TWI506285B - 用於測試分選機的拾取與放置裝置 - Google Patents

Description

用於測試分選機的拾取與放置裝置

本發明涉及一種用於測試分選機的拾取與放置裝置。

了測試電子器件(特別是半導體器件)，需要一種用於測試電子零件的測試器和包括用於電連接電子器件至該測試器的設備的測試分選機。

測試分選機包括測試托盤，其上裝載有矩陣形式的多個半導體器件並同時傳送所有這些半導體器件。

在半導體器件裝載到測試托盤(也被稱為“承載板”)上之後，半導體器件電連接至測試器的測試插座。因此，裝載在測試托盤上的半導體器件之間的距離必須對應於測試器的測試插座之間的距離。

另一方面，在提供給測試分選機之前，待測試的半導體器件被裝載在用戶托盤上。使用者托盤的預期目的是裝載和存儲半導體器件。因此，為了增大用戶托盤的裝載能力，裝載在用戶托盤上的半導體器件之間的距離可小於裝載在測試托盤上的半導體器件之間的距離。

測試分選機設有拾取與放置裝置，其將待測試的半導體器件從用 戶托盤傳輸至測試托盤，或將已在測試托盤上測試的半導體器件傳輸至用戶托盤。另外，因為裝載在用戶托盤上的半導體器件之間的距離不同於裝載在測試托盤上的半導體器件之間的距離，所以測試分選機必須設有當在用戶托盤與測試托盤之間傳輸半導體器件時可調節半導體器件之間的距離的結構。

圖1是示出根據傳統技術的測試分選機的結構的示意性平面圖。

參照圖1，根據傳統技術的測試分選機TH包括測試托盤TT、裝載拾取與放置裝置LH、兩個分類台STa和STb、分類拾取與放置裝置SH、以及卸載拾取與放置裝置UH。

測試托盤TT在迴圈路徑C中迴圈，該迴圈路徑C始於裝載位置LP並經過測試位置TP和卸載位置UP延伸至裝載位置LP。

裝載拾取與放置裝置LH(也被稱為裝載器)用於將已裝載在用戶托盤CT1上的半導體器件裝載至設置在裝載位置LP處的承載板CB。為了增大處理速度，可設有多個裝載拾取與放置裝置LH。在附圖中，示出了設有兩個裝載拾取與放置裝置LH。

每個分類台STa和STb可相對于前向-後向方向(Y軸方向，其他與上述相同)進行步驟往復操作，並以矩陣形式將多個半導體器件裝載在其上。

被稱為分類機的分類拾取與放置裝置SH將半導體器件傳輸到分類台STa和STb上，其中該半導體器件已在卸載位置UP處裝載在測試托盤TT上並已被測試。分類拾取與放置裝置SH通常配置成僅能夠在X軸方向上移動，以使得其可減小重量以提高其移動性或可防止與卸載拾取與放置裝置UH的操作干涉。為了更有效地實現上述 目的，分類台STa和STb可配置成可相對于前向-後向方向進行步驟往復操作。

卸載拾取與放置裝置UH也被稱為卸載機，並且用於將已裝載在分類台STa和STb上的半導體器件傳送至具體的用戶托盤CT2。

在上述測試分選機TH中，為了保證卸載操作的速度，卸載側部分被再分成分類拾取與放置裝置SH、分類台STa和STb以及卸載拾取與放置裝置UH。卸載側部分的元件可更快速地通過分工進行卸載操作。

另一方面，裝載在測試托盤上的半導體器件之間的間隔由測試器的測試插座之間的距離確定。例如，如圖2所示，半導體器件可以a，b，a，b，a，b...(b>a)的圖案的恒定的X軸向間隔t和Y軸向間隔設置在測試托盤TT上。另一方面，如圖3所示，半導體器件可以恒定的X軸向間隔s(s<t)和恒定的Y軸向間隔u(2u=a)設置在分類台STa或STb上。

因此，因為裝載在測試托盤TT上的半導體器件的間隔不同於位於分類台STa或STb上的半導體器件的間隔，所以優選的是將半導體器件從測試托盤TT傳輸至分類台STa或STb的分類拾取與放置裝置SH配置成使得拾取器之間的距離(每個拾取器可抓取一個半導體器件)可相對於X軸方向和Y軸方向進行調節。

關於此，在第10-2010-0079945號韓國待審專利公開(專利檔1)中提出了配置成可在X軸方向和Y軸方向上調節拾取器之間的距離的拾取與放置裝置。

在專利檔1中介紹的拾取與放置裝置使用凸輪板在X軸方向和Y軸 方向上移動拾取器。在這種情況下，存在裝置的整體尺寸增大並且裝置的機械構造複雜的問題。

此外，因為不能單獨控制X軸向移動和Y軸向移動，所以難以將該裝置使用在各種情況中。

另一方面，在第10-2011-0059086號韓國待審專利公開(專利檔2)中提出了配置成可在X軸方向和Y軸方向上調節拾取器之間的距離的另一拾取與放置裝置。

在專利檔2中介紹的拾取與放置裝置可單獨控制拾取器的X軸向移動和Y軸向移動。然而，因為也以與專利檔1相同的方式使用凸輪板，所以仍然存在裝置的整體尺寸相對較大和機械構造複雜的問題。

此外，雖然可單獨控制拾取器的X軸向移動和Y軸向移動，但位移不可調節。因此，專利檔2的拾取與放置裝置以與專利檔1的拾取與放置裝置相同的方式不可使用在各種情況中。

專利文獻：

文獻1：第10-2010-0079945號韓國待審專利公開(公開日：2010年7月8日)

文獻2：第10-2011-0059086號韓國待審專利公開(公開日：2011年6月2日)

此，本發明的一個目的在於提供一種用於測試分選機並具有較小尺寸和簡單結構的拾取與放置裝置。

本發明的另一目的在於提供一種用於測試分選機的拾取與放置裝置，其配置成不但可調節拾取器之間的X軸向距離和Y軸向距離，並且可調節拾取器的X軸向位移和Y軸向位移。

根據本發明的優選實施方式，提供了一種用於測試分選機的拾取與放置裝置，其將半導體器件從第一位置提供至第二位置，設有設置在X軸方向上的多個拾取器模組並包括：主體；設置在主體處的X軸向導軌；設置在主體處並設置在X軸方向上的多個拾取器模組，每個拾取器模組包括相對於Y軸方向彼此間隔開的多個拾取器；調節該多個拾取器模組之間的距離的X軸向距離調節設備；調節設置在每個所述拾取器模組中並位於Y軸方向上的所述拾取器之間的距離的Y軸向距離調節設備，其中每個拾取器模組包括設置成能夠沿所述X軸向導軌移動的第一導引件；設置在第一導引件處並在Y軸方向上延伸預定長度的Y軸向導軌；設置成能夠沿所述Y軸向導軌移動的第二導引件，其連接至所述Y軸向距離調節設備的Y軸向移動導引件，以使得所述Y軸向移動導引件可與所述第二導引件一起移動。

Y軸向移動導引件處可設有輔助導軌，該輔助導軌在X軸方向上延伸，並且第二導引件上可設有輔助導軌連接件，該輔助導軌連接件連接至輔助導軌。

X軸向距離調節設備可包括：從第一馬達接收能量的至少一個驅動輪；連接至至少一個驅動輪的至少一個帶；以及通過至少一個帶與驅動輪互鎖的至少一個從動輪。Y軸向距離調節設備可包括：通過從第二馬達傳輸的功率旋轉並在Y軸方向上延伸的滾珠螺桿；聯接至滾珠螺桿並在Y軸方向上進行移動的滾珠螺帽。Y軸向 移動導引件可聯接至滾珠螺帽。Y軸向移動導引件可與滾珠螺帽一起在Y軸方向上移動。所有拾取器模組或除拾取器模組中任一個之外的剩餘拾取器模組可分別連接至至少一個帶中對應的一個帶並與X軸向導軌在X軸方向上一起移動。設置在每個拾取器模組中拾取器中至少之一可連接至Y軸向移動導引件並與滾珠螺帽在Y軸方向上一起移動。

驅動輪可包括多個驅動動輪，並且該多個驅動輪可具有彼此不同的直徑。

不連接至帶的拾取器模組可緊固至主體。

驅動輪可包括兩個驅動輪，帶可包括兩個帶，並且從動輪可包括兩個從動輪。兩個驅動輪的直徑的比率可以是1：2。拾取器模組可包括：緊固至主體並被防止在X軸方向上移動的第二拾取器模組；第一拾取器模組，設置在所述第二拾取器模組的一側並連接至連接有具有較小直徑的驅動輪的帶的一側；第三拾取器模組，設置在第二拾取器模組的另一側並連接至連接有具有較小直徑的驅動輪的帶的另一側；第四拾取器模組，設置在第二拾取器模組的另一側並連接至連接有具有較大直徑的驅動輪的帶的一側；如上所述，本發明可提供用於測試分選機的拾取與放置裝置，其具有較小且簡單的結構並配置成可調節拾取器之間的X軸向距離和Y軸向距離。

此外，在本發明中，可容易地調節拾取器的X軸向位移和Y軸向位移，因此使該拾取與放置裝置可用於各種工作。

10‧‧‧放置裝置

100‧‧‧主體

110‧‧‧基部

112、114‧‧‧X軸向導軌

115‧‧‧拾取器模組緊固部

116‧‧‧孔

120‧‧‧第一側壁

122‧‧‧第一支承架

124‧‧‧第二支承架

130‧‧‧第二側壁

140‧‧‧前板

PM‧‧‧拾取器模組

P1‧‧‧第一拾取器

P2‧‧‧第二拾取器

P3‧‧‧第三拾取器

P4‧‧‧第四拾取器

P5‧‧‧第五拾取器

P6‧‧‧第六拾取器

P7‧‧‧第七拾取器

P8‧‧‧第八拾取器

200‧‧‧X軸向距離調節設備

211‧‧‧第一驅動輪

212‧‧‧第一從動輪

213‧‧‧第二驅動輪

214‧‧‧第三驅動輪

215‧‧‧第二從動輪

216‧‧‧第三從動輪

217、218‧‧‧軸承

M1‧‧‧第一馬達

S1‧‧‧第一軸

S2‧‧‧第二軸

B1‧‧‧第一帶

B2‧‧‧第二帶

B3‧‧‧第三帶

B4‧‧‧第四帶

300‧‧‧Y軸向距離調節設備

M2‧‧‧第二馬達

311‧‧‧第四驅動輪

312‧‧‧第四從動輪

320‧‧‧滾珠螺桿

330‧‧‧滾珠螺帽

340‧‧‧滾珠螺桿支承件

350‧‧‧托架

360‧‧‧Y軸向移動導引件

362‧‧‧緊固孔

364‧‧‧第二拾取器模組緊固部

370‧‧‧輔助導軌

600‧‧‧第一拾取器模組

610‧‧‧第一導引件

612、614‧‧‧X軸向導軌連接件

620‧‧‧第二導引件

622‧‧‧Y軸向導軌連接件

624‧‧‧輔助導軌連接件

630‧‧‧Y軸向導軌

642‧‧‧第一臂

644‧‧‧第二臂

650‧‧‧帶連接件

651‧‧‧連接臂

652‧‧‧覆蓋件

700‧‧‧第二拾取器模組

710‧‧‧第一導引件

712、714‧‧‧X軸向導軌連接件

716‧‧‧聯接孔

720‧‧‧第二導引件

730‧‧‧Y軸向導軌

800‧‧‧第三拾取器模組

810‧‧‧第一導引件

820‧‧‧第二導引件

824‧‧‧輔助導軌連接件

830‧‧‧Y軸向導軌

850‧‧‧帶連接件

900‧‧‧第四拾取器模組

910‧‧‧第一導引件

920‧‧‧第二導引件

924‧‧‧輔助導軌連接件

930‧‧‧Y軸向導軌

950‧‧‧帶連接件

圖1是示出根據傳統技術的測試分選機的構造的平面示意圖；圖2和圖3是示出圖1的測試分選機的操作的參考圖；圖4是示出根據本發明的測試分選機的拾取與放置裝置的立體圖；圖5是已經移除馬達和側壁的圖4的拾取與放置裝置的立體圖；圖6是圖4的拾取與放置裝置的主體的立體圖；圖7是圖6的拾取與放置裝置的主體的仰視立體圖；圖8示出了連接至導軌的圖4的拾取器模組；圖9是圖8的分解立體圖；圖10是圖9的第一拾取器模組的分解立體圖；圖11是圖9的Y軸向距離調節設備的分解立體圖；圖12示出了圖4的拾取與放置裝置的X軸向距離調節操作；以及圖13和圖14示出了圖4的拾取與放置裝置的Y軸向距離調節操作。

下文中，將參照附圖詳細描述本發明的優選實施方式，以使其可由本領域技術人員容易地實施。

如果在說明書中已知功能或配置的詳細描述不必要地模糊本發明的主旨，則將省略該詳細描述。

圖4是根據本發明的測試分選機的拾取與放置裝置10的立體圖。 圖5是已經移除馬達和側面的圖4的拾取與放置裝置10的立體圖。 圖6是圖4的拾取與放置裝置10的主體100的立體圖。圖7是圖6的主體100的仰視立體圖。

參照圖4至圖7，根據本發明的一個實施方式的測試分選機的拾取與放置裝置10包括多個拾取器模組PM，該多個拾取器模組PM設置在X軸方向上且設置成彼此平行。拾取器模組將半導體器件保持在第一位置處，將半導體器件傳輸至第二位置，以及在第二位置釋放這些半導體器件。詳細地，拾取與放置裝置10包括主體100、拾取器模組PM、X軸向距離調節設備200、以及Y軸向距離調節設備300。拾取器模組PM設置在主體100處以便能夠在X軸方向上移動，並且拾取器模組PM具有多個拾取器P1至P8。X軸向距離調節設備200調節拾取器模組PM之間的距離。Y軸向距離調節設備300調節分別設置在拾取器模組600、700、800和900中的多個拾取器之間的距離。

拾取與放置裝置10安裝在測試分選機(未示出)中。根據使用目的，拾取與放置裝置10設置成可在預定方向上移動。如附圖所示，拾取與放置裝置10可配置成僅具有一個主體100，或者可替代地，其可以配置成多個主體100彼此集成並一起移動。

主體100包括基部110、第一側壁120和第二側壁130、前板140、以及X軸向導軌112和114。第一側壁120和第二側壁130安裝在基部110上。前板140安裝在基部110的前端和第一側壁120及第二側壁130的前端上。X軸向導軌112和114安裝在基部110上以引導拾取器模組PM的移動。

基部110為中央部分具有孔116的板。X軸向導軌112和114安裝在 基部110的下表面下方並在X軸方向上延伸預定長度。在本發明中，基部110設有至少一個X軸向導軌112或114。在該實施方式中，雖然兩個X軸向導軌示為設置成彼此平行並設置位於基部110相對側的以預定距離彼此隔開的位置處，但是本發明的精神並不限於此。

基部110具有拾取器模組緊固部115，其位於X軸向導軌112和114周圍，並且第二拾取器模組700通過拾取器模組緊固部115緊固至基部110。

拾取器模組PM中的一些拾取器模組600、800及900設置成能夠沿主體100的X軸向導軌112和114在X軸方向上移動，而另一拾取器模組700牢固地緊固至主體100。例如，第二拾取器模組700可緊固至基部110。但是，該結構僅是示例性的，所有拾取器模組PM都可設置成能夠在X軸方向上移動。

此外，在該實施方式中，雖然四個拾取器模組600、700、800和900被示為安裝在主體100中，但是本發明並不限於該實施方式。這裡，沿X軸方向，拾取器模組分別被稱為第一拾取器模組600、第二拾取器模組700、第三拾取器模組800以及第四拾取器模組900。

這些拾取器模組PM分別包括一對拾取器P1和P5、一對拾取器P2和P6、一對拾取器P3和P7、以及一對拾取器P4和P8。通過Y軸向距離調節設備300可調節每對拾取器之間的距離。詳細地，第一拾取器P1和第五拾取器P5連接至第一拾取器模組600。第二拾取器P2和第六拾取器P6連接至第二拾取器模組700。第三拾取器P3和 第七拾取器P7連接至第三拾取器模組800。第四拾取器P4和第八拾取器P8連接至第四拾取器模組900。拾取器P1、P2、P3、P4與拾取器P5、P6、P7、P8之間的距離可通過Y軸向距離調節設備300進行調節，其中，拾取器P1、P2、P3、P4設置在第一拾取器P1的一側，拾取器P5、P6、P7、P8設置在第五拾取器P5的一側。

在該實施方式中，雖然拾取與放置裝置已示為配置成使得相對於Y軸方向彼此間隔開的兩個拾取器安裝在拾取器模組PM中，但本發明的精神並不限於該實施方式。例如，可設置三個或更多個拾取器。

通過與外部功率源(未示出)相連，拾取器P1至P8使用吸力來保持半導體器件或排氣以釋放半導體器件。例如，每個拾取器的上端連接至功率源。在該實施方式中，雖然拾取與放置裝置10已示為通過每個拾取器模組中安裝有兩個拾取器的方式來設有總共八個拾取器，但是安裝在每個拾取器模組中的拾取器的數目或總數可以進行多種改變。本發明的精神不應由拾取器的數目所限制。

X軸向距離調節設備200包括產生驅動力的第一馬達M1、連接至第一馬達M1的第一驅動輪211、通過第一帶B1從第一驅動輪211接收能量的第一從動輪212、以及連接至第一從動輪212的第一軸S1。X軸向距離調節設備200還包括聯接至第一軸S1並通過第一軸S1旋轉的第二驅動輪213和第三驅動輪214、通過第二帶B2從第二驅動輪213接收能量的第二從動輪215、通過第三帶B3從第三驅動輪214接收能量的第三從動輪216、以及聯接至第二從動輪215和第三從動輪216的第二軸S2。

第一馬達M1通過第一支承架122緊固至主體100。詳細地，第一支承架122聯接至第一側壁120的大體中央部分，以使得第一馬達M1設置在主體100之上。

第一馬達M1提供能量以調節拾取器模組PM之間的距離。為此，第一馬達M1使用第一驅動輪211、第一帶B1和第一從動輪212來旋轉第一軸S1。第一驅動輪211、第一帶B1和第一從動輪212設置在主體100的外側。

第二驅動輪213和第三驅動輪214通過第一軸S1的旋轉而一起旋轉。第二驅動輪213和第三驅動輪214具有不同的直徑。例如，第二驅動輪213的直徑可以是第三驅動輪214的直徑的兩倍。因此，通過第二驅動輪213和第三驅動輪214的旋轉而改變的拾取器模組PM之間距離可彼此相等。

第二從動輪215和第三從動輪216與對應的第二驅動輪213和第三驅動輪214具有相同的直徑，因此第二帶B2和第三帶B3的懸在輪之間的部分可平行於基部110(更詳細地，導軌112和114)進行移動。

當旋轉第二驅動輪213和第三驅動輪214時，第二帶B2和第三帶B3通過第二驅動輪213和第三驅動輪214在第二驅動輪213和第三驅動輪214旋轉的方向上移動。從而，聯接至第二帶B2和第三帶B3的帶連接件650、850和950可在X軸方向上與第二B2和第三帶B3一起移動。第一拾取器模組600的帶連接件650和第三拾取器模組800的帶連接件850連接至第三帶B3，並與第三帶B3一起移動。第四拾取器模組900的帶連接件950連接至第二帶B2，並與第二帶B2 一起移動。下文將參照附圖描述相關細節。

第一軸S1穿過第一側壁120並延伸到主體100的內部空間中。第二驅動輪213、第三驅動輪214、第二帶B2、第三帶B3、第二從動輪215及第三從動輪216設置在主體100的內部空間中，也就是設置在第一側壁120與第二側壁130之間的空間中。軸承217和218分別設置在第一軸S1上和第二軸S2上，以使第一軸S1和第二軸S2通過軸承217和218可旋轉地聯接至第一側壁120和第二側壁130。

雖然該實施方式示為配置成使第二驅動輪213和第三驅動輪214獨立地聯接至第一軸S1，並且第二從動輪215和第三從動輪216獨立地聯接至第二軸S2，但本發明的精神並不限於這種結構。例如，第二驅動輪213和第三驅動輪214可設置成彼此集成以具有單輪結構，該單輪結構具有兩個帶座。可替代地，第二驅動輪213和第三驅動輪214可具有不同的旋轉軸，該不同的旋轉軸通過功率傳輸部件(如齒輪等)彼此互連並因此同時旋轉。

Y軸向距離調節設備300包括產生驅動力的第二馬達M2、連接至第二馬達M2的第四驅動輪311、以及通過第四帶B4從第四驅動輪311接收能量的第四從動輪312。該Y軸向距離調節設備300還包括連接至第四從動輪312的滾珠螺桿320、設置在滾珠螺桿320周圍並通過滾珠螺桿320移動的滾珠螺帽330、以及在主體100上支承滾珠螺桿320的滾珠螺桿支承件340。另外，該Y軸向距離調節設備300還包括聯接至滾珠螺帽330並與滾珠螺帽300一起移動的托架350、連接至托架350的Y軸向移動導引件360、以及連接至Y軸向移動導引件360的輔助導軌370。

通過與第一馬達M1相同的方式，將第二馬達M2通過第二支承架124緊固至第一側壁120。第二馬達M2設置成平行於第一馬達M1。

第二馬達M2提供能量以調節拾取器之間的Y軸向距離。第二馬達M2利用第四驅動輪311、第四帶B4以及第四從動輪312使滾珠螺桿320旋轉。第四驅動輪311、第四帶B4以及第四從動輪312設置在主體100的外側。

滾珠螺桿320和滾珠螺帽330將第四從動輪312的旋轉運動轉換為線性運動。滾珠螺桿320在Y軸方向上延伸預定長度，以使Y軸向移動導引件360可在Y軸方向上移動。

在該實施方式中，雖然滾珠螺桿支承件340示為聯接至基部110以支承滾珠螺桿320，但是本發明的精神並不限於這種結構。例如，滾珠螺桿支承件340可緊固至前板140。

Y軸向移動導引件360通過滾珠螺帽330的移動而線性地移動，其中通過滾珠螺桿320的旋轉導致了滾珠螺帽330的移動。Y軸向移動導引件360聯接至拾取器模組PM的第二導引件620。通過Y軸向移動導引件360，第二導引件620在Y軸方向上移動，以便可以調節拾取器之間的Y軸向距離。下文將參照附圖描述相關細節。

圖8示出了連接至導軌112和114的圖4的拾取器模組PM。圖9是圖8的分解立體圖。圖10是圖9的拾取器模組600的分解立體圖。圖11是圖9的Y軸向距離調節設備的分解立體圖。

參照圖8至圖11，拾取器模組PM裝配在安裝在基部110上的X軸向導軌112和114之上。為了便於解釋，圖8示出了在基部110之上設置的結構及基部110已被移除的圖4的拾取與放置裝置。

第一拾取器模組600、第三拾取器模組800和第四拾取器模組900可移動地連接至X軸向導軌112和114。第二拾取器模組700也連接至X軸向導軌112和114但是固定至基部110，因此其不能在X軸方向上移動。

第一拾取器模組600包括在Y軸方向上延伸並在X軸方向上沿X軸向導軌112和114移動的第一導引件610、將第一導引件610連接至X軸向導軌112和114的一對X軸向導軌連接件612和614、固定至第一導引件610並設有第一拾取器P1的第一臂642、以及安裝在第一導引件610上並在Y軸方向上延伸的Y軸向導軌630。第一拾取器模組600還包括設置成能夠在Y軸方向上沿Y軸向導軌630移動的第二導引件620、固定至第二導引件620並設有第五拾取器P5的第二臂644、將第二導引件620連接至Y軸向導軌630的Y軸向導軌連接件622、以及將第二導引件620連接至輔助導軌370的輔助導軌連接件624。

第一導引件610的一端向下彎曲並向下延伸。第一臂642聯接至第一導引件610的向下延伸的部分。第一臂642和第二臂644設置成彼此面對。第一臂642和第二臂644分別將第一拾取器P1和第五拾取器P5接納在其內部。

X軸向導軌連接件612和614聯接至第一導引件610，並且根據需要其可與第一導引件610一體地設置。X軸向導軌連接件612和614用於導引第一導引件610的X軸向移動並使第一導引件610可以從X軸向導軌112和114懸置。為此，彼此對應的凸起和凹槽分別形成在X軸向導軌112、114與X軸向導軌連接件612、614中。以這種方法，第一導引件610通過X軸向導軌連接件612、614可移動地安裝在 主體100上。從而，第一拾取器模組600可連接至主體100。

Y軸向導軌630聯接至第一導引件610的下表面並導引第二導引件620的Y軸向移動。考慮到Y軸向距離的調節，Y軸向導軌630具有適當的長度，並且Y軸向導軌630朝向第一導引件610的另一端延伸，該另一端與第一導引件610的彎曲的一端相反。

設置成與第一導引件610的彎曲一端相反的第二導引件620一端向下彎曲並延伸預定長度。第二臂644聯接至第二導引件620的向下延伸的一端。

Y軸向導軌連接件622聯接至第二導引件620的上部，並且如果需要可一體地聯接至第二導引件620。此外，輔助導軌連接件624聯接至第二導引件620的下部，並且如果需要可與第二導引件620一體地設置。

Y軸向導軌連接件622用於導引第二導引件620的Y軸向移動並使第二導引件620可掛在Y軸向導軌630上。為此，彼此對應的凸起和凹槽分別形成在Y軸向導軌630與Y軸向導軌連接件622中。

輔助導軌連接件624配置成使Y軸向距離調節設備300的輔助導軌370可插設在輔助導軌連接件624中。輔助導軌連接件624用於將Y軸向移動導引件360的移動傳輸至第二導引件620。詳細地，如果Y軸向移動導引件360在Y軸方向上移動，輔助導軌與Y軸向移動導引件360一起移動。當輔助導軌370移動時，輔助導軌連接件624與輔助導軌370一起移動。因此，第二導引件620也在Y軸方向上移動。

X軸向導軌連接件612、614與輔助導軌連接件624具有凹槽，這些 凹槽配置成在相同方向上導引對應的導軌。Y軸向導軌連接件622具有凹槽，該凹槽垂直於連接件612、連接件614以及連接件624的凹槽。

帶連接件650聯接至第一導引件610，以使得第三帶B3通過帶連接件650連接至第一拾取器模組600。帶連接件650固定至第三帶B3的預定部分，以使得帶連接件650可與第三帶B3一起移動。第一導引件610通過帶連接件650的移動而移動，因此第一拾取器模組600可在X軸方向上移動。

第一導引件610的帶連接件650包括連接臂651和覆蓋件652。連接臂651從第一導引件610延伸至第三帶B3上部的下表面，以及覆蓋件652設置在第三帶B3上部的上表面上並聯接至連接臂651以將連接臂651緊固至第三帶B3。連接臂651從第一導引件610穿過基部110的孔116延伸至第三帶B3。考慮到第三帶B3和第一導引件610的位置以及與周圍零件的干涉，連接臂651具有適當的幾何形狀。

與第三帶B3形狀對應的凹槽分別形成在連接臂651的上端部分和覆蓋件652的下部中，以使得第三帶B3處於凹槽中。第三帶B3與帶連接件650之間的聯接可通過組裝、結合、螺栓連接等提供的聯接力而實現。

第二拾取器模組700、第三拾取器模組800和第四拾取器模組900中每個的總體構造與第一拾取器模組600的構造相同。下文中，為了便於解釋，將省略與第一拾取器模組600的元件相同的第二、第三、第四拾取器模組700、800、900的元件的附圖標記和詳 細描述，而僅描述與第一拾取器模組600不同的元件。對於與第一拾取器模組600的元件對應的第二、第三、第四拾取器模組700、800、900的元件的附圖標記，僅是將三位元數的百位元數字改成與每個拾取器模組對應的數位。也就是說，第二拾取器模組700的第一導引件由附圖標記710表示，第三拾取器模組800的第一導引件由附圖標記810表示，而第四拾取器模組的第一導引件由附圖標記910表示。

第二拾取器模組700的第一導引件710裝配在X軸向導軌112和114之上並在預定位置處固定至基部110。X軸向導軌連接件712和714設置在第一導引件710上。與基部110的各拾取器模組緊固部115對應的聯接孔716分別形成在X軸向導軌連接件712和714中。聯接孔716和拾取器模組緊固部115可通過諸如螺栓的緊固構件(未示出)彼此緊固。從而，第二拾取器模組700可固定至基部110，並且不在X軸方向上移動。雖然該實施方式已示為設有X軸向導軌連接件712、714，並且第一導引件710通過X軸向導軌連接件712、714聯接至X軸向導軌112和114，但是第二拾取器模組700可設置成沒有X軸向導軌連接件712和714，這是因為第二拾取器模組700不需要在X軸方向上移動。

此外，因為第二拾取器模組700的第二導引件720不需要在X軸方向上移動，所以還可省略第二拾取器模組700中與第一拾取器模組600的輔助導軌連接件624對應的元件。相反地，為了使第二導引件720在Y軸方向上移動，第二導引件720的下部直接聯接至Y軸向移動導引件360。為此，第二拾取器模組緊固部364設置在Y軸向移動導引件360上與第二拾取器模組700的第二導引件720對應 的位置處。

除帶連接件850或950之外，第三拾取器模組800或第四拾取器模組900的總體構造與第一拾取器模組600相同。

第三拾取器模組800的帶連接件850以預定形狀延伸，以使得其可連接至第三帶B3的下部。第一拾取器模組600的帶連接件650和第三拾取器模組800的帶連接件850連接至相同的第三帶B3。帶連接件650和帶連接件850分別連接至第三帶B3的上部和下部。因此，當旋轉第三帶B3時，帶連接件650和帶連接件850在相反的方向上移動。這裡，第一拾取器模組600的移動距離與第三拾取器模組800的移動距離相同。

第四拾取器模組900的帶連接件950以預定形狀延伸，以使得其可連接至第二帶B3的下部。因為使第二帶B2移動的第二驅動輪213的直徑不同於使第三帶B3移動的第三驅動輪214的直徑，所以第四拾取器模組900的移動量不同於第一拾取器模組600或第三拾取器模組700的移動量。在該實施方式中，第二驅動輪213直徑為第三驅動輪214直徑的兩倍，所以第四拾取器模組900移動量也是第一拾取器模組600或第三拾取器模組700移動量的兩倍。

另一方面，Y軸向距離調節設備300的滾珠螺桿支承件340固定至基部110，以使得滾珠螺桿320可以可靠地旋轉。

滾珠螺帽330裝配在滾珠螺桿320之上，以能夠在Y軸方向上移動。滾珠螺帽330設有與托架350連接的凸緣。

托架350聯接至滾珠螺帽330並與滾珠螺帽330一起移動。Y軸向移動導引件360聯接至托架350。緊固孔362形成在Y軸向移動導引件 360中，以使得Y軸向移動導引件360通過諸如螺栓等的緊固構件(未示出)通過緊固孔362固定至托架350。Y軸向移動導引件360包括第二拾取器模組緊固部364，第二拾取器模組緊固部364緊固至第二拾取器模組700的第二導引件720。例如，第二拾取器模組緊固部364包括聯接孔，螺栓等擰緊到該聯接孔中。由於上述結構，當Y軸向移動導引件360在Y軸方向上移動時，第二拾取器模組700的第二導引件720也可在Y軸方向上移動。

輔助導軌370固定在Y軸向移動導引件360上部上並在X軸向導軌112、114延伸的X軸方向上延伸。輔助導軌370連接至第一拾取器模組600的輔助導軌連接件624、第三拾取器模組800的輔助導軌連接件824以及第四拾取器模組900的輔助導軌連接件924。因此，當Y軸向移動導引件360在Y軸方向上移動時，第一拾取器模組600的第二導引件620、第三拾取器模組800的第二導引件820以及第四拾取器模組900的第二導引件920與Y軸向移動導引件360一起在Y軸方向上移動。

在該實施方式中，雖然第二拾取器模組700示為直接連接至Y軸向移動導引件360而不連接至輔助導軌370，但本發明的精神並不限於這種結構。第二拾取器模組700還可設有輔助導軌連接件，第二拾取器模組700通過該輔助導軌連接件連接至輔助導軌370。

下文中，將參照附圖描述根據本發明實施方式的具有上述結構的拾取與放置裝置100的操作。

圖12示出了圖4的拾取與放置裝置的X軸向距離的調節操作。

參照圖12，當第一馬達M1從功率供應裝置(未示出)接收功率並 旋轉其輸出軸時，驅動力從第一驅動輪211經過第一帶B1傳輸至第一從動輪212。因而，連接至第一從動輪212的第一軸S1旋轉。

當旋轉第一軸S1時，連接至第一軸S1的第三驅動輪214和第二驅動輪213以相同角速度旋轉。然後，分別連接至第二驅動輪213和第三驅動輪214的第二從動輪215和第三從動輪216也通過第二帶B2和第三帶B3進行旋轉。第二帶B2和第三帶B3在與第一軸S1旋轉的方向(即第一馬達M1的正常/反向旋轉的方向)對應的方向上移動。這裡，因為第二驅動輪213直徑為第三驅動輪214直徑的兩倍，所以第二帶B2移動量也是第三帶B3移動量的兩倍。

此外，因為第一軸S1與第二軸S2設置在同一水平面上並且第二從動輪215和第三從動輪216分別具有與相應驅動輪相同的直徑，所以當第二帶B2和第三帶B3移動時第二帶B2和第三帶B3的中間部分可保持水準。

當第二帶B2移動時，第四拾取器模組900的固定至第二帶B2的帶連接件950通過第二帶B2移動，因此第四拾取器模組900在X軸方向上移動。此外，當第三帶B3移動時，都固定至第三帶B3的第一拾取器模組600的帶連接件650和第三拾取器模組800的帶連接件850通過第三帶B3移動。因此，第一拾取器模組600和第三拾取器模組800在X軸方向上移動。

第一拾取器模組600、第三拾取器模組800和第四拾取器模組900的移動通過X軸向導軌112和114以及輔助導軌370導引。

如圖12所示，當第一軸S1在順時針方向上旋轉時，連接至第三帶B3上部的第一拾取器模組600在X軸的正向方向上(朝圖12的右方 )移動。連接至第三帶B3下部的第三拾取器模組800和連接至第二帶B2下部的第四拾取器模組900在X軸的負向方向上(朝圖12的左方)移動。當第一軸S1在逆時針方向上旋轉時，第一拾取器模組600、第三拾取器模組800以及第四拾取器模組900的移動方向改變。

在上述過程中，因為第二拾取器模組700固定至基部110，所以第二拾取器模組700不移動。由於帶連接件650、850、950的上述設置，第一拾取器模組600、第三拾取器模組800和第四拾取器模組900可基於第二拾取器模組700靠攏或分散。

在拾取器模組之間的距離設為a的初始狀態，如果第三帶B3通過第一軸S1的順時針旋轉移動d，則第一拾取器模組600在X軸的正向方向上移動d，第三拾取器模組800在X軸的負向方向上移動d，以及第四拾取器模組900在X軸的負向方向上移動2d。因此，相鄰拾取器模組之間的距離都變為相同的a-d。

另一方面，在該實施方式中，雖然已示出了設有四個拾取器模組，但本發明的精神並不限於這種結構。如果需要，可增加或減少拾取器模組的數目。在這種情況下，驅動輪和帶的數目也對應於拾取器模組的數目而改變，以便可以調節所有拾取器模組之間的距離。

此外，在該實施方式中，雖然已示出了第二拾取器模組700固定至基部110，但本發明的精神並不限於這種結構。例如，第二拾取器模組700可配置成連接至帶並且可被移動。在這種情況下，第一拾取器模組600和第四拾取器模組900連接至具有更大轉向半 徑的第二帶B2。第二拾取器模組700和第三拾取器模組800連接至具有更小轉向半徑的第三帶B3。此外，通過對裝置進行設置，使得拾取器模組之間的距離可保持彼此相等，這樣第二驅動輪213直徑為第三驅動輪214直徑的三倍。

本發明的精神是製造這樣的裝置，在該裝置中拾取器模組選擇性地連接至通過驅動輪移動的帶，因此可調節拾取器模組之間的X軸向距離。本領域技術人員可使用簡單的數學公式輕易地實現上述修改，如改變拾取器模組的數目或是否固定拾取器模組等。並且這種修改也落入本發明的範圍中。

圖13和圖14示出了圖4的拾取與放置裝置的Y軸向距離的調節操作。

參照圖13和圖14，當第二馬達M2從功率供應裝置(未示出)接收功率並使其輸出軸旋轉時，驅動力從第四驅動輪311經過第四帶B4傳輸至第四從動輪312。從而，旋轉與第四從動輪312連接的滾珠螺桿320。

當旋轉滾珠螺桿320時，滾珠螺帽330在Y軸方向上移動。然後，與滾珠螺帽330連接的輔助導軌370、Y軸向移動導引件360和托架350一起在Y軸方向上移動。

因為第一拾取器模組600、第三拾取器模組800和第四拾取器模組900通過輔助導軌連接件624、824以及924連接至輔助導軌370，所以它們可以通過滾珠螺帽330的Y軸向移動與輔助導軌370一起移動。因為第二導引件720固定至Y軸向移動導引件360，所以第二拾取器模組700通過滾珠螺帽330的Y軸向移動與Y軸向移動導引 件360一起在Y軸方向上移動。最終，所有拾取器模組PM通過滾珠螺帽330的Y軸向移動而在Y軸方向上移動。

隨著Y軸向移動導引件360和輔助導軌370，拾取器模組的第二導引件620、720、820、920通過在第一導引件610、710、810、910上的Y軸向導軌630、730、830、930的導引而在Y軸方向上移動。

在該實施方式中，雖然該裝置已示為配置成每個拾取器模組設有第一導引件和第二導引件並且一對拾取器分別連接至第一導引件和第二導引件，但是本發明並不限於此。例如，每個拾取器模組可包括依次設置在Y軸方向上的三個或更多拾取器，並且拾取器可分級地彼此相連並緊固至可在Y軸方向上移動的導引件。在這種情況下，導引件連接至Y軸向距離調節設備，以使得拾取器之間的Y軸向距離可通過導引件的移動而被調節。

如上所述，根據本發明實施方式的拾取與放置裝置10可以可靠地實施調節拾取器之間的X軸向距離和Y軸向距離的功能，並且與傳統技術相比，該拾取與放置裝置10具有較小且簡單的整體結構。

此外，可容易地調節拾取器的X軸向位移和Y軸向位移。因此，本發明的拾取與放置裝置10可用於各種工作，例如裝載、分類、卸載等。

雖然已示出並參照優選實施方式描述了根據本發明實施方式的拾取與放置裝置，但本領域技術人員應理解，在不背離如所附權利要求所限定的本發明的精神和範圍的情況下，可對本發明進行多種改變和修改。

10‧‧‧放置裝置

100‧‧‧主體

110‧‧‧基部

120‧‧‧第一側壁

122‧‧‧第一支承架

124‧‧‧第二支承架

130‧‧‧第二側壁

140‧‧‧前板

PM‧‧‧拾取器模組

P1‧‧‧第一拾取器

P2‧‧‧第二拾取器

P3‧‧‧第三拾取器

P4‧‧‧第四拾取器

P5‧‧‧第五拾取器

P6‧‧‧第六拾取器

P7‧‧‧第七拾取器

P8‧‧‧第八拾取器

200‧‧‧X軸向距離調節設備

211‧‧‧第一驅動輪

212‧‧‧第一從動輪

M1‧‧‧第一馬達

B1‧‧‧第一帶

B4‧‧‧第四帶

300‧‧‧Y軸向距離調節設備

M2‧‧‧第二馬達

311‧‧‧第四驅動輪

312‧‧‧第四從動輪

340‧‧‧滾珠螺桿支承件

600‧‧‧第一拾取器模組

700‧‧‧第二拾取器模組

800‧‧‧第三拾取器模組

900‧‧‧第四拾取器模組

Claims (6)

1. 一種用於測試分選機的拾取與放置裝置，所述拾取與放置裝置將半導體器件從第一位置傳輸至第二位置，並且所述拾取與放置裝置設有在X軸方向上設置的多個拾取器模組，所述拾取與放置裝置包括：主體；X軸向導軌，設置在所述主體處；多個拾取器模組，設置在所述主體處並設置在X軸方向上，每個所述拾取器模組包括相對於Y軸方向彼此間隔開的多個拾取器；X軸向距離調節設備，調節所述多個拾取器模組之間的距離；以及Y軸向距離調節設備，調節在Y軸方向上設置在每個所述拾取器模組中的所述多個拾取器之間的距離；其中，每個所述拾取器模組包括：第一導引件，設置成能夠沿所述X軸向導軌移動；X軸向導軌連接件，將所述第一導引件連接到X軸導軌，所述X軸向導軌連接件引導所述第一導引件沿所述X軸導軌移動；Y軸向導軌，設置在所述第一導引件處並在Y軸方向上延伸預定長度；以及第二導引件，設置成能夠沿所述Y軸向導軌移動，所述第二導引件連接至所述Y軸向距離調節設備的Y軸向移動導引件，以使所述Y軸向移動導引件可與所述第二導引件一起移動。
2. 如請求項1所述的拾取與放置裝置，其中，所述Y軸向移動導引件處設有輔助導軌，所述輔助導軌在X軸方向上延伸；以及所述第二導引件上設有輔助導軌連接件，所述輔助導軌連接件連接至所述輔助導軌。
3. 如請求項1所述的拾取與放置裝置，其中，所述X軸向距離調節設備包括：至少一個驅動輪，從第一馬達接收功率；至少一個帶，連接至所述至少一個驅動輪；以及至少一個從動輪，通過所述至少一個帶與所述驅動輪互鎖；所述Y軸向距離調節設備包括：滾珠螺桿，通過從第二馬達傳輸的能量進行旋轉，所述滾珠螺桿在Y軸方向上延伸；以及滾珠螺帽，聯接至所述滾珠螺桿，所述滾珠螺帽在Y軸方向上移動；其中，所述Y軸向移動導引件聯接至所述滾珠螺帽，所述Y軸向移動導引件在Y軸方向上與所述滾珠螺帽一起移動；所有的所述拾取器模組或者除所述拾取器模組中任一個之外的其餘拾取器模組分別連接至所述至少一個帶中對應的一個帶，並且與所述X軸向導軌在X軸方向上一起移動；以及設置在每個所述拾取器模組中的所述多個拾取器的至少一個連接至所述Y軸向移動導引件並與所述滾珠螺帽在Y軸方向上一起移動。
4. 如請求項3所述的拾取與放置裝置，其中，所述驅動輪包括多個驅動輪，並且所述多個驅動輪具有彼此不同的直徑。
5. 如請求項3所述的拾取與放置裝置，其中，不與所述帶連接的所述拾取器模組緊固至所述主體。
6. 如請求項3所述的拾取與放置裝置，其中，所述X軸向距離調整設備包括兩個驅動輪、兩個帶以及兩個從動輪；其中，所述兩個驅動輪的直徑比率為1：2；以及所述多個拾取器模組包括：第二拾取器模組，緊固至所述主體並被阻止在X軸方向上移動；第一拾取器模組，設置在所述第二拾取器模組的一側並且連接至所述帶的一側，所述帶的所述一側連接至具有較小直徑的驅動輪；第三拾取器模組，設置在所述第二拾取器模組的另一側並且連接至所述帶的另一側，所述帶的所述另一側連接至具有所述較小直徑的驅動輪；以及第四拾取器模組，設置在所述第二拾取器模組的另一側並連接至所述帶的連接具有較大直徑的驅動輪的一側。