JP2008303025A - 基板搬送装置および基板搬送方法 - Google Patents
基板搬送装置および基板搬送方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】基板1に所定の加工を施すための加工領域が設けられた搬送路3と、搬送路3に搬入された基板1を上流から下流に向けて搬送する搬送コンベア4と、基板搬送方向に移動可能な移動体5と、移動体5に設けられて基板1を加工領域より上流側となる位置s2で検知する第1センサ9と、移動体5の第1センサ9から基板搬送方向に所定の距離をおいた位置に設けられて搬送中の基板1に接触して停止させるストッパ11と、第1センサ9が基板1を検知すると基板搬送速度より低い速度で移動体5の移動を開始させるとともに基板1がストッパ11に接触した後に停止するように移動体5の移動を制御する制御手段を備えた。
【選択図】図4
Description
タイミングでストッパに接触し、ストッパに接触してから停止するまでの時間とその間に移動する距離には基板の種類による差が生じることがないので、安定した基板の搬送を実現することができる。
搬送速度より低い速度で移動を開始する(図4(a))。移動体5は基板1の上流側を基板搬送速度より低い速度で移動しているため、基板1は移動体5に徐々に接近し、最終的に接触位置s3にて移動体5のストッパ11に接触する(図4(b))。接触後の基板1はストッパ11に接触した状態で移動体5の移動速度まで減速して搬送され、基板停止位置s4まで到達した時点で移動体5とともに停止する(図4(c))。接触位置s3と基板停止位置s4の距離が短いほど基板1が減速するタイミングが遅くなり、基板停止位置s4に到達するまでの時間が短縮されるので、接触位置s3が基板停止位置s4に近接した位置となるように基板搬送速度と移動体5の移動速度の相対的速度を予め設定する。
2 加工領域
3 搬送路
4 搬送コンベア
5 移動体
8 制御装置
9 第1センサ
11 ストッパ
Claims (2)
- 基板に所定の加工を施すための加工領域が設けられた搬送路と、搬送路に搬入された基板を上流から下流に向けて搬送する搬送コンベアと、基板搬送方向に移動可能な移動体と、移動体に設けられて基板を加工領域より上流側で検知するセンサと、移動体のセンサから基板搬送方向に所定の距離をおいた位置に設けられて搬送中の基板に接触して停止させるストッパと、センサが基板を検知すると基板搬送速度より低い速度で移動体の移動を開始させるとともに基板がストッパに接触した後に停止するように移動体の移動を制御する制御手段を備えた基板搬送装置。
- 基板に所定の加工を施すための加工領域が設けられた搬送路に搬入された基板を搬送する工程と、基板がストッパから所定の距離まで到達した時点でストッパを基板搬送速度より低い速度で移動させる工程と、基板がストッパに接触した後にストッパを停止させる工程を含む基板搬送方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014002149A1 (ja) * | 2012-06-29 | 2014-01-03 | 株式会社エイチアンドエフ | ワーク停止装置及びそれを用いたワーク停止方法 |
TWI603419B (zh) * | 2012-06-28 | 2017-10-21 | Seiko Epson Corp | processor |
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2007
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