JP4962147B2 - 基板搬送装置および基板搬送方法 - Google Patents
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Description
タイミングでストッパに接触し、ストッパに接触してから停止するまでの時間とその間に移動する距離には基板の種類による差が生じることがないので、安定した基板の搬送を実現することができる。
2 加工領域
3 搬送路
4 搬送コンベア
5 移動体
8 制御装置
9 第1センサ
11 ストッパ
Claims (2)
- 基板に所定の加工を施すための加工領域が設けられた搬送路と、搬送路に搬入された基板を上流から下流に向けて搬送する搬送コンベアと、基板搬送方向に移動可能な移動体と、移動体に設けられて基板を加工領域より上流側で検知するセンサと、センサから基板搬送方向に所定の距離をおいた位置において移動体に設けられて搬送中の基板に接触して基板を移動体に対して停止させるストッパと、センサが基板を検知すると基板搬送速度より低い速度で移動体の基板搬送方向への移動を開始させるとともに基板がストッパに接触した後に停止するように移動体の移動を制御する制御手段を備えた基板搬送装置。
- 請求項1に記載の基板搬送装置による基板搬送方法であって、
搬送路に搬入された基板をセンサが検知し、移動体が基板搬送速度より低い速度で基板搬送方向への移動を開始する工程と、搬送コンベアによって上流から下流へ搬送される基板はストッパに徐々に接近してストッパに接触し、移動体に対して停止する工程と、基板はストッパに接触した状態で移動体の移動速度まで減速して搬送され、基板停止位置で移動体とともに移動を停止して加工領域への搬入が完了する工程と、を含むことを特徴とする基板搬送方法。
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