KR20130015410A - 다단 슬라이드형 기판이송장치 - Google Patents

다단 슬라이드형 기판이송장치 Download PDF

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KR20130015410A
KR20130015410A KR1020110077385A KR20110077385A KR20130015410A KR 20130015410 A KR20130015410 A KR 20130015410A KR 1020110077385 A KR1020110077385 A KR 1020110077385A KR 20110077385 A KR20110077385 A KR 20110077385A KR 20130015410 A KR20130015410 A KR 20130015410A
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Abstract

본 발명은 다단 슬라이드형 기판이송장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 다단 슬라이드형 기판이송장치는 기판을 이송하는 기판이송장치에 있어서, 구동부; 상기 구동부로부터 동력을 전달받아 베이스 상에서 왕복운동하는 슬라이딩부; 상기 슬라이딩부의 측부의 상호 이격된 위치에 장착되어 상기 슬라이딩부의 왕복운동시에 회전회동하는 한 쌍의 회동부재와, 상기 한 쌍의 회동부재를 상호 연결하여 상기 회동부재의 회전과 연동하여 주행하는 벨트부재로 구성되는 동력전달부; 상기 기판을 적재하여 이송하되, 상기 슬라이딩부의 이동시에 상기 벨트부재와 함께 이동하도록 상기 벨트부재에 장착되는 기판이송부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 다단 슬라이드형 기판이송장치가 제공된다.
이에 의하여, 이송암의 스트로크(stroke)는 증가시키되, 이송암의 회전반경은 최소화할 수 있는 다단 슬라이드형 기판이송장치가 제공된다.

Description

다단 슬라이드형 기판이송장치{MULTISTAGE SLIDING-TYPE APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE}
본 발명은 다단 슬라이드형 기판이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 커팩트한 구성만으로 이송암의 리치(reach), 또는, 이송암의 스트로크(stroke)를 극대화할 수 있는 다단 슬라이드형 기판이송장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위해서는 확산, 식각, 사진 및 클리닝 공정 등을 수행하게 된다. 이러한 각각의 공정들은 이전 공정과 연계되며, 각 공정이 완료된 후에 다음 공정으로 이송되어야 한다. 이러한 공정간의 기판이송을 위해서 각 공정으로부터 다음공정으로 이송하기 위한 기판이송장치가 사용된다.
일반적으로 이러한 기판이송장치는 기판이 적재되는 이송암이 구동부로부터 동력을 전달받음으로써, 전진 또는 후진하는 구조로 구성된다. 다만, 종래의 기판이송장치의 경우에 이송암이 전후진을 통하여 이동하는 최대거리, 즉, 이송암의 스트로크(stroke)는 이송암의 길이에 따라 비례하므로, 스트로크를 향상시키기 위해서는 이송암 자체의 길이를 길게 구성해야만 하였다.
이송암 길이가 증가하면, 기판 이송시의 이송암 회전반경이 커지게 되고, 기판 이송 작업시에 공간적인 제약이 발생하는 문제가 있었다.
또한, 이러한 방식의 기판이송장치는 이송암이 최대 스트로크까지 도달하는 시간이 구동부의 속도에만 영향을 받게되므로, 이송시간을 최소화하기 위해서는 고품질의 구동모터를 사용하여야 하는 문제가 있었다.
한편, 링크 구조 형태의 이송암으로 구성되는 기판이송장치의 경우에는 각 관절이 감속기로 연결되어, 스트로크를 증가시키기 위해서는 큰 용량의 감속기의 사용하여야 하는 어려움이 있었다.
따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 이송암의 스트로크(stroke)는 증가시키되, 이송암의 회전반경은 최소화할 수 있는 다단 슬라이드형 기판이송장치를 제공함에 있다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 기판을 이송하는 기판이송장치에 있어서, 구동부; 상기 구동부로부터 동력을 전달받아 베이스 상에서 왕복운동하는 슬라이딩부; 상기 슬라이딩부의 측부의 상호 이격된 위치에 장착되어 상기 슬라이딩부의 왕복운동시에 회전회동하는 한 쌍의 회동부재와, 상기 한 쌍의 회동부재를 상호 연결하여 상기 회동부재의 회전과 연동하여 주행하는 벨트부재로 구성되는 동력전달부; 상기 기판을 적재하여 이송하되, 상기 슬라이딩부의 이동시에 상기 벨트부재와 함께 이동하도록 상기 벨트부재에 장착되는 기판이송부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 다단 슬라이드형 기판이송장치에 의해 달성된다.
또한, 상기 기판이송부는 상기 슬라이딩부의 이동거리와 상기 벨트부재의 이동거리를 합한 만큼 이동할 수 있다.
또한, 상기 구동부는 상기 슬라이딩부와 결합되는 리니어 모터일 수 있다.
또한, 상기 베이스 상에 구비되어 상기 회동부재가 이동하는 경로를 가이드 하는 가이드레일을 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 슬라이딩부는 한 쌍이 상호 이격되어 마련되며, 상기 구동부는 한 쌍이 마련되어 각각이 상기 한 쌍의 슬라이딩부에 구동력을 전달할 수 있다.
또한, 상기 한 쌍의 슬라이딩부가 동시에 이동할 수 있도록 제어하기 위한 동기제어부를 더 포함할 수 있다.
또한, 하중으로 인하여 발생하는 상기 이송암의 처짐현상을 방지하기 위하여 이송암의 이동궤적을 보정하는 궤적보정부를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 궤적보정부는 상기 이송암의 이동거리와 상기 이송암의 하중을 고려하어 미리 정해진 높이만큼 상기 이송암의 단부를 들어올릴 수 있다.
본 발명에 따르면, 다단의 슬라이딩 형태로 전후진 하도록 구성되는 이송암을 구비함으로써 기판을 적재한 상태에서의 회전반경을 최소화하되, 전후진 이동시 이송암의 스트로크(stroke)는 최대화할 수 있는 다단 슬라이드형 기판이송장치가 제공된다.
또한, 단일의 구동부를 이용하여 다단 슬라이딩 구조로 구동하도록 함으로써 최대 스트로크까지 이송암이 이동하는데 걸리는 시간을 최소화 함으로써, 기판 이송시간을 최소화할 수 있다.
또한, 복수개의 구동부를 병렬식으로 배치하고, 각 이송암과 연동되도록 하여, 병렬로 배치되는 이송암이 개별구동 또는 동기화 구동 중 어느 하나의 방식으로 구동되도록 제어할 수 있다.
또한, 이송암을 하중이 고려되어 미리 계산된 가상의 궤적을 따라 이동하도록 함으로써, 이송암이 정확한 위치로 이동하도록 할 수 있으며, 이에 따라, 이송암 및 기판의 파손을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 다단 슬라이드형 기판이송장치의 개략도이고,
도 2는 도 1의 다단 슬라이드형 기판이송장치의 핸드부의 사시도이고,
도 3은 도 1의 다단 슬라이드형 기판이송장치의 핸드부의 측면도이고,
도 4는 도 1의 다단 슬라이드형 기판이송장치의 핸드부의 작동도이고,
도 5는 도 1의 다단 슬라이드형 기판이송장치의 궤적보정부의 작동시에 이동하는 핸드부의 가상궤적의 일례를 도시한 것이고,
도 6은 본 발명의 제2실시예에 따른 다단 슬라이드형 기판이송장치의 핸드부의 사시도이다.
설명에 앞서, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1실시예와 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따른 다단 슬라이드형 기판이송장치에 대하여 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 다단 슬라이드형 기판이송장치의 개략도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 다단 슬라이드형 기판이송장치(50)는 핸드부(100)와 회전부(200)와 승강부(300)를 포함한다.
도 2는 도 1의 다단 슬라이드형 기판이송장치의 핸드부의 사시도이고, 도 3은 도 1의 다단 슬라이드형 기판이송장치의 핸드부의 측면도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 핸드부(100)는 기판이 실질적으로 적재되는 부재로서, 베이스(110)와 구동부(120)와 슬라이딩부(130)와 동력전달부(140)와 기판이송부(150)와 궤적보정부(160)를 포함한다.
상기 베이스(110)는 판형태의 부재로서, 상면의 일측에는 후술하는 회동부재(141)의 이동 경로를 안내하기 위한 안내레일(111)이 형성된다.
상기 구동부(120)는 후술하는 슬라이딩부(130)에 구동력을 전달하기 위한 부재로서, 베이스(110) 상에 마련되어 전후진의 왕복 병진 운동이 가능하도록 하는 리니어 모터(linear motor)로 구비된다.
상기 슬라이딩부(130)는 상술한 구동부(120)의 리니어 모터에 연결되어 베이스(110) 상에서 전진 또는 후진하도록 구성되는 판 형태의 부재이다.
상기 동력전달부(140)는 슬라이딩부(130)의 전후진 왕복운동으로부터 발생되는 동력을 후술하는 기판이송부(150)에 전달하기 위한 것으로서, 회동부재(141)와 외측롤러(144)와 벨트부재(145)를 포함한다.
상기 회동부재(141)는 슬라이딩부(130)의 측부 양단에 상호 이격되어 회전가능하게 장착되는 제1롤러(142)와 제2롤러(143)를 포함한다.
상기 제1롤러(142)는 슬라이딩부(130) 측부의 일단에 회전가능하게 장착되며, 후술하는 외측롤러(144)와 동축 상에서 물리적으로 연결됨으로써, 제1롤러(142)와 외측롤러(144)는 병렬적으로 배치된다.
즉, 슬라이딩부(130)의 측면에 제1롤러(142)가 회전 가능하게 설치되되, 제1롤러(142)의 측면에는 외측롤러(144)가 병렬적으로 장착되어 제1롤러(142)와 외측롤러(144)는 상호 물리적으로 연결됨으로써, 제1롤러(142)와 외측롤러(144)는 동일한 방향과 속도로 회전하게 된다. 이때, 제1롤러(142)와 외측롤러(144)는 별도의 부재로 마련되어 상호 결합되는 형태가 될 수도 있고, 단일의 일체형으로 구성될 수도 있다.
또한, 외곽에 배치되는 외측롤러(144)의 외면은 상술한 베이스(110)의 안내레일(111)의 상면에 접촉되게 위치한다.
한편, 안내레일(111)의 상면과 접촉하는 외측롤러(144)의 동축상에 체결되는 제1롤러(142)는 후술하는 제2롤러(143)와 슬라이딩부(130) 측면상에서 상호 일직선을 이루며 배치되되, 제1롤러(142)와 제2롤러(143)는 벨트부재(145)에 의하여 상호 연결된다.
상기 제2롤러(143)는 슬라이딩부(130) 측부의 타단에 제1롤러(142)와 일직선 상에서 이격된 위치에 장착되며, 상술한 바와 같이 제1롤러(142)와 제2롤러(143)는 이들을 감싸며 장착되는 벨트부재(145)에 의하여 상호 연동된다.
따라서, 상술한 외측롤러(144)가 안내레일(111) 상에서 회전 구동하면, 이와 동축상에서 물리적으로 결합된 제1롤러(142)가 회전회동 되고, 벨트부재(145)에 의하여 제1롤러(142)와 연동되는 제2롤러(143) 역시 동시에 회전회동 한다. 즉, 결과적으로, 외측롤러(144)의 구동으로 인하여 벨트부재(145)가 제1롤러(142)와 제2롤러(143)를 감싸면서 주행하게 된다.
상기 기판이송부(150)는 벨트부재(145)의 상면에 체결되며, 벨트부재(145)의 주행과 연동하여 전후진 왕복 병진운동하도록 구성되는 것으로서, 이송패널(151)과 이송암(152)을 포함한다.
상기 이송패널(151)은 상술한 벨트부재(145)와 직접적으로 체결되는 것으로서, 벨트부재(145)의 이동과 연동하여 왕복 병진운동하게 된다.
상기 이송암(152)은 소정의 기판을 적재하고 이송하기 위한 부재로서, 이송패널(151) 상에 장착됨으로써 이송패널(151)과 함께 전후진 왕복 병진운동 하도록 구성된다.
상기 궤적보정부(160)는 하중에 의한 이송암(152)의 처짐현상을 보상함으로써 이송암(152)이 지면과 평행하게 구동되도록 하기 위한 것으로서, 이송암(152)의 단부를 소정의 높이로 들어올리는 부재이다.
즉, 궤적보정부(160)는 이송암(152)에 자체 하중에 의하여 처짐현상이 발생하면, 이송암(152)을 적재대상 기판이 있는 정확한 곳으로 위치시키기 어려우므로 기판 적재시 이송암(152)이 정확한 위치로 이동되도록 보조하기 위한 부재이다.
상기 회전부(200)는 기판을 이송암(152)에 적재하거나, 적재된 기판을 원하는 위치에 내려 놓도록 핸드부(100)을 소정각도로 회전하기 위한 부재이다.
상기 승강부(300)는 핸드부(100)를 원하는 높이로 승강시키기 위한 부재이다.
지금부터는 상술한 다단 슬라이드형 기판이송장치의 제1실시예(50)의 작동에 대하여 설명한다.
도 4는 도 1의 다단 슬라이드형 기판이송장치의 핸드부의 작동도이다.
먼저, 회전부(200) 및 승강부(300)를 작동시킴으로써 이송 대상이 되는 기판이 위치한 높이와 방향으로 핸드부(100)를 이동시킨다.
도 4에 도시된 바와 같이, 핸드부(100)가 적절한 위치에 배치되면, 리니어 모터로 구성되는 구동부(120)에 전원이 인가되어 전진 이동하며, 구동부(120)에 연결되는 슬라이딩부(130) 역시 전진이동 한다. 이때, 구동부(120)의 구동으로 인한 슬라이딩부(130)의 이동간격을 L1 이라 정의한다.
한편, 슬라이딩부(130)의 전진이동으로 인하여 측부에 회전회동 가능하게 장착되는 외측롤러(144)가 베이스(110) 상에 형성되는 안내레일(111)의 상면과 접촉하며 회전구동하게 된다. 외측롤러(144)가 회전하면 외측롤러(144)와 연결되는 제1롤러(142) 역시 동일한 회전속도와 방향으로 회전회동 한다.
이때, 제1롤러(142)가 회전함에 따라 제1롤러(142)와 제2롤러(143)를 연동시키는 벨트부재(145)의 상면은 슬라이딩부(130)의 이동방향과 동일한 방향을 따라서 주행하게 된다. 또한, 벨트부재(145)의 상면에 체결되는 이송패널(151) 역시 벨트부재(145)의 전진주행에 따라 전진 이동하게 되고, 이송패널(151)은 이송암(152)을 전진시킴으로써 기판을 적재하게 된다. 이러한 벨트부재(145)의 주행에 따른 이송패널(151) 및 이송암(152)의 이동간격을 L2 이라 정의한다.
한편, 최초위치에서부터 이송패널(151) 및 이송암(152)의 총 이동거리는 벨트부재(145)의 주행에 따른 이동거리(L2) 뿐만 아니라 슬라이딩부(130)의 전진이동에 따른 이동거리(L1)에 동시에 영향을 받는 것이므로, 이송패널(151) 및 이송암(152)은 총 L1 + L2 만큼 이동한다. 즉, 구동부의 L1 만큼의 전진 이동만으로도 기판이 적재되는 이송암의 이동거리는 L1 + L2 만큼 전진하게 되며, 반대로, 구동부의 L1 만큼의 후진이동만으로 이송암은 L1 + L2 만큼 후진하게 된다.
따라서, 이송암(152)의 최초상태로부터 최대이동거리인 스트로크(S)는 최대 L1 + 최대 L2 가 되는 것이다.
도 5는 도 1의 다단 슬라이드형 기판이송장치의 궤적보정부의 작동시에 이동하는 핸드부의 가상궤적의 일례를 도시한 것이다.
한편, 상술한 원리에 의한 이송암(152) 이동시, 이송암(152)은 자체의 하중으로 인하여 하방으로 처지게 된다. 이러한 처짐현상은 이송암(152)이 기판이 위치한 정확한 위치로 이동하는 것을 방해하고, 이러한 오동작은 이송암(152) 또는 적재 대상이 되는 기판을 파손할 수도 있다.
도 5를 참조하여, 궤적보정부(160)의 작동을 설명하면, 상술한 오동작을 방지하기 위하여 궤적보정부(160)가 이송암(152)의 하중으로부터 미리 계산된 높이 만큼 이송암(152)을 들어올림으로써, 하중의 영향을 받음에도 이송암(152)이 지면과 수평이동할 수 있도록 한다.
다시 설명하면, 궤적보정부(160)는 이송암(152)의 하중을 고려하여 이송암(152)의 이동거리에 대응하여 가상의 궤적(t)을 미리 설정한 후에, 설정된 가상의 포물선 궤적(t)을 따라 이송암(152)이 이동하도록 함으로써, 실제 구동시에는 포물선 궤적(t)으로부터 하방으로 처지며 이송암(152)은 직선이동할 수 있도록 한다.
따라서, 본 실시예에 따르면, 2단 슬라이드 구동방식을 통하여 종래의 기판이송장치의 이송암에서 구현할 수 있는 최대 이동거리, 즉, 종래 이송암의 스트로크(stroke)보다 긴 리치를 구현할 수 있다.
또한, 본 실시예의 2단 슬라이드 구동방식을 이용하면, 동일한 성능의 구동부를 이용하는 종래 기판이송장치의 이송암의 이동속도보다 향상된 속도를 구현할 수 있으며, 기판의 이송시간을 절감할 수 있다.
또한, 본 실시예의 궤적보정부에 따라 기판이 가상의 이동궤적을 따라 이동함으로써, 이송암이 원하는 기판이 위치한 곳으로 정확하게 이동할 수 있게 된다.
다음으로 본 발명의 제2실시예에 따른 다단 슬라이드형 기판이송장치에 대하여 설명한다.
본 발명의 제2실시예에 따른 다단 슬라이드형 기판이송장치는 핸드부(400)와 회전부(200)와 승강부(300)를 포함한다.
한편, 상기 회전부(200)와 승강부(300)는 제1실시예에서 상술한 구성과 동일한 것이므로 중복 설명한다.
도 6은 본 발명의 제2실시예에 따른 다단 슬라이드형 기판이송장치의 핸드부의 사시도이다.
도 6을 참조하면, 상기 핸드부(400)는 베이스(410)와 구동부(420)와 슬라이딩부(430)와 동력전달부(440)와 기판이송부(450)와 궤적보정부(160)와 동기제어부(470)를 포함한다.
상기 궤적보정부는 제1실시예에서 상술한 구성과 동일한 것이므로 중복설명은 생략한다.
상기 베이스(410)는 상술한 제1실시예와 동일한 판 형태로 마련되며, 한 쌍의 안내레일(411)이 상호 이격되게 형성된다.
상기 구동부(420)는 제1실시예의 구성과는 달리, 베이스(410) 상에 폭 방향을 따라 상호 이격되도록 한 쌍이 마련된다.
상기 슬라이딩부(430) 상술한 한 쌍의 각 구동부(420)에 대응되도록 한 쌍이 상호 이격되게 마련된다.
상기 동력전달부(440)는 슬라이딩부(430)의 전후진 왕복 병진운동으로부터 발생되는 동력을 후술하는 기판이송부(450)에 전달하기 위한 것으로서, 제1롤러(442)와 제2롤러(443)로 구성되는 회동부재(441)와 외측롤러(444)와 벨트부재(445)를 포함한다.
한편, 상기 회동부재(441)는 한 상이 상기 한 쌍의 슬라이딩부(430) 각각의 측부에 마련된다.
상기 기판이송부(450)는 한 쌍의 이송패널(451)과 이송암(452)을 포함하며, 각각의 이송패널(451)과 이송암(452)이 한 쌍의 슬라이딩부(430)에 마련되는 벨트부재(445) 각각에 장착된다.
즉, 상술한 구성에 의하면, 각 구동부(420)는 별개로 작동되고, 이와 각각 체결 또는 결합되는 슬라이딩부(430) 및 기판이송부(450) 역시 각 구동부(420)의 작동에 의하여 별개로 작동하게 된다.
상기 동기제어부(470)는 상술한 구동부(420)가 개별로 구동하도록 하거나, 동기구동하여 동시에 구동하도록 제어하는 부재이다.
따라서, 본 실시예에 의하면, 한 쌍의 이송암(452)은 별개로 기판을 각각 이송할 수도 있고, 또는, 동기제어부(470)에 의하여 동기화되어 동시에 구동될 수도 있다.
본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.
100 : 핸드부 110 : 베이스
120 : 구동부 130 : 슬라이딩부
140 : 동력전달부 141 : 회동부재
145 : 벨트부재 150 : 기판이송부
151 : 이송패널 152 : 이송암
160 : 궤적보정부 200 : 회전부
300 : 승강부

Claims (9)

  1. 기판을 이송하는 기판이송장치에 있어서,
    구동부;
    상기 구동부로부터 동력을 전달받아 베이스 상에서 왕복운동하는 슬라이딩부;
    상기 슬라이딩부의 측부의 상호 이격된 위치에 장착되어 상기 슬라이딩부의 왕복운동시에 회전회동하는 한 쌍의 회동부재와, 상기 한 쌍의 회동부재를 상호 연결하여 상기 회동부재의 회전과 연동하여 주행하는 벨트부재로 구성되는 동력전달부;
    상기 기판을 적재하여 이송하되, 상기 슬라이딩부의 이동시에 상기 벨트부재와 함께 이동하도록 상기 벨트부재에 장착되는 기판이송부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 다단 슬라이드형 기판이송장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 베이스 상에는 길이방향을 따라서 안내레일이 길게 형성되고,
    상기 동력전달부는 외주면이 상기 안내레일의 상면과 접촉하되 상기 회동부재 중 적어도 하나와 연결됨으로써 상기 슬라이딩부의 이동시에 상기 안내레일과 접촉하며 회전하는 외측롤러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다단 슬라이드형 기판이송장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 기판이송부는 상기 슬라이딩부의 이동거리와 상기 벨트부재의 주행거리를 합한 만큼 이동하는 것을 특징으로 하는 다단 슬라이드형 기판이송장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 구동부는 상기 슬라이딩부에 결합되는 리니어 모터인 것을 특징으로 하는 다단 슬라이드형 기판이송장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 베이스 상에 구비되어 상기 회동부재가 이동하는 경로를 가이드 하는 가이드레일을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다단 슬라이드형 기판이송장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 슬라이딩부는 한 쌍이 상호 이격되어 마련되며,
    상기 구동부는 한 쌍이 마련되어 각각이 상기 한 쌍의 슬라이딩부 각각에 구동력을 전달하는 것을 특징으로 하는 다단 슬라이드형 기판이송장치.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 한 쌍의 슬라이딩부가 동기화된 상태로 구동할 수 있도록 제어하는 동기제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다단 슬라이드형 기판이송장치.
  8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
    하중으로 인하여 발생하는 상기 이송암의 처짐현상을 방지하기 위하여 이송암의 이동궤적을 보정하는 궤적보정부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다단 슬라이드형 기판이송장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 궤적보정부는 상기 이송암의 이동거리와 상기 이송암의 하중을 고려하어 미리 정해진 높이만큼 상기 이송암의 단부를 들어올리는 것을 특징으로 하는 다단 슬라이드형 기판이송장치.
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