KR100921636B1 - 기판 캐리어 이송장치 - Google Patents

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Abstract

기판이 수납된 기판 캐리어를 신속하고 안정적으로 이송할 수 있는 기판 캐리어 이송장치가 개시된다. 기판 캐리어 이송장치는 2차원 이동 가능하게 설치되는 베이스, 베이스 상에 슬라이드 이동 가능하게 제공되는 다단 슬라이드 몸체부, 다단 슬라이드 몸체부 중 최상부에 구비되는 캐리어 지지부를 포함한다.
Figure R1020070122337
기판 캐리어, 베이스, 다단 슬라이드 몸체부, 캐리어 지지부

Description

기판 캐리어 이송장치{APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE CARRIER}
본 발명은 기판 캐리어 이송장치에 관한 것으로, 보다 자세하게는 기판이 수납된 기판 캐리어를 신속하고 안정적으로 이송할 수 있는 기판 캐리어 이송장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위해서는 리소그래피, 증착 및 에칭 등의 공정을 반복적으로 수행한다. 이러한 공정들을 거치는 동안 기판(예를 들어 실리콘 웨이퍼) 상에는 각종 파티클, 금속 불순물, 유기물 등이 잔존하게 된다. 이와 같은 오염 물질은 제품의 수율 및 신뢰성에 악영향을 미치기 때문에 반도체 제조 공정에서는 기판에 잔존된 오염 물질을 제거하기 위한 세정 공정이 수행된다.
기판을 세정하는 방식은 처리 방식에 따라 크게 건식(Dry)세정방식과, 습식(Wet)세정방식으로 구분될 수 있다. 그 중 습식세정방식은 여러 가지 약액이 일정 비율로 혼합된 세정액이 수용된 세정조 내부에 기판을 일정시간 침지시켜 기판을 세정하는 방식을 말한다.
일반적으로 습식세정장치에서 기판은 캐리어 내부에 수납된 상태로 로딩 및 언로딩될 수 있으며, 습식세정장치의 반출입부로 로딩된 캐리어는 캐리어 보관부의 선반에 예비 적재된 후 이송장치에 의해 이송되어 일련의 처리 과정을 거치게 된다.
첨부한 도 1은 종래 기판 캐리어 이송장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 1에서 도시한 바와 같이, 종래 기판 캐리어 이송장치(20)는 상하 및 좌우 방향을 따라 이동하는 리프트(30), 상기 리프트(30)에 회동 가능하게 장착되는 링크암(40), 상기 링크암(40)의 단부에 구비되어 기판 캐리어(11)를 지지하는 지지부(50)를 포함하여 구성되며, 상기 링크암(40)이 관절과 같이 접혀졌다 펴지면서 기핀 캐리어(11)를 필요한 장소에 하역할 수 있다.
그런데, 종래 기판 캐리어 이송장치는 링크암이 접혀졌다 펴지면서 움직이도록 구성됨에 따라 기판 캐리어의 이송속도(대략 15초)를 일정이상 단축하기 어려운 문제점이 있다.
더욱이 이러한 링크 방식의 이송장치는 기판 캐리어의 이송시 떨림 및 흔들림이 수반되는 문제점이 있고, 링크암이 접혔다 펴지는 과정에서 주변 구조물과 간섭이 발생되는 문제점이 있다.
또한, 종래 이송장치는 링크암이 회전 구동되기 위한 일정 공간이 확보되어야 했던 바, 이에 따라 장비의 공간효율성 및 설계자유도가 저하되는 문제점이 있다.
본 발명은 기판 캐리어를 신속하고 안정적으로 이송할 수 있는 기판 캐리어 이송장치를 제공한다.
또한, 본 발명은 공간활용성 및 설계자유도를 향상시킬 수 있는 기판 캐리어 이송장치를 제공한다.
상술한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 기판 캐리어 이송장치는 2차원 이동 가능하게 설치되는 베이스, 베이스 상에 슬라이드 이동 가능하게 제공되는 다단 슬라이드 몸체부, 다단 슬라이드 몸체부 중 최상부에 구비되는 캐리어 지지부를 포함한다.
다단 슬라이드 몸체부는 상대 슬라이딩 가능하게 순차적으로 결합되는 복수개의 슬라이드 몸체를 포함하여 구성될 수 있으며, 각 슬라이드 몸체는 모두 동일한 방향을 향해 동시에 이동할 수 있다. 경우에 따라서는 슬라이드 몸체 중 일부만이 동일한 방향을 향해 이동하도록 구성할 수 있으며, 슬라이드 몸체부의 개수 및 형태에 의해 본 발명이 제한되거나 한정되는 것은 아니다.
일 예로, 다단 슬라이드 몸체부는 베이스 상에 슬라이드 이동 가능하게 장착되는 하부 슬라이드 몸체, 하부 슬라이드 몸체 상에 슬라이드 이동 가능하게 장착되는 적어도 하나의 중간 슬라이드 몸체, 중간 슬라이드 몸체 상에 슬라이드 이동 가능하게 장착되는 상부 슬라이드 몸체를 포함할 수 있으며, 하부 슬라이드 몸체, 중간 슬라이드 몸체, 상부 슬라이드 몸체는 연동되며 동일한 방향을 향해 동시에 이동될 수 있다.
다단 슬라이드 몸체부를 구성하는 각 슬라이드 몸체 간의 연결구조는 요구되 는 조건 및 설계 사양에 따라 다양하게 변경될 수 있다. 일 예로, 베이스에는 제1랙기어가 구비될 수 있고, 중간 슬라이드 몸체에는 제2랙기어가 구비될 수 있으며, 하부 슬라이드 몸체에는 제1랙기어와 치합되는 제1피니언기어 및 제2랙기어와 치합되며 제1피니언기어와 연동되는 제2피니언기어가 구비될 수 있다. 한편, 하부 슬라이드 몸체에는 제1벨트연결부가 구비될 수 있고, 상부 슬라이드 몸체에는 제2벨트연결부가 구비될 수 있으며, 중간 슬라이드 몸체에는 제1벨트연결부에 연결되는 제1벨트 및 제2벨트연결부에 연결되며 제1벨트와 연동되는 제2벨트가 구비가 구비될 수 있다. 경우에 따라서는 하부 슬라이드 몸체, 중간 슬라이드 몸체 및 상부 슬라이드 몸체가 모두 랙과 피니언에 의해 연동 가능하게 연결될 수 있으며, 다르게는 하부 슬라이드 몸체, 중간 슬라이드 몸체 및 상부 슬라이드 몸체가 모두 벨트와 벨트 풀리에 의해 연동 가능하게 연결될 수도 있다.
베이스와 다단 슬라이드 몸체부의 연결구조는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양하게 변경될 수 있다. 일 예로, 베이스에는 구동모터의 구동력에 의해 회전하는 구동피니언기어가 구비될 수 있으며, 다단 슬라이드 몸체부에는 구동피니언기어와 치합되는 구동랙기어가 구비될 수 있다. 경우에 따라서는 여타 다른 통상의 동력전달부재를 통해 베이스에 대해 다단 슬라이드 몸체부가 슬라이드 이동하도록 구성할 수 있다.
다단 슬라이드 몸체부의 슬라이드 이동이 안정적으로 구현될 수 있도록, 베이스와 다단 슬라이드 몸체부 간의 상호 접촉면 중 어느 일측에는 안내돌기가 형성될 수 있고, 베이스와 다단 슬라이드 몸체부 간의 상호 접촉면 중 다른 일측에는 안내돌기가 슬라이딩 가능하게 수용될 수 있도록 안내홈이 형성될 수 있다. 안내돌기 및 안내홈의 개수 및 위치는 요구되는 조건에 따라 다양하게 변경될 수 있다. 일 예로, 베이스와 다단 슬라이드 몸체부는 서로 다른 평면 상에 배치되는 적어도 두개의 접촉면을 가질 수 있으며, 각각의 접촉면에는 안내돌기 및 안내홈이 각각 형성될 수 있다.
또한, 하부 슬라이드 몸체, 중간 슬라이드 몸체 및 상부 슬라이드 몸체의 슬라이드 이동이 안정적으로 구현될 수 있도록, 각 슬라이드 몸체 간의 상호 접촉면 중 어느 일측에는 가이드레일이 형성될 수 있고, 각 슬라이드 몸체 간의 상호 접촉면 중 다른 일측에는 가이드레일이 슬라이딩 가능하게 수용될 수 있도록 가이드홈이 형성될 수 있다.
본 발명에 따른 기판 캐리어 이송장치에 의하면, 다단 슬라이드 몸체가 동시에 슬라이드 이동하며 기판 캐리어가 이송될 수 있게 함으로써, 기판 캐리어의 이송시간을 현저하게 단축할 수 있으며, 스루풋을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따르면 다단 슬라이드 몸체가 면접촉(또는 선접촉) 상태를 유지하며 직선 이동될 수 있기 때문에 기판 캐리어가 흔들림없이 안전하게 이송될 수 있으며, 기판 캐리어의 이송시 떨림 및 흔들림에 의한 안정성 및 신뢰성 저하를 방지할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면 다단 슬라이드 몸체의 직선 이동에 의해 기판 캐리어가 이송될 수 있기 때문에 이송장치의 작동에 필요한 작동 공간을 최소화할 수 있으며, 장비의 공간활용성 및 설계자유도를 향상시킬 수 있다.
이하 첨부된 도면들을 참조하여 본 고안의 바람직한 실시예를 상세하게 설명하지만, 본 고안이 실시예에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 참고로, 본 설명에서 동일한 번호는 실질적으로 동일한 요소를 지칭하며, 상기 규칙 하에서 다른 도면에 기재된 내용을 인용하여 설명할 수 있고, 당업자에게 자명하다고 판단되거나 반복되는 내용은 생략될 수 있다.
도 2 및 도 3은 본 발명에 따른 기판 캐리어 이송장치의 구조를 도시한 측면도이고, 도 4 및 도 5는 본 발명에 따른 기판 캐리어 이송장치의 작동구조를 설명하기 위한 도면이다.
이들 도면에서 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 기판 캐리어 이송장치(100)는 기판 캐리어(10)를 이송하기 위한 것으로서, 베이스(110), 다단 슬라이드 몸체부(200), 캐리어 지지부(600)를 포함한다.
즉, 본 발명에 따른 기판 캐리어 이송장치(100)는 습식세정장치에서 기판 캐리어(10)가 로딩(또는 언로딩)되는 반출입부 상에 제공되어 로딩되거나 캐리어 보관부의 선반에 예비 적재된 기판 캐리어(10)를 이송할 수 있다.
여기서 기판 캐리어(10)라 함은 웨이퍼와 같은 기판이 이송 및 처리 동안 기판에 대해 오염 없는 저장환경을 제공할 수 있으며 기판을 보호할 수 있는 캐리어로서, 통상의 전방 개방 단일화 포드(Front Opening Unified Pod: FOUP, 소위 풉이라 함) 및 다양한 컨테이너를 포함할 수 있다.
상기 베이스(110)는 통상의 리프트유닛(미도시)에 연결되어 2차원 이동될 수 있다. 일 예로, 상기 베이스(110)는 서로 직교하는 X축 방향 및 Y축 방향을 따라 2차원 이동될 수 있으며, 베이스(110)의 구조 및 이동 방향에 따라 본 발명이 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 이하에서는 상기 베이스(110)가 대략 "L" 단면을 가지도록 형성되며, 베이스(110)의 일측에는 구동모터(120) 및 구동모터(120)의 구동력에 의해 회전하는 구동피니언기어(130)가 구비된 예를 들어 설명하기로 한다.
상기 다단 슬라이드 몸체부(200)는 베이스(110) 상에 슬라이드 이동 가능하게 제공된다. 이러한 다단 슬라이드 몸체부(200)는 상대 슬라이딩 가능하게 순차적으로 결합되는 복수개의 슬라이드 몸체를 포함하여 구성될 수 있으며, 각 슬라이드 몸체는 모두 동일한 방향을 향해 동시에 이동할 수 있다. 경우에 따라서는 복수개의 슬라이드 몸체 중 몇몇 일부만이 동일한 방향을 향해 이동하도록 구성할 수 있으며, 슬라이드 몸체부의 개수 및 형태에 의해 본 발명이 제한되거나 한정되는 것은 아니다.
일 예로, 상기 다단 슬라이드 몸체부(200)는 하부 슬라이드 몸체(300), 중간 슬라이드 몸체(400), 상부 슬라이드 몸체(500)를 포함하여 구성될 수 있으며, 여기서 상기 중간 슬라이드 몸체(400)는 단 하나만이 제공될 수 있음은 물론 요구되는 조건에 따라 복수개가 제공될 수 있다.
상기 하부 슬라이드 몸체(300)는 베이스(110) 상에 슬라이드 이동 가능하게 장착되고, 상기 중간 슬라이드 몸체(400)는 하부 슬라이드 몸체(300)의 상부에 슬라이드 이동 가능하게 장착되며, 상기 상부 슬라이드 몸체(500)는 중간 슬라이드 몸체(400)의 상부에 슬라이드 이동 가능하게 장착된다. 이와 같이 순차적으로 슬라이딩 가능하게 장착된 하부 슬라이드 몸체(300), 중간 슬라이드 몸체(400), 상부 슬라이드 몸체(500)는 연동되며 모두 동일한 방향을 향해 동시에 슬라이드 이동될 수 있다. 이때, 상기 각 슬라이드 몸체(300,400,500) 간의 슬라이딩 연결구조는 통상의 방법에 의해 구현될 수 있으며, 각 슬라이드 몸체(300,400,500) 간의 슬라이딩 연결구조에 의해 본 발명이 제한되거나 한정되는 것은 아니다.
한편, 베이스(110)와 다단 슬라이드 몸체부(200)의 연결구조는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양하게 변경될 수 있다. 일 예로, 다단 슬라이드 몸체부(200)에는 베이스(110)에 구비된 구동피니언기어(130)와 치합되는 구동랙기어(310)가 구비될 수 있다. 즉, 하부 슬라이드 몸체(300)에는 구동피니언기어(130)와 치합되는 구동랙기어(310)가 구비될 수 있으며, 구동모터(120)에 의해 구동피니언기어(130)가 회전함에 따라 구동피니언기어(130)와 치합된 구동랙기어(310)를 통해 다단 슬라이드 몸체부(200)가 베이스(110)에 대해 슬라이드 이동할 수 있다. 경우에 따라서는 여타 다른 통상의 동력전달부재(예를 들어 볼스크류)에 의해 다단 슬라이드 몸체부(200)가 베이스(110)에 대해 슬라이드 이동하도록 구성할 수 있다.
그리고, 상기 각 슬라이드 몸체(300,400,500) 간의 연동구조 역시 요구되는 조건 및 방식에 따라 다양한 방식으로 구현될 수 있다. 일 예로, 베이스(110)에는 제1랙기어(140)가 구비될 수 있고, 중간 슬라이드 몸체(400)에는 제2랙기어(410)가 구비될 수 있으며, 하부 슬라이드 몸체(300)에는 제1랙기어(140)와 치합되는 제1피니언기어(320) 및 제2랙기어(410)와 치합되며 제1피니언기어(320)와 연동되는 제2 피니언기어(330)가 구비될 수 있다. 즉, 상기 제1피니언기어(320)와 제2피니언기어(330)는 동일한 회전축을 갖도록 연결되며, 제1피니언기어(320)와 제2피니언기어(330) 중 어느 하나가 회전될 시 나머지 다른 하나 역시 동일한 방향으로 동시에 회전될 수 있다.
이와 같은 구조에 의해, 구동모터(120)의 구동력에 의해 하부 슬라이드 몸체(300)가 베이스(110)에 대해 슬라이드 이동하게 되면, 베이스(110)의 제1랙기어(140)와 치합된 중간 슬라이드 몸체(400)의 제1피니언기어(320)가 회전하게 되고, 제1피니언기어(320)의 회전에 의해 연동되며 제2피니언기어(330)가 동일한 방향으로 회전할 수 있다. 결국 제2피니언기어(330)의 회전에 의해 중간 슬라이드 몸체(400)가 하부 슬라이드 몸체(300)에 대해 슬라이드 이동할 수 있다. 이때, 상기 하부 슬라이드 몸체(300) 역시 베이스(110)에 대해 슬라이드 이동하고 있기 때문에 중간 슬라이드 몸체(400)는 절대 좌표 상에서 더 빠른 속도록 이동될 수 있다.
아울러, 상기 하부 슬라이드 몸체(300)의 이동에 따른 중간 슬라이드 몸체(400)의 이동거리는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양하게 변경될 수 있다. 일 예로, 하부 슬라이드 몸체(300)의 이동에 따른 중간 슬라이드 몸체(400)의 이동거리는 서로 치합되는 제1피니언기어(320)와 제1랙기어(140)의 기어비 및 제2피니언기어(330)와 제2랙기어(410)의 기어비를 조절함으로써 변경할 수 있다. 바람직하게는 베이스(110)에 대한 하부 슬라이드 몸체(300)의 이동거리(d1)와 하부 슬라이드 몸체(300)에 대한 중간 슬라이드 몸체(400)의 이동거리(d2)가 동일하게 구성될 수 있다.
한편, 상기 중간 슬라이드 몸체(400)의 슬라이드 이동에 의해 연동되는 상부 슬라이드 몸체(500)는 벨트를 통해 동력을 전달받도록 구성될 수 있다. 즉, 하부 슬라이드 몸체(300)에는 제1벨트연결부(340)가 구비될 수 있고, 상부 슬라이드 몸체(500)에는 제2벨트연결부(510)가 구비될 수 있으며, 중간 슬라이드 몸체(400)에는 제1벨트연결부(340)에 연결되는 제1벨트(440) 및 제2벨트연결부(510)에 연결되며 제1벨트(440)와 연동되는 제2벨트(450)가 구비가 구비될 수 있다. 상기 제1벨트(440)와 제2벨트(450)는 동일한 벨트 풀리(445)에 의해 회전될 수 있으며, 제1벨트(440)와 제2벨트(450) 중 어느 하나가 회전될 시 나머지 다른 하나 역시 동일한 방향으로 동시에 회전될 수 있다.
이러한 구조에 의해, 중간 슬라이드 몸체(400)가 하부 슬라이드 몸체(300)에 대해 슬라이드 이동하게 되면, 제1벨트연결부(340)에 고정 연결된 제1벨트(440)가 회전하게 되고, 제1벨트(440)에 회전에 의해 연동되며 제2벨트(450)가 동일한 방향으로 회전할 수 있다. 결국 제2벨트(450)에 회전에 의해 제2벨트(450)에 고정 연결된 상부 슬라이드 몸체(500)가 중간 슬라이드 몸체(400)에 대해 슬라이드 이동할 수 있다. 이때 역시, 상기 중간 슬라이드 몸체(400) 역시 슬라이드 이동하고 있기 때문에 상부 슬라이드 몸체(500)는 절대 좌표 상에서 더 빠른 속도로 이동될 수 있다. 또한, 상기 중간 슬라이드 몸체(400)에 대한 상부 슬라이드 몸체(500)의 이동거리(d3) 역시 전술한 하부 슬라이드 몸체(300)에 대한 중간 슬라이드 몸체(400)의 이동거리(d2)와 동일하게 구성될 수 있다.
이와 같이 상부 슬라이드 몸체(500)는 중간 슬라이드 몸체(400)가 이동함에 따라 벨트(440,450)에 의해 연동될 수 있는 바, 이와 같은 구조는 상부 슬라이드 몸체(500)가 중간 슬라이드 몸체(400)의 단부를 넘어서 외측으로 돌출되지 않고 중간 슬라이드 몸체(400) 영역 상에서 슬라이드 이동될 수 있게 하며 상부 슬라이드 몸체(500)의 슬라이드 이동이 떨림 및 흔들림 없이 보다 안정적으로 구현될 수 있게 한다. 경우에 따라서는 하부 슬라이드 몸체, 중간 슬라이드 몸체 및 상부 슬라이드 몸체가 모두 랙과 피니언에 의해 연동 가능하게 연결될 수 있으며, 다르게는 하부 슬라이드 몸체, 중간 슬라이드 몸체 및 상부 슬라이드 몸체가 모두 벨트와 벨트 풀리에 의해 연동 가능하게 연결될 수도 있다.
한편, 상기 다단 슬라이드 몸체부(200)의 슬라이드 이동이 안정적으로 구현될 수 있도록, 베이스(110)와 다단 슬라이드 몸체부(200) 간의 상호 접촉면 중 어느 일측에는 안내돌기(150,150')가 형성될 수 있고, 베이스(110)와 다단 슬라이드 몸체부(200) 간의 상호 접촉면 중 다른 일측에는 안내돌기(150,150')가 슬라이딩 가능하게 수용될 수 있도록 안내홈(350,350')이 형성될 수 있다. 이하에서는 베이스(110) 측에 안내돌기(150,150')가 형성되고, 다단 슬라이드 몸체부(200)의 하부 슬라이드 몸체(300) 측에 안내홈(350,350')이 형성된 예를 들어 설명하기로 한다.
상기 안내돌기(150,150') 및 안내홈(350,350')의 개수 및 위치는 요구되는 조건에 따라 다양하게 변경될 수 있다. 일 예로, 베이스(110)와 하부 슬라이드 몸체(300)는 대략 "L" 형상으로 서로 다른 평면 상에 배치되는 적어도 두개의 접촉면을 갖도록 형성될 수 있으며, 각각의 접촉면에는 안내돌기(150,150') 및 안내홈(350,350')이 각각 형성될 수 있다. 이와 같이, 다단 슬라이드 몸체부(200)와 베 이스(110)가 서로 다른 평면 상에서 적어도 두개 이상의 안내돌기(150,150') 및 안내홈(350,350')에 의해 지지될 수 있기 때문에 베이스(110)에 대한 다단 슬라이드 몸체부(200)의 슬라이드 이동이 보다 안정적으로 구현될 수 있다.
또한, 전술한 바와 마찬가지 방식으로 하부 슬라이드 몸체(300), 중간 슬라이드 몸체(400) 및 상부 슬라이드 몸체(500)의 슬라이드 이동이 안정적으로 구현될 수 있도록, 각 슬라이드 몸체(300,400,500) 간의 상호 접촉면 중 어느 일측에는 가이드레일이 형성될 수 있고, 각 슬라이드 몸체 간의 상호 접촉면 중 다른 일측에는 가이드레일이 슬라이딩 가능하게 수용될 수 있도록 가이드홈이 형성될 수 있다.
이하에서는 하부 슬라이드 몸체(300)에 제1가이드레일(360,360')이 형성되며 중간 슬라이드 몸체(400)에 제1가이드레일(360,360')이 슬라이딩 가능하게 수용되기 위한 제1가이드홈(420,420')이 형성되고, 중간 슬라이드 몸체(400)의 다른 일측에 제2가이드레일(430,430')이 형성되며 상부 슬라이드 몸체(500)에 제2가이드레일(430,430')이 슬라이딩 가능하게 수용되기 위한 제2가이드홈(520,520')이 형성된 예를 들어 설명하기로 한다.
상기 각 슬라이드 몸체(300,400,500) 역시 서로 다른 평면 상에 배치되는 적어도 두개의 접촉면을 갖도록 형성될 수 있으며, 각각의 접촉면에는 가이드레일(360,360',430,430') 및 가이드홈(420,420',520,520')이 각각 형성될 수 있다. 각 슬라이드 몸체(300,400,500)는 서로 다른 평면 상에서 적어도 두개 이상의 가이드레일(360,360',430,430') 및 가이드홈(420,420',520,520')에 의해 지지될 수 있기 때문에 각 슬라이드 몸체(300,400,500)의 슬라이드 이동이 보다 안정적으로 구 현될 수 있다.
한편, 상기 캐리어 지지부(600)는 다단 슬라이드 몸체부(200) 중 최상부에 구비되어 기판 캐리어(10)의 하부를 지지할 수 있다. 즉, 캐리어 지지부(600)는 기판 캐리어(10)를 하부를 지지할 수 있도록 상부 슬라이드 몸체(500) 상에 구비되며, 다단 슬라이드 몸체부(200)가 이동함에 따라 함께 이동될 수 있다. 이와 같이 캐리어 지지부(600)는 다단 슬라이드 몸체부(200)과 함께 이동되며 습식세정장치의 반출입부로 로딩되거나 캐리어 보관부의 선반에 예비 적재된 기판 캐리어(10)를 이송할 수 있다.
이와 같이 본 발명의 실시예에 따른 기판 캐리어 이송장치에 의하면 다단 슬라이드 몸체부(200)를 구성하는 각 슬라이드 몸체(300,400,500)가 동시에 슬라이드 이동하며 기판 캐리어(10)가 이송될 수 있기 때문에, 기판 캐리어(10)의 이송시간(대략 5초)을 단축할 수 있으며, 스루풋을 향상시킬 수 있다. 더욱이, 다단 슬라이드 몸체부(200)는 면접촉(또는 선접촉) 상태를 유지하며 직선 이동될 수 있기 때문에 떨림 및 흔들림없이 안전하게 이동될 수 있으며, 다단 슬라이드 몸체부(200)의 작동시 주변 구조물과의 간섭을 저감시킬 수 있다.
또한, 다단 슬라이드 몸체부(200)는 직선 이동하며 기판 캐리어(10)를 이송할 수 있기 때문에 작동에 필요한 작동 공간을 최소화할 수 있으며, 장비의 공간활용성 및 설계자유도를 향상시킬 수 있다.
한편, 전술 및 도시한 본 발명의 실시예에서는 다단 슬라이드 몸체부(200)를 구성하는 하부 슬라이드 몸체(300), 중간 슬라이드 몸체(400), 상부 슬라이드 몸 체(500)가 서롤 연동 가능하게 연결되어 하나의 구동모터(120)의 구동력에 의해 슬라이드 이동하도록 구성된 예를 들어 설명하고 있지만, 경우에 따라서는 하부 슬라이드 몸체, 중간 슬라이드 몸체, 상부 슬라이드 몸체가 각각 서로 다른 구동모터에 의해 서로 독립적으로 슬라이드 이동되도록 구성할 수도 있다.
상술한 바와 같이, 본 고안의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만 해당 기술분야의 숙련된 당업자라면 하기의 청구범위에 기재된 본 고안의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 고안을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 종래 기판 캐리어 이송장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 2 및 도 3은 본 발명에 따른 기판 캐리어 이송장치의 구조를 도시한 측면도이다.
도 4 및 도 5는 본 발명에 따른 기판 캐리어 이송장치의 작동구조를 설명하기 위한 도면이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10 : 기판 캐리어 110 : 베이스
200 : 다단 슬라이드 몸체부 300 : 하부 슬라이드 몸체
400 : 중간 슬라이드 몸체 500 : 상부 슬라이드 몸체
600 : 캐리어 지지부

Claims (14)

  1. 기판 캐리어를 이송하기 위한 기판 캐리어 이송장치에 있어서,
    2차원 이동 가능하게 설치되는 베이스;
    상기 베이스 상에 슬라이드 이동 가능하게 제공되는 다단 슬라이드 몸체부; 및
    상기 다단 슬라이드 몸체부 중 최상부에 구비되는 캐리어 지지부;를 포함하고,
    상기 다단 슬라이드 몸체부는 상대 슬라이딩 가능하게 순차적으로 결합되는 복수개의 슬라이드 몸체를 포함하며, 상기 각 슬라이드 몸체는 동일한 방향을 향해 동시에 이동하는 것을 특징으로 하는 기판 캐리어 이송장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 다단 슬라이드 몸체부는,
    상기 베이스 상에 슬라이드 이동 가능하게 장착되는 하부 슬라이드 몸체;
    상기 하부 슬라이드 몸체 상에 슬라이드 이동 가능하게 장착되는 적어도 하나의 중간 슬라이드 몸체;
    상기 중간 슬라이드 몸체 상에 슬라이드 이동 가능하게 장착되는 상부 슬라 이드 몸체;를 포함하며,
    상기 하부 슬라이드 몸체, 상기 중간 슬라이드 몸체, 상기 상부 슬라이드 몸체는 연동되며 동일한 방향을 향해 동시에 이동하는 것을 특징으로 하는 기판 캐리어 이송장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 베이스에는 제1랙기어가 구비되고, 상기 중간 슬라이드 몸체에는 제2랙기어가 구비되며,
    상기 하부 슬라이드 몸체에는 상기 제1랙기어와 치합되는 제1피니언기어 및 상기 제2랙기어와 치합되며 상기 제1피니언기어와 연동되는 제2피니언기어가 구비된 것을 특징으로 하는 기판 캐리어 이송장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 하부 슬라이드 몸체에는 제1벨트연결부가 구비되고, 상기 상부 슬라이드 몸체에는 제2벨트연결부가 구비되며,
    상기 중간 슬라이드 몸체에는 상기 제1벨트연결부에 연결되는 제1벨트 및 상기 제2벨트연결부에 연결되며 상기 제1벨트와 연동되는 제2벨트가 구비된 것을 특징으로 하는 기판 캐리어 이송장치.
  6. 제3항에 있어서,
    상기 베이스 상에는 구동모터의 구동력에 의해 회전하는 구동피니언기어가 구비되고, 상기 하부 슬라이드 몸체에는 상기 구동피니언기어와 치합되는 구동랙기어가 구비된 것을 특징으로 하는 기판 캐리어 이송장치.
  7. 제1항, 제3항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 베이스와 상기 다단 슬라이드 몸체부 간의 상호 접촉면 중 어느 일측에는 안내돌기가 형성되고, 상기 베이스와 상기 다단 슬라이드 몸체부 간의 상호 접촉면 중 다른 일측에는 상기 안내돌기가 슬라이딩 가능하게 수용될 수 있도록 안내홈이 형성된 것을 특징으로 하는 기판 캐리어 이송장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 베이스와 다단 슬라이드 몸체부는 서로 다른 평면 상에 배치되는 적어도 두개의 접촉면을 가지며, 각각의 상기 접촉면에는 상기 안내돌기 및 안내홈이 각각 형성된 것을 특징으로 하는 기판 캐리어 이송장치.
  9. 제1항, 제3항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 각 슬라이드 몸체 간의 상호 접촉면 중 어느 일측에는 가이드레일이 형성되고, 상기 각 슬라이드 몸체 간의 상호 접촉면 중 다른 일측에는 상기 가이드레일이 슬라이딩 가능하게 수용될 수 있도록 가이드홈이 형성된 것을 특징으로 하는 기판 캐리어 이송장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 각 슬라이드 몸체는 서로 다른 평면 상에 배치되는 적어도 두개의 접촉면을 가지며, 각각의 상기 접촉면에는 상기 가이드레일 및 가이드홈이 각각 형성된 것을 특징으로 하는 기판 캐리어 이송장치.
  11. 기판 캐리어를 이송하기 위한 기판 캐리어 이송장치에 있어서,
    제1랙기어가 구비되며, 서로 직교하는 X축 방향 및 Y축 방향을 따라 이동 가능하게 설치되는 베이스;
    제1벨트연결부가 구비되며 상기 베이스 상에 슬라이드 이동 가능하게 장착되는 하부 슬라이드 몸체, 제2랙기어가 구비되며 상기 하부 슬라이드 몸체 상에 슬라이드 이동 가능하게 장착되는 적어도 하나의 중간 슬라이드 몸체, 제2벨트연결부가 구비되며 상기 중간 슬라이드 몸체 상에 슬라이드 이동 가능하게 장착되는 상부 슬라이드 몸체를 포함하는 다단 슬라이드 몸체부; 및
    상기 상부 슬라이드 몸체에 구비되는 캐리어 지지부;를 포함하되,
    상기 하부 슬라이드 몸체에는 상기 제1랙기어와 치합되는 제1피니언기어 및 상기 제2랙기어와 치합되며 상기 제1피니언기어와 연동되는 제2피니언기어가 구비되고,
    상기 중간 슬라이드 몸체에는 상기 제1벨트연결부에 연결되는 제1벨트 및 상기 제2벨트연결부에 연결되며 상기 제1벨트와 연동되는 제2벨트가 구비된 것을 특 징으로 하는 기판 캐리어 이송장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 베이스 상에는 구동모터의 구동력에 의해 회전하는 구동피니언기어가 구비되고, 상기 하부 슬라이드 몸체에는 상기 구동피니언기어와 치합되는 구동랙기어가 구비된 것을 특징으로 하는 기판 캐리어 이송장치.
  13. 제11항 또는 제12항에 있어서,
    상기 베이스와 상기 하부 슬라이드 몸체 간의 상호 접촉면 중 어느 일측에는 안내돌기가 형성되고,
    상기 베이스와 상기 하부 슬라이드 몸체 간의 상호 접촉면 중 다른 일측에는 상기 안내돌기가 슬라이딩 가능하게 수용될 수 있도록 안내홈이 형성된 것을 특징으로 하는 기판 캐리어 이송장치.
  14. 제11항 또는 제12항에 있어서,
    상기 하부 슬라이드 몸체, 상기 중간 슬라이드 몸체, 상기 상부 슬라이드 몸체 간의 상호 접촉면 중 어느 일측에는 가이드레일이 형성되고,
    상기 하부 슬라이드 몸체, 상기 중간 슬라이드 몸체, 상기 상부 슬라이드 몸체 간의 상호 접촉면 중 다른 일측에는 상기 가이드레일이 슬라이딩 가능하게 수용될 수 있도록 가이드홈이 형성된 것을 특징으로 하는 기판 캐리어 이송장치.
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