KR101987028B1 - 프로브 카드 이송모듈 및 프로브 카드 이송시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명은 적재부에 적재된 복수의 프로브 카드 중 하나를 픽업하여 검사부로 이송할 수 있으며, 이송부를 구성하는 이송모듈이 상하방향 및 수평방향으로 이동할 수 있도록 하고 볼 스크류에 응답하여 동작하는 3개의 주행가이드를 이용함으로써 픽업 및 이송시 프로브 카드의 픽업에 소요되는 전력을 최소로 하고 픽업시 프로브 카드에 인가되는 충격을 최소로 하는 프로브 카드 이송모듈 및 프로브 카드 이송시스템을 제안한다. 상기 프로브 카드 이송모듈은 워크스테이지에 안착한 액정표시패널을 프로브유닛을 이용하여 검사하는 검사부, 액정표시패널을 검사하는데 사용하는 다수의 프로브유닛이 설치되는 적재부 및 상기 적재부에 적재된 프로브유닛을 상기 검사부로 이송하는 프로브유닛 이송부를 구성하는 것으로, 상기 프로브 카드 이송모듈은, 픽업부 및 이송부를 포함한다.

Description

프로브 카드 이송모듈 및 프로브 카드 이송시스템 {A transport module and system for probe cards}

본 발명은 프로브 카드 이송모듈에 관한 것으로, 특히, 적재부에 적재된 복수의 프로브 카드 중 하나를 픽업하여 검사부로 이송할 수 있으며, 이송부를 구성하는 이송모듈이 상하방향 및 수평방향으로 이동할 수 있도록 하고 볼 스크류에 응답하여 동작하는 3개의 주행가이드를 이용함으로써 픽업 및 이송시 프로브 카드의 픽업에 소요되는 전력을 최소로 하고 픽업시 프로브 카드에 인가되는 충격을 최소로 하는 프로브 카드 이송모듈 및 상기 프로브 카드 이송모듈을 구비하는 프로브 카드 이송시스템에 관한 것이다.

디스플레이 패널을 포함하는 다양한 종류의 디스플레이 모듈은 그 종류에 따라 서로 다른 다양한 기능을 수행하기 때문에 구성 회로도 다양하며, 디스플레이 패널로 입력되는 신호는 물론이고 디스플레이 모듈로부터 출력되는 신호도 다양하다. 디스플레이 모듈 제조 공정에는 디스플레이 모듈에 신호를 인가하고 디스플레이 모듈로부터 출력되는 신호를 수집하여 해당 디스플레이 모듈의 전기적 특성을 검사함으로써 제품의 하자를 확인하는 테스트 과정을 필수적으로 수행한다.

디스플레이 모듈 검사장치는 디스플레이 모듈에 미리 준비한 테스트 신호를 인가하고 상기 테스트 신호에 응답하여 디스플레이 모듈에서 생성한 응답신호를 미리 저장해 놓은 특성기준자료와 비교함으로써 해당 디스플레이 모듈의 전기적 특성을 확인하는 검사모듈 및 디스플레이 모듈과 검사모듈을 전기적으로 연결하는 프로브 카드를 구비하고 있다.

상술한 바와 같이 다양한 종류의 디스플레이 모듈에는 디스플레이 모듈에 입력신호를 인가하는 창구 및 디스플레이 모듈에서 생성된 응답신호를 출력하는 창구(이하 패드)가 설치되어 있으며, 프로브 카드에는 일 단은 대응하는 패드와 전기적으로 연결하고 반대 단은 검사모듈과 연결된 복수의 프로브가 설치되어 있다.

프로브 카드는 상부 또는 하부에서 디스플레이 모듈 방향으로 이동 또는 분리되면서 전기적 연결 또는 전기적 단절을 수행하는데, 복수의 디스플레이 모듈을 검사하게 되면 기계적, 물리적 또는 전기적으로 열화가 발생하게 되므로, 하나의 프로브 카드로 테스트할 수 있는 디스플레이 모듈의 개수는 어느 정도 정해져 있다고 할 수 있다. 따라서, 일정한 횟수의 테스트를 수행한 후에는 다른 프로브 카드를 이용하여 테스트를 수행해야 한다.

이외에도, 디스플레이 모듈을 테스트하는 도중 프로브 카드에 이상이 발생했을 때에도 프로브 카드를 교체하여야 하며, 특히 프로브 카드에 설치된 프로브의 개수가 테스트하려는 디스플레이 모듈의 패드의 수에 미치지 못하는 경우에도 프로브 카드의 교체는 필연적이다.

대한민국 등록특허 10-1174861호(2012년8월10일, 이하 선행발명)의 디스플레이 글래스 테스트기판의 교체장치는, 거치모듈에 거치 된 테스트 기판을 이동유닛을 이용하여 이송하는 기술에 대해 언급하고 있습니다. 상기 선행발명은 테스트를 수행하는 테스트모듈과 테스트 기판이 근접해 있는 경우에는 효과적일 수 있으며, 특히 그 구조상 테스트 기판의 개수가 2개 이상이 되기는 어렵다는 단점이 있다.

본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는, 적재부에 적재된 복수의 프로브 카드 중 하나를 픽업하여 검사부로 이송할 수 있으며, 이송부를 구성하는 이송모듈이 상하방향 및 수평방향으로 이동할 수 있도록 하고 볼 스크류에 응답하여 동작하는 3개의 주행가이드를 이용함으로써 픽업 및 이송시 프로브 카드의 픽업에 소요되는 전력을 최소로 하고 픽업시 프로브 카드에 인가되는 충격을 최소로 하는 프로브 카드 이송모듈을 제공하는 것에 있다.

본 발명이 해결하고자 하는 다른 기술적 과제는, 상기 프로브 카드 이송모듈을 포함하는 프로브 카드 이송시스템을 제공하는 것에 있다.

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 프로브 카드 이송모듈은 워크스테이지에 안착한 액정표시패널을 프로브유닛을 이용하여 검사하는 검사부, 액정표시패널을 검사하는데 사용하는 다수의 프로브유닛이 설치되는 적재부 및 상기 적재부에 적재된 프로브유닛을 상기 검사부로 이송하는 프로브유닛 이송부를 구성하는 것으로, 상기 프로브 카드 이송모듈은, 픽업부 및 이송부를 포함한다. 상기 픽업부는 상기 적재부에 적재된 프로브카드를 안착하거나 상기 상부 플레이트에 안착한 프로브카드를 검사부로 이송하여 상기 워크스테이지에 안착한다. 상기 이송부는 상기 픽업부를 상기 검사부와 상기 적재부 사이로 이송하고, 상기 픽업부를 상하로 이동하도록 하여 프로브카드의 픽업 및 프로브카드의 안착을 수행하도록 한다. 여기서 상기 픽업부는 하부 플레이트, 제1구동부, 주행가이드부 및 상부 플레이트를 포함한다. 상기 하부 플레이트는 하부에 상기 이송부가 결합한다. 상기 제1구동부는 상기 하부 플레이트의 상부 중앙에 위치한다. 상기 주행가이드부는 상기 제1구동부에서 제공하는 동력 및 내부에 설치된 동력전달바를 이용하여 서로 다른 속도로 주행하는 3개의 주행가이드 모듈이 상기 하부 플레이트의 가장자리 양쪽에 설치된다. 상기 상부 플레이트는 상기 주행가이드부의 상부에 위치하여 프로브카드가 안착된다.

상기 다른 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 프로브 카드 이송시스템은 복수의 프로브 카드가 적재된 적재부, 검사의 대상이 되는 제품의 특성을 검사하는 검사부 및 상기 적재부에 적재된 프로브 카드를 상기 검사부로 이송하거나, 상기 검사부에 안착된 프로브 카드를 상기 적재부로 이송하는 기능을 수행하며, 청구항 제1항 내지 4항 중 어느 하나의 항에 기재된 프로브 카드 이송모듈을 포함하는 이송부를 포함한다.

본 발명에 따른 프로브 카드 이송모듈 및 프로브 카드 이송시스템은, 적재부에 적재된 복수의 프로브 카드 중 하나를 픽업하여 검사부로 이송할 수 있으며, 이송부를 구성하는 이송모듈이 상하방향 및 수평방향으로 이동할 수 있도록 하고 볼 스크류에 응답하여 동작하는 3개의 주행가이드를 이용함으로써 픽업 및 이송시 프로브 카드의 픽업에 소요되는 전력을 최소로 하고 픽업시 프로브 카드에 인가되는 충격을 최소로 하는 장점이 있다.

도 1은 본 발명에 따른 프로브 카드 이송시스템의 구성을 나타낸다.
도 2는 프로브 카드 이송모듈이 적재부의 입구에 위치한 상태를 나타낸다.
도 3은 프로브 카드 이송모듈을 구성하는 상부 플레이트가 도 2에 도시된 상태에서 적재부로 조금 더 이동한 상태를 나타낸다.
도 4는 프로브 카드 이송모듈을 구성하는 상부 플레이트가 적재부 쪽으로 더 이동한 상태를 나타낸다.
도 5는 적재부의 목표 지점까지 이동한 상부 플레이트가 적재부에 적재된 프로브 카드 방향으로 상향 이동한 상태를 나타낸다.
도 6은 본 발명에 따른 프로브 카드 이송모듈의 구성을 나타낸다.
도 7은 본 발명에 따른 프로브 카드 이송모듈의 일 실시 예를 나타낸다.
도 8은 본 발명에 따른 프로브 카드 이송모듈의 동작을 설명한다.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 예시적인 실시 예를 설명하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.

이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.

도 1은 본 발명에 따른 프로브 카드 이송시스템의 구성을 나타낸다.

도 1a는 프로브 카드 이송시스템의 일 방향에서 본 사시도이고, 도 1b는 도 1a에 도시된 프로브 카드 이송시스템의 분해 사시도이며, 도 1c는 프로브 카드 이송시스템의 다른 일 방향에서 본 사시도이고, 도 1d는 도 1c에 도시된 프로브 카드 이송시스템의 분해 사시도이다.

도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 프로브 카드 이송시스템(100)은 검사부(110), 이송부(120) 및 적재부(130)를 포함한다는 것을 알 수 있다.

도 1에는 자세하게 도시하지 않았지만, 적재부(130)에는 복수의 프로브 카드가 적재되어 있으며, 적재된 프로브 카드는 동일한 종류일 수도 있지만 다른 종류로 사용하는 것도 가능하다. 검사부(110)에는 디스플레이 모듈은 물론 디스플레이 패널 또는 디스플레이 글래스 등 다양한 DUT(Device Under Test)에 대한 검사를 수행할 수 있으며, 이하에서는 설명의 편의를 위해 디스플레이 모듈의 검사에 대해서만 설명한다.

도 1a 및 도 1b를 참조하면, 이송부(120)는 검사부(110)와 적재부(130) 사이에 위치하여, 적재부(130)에 적재된 프로브 카드(미도시)를 검사부(110)로 이송하는 기능을 수행하며, 이송부(120)의 중간에는 검사부(110)와 적재부(130) 사이를 왕복 이동하는 프로브 카드 이송모듈(200)이 설치되어 있다는 것을 알 수 있다.

프로브 카드 이송모듈(200)은 적재부(130)로 이동한 후, 도면상 상하방향 및 검사부(110)와 적재부(130) 사이를 수평방향으로 이동하면서 적재부(130)에 적재된 프로브 카드를 픽업하여 검사부(110)의 워크스테이지로 이송하고, 검사부(110)에서 사용하고 있던 교체가 필요한 프로브 카드를 워크스테이지에서 픽업하여 다시 적재부(130)로 이송하는 기능을 수행한다.

본 발명에 따른 프로브 카드 이송모듈(200)의 구성을 설명하기에 앞서, 프로브 카드 이송모듈(200)의 동작 특성에 대해서 설명한다.

도 2는 프로브 카드 이송모듈이 적재부의 입구에 위치한 상태를 나타낸다.

도 2a는 상부 플레이트(화살표)에 적재부(130)에 적재된 프로브 카드를 안착하기 위해 적재부(130)의 입구에 도달한 상태를 나타내고, 도 2b는 도 2a에서 상부 플레이트를 제거한 후 프로브 카드 이송모듈(200) 부분(원)을 확대한 것이다.

도 2b를 참조하면, 상부 플레이트가 이동을 준비하고 있는 상태에는 6개의 가이드 바디의 일 단이 가상의 동일 직선상에 위치한다는 것을 알 수 있다. 가이드 바디의 구성에 대해서는 후술한다.

도 3은 프로브 카드 이송모듈을 구성하는 상부 플레이트가 도 2에 도시된 상태에서 적재부로 조금 더 이동한 상태를 나타낸다.

도 3a는 상부 플레이트(화살표)가 도 2에 도시된 상태에서 적재부(130) 쪽으로 조금 더 이동한 상태를 나타내고, 도 3b는 도 3a에서 상부 플레이트(화살표)를 제거한 후 프로브 카드 이송모듈(200) 부분을 확대한 것이다.

도 3b를 참조하면, 상부 플레이트가 일정한 거리 이동할 때, 양쪽에 각각 3개씩 설치된 가이드 바디가 서로 다른 거리를 이동하고록 고안되어 있는데, 예를 들면 가운데 있는 가이드 바디의 이동거리가 가장 길고 이어서 중간의 가이드 바디 그리고 마지막으로 가장 외곽에 있는 가이드 바디가 가장 적게 이동한다. 이동에 따른 장치의 구동과정은 후술하겠지만, 6개의 가이드 바디 중 가장 바깥에 있는 2개의 가이드 바디가 도면의 중앙에 있는 나사부의 이동과 결합하여 이동하며, 중간의 2개의 가이드 바디와 중앙의 2개의 가이드 바디는 가장 외곽의 가이드 바디의 이동에 따라 비례하여 이동하도록 되어 있다. 이를 설명하기 위해, 도 3b는 파란색 화살표로 가장 외곽의 가이드 바디가 이동하는 상태를 나타내고 있다. 3개씩 묶인 2쌍의 가이드 바디의 일 단을 잇는 가상 직선(붉은색 선)이 도 2b에 비해 일정한 각도로 달라진 것을 알 수 있다.

도 4는 프로브 카드 이송모듈을 구성하는 상부 플레이트가 적재부 쪽으로 더 이동한 상태를 나타낸다.

도 4a는 상부 플레이트(화살표)가 도 3에 도시된 상태에서 적재부(130)에 더 접근한 상태를 나타내고, 도 4b는 도 4a에서 상부 플레이트(화살표)를 제거한 후 프로브 카드 이송모듈(200) 부분을 확대한 것이다.

도 4b를 참조하면, 도 3b의 설명과 마찬가지로 나사부의 이동에 따라 이동한 최 외곽의 가이드 바디에 연동하여 이동한 나머지 가이드 바디의 위치를 확인할 수(붉은색 선) 있다. 도 2b ~ 도 4b를 참조하면, 상부 플레이트가 이동함에 따라 3개의 가이드 바디의 이동거리는 서로 다르게 되어 있다는 것을 알 수 있다.

도 5는 적재부의 목표 지점까지 이동한 상부 플레이트가 적재부에 적재된 프로브 카드 방향으로 상향 이동한 상태를 나타낸다.

도 5a는 상부 플레이트가 적재부(130)의 내부의 상부방향으로 이동한 상태를 나타내고, 도 5b는 도5a에서 프로브 카드 이송모듈(200) 부분을 확대한 것이다.

도 5a에 상부 플레이트가 도시되지 않은 것은, 상부 플레이트가 적재부(130)의 내부에서 상부 방향으로 이동하였기 때문에, 각도 상으로 보이지 않는다는 것이다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 프로브 카드 이송모듈(200)은 적재부(130)에 적재된 프로브 카드를 픽업한 후 검사부(110)로 이동하여 픽업한 프로브 카드를 검사부(110)에 거치하도록 하는 기능을 수행한다는 것을 알 수 있다.

이하에서는, 도 2 ~ 도 5에 도시된 과정을 수행하는 프로브 카드 이송모듈(200)의 구성에 대해서 설명한다.

도 6은 본 발명에 따른 프로브 카드 이송모듈의 구성을 나타낸다.

도 7은 본 발명에 따른 프로브 카드 이송모듈의 일 실시 예를 나타낸다.

도 7a는 프로브 카드 이송모듈의 사시도이고, 도 7b는 프로브 카드 이송모듈을 구성하는 3개의 가이드 바디가 다 펼쳐진 상태에서 프로브 카드의 위치를 나타내며, 도 7c는 프로브 카드 이송모듈의 평면도 및 측면도이고, 도 7d는 도 7c의 평면도에서 상부 플레이트를 제거한 상태를 나타낸다.

도 6 및 도 7을 참조하면, 본 발명에 따른 프로브 카드 이송모듈(200)은, 실제로 프로프 카드를 픽업(pick-up)하는 픽업부(210) 및 픽업부(210)를 수평방향 및 수직방향으로 이송하는 이송부(280)를 포함한다.

픽업부(210)는 상부 플레이트(220), 주행가이드부(230), 제1 구동부(260) 및 하부 플레이트(270)를 포함한다. 도 7을 참조하면, 주행가이드부(230)는 제1구동부(260)의 양쪽에 설치되는데, 이하에서는 설명의 편의를 위해 한쪽에 설치된 주행가이드부(230)에 대해서만 설명한다. 한쪽에 설치된 주행가이드부(230)와 반대쪽에 설치된 주행가이드부(230)는 제1구동부(260)를 중심으로 대칭적으로 동작한다.

상부 플레이트(220)는 상부 면에 형성되어 프로브 카드의 하부를 고정하는 프로브 카드 고정돌기(222)를 포함하는 상부 플레이트 바디(221), 상부 플레이트 바디(221)의 하부에 설치되는 2개의 거치대(223, 224)를 포함한다.

주행가이드부(230)는 상부 플레이트(220)의 하부플레이트(270)의 상부에 안착하여 상부플레이트(220)를 적재부(130) 또는 검사부(110) 방향으로 이송하는 기능을 수행하며, 이를 위해 3개의 주행가이드 모듈(231, 241, 251)과 3개의 대응가이드 레일(236, 246, 257), 고정걸쇠(255) 및 제3 가이드 레일(256)을 포함한다.

제1 주행가이드 모듈(231)은 제1가이드 바디(232), 제1 타이밍 벨트(233), 제1-1 가이드 레일(234) 및 제1-2 가이드 레일(235)을 포함한다. 제1가이드 바디(232)는 서로 일정간격 떨어져 서로 마주보는 2개의 플레이트로 구성되며 내부 양쪽 끝단에 회전로울러(미도시)가 설치되어 있다. 제1 타이밍 벨트(233)는 제1 가이드 바디(232)를 구성하는 2개의 플레이트 사이에서 제1 가이드 바디(232)를 구성하는 2개의 회전로울러를 따라 직선 운동한다. 회전로울러는 제1가이드 바디(232) 내부 또는 외부에서 인가되는 동력을 이용하여 일정한 속도로 회전한다. 즉, 회전로울러는 제1가이드 바디(232)의 진행과 별도로 독자적으로 회전한다.

제1-1 가이드 레일(234)은 제1가이드 바디(232)의 일 측면에 고정되며, 제1-2 가이드 레일(235)은 제1가이드 바디(232)의 반대 측면에 고정된다. 제1 대응가이드 레일(236)은 제1가이드 바디(232)의 일 측면에 고정된 제1-1 가이드 레일(234)이 삽입되어 제1가이드 바디(232)와 함께 이동한다.

상부 플레이트(220)의 하부에 설치된 2개의 거치대(223, 224) 중 제1거치대(223)의 측면은 제1가이드 바디(232)의 측면에 접촉하여 설치되고, 제2거치대(224)의 하부면은 제1 타이밍 벨트(233)의 상부에 위치하여, 상부플레이트(220)가 제1 타이밍 벨트(233)의 진행방향과 동일한 방향으로 진행한다.

제2 주행가이드 모듈(241)은 제2가이드 바디(242), 제2 타이밍 벨트(243), 제2 가이드 레일(244) 및 제1동력전달 바(245)를 포함한다.

제2가이드 바디(242)는 서로 일정간격 떨어져 서로 마주보는 2개의 플레이트로 구성되며 내부 양쪽 끝단에 회전로울러(미도시)가 설치되어 있는 것은 제1가이드 바디(231)와 동일하다. 제2 타이밍 벨트(243)는 제2 가이드 바디(242)를 구성하는 2개의 플레이트 사이에서 제2 가이드 바디(242)를 구성하는 2개의 회전로울러를 따라 직선 운동한다. 제1 주행가이드 모듈(231)과 같이, 2개의 회전로울러도 제2가이드 바디(242)의 내부 또는 외부에서 인가되는 동력을 이용하여 일정한 속도로 회전한다. 즉, 회전로울러는 제2가이드 바디(242)의 진행과 별도로 독자적으로 회전한다. 제2 가이드 레일(244)은 제1가이드 바디(232)의 반대 측면에 고정된다. 제1동력전달 바(245)는 일 단이 제2 타이밍 벨트(243)에 고정되며 반대 단은 제1가이드 바디(232)를 구성하는 2개의 플레이트 중 하나의 플레이트에 고정된다.

제2 대응가이드 레일(246)은 제2가이드 바디(242)의 일 측면에 고정되어 제2가이드 바디(242)와 함께 이동하며, 제1-2 가이드 레일(235)은 제2 대응가이드 레일(246)의 내부의 비어 있는 홈에 삽입되어 홈을 따라 이동한다.

제3 주행가이드 모듈(251)은 제3가이드 바디(252), 제3 타이밍 벨트(253) 및 제2동력전달 바(254)를 포함한다.

제3가이드 바디(252)는 서로 일정간격 떨어져 서로 마주보는 2개의 플레이트로 구성되며 내부 양쪽 끝단에 회전로울러(미도시)가 설치되어 있는 것은 제1가이드 바디(231) 및 제2가이드 바디(241)와 동일하다. 제3 타이밍 벨트(253)는 제3 가이드 바디(252)를 구성하는 2개의 플레이트 사이에서 제3 가이드 바디(252)를 구성하는 2개의 회전로울러를 따라 직선 운동한다. 제1 주행가이드 모듈(231) 및 제2 주행가이드 모듈(241)과 같이, 2개의 회전로울러도 제3가이드 바디(252)의 내부 또는 외부에서 인가되는 동력을 이용하여 일정한 속도로 회전한다. 즉, 회전로울러는 제3가이드 바디(252)의 진행과 별도로 독자적으로 회전한다. 제2동력전달 바(254)는 일 단이 제3 타이밍 벨트(253)에 고정되며 반대 단은 제2가이드 바디(242)를 구성하는 2개의 플레이트 중 하나의 플레이트에 고정된다.

제3 대응가이드 레일(256)은 제3가이드 바디(252)의 일 측면에 고정되며, 제2가이드 레일(244)은 제3 대응가이드 레일(256)의 비어 있는 내부 홈에 삽입되어 홈을 따라 이동한다.

고정걸쇠(257)는 "ㄴ" 자 형태를 가지며, 일 단은 제3가이드 바디(252)의 반대 측면을 고정한다.

제3 가이드 레일(258)은 하부 플레이트(270)의 상부 면에 고정된다.

제4 대응가이드 레일(259)은 상부 면은 고정걸쇠(257)의 반대 단에 고정되며, 제3가이드 레일(258)은 제4 대응가이드 레일(259) 하부 면의 비어 있는 홈에 삽입되어 홈을 따라 이동한다.

제1 구동부(260)는 제1서보 모터(261), 제1볼 스크류(262), 나사부(263) 및 제3동력 전달바(264)를 포함한다. 제1볼 스크류(262)는 제1서보 모터(261)의 힘으로 회전하며, 나사부(263)는 제1볼 스크류(262)의 회전에너지를 직선 운동에너지로 변환하여 정해진 방향으로 전진 및 후진을 한다. 제3동력 전달바(264)는 일 단은 나사부(263)에 고정되고 다른 일 단은 제3 가이드 바디(252)에 고정된다.

하부 플레이트(270)의 상부에는 주행가이드부(230) 및 제1구동부(260)가 설치된다.

이송부(280)는 하부 플레이트(270)의 하부에 위치하여, 픽업부(210) 전체를 상하방향으로 이동하거나 검사부(110)와 적재부(130) 사이를 이동하며, 이를 위해 제2서보 모터(281) 및 제2볼 스크류(282)를 구비한다. 이송부(280)의 구성은 기존에 알려진 장치들을 사용하며, 그 기능도 쉽게 이해할 수 있으므로, 여기서는 자세하게 설명하지 않는다.

도 2 ~ 도 6을 설명할 때, 나사부(263)의 이동과 연동하여 3개의 가이드 바디(232, 242, 252)가 동일한 시간에 서로 다른 거리를 이동한다는 것에 대해서 기재하였는데, 이하에서는 상기의 이동 메커니즘을 수행하는 프로브 카드 이송모듈(200)의 구체적인 구성에 대해서 설명한다.

도 8은 본 발명에 따른 프로브 카드 이송모듈의 동작을 설명한다.

도 8a는 프로브 카드 이송모듈의 하부에서 본 사시도이고, 도 8b는 프로브 카드 이송모듈의 상부 측면에서 본 사시도이며, 도 8c는 프로브 카드 이송모듈의 정면도이고, 도 8d는 프로브 카드 이송모듈의 정면도의 좌측 부분을 확대한 것이다.

도 8c 및 도 8d를 참조하면, 제1구동부(260)를 구성하는 제1서보 모터(261)에 의해 활성화되는 제1볼 스크류(262)의 회전운동이 나사부(263)에서 직선운동으로 변환되며, 나사부(263)와 연결된 제3동력 전달바(254)가 나사부(263)의 직선운동을 제3주행가이드 모듈(241)을 구성하는 가이드 바디(252)에 전달한다. 즉, 나사부(263)가 이동하는 속도 및 거리와 동일한 속도 및 거리로 제3 가이드 바디(252)가 이동하게 된다.

제3주행가이드 모듈(251)을 구성하는 제2동력 전달바(254)의 일 단은 제3주행가이드 모듈(251)을 구성하는 제3타이밍 벨트(253)에 연결되어 있고 반대 단은 제2주행가이드 모듈(241)을 구성하는 제2 가이드 바디(242)에 연결되어 있다는 것은 이미 설명하였다. 따라서, 제2동력 전달바(254)는 1차적으로는 나사부(263)에 의한 운동과 제3타이밍 벨트(253)에 의한 운동이 합쳐진 상태로 직선운동을 하게 된다. 설명의 편의를 위해 나사부(263)의 이동속도를 s1이라고 하고 타이밍벨트(253, 243, 233)의 이동속도를 각각 s2라고 가정한다. 제3 가이드 바디의 이동속도는 s1이 되고, 제2동력 전달바(254)의 이동속도는 s1+s2가 되며, 제2가이드 바디(242)의 이동속도도 제2동력 전달바(254)의 이동속도와 동일한 s1+s2가 될 것이다.

제2주행가이드 모듈(243)을 구성하는 제1동력 전달바(245)의 일 단은 제2주행가이드 모듈(243)을 구성하는 제2 타이밍 벨트(243)에 연결되어 있고 반대 단은 제1주행가이드 모듈(231)을 구성하는 제1가이드 바디(232)에 연결되어 있다. 따라서, 제1동력 전달바(245)의 이동속도는 s1+s2+s2가 되며, 더불어 제1 가이드 바디(232)의 이동속도도 제1동력 전달바(245)의 이동속도와 동일한 s1+s2+s2가 된다는 것은 쉽게 예상할 수 있다.

상부플레이트(220)를 구성하는 제2거치대(224)가 제1주행가이드 모듈(231)을 구성하는 제1타이밍 벨트(233)에 고정되어 있으므로, 상부플레이트(220)의 이동속도는 s1+s2+s2+s2가 된다.

요약하면, 제3가이드 바디(252)는 나사부(263)의 이동속도와 동일하지만, 제2가이드 바디(242)는 제3가이드 바디(252)에 비해 s2만큼 더 빠르게 이동하고, 제1가이드 바디(232)는 제2가이드 바디(242)에 비해 s2만큼 더 빠르게 이동하며, 상부플레이트(220)는 제1가이드 바디(232)에 비해 s2만큼 더 빠르게 이동한다는 것을 알 수 있다.

상술한 바와 같이, 본 발명에서는 일정한 거리를 이동하는 나사부(263)의 동작을 타이밍 벨트와 동력전달바를 이용하여 이동 거리를 더 늘리는 동작을 수행함으로써, 나사부(263)의 이동거리를 최소로 하도록 하여, 이송부(280)가 차지하는 공간을 최소로 할 수 있도록 하였다.

이상에서는 본 발명에 대한 기술사상을 첨부 도면과 함께 서술하였지만 이는 본 발명의 바람직한 실시 예를 예시적으로 설명한 것이지 본 발명을 한정하는 것은 아니다. 또한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 기술자라면 누구나 본 발명의 기술적 사상의 범주를 이탈하지 않는 범위 내에서 다양한 변형 및 모방 가능함은 명백한 사실이다.

210: 픽업부
220: 상부 플레이트
230: 주행가이드부
260: 제1구동부
270: 하부 플레이트
280: 이송부

Claims (5)

1. 워크스테이지에 안착한 액정표시패널을 프로브유닛을 이용하여 검사하는 검사부, 액정표시패널을 검사하는데 사용하는 다수의 프로브유닛이 설치되는 적재부 및 상기 적재부에 적재된 프로브유닛을 상기 검사부로 이송하는 프로브유닛 이송부를 구성하는 프로브 카드 이송모듈에서,
   상기 프로브 카드 이송모듈은,
   상기 적재부에 적재된 프로브카드를 상부 플레이트에 안착하거나 상기 상부 플레이트에 안착한 프로브카드를 검사부로 이송하여 상기 워크스테이지에 안착하는 픽업부; 및
   상기 픽업부를 상기 검사부와 상기 적재부 사이로 이송하고, 상기 픽업부를 상하로 이동하도록 하여 프로브카드의 픽업 및 프로브카드의 안착을 수행하도록 하는 이송부; 를 포함하며,
   상기 픽업부는,
   하부에 상기 이송부가 결합하는 하부 플레이트;
   상기 하부 플레이트의 상부 중앙에 위치하는 제1구동부;
   상기 제1구동부에서 제공하는 동력 및 내부에 설치된 동력전달바를 이용하여 서로 다른 속도로 주행하는 3개의 주행가이드 모듈이 상기 하부 플레이트의 가장자리 양쪽에 설치된 주행가이드부; 및
   상기 주행가이드부의 상부에 위치하여 프로브카드가 안착되는 상부 플레이트; 를 포함하며,
   상기 상부 플레이트는,
   상부 플레이트 바디;
   상기 상부 플레이트 바디의 상부에 형성된 프로브카드 고정돌기;
   상부 면은 상기 상부 플레이트의 하부 면에 고정되고 하부 면은 상기 주행가이드부에 고정되어 상기 주행가이드부로부터 운동 에너지를 전달받는 제1 거치대; 및
   상부 면은 상기 상부 플레이트의 하부 면에 고정되고 하부 면은 상기 주행가이드부에 접촉하여 상기 상부플레이트가 상기 주행가이드부에서 흔들리지 않도록하는 제2 거치대; 를 포함하며,
   상기 제1구동부는,
   제1서보 모터;
   상기 제1서보 모터에 의해 회전하는 제1볼 스크류;
   상기 제1볼 스크류의 회전 운동을 직선 운동으로 변환하는 나사부; 및
   일단이 상기 나사부와 결합하는 제3동력전달바; 를 포함하고,
   상기 주행가이드부 각각은,
   상기 제1구동부의 일 측면으로부터 상기 하부 플레이트의 가장자리 방향으로 순서대로 설치되는 제1주행가이드 모듈, 제2주행가이드 모듈 및 제3주행가이드 모듈;
   상기 제1주행가이드 모듈과 상기 제1구동부 사이에 설치되며, 개방된 홈이 상기 제1주행가이드 모듈의 일 측면을 향하는 제1대응가이드 레일;
   상기 제1주행가이드 모듈 및 상기 제2주행가이드 모듈 사이에 설치되며, 개방되지 않은 면이 상기 제2주행가이드 모듈에 고정되고 개방된 홈이 상기 제1주행가이드 모듈을 향하는 제2대응가이드 레일;
   상기 제2주행가이드 모듈 및 상기 제3주행가이드 모듈 사이에 설치되며, 개방되지 않은 면이 상기 제3주행가이드 모듈의 일 측면에 고정되며, 개방된 홈이 상기 제2주행가이드 모듈을 향하도록 설치된 제3대응가이드 레일;
   일면이 상기 하부 플레이트의 가장자리에 고정되고 반대 면인 돌출부가 상부를 향하는 제3가이드레일;
   개방된 홈에 상기 제3가이드레일의 돌출부가 삽입되도록 설치된 제4대응가이드 레일; 및
   ㄴ자 형태로 상기 제3주행가이드모듈과 상기 제4대응가이드 레일을 고정하는 고정걸쇠; 를 포함하며,
   상기 제3동력전달바의 다른 일 단은 상기 제3주행가이드 모듈에 고정되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 이송모듈.
2. 삭제
3. 삭제
4. 제1항에서,
   상기 제1주행가이드 모듈은,
   서로 일정간격 떨어져 서로 마주보는 2개의 플레이트로 구성되며 내부 양쪽 끝단에 회전로울러가 설치되어 있는 제1가이드 바디;
   상기 제1가이드 바디를 구성하는 2개의 플레이트 사이에서 상기 제1가이드 바디를 구성하며 상기 제1가이드 바디 내부 또는 외부에서 인가되는 동력을 이용하여 일정한 속도로 회전하는 2개의 회전로울러를 따라 직선 운동하는 제1타이밍 벨트;
   상기 제1가이드 바디의 일 측면에 고정되는 제1-1가이드 레일; 및
   상기 제1가이드 바디의 반대 측면에 고정되는 제1-2가이드 레일; 을 포함하고,
   상기 상부 플레이트의 하부에 설치된 2개의 거치대 중 상기 제1거치대의 측면은 상기 제1가이드 바디의 일 측면에 접촉하여 설치되고, 상기 제2거치대의 하부면은 상기 제1타이밍 벨트의 상부에 고정되며,
   상기 제2주행가이드 모듈은,
   서로 일정간격 떨어져 서로 마주보는 2개의 플레이트로 구성되며 내부 양쪽 끝단에 회전로울러가 설치되어 있는 제2가이드 바디;
   상기 제2 가이드 바디를 구성하는 2개의 플레이트 사이에서 상기 제2 가이드 바디를 구성하며 상기 제2가이드 바디의 내부 또는 외부에서 인가되는 동력을 이용하여 일정한 속도로 회전하는 2개의 회전로울러를 따라 직선 운동하는 제2타이밍 벨트;
   상기 제1가이드 바디의 반대 측면에 고정되는 제2가이드 레일; 및
   일 단이 상기 제2 타이밍 벨트에 고정되며 반대 단은 상기 제1가이드 바디를 구성하는 2개의 플레이트 중 하나의 플레이트에 고정되는 제1동력전달 바; 를 포함하며,
   상기 제3주행가이드 모듈은,
   서로 일정간격 떨어져 서로 마주보는 2개의 플레이트로 구성되며 내부 양쪽 끝단에 회전로울러가 설치되어 있는 제3가이드 바디;
   상기 제3가이드 바디의 내부 또는 외부에서 인가되는 동력을 이용하여 일정한 속도로 회전하는 2개의 회전로울러를 따라 직선 운동하는 제3타이밍 벨트; 및
   일 단이 상기 제3 타이밍 벨트에 고정되며 반대 단은 상기 제2가이드 바디를 구성하는 2개의 플레이트 중 하나의 플레이트에 고정되는 제2동력전달 바; 를 포함하며,
   상기 제1-1가이드 레일은 상기 제1대응가이드 레일의 홈에 삽입되어 홈을 따라 이동하며,
   상기 제1-2가이드 레일은 상기 제2대응가이드 레일의 홈에 삽입되어 홈을 따라 이동하고,
   상기 제2가이드 레일은 제3대응가이드 레일의 홈에 삽입되어 홈을 따라 이동하고,
   상기 제3가이드 레일은 상기 제4대응가이드 레일의 홈에 삽입되어 홈을 따라 이동하며,
   상기 제3동력전달바의 다른 일 단은 상기 제3가이드 바디를 구성하는 2개의 플레이트 중 하나에 고정되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 이송모듈.
5. 복수의 프로브 카드가 적재된 적재부;
   검사의 대상이 되는 제품의 특성을 검사하는 검사부; 및
   상기 적재부에 적재된 프로브 카드를 상기 검사부로 이송하거나, 상기 검사부에 안착된 프로브 카드를 상기 적재부로 이송하는 기능을 수행하며, 청구항 제1항 및 4항 중 어느 하나의 항에 기재된 프로브 카드 이송모듈을 포함하는 이송부; 를
   포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 이송시스템.

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