CN104066312B - 吸嘴检查装置及元件安装系统 - Google Patents

Abstract

本发明目的在于提供一种吸嘴检查装置及元件安装系统，能够防止不适合使用状态的吸嘴被误用在元件安装装置中从而防止安装精度下降。通过吸嘴摄像机（13）拍摄保持于吸嘴保持器（3）的吸嘴（2），基于由此取得的图像，判定保持于吸嘴保持器（3）的吸嘴（2）是否处于不适合使用状态。然后，将判定为处于不适合使用状态的吸嘴（2）作为不适合吸嘴从吸嘴保持器（3）拆卸而载置于不适合吸嘴载置部（14A），并且将适合吸嘴从适合吸嘴载置部（14B）取出而保持于吸嘴保持器（3）。

Description

吸嘴检查装置及元件安装系统

技术领域

本发明涉及进行元件安装装置所使用的吸嘴的检查的吸嘴检查装置及包括该吸嘴检查装置而构成的元件安装系统。

背景技术

元件安装装置通过吸嘴对元件进行真空吸附而安装于基板。吸嘴在元件的吸附时将尘土等一起吸入，因而会引起堵塞等，若对此放任不管，则会导致元件的吸附出错等，因此定期地进行清洗。吸嘴通常由吸嘴清洗装置自动地清洗（例如，专利文献1），然后，通过作业者的手工作业来检查基于吸嘴清洗装置的清洗是否充分。

【在先技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本特开2010-269214号公报

发明内容

【发明要解决的课题】

但是，目前，吸嘴清洗后的检查结果没有被管理，因此有时不适合使用状态的吸嘴（所谓的不适合吸嘴）被使用于元件安装装置，由此可能导致安装精度下降。

因此本发明目的在于提供一种能够防止不适合使用状态的吸嘴被误用在元件安装装置中从而防止安装精度下降的吸嘴检查装置及元件安装系统。

【解决方案】

本发明第一方面记载的吸嘴检查装置进行元件安装装置所使用的吸嘴的检查，具备：吸嘴保持器，保持所述吸嘴；吸嘴拍摄单元，拍摄保持于所述吸嘴保持器的所述吸嘴；判定单元，基于通过所述吸嘴拍摄单元取得的图像，判定保持于所述吸嘴保持器的所述吸嘴是否处于不适合使用状态；不适合吸嘴载置部，载置不适合使用状态的所述吸嘴即不适合吸嘴；适合吸嘴载置部，载置不处于不适合使用状态的所述吸嘴即适合吸嘴；吸嘴移动单元，将通过所述判定单元判定为处于不适合使用状态的所述吸嘴作为所述不适合吸嘴而从所述吸嘴保持器拆卸并载置于所述不适合吸嘴载置部，并且将所述适合吸嘴从所述适合吸嘴载置部取出而保持于所述吸嘴保持器。

本发明第二方面记载的吸嘴检查装置以第一方面记载的吸嘴检查装置为基础，具备不适合信息输出单元，所述不适合信息输出单元对于所述判定单元判定为处于不适合使用状态的所述吸嘴，将该吸嘴处于不适合使用状态这一内容的不适合信息向外部输出。

本发明第三方面记载的吸嘴检查装置以第一或第二方面记载的吸嘴检查装置为基础，具备第一报告单元，所述第一报告单元在载置于所述适合吸嘴载置部的所述适合吸嘴为规定数量以下的情况下报告这一内容。

本发明第四方面记载的吸嘴检查装置以第一～第三方面的任一项记载的吸嘴检查装置为基础，具备第二报告单元，所述第二报告单元在能够载置于所述不适合吸嘴载置部的所述不适合吸嘴为规定数量以下的情况下报告这一内容。

本发明第五方面记载的元件安装系统具备：元件安装装置，使用吸嘴向基板安装元件；第二方面记载的吸嘴检查装置；不适合信息登录单元，登录从所述不适合信息输出单元输出的所述不适合信息；吸嘴使用限制单元，基于登录在所述不适合信息登录单元的所述不适合信息，限制处于所述不适合使用状态的所述吸嘴的在所述元件安装装置中的使用。

【发明效果】

本发明中，将基于通过吸嘴拍摄单元取得的图像判定为处于不适合使用状态的吸嘴作为不适合吸嘴从吸嘴保持器拆卸而载置于不适合吸嘴载置部，并且将适合吸嘴从适合吸嘴载置部取出而保持于吸嘴保持器，不适合吸嘴可靠地与适合吸嘴更换，能够防止不适合使用状态的吸嘴被误用在元件安装装置中从而防止安装精度下降。

附图说明

图1是包含本发明的一实施方式的吸嘴检查装置的吸嘴维护系统及元件安装装置的简略结构图。

图2是本发明的一实施方式的吸嘴检查装置的主视图。

图3是本发明的一实施方式的吸嘴检查装置的俯视图。

图4（a）（b）是将在本发明的一实施方式的吸嘴检查装置中使用的吸嘴保持器与吸嘴一起表示的立体图。

图5是表示本发明的一实施方式的吸嘴检查装置的控制系统的框图。

图6是本发明的一实施方式的吸嘴检查装置的局部放大主视图。

图7（a）（b）是表示通过本发明的一实施方式的吸嘴检查装置具备的吸嘴摄像机得到的拍摄图像的一例的图。

图8是表示本发明的一实施方式的吸嘴检查装置进行的吸嘴检查作业的执行步骤的流程图。

【标号说明】

1 吸嘴检查装置

1b 元件安装装置

2 吸嘴

3 吸嘴保持器

13 吸嘴摄像机（吸嘴拍摄单元）

14A 不适合吸嘴载置部

14B 适合吸嘴载置部

15 吸嘴移动机构（吸嘴移动单元）

20d 判定部（判定单元）

20e 不适合信息输出部（不适合信息输出单元）

21 适合吸嘴信息报告部（第一报告单元）

22 不适合吸嘴载置部信息报告部（第2的报告单元）

30 控制部（吸嘴使用限制单元）

30a 不适合信息登录部（不适合信息登录单元）

BJS 元件安装系统

具体实施方式

以下，参照附图，说明本发明的实施方式。图1示出本发明的吸嘴检查装置1和包含该吸嘴检查装置1的吸嘴维护系统NMS及元件安装系统BJS。吸嘴维护系统NMS包含吸嘴检查装置1和吸嘴清洗装置1a而成，元件安装系统BJS由吸嘴维护系统NMS和元件安装装置1b构成。元件安装装置1b是使用吸嘴2向基板安装元件的装置，吸嘴清洗装置1a是对从元件安装装置1b卸下的吸嘴2进行清洗的装置。吸嘴检查装置1在吸嘴清洗装置1a中进行清洗之后进行在元件安装装置1b中使用的吸嘴2的检查。

在图2及图3中，吸嘴检查装置1能够在吸嘴2保持于作为吸嘴2的保持单元的吸嘴保持器3的状态下进行检查，在壳体10内具备吸嘴保持器安装部11、标记摄像机12、吸嘴摄像机13、吸嘴载置构件14及吸嘴移动机构15。

图4（a）、（b）将在吸嘴检查装置1中使用的吸嘴保持器3与吸嘴2一起示出。吸嘴2具有安装在元件安装装置1b上的基部2a和在基部2a安装于元件安装装置1b的状态下向下方延伸的吸嘴主部2b，吸嘴主部2b的下端成为与吸附对象的元件进行接触的元件吸附端2c。在基部2a与吸嘴主部2b之间的部分形成有圆盘状的反射板2d。在反射板2d的上表面（基部2a侧的面）上设有由记录有该吸嘴2的个体信息的二维码标记构成的识别标记2M。

在图4（a）、（b）中，吸嘴保持器3在框状的壳体3a内具备块状的固定部3b和设置在固定部3b的上方的可动板3c。在固定部3b上设有沿上下方向（壳体3a的厚度方向）贯通而延伸的多个吸嘴插入孔3h，可动板3c具有用于使固定部3b的吸嘴插入孔3h露出的多个槽状开口部3d。可动板3c在与固定部3b的上表面分离了规定距离（比吸嘴2的反射板2d的厚度稍大的距离）的位置能够沿着水平方向滑动（图4（a）中所示的箭头A）。

吸嘴2中，吸嘴主部2b从上方向下方贯通可动板3c的槽状开口部3d及固定部3b的吸嘴插入孔3h而延伸，反射板2d以与固定部3b的上表面接触的方式设置于吸嘴保持器3（图4（a））。当从该状态开始可动板3c相对于壳体3a滑动时（图4（b）中所示的箭头A1），向可动板3c的槽状开口部3d的内方突出而设置的吸嘴按压突起3e位于反射板2d的上方，反射板2d夹在吸嘴按压突起3e与固定部3b之间，由此，吸嘴2成为保持于吸嘴保持器3的状态。

在壳体10内，设有吸嘴保持器移动机构16，该吸嘴保持器移动机构16包括沿着Y轴方向（壳体10的前后方向，在图2中是与纸面垂直的方向，在图3中是纸面的上下方向）延伸的Y轴工作台16a、沿着X轴方向（壳体10的左右方向，在图2及图3中是纸面的左右方向）延伸而设置成沿着Y轴工作台16a移动自如的X轴工作台16b、及设置成沿着X轴工作台16b移动自如的移动台16c。吸嘴保持器安装部11设置在吸嘴保持器移动机构16的移动台16c上，通过X轴工作台16b相对于Y轴工作台16a的向Y轴方向的移动和移动台16c相对于X轴工作台16b的向X轴方向的移动的组合而能够在水平面内移动。保持有吸嘴2的吸嘴保持器3以水平姿态安装于吸嘴保持器安装部11。

在图2及图3中，标记摄像机12以拍摄视场朝向下方的状态安装在壳体10内，吸嘴摄像机13以拍摄视场朝向上方的状态安装在壳体10内。

吸嘴载置构件14由整体沿着Y轴方向延伸的平板状的构件构成，能够在壳体10内沿着Y轴方向延伸设置的滑动基座17上沿着Y轴方向移动。在吸嘴载置构件14上设有由沿着Y轴方向排列的多个吸嘴载置孔14h构成的不适合吸嘴载置部14A、在不适合吸嘴载置部14A的附近（图2及图3中的纸面的左侧）由同样地沿着Y轴方向排列的多个吸嘴载置孔14h构成的适合吸嘴载置部14B。在不适合吸嘴载置部14A的吸嘴载置孔14h载置不适合使用状态的吸嘴2即不适合吸嘴，在适合吸嘴载置部14B的吸嘴载置孔14h载置不处于不适合使用状态（适合使用）的吸嘴2即适合吸嘴。在此，“不适合使用状态的吸嘴2”是指当在元件安装装置1b中使用时可能会产生元件的吸附出错等不良情况的状态的吸嘴2，“不处于不适合使用状态（适合使用）的吸嘴2”是指即使在元件安装装置1b中使用也不会产生上述不良情况的状态的吸嘴2。

在图2及图3中，吸嘴移动机构15由在壳体10内的上方区域沿着X轴方向延伸设置的固定工作台15a、沿着固定工作台15a移动自如地设置的移动体15b、上下移动自如地设置在移动体15b上的头部15c构成，在头部15c设有一对开闭自如的吸嘴抓持指15d。通过移动体15b相对于固定工作台15a的向X轴方向的移动动作和头部15c相对于移动体15b的上下移动作而使吸嘴抓持指15d移动，通过设置在头部15c内的抓持指驱动部15e使吸嘴抓持指15d开闭，由此来抓持作为抓持对象物的吸嘴2。

在图5中，吸嘴保持器安装部11的向前后方向的移动动作通过由吸嘴检查装置1具备的控制装置20（也参照图1）控制吸嘴保持器移动机构16的动作来进行，吸嘴载置构件14的向Y轴方向的移动动作通过由控制装置20控制设于滑动基座17的吸嘴载置部驱动马达17m（也参照图3）的动作来进行。而且，基于吸嘴移动机构15的吸嘴2的移动动作通过由控制装置20进行吸嘴移动机构15的动作控制（详细而言是头部15c的移动动作与吸嘴抓持指15d对吸嘴2的抓持动作的连动动作控制）来进行。

在图6中，标记摄像机12的拍摄光轴L1朝向下方，在沿水平方向包围标记摄像机12的位置，设有以标记摄像机12的拍摄光轴L1为中心的方式配置的圆环状的标记照明光源12L。另一方面，吸嘴摄像机13的拍摄光轴L2朝向上方，标记摄像机12的拍摄光轴L1和吸嘴摄像机13的拍摄光轴L2离开与从吸嘴2的中心轴到识别标记2M的中心位置的距离相当的距离S。

在吸嘴摄像机13的拍摄光轴L2上设有半透半反镜13HM，在半透半反镜13HM的侧方设有吸附端照明光源13L。从吸附端照明光源13L照射的照明光向半透半反镜13HM的半透膜13F入射，由半透半反镜13HM的半透膜13F反射的照明光沿着吸嘴摄像机13的拍摄光轴L2向上方前进。

检查对象的吸嘴2通过基于吸嘴保持器移动机构16的吸嘴保持器3的移动而位于检查位置。在此“检查位置”如图6所示，是使元件吸附端2c朝向下方的吸嘴2的中心轴与吸嘴摄像机13的拍摄光轴L2一致，且设置在吸嘴2的反射板2d上的识别标记2M位于标记摄像机12的拍摄光轴L1上的位置。即，在本实施方式中，标记摄像机12与吸嘴摄像机13设置在将位于检查位置的吸嘴2沿着其轴向夹持而相对的位置。

需要说明的是，可以不必如图6所示使各自的拍摄光轴与拍摄对象的中心一致，只要在标记摄像机12及吸嘴摄像机13的各自的视场范围内至少包含各自的拍摄对象即识别标记2M及吸嘴2的元件吸附端2c，能够通过各个摄像机进行识别即可。即，作为“检查位置”，不只是限于图6所示的位置，可以以吸嘴2位于通过标记摄像机12及吸嘴摄像机13能够进行识别标记2M及元件吸附端2c的识别的位置的方式，适当调整吸嘴2的停止位置、标记摄像机12的位置及朝向、吸嘴摄像机13的位置及朝向。

标记照明光源12L及吸附端照明光源13L各自的照明动作控制和标记摄像机12及吸嘴摄像机13各自的拍摄动作控制通过控制装置20进行（图5）。而且，通过标记摄像机12的拍摄动作得到的图像数据和通过吸嘴摄像机13的拍摄动作得到的图像数据分别向控制装置20发送，在控制装置20的图像处理部20a中被进行图像处理（图5）。

如图6所示，对处于检查位置的吸嘴2，在进行了基于标记照明光源12L的照明和基于吸附端照明光源13L的照明的状态下，控制装置20使标记摄像机12和吸嘴摄像机13同时（或大致同时）执行拍摄动作。在上述的状态下，成为位于检查位置的吸嘴2的识别标记2M由标记照明光源12L来照明（反射照明），吸嘴2的元件吸附端2c由吸附端照明光源13L来照明（反射照明），吸嘴2的内部管路2K由标记照明光源12L来照明（透射照明）的状态，因此通过标记摄像机12的拍摄动作能得到识别标记2M的图像，并且通过吸嘴摄像机13的拍摄动作，能得到表示吸嘴2的元件吸附端2c的外表面F1的形状及吸嘴2的元件吸附端2c的内表面（吸嘴2的内部管路2K的内壁）F2的形状的图像。

如此，在本实施方式中，标记摄像机12成为如下的标记拍摄单元：从位于检查位置的吸嘴2的元件吸附端2c的相反的端部侧（在此为上方）拍摄设于吸嘴2的识别标记2M，而取得吸嘴2的个体识别信息。而且，吸嘴摄像机13成为如下的吸嘴拍摄单元：对保持于吸嘴保持器3的吸嘴2进行拍摄（更详细而言，从在保持于吸嘴保持器3的状态下位于检查位置的吸嘴2的元件吸附端2c侧拍摄吸嘴2而取得吸嘴2的状态信息）。而且，标记照明光源12L成为对处于检查位置的吸嘴2的识别标记2M进行照明的标记照明单元，标记摄像机12在通过标记照明光源12L对识别标记2M进行了照明的状态下拍摄识别标记2M，吸嘴摄像机13通过标记照明光源12L在吸嘴2的内部管路2K被透射照明的状态下拍摄吸嘴2。

控制装置20对得到的识别标记2M的图像数据进行图像处理而取得位于检查位置的吸嘴2的个体识别信息，对得到的吸嘴2的图像数据进行图像处理而取得位于检查位置的吸嘴2的状态信息。在此，“吸嘴2的状态信息”是吸嘴2的外观状态的信息，具体而言，是吸嘴2的元件吸附端2c的欠缺的有无信息（欠缺信息）、异物W向吸嘴2的元件吸附端2c的附着信息（端面异物附着信息）、异物W向吸嘴2的内表面F2（内部管路2K的表面）的附着信息（内表面异物附着信息）。吸嘴2的欠缺信息及异物W向吸嘴2的元件吸附端2c的附着信息通过从由吸嘴摄像机13取得的吸嘴2的图像读取元件吸附端2c的外表面F1的形状来得到，吸嘴2的异物附着信息通过从同一图像读取吸嘴2的内表面F2的形状来得到。图7（a）、（b）是通过吸嘴摄像机13取得的图像的例子，图7（a）示出异物W未附着于吸嘴2的内表面F2时的例子，图7（b）示出异物W附着于吸嘴2的内表面F2时的例子。

控制装置20如上述那样得到吸嘴2的个体识别信息和吸嘴2的状态信息之后，在信息处理部20b（图5）中，将两信息（吸嘴2的个体识别信息和吸嘴2的状态信息）建立对应而进行处理。在此所说的“处理”具体而言是将吸嘴2的个体识别信息与吸嘴2的状态信息进行所谓建立关联而存储于存储部20c（图5）的处理，由此，以后，若识别吸嘴2的识别标记2M，则能够读出该吸嘴2的状态信息。如此在本实施方式中，控制装置20的信息处理部20b成为如下的信息处理单元：将通过标记摄像机12取得的吸嘴2的个体识别信息与通过吸嘴摄像机13取得的吸嘴2的状态信息建立对应而进行处理。

控制装置20的判定部20d（图5）基于通过吸嘴摄像机13取得的图像（吸嘴2的状态信息），判定保持于吸嘴保持器3的吸嘴2是否分别处于不适合使用状态。在此，关于“吸嘴2的欠缺”及“异物W向元件吸附端2c的附着”，例如，在通过吸嘴摄像机13得到的图像中的吸嘴2的元件吸附端2c的面积相对于基准的（正常的）面积而较大偏离的情况下，认为吸嘴2的欠缺及异物W的附着过大而判定为吸嘴2处于不适合使用状态（为不适合吸嘴）。另一方面，关于“异物W向内表面F2的附着”，例如，算出通过吸嘴摄像机13取得的图像中的吸嘴2的内部管路2K所占的面积，在该算出的面积低于基准值时，认为异物W向吸嘴2的内表面F2的附着量过大而判定为吸嘴2处于不适合使用状态（为不适合吸嘴）。如此在本实施方式中，控制装置20的判定部20d成为如下的判定单元：基于通过吸嘴摄像机13取得的图像，判定吸嘴保持器3所保持的吸嘴2是否处于不适合使用状态（是否为不适合吸嘴）。

需要说明的是，上述的“吸嘴2的欠缺”、“异物W向元件吸附端2c的附着”、“异物W向内表面F2的附着”的判定方法只不过是例示，未必局限于此方法，只要能得到同样的结果，就也可以通过这以外的方法进行判定。

另外，控制装置20在上述判定部20d中判定为不适合吸嘴的吸嘴2存在时，进行吸嘴移动机构15的动作控制，将不适合吸嘴从吸嘴保持器3卸下而载置于不适合吸嘴载置部14A之后，进行将适合吸嘴从适合吸嘴载置部14B取出而保持于吸嘴保持器3的吸嘴2的更换作业。并且，控制装置20在吸嘴2的更换作业结束后，将判定为不适合吸嘴的吸嘴2与该吸嘴2的个体识别信息建立关联，然后，将该建立关联后的信息（不适合信息）从不适合信息输出部20e（图5）向检查后的作为吸嘴2的装配目标即元件安装装置1b的控制部30（图1）输出。

如此在本实施方式中，吸嘴移动机构15成为如下的吸嘴移动单元：将通过作为判定单元的控制装置20的判定部20d判定为处于不适合使用状态的吸嘴2作为不适合吸嘴而从吸嘴保持器3卸下，向不适合吸嘴载置部14A载置，并将适合吸嘴从适合吸嘴载置部14B取出而保持于吸嘴保持器3。而且，控制装置20的不适合信息输出部20e成为如下的不适合信息输出单元：对于判定部20d判定为处于不适合使用状态的吸嘴2，将该吸嘴2处于不适合使用状态（为不适合吸嘴）这一内容的不适合信息向外部输出。

元件安装装置1b的控制部30进行如下控制：在接收到从吸嘴检查装置1的不适合信息输出部20e输出的不适合信息之后，将该接收到的不适合信息向作为不适合信息登录单元的不适合信息登录部30a（图1）登录（存储），在此以后，基于向不适合信息登录部30a登录的信息，限制不适合使用状态的吸嘴2（不适合吸嘴）的在元件安装装置1b中的使用。在此所谓“限制”具体而言是指不将该吸嘴2（不适合吸嘴）向吸嘴安装部安装的情况，或者即使安装于吸嘴安装部也不通过该吸嘴2进行元件的吸附的情况。如此，在本实施方式中，元件安装装置1b的控制部30成为如下的吸嘴使用限制单元：基于登录在不适合信息登录部30a中的不适合信息，限制不适合使用状态的吸嘴2的在元件安装装置1b中的使用。由此，即使在万一不适合吸嘴混入元件安装装置1b的吸嘴库、或安装于元件安装装置1b的安装头的情况下，也能够可靠地将使用不适合吸嘴带来的安装精度下降防患于未然。

在图5中，吸嘴检查装置1具备：在上述吸嘴2的更换作业中，在载置于适合吸嘴载置部14B的适合吸嘴成为规定数量以下时报告这一内容的适合吸嘴信息报告部21（第一报告单元）；在能够载置于不适合吸嘴载置部14A的吸嘴2（不适合吸嘴）成为规定数量以下时报告这一内容的不适合吸嘴载置部信息报告部22（第二报告单元）。

作业者从与控制装置20连接的输入部23（图5）进行规定的操作，由此能够将当初载置于适合吸嘴载置部14B的吸嘴2（适合吸嘴）的种类和数量存储于控制装置20的存储部20c。控制装置20从该存储的各种类的吸嘴2的数量减去实际从适合吸嘴载置部14B向吸嘴保持器3移动的各种类的吸嘴2的数量，由此对当前载置于适合吸嘴载置部14B的各种类的吸嘴2的数量进行管理。控制装置20在载置于适合吸嘴载置部14B的各种类的吸嘴2中的至少任1种类的数量成为规定数量以下时，使适合吸嘴信息报告部21进行报告动作。而且，作业者通过从上述输入部23进行规定的操作，能够将当初为空状态的不适合吸嘴载置部14A的吸嘴载置孔14h的数量存储在控制装置20的存储部20c。控制装置20从该存储的吸嘴载置孔14h的数量减去实际上在不适合吸嘴载置部14A的空状态的吸嘴载置孔14h载置的吸嘴2（不适合吸嘴）的数量，由此对当前空状态的吸嘴载置孔14h的数量进行管理。控制装置20在不适合吸嘴载置部14A的当前空状态的吸嘴载置孔14h的数量成为规定数量以下时，使不适合吸嘴载置部信息报告部22进行报告动作。

需要说明的是，不适合吸嘴载置部14A的当前空状态的吸嘴载置孔14h的数量的管理除了上述的方法以外，例如也可以是如下方法：在吸嘴移动机构15设置传感器或拍摄装置，通过该传感器或拍摄装置来识别不适合吸嘴载置部14A的各吸嘴载置孔14h是否为空状态。这种情况下，可以不需要作业者进行的输入作业自身，并且也防止作业者进行的误输入中的出错，因此更优选。

上述适合吸嘴信息报告部21及不适合吸嘴载置部信息报告部22由例如显示器装置、灯、蜂鸣器等构成。适合吸嘴信息报告部21与不适合吸嘴载置部信息报告部22可以由互不相同的装置构成，也可以由同一装置构成。在由同一装置构成时，根据报告内容来改变报告样式，由此进行不同内容的报告。

接下来，使用图8的流程图，说明通过吸嘴检查装置1对保持于吸嘴保持器3的吸嘴2进行检查的吸嘴检查作业的执行步骤。为了执行吸嘴检查作业，首先，作业者作为事前准备，从输入部23输入当初载置于适合吸嘴载置部14B的吸嘴2（适合吸嘴）的种类及数量、当初为空状态的不适合吸嘴载置部14A的吸嘴载置孔14h的数量（步骤ST1）。

作业者在结束上述事前准备之后，从吸嘴清洗装置1a取出清洗后的吸嘴2，在保持于吸嘴保持器3的状态下安装于壳体10内的吸嘴保持器安装部11（步骤ST2）。在此，若吸嘴清洗装置1a在保持于吸嘴检查装置1中所使用的吸嘴保持器3的状态下对吸嘴2进行清洗，则只要从吸嘴清洗装置1a以每个吸嘴保持器3为单位来取出吸嘴2并向吸嘴检查装置1的吸嘴保持器安装部11安装即可。

作业者在将保持有吸嘴2的吸嘴保持器3向吸嘴保持器安装部11安装之后，从输入部23进行规定的作业开始的操作输入（步骤ST3）。控制装置20在接收到作业者进行的操作输入的信号之后，进行吸嘴保持器移动机构16的动作控制而使吸嘴保持器3在水平面内移动，使保持于吸嘴保持器3的吸嘴2中的一个位于检查位置（步骤ST4）。

控制装置20在使保持于吸嘴保持器3的吸嘴2位于检查位置之后，使标记照明光源12L及吸附端照明光源13L进行照明，然后，使标记摄像机12和吸嘴摄像机13进行拍摄（步骤ST5）。由此得到关于位于当前检查位置的吸嘴2的个体识别信息和吸嘴2的状态信息（元件吸附端2c的欠缺信息及异物附着信息、内部管路2K的异物附着信息），进行将这两信息建立对应的处理而存储于存储部20c（步骤ST6），并基于由吸嘴摄像机13取得的图像，判定保持于吸嘴保持器3的吸嘴2是否处于不适合使用状态（是否为不适合吸嘴）（步骤ST7）。

控制装置20在进行了上述步骤ST4～步骤ST7的处理之后，对于保持于吸嘴保持器3的全部的吸嘴2，判断是否进行了上述处理（步骤ST8）。并且，在其结果是没有对于保持于吸嘴保持器3的全部的吸嘴2进行处理时，返回步骤ST4，在对于保持于吸嘴保持器3的全部的吸嘴2进行了处理时，进入步骤ST9。

控制装置20在步骤ST9中，判断是否存在在步骤ST7中判定为不适合吸嘴的吸嘴2。并且，在不存在在步骤ST7中判定为不适合吸嘴的吸嘴2时，结束吸嘴检查作业。在存在在步骤ST7中判定为不适合吸嘴的吸嘴2时，进行吸嘴移动机构15的动作控制而进行前述的吸嘴2的更换作业，即如下作业：将不适合吸嘴从吸嘴保持器3卸下而载置于不适合吸嘴载置部14A，并将与卸下的不适合吸嘴的种类对应的种类的适合吸嘴从适合吸嘴载置部14B取出而保持于吸嘴保持器3（步骤ST10）。

此外，在该吸嘴2的更换作业中，在载置于适合吸嘴载置部14B的各种类的适合吸嘴中的至少1种类的吸嘴2为规定数量以下时，通过适合吸嘴信息报告部21报告该内容，在能够载置于不适合吸嘴载置部14A的吸嘴2（不适合吸嘴）为规定数量以下时，通过不适合吸嘴载置部信息报告部22报告该内容。因此，能够将成为适合吸嘴不足的状态或载置不适合吸嘴的场所不足的状态而吸嘴检查作业的进展停滞的事态防患于未然。

控制装置20在上述吸嘴2的更换作业结束之后，将在步骤ST7中判定为不适合吸嘴的吸嘴2与该吸嘴2的个体识别信息建立关联所得到的不适合信息从不适合信息输出部20e向检查后的吸嘴2的装配目标即元件安装装置1b的控制部30输出（步骤ST11），然后，结束检查作业。

如以上说明，本实施方式的吸嘴检查装置1中，将基于通过吸嘴摄像机13取得的图像判定为处于不适合使用状态的吸嘴2作为不适合吸嘴从吸嘴保持器3拆卸而载置于不适合吸嘴载置部14A，并且将适合吸嘴从适合吸嘴载置部14B取出而保持于吸嘴保持器3，不适合吸嘴被可靠地与适合吸嘴更换，因此能够防止不适合使用状态的吸嘴2被误用在元件安装装置1b中从而防止安装精度下降。

此外，上述的实施方式中，在吸嘴2的清洗后进行基于吸嘴检查装置1的检查，但这是因为清洗后的时机是最具有效果的时机，检查的时机不限于此。例如，在元件安装装置1b作为使用中的吸嘴2的定期检查利用本发明的吸嘴检查装置1，由此能够防止在元件安装装置1b中使用不适合使用状态的吸嘴2，能够防止安装精度下降。

【工业上的可利用性】

提供一种能够防止不适合使用状态的吸嘴被误用在元件安装装置中从而防止安装精度下降的吸嘴检查装置及元件安装系统。

Claims (6)

1.一种吸嘴检查装置，进行元件安装装置所使用的吸嘴的检查，其特征在于，

具备：

吸嘴保持器，保持所述吸嘴；

吸嘴拍摄单元，拍摄保持于所述吸嘴保持器的所述吸嘴；

判定单元，基于通过所述吸嘴拍摄单元取得的图像，判定保持于所述吸嘴保持器的所述吸嘴是否处于不适合使用状态；

不适合吸嘴载置部，载置不适合使用状态的所述吸嘴即不适合吸嘴；

适合吸嘴载置部，载置不处于不适合使用状态的所述吸嘴即适合吸嘴；

吸嘴移动单元，进行如下的吸嘴的更换作业：将通过所述判定单元判定为处于不适合使用状态的所述吸嘴作为所述不适合吸嘴而从所述吸嘴保持器拆卸并载置于所述不适合吸嘴载置部，并且将所述适合吸嘴从所述适合吸嘴载置部取出而保持于所述吸嘴保持器，

所述吸嘴检查装置具备的控制装置在所述吸嘴的更换作业结束后，将判定为不适合吸嘴的吸嘴与该吸嘴的个体识别信息建立关联，然后，将该建立关联后的信息从所述控制装置的不适合信息输出部向检查后的作为吸嘴的装配目标即所述元件安装装置的控制部输出，

所述吸嘴移动单元在所述吸嘴保持器、所述不适合吸嘴载置部和所述适合吸嘴载置部的上方区域移动。

2.根据权利要求1所述的吸嘴检查装置，其特征在于，

具备不适合信息输出单元，所述不适合信息输出单元对于所述判定单元判定为处于不适合使用状态的所述吸嘴，将该吸嘴处于不适合使用状态这一内容的不适合信息向外部输出。

3.根据权利要求1或2所述的吸嘴检查装置，其特征在于，

具备第一报告单元，所述第一报告单元在载置于所述适合吸嘴载置部的所述适合吸嘴为规定数量以下的情况下报告这一内容。

4.根据权利要求1或2所述的吸嘴检查装置，其特征在于，

具备第二报告单元，所述第二报告单元在能够载置于所述不适合吸嘴载置部的所述不适合吸嘴为规定数量以下的情况下报告这一内容。

5.一种元件安装系统，其特征在于，

具备：

元件安装装置，使用吸嘴向基板安装元件；

权利要求2所述的吸嘴检查装置；

不适合信息登录单元，登录从所述不适合信息输出单元输出的所述不适合信息；

吸嘴使用限制单元，基于登录在所述不适合信息登录单元的所述不适合信息，限制处于所述不适合使用状态的所述吸嘴的在所述元件安装装置中的使用。

6.一种元件安装系统，其特征在于，

具备：

元件安装装置，使用吸嘴向基板安装元件；

吸嘴检查装置，进行所述元件安装装置所使用的吸嘴的检查，

所述吸嘴检查装置具备：

吸嘴保持器，保持所述吸嘴；

吸嘴拍摄单元，拍摄保持于所述吸嘴保持器的所述吸嘴；

判定单元，基于通过所述吸嘴拍摄单元取得的图像，判定保持于所述吸嘴保持器的所述吸嘴是否处于不适合使用状态；

不适合吸嘴载置部，载置不适合使用状态的所述吸嘴即不适合吸嘴；

适合吸嘴载置部，载置不处于不适合使用状态的所述吸嘴即适合吸嘴；

吸嘴移动单元，将通过所述判定单元判定为处于不适合使用状态的所述吸嘴作为所述不适合吸嘴而从所述吸嘴保持器拆卸并载置于所述不适合吸嘴载置部，并且将所述适合吸嘴从所述适合吸嘴载置部取出而保持于所述吸嘴保持器；

不适合信息输出单元，对于所述判定单元判定为处于不适合使用状态的所述吸嘴，将该吸嘴处于不适合使用状态这一内容的不适合信息向外部输出，

所述元件安装系统还具备：

不适合信息登录单元，登录从所述不适合信息输出单元输出的所述不适合信息；

吸嘴使用限制单元，基于登录在所述不适合信息登录单元的所述不适合信息，限制处于所述不适合使用状态的所述吸嘴的在所述元件安装装置中的使用。