JP2017087306A - ロボットおよびロボットシステム - Google Patents

Abstract

【課題】干渉しないようにするための空間を小さくすることができるロボットおよびかかるロボットを備えるロボットシステムを提供すること。【解決手段】ロボットは、第ｎ（ｎは１以上の整数）回動軸周りに回動可能な第ｎアームと、第ｎアームに、第ｎ回動軸の軸方向とは異なる軸方向である第（ｎ＋１）回動軸周りに回動可能に設けられた第（ｎ＋１）アームと、を有するロボットアームを備え、第（ｎ＋１）回動軸の軸方向から見て、第ｎアームと第（ｎ＋１）アームとが重なることが可能であり、鉛直方向に並んだ複数の載置部を有する載置装置の複数の載置部のそれぞれに対して対象物を載置することが可能であることを特徴とする。【選択図】図１

Description

本発明は、ロボットおよびロボットシステムに関するものである。

従来、ロボットアームを備えたロボットが知られている。ロボットアームは複数のアーム（アーム部材）が関節部を介して連結され、最も先端側（最も下流側）のアームには、エンドエフェクターとして、例えば、ハンドが装着される。関節部はモーターにより駆動され、その関節部の駆動により、アームが回動する。そして、ロボットは、例えば、ハンドで対象物を把持し、その対象物を所定の場所へ移動させ、組立等の所定の作業を行う。

このようなロボットとして、特許文献１には、垂直多関節ロボットが開示されている。特許文献１に記載のロボットは、基台に対してハンドを、最も基端側（最も上流側）の回動軸（鉛直方向に延びる回動軸）である第１回動軸周りに１８０°異なる位置に移動させる際、基台に対して最も基端側（基台側）のアームである第１アームを、前記第１回動軸周りに回動させることにより行う構成になっている。

特開２０１４−４６４０１号公報

特許文献１に記載のロボットでは、ハンドを基台に対して第１回動軸周りに１８０°異なる位置に移動させる場合に、ロボットが干渉しないようにするための大きな空間を必要とする。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の本発明により実現することが可能である。

本発明のロボットは、第ｎ（ｎは１以上の整数）回動軸周りに回動可能な第ｎアームと、
前記第ｎアームに、前記第ｎ回動軸の軸方向とは異なる軸方向である第（ｎ＋１）回動軸周りに回動可能に設けられた第（ｎ＋１）アームと、を有するロボットアームを備え、
前記第（ｎ＋１）回動軸の軸方向から見て、前記第ｎアームと前記第（ｎ＋１）アームとが重なることが可能であり、
鉛直方向に並んだ複数の載置部を有する載置装置の前記複数の載置部のそれぞれに対して対象物を載置することが可能であることを特徴とする。

このようなロボットによれば、第（ｎ＋１）回動軸の軸方向から見て、第ｎアームと前記第（ｎ＋１）アームとが重なることが可能であるため、ロボットが干渉しないようにするための空間を小さくすることができる。また、第（ｎ＋１）回動軸の軸方向から見て、第ｎアームと第（ｎ＋１）アームとが重なることが可能であるため、載置装置に対するロボットの距離が比較的近い場合であっても、ロボットは、載置装置との干渉を回避しつつ、鉛直方向に並んだ比較的多くの載置部に対して対象物を載置する作業等を行うことができる。

本発明のロボットでは、前記第ｎアームの長さは、前記第（ｎ＋１）アームの長さよりも長いことが好ましい。

これにより、第（ｎ＋１）アームは、第ｎアームに干渉することを回避しつつ、第（ｎ＋１）回動軸の軸方向から見て第ｎアームに重なることができる。

本発明のロボットでは、前記載置装置とは異なる位置に設けられている作業装置が有する作業部において作業することが可能であることが好ましい。

前述したように、ロボットは、第ｎアームと第（ｎ＋１）アームとが重なることが可能であるため、作業装置に対するロボットの距離が比較的近い場合であっても、ロボットアームの先端にエンドエフェクターを設けた際、作業装置との干渉を回避しつつ、作業部において対象物に対する各種作業を行うことができる。また、載置装置および作業装置の双方に対するロボットの距離が比較的近い場合であっても、ロボットは、載置装置および作業装置や、周辺部材に干渉することを回避しつつ、ロボットアームの先端を載置装置と作業装置との間に移動させることができる。

本発明のロボットでは、前記ロボットアームの先端は、水平方向および鉛直方向のそれぞれの方向に沿って移動可能であることが好ましい。

これにより、ロボットは、例えば、水平方向および鉛直方向に並んだ複数の載置部に対して対象物を載置する作業等を行うことができる。

本発明のロボットでは、基台を備え、
前記第ｎアーム（ｎは１である）は、前記基台に前記第ｎ回動軸周りに回動可能に設けられていることが好ましい。

これにより、基台に対して第ｎアームおよび第（ｎ＋１）アームを回動させることができる。

本発明のロボットでは、前記基台は、前記基台を移動可能な移動機構に支持されていることが好ましい。

これにより、ロボットは、載置部に対して対象物を載置する作業等をより広い範囲で行うことができる。

本発明のロボットでは、前記ロボットアームには、撮像する機能を有する撮像部が設けられていることが好ましい。

これにより、例えば、対象物や載置部等を撮像することができ、よって、ロボットは、撮像されたデータを基にして、載置部に対して対象物を載置する作業等を的確に行うことができる。

本発明のロボットでは、前記ロボットアームには、力検出器が設けられていることが好ましい。

これにより、ロボットは、例えば、ロボットアームの先端にエンドエフェクターを設けた際、対象物に対するエンドエフェクターの接触状態を把握することができ、よって、ロボットは、エンドエフェクターにより対象物を的確な把持力で把持等することができる。

本発明のロボットシステムは、本発明のロボットと、
前記ロボットに対して水平方向に並んで設けられ、鉛直方向に並んだ複数の載置部を有する載置装置と、を備えることを特徴とする。

このようなロボットシステムによれば、ロボットが、第（ｎ＋１）回動軸の軸方向から見て、第ｎアームと前記第（ｎ＋１）アームとが重なることが可能であるため、ロボットが干渉しないようにするための空間を小さくすることができる。そのため、小型で、かつ、ロボットが対象物を載置できる載置部の数が多いロボットシステムを提供することができる。

本発明のロボットシステムでは、前記載置装置は、前記対象物を検査する検査部を含むことが好ましい。

これにより、載置部に載置された対象物を検査部によって対象物の検査をすることができる。

本発明のロボットシステムでは、前記載置装置は、鉛直方向に並んだ複数の前記載置部を有する載置列を複数有し、
複数の前記載置列は、水平方向において前記ロボットと前記載置装置との並び方向とは異なる方向に沿って並んで設けられており、
複数の前記載置列のうち、前記第ｎ回動軸から最も離間した位置に設けられた前記載置列が有する前記載置部の数は、前記第ｎ回動軸に最も近接した位置に設けられた前記載置列が有する前記載置部の数よりも少ないことが好ましい。

これにより、ロボットアームの先端の可動範囲に複数の載置部を効率よく設置することができる。

本発明のロボットシステムでは、前記載置列は、円弧状に配置されていることが好ましい。

これにより、ロボットアームの先端の可動範囲に複数の載置部を効率よく設置することができる。

本発明のロボットシステムでは、前記ロボットを複数有することが好ましい。
これにより、複数のロボットによって載置部に対して対象物を載置する作業等を行うことができるため、単位時間当たりの作業数の高いロボットシステムを提供することができる。

本発明のロボットシステムでは、前記対象物が供給される供給装置を備えることが好ましい。

これにより、ロボットは、例えば、供給装置から対象物を選定して給材し、その対象物を載置装置に搬送することができる。

本発明のロボットシステムでは、前記載置装置は、前記対象物を供給する供給装置であることが好ましい。

これにより、ロボットは、例えば、対象物を供給装置に搬送し、その供給装置にて部品等の組立てをすることができる。

本発明のロボットシステムでは、設置面積が、４ｍ^２以下であることが好ましい。
これにより、上記のような比較的小さな設置面積であっても、ロボットシステムは、小型で、かつ、ロボットが対象物を載置できる載置部の数を十分に多く確保することができる。

本発明のロボットシステムでは、設置面積が、０．５ｍ^２以上であることが好ましい。
これにより、ロボットが載置装置に干渉することを回避しつつ、比較的多くの載置部を有する載置装置を設けることができる。

本発明の第１実施形態に係るロボットシステムを示す斜視図である。 図１に示すロボットの概略正面図である。 図１に示すロボットの模式図である。 図１に示すロボットの第１アーム、第２アームおよび第３アームが重なっていない状態の概略側面図である。 図１に示すロボットの第１アーム、第２アームおよび第３アームが重なっている状態の概略側面図である。 図１に示すロボットの動作を説明するための図である。 図６に示すロボットの動作におけるハンドの移動経路を示す図である。 図１に示すロボットの第１アームおよび第３アームが交差している状態の概略側面図である。 図１に示すロボットの第１アームおよび第３アームが重なっている状態の概略側面図である。 図１に示すロボットの先端が可動範囲を説明するための図である。 図１に示すロボットの先端が可動範囲を説明するための図である。 図１に示すロボットの作業の一例を説明するための図である。 図１に示すロボットの作業の一例を説明するための図である。 図１に示すロボットの作業の一例を説明するための図である。 本発明の第２実施形態に係るロボットシステムが有するロボットおよび検査装置を示す概略図である。 本発明の第３実施形態に係るロボットシステムが有するロボットおよび検査装置を示す斜視図である。 図１６に示すロボットを支持する支持部を説明するための図である。 図１６に示すロボットを支持する支持部の変形例を説明するための図である。 本発明の第４実施形態に係るロボットシステムが有する支持部を示す斜視図である。 本発明の第５実施形態に係るロボットシステムが有する支持部を示す斜視図である。 本発明の第６実施形態に係るロボットシステムを示す斜視図である。 本発明の第７実施形態に係るロボットシステムを示す概略図である。 本発明の第８実施形態に係るロボットシステムを示す概略図である。

以下、本発明のロボットおよびロボットシステムを添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。

［第１実施形態］
≪ロボットシステム≫
図１は、本発明の第１実施形態に係るロボットシステムを示す斜視図である。図２は、図１に示すロボットの概略正面図である。図３は、図１に示すロボットの模式図である。

なお、以下では、説明の都合上、図１および図２中の上側を「上」または「上方」、下側を「下」または「下方」と言う。また、図１および図２中の基台側を「基端」または「上流」、その反対側（ハンド側）を「先端」または「下流」と言う。

また、図１では、説明の便宜上、互いに直交する３つの軸であるＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸を矢印で図示しており、その矢印の先端側を「＋（プラス）」、基端側を「−（マイナス）」としている。また、以下では、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ軸方向」、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ軸方向」、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ軸方向」という。

また、Ｘ軸とＹ軸を含むＸＹ平面が水平となっており、Ｚ軸が鉛直となっている。ここで、本願明細書で言う「水平」とは、完全な水平に限定されず、水平に対して５°以下の範囲で傾斜している場合も含む。また、本願明細書で言う「鉛直」とは、完全な鉛直に限定されず、鉛直に対して５°以下の範囲で傾斜している場合も含む。

図１に示すロボットシステム１００は、例えば電子部品および電子機器等の対象物を検査する検査工程等で用いられ、対象物の検査を行うことができる装置である。

電子部品は、各種電子機器に用いられる部品であり、例えば、ダイオードやトランジスタ等の能動部品、コンデンサ等の受動部品、パッケージや基板等の機能部品、および、これらを組み合わせた部品（例えば、ＧＰＳ（Global Positioning System）モジュール基板、ＳｉＰ（System in Package）デバイス）等が挙げられる。また、電子機器としては、例えば、パソコン、携帯電話（多機能型携帯電話（スマートフォン）を含む）、時計（例えば、ＧＰＳ機能付き時計等）、カメラ、ゲーム機等が挙げられる。また、対象物の検査としては、例えば、音声検査、画像検査、導通検査（電気的な検査）、通信検査、外観検査、バイブレーター、センサー等の各部の駆動状態を確認する機能検査等が挙げられる。

図１に示すように、ロボットシステム１００は、ベース部材２１と、カバー部材２２（安全カバー）と、供給装置３（作業装置）と、検査装置４と、ロボット１と、移動機構５と、を有する。本実施形態のロボットシステム１００では、供給装置３とロボット１と検査装置４とが、この順に＋Ｘ軸方向側から−Ｘ軸方向側に向かって並んでいる。また、移動機構５は、ロボット１とベース部材２１との間に設けられていて、ロボット１を下方から支持している。

以下、ロボットシステム１００が有する各部を順次説明する。
＜ベースおよびカバー部材＞
ベース部材２１は、供給装置３、検査装置４、ロボット１および移動機構５を支持し、カバー部材２２は、供給装置３、検査装置４、ロボット１および移動機構５を保護する機能を有する。

図１に示すように、ベース部材２１の上面には、供給装置３と、検査装置４と、ロボット１を支持している移動機構５とが設置されている。そして、供給装置３、検査装置４、ロボット１および移動機構５を覆うようにカバー部材２２がベース部材２１の上方に設けられている。これにより、ベース部材２１とカバー部材２２とで囲まれた空間Ｓ１内に、供給装置３、検査装置４、ロボット１および移動機構５が収納されている。なお、図１では、カバー部材２２の−Ｙ軸方向側の部分（面）を省略して図示している。

また、カバー部材２２には、図示はしないが、供給装置３、検査装置４、ロボット１および移動機構５にアクセスすることができる扉等が設けられている。例えば、カバー部材２２の＋Ｘ軸方向側には、供給装置３にアクセスすることができる扉等が設けられている。

＜供給装置＞
供給装置３は、例えば作業者によって対象物が供給される機器である。また、供給装置３は、供給された対象物を載せて置く載置装置でもあり、また、供給部３１は、対象物を収納する収納する収納機器としても機能している。

図１に示すように、供給装置３は、Ｙ軸方向に沿って並ぶ複数（本実施形態では３つ）の供給部３１（作業部）を有している。複数の供給部３１は、それぞれ、Ｚ軸方向に沿って積み重ねられた複数の供給板３２を有している。この供給板３２上には、複数の対象物を載置することができ、供給板３２の上面は、複数の対象物を載置する載置面３２１として機能している。

複数の供給板３２は、着脱可能になっていて、作業者は、例えばカバー部材２２の＋Ｘ軸方向側に設けられた扉（図示せず）から供給板３２を供給部３１内に設置したり、供給部３１から供給板３２を取り出したりすることができる。

また、本実施形態では、＋Ｙ軸方向側の供給部３１には、ツールチェンジャー３３が設けられている。ツールチェンジャー３３は、後述するロボット１に取り付けられる各種エンドエフェクターが用意されている。

以上、供給装置３について説明した。なお、本実施形態では、供給装置３は、ベース部材２１に固定して設けられているが、供給装置３は、例えばＹ軸方向に沿って移動可能なコンベアー（図示せず）を備えた構成であってもよく、供給装置３は、空間Ｓ１内外を移動できるように構成されていてもよい。

＜検査装置＞
検査装置４（載置装置）は、対象物を載置でき、載置された対象物を検査する機器である。

検査装置４は、対象物を検査する複数の検査部４１と、各検査部４１を制御する図示しない検査部制御装置と、を備えている。検査部制御装置は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）が内蔵されたパーソナルコンピューター（ＰＣ）等で構成することができる。なお、検査部制御装置は、検査装置４に内蔵されていてもよいし、また、検査装置４とは別体であってもよい。

図１に示すように、複数の検査部４１は、Ｙ軸方向（水平方向においてロボット１と検査装置４との並び方向とは異なる方向）およびＺ軸方向に沿って並んだ行列状に設けられている。すなわち、Ｚ軸方向に沿って並んだ複数（本実施形態では６つ）の検査部４１を有する検査列４０が、Ｙ軸方向に沿って複数（本実施形態では３つ）並んでいる。

このように、検査装置４は、複数の検査部４１がＹ軸方向（水平方向）に沿って並ぶだけでなく、Ｚ軸方向（鉛直方向）に沿って積層されている。このため、Ｚ軸方向に沿って積層した検査部４１の数分だけ、検査装置４のＸＹ平面における検査装置４の設置面積を小さくすることができる。

また、複数の検査部４１は、それぞれ、＋Ｘ軸方向側に開口した検査室（凹部）を有し、検査室内には載置板４２が設けられている。載置板４２は、検査部制御装置の制御により、検査室内からロボット１側に突出したり、検査室内に退避したりする。すなわち、載置板４２は、Ｘ軸方向に沿って移動可能になっている。

載置板４２の上面は、ＸＹ平面に平行で、対象物を載置することができる載置面４２１である。載置面４２１に載置された対象物は、載置板４２が検査室内に退避している状態で検査部４１にて検査される。

このような複数の検査部４１では、対象物に対してそれぞれ異なる内容の検査が行われる。すなわち、本実施形態のロボットシステム１００では、検査部４１の数に応じた数の複数の検査を対象物に対して行うことが可能である。

以上、検査装置４について説明した。なお、本実施形態では、載置板４２は、ＸＹ平面に平行な載置面４２１を有する板状の部材であったが、載置板４２の構成は、対象物を支持または載置することができる構成であれば、特に限定されない。例えば、載置板４２は、対象物を挟持することにより対象物を支持する構成であってもよい。

また、本実施形態では、検査装置４は、１８個の検査部４１を有しているが、検査部４１の数は、複数であればよく、任意である。また、本実施形態では、１８個の検査部４１が、Ｚ軸方向に６行、Ｙ軸方向に３列の行列状に配置されているが、検査部４１の行および列のそれぞれの数は、任意である。

また、本実施形態では、載置板４２は、検査部制御装置の制御により移動するよう構成されているが、例えば載置板４２を移動させるレバー（図示せず）を検査装置４に設け、このレバーを作業者やロボット１が操作するように構成されていてもよい。

＜ロボット＞
ロボット１は、対象物の給材、除材および搬送等の作業を行うことができ、例えば、供給装置３から対象物を選定して給材し、その対象物を検査装置４に搬送し、検査装置４に対象物を載置することができる。

図２に示すように、ロボット１は、基台１１と、ロボットアーム１０と、を有している。ロボットアーム１０は、第１アーム１２（第ｎアーム）、第２アーム１３（第（ｎ＋１）アーム）、第３アーム１４、第４アーム１５、第５アーム１６および第６アーム１７（６つのアーム）と、を備えている。すなわち、ロボット１は、基台１１と、第１アーム１２と、第２アーム１３と、第３アーム１４と、第４アーム１５と、第５アーム１６と、第６アーム１７とが基端側から先端側に向かってこの順に連結された垂直多関節（６軸）ロボットである。第６アーム１７の先端には、図１に示すように、対象物を把持するハンド９１等のエンドエフェクターを着脱可能に取り付けることができるようになっている。また、図２に示すように、ロボット１は、第１駆動源４０１、第２駆動源４０２、第３駆動源４０３、第４駆動源４０４、第５駆動源４０５および第６駆動源４０６（６つの駆動源）と、を備えている。

また、ロボット１は、ロボットアーム１０の先端部に設けられた撮像部１９２および力検出器１９３を有している。

また、ロボット１は、ロボット１の各部の作動を制御する図示しないロボット制御装置（制御部）を備えている。このロボット制御装置は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）が内蔵されたパーソナルコンピューター（ＰＣ）等で構成することができる。なお、ロボット制御装置は、ロボット１に内蔵されていてもよいし、また、ロボット１とは別体であってもよい。

なお、以下では、第１アーム１２、第２アーム１３、第３アーム１４、第４アーム１５、第５アーム１６および第６アーム１７をそれぞれ「アーム」とも言う。また、第１駆動源４０１、第２駆動源４０２、第３駆動源４０３、第４駆動源４０４、第５駆動源４０５および第６駆動源４０６をそれぞれ「駆動源（駆動部）」とも言う。

（基台）
図２に示すように、基台１１は、本実施形態のような所謂床置き型の垂直多関節ロボットであるロボット１の最も下方に位置し、移動機構５に固定される部分（取り付けられる部材）である。また、本実施形態では、基台１１は、その上部に設けられた板状のフランジ１１１を有している。また、基台１１の下方には、各種配線等を接続するコネクタ１９１（接続部）が設けられている。

（ロボットアーム）
図２に示すロボットアーム１０は、基台１１に対して回動可能に支持されており、アーム１２〜１７は、それぞれ、基台１１に対し独立して変位可能に支持されている。

第１アーム１２は、湾曲または屈曲した形状をなしている。第１アーム１２は、基台１１に設けられ、水平方向（第１方向）に延びる第１部分１２１と、第２アーム１３に設けられ、垂直方向（第１方向とは異なる第２方向）に延びる第２部分１２２と、第１部分１２１と第２部分１２２との間に位置し、水平方向および垂直方向に対して傾斜した方向（第１方向および第２方向とは異なる方向）に延びる第３部分１２３と、を有している。より具体的には、第１アーム１２は、基台１１に接続され、基台１１から鉛直方向上方に延出してから水平方向に延出した第１部分１２１と、第１部分１２１の基台１１との接続部とは反対側の端部から第１部分１２１と遠ざかる方向へ傾斜しながら鉛直方向上方に延出した第３部分１２３と、第３部分１２３の先端から鉛直方向上方に延出した第２部分１２２と、を有している。なお、これら第１部分１２１、第２部分１２２および第３部分１２３は、一体で形成されている。また、第１部分１２１と第２部分１２２とは、図２の紙面手前から見て（後述する第１回動軸Ｏ１および第２回動軸Ｏ２の双方と直交する正面視で）、ほぼ直交（交差）している。

第２アーム１３は、長手形状をなし、第１アーム１２の先端部（第２部分１２２の第３部分１２３とは反対の端部）に接続されている。

第３アーム１４は、長手形状をなし、第２アーム１３の第１アーム１２が接続されている端部とは反対の端部に接続されている。第３アーム１４は、第２アーム１３に接続され、第２アーム１３から水平方向に延出した第１部分１４１と、第１部分１４１から鉛直方向に延出した第２部分１４２と、を有している。なお、これら第１部分１４１および第２部分１４２は、一体で形成されている。また、第１部分１４１と第２部分１４２とは、図２の紙面手前から見て（後述する第３回動軸Ｏ３および第４回動軸Ｏ４の双方と直交する正面視で）、ほぼ直交（交差）している。

第４アーム１５は、第３アーム１４の第２アーム１３が接続されている端部とは反対の端部に接続されている。第４アーム１５は、互いに対向する１対の支持部１５１、１５２を有している。支持部１５１、１５２は、第５アーム１６との接続に用いられる。

第５アーム１６は、支持部１５１、１５２の間に位置し、支持部１５１、１５２に接続されることで第４アーム１５と連結している。なお、第４アーム１５は、この構造に限らず、例えば、支持部が１つ（片持ち）であってもよい。

第６アーム１７は、平板状をなし、第５アーム１６の先端部に接続されている。また、第６アーム１７の先端部（第５アーム１６と反対側の端部）には、ハンド９１が着脱可能に装着される（図１参照）。図１に示すように、本実施形態では、ハンド９１としては、対象物を把持することができる２本の指部を有する構成のものを用いている。なお、本実施形態では、エンドエフェクターとしてハンド９１を用いているが、エンドエフェクターとしては、対象物を、例えば、把持、吸着、支持等をすることができれば、いかなる構成であってもよい。

なお、前述した各アーム１２〜１７の外装（外形を構成する部材）は、それぞれ、１つの部材で構成されていてもよいし、複数の部材で構成されていてもよい。

次に、図３を参照しつつ、アーム１２〜１７の駆動とともに駆動源４０１〜４０６について説明する。

図３に示すように、基台１１と第１アーム１２とは、関節（接続部分）１７１を介して連結されている。なお、関節１７１は、基台１１に含まれていてもよく、また、含まれていなくてもよい。

関節１７１は、基台１１に連結された第１アーム１２を基台１１に対し回動可能に支持する機構を有している。これにより、第１アーム１２は、基台１１に対し、鉛直方向と平行な第１回動軸Ｏ１（第ｎ回動軸）を中心に（第１回動軸Ｏ１周りに）回動可能となっている。また、第１回動軸Ｏ１は、ロボット１の最も上流側にある回動軸である。この第１回動軸Ｏ１周りの回動は、モーター４０１Ｍを有する第１駆動源４０１の駆動によりなされる。また、モーター４０１Ｍは、ケーブル（図示せず）を介してモータードライバー３０１に電気的に接続されていて、モータードライバー３０１を介して制御部（図示せず）により制御される。なお、第１駆動源４０１はモーター４０１Ｍとともに設けた減速機（図示せず）によってモーター４０１Ｍからの駆動力を伝達するように構成してもよく、また、減速機が省略されていてもよい。

また、第１アーム１２と第２アーム１３とは、関節（接続部分）１７２を介して連結されている。関節１７２は、互いに連結された第１アーム１２と第２アーム１３のうちの一方を他方に対し回動可能に支持する機構を有している。これにより、第２アーム１３は、第１アーム１２に対し、鉛直方向と平行な第２回動軸Ｏ２（第（ｎ＋１）回動軸）を中心に（第２回動軸Ｏ２周りに）回動可能となっている。第２回動軸Ｏ２は、第１回動軸Ｏ１と直交している。この第２回動軸Ｏ２周りの回動は、モーター４０２Ｍを有する第２駆動源４０２の駆動によりなされる。また、モーター４０２Ｍは、ケーブル（図示せず）を介してモータードライバー３０２に電気的に接続されていて、モータードライバー３０２を介して制御部（図示せず）により制御される。なお、第２駆動源４０２はモーター４０２Ｍとともに設けた減速機（図示せず）によってモーター４０２Ｍからの駆動力を伝達するように構成してもよく、また、減速機が省略されていてもよい。また、第２回動軸Ｏ２は、第１回動軸Ｏ１に直交する軸と平行であってもよく、また、第２回動軸Ｏ２は、第１回動軸Ｏ１と直交していなくても、軸方向が互いに異なっていればよい。

また、第２アーム１３と第３アーム１４とは、関節（接続部分）１７３を介して連結されている。関節１７３は、互いに連結された第２アーム１３と第３アーム１４のうちの一方を他方に対し回動可能に支持する機構を有している。これにより、第３アーム１４は、第２アーム１３に対して、水平方向と平行な第３回動軸Ｏ３を中心に（第３回動軸Ｏ３周りに）回動可能となっている。第３回動軸Ｏ３は、第２回動軸Ｏ２と平行である。この第３回動軸Ｏ３周りの回動は、モーター４０３Ｍを有する第３駆動源４０３の駆動によりなされる。また、モーター４０３Ｍは、ケーブル（図示せず）を介してモータードライバー３０３を介して電気的に接続されていて、モータードライバー３０３を介して制御部（図示せず）により制御される。なお、第３駆動源４０３はモーター４０３Ｍとともに設けた減速機（図示せず）によってモーター４０３Ｍからの駆動力を伝達するように構成してもよく、また、減速機が省略されていてもよい。

また、第３アーム１４と第４アーム１５とは、関節（接続部分）１７４を介して連結されている。関節１７４は、互いに連結された第３アーム１４と第４アーム１５のうちの一方を他方に対し回動可能に支持する機構を有している。これにより、第４アーム１５は、第３アーム１４に対し、第３アーム１４の中心軸方向と平行な第４回動軸Ｏ４を中心に（第４回動軸Ｏ４周りに）回動可能となっている。第４回動軸Ｏ４は、第３回動軸Ｏ３と直交している。この第４回動軸Ｏ４周りの回動は、モーター４０４Ｍを有する第４駆動源４０４の駆動によりなされる。また、モーター４０４Ｍは、ケーブル（図示せず）を介してモータードライバー３０４に電気的に接続されていて、モータードライバー３０４を介して制御部（図示せず）により制御される。なお、第４駆動源４０４はモーター４０４Ｍとともに設けた減速機（図示せず）によってモーター４０４Ｍからの駆動力を伝達するように構成してもよく、また、減速機が省略されていてもよい。また、第４回動軸Ｏ４は、第３回動軸Ｏ３に直交する軸と平行であってもよい、また、第４回動軸Ｏ４は、第３回動軸Ｏ３と直交していなくても、軸方向が互いに異なっていればよい。

また、第４アーム１５と第５アーム１６とは、関節（接続部分）１７５を介して連結されている。関節１７５は、互いに連結された第４アーム１５と第５アーム１６の一方を他方に対し回動可能に支持する機構を有している。これにより、第５アーム１６は、第４アーム１５に対し、第４アーム１５の中心軸方向と直交する第５回動軸Ｏ５を中心に（第５回動軸Ｏ５周りに）回動可能となっている。第５回動軸Ｏ５は、第４回動軸Ｏ４と直交している。この第５回動軸Ｏ５周りの回動は、モーター４０５Ｍを有する第５駆動源４０５の駆動によりなされる。また、モーター４０５Ｍは、ケーブル（図示せず）を介してモータードライバー３０５に電気的に接続されていて、モータードライバー３０５を介して制御部（図示せず）により制御される。なお、第５駆動源４０５はモーター４０５Ｍとともに設けた減速機（図示せず）によってモーター４０５Ｍからの駆動力を伝達するように構成してもよく、また、減速機が省略されていてもよい。また、第５回動軸Ｏ５は、第４回動軸Ｏ４に直交する軸と平行であってもよく、また、第５回動軸Ｏ５は、第４回動軸Ｏ４と直交していなくても、軸方向が互いに異なっていればよい。

また、第５アーム１６と第６アーム１７とは、関節（接続部分）１７６を介して連結されている。関節１７６は、互いに連結された第５アーム１６と第６アーム１７の一方を他方に対し回動可能に支持する機構を有している。これにより、第６アーム１７は、第５アーム１６に対し、第６回動軸Ｏ６を中心に（第６回動軸Ｏ６周りに）回動可能となっている。第６回動軸Ｏ６は、第５回動軸Ｏ５と直交している。この第６回動軸Ｏ６周りの回動は、モーター４０６Ｍを有する第６駆動源４０６の駆動によりなされる。また、モーター４０６Ｍは、ケーブル（図示せず）を介してモータードライバー３０６に電気的に接続されていて、モータードライバー３０６を介して制御部（図示せず）により制御される。なお、第６駆動源４０６はモーター４０６Ｍとともに設けた減速機（図示せず）によってモーター４０６Ｍからの駆動力を伝達するように構成してもよく、また、減速機が省略されていてもよい。また、第６回動軸Ｏ６は、第４回動軸Ｏ４に直交する軸と平行であってもよく、また、第６回動軸Ｏ６は、第５回動軸Ｏ５に直交する軸と平行であってもよく、また、第６回動軸Ｏ６は、第５回動軸Ｏ５と直交していなくても、軸方向が互いに異なっていればよい。

そして、このような駆動をするロボット１は、第６アーム１７の先端部に接続されたハンド９１で対象物を把持したまま、各アーム１２〜１７等の動作を制御することにより、対象物の搬送等の作業を行うことができる。なお、ハンド９１の駆動は、ロボット制御装置により制御される。

（撮像部）
撮像部１９２は、例えば、ハンド９１によって把持する対象物や、検査部４１および供給部３１等を撮像する機能を有する。

撮像部１９２は、例えばＣＣＤ等の撮像素子を備えており、図２に示すように、第５アーム１６の先端方向を撮像することができるように第５アーム１６に取り付けられている。また、撮像部１９２により撮像させた撮像データは、ロボット制御装置に入力される。

このような撮像部１９２によって、例えば対象物や検査部４１等を撮像し、その撮像データに基づき、ロボット１は、ハンド９１によって供給板３２から目的の対象物を的確に選定して給材することができる。また、対象物の外形及び位置を計測することにより周辺部品と干渉なく正確な位置に給材することができる。さらに、その給材した対象物を所定の載置面４２１上に載置したりする作業を的確に行うことができる。

（力検出器）
力検出器１９３は、ハンド９１が受ける外力を検出する機能を有する。

図２に示すように、力検出器１９３は、第６アーム１７の先端に設けられている。この力検出器１９３は、例えば、互いに直交する３軸（ｘ軸、ｙ軸、ｚ軸）の各軸方向の力および各軸まわりの力（モーメント）を検出する力覚センサーで構成されており、例えば、受けた外力に応じて電荷を出力する圧電素子（図示せず）を有している。また、力検出器１９３から出力された信号は、ロボット制御装置に入力される。

このような力検出器１９３によって、例えば、対象物に対するハンド９１の接触状態を検出し、その検出結果（信号）に基づき、ロボット１は、ハンド９１によって対象物を的確な把持力で把持等することができる。

以上、ロボット１の簡単な構成について説明した。このような構成のロボット１は、前述したように、６つ（複数）のアーム１２〜１７を有する垂直多関節ロボットであるため、駆動範囲が広く、高い作業性を発揮することができる。

例えば、ロボット１は、複数のアーム１２〜１７を有するため、ロボットアーム１０の先端の姿勢を任意に変更することができる。そのため、ロボット１は、対象物の形状や配置等に応じて、ロボットアーム１０の先端の姿勢を任意に変更することで、ハンド９１によって目的の対象物を供給部３１から選定して給材したり、目的の検査部４１に対象物を載置したりする作業等を行うことができる。

また、ロボット１は、複数のアーム１２〜１７を有することで、ロボットアーム１０の先端をＸＹ平面に平行な方向（水平方向）およびＺ軸方向（鉛直方向）のそれぞれの方向に沿って移動させることができる。このため、ロボット１は、ＸＹ平面に平行な方向およびＺ軸方向のそれぞれの方向に沿って複数並んだ検査部４１に対してロボットアーム１０の先端を接近させることができる。そのため、ロボット１は、ハンド９１によって、より多くの検査部４１に対して対象物を配置することができる。

また、前述したように、ロボット１は、第１アーム１２の基端側が基台１１に取り付けられており、これにより、各アーム１２〜１７を基台１１に対して回動させることができる。そして、本実施形態では、ロボット１は、所謂床置き型のロボットであるため、ロボット１よりも鉛直方向上方側におけるロボット１の作業範囲をより広くすることができる。

次に、図４〜図１１を参照しつつ、ロボット１が有する各アーム１２〜１７の関係について説明する。

図４は、図１に示すロボットの第１アーム、第２アームおよび第３アームが重なっていない状態の概略側面図である。図５は、図１に示すロボットの第１アーム、第２アームおよび第３アームが重なっている状態の概略側面図である。図６は、図１に示すロボットの動作を説明するための図である。図７は、図６に示すロボットの動作におけるハンドの移動経路を示す図である。図８は、図１に示すロボットの第１アームおよび第３アームが交差している状態の概略側面図である。図９は、図１に示すロボットの第１アームおよび第３アームが重なっている状態の概略側面図である。図１０および図１１は、それぞれ、図１に示すロボットの先端が可動範囲を説明するための図である。

なお、以下の説明では、第３アーム１４、第４アーム１５、第５アーム１６および第６アーム１７については、これらを真っ直ぐに伸ばした状態、換言すれば、図４および図５に示すように、第４回動軸Ｏ４と第６回動軸Ｏ６とが一致しているか、または平行である状態で考えることとする。

まず、図４に示すように、第１アーム１２の長さＬ１は、第２アーム１３の長さＬ２よりも長く設定されている。

ここで、第１アーム１２の長さＬ１とは、第２回動軸Ｏ２の軸方向から見て、第２回動軸Ｏ２と、第１アーム１２を回動可能に支持する軸受部６１（関節１７１が有する部材）の図４中の左右方向に延びる中心線６１１との間の距離である。また、第２アーム１３の長さＬ２とは、第２回動軸Ｏ２の軸方向から見て、第２回動軸Ｏ２と、第３回動軸Ｏ３との間の距離である。

また、図４および図５に示すように、ロボット１は、第２回動軸Ｏ２の軸方向から見て、第１アーム１２と第２アーム１３とのなす角度θを０°にすることが可能なように構成されている。すなわち、ロボット１は、第２回動軸Ｏ２の軸方向から見て、第１アーム１２と第２アーム１３とが重なることが可能なように構成されている。特に、前述したように、第１アーム１２の長さＬ１は、第２アーム１３の長さＬ２よりも長く設定されているため、第２回動軸Ｏ２の軸方向から見て、第１アーム１２と第２アーム１３とが重なった場合、第２アーム１３が第１アーム１２に干渉しないように構成されている。

ここで、前記第１アーム１２と第２アーム１３とのなす角度θとは、第２回動軸Ｏ２の軸方向から見て、第２回動軸Ｏ２と第３回動軸Ｏ３とを通る直線６２１（第２回動軸Ｏ２の軸方向から見た場合の第２アーム１３の中心軸）と、第１回動軸Ｏ１とのなす角度である（図４参照）。

また、図５に示すように、ロボット１は、第２回動軸Ｏ２の軸方向から見て、第２アーム１３と、第３アーム１４とが重なることが可能なように構成されている。したがって、ロボット１は、第２回動軸Ｏ２の軸方向から見て、第１アーム１２と、第２アーム１３と、第３アーム１４とが同時に重なることが可能なように構成されている。

また、図４に示すように、第３アーム１４、第４アーム１５および第５アーム１６の合計の長さＬ３は、第２アーム１３の長さＬ２よりも長く設定されている。これにより、図５に示すように、第２回動軸Ｏ２の軸方向から見て、第２アーム１３と第３アーム１４とを重ねたとき、第２アーム１３からロボットアーム１０の先端、すなわち、第６アーム１７の先端を突出させることができる。これによって、ハンド９１が、第１アーム１２および第２アーム１３と干渉することを防止することができる。

ここで、第３アーム１４、第４アーム１５および第５アーム１６の合計の長さＬ３とは、第２回動軸Ｏ２の軸方向から見て、第３回動軸Ｏ３と第５回動軸Ｏ５との間の距離である（図４参照）。この場合、第３アーム１４、第４アーム１５および第５アーム１６は、図４に示すような第４回動軸Ｏ４と第６回動軸Ｏ６とが一致しているか、または平行である状態である。

このようなロボットアーム１０を有するロボット１では、上記のような関係を満たすことにより、図６に示すように、第１アーム１２を回動させずに、第２アーム１３、第３アーム１４を回動させることにより、第２回動軸Ｏ２の軸方向から見て第１アーム１２と第２アーム１３とのなす角度θが０°となる状態（第１アーム１２と第２アーム１３とが重なった状態）を経て、ロボットアーム１０の先端を第１回動軸Ｏ１周りに１８０°異なる位置に移動させることができる。

このようなロボットアーム１０の駆動により、ロボット１は、図７に示すように、ハンド９１を矢印６４、６５で示すように移動させる動作を行わずに、ロボットアーム１０の先端およびハンド９１を矢印６３で示すように移動させる動作を行うことができる。すなわち、ロボット１は、第１回動軸Ｏ１の軸方向から見て、ロボットアーム１０の先端およびハンド９１を直線上に移動させる動作を行うことができる。これより、ロボット１が干渉しないようにするための空間を小さくすることができる。このため、ロボットシステム１００の設置面積Ｓを比較的小さくすることができる。

具体的には、ロボットシステム１００の設置面積Ｓは、０．５ｍ^２以上、４ｍ^２以下であるのが好ましく、１．０ｍ^２以上、３．５ｍ^２以下あるのがより好ましく、１．５ｍ^２以上、３．０ｍ^２以下あるのがさらに好ましい。

このような比較的小さな設置面積Ｓであっても、ロボットシステム１００は、ロボット１が対象物を載置できる載置面４２１の数を十分に確保することができる。すなわち、検査部４１の数（検査項目の数）を十分に確保することができる。

一方、上記下限値未満であると、例えばハンド９１の形状やロボット１の動作モード等によっては、ロボット１の動作時に、ロボット１が供給装置３や検査装置４に干渉するおそれがある。また、上記上限値を超えると、ロボットシステム１００が過剰に大型になり、ロボットシステム１００を設置することができる場所が限定される可能性がある。

また、前述したように、ロボット１が、第１回動軸Ｏ１の軸方向から見て、ロボットアーム１０の先端およびハンド９１を直線上に移動させる動作を行うことができるため、ロボットシステム１００の高さ（垂直方向に沿った高さ）を比較的小さくすることができる。

また、ロボット１は、第１回動軸Ｏ１の軸方向から見て、ハンド９１を直線上に移動させる動作が可能であるため、ハンド９１を第１回動軸Ｏ１周りに１８０°異なる位置に移動させる際、例えば、前述したように第１アーム１２を回動させないか、または、第１アーム１２の回動角（回動量）を小さくすることができる。このように、第１アーム１２の第１回動軸Ｏ１周りの回動角を小さくすることで、第１回動軸Ｏ１の軸方向から見て、基台１１よりも外側に張り出している部分（第２部分１２２および第３部分１２３）を有する第１アーム１２の回動を小さくすることができるため、ロボット１が例えば供給装置３、検査装置４およびカバー部材２２等に干渉することを防止または低減することができる。

また、ロボット１は、第１回動軸Ｏ１の軸方向から見て、ハンド９１を直線上に移動させる動作が可能であるため、ロボット１の動きを少なくすることができ、例えば供給装置３から検査装置４にハンド９１を効率良く移動させることができる。そのため、タクトタイムを短縮することができ、作業効率を向上させることができる。

また、ロボット１は、第１回動軸Ｏ１の軸方向から見て、ハンド９１を直線上に移動させる動作が可能であるため、ロボット１の動きを把握し易い。

ここで、ロボット１が、ハンド９１を第１回動軸Ｏ１周りに１８０°異なる位置に移動させる際、従来のロボットのように単純に第１アーム１２を第１回動軸Ｏ１周りに回動させると、ロボット１が例えば供給装置３、検査装置４およびカバー部材２２等に干渉するおそれがある。そのため、ロボット１と供給装置３、検査装置４およびカバー部材２２等との干渉を回避するための退避点をロボット１に教示する必要がある。例えば、図１に示すように、ハンド９１が検査装置４側に位置している状態から、第１アーム１２のみを第１回動軸Ｏ１周りに９０°回転させたとき、ロボット１がＹ軸側のカバー部材２２に干渉する場合には、ロボット１がカバー部材２２に干渉しないよう、多数の退避点をロボット１に教示する必要がある。このように従来のロボットのように第１アーム１２を第１回動軸Ｏ１周りに回動させると、多数の退避点を教示することが必要であり、膨大な数の退避点が必要になり、教示に多くの手間および長い時間を要する。

これに対し、ロボット１では、ハンド９１を第１回動軸Ｏ１周りに１８０°異なる位置に移動させる際、第１回動軸Ｏ１の軸方向から見て、ハンド９１を直線上に移動させる動作が可能であることで、干渉するおそれがある領域を非常に少なくすることができる。このため、教示する退避点の数を低減することができ、教示に要する手間および時間を低減することができる。すなわち、ロボット１では、教示する退避点の数は、例えば、従来のロボットの１／３程度になり、飛躍的に教示が容易になる。

また、ロボット１では、第３アーム１４および第４アーム１５の図２中の左側の二点鎖線で囲まれた領域（部分）１０５は、ロボット１がロボット１自身および他の部材と干渉しないか、または干渉し難い領域（部分）である。このため、領域１０５に、所定の部材を搭載した場合、その部材は、ロボット１および周辺装置等に干渉し難い。このため、ロボット１では、領域１０５に、所定の部材を搭載することが可能である。特に、領域１０５のうち、第３アーム１４の図２中の左側の領域に前記所定の部材を搭載する場合は、その部材が供給装置３および検査装置４等と干渉する確率はさらに低くなるので、より効果的である。

領域１０５に搭載可能なものとしては、例えば、前述した撮像部１９２の駆動を制御する制御装置や、吸着機構の電磁弁等が挙げられる。例えば、ハンド９１の代わりに例えば吸着機構を有するエンドエフェクターを設ける場合に、その吸着機構の電磁弁等を領域１０５に設置すると、ロボット１が駆動する際に前記電磁弁が邪魔にならない。このように、領域１０５は、利便性が高い。

また、ロボット１では、基台１１と第１アーム１２との間において、図２中の右側の二点鎖線で囲まれた領域（部分）１０６も、前述した領域１０５と同様、ロボット１がロボット１自身および他の部材と干渉しないか、または干渉し難い領域（部分）である。この領域１０６は、第１アーム１２が、第３部分１２３を有する構成であることによる。

また、図８に示すように、ロボット１は、第３回動軸Ｏ３の軸方向から見て、第１アーム１２と、第３アーム１４、第４アーム１５および第５アーム１６のうちの少なくとも１つのアームとが交差することが可能なように構成されている。

また、図９に示すように、ロボット１は、第３回動軸Ｏ３の軸方向から見て、第１アーム１２と、第３アーム１４、第４アーム１５および第５アーム１６のうちの少なくとも１つのアームとが重なることが可能なように構成されている。

このように、ロボット１は、第２回動軸Ｏ２の軸方向から見て、第１アーム１２に対して第３アーム１４、第４アーム１５および第５アーム１６のうちの少なくとも１つのアームを交差させたり重ねたりすることができる。これにより、ロボットアーム１０の先端を第２回動軸Ｏ２に近づけることができる。そのため、基台１１と第２回動軸Ｏ２との間の領域におけるロボット１の作業範囲を広くすることができる。

また、図１０および図１１に示すように、ロボット１は、球面状をなす仮想面Ｃ１上に沿って、ロボットアーム１０の先端部を移動させることができる。なお、図１０は、ロボット１の側面図を示し、図１１はロボット１の下面図を示している。

仮想面Ｃ１は、第１回動軸Ｏ１と第２回動軸Ｏ２との交点Ｐを中心とする球面であって、交点Ｐと第５回動軸Ｏ５との間の距離を最も離間させた状態（図１０および図１１の２点鎖線で示されたロボット１の状態）で、ロボットアーム１０を駆動したときの第５回動軸Ｏ５の描く軌跡の集合体により形成された面である。したがって、この仮想面Ｃ１は、ロボットアーム１０の先端部（具体的には、第５回動軸Ｏ５）の最大可動域を示す。

また、図１０および図１１に示すように、ロボット１は、球面状をなす仮想面Ｃ２上に沿ってロボットアーム１０の先端部を移動させることができる。

仮想面Ｃ２は、交点Ｐを中心とする球面であって、交点Ｐと第５回動軸Ｏ５との間の距離を最も近づけた状態（図１０および図１１の実線で示されたロボット１の状態）で、ロボットアーム１０を駆動したときの第５回動軸Ｏ５の描く軌跡の集合体により形成された面である。したがって、この仮想面Ｃ２は、ロボットアーム１０の先端部（具体的には、第５回動軸Ｏ５）の最小可動域を示す。

そして、前述したように、ロボット１は、図４、図５、図８および図９に示すような各種姿勢をとることが可能である。そのため、前述した最大可動域と最小可動域との間の範囲内にロボットアーム１０の先端部を移動させることができる。したがって、ロボットアーム１０の先端部の可動範囲は、仮想面Ｃ１と仮想面Ｃ２との間の空間Ｓ２である。なお、厳密には、ロボットアーム１０が基台１１に干渉しないよう、ロボットアーム１０の先端部の可動範囲は、空間Ｓ２のうちの基台１１を除く範囲である。

このように、ロボット１は、交点Ｐを中心としてほぼ球状にロボットアーム１０の先端部を移動させることができる。

＜移動機構５＞
図１に示す移動機構５は、ロボット１をＹ軸方向に沿って往復移動可能に支持する機能を有する。

移動機構５は、例えば、基台１１を取り付けるための板状の取付部５０と、取付部５０をＹ軸方向に沿って往復移動させる走行軸５５と、走行軸５５を駆動させる駆動源（図示せず）と、移動機構５の各部を制御する移動機構制御装置（図示せず）と、を有している。

駆動源としては、例えば、サーボモーター、ステッピングモーター、リニアモーター等のモーターや、油圧シリンダー、空気圧シリンダー等を備えるものが挙げられる。

このような移動機構５によって、ロボット１はＹ軸方向に沿って移動できるため、ロボット１は、水平方向に沿って広範囲にわたって設けられている複数の検査部４１および複数の供給部３１において作業することができる。

また、前述したように、ロボット１が、第２回動軸Ｏ２の軸方向から見て、第１アーム１２と第２アーム１３とが重なることが可能な構成であるため、ロボット１は、基台１１に対するロボットアーム１０の重心位置の偏心量を小さくできる。その結果、ロボットアーム１０にかかるヨーイング、ピッチングおよびローリング方向の負荷を小さくすることができる。そのため、取付部５０にかかる負荷を小さくできるので、取付部５０を支持する走行軸５５を小さくすることができる。
以上、ロボットシステム１００の構成について説明した。

次に、ロボットシステム１００におけるロボット１の作業の一例について図１２〜図１４を参照しつつ説明する。

図１２〜図１４は、それぞれ、図１に示すロボットの作業の一例を説明するための図である。

なお、以下のロボット１の作業に際し、作業者は、予め、ロボット１が行う作業内容や、ロボット１に対する各検査部４１や各供給部３１の位置をロボット１にティーチングしておく。

まず、図１２に示すように、ロボット１は、供給板３２上に載置された対象物６０を供給部３１の上方からハンド９１により把持し、供給部３１から目的の対象物６０を選定し、給材する。この際、ロボット１は、撮像部１９２からの撮像データや力検出器１９３からの信号を基にしてロボットアーム１０およびハンド９１を駆動させる。これにより、ロボット１は、目的の対象物を的確に選定したり、目的の対象物を的確な把持力で把持することができる。以下、ロボット１の各作業においても、同様のことが言える。

次に、ロボット１は、第２アーム１３および第３アーム１４をそれぞれ回動させることにより、第２回動軸Ｏ２の軸方向から見て第１アーム１２と第２アーム１３とが重なった状態を経て、ハンド９１を第１回動軸Ｏ１周りに１８０°異なる位置に移動させる。これにより、ロボット１は、対象物６０を供給部３１から検査部４１に搬送する。

次に、図１３に示すように、検査装置４は、載置板４２を検査室内から突出させ、ロボット１は、載置板４２の載置面４２１上に対象物６０を載置する。その後、検査装置４は、載置板４２を検査室内に退避させ、検査部４１にて対象物６０の検査をする。対象物６０の検査が終了したら、検査装置４は、載置板４２を再び検査室内から突出させる。その後、ロボット１は、載置面４２１上に対象物６０をハンド９１により把持する。

次に、図１４に示すように、ロボット１は、検査部４１から当該検査部４１とは異なる検査部４１に対象物６０を搬送する。次いで、上述したことと同様にして、ロボット１は、載置板４２の載置面４２１上に対象物６０を載置し、その後、検査部４１は、対象物６０の検査をする。

このようにして、ロボット１によって対象物６０が各検査部４１に搬送され、各検査部４１によって対象物が検査される。

そして、各検査が終了したら、ロボット１は、再び、供給部３１に対象物６０を搬送する。

以上のように、ロボット１によって搬送等の作業が行われることで、ロボットシステム１００において対象物６０の複数の検査を行うことができる。

前述したように、本実施形態のロボット１は、第２回動軸Ｏ２から見て第１アーム１２と第２アーム１３とが重なることが可能であるため、第１回動軸Ｏ１の軸方向から見て、ハンド９１を直線上に移動させる動作が可能である。このため、検査装置４に対するロボット１の距離が比較的近い場合であっても、ロボット１は、ロボットアーム１０が検査装置４に干渉することを回避しつつ、ハンド９１によってＺ軸方向に並んだ比較的多くの検査部４１に対して対象物６０を載置する作業等を行うことができる。また、同様に、供給装置３に対するロボット１の距離が比較的近い場合であっても、ロボット１は、ロボットアーム１０が供給装置３に干渉することを回避しつつ、ハンド９１によって供給部３１において対象物６０を選定し給材する作業等を行うことができる。また、供給装置３および検査装置４に対するロボット１のそれぞれの距離が比較的近い場合であっても、カバー部材２２等に干渉することを回避しつつ、供給装置３および検査装置４との間にロボットアーム１０の先端を移動させることができる。

＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態について説明する。

図１５は、本発明の第２実施形態に係るロボットシステムが有するロボットおよび検査装置を示す概略図である。

本実施形態に係るロボットシステムは、検査装置が有する検査部の配置が異なること以外は、前述した第１実施形態と同様である。

なお、以下の説明では、第２実施形態に関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図１５では、前述した実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。

＜検査装置＞
図１５に示すロボットシステム１００Ａが有する検査装置４Ａは、５つの載置列４０Ａを有している。なお、以下では、５つの載置列４０Ａを、−Ｙ軸方向側から＋Ｙ軸方向側に向かって順に、「載置列４０ａ」、「載置列４０ｂ」、「載置列４０ｃ」、「載置列４０ｄ」、「載置列４０ｅ」ということもある。

載置列４０ｂ、載置列４０ｃおよび載置列４０ｄは、それぞれ、Ｚ軸方向に沿って並ぶ
５つの検査部４１を有している。一方、載置列４０ａおよび載置列４０ｅは、それぞれ、Ｚ軸方向に沿って並ぶ３つの検査部４１を有している。このように、検査装置４Ａでは、ロボット１の第１回動軸Ｏ１から最も離間した位置に設けられた載置列４０ａ、４０ｅが有する各検査部４１の数が、ロボット１の第１回動軸Ｏ１に最も近接した位置に設けられた載置列４０ｃが有する各検査部４１の数よりも少ない。

また、載置列４０ａおよび載置列４０ｅがそれぞれ有する３つの検査部４１は、載置列４０ｂ、載置列４０ｃおよび載置列４０ｄの下から２番目から４番目までの３つの検査部４１に対して、Ｙ軸方向に沿って並ぶように配置されている。

ここで、前述したように、ロボット１は、交点Ｐを中心とした球状の空間Ｓ２内においてロボットアーム１０の先端部を移動させることができる。なお、図１５の２点鎖線で示す円Ｃ１’は、ロボット１の可動範囲である球状をなす空間Ｓ２を、検査装置４のロボット１側の面に沿って切断した場合の切断面の外周縁を示している。したがって、Ｘ軸方向から見たとき、ロボット１は、検査装置４に対して、円Ｃ１’内の領域にロボットアーム１０の先端を移動させることができる。このように、上記のようにロボット１の可動範囲に応じた形状に複数の検査部４１を配置することで、ロボットアーム１０の先端の移動可能な範囲に複数の検査部４１を効率よく設置することができる。そのため、小型で、かつ、検査部４１の数の多いロボットシステム１００Ａを実現することができる。

このようなロボットシステム１００Ａによっても、ロボット１が干渉しないようにするための空間を小さくすることができる。

＜第３実施形態＞
次に、本発明の第３実施形態について説明する。

図１６は、本発明の第３実施形態に係るロボットシステムが有するロボットおよび検査装置を示す斜視図である。図１７は、図１６に示すロボットを支持する支持部を説明するための図である。図１８は、図１６に示すロボットを支持する支持部の変形例を説明するための図である。

本実施形態に係るロボットシステムは、検査装置が有する検査部の配置が異なること、および、支持部材を有すること以外は、前述した第１実施形態と同様である。

なお、以下の説明では、第３実施形態に関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図１６〜図１８では、前述した実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。

＜検査装置＞
図１６に示すロボットシステム１００Ｂが有する検査装置４Ｂでは、Ｚ軸方向から見て、複数の検査部４１が円弧状に配置されている。より具体的には、検査装置４Ｂは、２つの検査部４１を有する載置列４０Ｂを複数有し、複数の載置列４０Ｂが、Ｚ軸方向から見て、ロボット１の第１回動軸Ｏ１を中心とした円弧状に配置されている。また、複数の載置列４０Ｂは、それぞれ上側の検査部４１よりも下側の検査部４１の方が＋Ｘ軸方向側に位置している。

ここで、前述したように、ロボット１は、交点Ｐを中心とした球状の空間Ｓ２内においてロボットアーム１０の先端部を移動させることができる。したがって、上記のようにロボット１の可動範囲に応じた円弧状に複数の検査部４１を配置することで、ロボットアーム１０の先端の移動可能な範囲に複数の検査部４１を効率よく設置することができる。そのため、小型で、かつ、検査部４１の数の多いロボットシステム１００Ｂを実現することができる。

＜支持部材＞
図１６に示すように、ロボットシステム１００Ｂは、移動機構５が有する取付部５０に対して基台１１を支持する４つの支持部材５１を有している。

４つの支持部材５１は、それぞれ、横断面が略六角形状をなす棒状の部材である。支持部材５１は、その一端がフランジ１１１の下面の角部に接続され、他端が取付部５０に接続されている。

また、図１７に示すように、各支持部材５１は、基台１１の第１回動軸Ｏ１に沿った長さよりも長く、基台１１と取付部５０とを離間させた状態で基台１１を取付部５０に対して支持している。そして、基台１１と取付部５０との間には、空間Ｓ３が形成されている。これにより、空間Ｓ３に、基台１１に設けられたコネクタ１９１に接続された配線１８等を配置することができ、配線１８が必要以上に屈曲してしまうことを低減することができる。

また、前述した説明では、支持部材５１は、基台１１と取付部５０とを離間させた状態で基台１１を支持しているが、図１８に示すように、支持部材５１は、取付部５０に形成された貫通孔５０１内に基台１１が貫通した状態で、基台１１を取付部５０に対して支持していてもよい。すなわち、このように基台１１を取付部５０に取り付けることで、ロボット１と移動機構５とからなる構造体の低背化を図ることができる。

なお、支持部材５１の形状、配置および数は、取付部５０に対して基台１１を支持することができれば特に限定されない。例えば、各支持部材５１の横断面形状は、円形状や、四角形等の六角形以外の多角形状であってもよい。

このようなロボットシステム１００Ｂによっても、ロボット１が干渉しないようにするための空間を小さくすることができる。

＜第４実施形態＞
次に、本発明の第４実施形態について説明する。

図１９は、本発明の第４実施形態に係るロボットシステムが有する支持部を示す斜視図である。

本実施形態に係るロボットシステムは、支持部材を有すること以外は、前述した第１実施形態と同様である。

なお、以下の説明では、第４実施形態に関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図１９では、前述した実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。

図１９に示すロボットシステム１００Ｃは、移動機構５が有する取付部５０に対して基台１１を支持する２つの支持部材５２を有している。

２つの支持部材５１は、それぞれ、Ｙ軸方向から見て略Ｌ字状に屈曲した板状の部材である。支持部材５１は、取付部５０に取り付けられている部分５２２と、取付部５０からＺ軸方向に沿って延出している部分５２３とを有している。そして、部分５２２の＋Ｚ軸方向側の端部が、フランジ１１１に取り付けられている。

また、各支持部材５２の部分５２３は、基台１１の第１回動軸Ｏ１に沿った長さよりも長く、支持部材５２は、基台１１と取付部５０とを離間させた状態で基台１１を取付部５０に対して支持している。このような支持部材５２によっても、前述した第２実施形態と同様に、基台１１と取付部５０との間に空間を形成することができる。

また、支持部材５２の部分５２３には、その厚さ方向（Ｘ軸方向）に貫通した孔５２１が設けられている。孔５２１を有することで、基台１１のメンテナンス等の際に、基台１１に容易にアクセスすることができる。例えば、基台１１の側方に電池ボックス（図示せず）等が設けられている場合、その電池ボックスの近傍に孔５２１を設けることが好ましい。

なお、前述した説明では、部分５２３に、部分５２３を貫通した孔５２１を設けたが、孔５２１の代わりに、例えば、切り欠きや開閉可能な扉等を設けてもよい。

このようなロボットシステム１００Ｃによっても、ロボット１が干渉しないようにするための空間を小さくすることができる。

＜第５実施形態＞
次に、本発明の第５実施形態について説明する。

図２０は、本発明の第５実施形態に係るロボットシステムが有する支持部を示す斜視図である。

本実施形態に係るロボットシステムは、支持部材の構成が異なること以外は、前述した第４実施形態と同様である。

なお、以下の説明では、第５実施形態に関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図２０では、前述した実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。

図２０に示すロボットシステム１００Ｄは、移動機構５が有する取付部５０に対して基台１１を支持する２つの支持部材５３を有している。

２つの支持部材５３は、それぞれ、Ｙ軸方向から見て略Ｌ字状に屈曲した板状の部材である。支持部材５３は、取付部５０に取り付けられている部分５３２と、部分５３２からＺ軸方向に沿って延出している部分５３３とを有している。そして、部分５３３の＋Ｚ軸方向側の端部の面５３１が、フランジ１１１に取り付けられている。面５３１は、水平面に対して傾斜する方向に沿って切り欠かれることにより形成されている。それゆえ、ロボット１は、支持部材５３によって、第１回動軸Ｏ１水平面に対して傾斜した状態で、取付部５０に取り付けられている。

このように、ロボット１は、支持部材５３の構成に応じた状態で取付部５０に取り付けられる。そのため、取付部５０に対するロボット１の配置（角度等）を考慮した構成の支持部材５３を用いることで、取付部５０に対するロボット１の配置を容易に設定することができる。

このようなロボットシステム１００Ｄによっても、ロボット１が干渉しないようにするための空間を小さくすることができる。

＜第６実施形態＞
次に、本発明の第６実施形態について説明する。
図２１は、本発明の第６実施形態に係るロボットシステムを示す斜視図である。

本実施形態に係るロボットシステムは、ロボットを複数有すること以外は、前述した第１実施形態と同様である。

なお、以下の説明では、第６実施形態に関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図２１では、前述した実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。

図２１に示すロボットシステム１００Ｅは、ロボット１を２つ有している。２つのロボット１は、Ｙ軸方向に沿って並んで設けられていて、それぞれ移動機構５に接続されている。これら２つのロボット１は、それぞれ独立した動作が可能である。さらに、２つのロボット１は、協調して作業を行うことができる。例えば、２つのロボット１は、予め設定されたプログラムに基づき、互いが干渉し合わないタイミングで、互いに異なる対象物の搬送等を行うことができる。また、例えば、２つのロボット１は、一方のロボット１が対象物を把持し、その対象物に対して、他方のロボット１が部品を組み込む作業を行ってもよい。

このように、２つのロボット１を有することで、各ロボット１によって対象物に対する各種作業を行うことができるため、単位時間当たりの作業数が多い（作業効率の高い）ロボットシステム１００を実現することができる。

また、ロボット１が、前述したように、第２回動軸Ｏ２の軸方向から見て、第１アーム１２と第２アーム１３とが重なることが可能なように構成されているため、２つのロボット１同士を近接させて配置しても、互いが干渉することを回避することができる。そのため、２つのロボット１の設置スペースを小さくすることができ、よって、ロボットシステム１００の設置面積を小さくすることができる。

このようなロボットシステム１００Ｅによっても、ロボット１が干渉しないようにするための空間を小さくすることができる。

＜第７実施形態＞
次に、本発明の第７実施形態について説明する。
図２２は、本発明の第７実施形態に係るロボットシステムを示す概略図である。

本実施形態に係るロボットシステムは、ロボットの配置、ロボットを複数有すること、および、検査装置および供給装置のそれぞれの配置や数等が異なること以外は、前述した第１実施形態と同様である。

なお、以下の説明では、第７実施形態に関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図２２では、前述した実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。

図２２に示すロボットシステム１００Ｆでは、２つの検査装置４ａ、４ｂと、供給装置３Ｆと、２つのロボット１ａ、１ｂを有している。

検査装置４ａと、ロボット１ａと、ロボット１ｂと、検査装置４ｂとは、この順に−Ｘ軸側から＋Ｘ軸側に向かって並んでいる。また、供給装置３Ｆは、ロボット１の下方に設けられている。

検査装置４ａ、４ｂは、それぞれ、第１実施形態における検査装置４とロボットシステム１００における配置が異なること以外は、第１実施形態における検査装置４と同様の構成である。

供給装置３Ｆは、３の供給部３１を有し、これら供給部３１が、Ｘ軸方向に並んで設けられている。

ロボット１ａ、１ｂは、それぞれ、天井部１０１（取付部）の天井面１０２に基台１１のフランジ１１１が取り付けられていて、基台１１よりも第１アーム１２が鉛直下方に位置している所謂天吊り型のロボットである。また、ロボット１ａ、１ｂは、所謂天吊り型であること以外、第１実施形態におけるロボット１と同様の構成である。ロボット１ａ、１ｂが所謂天吊り型であることため、ロボット１ａ、１ｂは、それぞれ、鉛直下方における作業範囲をより広くすることができる。

また、２つのロボット１ａ、１ｂは、前述した第６実施形態の２つのロボット１と同様に、それぞれ協調して作業を行うことができ、例えば、ロボット１ａが検査装置４ａと供給装置３Ｆとの間における対象物の搬送を行い、ロボット１ｂが検査装置４ｂと供給装置３Ｆとの間における対象物の搬送を行うことができる。

このようなロボットシステム１００Ｆは、特に、検査時間の比較的長い検査（例えば、数十分程度の時間を要する検査）をする検査部４１を設けた場合に有効である。

なお、例えば、図２２に示すロボットシステム１００Ｆでは、検査装置４ａ、４ｂの代わりに、検査装置４ａ、４ｂの設置された位置に供給装置（作業者によって対象物が供給される備品供給装置）を設け、供給装置３Ｆの代わりに、供給装置３Ｆの位置にロボット１ａ、１ｂが部品等の組立てを行う組立て装置を設けてもよい。すなわち、ロボットシステム１００Ｆを部品の組立てを行う組立てシステムとして用いてもよい。

このようなロボットシステム１００Ｆによっても、ロボット１が干渉しないようにするための空間を小さくすることができる。

＜第８実施形態＞
次に、本発明の第８実施形態について説明する。
図２３は、本発明の第８実施形態に係るロボットシステムを示す概略図である。

本実施形態に係るロボットシステムは、検査装置および供給装置の数や配置等が異なること以外は、前述した第７実施形態と同様である。

なお、以下の説明では、第８実施形態に関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図２３では、前述した実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。

図２３に示すロボットシステム１００Ｇでは、検査装置４Ｇと、２つの供給装置３ａ、３ｂと、２つのロボット１ａ、１ｂを有している。

供給装置３ａと、ロボット１ａと、ロボット１ｂと、供給装置３ｂとは、この順に−Ｘ軸側から＋Ｘ軸側に向かって並んでいる。また、検査装置４Ｇは、ロボット１の下方に設けられている。

検査装置４Ｇは、５つの検査部４１を有し、これら検査部４１が、Ｘ軸方向に並んで設けられている。

供給装置３ａ、３ｂは、それぞれ、第１実施形態における供給装置３とロボットシステム１００における配置が異なる以外、第１実施形態における供給装置３と同様の構成である。

ロボット１ａ、１ｂは、前述した第６実施形態の２つのロボット１と同様に、それぞれ協調して作業を行うことができ、例えば、ロボット１ａが検査装置４Ｇと供給装置３ａとの間における対象物の搬送を行い、ロボット１ｂが検査装置４Ｇと供給装置３ｂとの間における対象物の搬送を行うことができる。

このようなロボットシステム１００Ｇは、特に、検査時間の比較的短い検査（例えば、数分程度の時間を要する検査）をする検査部４１を設けた場合に有効である。

また、このようなロボットシステム１００Ｇによっても、ロボット１が干渉しないようにするための空間を小さくすることができる。

以上、本発明のロボットおよびロボットシステムを、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、本発明は、前記各実施形態のうちの、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。

また、前記実施形態では、ロボットが有するロボットアームの回動軸の数は、６つであるが、本発明では、これに限定されず、ロボットアームの回動軸の数は、例えば、２つ、３つ、４つ、５つまたは７つ以上でもよい。また、前記実施形態では、ロボットが有するアームの数は、６つであるが、本発明では、これに限定されず、ロボットが有するアームの数は、例えば、２つ、３つ、４つ、５つ、または、７つ以上でもよい。

また、前記実施形態では、ロボットが有するロボットアームの数は、１つであるが、本発明では、これに限定されず、ロボットが有するロボットアームの数は、例えば、２つ以上でもよい。すなわち、ロボットは、例えば、双腕ロボット等の複数腕ロボットであってもよい。

また、前記実施形態では、第ｎ回動軸、第ｎアーム、第（ｎ＋１）回動軸、第（ｎ＋１）アームの条件（関係）について、ｎが１の場合、すなわち、第１回動軸、第１アーム、第２回動軸、第２アームにおいて、その条件を満たす場合について説明したが、本発明では、これに限らず、ｎは、１以上の整数であり、ｎが１以上の任意の整数において、前記ｎが１の場合と同様の条件を満たしていればよい。したがって、例えば、ｎが２の場合、すなわち、第２回動軸、第２アーム、第３回動軸、第３アームにおいて、前記ｎが１の場合と同様の条件を満たしていてもよく、また、ｎが３の場合、すなわち、第３回動軸、第３アーム、第４回動軸、第４アームにおいて前記ｎが１の場合と同様の条件を満たしていてもよく、また、ｎが４の場合、すなわち、第４回動軸、第４アーム、第５回動軸、第５アームにおいて前記ｎが１の場合と同様の条件を満たしていてもよく、また、ｎが５の場合、すなわち、第５回動軸、第５アーム、第６回動軸、第６アームにおいて前記ｎが１の場合と同様の条件を満たしていてもよい。

また、前記実施形態では、本発明のロボットシステムが対象物の検査を行うことができる装置である検査装置である場合を例に説明したが、本発明のロボットシステムは、例えば、ロボットが部品の組立てを行う組立てシステムとして用いてもよい。

１…ロボット、１ａ…ロボット、１ｂ…ロボット、３…供給装置、３Ｆ…供給装置、３ａ…供給装置、３ｂ…供給装置、４…検査装置、４Ａ…検査装置、４Ｂ…検査装置、４Ｇ…検査装置、４ａ…検査装置、４ｂ…検査装置、５…移動機構、１０…ロボットアーム、１１…基台、１２…第１アーム、１３…第２アーム、１４…第３アーム、１５…第４アーム、１６…第５アーム、１７…第６アーム、１８…配線、２１…ベース部材、２２…カバー部材、３１…供給部、３２…供給板、３３…ツールチェンジャー、４０…検査列、４０Ａ…載置列、４０Ｂ…載置列、４０ａ…載置列、４０ｂ…載置列、４０ｃ…載置列、４０ｄ…載置列、４０ｅ…載置列、４１…検査部、４２…載置板、５０…取付部、５１…支持部材、５２…支持部材、５３…支持部材、５５…走行軸、６０…対象物、６１…軸受部、６３…矢印、６４…矢印、６５…矢印、９１…ハンド、１００…ロボットシステム、１００Ａ…ロボットシステム、１００Ｂ…ロボットシステム、１００Ｃ…ロボットシステム、１００Ｄ…ロボットシステム、１００Ｅ…ロボットシステム、１００Ｆ…ロボットシステム、１００Ｇ…ロボットシステム、１０１…天井部、１０２…天井面、１０５…領域、１０６…領域、１１１…フランジ、１２１…第１部分、１２２…第２部分、１２３…第３部分、１４１…第１部分、１４２…第２部分、１５１…支持部、１５２…支持部、１７１…関節、１７２…関節、１７３…関節、１７４…関節、１７５…関節、１７６…関節、１９１…コネクタ、１９２…撮像部、１９３…力検出器、３０１…モータードライバー、３０２…モータードライバー、３０３…モータードライバー、３０４…モータードライバー、３０５…モータードライバー、３０６…モータードライバー、３２１…載置面、４０１…第１駆動源、４０１Ｍ…モーター、４０２…第２駆動源、４０２Ｍ…モーター、４０３…第３駆動源、４０３Ｍ…モーター、４０４…第４駆動源、４０４Ｍ…モーター、４０５…第５駆動源、４０５Ｍ…モーター、４０６…第６駆動源、４０６Ｍ…モーター、４２１…載置面、５０１…貫通孔、５２１…孔、５２２…部分、５２３…部分、５３１…面、５３２…部分、５３３…部分、６１１…中心線、６２１…直線、Ｃ１…仮想面、Ｃ１'…円、Ｃ２…仮想面、Ｏ１…第１回動軸、Ｏ２…第２回動軸、Ｏ３…第３回動軸、Ｏ４…第４回動軸、Ｏ５…第５回動軸、Ｏ６…第６回動軸、Ｐ…交点、Ｓ…設置面積、Ｓ１…空間、Ｓ２…空間、Ｓ３…空間、θ…角度、Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３…長さ

Claims (17)

1. 第ｎ（ｎは１以上の整数）回動軸周りに回動可能な第ｎアームと、
   前記第ｎアームに、前記第ｎ回動軸の軸方向とは異なる軸方向である第（ｎ＋１）回動軸周りに回動可能に設けられた第（ｎ＋１）アームと、を有するロボットアームを備え、
   前記第（ｎ＋１）回動軸の軸方向から見て、前記第ｎアームと前記第（ｎ＋１）アームとが重なることが可能であり、
   鉛直方向に並んだ複数の載置部を有する載置装置の前記複数の載置部のそれぞれに対して対象物を載置することが可能であることを特徴とするロボット。
2. 前記第ｎアームの長さは、前記第（ｎ＋１）アームの長さよりも長い請求項１に記載のロボット。
3. 前記載置装置とは異なる位置に設けられている作業装置が有する作業部において作業することが可能である請求項１または２に記載のロボット。
4. 前記ロボットアームの先端は、水平方向および鉛直方向のそれぞれの方向に沿って移動可能である請求項１ないし３のいずれか１項に記載のロボット。
5. 基台を備え、
   前記第ｎアーム（ｎは１である）は、前記基台に前記第ｎ回動軸周りに回動可能に設けられている請求項１ないし４のいずれか１項に記載のロボット。
6. 前記基台は、前記基台を移動可能な移動機構に支持されている請求項５に記載のロボット。
7. 前記ロボットアームには、撮像する機能を有する撮像部が設けられている請求項１ないし６のいずれか１項に記載のロボット。
8. 前記ロボットアームには、力検出器が設けられている請求項１ないし７のいずれか１項に記載のロボット。
9. 請求項１ないし８のいずれか１項に記載のロボットと、
   前記ロボットに対して水平方向に並んで設けられ、鉛直方向に並んだ複数の載置部を有する載置装置と、を備えることを特徴とするロボットシステム。
10. 前記載置装置は、前記対象物を検査する検査部を含む請求項９に記載のロボットシステム。
11. 前記載置装置は、鉛直方向に並んだ複数の前記載置部を有する載置列を複数有し、
    複数の前記載置列は、水平方向において前記ロボットと前記載置装置との並び方向とは異なる方向に沿って並んで設けられており、
    複数の前記載置列のうち、前記第ｎ回動軸から最も離間した位置に設けられた前記載置列が有する前記載置部の数は、前記第ｎ回動軸に最も近接した位置に設けられた前記載置列が有する前記載置部の数よりも少ない請求項９または１０に記載のロボットシステム。
12. 前記載置列は、円弧状に配置されている請求項９ないし１１のいずれか１項に記載のロボットシステム。
13. 前記ロボットを複数有する請求項９ないし１２のいずれか１項に記載のロボットシステム。
14. 前記対象物が供給される供給装置を備える請求項９ないし１３のいずれか１項に記載のロボットシステム。
15. 前記載置装置は、前記対象物を供給する供給装置である請求項９ないし１３のいずれか１項に記載のロボットシステム。
16. 設置面積が、４ｍ^２以下である請求項９ないし１５のいずれか１項に記載のロボットシステム。
17. 設置面積が、０．５ｍ^２以上である請求項９ないし１６のいずれか１項に記載のロボットシステム。

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