JP2015084367A - ピン配置機構および基板処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】バックアップピンの誤配置を抑制可能なピン配置機構および基板処理装置を提供することを課題とする。
【解決手段】ピン配置機構１０は、基板Ｂを下側から支持可能であって、ピン側識別部８１０を有するバックアップピン８１と、バックアップピン８１が配置され、配置部側識別部６０を有するピン配置部６と、を備える。ピン側識別部８１０と配置部側識別部６０とが干渉しない場合、ピン配置部６にバックアップピン８１を配置することができる。一方、ピン側識別部８１０と配置部側識別部６０とが干渉する場合、ピン配置部６にバックアップピン８１を配置することができない。
【選択図】図５

Description

本発明は、例えばピンストッカやピン搬送装置などのピン配置部に、バックアップピンを配置する際に用いられるピン配置機構、および当該ピン配置機構を備える基板処理装置に関する。

バックアップピンは、バックアップテーブルに配置されている。バックアップピンは、所定の処理（例えば、はんだの印刷、電子部品の装着など）が施されている基板を、下側から支持している。バックアップピンは、作業者により、ピンストッカに配置される。また、バックアップピンは、ピン搬送装置により、ピンストッカからバックアップテーブルまで、搬送される。

特開２０１１−２３３７３６号公報

ところで、バックアップピンの種類は一種類ではない。バックアップピンは、スクリーン印刷機や電子部品実装機など、複数種類の基板処理装置において用いられる。このため、基板処理装置の機種により、バックアップピンの種類が異なる場合がある。したがって、基板の生産ラインに複数種類の基板処理装置が連なっている場合、工場に複数種類のバックアップピンが保管されている場合がある。

例えば、生産ラインに二種類の基板処理装置α、βが配置されている場合であって、基板処理装置α用のバックアップピンの方が、基板処理装置β用のバックアップピンよりも、軸方向全長が大きい場合を想定する。言い換えると、基板処理装置α用のバックアップピンの方が、基板処理装置β用のバックアップピンよりも、基板の支持高さが高い場合を想定する。

仮に、基板処理装置βのピンストッカに、基板処理装置α用のバックピンが誤配置されてしまうと、基板処理装置βのバックアップテーブルに、基板処理装置β用のバックアップピン（正規のバックアップピン）と、基板処理装置α用のバックアップピン（非正規のバックアップピン）と、が混在してしまうおそれがある。この場合、正規のバックアップピンと、非正規のバックアップピンと、では、基板の支持高さが異なる。このため、基板を、所定の高度に、かつ水平に、支持することが困難になる。このように、バックアップピンを誤配置すると、基板を正しく支持することが困難になる。

特許文献１には、識別マークを有するバックアップピン装置が開示されている。バックアップピン装置には、任意の数のバックアップピンが配置されている。バックアップピン装置は、ストッカに配置されている。同文献記載のバックアップピン装置によると、カメラで識別マークを撮像することにより、バックアップピン装置の種類を判別することができる。このため、バックアップテーブルの適切な位置（電子部品に干渉しない位置）に、バックアップピン装置を配置することができる。特許文献１には、複数種類のバックアップピンが存在することに起因する、上記バックアップピンの誤配置に関する記載はない。そこで、本発明は、バックアップピンの誤配置を抑制可能なピン配置機構および基板処理装置を提供することを目的とする。

（１）上記課題を解決するため、本発明のピン配置機構は、基板を下側から支持可能であって、ピン側識別部を有するバックアップピンと、該バックアップピンが配置され、配置部側識別部を有するピン配置部と、を備え、該ピン側識別部と該配置部側識別部とが干渉しない場合、該ピン配置部に該バックアップピンを配置可能なことを特徴とする。

本発明のピン配置機構によると、ピン側識別部と配置部側識別部とが干渉する場合、バックアップピンをピン配置部に配置することができない。すなわち、ピン側識別部と配置部側識別部とが干渉しない場合に限って、バックアップピンをピン配置部に配置することができる。このため、任意のピン配置部に対して、別のピン配置部用のバックアップピンが配置されるのを、抑制することができる。すなわち、ピン配置部に対するバックアップピンの誤配置を抑制することができる。

また、本発明のピン配置機構によると、ピン側識別部と配置部側識別部との物理的な干渉の有無を基に、ピン配置部に対するバックアップピンの誤配置を抑制している。このため、電気的な手段によりバックアップピンの誤配置を抑制する場合と比較して、制御回路の電気的な構成を簡単にすることができる。

（２）上記（１）の構成において、前記ピン側識別部は、前記バックアップピンの下部に設定されるピンベース部であり、前記ピン配置部は、前記基板を支持していない、待機中の該バックアップピンが収容されるピンストッカであり、前記配置部側識別部は、該ピンストッカに上向きに開口するピン収容開口部であり、該ピンベース部と該ピン収容開口部とが干渉しない場合、該ピン収容開口部に該ピンベース部を収容可能な構成とする方がよい。

本構成によると、バックアップピンのピンベース部と、ピンストッカのピン収容開口部と、が干渉しない場合に限って、ピンベース部の少なくとも一部をピン収容開口部に収容することができる。このため、任意のピンストッカに対して、別のピンストッカ用のバックアップピンが配置されるのを、抑制することができる。すなわち、ピンストッカに対するバックアップピンの誤配置を抑制することができる。

（２−１）上記（２）の構成において、前記バックアップピンの種類毎に、前記ピンベース部の外径は互いに相違していると共に、前記ピン収容開口部の内径は互いに相違している構成とする方がよい。本構成によると、径の相違に基づいて、ピンストッカに対するバックアップピンの誤配置を抑制することができる。

（２−２）上記（２−１）の構成において、前記バックアップピンの軸方向全長が大きいほど、前記ピンベース部の外径は大きいと共に、前記ピン収容開口部の内径は大きい構成とする方がよい。

本構成によると、大径のピンベース部は、小径のピン収容開口部に入らない。このため、軸方向全長が小さい（背が低い）バックアップピンと共に、軸方向全長が大きい（背が高い）バックアップピンが、基板を支持してしまうおそれが小さい。すなわち、基板が傾いて支持されるおそれが小さい。

一方、小径のピンベース部は、大径のピン収容開口部に入る。しかしながら、軸方向全長が小さいバックアップピンは、基板まで届かない。このため、軸方向全長が大きいバックアップピンだけで、基板を支持することができる。したがって、基板が傾いて支持されるおそれが小さい。

（２−３）上記（２）の構成において、前記バックアップピンの種類毎に、前記ピンベース部の外周縁の形状は互いに相違していると共に、前記ピン収容開口部の内周縁の形状は互いに相違している構成とする方がよい。

本構成によると、ピンベース部とピン収容開口部との形状の相違に基づいて、ピンストッカに対するバックアップピンの誤配置を抑制することができる。また、作業者は、形状の違いを、視覚的に識別しやすい。この点においても、ピンストッカに対するバックアップピンの誤配置を抑制することができる。

（３）上記（１）の構成において、前記ピン側識別部は、前記バックアップピンに設定される被係合部であり、前記ピン配置部は、該バックアップピンを搬送するピン搬送装置であり、前記配置部側識別部は、該ピン搬送装置に設定される係合部であり、該被係合部と該係合部とが干渉しない場合、該係合部は該被係合部に係合可能な構成とする方がよい。

本構成によると、バックアップピンの被係合部と、ピン搬送装置の係合部と、が干渉しない場合に限って、係合部を被係合部に係合させることができる。このため、任意のピン搬送装置に対して、別のピン搬送装置用のバックアップピンが配置されるのを、抑制することができる。すなわち、ピン搬送装置に対するバックアップピンの誤配置を抑制することができる。

（３−１）上記（３）の構成において、前記バックアップピンの種類毎に、前記被係合部の外径は互いに相違しており、前記係合部の内径は互いに相違している構成とする方がよい。本構成によると、径の相違に基づいて、ピン搬送装置に対するバックアップピンの誤配置を抑制することができる。

（３−２）上記（３）の構成において、前記バックアップピンの種類毎に、前記被係合部の軸方向位置は互いに相違していると共に、前記係合部の軸方向位置は互いに相違している構成とする方がよい。本構成によると、軸方向位置の相違に基づいて、ピン搬送装置に対するバックアップピンの誤配置を抑制することができる。

（４）上記（１）ないし（３）のいずれかの構成において、前記バックアップピンは、撮像用識別部を有し、該撮像用識別部を撮像可能な撮像装置と、該撮像装置が取得した画像を基に、前記ピン配置部に対する該バックアップピンの配置の可否を判別する制御装置と、を備える構成とする方がよい。

本構成によると、撮像装置が取得した画像を基に、制御装置が、ピン配置部に対するバックアップピンの配置の可否を、自動的に判別することができる。このため、より確実に、ピン配置部に対するバックアップピンの誤配置を抑制することができる。

例えば、画像に撮像用識別部が含まれている場合は、撮像用識別部の形状や大きさなどを基に、制御装置が、ピン配置部に対するバックアップピンの配置の可否を、自動的に判別することができる。

一方、画像に撮像用識別部が含まれていない場合は、撮像用識別部が撮像されていないという事実を基に、制御装置が、ピン配置部に対するバックアップピンの配置の可否を、自動的に判別することができる。

なお、本構成は、上記（１）ないし（３）のいずれかの構成から独立していてもよい。本構成単独であっても、ピン配置部に対するバックアップピンの配置の可否を判別することができる。

（５）上記課題を解決するため、本発明の基板処理装置は、上記（１）ないし（４）のいずれかの構成のピン配置機構を備えることを特徴とする。本発明の基板処理装置によると、上記（１）に記載したように、ピン配置部に対するバックアップピンの誤配置を抑制することができる。

本発明によると、バックアップピンの誤配置を抑制可能なピン配置機構および基板処理装置を提供することができる。

本発明の基板処理装置の一実施形態であるスクリーン印刷機の上面図である。 図１のＩＩ−ＩＩ方向断面図である。 バックアップピンが垂直姿勢の場合のピン搬送装置の透過前面図である。 バックアップピンが水平姿勢の場合のピン搬送装置の透過前面図である。 図１のＶ−Ｖ方向断面図である。 バックアップピン配置方法のピン取得工程の第一段階における、本実施形態のスクリーン印刷機の右側面図である。 同工程の第二段階における、同スクリーン印刷機の右側面図である。 同工程の第三段階における、同スクリーン印刷機の右側面図である。 バックアップピン配置方法のピン搬送工程の第一段階における、同スクリーン印刷機の右側面図である。 同工程の第二段階における、同スクリーン印刷機の右側面図である。 同工程の第三段階における、同スクリーン印刷機の右側面図である。 バックアップピン配置方法のピン解放工程の第一段階における、同スクリーン印刷機の右側面図である。 同工程の第二段階における、同スクリーン印刷機の右側面図である。 三種類のバックアップピンの右側面図である。 ピンストッカのピン収容開口部の上面図である。 垂直姿勢におけるバックアップピンの被係合部の径方向断面図である。 垂直姿勢におけるバックアップピンの前面図である。

以下、本発明の基板処理装置をスクリーン印刷機として具現化した実施の形態について説明する。なお、以下の説明は、本発明のピン配置機構の実施の形態の説明を含むものである。

＜スクリーン印刷機の構成＞
まず、本実施形態のスクリーン印刷機の構成について説明する。図１に、本実施形態のスクリーン印刷機の上面図を示す。図２に、図１のＩＩ−ＩＩ方向断面図を示す。図３に、バックアップピンが垂直姿勢の場合のピン搬送装置の透過前面図を示す。図４に、バックアップピンが水平姿勢の場合のピン搬送装置の透過前面図を示す。図５に、図１のＶ−Ｖ方向断面図を示す。なお、図１においては、スクリーンマスク２を省略して示す。

図１〜図５に示すように、本実施形態のスクリーン印刷機１は、スクリーンマスク２と、基板搬送装置３と、ＸＹロボット４と、ピン搬送装置５と、ピンストッカ６と、ストッカ昇降装置７と、基板昇降装置８と、ベース９と、搬送装置用昇降装置９０と、を備えている。

［ベース９、搬送装置用昇降装置９０、基板搬送装置３］
図１、図２に示すように、搬送装置用昇降装置９０は、いわゆるボールねじ機構である。搬送装置用昇降装置９０は、シャフト９００と、ナット９０１と、モータ９０２と、を備えている。モータ９０２は、ベース９の下側に配置されている。モータ９０２は、後述する基板搬送装置３駆動用（昇降用）のアクチュエータである。シャフト９００は、上下方向に延在している。シャフト９００は、モータ９０２の駆動力により、自身の軸周りに回転可能である。ナット９０１は、多数のボール（図略）を介して、シャフト９００に螺合されている。ナット９０１は、基板搬送装置３の昇降テーブル３２に取り付けられている。モータ９０２がシャフト９００を回転させることにより、ナット９０１つまり昇降テーブル３２を、ベース９に対して、昇降させることができる。

基板搬送装置３は、前後一対の壁部３０と、ベルトコンベア３１と、昇降テーブル３２と、を備えている。基板搬送装置３は、ベース９の上側に配置されている。前後一対の壁部３０は、昇降テーブル３２の上面に立設されている。壁部３０は、前側から見て、下側に開口するＣ字枠状を呈している。ベルトコンベア３１は、前後一対のベルトを備えている。前後一対のベルトは、前後一対の壁部３０の内面（前側の壁部３０の後面、後側の壁部３０の前面）に、対向して配置されている。ベルトコンベア３１は、基板Ｂを左右方向に搬送する。すなわち、ベルトコンベア３１は、基板搬送体である。

［基板昇降装置８］
基板昇降装置８は、バックアップテーブル８０と、複数のバックアップピン８１と、テーブル昇降装置８２と、を備えている。バックアップテーブル８０は、前後一対の壁部３０間に配置されている。バックアップピン８１は、バックアップテーブル８０の上面に配置されている。バックアップピン８１は、基板Ｂの下面を支持可能な、基板支持部材である。図２に示すように、基板Ｂの下面には、既に電子部品Ｐが配置されている場合がある。複数のバックアップピン８１は、電子部品Ｐに干渉しない位置（水平方向座標）に、配置されている。

図５に示すように、バックアップピン８１は、ピンベース部８１０と、被係合部８１１と、フランジ部８１２と、頂部８１３と、を備えている。ピンベース部８１０は、バックアップピン８１の軸方向一端部（図３、図５に示す垂直姿勢における下部）に設定されている。ピンベース部８１０の下部は、後述するピン収容開口部６０に収容される、被収容部である。ピンベース部８１０の外径は、バックアップピン８１の他の部分と比較して、大径である。頂部８１３は、バックアップピン８１の軸方向他端部（図３、図５に示す垂直姿勢における上端部）に設定されている。頂部８１３は、基板Ｂの下面を支持する、基板支持部である。フランジ部８１２は、バックアップピン８１の軸方向中間部に設定されている。被係合部８１１は、フランジ部８１２の下側に設定されている。被係合部８１１は、フランジ部８１２よりも、小径である。すなわち、被係合部８１１は括れている。

図２に示すように、テーブル昇降装置８２は、いわゆるボールねじ機構である。テーブル昇降装置８２の構成は、前述の搬送装置用昇降装置９０と同様である。すなわち、テーブル昇降装置８２は、シャフト８２０と、ナット８２１と、モータ８２２と、を備えている。モータ８２２は、バックアップテーブル８０駆動用のアクチュエータである。モータ８２２がシャフト８２０を回転させることにより、ナット８２１つまりバックアップテーブル８０を、昇降テーブル３２に対して、昇降させることができる。

［スクリーンマスク２、ピンストッカ６、ストッカ昇降装置７］
図２に示すように、スクリーンマスク２は、基板搬送装置３、基板昇降装置８の上側に配置されている。ピンストッカ６は、基板搬送装置３の後側に配置されている。ピンストッカ６は、基板Ｂを支持していないバックアップピン８１の、待機スペースである。図５に示すように、ピンストッカ６の上面には、複数のピン収容開口部６０が凹設されている。ピン収容開口部６０は、バックアップピン８１のピンベース部８１０の下部を、収容可能である。

図２に示すように、ストッカ昇降装置７は、いわゆる流体（例えば気体（例えばエア）、液体（例えばオイル）など）シリンダである。ストッカ昇降装置７は、シリンダ本体７０と、ロッド７１と、を備えている。ストッカ昇降装置７は、ベース９とピンストッカ６との間に、介装されている。ロッド７１は、シリンダ本体７０に対して、上下方向に出入り可能である。ロッド７１を上下方向に移動させることにより、ピンストッカ６を、ベース９に対して、昇降させることができる。なお、昇降時のピンストッカ６の移動方向は、ガイド機構（図略）により、上下方向に配向されている。

［ＸＹロボット４］
図１、図２に示すように、ＸＹロボット４は、Ｘスライド４０と、Ｙスライド４１と、Ｘガイド部４２と、左右一対のＹガイド部４３と、撮像装置４４と、を備えている。左右一対のＹガイド部４３は、ベース９の上面の左右両縁に沿って配置されている。Ｙガイド部４３は、前後方向に延在している。Ｙガイド部４３は、後述するピン搬送装置５が壁部３０に干渉しない高度に、配置されている。Ｙスライド４１は、左右一対のＹガイド部４３間に架設されている。Ｙスライド４１は、左右一対のＹガイド部４３に沿って、前後方向に移動可能である。Ｘガイド部４２は、Ｙスライド４１の上面に配置されている。Ｘガイド部４２は、左右方向に延在している。Ｘスライド４０は、Ｘガイド部４２に沿って、左右方向に移動可能である。

撮像装置４４は、Ｘスライド４０の後部に配置されている。撮像装置４４は、Ｘスライド４０と共に、水平方向（前後左右方向）に移動可能である。撮像装置４４は、上下両方向に視野を有している。撮像装置４４から取得される画像を用いて、制御装置（図略）は、スクリーンマスク２と、基板Ｂと、の上下方向位置合わせを行っている。

［ピン搬送装置５］
図１、図２に示すように、ピン搬送装置５は、Ｘスライド４０の前部に配置されている。ピン搬送装置５は、Ｘスライド４０、撮像装置４４と共に、水平方向に移動可能である。図１〜図４に示すように、ピン搬送装置５は、ブラケット５０と、ピン保持部５１と、係合部５２と、姿勢切換部５３と、ピン検知センサ５４と、を備えている。

図１に示すように、ブラケット５０（図３、図４においては点線で示す）は、Ｘスライド４０の前端に取り付けられている。ブラケット５０は、Ｘスライド４０の前面および右面の一部を覆っている。ピン検知センサ５４は、ブラケット５０の右面に配置されている。ピン検知センサ５４は、自身の後側に検知エリアを有している。ピン検知センサ５４は、図４に示す水平姿勢のバックアップピン８１を検知することができる。ピン検知センサ５４は、図３に示す垂直姿勢のバックアップピン８１を検知することはできない。

ピン保持部５１は、円柱状を呈している。図３に示す垂直姿勢において、ピン保持部５１は、上下方向に配向している。図４に示す水平姿勢において、ピン保持部５１は、左右方向（基板Ｂの搬送方向）に配向している。ピン保持部５１の軸方向一端（図３に示す垂直姿勢の場合は上端、図４に示す水平姿勢の場合は左端）には、揺動軸５１０が配置されている。揺動軸５１０は、ブラケット５０に、自身の軸周りに回転可能に支持されている。ピン保持部５１は、揺動軸５１０を中心に、図３に示す垂直姿勢と図４に示す水平姿勢との間で、揺動可能である。ピン保持部５１の軸方向他端（図３に示す垂直姿勢の場合は下端、図４に示す水平姿勢の場合は右端）には、保持凹部５１１が配置されている。図３に示すように、保持凹部５１１は、バックアップピン８１のフランジ部８１２よりも上側（頂部８１３側）の部分を、収容可能である。

係合部５２は、保持凹部５１１の隣りに配置されている。具体的には、係合部５２は、図３に示す垂直姿勢から図４に示す水平姿勢に切り換える際の、ピン保持部５１の揺動方向後側に配置されている。図３に一点鎖線で示すように、係合部５２は、揺動可能である。係合部５２は、バックアップピン８１の被係合部８１１に対して、係脱可能である。このため、係合部５２は、バックアップピン８１を着脱可能に保持することができる。

姿勢切換部５３は、流体シリンダ５３０と、ラック５３１と、第一ピニオン５３２と、第二ピニオン５３３と、を備えている。図１に示すように、流体シリンダ５３０は、ブラケット５０の後側に配置されている。図３、図４に示すように、流体シリンダ５３０は、シリンダ本体５３０ａと、ロッド５３０ｂと、を備えている。シリンダ本体５３０ａは、ブラケット５０の後面に取り付けられている。ロッド５３０ｂは、シリンダ本体５３０ａに対して、左右方向に出入り可能である。

ラック５３１は、ロッド５３０ｂの右端（先端）に取り付けられている。第一ピニオン５３２は、ブラケット５０の後面に、回転可能に取り付けられている。第一ピニオン５３２は、ラック５３１に噛合している。第二ピニオン５３３は、ブラケット５０の後面に、回転可能に取り付けられている。第二ピニオン５３３は、第一ピニオン５３２に噛合している。第二ピニオン５３３の回転軸とピン保持部５１の揺動軸５１０とは、互いに固定されている。

図３、図４に示すように、流体シリンダ５３０の駆動力は、ロッド５３０ｂ、ラック５３１、第一ピニオン５３２、第二ピニオン５３３を介して、ピン保持部５１に伝達される。ロッド５３０ｂを右側に動かすことにより、ピン保持部５１を、図３に示す垂直姿勢から図４に示す水平姿勢に切り換えることができる。反対に、ロッド５３０ｂを左側に動かすことにより、ピン保持部５１を、図４に示す水平姿勢から図３に示す垂直姿勢に切り換えることができる。

＜バックアップピン配置方法＞
次に、本実施形態のスクリーン印刷機のピン搬送装置によるバックアップピン配置方法について説明する。バックアップピン配置方法は、ピン取得工程と、ピン搬送工程と、ピン解放工程と、を有している。

図６に、バックアップピン配置方法のピン取得工程の第一段階における、本実施形態のスクリーン印刷機の右側面図を示す。図７に、同工程の第二段階における、同スクリーン印刷機の右側面図を示す。図８に、同工程の第三段階における、同スクリーン印刷機の右側面図を示す。図９に、バックアップピン配置方法のピン搬送工程の第一段階における、同スクリーン印刷機の右側面図を示す。図１０に、同工程の第二段階における、同スクリーン印刷機の右側面図を示す。図１１に、同工程の第三段階における、同スクリーン印刷機の右側面図を示す。図１２に、バックアップピン配置方法のピン解放工程の第一段階における、同スクリーン印刷機の右側面図を示す。図１３に、同工程の第二段階における、同スクリーン印刷機の右側面図を示す。なお、図６〜図１３は、図２（図１のＩＩ−ＩＩ方向断面図）に対応している。

［ピン取得工程］
本工程においては、ピンストッカ６からピン搬送装置５に、バックアップピン８１を移動させる。まず、図６に示すように、スクリーンマスク２の下面と、後側の壁部３０の上端と、の間に、垂直方向幅Ｌ１の隙間を確保する。隙間は、バックアップピン８１の搬送経路の最小幅部に相当する。すなわち、垂直方向幅Ｌ１は、バックアップピン８１の搬送経路の垂直方向最小幅に相当する。垂直方向幅Ｌ１は、図３に示す垂直姿勢の際の垂直方向全長Ｌ２よりも小さい。垂直方向幅Ｌ１は、図４に示す水平姿勢の際の垂直方向全長Ｌ３よりも大きい。このため、ピン搬送装置５は、図４に示す水平姿勢の際に限って、当該隙間を通過することができる。

次に、本工程においては、図６に示すように、制御装置がＸＹロボット４を駆動し、垂直姿勢のピン保持部５１を、搬送対象のバックアップピン８１の真上に配置する。続いて、図７に示すように、制御装置がストッカ昇降装置７を駆動し、ピンストッカ６を上昇させる。ピンストッカ６の上昇により、図３に示すように、バックアップピン８１のフランジ部８１２よりも上側（頂部８１３側）の部分が、ピン保持部５１の保持凹部５１１に、下側から挿入される。それから、図３に示すように、係合部５２をバックアップピン８１の被係合部８１１に係合させる。

続いて、本工程においては、図８に示すように、制御装置がストッカ昇降装置７を駆動し、ピンストッカ６を下降させる。ピンストッカ６の下降により、図５に示すピン保持部５１に保持されたバックアップピン８１のピンベース部８１０は、ピンストッカ６のピン収容開口部６０から、相対的に抜き出される。

［ピン搬送工程］
本工程においては、ピン搬送装置５が、バックアップテーブル８０の所望の水平方向座標の真上まで、水平にバックアップピン８１を搬送する。まず、図９に示すように、制御装置が姿勢切換部５３を駆動し、ピン保持部５１を略９０°だけ揺動させる。すなわち、バックアップピン８１を、図３に示す垂直姿勢から図４に示す水平姿勢に切り換える。姿勢の切換により、ピン搬送装置５の垂直方向全長は、Ｌ２（図３参照）からＬ３（図４参照）に、短縮される。すなわち、姿勢の切換により、ピン搬送装置５は、隙間（垂直方向幅Ｌ１）を、通過可能な状態になる。制御装置は、ピン検知センサ５４からの信号により、バックアップピン８１が水平姿勢であることを確認する。

次に、図１０に示すように、制御装置がＸＹロボット４を駆動し、水平姿勢のバックアップピン８１を、バックアップテーブル８０の所望の水平方向座標の真上に配置する。すなわち、制御装置は、ピン搬送装置５により、バックアップピン８１を、隙間（垂直方向幅Ｌ１）を経由して、搬送経路Ａに沿って、水平方向（前後方向、必要な場合は左右方向）に搬送する。

続いて、図１１に示すように、制御装置が姿勢切換部５３を駆動し、ピン保持部５１を略９０°だけ再び揺動させる。すなわち、バックアップピン８１を、図４に示す水平姿勢から図３に示す垂直姿勢に切り換える。

［ピン解放工程］
本工程においては、ピン搬送装置５からバックアップテーブル８０に、バックアップピン８１を移動させる。まず、図１２に示すように、制御装置がテーブル昇降装置８２を駆動し、バックアップテーブル８０を上昇させる。バックアップテーブル８０の上昇により、図５に示すように、ピン保持部５１に保持されたバックアップピン８１のピンベース部８１０が、バックアップテーブル８０に載置される。

次に、図３に一点鎖線で示すように、係合部５２をバックアップピン８１の被係合部８１１から離脱させる。続いて、図１３に示すように、制御装置がテーブル昇降装置８２を駆動し、バックアップテーブル８０を下降させる。バックアップテーブル８０の下降により、図３に示すように、バックアップピン８１のフランジ部８１２よりも上側（頂部８１３側）の部分が、ピン保持部５１の保持凹部５１１から、相対的に抜き出される。バックアップピン８１は、バックアップテーブル８０に残留する。

このようにして、本実施形態のバックアップピン配置方法においては、バックアップテーブル８０の所望の位置に、所望の本数だけ、バックアップピン８１を配置する。その後、図２に示すように、バックアップピン８１は、基板搬送装置３に搬入された基板Ｂの下面を、支持する。それから、制御装置が搬送装置用昇降装置９０を用いて基板搬送装置３を上昇させ、隙間（高さＬ１）を消費して、基板Ｂの上面をスクリーンマスク２の下面に当接させる。続いて、制御装置が、スキージ装置（図略）を用いて基板Ｂにはんだを印刷する。その後、制御装置が搬送装置用昇降装置９０を用いて基板搬送装置３を下降させ、スクリーンマスク２から基板Ｂを離間させる。

＜ピン配置機構による誤配置抑制方法＞
次に、本実施形態のスクリーン印刷機のピン配置機構による、ピンストッカ６に対するバックアップピン８１の誤配置抑制方法について説明する。バックアップピン８１の種類は一種類ではない。バックアップピン８１は、スクリーン印刷機１のみならず、基板Ｂに電子部品Ｐを装着する電子部品実装機においても、用いられる。このため、双方の機械において、各々専用のバックアップピン８１が用いられる場合がある。また、スクリーン印刷機１の機種や、基板Ｂの種類などにより、使用するバックアップピン８１が異なる場合がある。このため、バックアップピン８１をピンストッカ６に配置する際に、正規のバックアップピン８１（当該ピンストッカ６用のバックアップピン８１）に混じって、非正規のバックアップピン８１（当該ピンストッカ６用ではないバックアップピン８１）が、誤配置されてしまう場合がある。

例えば、電子部品実装機用のバックアップピン８１を、スクリーン印刷機１のピンストッカ６に、誤って配置してしまうと、スクリーン印刷機１のピンストッカ６に、スクリーン印刷機１用のバックアップピン８１と、電子部品実装機用のバックアップピン８１と、が混在することになる。また、これらのバックアップピン８１が、ピン搬送装置５により、バックアップテーブル８０に搬送されてしまうと、バックアップテーブル８０に、スクリーン印刷機１用のバックアップピン８１と、電子部品実装機用のバックアップピン８１と、が混在することになる。この場合、基板Ｂを、所定の高度に、かつ水平に、支持することが困難になる。

この点、本実施形態のスクリーン印刷機１は、ピン配置機構を備えている。図１４に、三種類のバックアップピンの右側面図を示す。ピン配置機構１０は、図１４に示すバックアップピン８１、８１ａ、８１ｂと、図１、図２、図５に示すピンストッカ６と、を備えている。三種類のバックアップピン８１、８１ａ、８１ｂのうち、バックアップピン８１は、本実施形態のスクリーン印刷機１用である。残りの二種類のバックアップピン８１ａ、８１ｂは、電子部品実装機用である。

三種類のバックアップピン８１、８１ａ、８１ｂのピンベース部８１０、８１０ａ、８１０ｂの径方向断面は、真円状を呈している。また、図１に示すように、ピンベース部８１０用のピン収容開口部６０は、上側から見て真円状を呈している。同様に、ピンベース部８１０ａ、８１０ｂ用のピン収容開口部は、上側から見て真円状を呈している。

三種類のバックアップピン８１、８１ａ、８１ｂの軸方向全長Ｃ、Ｃａ、Ｃｂと、ピンベース部８１０、８１０ａ、８１０ｂの外径（直径）Ｄ、Ｄａ、Ｄｂと、は対応している。すなわち、軸方向全長Ｃ、Ｃａ、Ｃｂが大きいほど、外径Ｄ、Ｄａ、Ｄｂは大径である。図５に示すように、バックアップピン８１用のピン収容開口部６０の内径は、軸方向全長Ｃのバックアップピン８１の外径Ｄと略等しい。同様に、バックアップピン８１ａ、８１ｂ用のピン収容開口部の内径は、バックアップピン８１ａ、８１ｂの外径Ｄａ、Ｄｂと略等しい。

ここで、図１４に示すように、バックアップピン８１ｂのピンベース部８１０ｂの外径Ｄｂは、バックアップピン８１のピンベース部８１０の外径Ｄよりも小径である。このため、バックアップピン８１ｂのピンベース部８１０ｂは、図５に示すピンストッカ６のピン収容開口部６０に、収容可能である。すなわち、誤配置可能である。

しかしながら、非正規のバックアップピン８１ｂは、正規のバックアップピン８１よりも、軸方向全長が小さい。一方、図６〜図８に示すピンストッカ６の昇降ストロークは一定である。このため、ピン搬送装置５でバックアップピン８１ｂを搬送しようとしても、被係合部８１１に係合部５２が届かない（図３、図７参照）。したがって、ピン搬送装置５でバックアップピン８１ｂを搬送することはできない。

ここで、仮に、バックアップピン８１、８１ａ、８１ｂの軸方向全長Ｃ、Ｃａ、Ｃｂに応じて、ピンストッカ６の昇降ストロークを調整可能である場合、図２に示すように、バックアップテーブル８０にバックアップピン８１ｂが誤配置されることが想定される。しかしながら、この場合、バックアップピン８１ｂは基板Ｂの下面に届かない。基板Ｂは、正規のバックアップピン８１だけにより、支持される。よって、基板Ｂを、所定の高度に、かつ水平に、支持することができる。

また、図１４に示すように、バックアップピン８１ａのピンベース部８１０ａの外径Ｄａは、バックアップピン８１のピンベース部８１０の外径Ｄよりも大径である。このため、バックアップピン８１ａのピンベース部８１０ａは、図５に示すピンストッカ６のピン収容開口部６０に、収容不可能である。このため、正規のバックアップピン８１よりも軸方向全長が大きいバックアップピン８１ａが、バックアップテーブル８０に誤配置されるのを、未然に防止することができる。よって、基板Ｂを、所定の高度に、かつ水平に、支持することができる。

＜作用効果＞
次に、本実施形態のスクリーン印刷機の作用効果について説明する。本実施形態のスクリーン印刷機１のピン搬送装置５によると、図３、図４に示すように、垂直姿勢よりも垂直方向全長が小さい水平姿勢で、バックアップピン８１を搬送することができる。このため、図１０に示すように、搬送経路Ａの垂直方向幅Ｌ１を小さくすることができる。

また、本実施形態のスクリーン印刷機１のピン搬送装置５によると、図３、図４に示すように、ピン保持部５１を揺動させることにより、バックアップピン８１の姿勢を垂直姿勢と水平姿勢とに切り換えることができる。

また、本実施形態のスクリーン印刷機１のピン搬送装置５によると、図３、図４に示すように、バックアップピン８１を、垂直姿勢から水平姿勢に、略９０°揺動させることができる。このため、バックアップピン８１、延いてはピン搬送装置５の垂直方向全長を、大幅に短縮することができる。

また、本実施形態のスクリーン印刷機１によると、図１〜図４に示すように、上側から見て、基板搬送装置３における基板Ｂの搬送方向（左右方向）と、垂直姿勢から水平姿勢に移行する際のバックアップピン８１の姿勢切換方向（左右方向）と、は互いに平行である。このため、スクリーン印刷機１の奥行き（前後方向全長）を、小さくすることができる。

また、本実施形態のスクリーン印刷機１のピン搬送装置５には、図４に示すように、ピン検知センサ５４が配置されている。このため、バックアップピン８１を水平方向に搬送する前に、バックアップピン８１の姿勢が水平姿勢であることを、制御装置が確認することができる。

また、仮に、バックアップピン８１自体ではなく、姿勢切換部５３やピン保持部５１などバックアップピン８１以外の部位を基に、制御装置が、バックアップピン８１の姿勢の確認を、行う場合を想定する。例えば、ロッド５３０ｂ、第一ピニオン５３２、第二ピニオン５３３などの移動量を基に、制御装置がバックアップピン８１の姿勢の確認を行う場合を想定する。この場合、実際にはピン保持部５１にバックアップピン８１が保持されていない場合であっても、バックアップピン８１の姿勢が水平姿勢であると、制御装置が誤認識するおそれがある。

この点、本実施形態のスクリーン印刷機１のピン搬送装置５によると、図４に示すように、ピン検知センサ５４は、バックアップピン８１自体を検知している。このため、制御装置は、バックアップピン８１自体の有無を基に、バックアップピン８１の姿勢を確認することができる。したがって、バックアップピン８１の姿勢を、制御装置が誤認識するおそれが小さい。

また、本実施形態のスクリーン印刷機１によると、図１に示すように、ピン搬送装置５の移動用として、撮像装置４４用のＸスライド４０を、転用している。このため、ピン搬送装置５専用のスライドを配置する場合と比較して、スクリーン印刷機１の部品点数が少なくなる。

また、本実施形態のスクリーン印刷機１のピン搬送装置５によると、図４に示す水平姿勢において、ピン搬送装置５の垂直方向全長Ｌ３内に、バックアップピン８１が収まっている。このため、水平姿勢におけるピン搬送装置５（バックアップピン８１を含む）の垂直方向全長Ｌ３を、小さくすることができる。

また、本実施形態のスクリーン印刷機１のピン搬送装置５によると、図３、図４に示すように、バックアップピン８１が揺動する際、係合部５２がバックアップピン８１の下側に配置される。このため、係合部５２が被係合部８１１から外れにくい。すなわち、バックアップピン８１がピン保持部５１から脱落しにくい。

また、本実施形態のスクリーン印刷機１のピン搬送装置５によると、図３に示す垂直姿勢の際のロッド５３０ｂの位置は、ロッド５３０ｂの往復動ストロークの左端よりも右側（ストローク限界の内側）に、設定されている。また、図４に示す水平姿勢の際のロッド５３０ｂの位置は、ロッド５３０ｂの往復動ストロークの右端よりも左側（ストローク限界の内側）に、設定されている。すなわち、図３に示す垂直姿勢、図４に示す水平姿勢は、ロッド５３０ｂの往復動ストローク全域を使用しないように、設定されている。このため、水平姿勢、垂直姿勢が、姿勢切換部５３のバックラッシの影響を受けにくい。

また、本実施形態のスクリーン印刷機１のピン配置機構１０によると、図１４に示すピンベース部８１０ａは、図５に示すピンベース部８１０用のピン収容開口部６０に、干渉してしまう。このため、バックアップピン８１ａをピンストッカ６に配置することができない。一方、図１４に示すピンベース部８１０、８１０ｂは、図５に示すピンベース部８１０用のピン収容開口部６０に、干渉しない。このため、バックアップピン８１、８１ｂをピンストッカ６に配置することができる。したがって、任意のピンストッカ６に対して、別のピンストッカ６用のバックアップピン８１ａが配置されるのを、抑制することができる。すなわち、ピンストッカ６に対するバックアップピン８１ａの誤配置を抑制することができる。

また、本実施形態のスクリーン印刷機１のピン配置機構１０によると、図１４に示すピンベース部８１０、８１０ａ、８１０ｂと、図５に示すピン収容開口部６０と、の物理的な干渉の有無を基に、ピンストッカ６に対するバックアップピン８１、８１ａ、８１ｂの誤配置を抑制している。このため、電気的な手段によりバックアップピン８１、８１ａ、８１ｂの誤配置を抑制する場合と比較して、制御回路の電気的な構成を簡単にすることができる。

また、本実施形態のスクリーン印刷機１のピン配置機構１０によると、図１４に示すように、三種類のバックアップピン８１、８１ａ、８１ｂの軸方向全長Ｃ、Ｃａ、Ｃｂと、ピンベース部８１０、８１０ａ、８１０ｂの外径（直径）Ｄ、Ｄａ、Ｄｂと、は対応している。すなわち、軸方向全長Ｃ、Ｃａ、Ｃｂが大きいほど、外径Ｄ、Ｄａ、Ｄｂは大径である。図１４に示す大径のピンベース部８１０ａは、図５に示す小径のピン収容開口部６０に入らない。このため、軸方向全長Ｃが小さい（背が低い）バックアップピン８１と共に、軸方向全長Ｃａが大きい（背が高い）バックアップピン８１ａが、基板Ｂを支持してしまうおそれが小さい。すなわち、基板Ｂが傾いて支持されるおそれが小さい。

一方、図１４に示す小径のピンベース部８１０ｂは、図５に示す大径のピン収容開口部６０に入る。しかしながら、ピンストッカ６の昇降ストロークは一定である。このため、ピン搬送装置５でバックアップピン８１ｂを搬送しようとしても、被係合部８１１に係合部５２が届かない（図３、図７参照）。したがって、ピン搬送装置５でバックアップピン８１ｂを搬送することはできない。仮に、ピン搬送装置５でバックアップピン８１ｂを搬送することができたとしても、図２に示すように、バックアップテーブル８０にバックアップピン８１ｂが誤配置されることも考えられる。しかしながら、軸方向全長Ｃｂが小さいバックアップピン８１ｂは、基板Ｂまで届かない。このため、軸方向全長Ｃが大きいバックアップピン８１だけで、基板Ｂを支持することができる。したがって、基板Ｂが傾いて支持されるおそれが小さい。

＜ピン配置機構による誤配置抑制方法のバリエーション＞
ピン配置部（ピンストッカ６、ピン搬送装置５）に対する、バックアップピン８１の誤配置抑制方法は特に限定しない。以下、誤配置抑制方法を例示する。

図１５に、ピンストッカのピン収容開口部の上面図を示す。なお、図１と対応する部位については、同じ符号で示す。図１５に示すように、バックアップピン８１（図１参照）用のピン収容開口部６０は、上側から見て真円状を呈している。

一方、図１５に点線で示すように、非正規のバックアップピン（その１）のピンベース部８１０ｃは三角形状を呈している。当該三角形の外接円の直径は、ピン収容開口部６０の内径よりも、大径である。このため、ピンベース部８１０ｃは、ピン収容開口部６０に干渉する。

また、非正規のバックアップピン（その２）のピンベース部８１０ｄは四角形状を呈している。当該四角形の外接円の直径は、ピン収容開口部６０の内径よりも、大径である。このため、ピンベース部８１０ｃは、ピン収容開口部６０に干渉する。

このように、ピンベース部８１０ｃ、８１０ｄとピン収容開口部６０との形状の異同に基づいて、ピンストッカに対するバックアップピンの誤配置を抑制してもよい。この場合であっても、ピンストッカに対するバックアップピンの誤配置を抑制することができる。また、作業者は、ピンベース部８１０ｃ、８１０ｄがピン収容開口部６０に干渉する以前に、視覚や触覚を通じて、ピンベース部８１０ｃ、８１０ｄとピン収容開口部６０との形状の異同を、容易に認識することができる。

図１６に、垂直姿勢におけるバックアップピンの被係合部の径方向断面図を示す。なお、図３と対応する部位については、同じ符号で示す。図１６に示すように、係合部５２の右縁には、Ｃ字状の係合凹部５２０が形成されている。図１６に点線で示すように、係合凹部５２０の内径（直径）は、正規のバックアップピン８１の被係合部８１１の外径（直径）と、略一致している。ここで、バックアップピン８１用のピンストッカ６には、バックアップピン８１ｅが誤配置されている。しかしながら、バックアップピン８１ｅの被係合部８１１ｅの外径は、係合凹部５２０の内径（直径）よりも、大径である。このため、係合凹部５２０は、被係合部８１１ｅに係合することができない。すなわち、係合凹部５２０は、被係合部８１１ｅに干渉してしまう。このように、係合部５２と被係合部８１１、８１１ｅとの径の異同に基づいて、ピン搬送装置５（図３参照）に対するバックアップピン８１ｅの誤配置を抑制してもよい。

図１７に、垂直姿勢におけるバックアップピンの前面図を示す。なお、図３と対応する部位については、同じ符号で示す。図１７に示すように、非正規のバックアップピン８１ｆの被係合部８１１ｆの上下方向位置（軸方向位置）は、正規のバックアップピン（点線で示す）の被係合部８１１の上下方向位置よりも、下側に設定されている。このため、係合部５２は、被係合部８１１ｆに係合することができない。このように、係合部５２と被係合部８１１、８１１ｆとの軸方向位置の異同に基づいて、ピン搬送装置５（図３参照）に対するバックアップピン８１ｅの誤配置を抑制してもよい。

また、図５に示すバックアップピン８１の頂部８１３の形状の異同に基づいて、ピンストッカ６やピン搬送装置５（図３参照）に対するバックアップピン８１ｅの誤配置を抑制してもよい。

また、図２に示すように、ピンストッカ６に配置されたバックアップピン８１の頂部８１３を、撮像装置４４を用いて撮像してもよい。すなわち、頂部８１３を、撮像用識別部として利用してもよい。こうすると、撮像装置４４が取得した画像を基に、制御装置が、ピン搬送装置５に対するバックアップピン８１の配置の可否を、自動的に判別することができる。このため、被係合部８１１と係合部５２とが物理的に干渉する以前に、ピン搬送装置５に対するバックアップピン８１の誤配置を抑制することができる。つまり、バックアップピン８１の誤配置に対して、ダブルチェックを行うことができる。

例えば、画像に頂部８１３が含まれている場合は、頂部８１３の形状や大きさなどを基に、制御装置が、ピン搬送装置５に対するバックアップピン８１の配置の可否を、自動的に判別することができる。

一方、画像に頂部８１３が含まれていない場合は、頂部８１３が撮像されていないという事実を基に、制御装置が、ピン搬送装置５に対するバックアップピン８１の配置の可否を、自動的に判別することができる。

なお、画像を利用したバックアップピン８１の誤配置抑制方法は、被係合部８１１と係合部５２との物理的干渉を利用したバックアップピン８１の誤配置抑制方法から、独立して実行してもよい。こうすると、被係合部８１１と係合部５２との物理的干渉を回避することができる。このため、当該物理的干渉による不具合が被係合部８１１や係合部５２に発生しにくくなる。

＜その他＞
以上、本発明の基板処理装置の実施の形態について説明した。しかしながら、実施の形態は上記形態に特に限定されるものではない。当業者が行いうる種々の変形的形態、改良的形態で実施することも可能である。

上記実施形態においては、図２に示すように、スクリーン印刷機１に基板搬送装置３を一つだけ配置した。しかしながら、スクリーン印刷機１に、基板搬送装置３を、前後方向に複数並置してもよい。

ピンストッカ６の配置場所は特に限定しない。基板搬送装置３の前側に配置してもよい。スクリーン印刷機１が複数の基板搬送装置３を備えている場合は、最後方の基板搬送装置３の後側にピンストッカ６を配置してもよい。また、前後方向に隣り合う一対の基板搬送装置３の間にピンストッカ６を配置してもよい。ピンストッカ６の配置数は特に限定しない。単一のスクリーン印刷機１に、複数のピンストッカ６を配置してもよい。

ストッカ昇降装置７と基板昇降装置８とは、共用であってもよい。すなわち、ピンストッカ６とバックアップテーブル８０とを、共通の流体シリンダやボールねじ機構により、昇降してもよい。

また、上記実施形態においては、基板Ｂをスクリーンマスク２に当接させる際、基板Ｂを上昇させた。しかしながら、スクリーンマスク２を下降させてもよい。ピン検知センサ５４の種類は特に限定しない。誘導型、静電容量型、超音波型、光電型、磁気型などの非接触式センサであってもよい。また、リミットスイッチなどの接触式センサであってもよい。

姿勢切換部５３の構成は特に限定しない。バックアップピン８１の姿勢を、第一姿勢と第二姿勢とに切換可能であればよい。例えば、図３、図４に示すブラケット５０に、ガイド部を配置してもよい。また、ピン保持部５１に被ガイド部を配置してもよい。そして、ピン保持部５１つまりバックアップピン８１が第一姿勢になるように、ガイド部の一端を形成すればよい。同様に、ピン保持部５１つまりバックアップピン８１が第二姿勢になるように、ガイド部の他端を形成すればよい。ピン保持部５１におけるバックアップピン８１の着脱機構は特に限定しない。例えば、係合機構、螺合機構（ねじ留め機構）、吸着機構などを用いてもよい。

第一姿勢は、図３に示す垂直姿勢でなくてもよい。第二姿勢は、図４に示す水平姿勢でなくてもよい。第一姿勢から第二姿勢に切り換わる際のバックアップピン８１の揺動方向は特に限定しない。揺動方向は、図３に示す下側から右側に回る方向の他、下側から左側に回る方向、下側から前側に回る方向、下側から後側に回る方向であってもよい。

ピン側識別部（ピンベース部８１０、被係合部８１１）、配置部側識別部（ピン収容開口部６０、係合部５２）、撮像用識別部（頂部８１３）の形状、大きさ、配置場所、配置数は特に限定しない。例えば、これらの識別部の形状は、真円状、楕円状、多角形（三角形、四角形、五角形、六角形など）状などであってもよい。また、本発明の基板処理装置は、電子部品実装機、基板外観検査機などとして具現化してもよい。

１：スクリーン印刷機（基板処理装置）、２：スクリーンマスク、３：基板搬送装置、３０：壁部、３１：ベルトコンベア、３２：昇降テーブル、４：ＸＹロボット、４０：Ｘスライド、４１：Ｙスライド、４２：Ｘガイド部、４３：Ｙガイド部、４４：撮像装置、５：ピン搬送装置、５０：ブラケット、５１：ピン保持部、５１０：揺動軸、５１１：保持凹部、５２：係合部、５２０：係合凹部、５３：姿勢切換部、５３０：流体シリンダ、５３０ａ：シリンダ本体、５３０ｂ：ロッド、５３１：ラック、５３２：第一ピニオン、５３３：第二ピニオン、５４：ピン検知センサ、６：ピンストッカ、６０：ピン収容開口部、７：ストッカ昇降装置、７０：シリンダ本体、７１：ロッド、８：基板昇降装置、８０：バックアップテーブル、８１：バックアップピン、８１ａ：バックアップピン、８１ｂ：バックアップピン、８１ｅ：バックアップピン、８１ｆ：バックアップピン、８１０：ピンベース部、８１０ａ：ピンベース部、８１０ｂ：ピンベース部、８１０ｃ：ピンベース部、８１０ｄ：ピンベース部、８１１：被係合部、８１１ｅ：被係合部、８１１ｆ：被係合部、８１２：フランジ部、８１３：頂部、８２：テーブル昇降装置、８２０：シャフト、８２１：ナット、８２２：モータ、９：ベース、９０：搬送装置用昇降装置、９００：シャフト、９０１：ナット、９０２：モータ、１０：ピン配置機構、Ａ：搬送経路、Ｂ：基板、Ｃ：軸方向全長、Ｃａ：軸方向全長、Ｃｂ：軸方向全長、Ｄ：外径、Ｄａ：外径、Ｄｂ：外径、Ｌ１：垂直方向幅、Ｌ２：垂直方向全長、Ｌ３：垂直方向全長、Ｐ：電子部品。

Claims (5)

1. 基板を下側から支持可能であって、ピン側識別部を有するバックアップピンと、
   該バックアップピンが配置され、配置部側識別部を有するピン配置部と、
   を備え、
   該ピン側識別部と該配置部側識別部とが干渉しない場合、該ピン配置部に該バックアップピンを配置可能なピン配置機構。
2. 前記ピン側識別部は、前記バックアップピンの下部に設定されるピンベース部であり、
   前記ピン配置部は、前記基板を支持していない、待機中の該バックアップピンが収容されるピンストッカであり、
   前記配置部側識別部は、該ピンストッカに上向きに開口するピン収容開口部であり、
   該ピンベース部と該ピン収容開口部とが干渉しない場合、該ピン収容開口部に該ピンベース部を収容可能な請求項１に記載のピン配置機構。
3. 前記ピン側識別部は、前記バックアップピンに設定される被係合部であり、
   前記ピン配置部は、該バックアップピンを搬送するピン搬送装置であり、
   前記配置部側識別部は、該ピン搬送装置に設定される係合部であり、
   該被係合部と該係合部とが干渉しない場合、該係合部は該被係合部に係合可能な請求項１に記載のピン配置機構。
4. 前記バックアップピンは、撮像用識別部を有し、
   該撮像用識別部を撮像可能な撮像装置と、
   該撮像装置が取得した画像を基に、前記ピン配置部に対する該バックアップピンの配置の可否を判別する制御装置と、
   を備える請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のピン配置機構。
5. 請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のピン配置機構を備える基板処理装置。

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