭载头8的第一开闭阀V1～第五开闭阀V5、真空开闭阀VV、吸嘴升降机构24、θ轴马达27、分度马达14进行控制，由此控制搭载头8的吸嘴19所进行的部件保持、部件搭载的动作。即，搭载头控制部50a对第一开闭阀V1～第五开闭阀V5、真空开闭阀VV进行控制，由此，在与预先规定的吸嘴19的动作状态相应的规定的时刻，经由配置于歧管40的空气用连通插头42朝形成于搭载头8的旋转体12的内部的空气流路供给动力用空气、正压吹送用的空气以及负压，并且切断供给。

目标位置运算部50b进行如下处理：对将由搭载头8的吸嘴19保持的部件搭载于定位于基板搬运机构2的基板3时的目标位置进行运算。在该处理中，参照基于部件识别用相机30a、基板识别用相机51a的摄像结果求出的部件识别结果、基板识别结果。

存储部50c存储按照基板3的基板类型制作的安装数据、即安装对象的部件种类、基板3上的安装位置、搭载所使用的吸嘴等的、搭载头8执行部件搭载动作所必要的各种数据。此外，存储部50c使以下说明的部件姿势检测处理部50f、部件识别处理部50g所识别的部件姿势检测结果、部件识别结果与搭载头8的单独的吸嘴19、即对吸嘴19编号的吸嘴号码对应地暂时保存。

XY轴控制部50d对X轴工作台7、Y轴工作台6进行控制，由此在部件搭载动作中使搭载头8朝规定位置移动。单元控制部50e对基板搬运机构2、部件供给部4等与部件安装动作相关联的机构单元进行控制。部件姿势检测处理部50f对侧相机31a、侧相机用照明31c进行控制，并且对侧相机31a的摄像结果进行识别处理，由此进行检测吸嘴19的前端的部件的有无、部件姿势的正确与否的处理。

部件识别处理部50g对部件识别用相机30a、部件识别用照明30c进行控制，并且对部件识别用相机30a的摄像结果进行识别处理，由此，进行检测由吸嘴19保持的状态下的部件的位置的处理。基板识别处理部50h对基板识别用相机51a、基板识别用照明51b进行控制，并且对基板识别用相机51a的摄像结果进行识别处理，由此进行检测定位于基板搬运机构2的基板3的位置的处理。

接着，参照图9对由部件搭载装置1执行的部件搭载处理(部件搭载方法)进行说明。首先，当开始部件搭载作业时，执行基板搬入(S1)。即，利用基板搬运机构2将从上游侧装置搬入到基板搬运机构2的基板3向搭载作业位置定位。接着，执行基板识别(S2)。即，利用基板识别处理部50h对由基板识别用相机51a拍摄基板3而得到的摄像结果进行识别处理，由此识别基板3的位置。

接着，执行搭载头部件保持工序(S3)。此处，执行利用搭载头8所具备的多个(此处为12个)的吸嘴19从部件供给部4拾取部件而将其取出的动作。即，通过使旋转体12旋转，使吸嘴19(一号吸嘴～十二号吸嘴)依次位于部件保持及搭载工作台ST1，进行部件保持动作。然后，在旋转体12旋转一圈而基于全部的吸嘴19的部件保持动作完成的时刻，旋转体12停止旋转。

接着，执行搭载头部件搭载工序(S4)。此处，使在各吸嘴19保持有部件的搭载头8向定位于基板搬运机构2的基板3上移动，使保持有部件的多个吸嘴19下降，依次执行将该部件搭载于针对每个部件设定的规定的搭载位置的动作。即，通过使旋转体12旋转，使各吸嘴19(一号吸嘴～十二号吸嘴)朝部件保持及搭载工作台ST1依次移动，进行部件搭载动作。然后，对各吸嘴19在第二吸嘴停止工作台ST2～第四吸嘴停止工作台ST4处执行包括带回部件的有无的检测在内的规定的处理。

接着，基于上述的带回部件的有无的检测结果，判定是否有带回部件(S5)。此处，在判定为有带回部件的情况下，执行部件废弃处理(S6)。即，使被检测到该带回部件的吸嘴19位于部件保持及搭载工作台ST1，并且使搭载头8朝规定的部件回收位置移动，朝该吸嘴19的吸引路19a供给正压空气而使带回部件脱离从而废弃。需要说明的是，在该部件废弃处理中，在搭载头部件保持工序(S3)中判定为吸嘴19的前端的吸附状态为异常而跳过向基板3的搭载的异常姿势部件也与带回部件一并作为废弃的对象。

然后，如果(S6)完成，并且在(S5)中判定为没有带回部件，则判断是否有未搭载部件(S7)。此处，在有未搭载部件的情况下，返回到(S3)，反复执行以后的处理。然后，当在(S7)中判断为没有未搭载部件时，完成将基板3作为对象的部件搭载处理，执行基板搬出(S8)。

参照图10来说明在上述的搭载头部件保持工序中，在部件保持及搭载工作台ST1～部件识别工作台ST7处对各吸嘴19执行的处理。此处，仅记载有搭载头8所具备的多个吸嘴19中的一个吸嘴19(此处为一号吸嘴)，但对于其他的吸嘴19(二号吸嘴～十二号吸嘴)也依次执行相同的处理。

首先，使搭载头8中旋转体12旋转，使多个吸嘴19中的一号吸嘴位于部件保持及搭载工作台ST1。然后，判定该一号吸嘴是否是作业对象吸嘴(S11)。此处，在该一号吸嘴是因某些原因而无法使用的坏吸嘴的情况下，或者在存储于存储部50c的安装数据上未被分配搭载对象部件的情况下，判定为对象外。然后，在该情况下，跳过处理(S14)。

当在(S11)中判定为是对象的情况下，使一号吸嘴进行部件保持动作。即，朝第一先导流路12j供给动力用空气而朝一号吸嘴的吸引路19a导入负压，使该一号吸嘴处于真空状态(S12)。然后，在该状态下使一号吸嘴升降(S13)，利用被导入负压的一号吸嘴从部件供给部4吸引并保持部件。

之后，使旋转体12旋转而使保持有部件的一号吸嘴朝部件检测工作台ST3移动，此处，利用部件检测部31执行吸附状态的确认(S31)。此处，利用部件姿势检测处理部50f对由部件检测部31所具备的侧相机31a拍摄吸嘴19的前端而得到的摄像结果进行识别处理，由此，对一号吸嘴保持的部件的有无进行检查，并且确认所保持的部件的姿势是否正常。然后，将该吸附状态的确认结果传送至存储部50c，并与该吸嘴19建立关联地保存(S32)。在前述的(S6)所示的部件废弃处理中，根据此处所保存的确认结果判定为是异常姿势部件的部件成为废弃的对象。

接着，当一号吸嘴移动至第四吸嘴停止工作台ST4时，基于部件检测工作台ST3处的吸附状态确认结果，判断在吸嘴19的前端是否没有部件(S41)。此处，在没有部件的情况下，进行在部件保持及搭载工作台ST1处为真空开启的吸嘴19的真空破坏(S42)。即，在部件检测工作台ST3处的检查中未检测到部件的情况下，朝第二先导流路12k供给动力用空气而从负压流路12g切断一号吸嘴的吸引路19a。由此，停止从未保持部件的吸嘴19的真空吸引，能够防止不必要的真空的泄漏。

此外，在(S41)中判定为有部件的情况下，为了维持真空开启的状态而跳过处理(S43)。需要说明的是，在判定为吸附的部件的姿势不正常的异常姿势部件的情况下，在部件废弃处理之前维持真空开启的状态以防止部件的脱离。之后，当一号吸嘴移动至部件识别工作台ST7时，执行基于部件识别部30的部件识别(S71)，利用部件识别用相机30a对保持于一号吸嘴的部件进行摄像，并利用部件识别处理部50g进行识别处理。将该部件识别结果传送至存储部50c，与该吸嘴19建立关联地保存(S72)。

接着，参照图11对在上述的搭载头部件搭载工序中在各吸嘴停止工作台ST处执行的处理进行说明。此处也与图10相同，此处，仅记载有搭载头8所具备的多个吸嘴19中的一个吸嘴19(此处为一号吸嘴)，但对于其他的吸嘴19(二号吸嘴～十二号吸嘴)也依次执行相同的处理。

首先，使搭载头8中旋转体12旋转，使一号吸嘴位于部件保持及搭载工作台ST1。然后，判定该一号吸嘴能否进行搭载动作(S101)。此处，在该一号吸嘴不是部件搭载对象的情况下，或者在因吸附状态异常等的原因而无法进行搭载动作的情况下，跳过该工作台处的处理(S105)。

当在(S101)中能够进行搭载动作的情况下，使保持有部件的一号吸嘴下降(S102)，进行一号吸嘴的真空破坏以及空气吹送(S103)。由此，使保持于一号吸嘴的部件脱离而搭载于基板3的搭载位置。即，朝第二先导流路12k供给动力用空气而朝一号吸嘴的吸引路19a导入来自正压源46的正压并且搭载保持于一号吸嘴的部件，之后，使搭载部件后的一号吸嘴上升(S104)。

并且之后，在对保持于一号吸嘴的部件进行搭载后，使一号吸嘴朝第二吸嘴停止工作台ST2移动，使该一号吸嘴强制性地处于真空ON状态(S201)。即，朝第一先导流路12j供给动力用空气而朝该一号吸嘴的吸引路19a导入负压。由此，即便在该一号吸嘴存在在部件搭载动作中未正常脱离而成为仍附着的状态的带回部件的情况下，也维持该带回部件保持于该一号吸嘴的状态。因而，能够防止带回部件落下而附着于产品的基板3、装置机构部分所引起的不良情况。

接着，使旋转体12旋转而使一号吸嘴朝部件检测工作台ST3移动。然后，在部件检测工作台ST3处利用部件检测部31进行带回部件的检测(S301)，传送并保存该结果。即，检查在一号吸嘴的前端是否残存有在部件搭载动作中未正常脱离的部件，并将检查结果与该一号吸嘴建立关联地保存于存储部50c。

之后，将一号吸嘴朝第四吸嘴停止工作台ST4移动，判断是否没有带回部件(S401)。此处，在有带回部件的情况下，跳过该工作台处的处理(S403)。由此，能够维持从该一号吸嘴的真空吸附直至进行(S6)的部件废弃处理，防止带回部件的落下。此外，当在(S401)中没有带回部件的情况下，执行一号吸嘴的真空破坏(S402)。即，在部件检测工作台ST3处的检查中未检测到部件的情况下，朝第二先导流路12k供给动力用空气而从负压流路12g切断一号吸嘴的吸引路19a。该真空破坏是为了防止因持续来自不存在部件的吸嘴19的真空吸引而引起的不必要的真空的泄漏而进行的。

需要说明的是，在部件检测工作台ST3处的检查中检测到部件的情况下，执行前述的部件废弃处理(S6)。在该部件废弃处理中，使搭载头8朝规定的部件回收位置移动，并且使旋转体12旋转而使部件废弃对象的一号吸嘴位于部件保持及搭载工作台ST1。然后，此处，朝第二先导流路12k供给动力用空气而从负压流路12g切断一号吸嘴的吸引路19a，并且朝吸引路19a导入来自正压源46的正压而将残存于一号吸嘴的部件在规定的部件回收位置处废弃。

上述的图9、图10、图11所示的部件搭载处理表示具有前述的结构的部件搭载装置1的部件搭载方法。该部件搭载方法构成为包含以下所示的动作步骤。即，在该部件搭载方法中，首先，朝部件保持及搭载工作台ST1依次移动多个吸嘴19，朝多个吸嘴19的吸引路19a导入负压而利用多个吸嘴19保持部件。接着，朝部件保持及搭载工作台ST1与部件检测工作台ST3依次移动多个吸嘴19，在部件保持及搭载工作台ST1处朝多个吸嘴19的吸引路19a导入正压而使部件从多个吸嘴19脱离，将多个部件搭载于作为工件的基板3的多个规定的搭载位置。

接着，在部件检测工作台ST3中，利用部件检测部31对多个吸嘴19进行有无附着于搭载部件后的吸嘴19的带回部件的检查。此处，在检测到带回部件的情况下在规定的部件回收位置处废弃该部件。然后，在部件保持及搭载工作台ST1处结束部件的搭载的多个吸嘴19到达部件检测工作台ST3之前，朝该多个吸嘴19的吸引路19a导入负压。

即，在部件保持及搭载工作台ST1与部件检测工作台ST3之间具有至少一个吸嘴停止工作台ST，流路切换部32在部件保持及搭载工作台ST1的下一个的吸嘴停止工作台ST处朝结束部件的搭载的多个吸嘴19的吸引路19a导入负压。此外，流路切换部32在利用部件检测部31在搭载部件后的吸嘴19未检测到带回部件的情况下，在部件保持及搭载工作台ST1或者其下一个的吸嘴停止工作台ST处，切断朝该吸嘴19的吸引路19a的负压的导入。

需要说明的是，在上述的实施方式中，示出了使用通过使具备多个吸嘴19的旋转体12旋转而使吸嘴19朝多个吸嘴停止工作台依次移动的结构的回转式头作为搭载头8的例子，但本公开并不限定于这样的结构。例如在使用如下的部件搭载装置的情况下，也能够应用本公开：该部件搭载装置构成为具有一个或者多个吸嘴19，具备与吸嘴19单独地对应的流路切换部32、以及检测存在于吸嘴19的部件的部件检测部31，在利用部件检测部31检测到附着于部件搭载后的吸嘴19的带回部件的情况下在规定的部件回收位置处废弃该部件。

该部件搭载装置的部件搭载方法构成为，朝吸嘴19的吸引路19a导入负压来保持部件，朝吸嘴19的吸引路19a导入正压而使部件从吸嘴19脱离从而搭载于作为工件的基板3的规定的搭载位置，在部件检测部31中对附着于搭载部件后的吸嘴19的带回部件进行检测，在检测到带回部件的情况下在规定的部件回收位置处废弃该部件，在该部件搭载方法中，在利用部件检测部31进行带回部件的检测之前，朝吸引路19a导入负压，在利用部件检测部31在搭载部件后的吸嘴19未检测到带回部件的情况下，切断朝该吸嘴19的吸引路19a的负压的导入。在这样的结构中，也能够获得与前述例相同的效果。

如上述说明的那样，本实施方式所示的部件搭载装置构成为，使装配有多个吸嘴轴16的旋转体12以旋转轴为中心进行旋转，该吸嘴轴16在下端部装配有利用负压保持部件的吸嘴19，由此，使多个吸嘴轴16朝包括部件保持及搭载工作台ST1与部件检测工作台ST3的多个吸嘴停止工作台ST依次移动，其中，在吸嘴轴16的内侧配置流路切换部32，该流路切换部32通过内置的滑柱35的移动而将吸嘴19的吸引路19a选择性地连接到与正压源连通的正压流路和与负压源连通的负压流路，将驱动滑柱35的动力用空气经由在所希望的多个吸嘴停止工作台ST处设置有与旋转体12的表面接触的动力空气用连通插头的歧管40朝旋转体12供给。

由此，无需针对每个工作台单独地设置驱动流路切换部32的驱动机构，能够在部件保持及搭载工作台ST1以外的其他的吸嘴停止工作台ST处进行各吸嘴19处的真空吸引、真空破坏以及正压赋予的切换。因而，在具备多个吸嘴19的搭载头8中能够进行所希望的吸嘴停止工作台ST处的吸嘴状态的切换，能够实现设备的紧凑化与成本降低。

此外，在本实施方式所示的部件搭载装置中，利用由吸嘴19借助负压保持部件的搭载头8将由吸嘴19保持的部件搭载于基板3的规定的搭载位置，且具备使吸嘴19的吸引路选择性地连接到与负压源连通的负压流路和与正压源连通的正压流路的流路切换部32、以及对存在于吸嘴19的前端的部件进行检测的部件检测部31，在利用部件检测部31检测到附着于搭载部件后的吸嘴19的带回部件的情况下在规定的部件回收位置处废弃该部件，在该结构中，流路切换部32在部件搭载时将吸引路19a从与负压流路连接的状态切换成与正压流路连接的状态，由此，朝吸引路19a导入正压而使部件从该吸嘴19脱离，在利用部件检测部31进行带回部件的检测之前将吸引路19与负压流路连接而导入负压。

由此，能够防止部件在搭载时产生的且在不稳定的状态下附着于吸嘴的状态的带回部件因搭载头的移动时的冲击等落下而将包括多余的落下部件的不良基板朝后续工序输送，能够防止因部件搭载时产生的带回部件不经意地落下而引起的不良的产生。

本公开的部件搭载装置以及部件搭载方法具有能够在具备多个吸嘴的搭载头中切换吸嘴的状态且能够实现设备的紧凑化与成本降低的效果，在利用负压保持部件并将该部件搭载于工件的部件搭载领域中是有用的。

Claims (13)

1.一种部件搭载装置，其中，

所述部件搭载装置具备：

多个吸嘴，朝多个吸嘴的吸引路导入负压而使多个吸嘴保持部件；

多个吸嘴轴，其在下端部将所述多个吸嘴保持为更换自如，且具有与所述吸引路连通的内部流路；

旋转体，其将所述多个吸嘴轴以等间距且升降自如的方式保持在以旋转轴为中心的圆周上，通过以旋转轴为中心进行旋转，使所述多个吸嘴朝多个工作台依次移动，该多个工作台包括供所述多个吸嘴进行保持部件或者将所保持的部件搭载于工件的规定的搭载位置的动作的部件保持及搭载工作台、以及进行由所述多个吸嘴保持的部件的检测的部件检测工作台；

吸嘴升降机构，其在所述部件保持及搭载工作台处使所述多个吸嘴升降；

部件检测部，其在所述部件检测工作台处对由所述多个吸嘴保持的部件进行检测；

负压流路，其是形成于所述旋转体的内部的空气流路，与外部的负压源连通；

正压流路，其是形成于所述旋转体的内部的空气流路，与外部的正压源连通；

连接流路，其是形成于所述旋转体的内部的空气流路，与所述多个吸嘴轴各自的内部流路连通；

流路切换部，其内置于所述旋转体，具有借助动力用空气而移动的滑柱，通过所述滑柱的移动使所述连接流路选择性地与所述负压流路和所述正压流路连通；

第一先导流路以及第二先导流路，它们内置于所述旋转体，供给用于驱动所述流路切换部的滑柱的动力用空气；以及

动力空气用连通插头，其与所述旋转体的表面接触，从外部将动力用空气朝所述第一先导流路以及所述第二先导流路供给。

2.根据权利要求1所述的部件搭载装置，其中，

所述旋转体具有呈以所述旋转轴为中心的环状且从所述旋转轴的中心观察时在半径方向上具有规定的宽度的平坦的环圈状的接触面，

所述第一先导流路的入口亦即第一开口与所述第二先导流路的入口亦即第二开口配置于所述接触面，

所述动力空气用连通插头至少包括第一动力空气用连通插头与第二动力空气用连通插头，

所述第一动力空气用连通插头在与所述接触面接触的状态下从所述第一开口与所述第一先导流路连通，

所述第二动力空气用连通插头在与所述接触面接触的状态下从所述第二开口与所述第二先导流路连通。

3.根据权利要求2所述的部件搭载装置，其中，

所述流路切换部为如下结构：具有设置于所述滑柱的一端侧的第一空间以及设置于所述滑柱的另一端侧的第二空间，当所述滑柱借助供给至所述第一空间的动力用空气移动到另一端侧时，所述连接流路与所述负压流路连通，当所述滑柱借助供给至所述第二空间的动力用空气移动到一端侧时，所述连接流路与所述正压流路连通，

所述第一先导流路与所述第一空间连通，

所述第二先导流路与所述第二空间连通，

所述第一动力空气用连通插头在所述部件保持及搭载工作台处从所述第一开口与所述第一先导流路连通，

所述第二动力空气用连通插头在所述部件保持及搭载工作台处从所述第二开口与所述第二先导流路连通。

4.根据权利要求3所述的部件搭载装置，其中，

所述部件搭载装置还具备第三动力空气用连通插头，

所述第三动力空气用连通插头在相比所述部件保持及搭载工作台靠后且位于所述部件检测工作台之前的工作台中的一个工作台处从所述第一开口与所述第一先导流路连通。

5.根据权利要求4所述的部件搭载装置，其中，

所述第三动力空气用连通插头在所述部件保持及搭载工作台的下一个工作台处从所述第一开口与所述第一先导流路连通。

6.根据权利要求4所述的部件搭载装置，其中，

所述第三动力空气用连通插头朝所述第一先导流路供给动力用空气，以便在所述部件保持及搭载工作台处进行部件搭载动作后的吸嘴到达所述部件检测工作台之前，朝进行所述部件搭载动作后的吸嘴的吸引路导入负压。

7.根据权利要求3所述的部件搭载装置，其中，

所述部件搭载装置还具备第四动力空气用连通插头，

所述第四动力空气用连通插头在所述部件检测工作台或者相比所述部件检测工作台靠后的工作台处从所述第二开口与所述第二先导流路连通。

8.根据权利要求6所述的部件搭载装置，其中，

当在所述部件检测工作台处未检测到部件的情况下，所述第四动力空气用连通插头朝所述第二先导流路供给动力用空气，以便对未被检测到部件的吸嘴的吸引路进行真空破坏。

9.根据权利要求2所述的部件搭载装置，其中，

所述正压流路的入口亦即第三开口配置于所述接触面，

所述部件搭载装置具备正压空气用连通插头，该正压空气用连通插头在所述部件保持及搭载工作台处在与所述接触面接触的状态下从所述第三开口与所述正压流路连通。

10.根据权利要求9所述的部件搭载装置，其中，

在所述部件保持及搭载工作台处吸嘴进行部件的搭载动作的情况以及吸嘴废弃部件的情况下，所述正压空气用连通插头朝所述正压流路供给正压空气，以使得进行部件的搭载动作的吸嘴或者废弃部件的吸嘴的吸引路成为正压。

11.一种部件搭载方法，其是部件搭载装置的部件搭载方法，

所述部件搭载装置具备：

多个吸嘴，朝多个吸嘴的吸引路导入负压而使多个吸嘴保持部件；

多个吸嘴轴，其在下端部将所述多个吸嘴保持为更换自如，且具有与所述吸引路连通的内部流路；

旋转体，其将所述多个吸嘴轴以等间距且升降自如的方式保持在以旋转轴为中心的圆周上，通过以旋转轴为中心进行旋转，使所述多个吸嘴朝多个工作台依次移动，该多个工作台包括供所述多个吸嘴进行保持部件或者将所保持的部件搭载于工件的规定的搭载位置的动作的部件保持及搭载工作台、以及进行由所述多个吸嘴保持的部件的检测的部件检测工作台；

负压流路，其是形成于所述旋转体的内部的空气流路，与外部的负压源连通；

正压流路，其是形成于所述旋转体的内部的空气流路，与外部的正压源连通；

连接流路，其是形成于所述旋转体的内部的空气流路，与所述多个吸嘴轴的内部流路连通；

流路切换部，其内置于所述旋转体，具有借助动力用空气而移动的滑柱，通过所述滑柱的移动使所述连接流路选择性地与所述负压流路和所述正压流路连通；

第一先导流路，其内置于所述旋转体，输送用于使所述滑柱朝所述连接流路与所述负压流路连通的位置移动的动力用空气；以及

第二先导流路，其内置于所述旋转体，输送用于使所述滑柱朝所述连接流路与所述正压流路连通的位置移动的动力用空气，

其中，

所述部件搭载方法包括如下动作：

使所述旋转体旋转而使所述多个吸嘴中的对象吸嘴位于所述部件保持及搭载工作台，

朝所述第一先导流路供给动力用空气而朝所述对象吸嘴的吸引路导入负压，

利用被导入负压的所述对象吸嘴吸引并保持部件，

使所述旋转体旋转而使所述对象吸嘴朝所述部件检测工作台移动，

在所述部件检测工作台处对所述对象吸嘴保持的部件的有无进行检查，

在所述检查中未检测到部件的情况下，朝所述第二先导流路供给动力用空气而从所述负压流路切断所述对象吸嘴的吸引路，

使所述旋转体旋转而使所述对象吸嘴位于所述部件保持及搭载工作台，

朝所述第二先导流路供给动力用空气而朝所述对象吸嘴的吸引路导入来自所述正压源的正压，并搭载由所述对象吸嘴保持的部件。

12.根据权利要求11所述的部件搭载方法，其中，

所述部件搭载方法包括如下动作：

在搭载由所述对象吸嘴保持的部件后，朝所述第一先导流路供给动力用空气而朝所述对象吸嘴的吸引路导入负压，

使所述旋转体旋转而使所述对象吸嘴朝所述部件检测工作台移动，

在所述部件检测工作台处对在所述对象吸嘴的前端是否残存有部件进行检查，

在所述检查中未检测到部件的情况下，朝所述第二先导流路供给动力用空气而从所述负压流路切断所述对象吸嘴的吸引路。

13.根据权利要求12所述的部件搭载方法，其中，

所述部件搭载方法包括如下动作：

在所述检查中检测到部件的情况下，使所述旋转体旋转而使所述对象吸嘴位于所述部件保持及搭载工作台，朝所述第二先导流路供给动力用空气而朝所述对象吸嘴的吸引路导入来自所述正压源的正压，将残存于所述对象吸嘴的部件在规定的部件回收位置处废弃。