JP2014010018A - ハンドラーおよび検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】部品保持部の配設ピッチを変化させることのできるハンドラーにおいて、部品点数の少ないハンドラーおよび検査装置を提供すること。
【解決手段】本発明のハンドラーは、基部７５と、基部７５に固定された第１支持部７１と、第１支持部７１に支持された吸着ノズル７１３と、第１支持部７１に対してＹ方向に移動可能な第１移動部７１５と、第１移動部７１５に支持された吸着ノズル７１８と、基部７５にＸ方向に移動可能な第２支持部７２と、第２支持部７２に支持された吸着ノズル７２３と、第２支持部７２に対してＹ方向に移動可能な第２移動部７２５と、第２移動部７２５に支持された吸着ノズル７２８と、第１、第２移動部７１５、７２５を一体的にＹ方向へ移動させ、吸着ノズル７１３、７２３と吸着ノズル７１８、７２８の離間距離を変化させるＹ方向移動機構と、第１、第２支持部７１、７２の離間距離を変化させるＸ方向移動機構７６とを有する。
【選択図】図７

Description

本発明は、ハンドラーおよび検査装置に関する。

従来から、例えばＩＣデバイスなどの電子部品の電気的特性を検査する検査装置が知られている。
このような検査装置は、電子部品を供給トレイから検査部に供給し、検査部に供給された電子部品の電気的特性の検査を行い、当該検査の終了後、電子部品を検査部から回収トレイに回収するように構成されている。また、供給トレイに収容された電子部品は、一旦、シャトルに移し替えられ、シャトルによって検査部近傍まで搬送される。シャトルには、ポケットが形成されたトレイが設けられており、そのポケットに電子部品が収容される。

供給トレイからトレイへの電子部品の搬送は、供給ロボットによって実行される。供給ロボットは、複数の吸着ノズルを有しており、各吸着ノズルで供給トレイのポケット内の電子部品を吸着保持し、保持した電子部品をトレイのポケットに移し替えた後その電子部品をリリースすることにより、供給トレイからトレイへ電子部品を搬送する。このような供給ロボットとして、例えば、特許文献１に記載されているような供給ロボットが知られている。

しかしながら、一般的な供給ロボットは、複数の吸着ノズルの配設ピッチ（互いの位置関係）が固定されているため、次のような問題が生じる。すなわち、供給トレイに設けられた複数のポケットの配設ピッチとトレイに設けられた複数のポケットの配設ピッチとが等しいとは限らない。仮に、供給トレイに設けられた複数のポケットの配設ピッチがトレイに設けられた複数のポケットの配設ピッチと異なる場合、各吸着ノズルに保持された電子部品を一括してトレイに設けられたポケット内へリリースすることができず、各吸着ノズルについて、１つずつ順番にポケットに対する位置合わせ、および、そのポケット内への電子部品のリリースを行う必要がある。このような方法では、供給トレイからトレイへの電子部品の搬送に時間がかかり過ぎ、円滑な検査を行うことができないという問題が発生する。
このような問題を解決するために、特許文献１のような、吸着ノズルの配設ピッチを変化させることのできるロボットも知られているが、このような構成では、部品把持部が回転してしまうので、部品把持部の回転を補正する機構が必要で、一般に部品点数が増え、場合によっては、ロボットの大型化を招いてしまうという問題がある。

特開２００６−１７５７５号公報

本発明の目的は、部品保持部の配設ピッチを変化させることのできるハンドラーにおいて、部品点数の少ないハンドラーおよび検査装置を提供することにある。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。

このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明のハンドラーは、互いに直交する３つの方向を第１方向、第２方向および第３方向としたとき、
基部と、
前記基部に固定され、動作時において前記基部に対して相対位置が変わらない第１支持部と、
前記第１支持部に支持され、前記第１支持部に対して前記第３方向に移動可能に設けられ、かつ、部品を保持する第１部品保持部と、
前記第１支持部に支持され、前記第１支持部に対して前記第２方向に移動可能な第１移動部と、
前記第１移動部に支持され、前記第１部品保持部に対して前記第２方向に位置するとともに、前記第１移動部に対して前記第３方向に移動可能に設けられ、かつ、部品を保持する第２部品保持部と、
前記基部に支持され、前記第１支持部に対して前記第１方向に位置するとともに、前記基部に対して前記第１方向に移動可能な第２支持部と、
前記第２支持部に支持され、前記第２支持部に対して前記第３方向に移動可能に設けられ、かつ、部品を保持する第３部品保持部と、
前記第２支持部に支持され、前記第２支持部に対して前記第２方向に移動可能な第２移動部と、
前記第２移動部に支持され、前記第３部品保持部に対して前記第２方向に位置するとともに、前記第２移動部に対して前記第３方向に移動可能に設けられ、かつ、部品を保持する第４部品保持部と、
前記第１移動部および前記第２移動部を一体的に前記第２方向へ移動させ、前記第１部品保持部と前記第２部品保持部の前記第２方向の離間距離および前記第３部品保持部と前記第４部品保持部の前記第２方向の離間距離を共に変化させる第１移動機構と、
前記第２支持部を前記第１方向に移動させ、前記第１支持部と前記第２支持部の前記第１方向の離間距離を変化させる第２移動機構と、を有することを特徴とする。
このような構成とすることにより、部品点数の少ないハンドラーとなる。

本発明のハンドラーでは、前記第１移動機構の少なくとも一部は、前記基部に支持されているのが好ましい。
これにより、装置の構成が簡単となる。
本発明のハンドラーでは、前記第１移動機構は、前記第２方向に離間した第１移動機構用第１案内輪および第１移動機構用第２案内輪と、前記第１移動機構用第１案内輪および前記第１移動機構用第２案内輪の間に張架された第１移動機構用第１無端状駆動索と、前記第１移動機構用第１案内輪および前記第１移動機構用第２案内輪の少なくとも一方を回転させて前記第１移動機構用第１無端状駆動索を回転させる第１移動機構用駆動源と、を有し、
少なくとも前記第１移動機構用第１案内輪および前記第１移動機構用第２案内輪は、それぞれ、前記基部に回転可能に支持されているのが好ましい。
これにより、第１移動機構の構成が簡単となる。また、第１移動機構の部品点数の低減を図ることができるため、それに伴う小型化を図ることができる。

本発明のハンドラーでは、前記第１移動部および前記第２移動部は、それぞれ、前記第１移動機構用第１無端状駆動索に直接または間接的に連結されており、
前記第１移動機構用第１無端状駆動索の回転に伴って、前記第１移動部が前記第１支持部に対して前記第２方向に移動するとともに、前記第２移動部が前記第２支持部に対して前記第２方向に移動するのが好ましい。
これにより、簡単かつ確実に、第１移動部に固定された第２部品保持部および第２移動部に固定された第４部品保持部を第２方向へ移動させることができる。

本発明のハンドラーでは、前記第１移動機構は、前記第１支持部に回転可能に固定され、前記第２方向に離間した第１移動機構用第３案内輪および第１移動機構用第４案内輪と、前記第１移動機構用第３案内輪および前記第１移動機構用第４案内輪の間に張架された第１移動機構用第２無端状駆動索と、前記第１移動機構用第１案内輪と前記第１移動機構用第３案内輪とを連結し、前記第１移動機構用第１案内輪の回転を前記第１移動機構用第３案内輪に伝達する伝達部と、前記第１移動機構用第１無端状駆動索と前記第１移動機構用第２無端状駆動索とを連結する連結部と、をさらに有し、
前記第１移動部および前記第２移動部は、それぞれ、前記連結部に連結されているのが好ましい。
これにより、第１移動部および第２移動部をバランスよく第２方向に移動させることができる。
本発明のハンドラーでは、前記第１移動機構用駆動源は、前記基部に支持されているのが好ましい。
これにより、装置の構成が簡単となる。

本発明のハンドラーでは、前記第２移動機構の少なくとも一部は、前記基部に支持されているのが好ましい。
これにより、装置の構成が簡単となる。
本発明のハンドラーでは、前記第２移動機構は、前記第１方向に離間した第２移動機構用第１案内輪および第２移動機構用第２案内輪と、前記第２移動機構用第１案内輪および前記第２移動機構用第２案内輪の間に張架された第２移動機構用無端状駆動索と、前記第２移動機構用第１案内輪および前記第２移動機構用第２案内輪の少なくとも一方を回転させて前記第２移動機構用無端状駆動索を回転させる第２移動機構用駆動源と、を有し、
少なくとも前記第２移動機構用第１案内輪および前記第２移動機構用第２案内輪は、それぞれ、前記基部に回転可能に支持されているのが好ましい。
これにより、第２移動機構の構成が簡単となる。

本発明のハンドラーでは、前記第１支持部および前記第２支持部は、それぞれ、前記第２方向および前記第３方向の両方向に広がりを有する板状をなしているのが好ましい。
これにより、装置の小型を図ることができる。
本発明のハンドラーでは、前記第１部品保持部、前記第２部品保持部、前記第３部品保持部および前記第４部品保持部は、それぞれ、吸着によって対象物を保持する吸着ノズルを有しているのが好ましい。
これにより、簡単な構成で対象物を保持することができる。

本発明のハンドラーは、互いに直交する２つの方向を第１方向および第２方向としたとき、
部品を保持する第１部品保持部と、
前記第１部品保持部に対して前記第２方向に位置し、部品を保持する第２部品保持部と、
前記第１部品保持部に対して前記第１方向に位置し、部品を保持する第３部品保持部と、
前記第３部品保持部に対して前記第２方向に位置し、部品を保持する第４部品保持部と、を有し、
前記第３部品保持部および前記第４部品保持部は、一体的に、前記第１部品保持部および前記第２部品保持部に対して前記第１方向に移動し、
前記第２部品保持部および前記第４部品保持部は、一体的に、前記第１部品保持部および前記第３部品保持部に対して前記第２方向に移動することを特徴とする。
このような構成とすることにより、部品点数の少ないハンドラーとなる。

本発明の検査装置は、本発明のハンドラーと、
対象物の検査を行う検査部と、を有し、
前記ハンドラーにより前記対象物が前記検査部に搬送されるよう構成されていることを特徴とする。
これにより、部品点数の少ない検査装置が得られる。

本発明の検査装置は、互いに直交する３つの方向を第１方向、第２方向および第３方向としたとき、
基部と、
前記基部に固定され、動作時において前記基部に対して相対位置が変わらない第１支持部と、
前記第１支持部に支持され、前記第１支持部に対して前記第３方向に移動可能に設けられ、かつ、部品を保持する第１部品保持部と、
前記第１支持部に支持され、前記第１支持部に対して前記第２方向に移動可能な第１移動部と、
前記第１移動部に支持され、前記第１部品保持部に対して前記第２方向に位置するとともに、前記第１移動部に対して前記第３方向に移動可能に設けられ、かつ、部品を保持する第２部品保持部と、
前記基部に支持され、前記第１支持部に対して前記第１方向に位置するとともに、前記基部に対して前記第１方向に移動可能な第２支持部と、
前記第２支持部に支持され、前記第２支持部に対して前記第３方向に移動可能に設けられ、かつ、部品を保持する第３部品保持部と、
前記第２支持部に支持され、前記第２支持部に対して前記第２方向に移動可能な第２移動部と、
前記第２移動部に支持され、前記第３部品保持部に対して前記第２方向に位置するとともに、前記第２移動部に対して前記第３方向に移動可能に設けられ、かつ、部品を保持する第４部品保持部と、
前記第１移動部および前記第２移動部を一体的に前記第２方向へ移動させ、前記第１部品保持部と前記第２部品保持部の前記第２方向の離間距離および前記第３部品保持部と前記第４部品保持部の前記第２方向の離間距離を共に変化させる第１移動機構と、
前記第２支持部を前記第１方向に移動させ、前記第１支持部と前記第２支持部の前記第１方向の離間距離を変化させる第２移動機構と、
前記第１部品保持部、前記第２部品保持部、前記第３部品保持部および前記第４部品保持部に保持された各部品の検査を行う検査部と、を有することを特徴とする。
これにより、部品点数の少ない検査装置が得られる。

本発明の検査装置の第１実施形態を示す概略平面図である。 図１に示す検査用値が有する供給ロボットのハンドユニットの斜視図である。 図１に示す検査用値が有する供給ロボットのハンドユニットの平面図である。 図２に示すハンドユニットが有する第１支持部の平面図である。 図２に示すハンドユニットが有する第２支持部の平面図である。 図２に示すハンドユニットが有する第３支持部の平面図である。 図２に示すハンドユニットが有する第４支持部の平面図である。 図２に示すハンドユニットが有するＸ方向移動機構を示す平面図である。 図２に示すハンドユニットが有するＹ方向移動機構を示す平面図である。 図２に示すハンドユニットが有するＹ方向移動機構を示す平面図である。 図１に示す検査装置が有する検査用ロボットのハンドユニットの斜視図である。 図１に示す検査装置による電子部品の検査手順を説明する平面図である。 図１に示す検査装置による電子部品の検査手順を説明する平面図である。 図１に示す検査装置による電子部品の検査手順を説明する平面図である。 図１に示す検査装置による電子部品の検査手順を説明する平面図である。 図１に示す検査装置による電子部品の検査手順を説明する平面図である。 図１に示す検査装置による電子部品の検査手順を説明する平面図である。 図１に示す検査装置による電子部品の検査手順を説明する平面図である。 図１に示す検査装置による電子部品の検査手順を説明する平面図である。 図１に示す検査装置による電子部品の検査手順を説明する平面図である。 本発明の第２実施形態に係る検査装置が有する供給ロボットのハンドユニットを示す平面図である。 図２１に示すハンドユニットが有する支持部の平面図である。

以下、本発明のハンドラーを適用した検査装置（本発明の検査装置）について添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の検査装置の第１実施形態を示す概略平面図、図２は、図１に示す検査用値が有する供給ロボットのハンドユニットの斜視図、図３は、図１に示す検査用値が有する供給ロボットのハンドユニットの平面図、図４は、図２に示すハンドユニットが有する第１支持部の平面図、図５は、図２に示すハンドユニットが有する第２支持部の平面図、図６は、図２に示すハンドユニットが有する第３支持部の平面図、図７は、図２に示すハンドユニットが有する第４支持部の平面図、図８は、図２に示すハンドユニットが有するＸ方向移動機構を示す平面図、図９および図１０は、図２に示すハンドユニットが有するＹ方向移動機構を示す平面図、図１１は、図１に示す検査装置が有する検査用ロボットのハンドユニットの斜視図、図１２ないし図２０は、図１に示す検査装置による電子部品の検査手順を説明する平面図である。

なお、以下では、説明の便宜上、図１に示すように、互いに直交する３軸をＸ軸（第１軸）、Ｙ軸（第２軸）およびＺ軸（第３軸）とする。また、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ方向（第１方向）」と言い、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ方向（第２方向）」と言い、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ方向」と言う。また、Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向の各方向において、矢印先端側を「＋」、矢印基端側を「−」と言う。

図１に示す検査装置１は、例えば、ＩＣデバイス（ＩＣチップ）、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display）、ＣＩＳ（Contact Image Sensor）などの試験部品（電子部品）１００の電気的特性を検査・試験するための装置である。なお、以下では、説明の便宜上、試験部品としＩＣデバイスを用いる場合について代表して説明する。
検査装置１は、供給トレイ２と、回収トレイ３と、第１シャトル４と、第２シャトル５と、検査用ソケット（検査部）６と、供給ロボット７と、回収ロボット８と、検査用ロボット９と、第１カメラ６００と、第２カメラ５００と、これら各部の制御を行う制御装置１０とを有している。

このような検査装置１では、これら各部のうちの検査用ソケット６を除く構成、すなわち、供給トレイ２と、回収トレイ３と、第１シャトル４と、第２シャトル５と、供給ロボット７と、回収ロボット８と、検査用ロボット９と、第１カメラ６００と、第２カメラ５００と、制御装置１０とによって、ＩＣデバイス１００の搬送を実行するハンドラー（本発明のハンドラー）が構成されている。なお、ハンドラーの構成は、これに限定されず、必要に応じてこれら各部のうちの少なくとも１つが省略されていてもよいし、他の構成（例えば、ホットプレートやチャンバー）が付加されていてもよい。

また、検査装置１は、上記各部を搭載する台座１１と、上記各部を収容するように台座１１に被せられた図示しない安全カバーとを有しており、この安全カバーの内側（以下「領域Ｓ」と言う）に、第１シャトル４、第２シャトル５、検査用ソケット６、供給ロボット７、回収ロボット８、検査用ロボット９、第１カメラ６００および第２カメラ５００が配置されているとともに、領域Ｓの内外に移動可能なように、供給トレイ２および回収トレイ３が配置されている。

以下、これら各部について、順次詳細に説明する。
１．供給トレイ
供給トレイ２は、検査を行うＩＣデバイス１００を領域Ｓ外から領域Ｓ内に搬送するためのトレイである。図１に示すように、供給トレイ２は、板状をなしており、その上面には、ＩＣデバイス１００を載置するための複数のポケット２１がＸ方向およびＹ方向に行列状に形成されている。

このような供給トレイ２は、領域Ｓの内外を跨るようにＹ方向へ延びるレール２３上を移動する図示しないステージに載置されている。そして、供給トレイ２は、例えばリニアモーターを駆動源とする図示しない駆動手段によって前記ステージが移動することにより、レール２３に沿って±Ｙ方向に往復移動可能となっている。そのため、ＩＣデバイス１００が収容された供給トレイ２を領域Ｓ外にあるステージに載置し、ステージとともに供給トレイ２を領域Ｓ内に移動させ、供給トレイ２からすべてのＩＣデバイス１００が取り除かれたら、再び、ステージとともに供給トレイ２を領域Ｓ外へ移動させるといった動作を繰り返し行うことができる。

２．回収トレイ
回収トレイ３は、検査済みのＩＣデバイス１００を収容し、領域Ｓ内から領域Ｓ外に搬送するためのトレイである。図１に示すように、回収トレイ３は、板状をなしており、その上面には、ＩＣデバイス１００を載置するための複数のポケット３１がＸ方向およびＹ方向に行列状に形成されている。

このような回収トレイ３は、領域Ｓの内外を跨るようにＹ方向へ延びるレール３３上を移動する図示しないステージに載置されている。そして、回収トレイ３は、例えばリニアモーターを駆動源とする図示しない駆動手段によって前記ステージが移動することにより、レール３３に沿って±Ｙ方向に往復移動可能となっている。そのため、領域Ｓ内にて、検査済みのＩＣデバイス１００を回収トレイ３に収容し、回収トレイ３を領域Ｓ外に移動させ、ステージ上の回収トレイ３を空のトレイと交換したら、再び、回収トレイ３を領域Ｓ内へ移動させるといった動作を繰り返し行うことができる。
このような回収トレイ３は、前述した供給トレイ２に対して＋Ｘ方向に離間して設けられており、供給トレイ２と回収トレイ３の間に、第１シャトル４、第２シャトル５および検査用ソケット６が配置されている。

３．第１シャトル
第１シャトル４は、供給トレイ２によって領域Ｓ内に搬送されてきたＩＣデバイス１００をさらに検査用ソケット６の近傍まで搬送するため、さらには、検査用ソケット６で検査された検査済みのＩＣデバイス１００を回収トレイ３の近傍まで搬送するためのものである。

図１に示すように、第１シャトル４は、ベース部材４１と、ベース部材４１に固定された２つのトレイ４２、４３とを有している。これら２つのトレイ４２、４３は、Ｘ方向に並んで設けられている。また、トレイ４２、４３には、それぞれ、ＩＣデバイス１００を載置するための８つのポケット４２１、４３１がＸ方向に４つ、Ｙ方向に２つ並ぶように行列状（マトリックス状）に形成されている。

トレイ４２、４３のうち、供給トレイ２側に位置するトレイ４２は、供給トレイ２に収容されたＩＣデバイス１００を移し替えて収容するためのトレイであり、回収トレイ３側に位置するトレイ４３は、検査用ソケット６での電気的特性の検査を終えたＩＣデバイス１００を収容するためのトレイである。すなわち、トレイ４２は、未検査のＩＣデバイス１００を収容するためのトレイであり、トレイ４３は、検査済みのＩＣデバイス１００を収容するためのトレイである。

このような第１シャトル４は、ベース部材４１がＸ方向へ延びるレール４４に支持されており、例えばリニアモーターを駆動源とする図示しない駆動手段によって、レール４４に沿って±Ｘ方向に往復移動可能となっている。そして、第１シャトル４が−Ｘ方向側に移動し、トレイ４２が供給トレイ２に対して＋Ｙ方向側に並ぶとともに、トレイ４３が検査用ソケット６に対して＋Ｙ方向側に並んだ状態と、第１シャトル４が＋Ｘ方向側に移動し、トレイ４３が回収トレイ３に対して＋Ｙ方向側に並ぶとともに、トレイ４２が検査用ソケット６に対して＋Ｙ方向側に並んだ状態とをとることができる。

４．第２シャトル
第２シャトル５は、前述した第１シャトル４と同様の機能および構成を有している。すなわち、第２シャトル５は、供給トレイ２によって領域Ｓ内に搬送されてきたＩＣデバイス１００をさらに検査用ソケット６の近傍まで搬送するため、さらには、検査用ソケット６によって検査された検査済みのＩＣデバイス１００を回収トレイ３の近傍まで搬送するためのものである。

図１に示すように、第２シャトル５は、ベース部材５１と、ベース部材５１に固定された２つのトレイ５２、５３とを有している。これら２つのトレイ５２、５３は、Ｘ方向に並んで設けられている。また、トレイ５２、５３には、それぞれ、ＩＣデバイス１００を載置するための８つのポケット５２１、５３１がＸ方向に４つ、Ｙ方向に２つ並ぶように行列状に形成されている。

トレイ５２、５３のうち、供給トレイ２側に位置するトレイ５２は、供給トレイ２に収容されたＩＣデバイス１００を移し替えて収容するトレイであり、回収トレイ３側に位置するトレイ４３は、検査用ソケット６での電気的特性の検査を終えたＩＣデバイス１００を収容するためのトレイである。すなわち、トレイ５２は、未検査のＩＣデバイス１００を収容するためのトレイであり、トレイ５３は、検査済みのＩＣデバイス１００を収容するためのトレイである。

このような第２シャトル５は、ベース部材５１がＸ方向へ延びるレール５４に支持されており、例えばリニアモーターを駆動源とする図示しない駆動手段によって、レール５４に沿って±Ｘ方向に往復移動可能となっている。これにより、第２シャトル５が−Ｘ方向側に移動し、トレイ５２が供給トレイ２に対して＋Ｙ方向側に並ぶとともに、トレイ５３が検査用ソケット６に対して−Ｙ方向側に並んだ状態と、第２シャトル５が＋Ｘ方向側に移動し、トレイ５３が回収トレイ３に対して＋Ｙ方向側に並ぶとともに、トレイ５２が検査用ソケット６に対して−Ｙ方向側に並んだ状態とをとることができる。
なお、第２シャトル５は、前述した第１シャトル４に対して−Ｙ方向に離間して設けられており、第１シャトル４と第２シャトル５の間に、検査用ソケット６が配置されている。

５．検査用ソケット
検査用ソケット（検査部）６は、ＩＣデバイス１００の電気的特性を検査するためのソケットである。
このような検査用ソケット６は、ＩＣデバイス１００を配置するための８つの検査用個別ソケット６１を有しており、８つの検査用個別ソケット６１は、Ｘ方向に４つ、Ｙ方向に２つ並ぶように設けられている。また、８つの検査用個別ソケット６１の配列ピッチは、各トレイ４２、４３、５２、５３に形成された８つのポケットの配列ピッチとほぼ等しい。これにより、トレイ４２、４３、５２、５３と検査用個別ソケット６１との間のＩＣデバイス１００の搬送を円滑に行うことができる。

図示しないが、各検査用個別ソケット６１には、その底部から突出する複数のプローブピンが設けられている。これら複数のプローブピンは、それぞれ、スプリング等によって上方に付勢されている。複数のプローブピンは、検査用個別ソケット６１にＩＣデバイス１００が配置されると、そのＩＣデバイス１００が有する外部端子と接触する。これにより、プローブピンを介してＩＣデバイス１００と制御装置１０（後述する検査制御部１０１）とが電気的に接続された状態、すなわち、ＩＣデバイス１００の電気的特性の検査（試験）を行うことのできる状態となる。
このような検査用ソケット６は、台座１１に着脱自在に固定されている。そのため、簡単に、目的の検査（試験）に応じて検査用ソケット６を付け替えたり、ＩＣデバイス１００の大きさや形状によって、それに適した検査用ソケット６を付け替えたりすることができる。

６．第１カメラ
第１カメラ６００は、第１シャトル４と検査用ソケット６の間に設けられている。このような第１カメラ６００は、後述するように、未検査のＩＣデバイス１００を保持した第１ハンドユニット９２が上方を通過する際に、ＩＣデバイス１００および第１ハンドユニット９２が有するデバイスマーク９４１を撮像する。

７．第２カメラ
第２カメラ５００は、前述した第１カメラ６００と同様の機能を有する。このような第２カメラ５００は、第２シャトル５と検査用ソケット６の間に設けられている。第２カメラ５００は、後述するように、未検査のＩＣデバイス１００を保持した第２ハンドユニット９３が上方を通過する際に、ＩＣデバイス１００および第２ハンドユニット９３が有するデバイスマークを撮像する。

８．供給ロボット
供給ロボット７は、供給トレイ２に収容されたＩＣデバイス１００を、トレイ４２、５２に搬送するロボットである。
図１に示すように、供給ロボット７は、台座１１に支持された支持フレーム７ａと、支持フレーム７ａに支持され、支持フレーム７ａに対して±Ｙ方向に往復移動可能な移動フレーム７ｂと、移動フレーム７ｂに支持され、移動フレーム７ｂに対して±Ｘ軸方向に往復移動可能なハンドユニット７ｃとを有している。

支持フレーム７ａには、Ｙ方向に延在するレールが形成されており、このレールに沿って移動フレーム７ｂがＹ方向に往復移動する。また、移動フレーム７ｂには、Ｘ方向に延在するレールが形成されており、このレールに沿ってハンドユニット７ｃがＸ方向に往復移動する。なお、支持フレーム７ａに対する移動フレーム７ｂの移動、移動フレーム７ｂに対するハンドユニット７ｃの移動は、例えばリニアモーターを駆動源とする図示しない駆動手段によって行われる。

以下、ハンドユニット７ｃについて、図２〜図１０に基づいて詳細に説明する。なお、図２〜図１０の各図では、説明の便宜上、構成の一部の図示を省略している。
図２および図３に示すように、ハンドユニット７ｃは、基部７５を有しており、この基部７５が移動フレーム７ｂに対してＸ方向に移動可能に支持されている。なお、「基部」とは、他の部材（例えば、後述する第１〜第４支持部７１〜７４）を支持して一纏まりとする部位であり、ハンドユニット７ｃの基礎をなす部分である。

このような基部７５は、ＸＹ平面に広がりを有し、Ｚ方向に厚みを有する板状をなす第１ベース７５１と、第１ベース７５１の−Ｘ方向側の端部から下方（−Ｚ方向）に延出し、ＺＹ平面に広がりを有し、Ｘ方向に厚みを有する第２ベース７５２とを有している。すなわち、基部７５は、途中で屈曲するＬ字状の外形となっている。２つのベース７５１、７５２のうち、第１ベース７５１には、後述するＸ方向移動機構７６を構成する部品の少なくとも一部が固定されており、第２ベース７５２には、後述するＹ方向移動機構７７を構成する部品の少なくとも一部が固定されている。

また、ハンドユニット７ｃは、基部７５に支持された４つの支持部、具体的には、第１支持部７１、第２支持部７２、第３支持部７３および第４支持部７４を有している。これら４つの支持部は、−Ｘ方向側から＋Ｘ方向へ、第３支持部７３、第２支持部７２、第１支持部７１、第４支持部７４の順に並んで設けられている。なお、前記「支持」とは、基部７５からの落下が防止れた状態で連結していることを意味する。
また、４つの支持部７１〜７４のうちの第１支持部７１は、第１ベース７５１に固定されている。なお、前記「固定」とは、動作時において前記第１支持部７１の基部７５に対する相対位置が変わらないことを意味する。

他の第２、第３、第４支持部７２、７３、７４は、それぞれ、第１ベース７５１に対してＸ方向に移動可能となっている。本実施形態では、第１ベース７５１の下面にＸ方向に延在するレール７５３が形成されており、このレール７５３にはレール７５３上を移動可能な３つのガイド７５４、７５５、７５６が配置されている。そして、ガイド７５４に第２支持部７２が固定され、ガイド７５５に第３支持部７３が固定され、ガイド７５６に第４支持部７４が固定されている。このような構成によって、第２、第３、第４支持部７２、７３、７４が基部７５に対してＸ方向に移動可能となっている。

また、第１、第２、第３、第４支持部７１、７２、７３、７４は、それぞれ、ＹＺ平面に広がりを有し、Ｘ方向に厚みを有する板状をなしている。このように、各支持部７１〜７４をＹＺ平面に広がりを有する板状とすることにより、支持部７１〜７４をより狭いピッチでＸ方向に並設することができる。そのため、ハンドユニット７ｃの小型化を図ることができるとともに、後述する複数の吸着ノズルをＸ方向により狭ピッチに配置することができる。

以下、第１、第２、第３、第４支持部７１、７２、７３、７４について詳細に説明するが、各支持部７１〜７４は、互いに同様の構成をなしている。
８−１．第１支持部
図４に示すように、第１支持部７１には第１部品保持機構７１１が設けられている。第１部品保持機構７１１は、供給トレイ２からトレイ４２、５２へ運ぶＩＣ１００を保持する機能を有している。

このような第１部品保持機構７１１は、第１支持部７１に支持されているとともに第１支持部７１に対して±Ｚ方向に往復移動可能なシャフト７１２と、シャフト７１２の先端部（下端部）に設けられた吸着ノズル（第１部品保持部）７１３と、シャフト７１２を介して吸着ノズル７１３を第１支持部７１に対して±Ｚ方向に移動させる駆動機構７１４とを有している。このような構成の第１部品保持機構７１１は、駆動機構７１４によってシャフト７１２を介して吸着ノズル７１３を降下させ、吸着ノズル７１３によってＩＣデバイス１００を吸着することにより、ＩＣデバイス１００を保持する。このように、吸着によってＩＣデバイス１００を保持することにより、ＩＣデバイス１００にかかる応力が抑えられ、ＩＣデバイス１００の破損を防止することができる。また、簡単な構成でかつ確実にＩＣデバイス１００を保持することができる。なお、前記「保持」とは、ＩＣデバイス１００が落下しない程度に、ＩＣ１００を吸着し続けることを言う。

駆動機構７１４の構成としては、シャフト７１２を第１支持部７１に対してＺ方向に往復移動させることができれば、特に限定されないが、本実施形態では、一対のプーリー（案内輪）７１４ａ、７１４ｂと、一対のプーリー７１４ａ、７１４ｂの間に張架されたベルト（無端状駆動索）７１４ｃと、プーリー７１４ａを回転させるモーター（駆動源）７１４ｄとを有している。

プーリー７１４ａ、７１４ｂは、第１支持部７１の一方の主面に図示しない軸を介して回転可能に支持されている。また、プーリー７１４ａ、７１４ｂは、Ｚ方向に離間して設けられている。そのため、ベルト７１４ｃは、Ｚ軸方向に延在する領域を有し、この領域に固定部７１４ｅを介してシャフト７１２が固定されている。モーター７１４ｄによってプーリー７１４ａを回転させると、それに伴ってプーリー７１４ｂとベルト７１４ｃとが回転し、ベルト７１４ｃに固定されたシャフト７１２（吸着ノズル７１３）が第１支持部７１に対してＺ軸方向に移動する。モーター７１４ｄの回転方向を選択することにより、吸着ノズル７１３を第１支持部７１に対して上昇させたり、下降させたりすることができる。

なお、上述のような駆動を実現することができる限り、案内輪、無端状駆動索および駆動源の構成については特に限定されない。例えば、一対の案内輪としてプーリー７１４ａ、７１４ｂに換えてスプロケットを用い、無端状駆動索としてベルト７１４ｃに換えてチェーンを用いてもよい。また、駆動源としてモーター７１４ｄに換えて圧電アクチュエーターを用いてもよい。

また、第１支持部７１には、第１支持部７１に対してＹ方向に往復移動可能な第１移動部７１５が設けられている。第１支持部７１にはＹ方向に延在するレール（案内部）が設けられており、このレールに沿って第１移動部７１５が移動可能となっている。なお、第１移動部７１５をＹ方向に案内することができれば、前記レールに換えて、Ｙ方向に延在する溝や長穴としてもよい。
また、第１支持部７１には、第２部品保持機構７１６が設けられている。第２部品保持機構７１６は、第１部品保持機構７１１と同様に、供給トレイ２からトレイ４２、５２へ運ぶＩＣ１００を保持する機能を有している。

このような第２部品保持機構７１６は、第１移動部７１５に支持されているとともに第１移動部７１５に対してＺ方向に往復移動可能なシャフト７１７と、シャフト７１７の先端部に設けられた吸着ノズル（第２部品保持部）７１８と、シャフト７１７を介して吸着ノズル７１８を第１移動部７１５に対してＺ方向に移動させる駆動機構７１９とを有している。このような構成の第２部品保持機構７１６は、駆動機構７１９によってシャフト７１７を介して吸着ノズル７１８を降下させ、吸着ノズル７１８によってＩＣデバイス１００を吸着することにより、ＩＣデバイス１００を保持する。

駆動機構７１９の構成としては、シャフト７１７を±Ｚ方向に往復移動させることができれば、特に限定されないが、本実施形態では前述した駆動機構７１４と同様の構成となっている。すなわち、駆動機構７１９は、一対のプーリー７１９ａ、７１９ｂと、一対のプーリー７１９ａ、７１９ｂの間に張架されたベルト７１９ｃと、プーリー７１９ａを回転させるモーター７１９ｄとを有している。

プーリー７１９ａ、７１９ｂは、第１支持部７１の一方の主面に図示しない軸を介して回転可能に支持されている。また、プーリー７１９ａ、７１９ｂは、Ｚ方向に離間して設けられている。そのため、ベルト７１９ｃは、Ｚ軸方向に延在する領域を有し、この領域に固定部７１９ｅを介してシャフト７１７が固定されている。モーター７１９ｄによってプーリー７１９ａを回転させると、それに伴ってプーリー７１９ｂとベルト７１９ｃとが回転し、ベルト７１９ｃに固定されたシャフト７１７（吸着ノズル７１８）が第１支持部７１に対してＺ軸方向に移動する。モーター７１９ｄの回転方向を選択することによって、吸着ノズル７１８を第１支持部７１に対して上昇させたり、下降させたりすることができる。

なお、固定部７１９ｅは、Ｙ方向に伸縮自在となっていて、第１移動部７１５の第１支持部７１に対するＹ方向の移動とともに伸長または収縮する。そのため、第１移動部７１５の第１支持部７１に対するＹ方向の移動が阻害されない。また、駆動機構７１９を構成する各部（一対のプーリー７１９ａ、７１９ｂ、ベルト７１９ｃ、モーター７１９ｄ）は、第１移動部７１５に設けられていてもよい。このような構成とすれば、固定部７１９ｅを伸縮自在な構成とする必要がなくなる。

８−２．第２支持部
図５に示すように、第２支持部７２には第３部品保持機構７２１が設けられている。第３部品保持機構７２１は、前述した第１部品保持機構７１１と同様に、供給トレイ２からトレイ４２、５２へ運ぶＩＣ１００を保持する機能を有している。
このような第３部品保持機構７２１の構成は、前述した第１部品保持機構７１１と同様である。すなわち、第３部品保持機構７２１は、第２支持部７２に支持されているとともに第２支持部７２に対してＺ方向に往復移動可能なシャフト７２２と、シャフト７２２の先端部に設けられた吸着ノズル（第３部品保持部）７２３と、シャフト７２２を介して吸着ノズル７２３を第２支持部７２に対して±Ｚ方向に移動させる駆動機構７２４とを有している。このような構成の第３部品保持機構７２１は、駆動機構７２４によってシャフト７２２を介して吸着ノズル７２３を降下させ、吸着ノズル７２３によってＩＣデバイス１００を吸着することにより、ＩＣデバイス１００を保持する。

また、駆動機構７２４は、一対のプーリー７２４ａ、７２４ｂと、一対のプーリー７２４ａ、７２４ｂの間に張架されたベルト７２４ｃと、プーリー７２４ａを回転させるモーター７２４ｄとを有している。プーリー７２４ａ、７２４ｂは、第２支持部７２の一方の主面に図示しない軸を介して回転可能に支持されている。また、プーリー７２４ａ、７２４ｂは、Ｚ方向に離間して設けられている。そのため、ベルト７２４ｃは、Ｚ軸方向に延在する領域を有し、この領域に固定部７２４ｅを介してシャフト７２２が固定されている。モーター７２４ｄによってプーリー７２４ａを回転させると、ベルト７２４ｃに固定されたシャフト７２２（吸着ノズル７２３）が第２支持部７２に対してＺ軸方向に移動する。

また、第２支持部７２には、第２支持部７２に対してＹ方向に往復移動可能な第２移動部７２５が設けられている。第２支持部７２には、Ｙ方向に延在するレールが設けられており、第２移動部７２５は、このレールに沿って移動可能に設けられている。このような構成とすることにより、第２移動部７２５のＹ方向以外の移動を簡単かつ確実に規制することができる。
また、第２支持部７２には、第４部品保持機構７２６が設けられている。第４部品保持機構７２６は、前述した第２部品保持機構７１６と同様に、供給トレイ２からトレイ４２、５２へ運ぶＩＣ１００を保持する機能を有している。

このような第４部品保持機構７２６の構成は、前述した第２部品保持機構７１６と同様である。すなわち、第４部品保持機構７２６は、第２移動部７２５に支持されているとともに第２移動部７２５に対して±Ｚ方向に往復移動可能なシャフト７２７と、シャフト７２７の先端部に設けられた吸着ノズル（第４部品保持部）７２８と、シャフト７２７を介して吸着ノズル７２８を第２移動部７２５に対してＺ方向に移動させる駆動機構７２９とを有している。このような構成の第４部品保持機構７２６は、駆動機構７２９によってシャフト７２７を介して吸着ノズル７２８を降下させ、吸着ノズル７２８によってＩＣデバイス１００を吸着することにより、ＩＣデバイス１００を保持する。

また、駆動機構７２９は、一対のプーリー７２９ａ、７２９ｂと、一対のプーリー７２９ａ、７２９ｂの間に張架されたベルト７２９ｃと、プーリー７２９ａを回転させるモーター７２９ｄとを有している。プーリー７２９ａ、７２９ｂは、第２支持部７２の一方の主面に図示しない軸を介して回転可能に支持されている。また、プーリー７２９ａ、７２９ｂは、Ｚ方向に離間して設けられている。そのため、ベルト７２９ｃは、Ｚ軸方向に延在する領域を有し、この領域に固定部７２９ｅを介してシャフト７２７が固定されている。モーター７２９ｄによってプーリー７２９ａを回転させると、ベルト７２９ｃに固定されたシャフト７２７（吸着ノズル７２８）が第２支持部７２に対してＺ軸方向に移動する。
なお、固定部７２９ｅは、Ｙ方向に伸縮自在となっていて、第２移動部７２５の第２支持部７２に対するＹ方向の移動とともに伸長または収縮する。そのため、第２移動部７２５の第２支持部７２に対するＹ方向の移動が阻害されない。

８−３．第３支持部
図６に示すように、第３支持部７３には第５部品保持機構７３１が設けられている。第５部品保持機構７３１は、前述した第１部品保持機構７１１と同様に、供給トレイ２からトレイ４２、５２へ運ぶＩＣ１００を保持する機能を有している。
このような第５部品保持機構７３１の構成は、前述した第１部品保持機構７１１と同様である。すなわち、第５部品保持機構７３１は、第３支持部７３に支持されているとともに第３支持部７３に対してＺ方向に往復移動可能なシャフト７３２と、シャフト７３２の先端部に設けられた吸着ノズル（第５部品保持部）７３３と、シャフト７３２を介して吸着ノズル７３３を第３支持部７３に対してＺ方向に移動させる駆動機構７３４とを有している。このような構成の第５部品保持機構７３１は、駆動機構７３４によってシャフト７３２を介して吸着ノズル７３３を降下させ、吸着ノズル７３３によってＩＣデバイス１００を吸着することにより、ＩＣデバイス１００を保持する。

また、駆動機構７３４は、一対のプーリー７３４ａ、７３４ｂと、一対のプーリー７３４ａ、７３４ｂの間に張架されたベルト７３４ｃと、プーリー７３４ａを回転させるモーター７３４ｄとを有している。プーリー７３４ａ、７３４ｂは、第３支持部７３の一方の主面に図示しない軸を介して回転可能に支持されている。また、プーリー７３４ａ、７３４ｂは、Ｚ方向に離間して設けられている。そのため、ベルト７３４ｃは、Ｚ軸方向に延在する領域を有し、この領域に固定部７３４ｅを介してシャフト７３２が固定されている。モーター７３４ｄによってプーリー７３４ａを回転させると、ベルト７３４ｃに固定されたシャフト７３２（吸着ノズル７３３）が第３支持部７３に対してＺ軸方向に移動する。

また、第３支持部７３には、第３支持部７３に対してＹ方向に往復移動可能な第３移動部７３５が設けられている。第３支持部７３には、Ｙ方向に延在するレールが設けられており、第３移動部７３５は、このレールに沿って移動可能に設けられている。このような構成とすることにより、第３移動部７３５のＹ方向以外の移動を簡単かつ確実に規制することができる。
また、第３支持部７３には、第６部品保持機構７３６が設けられている。第６部品保持機構７３６は、前述した第２部品保持機構７１６と同様に、供給トレイ２からトレイ４２、５２へ運ぶＩＣ１００を保持する機能を有している。

このような第６部品保持機構７３６の構成は、前述した第２部品保持機構７１６と同様である。すなわち、第６部品保持機構７３６は、第３移動部７３５に支持されているとともに第３移動部７３５に対してＺ方向に往復移動可能なシャフト７３７と、シャフト７３７の先端部に設けられた吸着ノズル（第６部品保持部）７３８と、シャフト７３７を介して吸着ノズル７３８を第３移動部７３５に対してＺ方向に移動させる駆動機構７３９とを有している。このような構成の第６部品保持機構７３６は、駆動機構７３９によってシャフト７３７を介して吸着ノズル７３８を降下させ、吸着ノズル７３８によってＩＣデバイス１００を吸着することにより、ＩＣデバイス１００を保持する。

また、駆動機構７３９は、一対のプーリー７３９ａ、７３９ｂと、一対のプーリー７３９ａ、７３９ｂの間に張架されたベルト７３９ｃと、プーリー７３９ａを回転させるモーター７３９ｄとを有している。プーリー７３９ａ、７３９ｂは、第３支持部７３の一方の主面に図示しない軸を介して回転可能に支持されている。また、プーリー７３９ａ、７３９ｂは、Ｚ方向に離間して設けられている。そのため、ベルト７３９ｃは、Ｚ軸方向に延在する領域を有し、この領域に固定部７３９ｅを介してシャフト７３７が固定されている。モーター７３９ｄによってプーリー７３９ａを回転させると、ベルト７３９ｃに固定されたシャフト７３７（吸着ノズル７３８）が第３支持部７３に対してＺ軸方向に移動する。
なお、固定部７３９ｅは、Ｙ方向に伸縮自在となっていて、第３移動部７３５の第３支持部７３に対するＹ方向の移動とともに伸長または収縮する。そのため、第３移動部７３５の第３支持部７３に対するＹ方向の移動が阻害されない。

８−４．第４支持部
図７に示すように、第４支持部７４には第７部品保持機構７４１が設けられている。第７部品保持機構７４１は、前述した第１部品保持機構７１１と同様に、供給トレイ２からトレイ４２、５２へ運ぶＩＣ１００を保持する機能を有している。
このような第７部品保持機構７４１の構成は、前述した第１部品保持機構７１１と同様である。すなわち、第７部品保持機構７４１は、第４支持部７４に支持されているとともに第４支持部７４に対してＺ方向に往復移動可能なシャフト７４２と、シャフト７４２の先端部に設けられた吸着ノズル（第７部品保持部）７４３と、シャフト７４２を介して吸着ノズル７４３を第４支持部７４に対してＺ方向に移動させる駆動機構７４４とを有している。このような構成の第７部品保持機構７４１は、駆動機構７４４によってシャフト７４２を介して吸着ノズル７４３を降下させ、吸着ノズル７４３によってＩＣデバイス１００を吸着することにより、ＩＣデバイス１００を保持する。

また、駆動機構７４４は、一対のプーリー７４４ａ、７４４ｂと、一対のプーリー７４４ａ、７４４ｂの間に張架されたベルト７４４ｃと、プーリー７４４ａを回転させるモーター７４４ｄとを有している。プーリー７４４ａ、７４４ｂは、第４支持部７４の一方の主面に図示しない軸を介して回転可能に支持されている。また、プーリー７４４ａ、７４４ｂは、Ｚ方向に離間して設けられている。そのため、ベルト７４４ｃは、Ｚ軸方向に延在する領域を有し、この領域に固定部７４４ｅを介してシャフト７４２が固定されている。モーター７４４ｄによってプーリー７４４ａを回転させると、ベルト７４４ｃに固定されたシャフト７４２（吸着ノズル７４３）が第３支持部７３に対してＺ軸方向に移動する。

また、第４支持部７４には、第４支持部７４に対してＹ方向に往復移動可能な第４移動部７４５が設けられている。第４支持部７４には、Ｙ方向に延在するレールが設けられており、第４移動部７４５は、このレールに沿って移動可能に設けられている。このような構成とすることにより、第４移動部７４５のＹ方向以外の移動を簡単かつ確実に規制することができる。
また、第４支持部７４には、第８部品保持機構７４６が設けられている。第８部品保持機構７４６は、前述した第２部品保持機構７１６と同様に、供給トレイ２からトレイ４２、５２へ運ぶＩＣ１００を保持する機能を有している。

このような第８部品保持機構７４６の構成は、前述した第２部品保持機構７１６と同様である。すなわち、第８部品保持機構７４６は、第４移動部７４５に支持されているとともに第４移動部７４５に対してＺ方向に往復移動可能なシャフト７４７と、シャフト７４７の先端部に設けられた吸着ノズル（第８部品保持部）７４８と、シャフト７４７を介して吸着ノズル７４８を第４移動部７４５に対してＺ方向に移動させる駆動機構７４９とを有している。このような構成の第８部品保持機構７４６は、駆動機構７４９によってシャフト７４７を介して吸着ノズル７４８を降下させ、吸着ノズル７４８によってＩＣデバイス１００を吸着することにより、ＩＣデバイス１００を保持する。

また、駆動機構７３９は、一対のプーリー７４９ａ、７４９ｂと、一対のプーリー７４９ａ、７４９ｂの間に張架されたベルト７４９ｃと、プーリー７４９ａを回転させるモーター７４９ｄとを有している。プーリー７４９ａ、７４９ｂは、第４支持部７４の一方の主面に図示しない軸を介して回転可能に支持されている。また、プーリー７４９ａ、７４９ｂは、Ｚ方向に離間して設けられている。そのため、ベルト７４９ｃは、Ｚ軸方向に延在する領域を有し、この領域に固定部７４９ｅを介してシャフト７４７が固定されている。モーター７４９ｄによってプーリー７４９ａを回転させると、ベルト７４９ｃに固定されたシャフト７４７（吸着ノズル７４８）が第４支持部７４に対してＺ軸方向に移動する。
なお、固定部７４９ｅは、Ｙ方向に伸縮自在となっていて、第４移動部７４５の第４支持部７４に対するＹ方向の移動とともに伸長または収縮する。そのため、第４移動部７４５の第４支持部７４に対するＹ方向の移動が阻害されない。
以上、各支持部７１、７２、７３、７４の構成について詳細に説明した。

ここで、吸着ノズル７３３、７２３、７１３、７４３は、この順でＸ方向に沿って並んで設けられており、かつ、等しいピッチにて配置されている。すなわち、吸着ノズル７３３と吸着ノズル７２３の離間距離、吸着ノズル７２３と吸着ノズル７１３の離間距離、吸着ノズル７１３と吸着ノズル７４３の離間距離は、互いにほぼ等しい。
また、吸着ノズル７１８は、吸着ノズル７１３に対してＹ方向に沿って並んで設けられており、同様に、吸着ノズル７２８は、吸着ノズル７２３に対してＹ方向に沿って並んで設けられており、吸着ノズル７３８は、吸着ノズル７３３に対してＹ方向に沿って並んで設けられており、吸着ノズル７４８は、吸着ノズル７４３に対してＹ方向に沿って並んで設けられている。また、吸着ノズル７１８、７１３の離間距離、吸着ノズル７２８、７２３の離間距離、吸着ノズル７３８、７３３の離間距離、吸着ノズル７４８、７４３の離間距離は、互いにほぼ等しい。すなわち、吸着ノズル７３８、７２８、７１８、７４８も、この順でＸ方向に沿って並んで設けられており、かつ、等しいピッチにて配置されている。
ハンドユニット７ｃは、さらに、第２、第３、第４支持部７２、７３、７４を基部７５（第１支持部７１）に対してＸ方向に移動させるＸ方向移動機構（第２移動機構）７６と、各移動部７１５、７２５、７３５、７４５を基部７５に対してＹ方向へ移動させるＹ方向移動機構（第１移動機構）７７とを有している。

８−５．Ｘ方向移動機構
Ｘ方向移動機構７６は、第２、第３、第４支持部７２、７３、７４を第１支持部７１に対してＸ方向に移動させることにより、吸着ノズル７３３（７３８）と吸着ノズル７２３（７２８）の離間距離、吸着ノズル７２３（７２８）と吸着ノズル７１３（７１８）の離間距離、および、吸着ノズル７１３（７１８）と吸着ノズル７４３（７４８）の離間距離を互いに等しく保ちつつ、これらの離間距離を変更することができるように構成されている。

図８に示すように、Ｘ方向移動機構７６は、一対の二段プーリー（第２移動機構用第１案内輪、第２移動機構用第２案内輪）７６１、７６２と、一対の二段プーリー７６１、７６２の間に張架された２本のベルト（第２移動機構用第１無端状駆動索、第２移動機構用第２無端状駆動索）７６３、７６４と、二段プーリー７６１を回転させるモーター（第２移動機構用駆動源）７６５とを有している。これらのうち、二段プーリー７６１、７６２およびモーター７６５は、それぞれ、第１ベース７５１に支持されている。

二段プーリー７６１、７６２は、第１ベース７５１の上面にＹ方向に延在する軸まわりに回転可能となっている。また、二段プーリー７６１、７６２は、Ｘ方向に離間して設けられている。
二段プーリー７６１は、外径が小さい小径プーリー７６１ａと、小径プーリー７６１ａのほぼ２倍の外径を有する大径プーリー７６１ｂとを有しており、これらがＹ方向に並んで同心的に形成されている。同様に、二段プーリー７６２は、外径が小さい小径プーリー７６２ａと、小径プーリー７６２ａのほぼ２倍の外径を有する大径プーリー７６２ｂとを有しており、これらがＹ方向に並んで同心的に形成されている。なお、小径プーリー７６１ａ、７６２ａの外径は互いに等しく、大径プーリー７６１ｂ、７６２ｂの外形も互いに等しい。

小径プーリー７６１ａ、７６２ａの間には、ベルト７６３が張架されている。ベルト７６３は、小径プーリー７６１ａ、７６２ａの間に、Ｘ方向に延在する２つの領域７６３ａ、７６３ｂを有している。そして、一方の領域７６３ａには、第２支持部７２が固定され、他方の領域７６３ｂには、第４支持部７４が固定されている。二段プーリー７６１が回転すると、領域７６３ａではＸ方向一方側へ向けてベルト７６３が進み、領域７６３ｂではＸ方向他方側へ向けてベルト７６３が進むため、第２、第４支持部７２、７４が互いにＸ方向反対側へ、かつ、ほぼ等しい距離移動する。

一方、大径プーリー７６１ｂ、７６２ｂの間には、ベルト７６４が張架されている。ベルト７６４は、大径プーリー７６１ｂ、７６２ｂの間に、Ｘ方向に延在する２つの領域７６４ａ、７６４ｂを有している。これら２つの領域７６４ａ、７６４ｂのうち、二段プーリー７６１が回転した際に、ベルト７６３の領域７６３ａと同じ方向へ進む領域７６４ａには、第３支持部７３が固定されている。ベルト７６３が回転すると、領域７６３ａ、７６４ａでは、Ｘ方向同じ側へ向けてベルト７６３が進むため、第２、第３支持部７２、７３が互いにＸ方向同じ側へ移動する。なお、前述したように、大径プーリー７６１ｂ、７６２ｂは、小径プーリー７６１ａ、７６２ａの２倍の外径を有しているため、第３支持部７３の移動距離は、第２支持部７２の移動距離のほぼ２倍となる。

このような構成によれば、モーター７６５によって二段プーリー７６１を回転させると、第２、第４支持部７２、７４が互いにＸ方向反対側へほぼ等しい距離移動するとともに、第３支持部７３が第２支持部７２と同じ方向へかつ第２支持部７２の２倍移動する。したがって、Ｘ方向移動機構７６によれば、前述したように、吸着ノズル７３３（７３８）と吸着ノズル７２３（７２８）の離間距離、吸着ノズル７２３（７２８）と吸着ノズル７１３（７１８）の離間距離、および、吸着ノズル７１３（７１８）と吸着ノズル７４３（７４８）の離間距離を互いに等しく保ちつつ、これら離間距離を変化させることができる。

上述のような構成とすることにより、Ｘ方向移動機構７６の構成を簡略化でき、それに伴う小型化、軽量化を図ることもできる。そのため、ハンドユニット７ｃの小型化、軽量化に寄与し、ハンドユニット７ｃの操作性が向上する。また、二段プーリー７６１の回転によって、第２、第３、第４支持部７２、７３、７４の全ての移動を一括して制御できるため、より確実に上述の機能を発揮することができる。

なお、上述のような駆動を実現することができる限り、案内輪、無端状駆動索および駆動源の構成については特に限定されない。例えば、一対の案内輪としてプーリーに換えてスプロケットを用い、無端状駆動索としてベルトに換えてチェーン（金属チェーン、ゴムチェーン等）を用いてもよい。また、駆動源としてモーターに換えて圧電アクチュエーターを用いてもよい。また、小径プーリー７６１ａ（７６２ａ）と大径プーリー７６１ｂ（７６２ｂ）とが別体で形成されていてもよく、この場合には、小径プーリー７６１ａを回転させるためのモーターと、大径プーリー７６１ｂを回転させるためのモーターとを別々に設けてもよい。

８−６．Ｙ方向移動機構
Ｙ方向移動機構７７は、第１、第２、第３、第４移動部７１５、７２５、７３５、７４５を第１、第２、第３、第４支持部７１、７２、７３、７４に対して一体的（具体的には、同時にかつ等距離）Ｙ方向に移動させることにより、吸着ノズル７１３、７１８の離間距離、吸着ノズル７２３、７２８の離間距離、吸着ノズル７３３、７３８の離間距離、および、吸着ノズル７４３、７４８の離間距離を互いに等しく保ちつつ、これらの離間距離を変更することができるように構成されている。

図９および図１０に示すように、Ｙ方向移動機構７７は、基部７５に設けられた第１ユニット７７ａおよびモーター（第１移動機構用駆動源）７７７と、第１支持部７１に設けられた第２ユニット７７ｂと、第１、第２ユニット７７ａ、７７ｂを連結するように設けられた伝達シャフト（伝達部）７７８および連結シャフト（連結部）７７９とを有している。

第１ユニット７７ａは、一対のプーリー（第１移動機構用第１案内輪、第１移動機構用第２案内輪）７７１、７７２と、一対のプーリー７７１、７７２の間に張架されたベルト（第１移動機構用第１無端状駆動索）７７３とを有している。プーリー７７１、７７２は、第２ベース７５２の一方（図中右側）の主面にＸ方向に延在する軸まわりに回転自在に支持されている。また、プーリー７７１、７７２は、Ｙ方向に離間して設けられている。そして、これらプーリー７７１、７７２の間にベルト７７３が張架されている。ベルト７７３は、プーリー７７１、７７２の間にＹ方向に延在する２つの領域７７３ａ、７７３ｂを有している。
モーター７７７は、プーリー７７１を回転させるための駆動源であり、第２ベース７５２の他方（図中左側）の主面に設けられている。

第２ユニット７７ｂは、一対のプーリー（第１移動機構用第３案内輪、第１移動機構用第４案内輪）７７４、７７５と、一対のプーリー７７４、７７５の間に張架されたベルト（第１移動機構用第２無端状駆動索）７７６とを有している。プーリー７７４、７７５は、第１支持部７１の一方（図中右側）の主面にＸ方向に延在する軸まわりに回転自在に支持されている。また、プーリー７７４、７７５は、Ｙ方向に離間して設けられている。そして、これらプーリー７７４、７７５の間にベルト７７６が張架されている。ベルト７７６は、プーリー７７４、７７５の間にＹ方向に延在する２つの領域７７６ａ、７７６ｂを有している。
このように、第２ユニット７７ｂを第２ベース７５２に対する位置が変化しない第１支持部７１に設けることにより、Ｙ方向移動機構７７をより安定して駆動させることができる。

伝達シャフト７７８は、モーター７７７の駆動力を第２ユニット７７ｂに伝達するためのシャフトである。このような伝達シャフト７７８は、Ｘ方向に延在して設けられており、プーリー７７１、７７４の軸同士を連結している。そのため、モーター７７７の駆動力は、伝達シャフト７７８を介して第２ユニット７７ｂに伝達され、プーリー７７１、７７４が一体的に回転する。

また、伝達シャフト７７８は、第２ベース７５２と第１支持部７１の間にある第２、第３支持部７２、７３を貫通して設けられている（図５および図６参照）。具体的には、伝達シャフト７７８は、第２、第３支持部７２、７３に形成された貫通孔内を通過してプーリー７７１、７７４を連結している。伝達シャフト７７８をこのような配置とすることにより、伝達シャフト７７８の支持部７１〜７４からのはみ出しが抑制され、ハンドユニット７ｃの小型化を図ることができる。また、伝達シャフト７７８が第２、第３支持部７２、７３のＸ方向への移動の際のガイドとしても機能するため、第２、第３支持部７２、７３の移動をより確実かつ円滑に行うことができる。

連結シャフト７７９は、直線状なしており、Ｘ方向に延在している。また、連結シャフト７７９は、その途中の２箇所にて、ベルト７７６の領域７７６ａと、ベルト７７６の領域７７６ａとに固定具を介して固定されている。ベルト７７３、７７６が回転すると、領域７７３ａ、７７６ａでは、Ｙ方向同じ側へ向けてベルト７７３、７７６が進むため、それに伴って、連結シャフト７７９が姿勢を維持したままＹ方向へ移動する。

このような連結シャフト７７９の外周には、その軸方向に沿って３つのリニアブッシュ７７９ｂ、７７９ｃ、７７９ｄが設けられている。これら各リニアブッシュ７７９ｂ、７７９ｃ、７７９ｄは、単独（他の部材によって動きを規制されていない状態）では、連結シャフト７７９に対して軸方向に移動自在であり、かつ、周方向に回転自在となっている。

これらリニアブッシュ７７９ｂ〜７７９ｄのうち、リニアブッシュ７７９ｂは、第２移動部７２５に固定されており、リニアブッシュ７７９ｃは、第３移動部７３５に固定されており、リニアブッシュ７７９ｄは、第４移動部７４５に固定されている。なお、第１移動部７１５は、第１ベース７５１に固定された第１支持部７１に支持されているため、連結シャフト７７９に対してＹ軸方向に移動することがない。そのため、第１移動部７１５には、他の移動部７２５〜７４５とは異なりリニアブッシュを介さずに連結シャフト７７９が直接固定されている。このように、第１移動部７１５に連結シャフト７７９を固定することにより、連結シャフト７７９の軸方向（Ｙ方向）の不本意な変位を防止することができる。

このような構成とすることにより、ベルト７７３、７７６の回転によって、連結シャフト７７９がＹ方向に移動すると、各移動部７１５、７２５、７３５、７４５が各支持部７１、７２、７３、７４に対してＹ方向に一体的にかつ等しい距離移動する。したがって、このような構成のＹ方向移動機構７７によれば、確実に、吸着ノズル７１３、７１８の離間距離、吸着ノズル７２３、７２８の離間距離、吸着ノズル７３３、７３８の離間距離、および、吸着ノズル７４３、７４８の離間距離を互いに等しく保ちつつ、これらの離間距離を変更することができる。
なお、前述したように、リニアブッシュ７７９ｂ〜７７９ｄは、連結シャフト７７９に対してその軸方向（Ｘ方向）に移動自在であるため、Ｙ方向移動機構７７は、Ｘ方向移動機構７６による第２、第３、第４支持部７２、７３、７４のＸ方向への移動を阻害することがない。

また、Ｙ方向移動機構７７では、第２ベース７５２に第１ユニット７７ａを設けるとともに、第１支持部７１に第２ユニット７７ｂを設け、連結シャフト７７９を軸方向に離間した２箇所で支持しているため、連結シャフト７７９をより円滑かつ確実にＹ方向へ所定距離移動させることができる。特に、第２ベース７５２と第１支持部７１との間に、第２、第３支持部７２、７３を位置させることにより、第２ベース７５２と第１支持部７１との離間距離を十分に確保することができ、連結シャフト７７９をより安定して支持することができる。

なお、本実施形態のＹ方向移動機構７７では、第１、第２、第３、第４の移動部７１５、７２５、７３５、７４５が連結シャフト７７９を介して（すなわち間接的に）ベルト７７３、７７６に連結しているが、これに限定されず、例えば、連結シャフト７７９を省略し、第１、第２、第３、第４の移動部７１５、７２５、７３５、７４５がそれぞれベルト７７３、７７６に直接連結していてもよい。

以上、ハンドユニット７ｃの構成について具体的に説明した。このようなハンドユニット７ｃによれば、各モーター７６５、７７７の駆動（ＯＮ／ＯＦＦおよび回転方向）を独立して制御することにより、吸着ノズル７１３、７１８、７２３、７２８、７３３、７３８、７４３、７４８の配設ピッチを自由に変更することができる。そのため、例えば、供給トレイ２に形成された複数のポケット２１の配設ピッチと、トレイ４２（５２）に形成された複数のポケット４２１（５２１）の配設ピッチとが異なる場合であっても、後述するようにして、供給トレイ２からトレイ４２（５２）へ円滑にＩＣデバイス１００を運ぶことができる。

なお、本実施形態のハンドユニット７ｃは、８つの吸着ノズルを有しているが、吸着ノズルの数は、４つ以上であれば特に限定されない。例えば、吸着ノズルが４つの場合には、吸着ノズル７３３、７３８、７４３、７４８を第３、第４支持部７３、７４ごと省略すればよい。また、例えば、吸着ノズルが１０つの場合には、例えば、第４支持部７４の＋Ｘ方向側に、第４支持部７４と同様の構成であって２つの吸着ノズルを有する第５支持部を設け、さらに、第５支持部をベルト７６４の領域７６４ｂに固定すればよい。このように、ハンドユニット７ｃによれば、吸着ノズルの数の変更（さらには、追加、削除）を簡単に行うことができる。ハンドユニット８ｃについても同様である。

次に、供給ロボット７の駆動について説明する。
まず、ハンドユニット７ｃが供給トレイ２上に位置するように、支持フレーム７ａに対して移動フレーム７ｂをＹ方向に移動させるとともに、移動フレーム７ｂに対して基部７５をＸ方向に移動させる。次に、Ｘ方向移動機構７６およびＹ方向移動機構７７を各々必要に応じて駆動させ、吸着ノズル７１３、７１８、７２３、７２８、７３３、７３８、７４３、７４８の配設ピッチをポケット２１の配設ピッチと一致させる。なお、Ｘ方向移動機構７６およびＹ方向移動機構７７の駆動は、ハンドユニット７ｃが移動している最中に行ってもよい。

次に、各吸着ノズル７１３、７１８、７２３、７２８、７３３、７３８、７４３、７４８を下降させて、各吸着ノズル７１３、７１８、７２３、７２８、７３３、７３８、７４３、７４８によってＩＣデバイス１００を保持する。その後、吸着ノズル７１３、７１８、７２３、７２８、７３３、７３８、７４３、７４８を上昇させて、８つのＩＣデバイス１００をポケット２１から取り出す。

次に、ハンドユニット７ｃがトレイ４２上に位置するように、支持フレーム７ａに対して移動フレーム７ｂをＹ方向に移動させるとともに、移動フレーム７ｂに対して基部７５をＸ方向に移動させる。供給トレイ２のポケット２１の配設ピッチと、トレイ４２のポケット４２１の配設ピッチがＸ方向およびＹ方向の両方向にて異なっているため、次に、Ｘ方向移動機構７６およびＹ方向移動機構７７をそれぞれ駆動させ、吸着ノズル７１３、７１８、７２３、７２８、７３３、７３８、７４３、７４８の配設ピッチをポケット４２１の配設ピッチと一致させる。なお、Ｘ方向移動機構７６およびＹ方向移動機構７７の駆動は、ハンドユニット７ｃが移動している最中に行ってもよい。

次に、各吸着ノズル７１３、７１８、７２３、７２８、７３３、７３８、７４３、７４８を下降させて、各吸着ノズル７１３、７１８、７２３、７２８、７３３、７３８、７４３、７４８に保持されたＩＣデバイス１００をポケット４２１に載置する。そして、ＩＣデバイス１００の吸着状態を解除した後、吸着ノズル７１３、７１８、７２３、７２８、７３３、７３８、７４３、７４８を上昇させて、各ＩＣデバイス１００をポケット４２１に残す。

なお、前述した形態では、供給トレイ２のポケット２１の配設ピッチと、トレイ４２のポケット４２１の配設ピッチがＸ方向およびＹ方向の両方向にて異なっているが、これに限定されず、Ｘ方向での配設ピッチのみが異なっていてもよい。この場合には、一旦、Ｙ方向移動機構７７によって、吸着ノズル７１３、７１８、７２３、７２８、７３３、７３８、７４３、７４８のＹ方向の配設ピッチを調整し、その後は、Ｘ方向移動機構７６のみを駆動して、吸着ノズル７１３、７１８、７２３、７２８、７３３、７３８、７４３、７４８のＸ方向の配設ピッチを変化させればよい。

反対に、Ｙ方向での配設ピッチのみが異なっていてもよい。この場合には、一旦、Ｘ方向移動機構７６によって、吸着ノズル７１３、７１８、７２３、７２８、７３３、７３８、７４３、７４８のＸ方向の配設ピッチを調整し、その後は、Ｙ方向移動機構７７のみを駆動して、吸着ノズル７１３、７１８、７２３、７２８、７３３、７３８、７４３、７４８のＹ方向の配設ピッチを変化させればよい。

また、配設ピッチがＸ方向およびＹ方向の両方向にて等しくてもよい。この場合には、一旦、Ｙ方向移動機構７７によって、吸着ノズル７１３、７１８、７２３、７２８、７３３、７３８、７４３、７４８のＹ方向の配設ピッチを調整し、Ｘ方向移動機構７６によって、吸着ノズル７１３、７１８、７２３、７２８、７３３、７３８、７４３、７４８のＸ方向の配設ピッチを調整した後は、これらの配設ピッチを変更することなく、上述したＩＣデバイス１００の搬送を行えばよい。
供給トレイ２からトレイ５２へのＩＣデバイス１００の搬送も同様である。

（検査用ロボット）
検査用ロボット９は、トレイ４２、５２に収容されたＩＣデバイス１００を検査用ソケット６へ搬送するとともに、検査用ソケット６に配置され、電気的特性の検査を終えたＩＣデバイス１００をトレイ４３、５３へ搬送するロボットである。
また、検査用ロボット９は、トレイ４２、５２から検査用ソケット６へＩＣデバイス１００を搬送する際に、検査用ソケット６（検査用個別ソケット６１）に対するＩＣデバイス１００の位置決めを行うことができ、さらには、ＩＣデバイス１００を検査用ソケット６に配置し、電気的特性の検査を行う際、ＩＣデバイス１００をプローブピンに押し付け、ＩＣデバイス１００に所定の検査圧を印加することができる。

図１に示すように、検査用ロボット９は、台座１１に対して固定的に設けられた第１フレーム９１１と、第１フレーム９１１に支持され、第１フレーム９１１に対してＹ方向へ往復移動可能な第２フレーム９１２と、第２フレーム９１２に支持され、第２フレーム９１２に対してＺ方向に昇降可能な第１ハンドユニット支持部９１３および第２ハンドユニット支持部９１４と、第１ハンドユニット支持部９１３に支持された８つの第１ハンドユニット９２と、第２ハンドユニット支持部９１４に支持された８つの第２ハンドユニット９３とを有している。

第１、第２ハンドユニット支持部９１３、９１４は、ともに第２フレーム９１２に支持されているため、Ｘ方向およびＹ方向については一体的に移動するが、Ｚ方向にはそれぞれ独立して移動することができる。第１フレーム９１１に対する第２フレーム９１２の移動、第２フレーム９１２に対する各ハンドユニット支持部９１３、９１４の移動は、例えばリニアモーターを駆動源とする図示しない駆動手段によって行われる。

８つの第１ハンドユニット９２は、第１ハンドユニット支持部９１３の下側に、Ｘ方向に４つ、Ｙ方向に２つ並ぶように行列状に配置されている。また、８つの第１ハンドユニット９２の配設ピッチは、トレイ４２、４３に形成された８つのポケット４２１、４３１および検査用ソケット６に設けられた８つの検査用個別ソケット６１の配設ピッチとほぼ等しい。そのため、トレイ４２、４３と検査用ソケット６との間でのＩＣデバイス１００の搬送をより円滑に行うことができる。

同様に、８つの第２ハンドユニット９３は、第２シャトル５の各トレイ５２、５３と検査用ソケット６との間でＩＣデバイス１００を搬送する装置である。また、未検査のＩＣデバイス１００をトレイ５２から検査用ソケット６に搬送する際に、検査用ソケット６に対するＩＣデバイス１００の位置決めを行う装置でもある。
８つの第２ハンドユニット９３は、第２ハンドユニット支持部９１４の下側に、Ｘ方向に４つ、Ｙ方向に２つ並ぶように行列状に配置されている。また、８つの第２ハンドユニット９３の配置ピッチは、前述した８つの第１ハンドユニット９２と同様に、トレイ４２、４３に形成された８つのポケット４２１、４３１および検査用ソケット６に設けられた８つの検査用個別ソケット６１の配設ピッチとほぼ等しい。そのため、トレイ５２、５３と検査用ソケット６との間でのＩＣデバイス１００の搬送をより円滑に行うことができる。

以下、８つの第１ハンドユニット９２および８つの第２ハンドユニット９３の構成について説明するが、各ハンドユニット９２、９３は、互いに同様の構成であるため、以下では、１つの第１ハンドユニット９２について代表して説明し、その他の第１ハンドユニット９２および第２ハンドユニット９３については、その説明を省略する。
図１１に示すように、第１ハンドユニット９２は、第１ハンドユニット支持部９１３に支持・固定された支持部９４と、支持部９４に支持され、支持部９４に対して±Ｘ方向に往復移動可能な第１移動部９５と、第１移動部９５に支持され、第１移動部９５に対して±Ｙ方向に往復移動可能な第２移動部９６と、第２移動部９６に支持され、第２移動部９６に対してＺ軸まわりに回転可能な回転部９７と、回転部９７に支持された保持部９８とを有している。支持部９４には、保持したＩＣデバイス１００の検査用個別ソケット６１に対する位置決めを行うためのデバイスマーク９４１が設けられている。また、保持部９８は、例えば、吸着ノズルで構成されており、ＩＣデバイス１００を吸着することにより保持することができるようになっている。

また、第１ハンドユニット９２は、支持部９４に対して第１移動部９５を±Ｘ方向に往復移動させる図示しない第１駆動手段と、第１移動部９５に対して第２移動部９６を±Ｙ方向に往復移動させる図示しない第２駆動手段と、第２移動部９６に対して回転部９７をＺ軸まわりに回転させる第３駆動機構とを有している。これら第１、第２、第３駆動機構は、例えば、リニアモーターを駆動源とし、その他必要に応じて、モーターの回転運動を直動運動に変換させるためのラックギア、ピニオンギア等の構成を付加した構成とすることができる。

このような第１ハンドユニット９２は、次のようにして、保持したＩＣデバイス１００の位置決め（ビジュアルアライメント）を行う。トレイ４２に収容された未検査のＩＣデバイス１００を保持部９８にて保持し、トレイ４２の直上から検査用ソケット６の直上まで第１ハンドユニット９２が移動する途中、第１ハンドユニット９２は、第１カメラ６００の直上を通過する。第１カメラ６００は、第１ハンドユニット９２がその直上を通過する際に、第１ハンドユニット９２に保持されたＩＣデバイス１００およびデバイスマーク９４１を捉える様に撮像する。得られた画像データは、制御装置１０に送信され、制御装置１０によって画像認識処理される。

具体的には、画像認識処理では、第１カメラ６００から取得した画像データに所定の処理が施され、デバイスマーク９４１とＩＣデバイス１００との相対位置および相対角度が算出される。そして、算出された相対位置および相対角度がデバイスマーク９４１とＩＣデバイス１００との適正な位置関係を示す基準位置および基準角度と対比され、相対位置と基準位置との間に生じている「ずれ位置量」と、相対角度と基準角度との間に生じている「ずれ角度量」とがそれぞれ演算される。なお、前記「基準位置」および前記「基準角度」は、第１ハンドユニット９２が予め設定されている検査用原点位置に配置されたときにＩＣデバイス１００の外部端子が検査用個別ソケット６１のプローブピンに好適に接続される位置を言う。

そして、制御装置１０は、求められた「ずれ位置量」および「ずれ角度量」に基づいて、必要に応じて第１、第２、第３駆動手段を駆動し、相対位置および相対角度が基準位置および基準角度に一致するように、ＩＣデバイス１００の位置および姿勢（角度）を補正する。このような制御によって、保持部９８で保持したＩＣデバイス１００の位置決めを行うことができる。

制御装置１０は、８つの第１ハンドユニット９２の駆動をそれぞれ独立して制御できるように構成されているため、各第１ハンドユニット９２に保持された８つのＩＣデバイス１００の位置決め（位置補正）をそれぞれ独立して行うことができる。
第２ハンドユニット９３によるＩＣデバイス１００の位置決めは、第１カメラ６００に換えて第２カメラ５００を用いる以外は、上述した第１ハンドユニット９２の場合と同様であるため、その説明を省略する。

（回収ロボット）
回収ロボット８は、トレイ４３、５３に収容された検査済みのＩＣデバイス１００を回収トレイ３に搬送するためのロボットである。
回収ロボット８は、供給ロボット７と同様の構成をなしている。すなわち、回収ロボット８は、台座１１に支持された支持フレーム８ａと、支持フレーム８ａに支持され、支持フレーム８ａに対してＹ方向に往復移動可能な移動フレーム８ｂと、移動フレーム８ｂに支持され、移動フレーム８ｂに対してＸ方向に往復移動可能なハンドユニット８ｃとを有している。これら各部の構成は、供給ロボット７の対応する各部の構成と同様であるため、その説明を省略する。また、回収ロボット８の駆動も供給ロボット７の駆動と同様であるため、その説明を省略する。

ここで、トレイ４３（５３）に収容された検査済みのＩＣデバイス１００の中には、所定の電気的特性を発揮することのできなかった不良品が存在する場合がある。そのため、例えば、回収トレイ３を２つ用意し、一方を、所定の電気的特性を満たした良品を収容するためのトレイとして用い、他方を、前記不良品を回収するためのトレイとして用いてもよい。また、１つの回収トレイ３を用いる場合には、所定のポケット３１を前記不良品を収容するためのポケットとして利用してもよい。これにより、良品と不良品を明確に分別することができる。

（制御装置）
制御装置１０は、駆動制御部１０２と、検査制御部１０１とを有している。駆動制御部１０２は、例えば、供給トレイ２、回収トレイ３、第１シャトル４および第２シャトル５の移動や、供給ロボット７、回収ロボット８、検査用ロボット９、載置状態検出手段２００、第１カメラ６００および第２カメラ５００等の機械的な駆動を制御する。一方の検査制御部１０１は、図示しないメモリー内に記憶されたプログラムに基づいて、検査用ソケット６に配置されたＩＣデバイス１００の電気的特性の検査を行う。
以上、検査装置１の構成について説明した。

［検査装置による検査方法］
次に、検査装置１によるＩＣデバイス１００の検査方法について説明する。なお、以下で説明する検査方法、特にＩＣデバイス１００の搬送手順は、一例であり、これに限定されない。

（ステップ１）
まず、図１２に示すように、各ポケット２１にＩＣデバイス１００が収容された供給トレイ２を領域Ｓ内へ搬送するとともに、第１、第２シャトル４、５を−Ｘ方向側に移動させ、トレイ４２、５２がそれぞれ供給トレイ２に対して＋Ｙ方向側に並んだ状態とする。
（ステップ２）
次に、図１３に示すように、供給ロボット７によって、供給トレイ２に収容されたＩＣデバイス１００をトレイ４２、５２に移し替え、トレイ４２、５２の各ポケット４２１、５２１にＩＣデバイス１００を収容する。
次に、載置状態検出手段２００によって、トレイ４２、５２の各ポケット４２１、５２１に収容されたＩＣデバイス１００の載置状態を検出する。仮に、異常な載置状態のＩＣデバイス１００が１つでも検出された場合には、駆動制御部１０２は、一旦、各部の駆動を停止させ、異常な載置状態が正され、全てのＩＣデバイス１００が正常な載置状態となったことを確認したのち、各部の駆動を再開する。

（ステップ３）
次に、図１４に示すように、第１、第２シャトル４、５をともに＋Ｘ方向側に移動し、トレイ４２が検査用ソケット６に対して＋Ｙ方向側に、トレイ５２が検査用ソケット６に対して−Ｙ方向側に並んだ状態とする。
（ステップ４）
次に、図１５に示すように、第１、第２ハンドユニット支持部９１３、９１４を一体的に＋Ｙ方向側に移動させ、第１ハンドユニット支持部９１３がトレイ４２の直上に位置するとともに、第２ハンドユニット支持部９１４が検査用ソケット６の直上に位置した状態とする。その後、各第１ハンドユニット９２によってトレイ４２に収容されたＩＣデバイス１００を保持する。

（ステップ５）
次に、図１６に示すように、第１、第２ハンドユニット支持部９１３、９１４を一体的に−Ｙ方向側に移動させ、第１ハンドユニット支持部９１３が検査用ソケット６の直上（検査用原点位置）に位置するとともに、第２ハンドユニット支持部９１４がトレイ５２の直上に位置する状態とする。当該移動の最中、第１カメラ６００によって撮像された画像データに基づいて、各ＩＣデバイス１００の位置決め（ビジュアルアライメント）が独立して行われる。

このような第１、第２ハンドユニット支持部９１３、９１４の移動およびＩＣデバイス１００の位置決めと並行して、次のような作業も行う。まず、第１シャトル４を−Ｘ方向側に移動させ、トレイ４３が検査用ソケット６に対して＋Ｙ方向に並んだ状態とするとともに、トレイ４２が供給トレイ２に対して＋Ｙ方向に並んだ状態とする。次に、供給ロボット７により、供給トレイ２に収容されたＩＣデバイス１００をトレイ４２に移し替え、トレイ４２の各ポケット４２１にＩＣデバイス１００を収容する。そして、前述と同様にして、載置状態検出手段２００によって、各ポケット４２１に収容されたＩＣデバイス１００の載置状態を検出する。

（ステップ６）
次に、第１ハンドユニット支持部９１３を降下させ、各第１ハンドユニット９２で保持したＩＣデバイス１００を、検査用ソケット６の各検査用個別ソケット６１内に配置する。この際、各第１ハンドユニット９２は、所定の検査圧（圧力）でＩＣデバイス１００を検査用個別ソケット６１に押し当てる。これにより、ＩＣデバイス１００の外部端子と検査用個別ソケット６１に設けられたプローブピンとが電気的に接続された状態となり、この状態にて、制御装置１０の検査制御部１０１によって各検査用個別ソケット６１内のＩＣデバイス１００に対して電気的特性の検査が実施される。当該検査が終了すると、第１ハンドユニット支持部９１３を上昇させ、各第１ハンドユニット９２で保持したＩＣデバイス１００を検査用個別ソケット６１から取り出す。
このような作業（ＩＣデバイス１００の検査）と並行して、第２ハンドユニット支持部９１４に支持された各第２ハンドユニット９３がトレイ５２に収容されたＩＣデバイス１００を保持し、ＩＣデバイス１００をトレイ５２から取り出す。

（ステップ７）
次に、図１７に示すように、第１、第２ハンドユニット支持部９１３、９１４を＋Ｙ方向側に移動させ、第１ハンドユニット支持部９１３が第１シャトル４のトレイ４３の直上に位置するとともに、第２ハンドユニット支持部９１４が検査用ソケット６の直上（検査用原点位置）に位置する状態とする。当該移動の最中、第２カメラ５００によって撮像された画像データに基づいて、各ＩＣデバイス１００の位置決め（ビジュアルアライメント）が独立して行われる。

このような第１、第２ハンドユニット支持部９１３、９１４の移動と並行して、次のような作業も行う。まず、第２シャトル５を−Ｘ方向側に移動させ、トレイ５３が検査用ソケット６に対して−Ｙ方向に並んだ状態とするとともに、トレイ５２が供給トレイ２に対して＋Ｙ方向に並んだ状態とする。次に、供給ロボット７によって、供給トレイ２に収容されたＩＣデバイス１００をトレイ５２に移し替え、トレイ５２の各ポケット５２１にＩＣデバイス１００を収容する。そして、前述と同様にして、載置状態検出手段２００によって、各ポケット５２１に収容されたＩＣデバイス１００の載置状態を検出する。

（ステップ８）
次に、図１８に示すように、第２ハンドユニット支持部９１４を降下させ、各第２ハンドユニット９３で保持したＩＣデバイス１００を検査用ソケット６の各検査用個別ソケット６１内に配置する。そして、検査制御部１０１によって、各検査用個別ソケット６１内のＩＣデバイス１００に対して電気的特性の検査が実施される。当該検査が終了すると、第２ハンドユニット支持部９１４を上昇させ、第２ハンドユニット９３で保持したＩＣデバイス１００を検査用個別ソケット６１から取り出す。

このような作業と並行して次のような作業を行う。まず、各第１ハンドユニット９２が保持する検査済みのＩＣデバイス１００をトレイ４３の各ポケット４３１に収容する。次に、第１シャトル４を＋Ｘ方向側に移動させ、トレイ４２が検査用ソケット６に対して＋Ｙ方向に並びかつ各第１ハンドユニット９２の直下に位置する状態とするとともに、トレイ４３が回収トレイ３に対して＋Ｙ方向に並んだ状態とする。次に、各第１ハンドユニット９２がトレイ４２に収容されたＩＣデバイス１００を保持するとともに、回収ロボット８により、トレイ４３に収容された検査済みのＩＣデバイス１００を回収トレイ３に移し替える。

（ステップ９）
次に、図１９に示すように、第１、第２ハンドユニット支持部９１３、９１４を−Ｙ方向側に移動させ、第１ハンドユニット支持部９１３が検査用ソケット６の直上（検査用原点位置）に位置するとともに、第２ハンドユニット支持部９１４がトレイ５２の直上に位置した状態とする。この際も、前述したステップ５と同様に、第１ハンドユニット９２に保持されたＩＣデバイス１００の位置決めを行う。

このような第１、第２ハンドユニット支持部９１３、９１４の移動と並行して、次のような作業も行う。まず、第１シャトル４を−Ｘ方向側に移動させ、トレイ４３が検査用ソケット６に対して＋Ｙ方向に並んだ状態となるとともに、トレイ４２が供給トレイ２に対して＋Ｙ方向に並んだ状態とする。次に、供給ロボット７によって、供給トレイ２に収容されたＩＣデバイス１００をトレイ４２に移し替え、トレイ４２の各ポケット４２１にＩＣデバイス１００を収容する。そして、前述と同様にして、載置状態検出手段２００によって、各ポケット４２１に収容されたＩＣデバイス１００の載置状態を検出する。

（ステップ１０）
次に、図２０に示すように、第１ハンドユニット支持部９１３を降下させ、各第１ハンドユニット９２で保持したＩＣデバイス１００を検査用ソケット６の各検査用個別ソケット６１内に配置する。そして、検査制御部１０１によって、各検査用個別ソケット６１内のＩＣデバイス１００に対して電気的特性の検査を実施する。当該検査が終了すると、第１ハンドユニット支持部９１３を上昇させ、各第１ハンドユニット９２で保持したＩＣデバイス１００を検査用個別ソケット６１から取り出す。

このような作業と並行して次のような作業を行う。まず、各第２ハンドユニット９３が保持する検査済みのＩＣデバイス１００をトレイ５３の各ポケット５３１に収容する。次に、第２シャトル５を＋Ｘ方向側に移動させ、トレイ５２が検査用ソケット６に対して−Ｙ方向に並びかつ第２ハンドユニット９３の直下に位置する状態とするとともに、トレイ５３が回収トレイ３に対して＋Ｙ方向に並んだ状態とする。次に、各第２ハンドユニット９３がトレイ５２に収容されたＩＣデバイス１００を保持するとともに、回収ロボット８により、トレイ５３に収容された検査済みのＩＣデバイス１００を回収トレイ３に移し替える。

（ステップ１１）
これ以降は、前述したステップ７〜ステップ１０を繰り返す。なお、この繰り返しの途中にて、供給トレイ２に収容されたＩＣデバイス１００のすべてを第１シャトル４に移し終えると、供給トレイ２が領域Ｓ外に移動する。そして、供給トレイ２に新たなＩＣデバイス１００を供給するか、既にＩＣデバイス１００が収容されている別の供給トレイ２と交換した後、供給トレイ２が再び領域Ｓ内に移動する。同様に、繰り返しの途中にて、回収トレイ３の全てのポケット３１にＩＣデバイス１００が収容されると、回収トレイ３が領域Ｓ外に移動する。そして、回収トレイ３に収容されたＩＣデバイス１００を取り除くか、回収トレイ３を別の空である回収トレイ３を交換した後、回収トレイ３が再び領域Ｓ内に移動する。

このような方法によれば、効率よくＩＣデバイス１００の検査を行うことができる。具体的には、検査用ロボット９が第１ハンドユニット９２と第２ハンドユニット９３とを有しており、例えば、第１ハンドユニット９２（第２ハンドユニット９３についても同様）が保持したＩＣデバイス１００が検査用ソケット６にて検査されている状態にて、これと並行して第２ハンドユニット９３が検査を終えたＩＣデバイス１００をトレイ５３に収容するとともに、次に検査するＩＣデバイス１００を保持してスタンバイしている。このように、２つのハンドユニットを用いて、それぞれ、並行して異なる作業を行うことにより、無駄な時間を削減でき、効率的にＩＣデバイス１００の検査を行うことができる。

＜第２実施形態＞
次に、本発明の検査装置の第２実施形態について説明する。
図２１は、本発明の第２実施形態に係る検査装置が有する供給ロボットのハンドユニットを示す平面図、図２２は、図２１に示すハンドユニットが有する支持部の平面図である。
以下、第２実施形態の検査装置について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。

本発明の第２実施形態にかかる検査装置は、供給ロボットおよび回収ロボットのハンドユニットが有するＹ方向移動機構の構成が異なる以外は、前述した第１実施形態と同様である。なお、前述した第１実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。また、本実施形態では、供給ロボットが有するハンドユニットと回収ロボットが有するハンドユニットとの構成が互いに同様であるため、以下では、供給ロボットが有するハンドユニットについて代表して説明し、回収ロボットが有するハンドユニットについては、その説明省略する。

図２１に示すように、本実施形態のハンドユニット７ｃが有するＹ方向移動機構７７’は、第１支持部７１に設けられた第１支持部用ユニット１１００と、第２支持部７２に設けられた第２支持部用ユニット１２００と、第３支持部７３に設けられた第３支持部用ユニット１３００と、第４支持部７４に設けられた第４支持部用ユニット１４００と、各ユニット１１００、１２００、１３００、１４００を駆動する駆動機構１５００とを有している。

駆動機構１５００は、第２ベース７５２に設けられた一対のプーリー（第１移動機構用第１案内輪、第１移動機構用第２案内輪）１５０８、１５０９と、一対のプーリー１５０８、１５０９の間に張架されたベルト（第１移動機構用第１無端状駆動索）１５１０と、プーリー１５０９に同軸的に固定され、Ｘ方向に延在するスプライン軸（動力伝達シャフト）１５０１と、スプライン軸１５０１の外周に設けられた４つのスプラインナット１５０２、１５０３、１５０４、１５０５と、プーリー１５０８を回転させるモーター１５０７とを有している。

モーター１５０７は、第２ベース７５２に固定されている。モーター１５０７を駆動すると、その駆動力がベルト１５１０を介してプーリー１５０９に伝達され、スプライン軸１５０１がその軸まわりに回転する。このように、モーター１５０７を基部７５に固定することにより、モーター１５０７を安定して駆動させることができるとともに、第１〜第４支持部７１〜７４の重量の増加を防止することができる。

４つのスプラインナット１５０２、１５０３、１５０４、１５０５は、それぞれ、スプライン軸１５０１に対してその軸方向への移動は自在であるが、その軸まわりの回転は制限されている。すなわち、スプライン軸１５０１がモーター１５０７によって回転すると、スプラインナット１５０２、１５０３、１５０４、１５０５もそれぞれ回転する。
また、スプラインナット１５０２、１５０３、１５０４、１５０５のうち、スプラインナット１５０２は、第１支持部７１に回転自在に支持されており、スプラインナット１５０３は、第２支持部７２に回転自在に支持されており、スプラインナット１５０４は、第３支持部７３に回転自在に支持されており、スプラインナット１５０５は、第４支持部７４に回転自在に支持されている。
なお、前述したように、スプラインナット１５０３、１５０４、１５０５は、スプライン軸１５０１に対してその軸方向（Ｘ方向）に移動自在であるため、Ｙ方向移動機構７７’は、Ｘ方向移動機構７６による第２、第３、第４支持部７２、７３、７４のＸ方向への移動を阻害することがない。

図２２に示すように、第１支持部用ユニット１１００は、一対のプーリー（第１移動機構用第３案内輪、第１移動機構用第４案内輪）１１０１、１１０２と、一対のプーリー１１０１、１１０２の間に張架されたベルト（第１移動機構用第２無端状駆動索）１１０３とを有している。このうち、プーリー１１０１は、スプラインナット１５０２に同軸的に固定されており、スプラインナット１５０２とともにスプライン軸１５０１の軸まわりに回転する。また、プーリー１１０２は、プーリー１１０１に対してＹ方向に離間し、第１支持部７１に回転自在に支持されている。そして、これらプーリー１１０１、１１０２の間にベルト１１０３が張架されている。ベルト１１０３は、プーリー１１０１、１１０２の間にＹ方向に延在する２つの領域１１０３ａ、１１０４ｂを有しており、領域１１０３ａにて第１移動部７１５がベルト１１０３に固定されている。なお、スプラインナット１５０３がプーリー１１０１を兼ねていてもよい。

第２支持部用ユニット１２００の構成は、前述した第１支持部用ユニット１１００の構成と同様である。第２支持部用ユニット１２００は、一対のプーリー（第１移動機構用第５案内輪、第１移動機構用第６案内輪）１２０１、１２０２と、一対のプーリー１２０１、１２０２の間に張架されたベルト（第１移動機構用第３無端状駆動索）１２０３とを有している。このうち、プーリー１２０１は、スプラインナット１５０３に同軸的に固定されており、スプラインナット１５０３とともにスプライン軸１５０１の軸まわりに回転する。また、プーリー１２０２は、プーリー１２０１に対してＹ方向に離間し、第２支持部７２に回転自在に支持されている。そして、これらプーリー１２０１、１２０２の間にベルト１２０３が張架されている。ベルト１２０３は、プーリー１２０１、１２０２の間にＹ方向に延在する２つの領域１２０３ａ、１２０４ｂを有しており、領域１２０３ａにて第２移動部７２５がベルト１２０３に固定されている。

第３支持部用ユニット１３００の構成も、前述した第１支持部用ユニット１１００の構成と同様である。第３支持部用ユニット１３００は、一対のプーリー（第１移動機構用第７案内輪、第１移動機構用第８案内輪）１３０１、１３０２と、一対のプーリー１３０１、１３０２の間に張架されたベルト（第１移動機構用第４無端状駆動索）１３０３とを有している。このうち、プーリー１３０１は、スプラインナット１５０４に同軸的に固定されており、スプラインナット１５０４とともにスプライン軸１５０１の軸まわりに回転する。また、プーリー１３０２は、プーリー１３０１に対してＹ方向に離間し、第３支持部７３に回転自在に支持されている。そして、これらプーリー１３０１、１３０２の間にベルト１３０３が張架されている。ベルト１３０３は、プーリー１３０１、１３０２の間にＹ方向に延在する２つの領域１３０３ａ、１３０４ｂを有しており、領域１３０３ａにて第３移動部７３５がベルト１３０３に固定されている。

第４支持部用ユニット１４００の構成も、前述した第１支持部用ユニット１１００の構成と同様である。第４支持部用ユニット１４００は、一対のプーリー（第１移動機構用第９案内輪、第１移動機構用第１０案内輪）１４０１、１４０２と、一対のプーリー１４０１、１４０２の間に張架されたベルト（第１移動機構用第５無端状駆動索）１４０３とを有している。このうち、プーリー１４０１は、スプラインナット１５０５に同軸的に固定されており、スプラインナット１５０５とともにスプライン軸１５０１の軸まわりに回転する。また、プーリー１４０２は、プーリー１４０１に対してＹ方向に離間し、第４支持部７４に回転自在に支持されている。そして、これらプーリー１４０１、１４０２の間にベルト１４０３が張架されている。ベルト１４０３は、プーリー１４０１、１４０２の間にＹ方向に延在する２つの領域１４０３ａ、１４０４ｂを有しており、領域１４０３ａにて第４移動部７４５がベルト１４０３に固定されている。
なお、プーリー１１０１、１１０２、１２０１、１２０２、１３０１、１３０２、１４０１、１４０２は、それぞれ、等しい外径を有している。

このような構成のＹ方向移動機構７７’では、モーター１５０７によってスプライン軸１５０１を回転させ、その回転力を各プーリー１１０１、１２０１、１３０１、１４０１に伝達し、各ベルト１１０３、１２０３、１３０３、１４０３を回転させると、領域１１０３ａ、１２０３ａ、１３０３ａ、１４０３ａでは、ベルト１１０３、１２０３、１３０３、１４０３がＹ方向の同じ側へ向けて等しい速度で進む。したがって、ベルト１１０３、１２０３、１３０３、１４０３が回転すると、各移動部７１５、７２５、７３５、７４５が各支持部７１、７２、７３、７４に対してＹ方向に一体的にかつ等しい距離移動する。

このような構成のＹ方向移動機構７７によれば、確実に、吸着ノズル７１３、７１８の離間距離、吸着ノズル７２３、７２８の離間距離、吸着ノズル７３３、７３８の離間距離、および、吸着ノズル７４３、７４８の離間距離を互いに等しく保ちつつ、これらの離間距離を変更することができ。また、Ｙ方向移動機構７７では、支持部７１〜７４ごとに専用のユニットを設けているため、より確実に、各移動部７１５〜７４５をＹ方向へ移動させることができる。

このような第２実施形態においても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
なお、前述した駆動機構１５００では、スプライン軸１５０１とスプラインナット１５０２〜１５０５とを組み合わせた構成としたが、これらと同様の機構を発揮することができれば、駆動機構１５００の構成は、特に限定されない。

以上、本発明のハンドラーおよび検査装置について、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、各実施形態を適宜組み合わせてもよい。

１……検査装置 １１……台座 ２……供給トレイ ２１……ポケット ２３……レール ３……回収トレイ ３１……ポケット ３３……レール ４……第１シャトル ４１……ベース部材 ４２……トレイ ４２１……ポケット ４３……トレイ ４３１……ポケット ４４……レール ５……第２シャトル ５１……ベース部材 ５２……トレイ ５２１……ポケット ５３……トレイ ５３１……ポケット ５４……レール ６……検査用ソケット ６１……検査用個別ソケット ６１１……側面 ６１３……底部 ６２……プローブピン ７……供給ロボット ７ａ……支持フレーム ７ｂ……移動フレーム ７ｃ……ハンドユニット ７１……第１支持部 ７１１……第１部品保持機構 ７１２……シャフト ７１３……吸着ノズル ７１４……第１駆動機構 ７１４ａ……プーリー ７１４ｂ……プーリー ７１４ｃ……ベルト ７１４ｄ……モーター ７１４ｅ……固定部 ７１５……第１移動部 ７１６……第２部品保持機構 ７１７……シャフト ７１８……吸着ノズル ７１９……駆動機構 ７１９ａ……プーリー ７１９ｂ……プーリー ７１９ｃ……ベルト ７１９ｄ……モーター ７１９ｅ……固定部 ７２……第２支持部 ７２１……第３部品保持機構 ７２２……シャフト ７２３……吸着ノズル ７２４……駆動機構 ７２４ａ……プーリー ７２４ｂ……プーリー ７２４ｃ……ベルト ７２４ｄ……モーター ７２４ｅ……固定部 ７２５……第２移動部 ７２６……第４部品保持機構 ７２７……シャフト ７２８……吸着ノズル ７２９……駆動機構 ７２９ａ……プーリー ７２９ｂ……プーリー ７２９ｃ……ベルト ７２９ｄ……モーター ７２９ｅ……固定部 ７３……第３支持部 ７３１……第５部品保持機構 ７３２……シャフト ７３３……吸着ノズル ７３４……駆動機構 ７３４ａ……プーリー ７３４ｂ……プーリー ７３４ｃ……ベルト ７３４ｄ……モーター ７３４ｅ……固定部 ７３５……第３移動部 ７３６……第６部品保持機構 ７３７……シャフト ７３８……吸着ノズル ７３９……駆動機構 ７３９ａ……プーリー ７３９ｂ……プーリー ７３９ｃ……ベルト ７３９ｄ……モーター ７３９ｅ……固定部 ７４……第４支持部 ７４１……第７部品保持機構 ７４２……シャフト ７４３……吸着ノズル ７４４……駆動機構 ７４４ａ……プーリー ７４４ｂ……プーリー ７４４ｃ……ベルト ７４４ｄ……モーター ７４４ｅ……固定部 ７４５……第４移動部 ７４６……第８部品保持機構 ７４７……シャフト ７４８……吸着ノズル ７４９……駆動機構 ７４９ａ……プーリー ７４９ｂ……プーリー ７４９ｃ……ベルト ７４９ｄ……モーター ７４９ｅ……固定部 ７５……基部 ７５１……第１ベース ７５２……第２ベース ７５３……レール ７５４……ガイド ７５５……ガイド ７５６……ガイド ７６……Ｘ方向移動機構 ７６１……二段プーリー ７６１ａ……小径プーリー ７６１ｂ……大径プーリー ７６２……二段プーリー ７６２ａ……小径プーリー ７６２ｂ……大径プーリー ７６３……ベルト ７６３ａ……領域 ７６３ｂ……領域 ７６４……ベルト ７６４ａ……領域 ７６４ｂ……領域 ７６５……モーター ７７……Ｙ方向移動機構 ７７ａ……第１ユニット ７７ｂ……第２ユニット ７７１……プーリー ７７２……プーリー ７７３……ベルト ７７３ａ……領域 ７７３ｂ……領域 ７７４……プーリー ７７５……プーリー ７７６……ベルト ７７６ａ……領域 ７７６ｂ……領域 ７７７……モーター ７７８……伝達シャフト ７７９……連結シャフト ７７９ｂ……リニアブッシュ ７７９ｃ……リニアブッシュ ７７９ｄ……リニアブッシュ ８……回収ロボット ８ａ……支持フレーム ８ｂ……移動フレーム ８ｃ……ハンドユニット ９……検査用ロボット ９１１……フレーム ９１１ａ……レール ９１２……フレーム ９１２ａ……レール ９１２ｂ……レール ９１３……ハンドユニット支持部 ９１４……ハンドユニット支持部 ９２……ハンドユニット ９３……ハンドユニット ９４……支持部 ９４１……デバイスマーク ９５……第１移動部 ９６……第２移動部 ９７……回転部 ９８……保持部 １０……制御装置 １０１……検査制御部 １０２……駆動制御部 １００……ＩＣデバイス ２００……載置状態検出手段 ５００……第２カメラ ６００……第１カメラ １１００……第１支持部用ユニット １１０１……プーリー １１０２……プーリー １１０３……ベルト １１０３ａ……領域 １１０３ｂ……領域 １２００……第２支持部用ユニット １２０１……プーリー １２０２……プーリー １２０３……ベルト １２０３ａ……領域 １２０３ｂ……領域 １３００……第３支持部用ユニット １３０１……プーリー １３０２……プーリー １３０３……ベルト １３０３ａ……領域 １３０３ｂ……領域 １４００……第４支持部用ユニット １４０１……プーリー １４０２……プーリー １４０３……ベルト １４０３ａ……領域 １４０３ｂ……領域 １５００……駆動機構 １５０１……スプライン軸 １５０２……スプラインナット １５０３……スプラインナット １５０４……スプラインナット １５０５……スプラインナット １５０７……モーター １５０８……プーリー １５０９……プーリー １５１０……ベルト Ｓ……領域

Claims (13)

1. 互いに直交する３つの方向を第１方向、第２方向および第３方向としたとき、
   基部と、
   前記基部に固定され、動作時において前記基部に対して相対位置が変わらない第１支持部と、
   前記第１支持部に支持され、前記第１支持部に対して前記第３方向に移動可能に設けられ、かつ、部品を保持する第１部品保持部と、
   前記第１支持部に支持され、前記第１支持部に対して前記第２方向に移動可能な第１移動部と、
   前記第１移動部に支持され、前記第１部品保持部に対して前記第２方向に位置するとともに、前記第１移動部に対して前記第３方向に移動可能に設けられ、かつ、部品を保持する第２部品保持部と、
   前記基部に支持され、前記第１支持部に対して前記第１方向に位置するとともに、前記基部に対して前記第１方向に移動可能な第２支持部と、
   前記第２支持部に支持され、前記第２支持部に対して前記第３方向に移動可能に設けられ、かつ、部品を保持する第３部品保持部と、
   前記第２支持部に支持され、前記第２支持部に対して前記第２方向に移動可能な第２移動部と、
   前記第２移動部に支持され、前記第３部品保持部に対して前記第２方向に位置するとともに、前記第２移動部に対して前記第３方向に移動可能に設けられ、かつ、部品を保持する第４部品保持部と、
   前記第１移動部および前記第２移動部を一体的に前記第２方向へ移動させ、前記第１部品保持部と前記第２部品保持部の前記第２方向の離間距離および前記第３部品保持部と前記第４部品保持部の前記第２方向の離間距離を共に変化させる第１移動機構と、
   前記第２支持部を前記第１方向に移動させ、前記第１支持部と前記第２支持部の前記第１方向の離間距離を変化させる第２移動機構と、を有することを特徴とするハンドラー。
2. 前記第１移動機構の少なくとも一部は、前記基部に支持されている請求項１に記載のハンドラー。
3. 前記第１移動機構は、前記第２方向に離間した第１移動機構用第１案内輪および第１移動機構用第２案内輪と、前記第１移動機構用第１案内輪および前記第１移動機構用第２案内輪の間に張架された第１移動機構用第１無端状駆動索と、前記第１移動機構用第１案内輪および前記第１移動機構用第２案内輪の少なくとも一方を回転させて前記第１移動機構用第１無端状駆動索を回転させる第１移動機構用駆動源と、を有し、
   少なくとも前記第１移動機構用第１案内輪および前記第１移動機構用第２案内輪は、それぞれ、前記基部に回転可能に支持されている請求項２に記載のハンドラー。
4. 前記第１移動部および前記第２移動部は、それぞれ、前記第１移動機構用第１無端状駆動索に直接または間接的に連結されており、
   前記第１移動機構用第１無端状駆動索の回転に伴って、前記第１移動部が前記第１支持部に対して前記第２方向に移動するとともに、前記第２移動部が前記第２支持部に対して前記第２方向に移動する請求項３に記載のハンドラー。
5. 前記第１移動機構は、前記第１支持部に回転可能に固定され、前記第２方向に離間した第１移動機構用第３案内輪および第１移動機構用第４案内輪と、前記第１移動機構用第３案内輪および前記第１移動機構用第４案内輪の間に張架された第１移動機構用第２無端状駆動索と、前記第１移動機構用第１案内輪と前記第１移動機構用第３案内輪とを連結し、前記第１移動機構用第１案内輪の回転を前記第１移動機構用第３案内輪に伝達する伝達部と、前記第１移動機構用第１無端状駆動索と前記第１移動機構用第２無端状駆動索とを連結する連結部と、をさらに有し、
   前記第１移動部および前記第２移動部は、それぞれ、前記連結部に連結されている請求項３または４に記載のハンドラー。
6. 前記第１移動機構用駆動源は、前記基部に支持されている請求項３ないし５のいずれかに記載のハンドラー。
7. 前記第２移動機構の少なくとも一部は、前記基部に支持されている請求項１ないし６のいずれかに記載のハンドラー。
8. 前記第２移動機構は、前記第１方向に離間した第２移動機構用第１案内輪および第２移動機構用第２案内輪と、前記第２移動機構用第１案内輪および前記第２移動機構用第２案内輪の間に張架された第２移動機構用無端状駆動索と、前記第２移動機構用第１案内輪および前記第２移動機構用第２案内輪の少なくとも一方を回転させて前記第２移動機構用無端状駆動索を回転させる第２移動機構用駆動源と、を有し、
   少なくとも前記第２移動機構用第１案内輪および前記第２移動機構用第２案内輪は、それぞれ、前記基部に回転可能に支持されている請求項７に記載のハンドラー。
9. 前記第１支持部および前記第２支持部は、それぞれ、前記第２方向および前記第３方向の両方向に広がりを有する板状をなしている請求項１ないし８のいずれかに記載のハンドラー。
10. 前記第１部品保持部、前記第２部品保持部、前記第３部品保持部および前記第４部品保持部は、それぞれ、吸着によって対象物を保持する吸着ノズルを有している請求項１ないし９のいずれかに記載のハンドラー。
11. 互いに直交する２つの方向を第１方向および第２方向としたとき、
    部品を保持する第１部品保持部と、
    前記第１部品保持部に対して前記第２方向に位置し、部品を保持する第２部品保持部と、
    前記第１部品保持部に対して前記第１方向に位置し、部品を保持する第３部品保持部と、
    前記第３部品保持部に対して前記第２方向に位置し、部品を保持する第４部品保持部と、を有し、
    前記第３部品保持部および前記第４部品保持部は、一体的に、前記第１部品保持部および前記第２部品保持部に対して前記第１方向に移動し、
    前記第２部品保持部および前記第４部品保持部は、一体的に、前記第１部品保持部および前記第３部品保持部に対して前記第２方向に移動することを特徴とするハンドラー。
12. 請求項１ないし１１のいずれかに記載のハンドラーと、
    対象物の検査を行う検査部と、を有し、
    前記ハンドラーにより前記対象物が前記検査部に搬送されるよう構成されていることを特徴とする検査装置。
13. 互いに直交する３つの方向を第１方向、第２方向および第３方向としたとき、
    基部と、
    前記基部に固定され、動作時において前記基部に対して相対位置が変わらない第１支持部と、
    前記第１支持部に支持され、前記第１支持部に対して前記第３方向に移動可能に設けられ、かつ、部品を保持する第１部品保持部と、
    前記第１支持部に支持され、前記第１支持部に対して前記第２方向に移動可能な第１移動部と、
    前記第１移動部に支持され、前記第１部品保持部に対して前記第２方向に位置するとともに、前記第１移動部に対して前記第３方向に移動可能に設けられ、かつ、部品を保持する第２部品保持部と、
    前記基部に支持され、前記第１支持部に対して前記第１方向に位置するとともに、前記基部に対して前記第１方向に移動可能な第２支持部と、
    前記第２支持部に支持され、前記第２支持部に対して前記第３方向に移動可能に設けられ、かつ、部品を保持する第３部品保持部と、
    前記第２支持部に支持され、前記第２支持部に対して前記第２方向に移動可能な第２移動部と、
    前記第２移動部に支持され、前記第３部品保持部に対して前記第２方向に位置するとともに、前記第２移動部に対して前記第３方向に移動可能に設けられ、かつ、部品を保持する第４部品保持部と、
    前記第１移動部および前記第２移動部を一体的に前記第２方向へ移動させ、前記第１部品保持部と前記第２部品保持部の前記第２方向の離間距離および前記第３部品保持部と前記第４部品保持部の前記第２方向の離間距離を共に変化させる第１移動機構と、
    前記第２支持部を前記第１方向に移動させ、前記第１支持部と前記第２支持部の前記第１方向の離間距離を変化させる第２移動機構と、
    前記第１部品保持部、前記第２部品保持部、前記第３部品保持部および前記第４部品保持部に保持された各部品の検査を行う検査部と、を有することを特徴とする検査装置。

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