KR100991609B1 - 컨테이너 반송 시스템 - Google Patents

Abstract

처리 장치의 처리 속도나 배치 구성 등에 따라서 컨테이너를 적합하게 반송할 수 있는 컨테이너 반송 장치 및 컨테이너 반송 시스템을 제공한다. 본원 발명의 컨테이너 반송 시스템은 내부에 기판을 수납하는 컨테이너를 반송하는 것이며, 보유 지지한 상기 컨테이너를 승강 동작하는 승강 수단, 및 직선 이동 수단을 구비하는 반송 로봇과, 적어도 하나의 컨테이너를 적재하는 적재대로 이루어지는 컨테이너 반송 장치를 복수 구비한다.

반송 로봇, 컨테이너 반송 장치, 기판 반송 장치, 로드 포트, 컨테이너 보유 지지 수단

Description

컨테이너 반송 시스템{CONTAINER TRANSPORTING SYSTEM}

본 발명은, 고청정의 환경하에서 반송되어 처리되는 기판 등을 수납하는 컨테이너 반송 시스템에 관한 것이다.

일반적으로, LCD나 반도체 웨이퍼 등의 기판은 진애를 꺼리기 때문에, 그 제조는 고청정의 환경, 소위 클린룸에서 행해진다. 이와 같은 제조 공장에서는, 박막 형성 전 세정 공정, 박막 형성 공정, 레지스트 공정 등의 각종 처리를 행하는 복수의 처리 장치 사이에서 기판을 운반할 필요가 있고, 그 반송 수단으로서 F0UP(Front Opening Unified Pod)라 불리는 컨테이너가 이용되고 있다. 이 컨테이너는, 내부의 선반 상에 25매의 기판을 수납할 수 있고, 공장 내를 주행하는 자동 반송차[AGV(Automatic Guided Vehicle)], 혹은 공장의 천장에 부설된 레일에 현수되어 모노 레일과 같이 주행하는 OHT(Overhead Hoist Transfer)로 운반된다.

각 처리 장치에는 컨테이너 적재대가 구비되어 있고, 이 컨테이너 적재대와 예를 들어 AGV와의 사이에서의 컨테이너의 전달은, 처리 장치 혹은 AGV에 구비된 로봇(로더ㆍ언로더)에 의해 행해지고 있다. 또한, 컨테이너 적재대 상의 컨테이너로부터 각 처리 장치로의 기판의 반송은, 공지의 스칼라형 로봇을 이용하여 기판 1 매마다 행해지고 있다.

종래의 컨테이너 반송 장치의 일례로서, 예를 들어 특허문헌 1에 기재된 것이 있다. 특허문헌 1에 개시되어 있는 컨테이너 반송 장치를, 도11을 참조하여 이하에 설명한다. 이 컨테이너 반송 장치는, 기판을 수납한 컨테이너(110)를 로드하는 컨테이너 로더(A1)와, 처리 완료 기판을 수납하는 컨테이너(110)를 언로드하는 컨테이너 언로더(A2)와의 사이에 있어서, 컨테이너 로더(A1)에 의해 비워진 컨테이너(110)를 이동 및 승강 동작시키는 컨테이너 횡행 반송 베이스(111)를 구비함으로써, 복수의 컨테이너(110)를 로드/언로드할 수 있어, 컨테이너 전달로 인해 AGV를 대기시키는 일 없이 주행시킬 수 있다.

최근에는, 필요한 만큼의 소수의 기판을 컨테이너 내에 수납하여 생산 라인으로 흐르게 함으로써, 재고를 줄이는 것이 요구되고 있다. 이 경우에는, 처리 장치에 의한 처리 시간이 짧아지므로, 처리 장치의 전방면에 컨테이너를 적재해 둘 수 있도록 컨테이너 반송 장치를 구성함으로써, 대기 시간을 발생시키지 않고 처리 장치에 기판을 공급할 수 있다. 이에 반해, 처리 시간이 긴 처리 장치의 경우에는, AGV로부터 복수의 컨테이너를 수취하여 일시적으로 저장할 수 있도록 컨테이너 반송 장치를 구성해 둠으로써, AGV를 효율적으로 가동시킬 수 있다.

특허문헌 1 : 일본 특허 공개 평8-167641호 공보

그러나, 특허문헌 1의 컨테이너 반송 장치에서는, 컨테이너 로더(A1)와 컨테이너 언로더(A2) 사이에 기판 로드용 스탠드(S1), 버퍼 스탠드(SB), 및 기판 언로드용 스탠드(S2)가 1열로 배치되어 있고, 소정의 처리 장치는 기판 로드용 스탠드(S1)와 기판 언로드용 스탠드(S2)의 후방에 배치될 필요가 있다. 그로 인해, 인접하는 처리 장치간의 간격을 크게 할 필요가 있는 등의, 각 장치의 배치에 큰 제약이 있다는 과제가 있다.

또한, 컨테이너를 컨테이너 로더(A1)까지 반송하거나, 컨테이너 언로더(A2)로부터 컨테이너를 회수하는 것에 AGV를 이용하는 경우에는, 공장 내를 자유롭게 주행 가능한 AGV와 컨테이너 반송 장치를 동기하여 동작시킬 필요가 있으므로, 컨테이너 반송에 관한 모든 장치를 일괄하여 제어해야만 하는 등의 과제가 있다. 또한 AGV는, 컨테이너 로더(A1) 혹은 컨테이너 언로더(A2)에 컨테이너를 반송하거나 회수할 뿐만 아니라, 컨테이너 로더(A1)와 컨테이너 언로더(A2) 사이에서도 이동할 필요가 있어, AGV의 이동 범위가 광범위해져 작업자의 안전 영역을 확보하는 것이 곤란해진다.

한편, 컨테이너의 운반에 OHT를 이용하는 경우에는, OHT가 공장의 천장부에 설치되므로, 그 설치 작업이나 유지 보수 작업 등이 곤란해진다. 또한, OHT의 구동 부분과 주행용 레일을 처리 장치 등의 상방에 구비하기 때문에, 상방으로부터 진애가 떨어져 클린룸의 청정도가 저하되어 버리는 등의 문제점도 생기고 있다. 또한, 주행용 레일이 공장 내를 순환하도록 배치되어 있으므로, 공장 내의 레이아웃 변경이나 증설 등의 경우에는, 레일을 다시 까는 것이 매우 곤란해진다.

또한, 종래의 컨테이너 반송 장치에서는, 그 배치나 구성이 상기한 바와 같이 크게 제약되므로, 처리 시간이 짧은 처리 장치에 대기 시간이 발생하거나, 처리 시간이 긴 처리 장치 앞에서 AGV가 장시간 대기되는 등의 사태가 발생하고 있어, 생산 공정의 지연이 발생하는 등의 과제도 있었다.

그래서, 본 발명은 이들 문제를 해결하기 위해 이루어진 것이며, 처리 장치의 처리 속도나 배치 구성 등에 따라서 컨테이너를 적합하게 반송할 수 있는 컨테이너 반송 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 컨테이너 반송 시스템의 제1 태양은, 내부에 기판을 수납하는 컨테이너를 소정의 전달 위치와 기판 처리 장치 사이에서 반송하는 컨테이너 반송 시스템이며, 상기 컨테이너를 수직 방향으로 승강시키는 승강 수단과 수평한 1방향으로 이동시키는 직선 이동 수단을 구비한 반송 로봇과, 상기 컨테이너를 1 이상 적재 가능한 적재대를 구비한 컨테이너 반송 장치를 일 구성 단위로 하고, 상기 컨테이너 반송 장치를 종방향 또는 횡방향으로 인접시켜 복수 배열하고, 상기 반송 로봇의 각각이, 적어도 인접하는 상기 컨테이너 반송 장치의 상기 적재대까지 상기 컨테이너를 반송할 수 있고, 상기 복수의 컨테이너 반송 장치를 동기시켜 인접하는 상기 컨테이너 반송 장치 사이에서 상기 컨테이너를 순차 반송함으로써, 상기 전달 위치와 상기 기판 처리 장치 사이에서 상기 컨테이너를 반송 가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 컨테이너 반송 시스템의 다른 태양은, 상기 컨테이너를 어느 하나의 상기 컨테이너 반송 장치의 적재대 상에 일시 유치하고, 다른 상기 컨테이너를 다른 상기 컨테이너 반송 장치를 이용하여 반송시킴으로써, 컨테이너의 반송 순서를 교체 가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 컨테이너 반송 시스템의 다른 태양은, 상기 적재대 상에 상기 컨테이너가 1 이상 적재된 상기 컨테이너 반송 장치의 상기 반송 로봇을 이용하여 다른 상기 컨테이너를 상승 및 직선 이동시켜 상기 컨테이너를 건너뛰게 함으로써, 상기 컨테이너의 반송 순서를 교체 가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 컨테이너 반송 시스템의 다른 태양은, 상기 반송 로봇은 상기 적재대 상에 상기 컨테이너를 2 이상 적층 가능한 높이까지 상승할 수 있는 승강 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 컨테이너 반송 장치의 다른 태양은, 상기 기어에 연결된 상기 연결 부재의 어느 한쪽을 회전시키기 위한 모터를 더 구비하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 컨테이너 반송 장치의 다른 태양은, 상기 승강 수단이, 상기 직선 이동 수단이 고정된 가동 부재와, 회전함으로써 상기 가동 부재를 상하로 승강시키는 나사축을 구비하고, 상기 나사축을 회전시킴으로써 상기 직선 이동 수단에 보유 지지된 상기 컨테이너를 상하로 승강시키는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 컨테이너 반송 장치의 다른 태양은, 상기 나사축을 회전시키기 위한 모터를 더 구비하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 컨테이너 반송 장치의 다른 태양은, 상기 승강 수단이 상기 컨테이너의 높이 이상으로 승강 가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 컨테이너 반송 장치의 다른 태양은, 상기 컨테이너를 수평 방향으로 회전 가능한 회전 수단을 더 구비하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 컨테이너 반송 장치의 다른 태양은, 1대의 상기 반송 로봇과, 2대 이상의 상기 적재대를 구비하고, 상기 1대의 반송 로봇이 상기 적재대의 전체에 상기 컨테이너를 반송 가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 컨테이너 반송 시스템의 제1 태양은, 상기 어느 하나의 태양의 컨테이너 반송 장치를 직선 방향, 또는 상기 직선 방향에 수직인 방향으로 서로 인접하여 복수대 구비하고, 상기 컨테이너 반송 장치에 구비된 상기 반송 로봇에 의해, 적어도 인접하는 상기 컨테이너 반송 장치와의 사이에서 상기 컨테이너의 반송이 가능한 것을 특징으로 한다.

본 발명의 컨테이너 반송 시스템의 다른 태양은, 상기 복수의 컨테이너 반송 장치가 동기하여 동작하고 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면, 처리 장치의 처리 속도나 배치 구성 등에 따라서 컨테이너를 적합하게 반송할 수 있는 컨테이너 반송 시스템을 제공할 수 있다. 본 발명의 컨테이너 반송 시스템은, 수직 방향과 수평 방향으로 컨테이너를 반송 가능한 반송 로봇을 구비하므로, 인접하는 장치의 적재대에 컨테이너를 용이하게 반송시키는 것이 가능해진다.

또한, 본 발명의 컨테이너 반송 시스템에 따르면, 처리 장치의 배치 구성이나 처리 속도 등에 대응하여 컨테이너 반송 장치를 유연하게 조합함으로써, 처리 장치의 효율을 대폭 높이는 것이 가능해진다. 또한, 생산 라인의 레이아웃 변경이나 증설에도 용이하게 대응할 수 있다.

도1은 본 발명의 컨테이너 반송 시스템의 일 실시예를 나타내는 사시도이다.

도2는 반송 로봇의 일 실시예를 나타내는 단면도이다.

도3은 반송 로봇의 다른 실시예를 나타내는 사시도이다.

도4는 반송 로봇의 다른 실시예의 회전 전달 수단을 도시하는 단면도이다.

도5는 반송 로봇의 보유 지지 수단을 도시하는 측면도이다.

도6은 본 발명의 컨테이너 반송 시스템의 일 실시예를 나타내는 평면도이다.

도7은 본 발명의 컨테이너 반송 시스템의 다른 실시예를 나타내는 평면도이다.

도8은 반송 로봇의 동작을 나타내는 측면도이다.

도9는 적층된 컨테이너가 반송 로봇에 의해 반송되는 상태를 도시하는 측면도이다.

도10은 본 발명의 컨테이너 반송 장치의 또 다른 실시예를 나타내는 평면도이다.

도11은 종래의 컨테이너 반송 장치를 도시하는 측면도이다.

[부호의 설명]

1 : 컨테이너 반송 장치

2 : 반송 로봇

3 : 컨테이너

4 : 적재대

5 : 기판 반송 장치

7 : 처리 장치

8 : 로드 포트

9 : 스테이지

10 : 승강 수단

11 : 하우징

12 : 직동 안내 수단

13 : 나사축

14 : 모터

15 : 가동 부재

16 : 제1 아암

17 : 제2 아암

18 : 아암체

19 : 풀리

20 : 베어링

21 : 벨트

22 : 회전축

23 : 컨테이너 보유 지지 수단

24 : 제1 연결 부재

25 : 제2 연결 부재

26 : 회전 전달 수단

28 : 하우징

29 : 제3 연결 부재

30 : 제4 연결 부재

31 : 회전 지지축

32 : 기어

33 : 보유 지지 수단의 하우징

34 : 로터리 액츄에이터

35 : 회전 지지축

36 : 연결 부재

37 : 보유 지지 부재

40 : AGV
100: 컨테이너 반송 시스템

110 : 컨테이너

111 : 컨테이너 횡행 반송 베이스

본 발명의 컨테이너 반송 시스템은, 고청정 환경하(클린룸 등)에서 물품을 이동ㆍ처리하는 공정에 적용 가능하고, 이하에서는 전자 부품인 LCD의 기판을 반송하는 예를 이용하여 본 발명의 컨테이너 반송 시스템을 설명한다.

도1은, 본 발명의 바람직한 실시 형태에 있어서의 컨테이너 반송 시스템을 도시하는 사시도이다. 본 실시 형태의 컨테이너 반송 시스템(100)은, 8대의 컨테이너 반송 장치[1(1a 내지 1h)]를 조합하여 구성되어 있다. 각 컨테이너 반송 장치(1)는 반송 로봇[2(2a 내지 2h)]과 컨테이너(3)를 적재하기 위한 적재대[4(4a 내지 4h)]를 구비하고 있다.

컨테이너 반송 시스템(100)의 후방에는, 컨테이너(3) 내에 수납된 기판을 각 종 처리 장치(7)로 반송하기 위한 기판 반송 장치[5(5a, 5b)]가 배치되어 있다. 기판 반송 장치(5)에는, 반송 로봇(2)에 의해 운반된 컨테이너(3)를 적재하기 위한 스테이지(9)와, 컨테이너(3)의 덮개를 개정(開錠)하는 (도시하지 않은) 기구를 갖는 로드 포트[8(8a, 8b)]가 구비되어 있다. 본 실시 형태의 컨테이너 반송 시스템(100)에서는, 기판 반송 장치(5a)의 전방에 컨테이너 반송 장치(1c 내지 1e)가, 또한 기판 반송 장치(5b)의 전방에 컨테이너 반송 장치(1f 내지 1h)가, 각각 종방향[기판 반송 장치(5)의 정면에 대해 직각의 방향]으로 병렬로 놓여 있고, 또한 컨테이너 반송 장치(1c 내지 1e)의 전방에 컨테이너 반송 장치(1a)가, 또한 컨테이너 반송 장치(1f 내지 1h)의 전방에 컨테이너 반송 장치(1b)가 각각 횡방향으로 종렬로 놓여 있다.

컨테이너 반송 장치(1a 내지 1h)를 상기한 바와 같이 배치함으로써, 반송 로봇(2a, 2b)은 컨테이너(3)를 적재대(4a, 4b)의 횡방향(길이 방향)으로 이동시킬 수 있고, 반송 로봇(2c 내지 2h)은 컨테이너(3)를 적재대(4a, 4b)와 기판 반송 장치(5) 사이에서 이동시킬 수 있다. 반송 로봇(2a)은, 병렬하는 반송 로봇(2b 내지 2e)이 보유 지지할 수 있는 위치까지 컨테이너(3)를 이동시킬 수 있고, 마찬가지로 반송 로봇(2b)은, 병렬하는 반송 로봇(2f 내지 2h)이 보유 지지할 수 있는 위치까지 컨테이너(3)를 이동시킬 수 있다.

또한, 반송 로봇(2a, 2b)은, 예를 들어 각각의 적재대(4a, 4b)의 단부 부근에 정지한 AGV로부터 컨테이너(3)를 반송하는 데 이용하는 것도 가능하다. 따라서, AGV에 반송 로봇을 구비할 필요가 없어지기 때문에, AGV의 적재대를 넓게 하여 보다 많은 컨테이너를 반송할 수 있도록 하는 것이 가능해진다.

다음에, 반송 로봇(2)의 내부 구조의 일 실시예를, 도2에 도시하는 단면도를 이용하여 설명한다. 반송 로봇(2)은 적재대(4)의 가로로 설치된 승강 수단(10)과 아암체(18)로 구성되어 있다. 승강 수단(10)은 컨테이너 반송 장치(1)의 하우징(11)에 설치된 직동 안내 수단(12)과, 하우징(11)의 하부에 설치된 모터(14a)와, 모터(14a)에 연결된 나사축(13)과, 나사축(13)의 회전에 의해 승강 동작하는 가동 부재(15)로 구성되어 있다. 모터(14a)의 회전에 의해 나사축(13)이 회전하고, 이에 의해 가동 부재(15)가 승강하는 구조로 되어 있다.

또한, 아암체(18)는 제1 아암(16)과 제2 아암(17)을 갖고 있고, 제1 아암(16)의 한쪽 단부가 가동 부재(15)에 고정된 모터(14b)에 연결되어 있다. 또한, 모터(14)와 동심 형상으로 가동 부재(15)에 고정된 풀리(19a)를 구비하고 있다. 제1 아암(16)의 다른 쪽 단부 부근에는, 베어링(20)을 통해 회전 가능하게 풀리(19b)가 구비되어 있고, 풀리(19a)와 풀리(19b) 사이에 벨트(21a)가 걸려 있다. 제2 아암(17)의 한쪽 단부는 풀리(19b)의 회전축(22)(연결부)에 고정되어 있고, 제2 아암(17)의 내부에는 제1 아암(16)과 마찬가지로 풀리(19c, 19d)와 벨트(21b)가 구비되어 있다. 풀리(19c)는 회전 가능하게 제2 아암(17)에 설치되어 있고, 제2 아암(19)의 다른 쪽 단부 부근에 회전 가능하게 설치된 풀리(19d)는 보유 지지 수단(23)에 고정되어 있다. 보유 지지 수단(23)은 풀리(19d)의 회전에 따라서 베어링(20)을 통해 제2 아암(17)에 대해 회전 가능하게 되어 있다.

상기 구성의 아암체(18)에서는, 모터(14b)의 회전에 의해 제1 아암(16)이 회 전하고, 그와 함께 벨트(21a)가 풀리(19a)를 역방향으로 이동시키고, 이에 의해 풀리(19b)가 모터(14b)의 회전과는 역방향으로 회전한다. 풀리(19b)의 직경은 풀리(19a)의 직경의 절반으로 설정되어 있고, 풀리(19b)는 모터(14b)의 회전의 2배만큼 역방향으로 회전한다. 이에 의해, 제2 아암(17)은 제1 아암(16)과는 역방향으로 2배 회전하게 된다. 같은 구성으로 풀리(19c, 19d), 및 벨트(21b)가 연결됨으로써, 컨테이너 보유 지지 수단(23)을 수평으로 유지하는 것이 가능해진다.

반송 로봇(2)에 구비된 아암체(18)의 다른 실시예를, 도3에 도시하는 사시도를 이용하여 이하에 설명한다. 가동 부재(15)에는, 제1 연결 부재(24)와 제2 연결 부재(25)의 각 한쪽 단부가 각각 회전 가능하게 설치되어 있다. 또한, 제1 연결 부재(24)와 제2 연결 부재(25)의 다른 쪽 단부에는 회전 전달 수단(26)(연결부)이 설치되어 있다. 연결 부재(24, 25), 가동 부재(15), 및 회전 전달 수단(26)의 하우징(28)으로 링크 기구가 형성되어 있고, 가동 부재(15)에 설치된 모터(14)의 작동에 의해 제1 연결 부재(24)가 회전하고, 이에 연동하여 다른 부재도 회전한다. 마찬가지로 하여, 제3 연결 부재(29), 제4 연결 부재(30), 회전 전달 수단(26), 및 카세트 보유 지지 수단(23)으로 링크 기구가 형성되어 있고, 제1 연결 부재(24)에 연동하여 회전하도록 구성되어 있다.

도4는 도3에 도시한 회전 전달 수단(26)의 구조를 도시하는 단면도이다. 연결 부재(24, 25, 29, 30)의 회전 지지축(31a 내지 31d)은 베어링(20)을 통해 회전 가능하게 회전 전달 수단(26)에 설치되어 있다. 회전 지지축(31a와 31d)의 선단부에는 기어(32a, 32b)가 구비되어 있고, 양자가 서로 끼워 맞추어짐으로써, 제1 연 결 부재(24)의 회전이 제4 연결 부재(30)에 역회전 방향의 동일한 속도로 전달된다. 이에 의해, 모터(14)를 회전시킴으로써 연결 부재(24, 25)와 연결 부재(29, 30)를 상대적으로 역방향으로 회전시킬 수 있고, 이에 수반하여 카세트 보유 지지 수단(23)을 도3의 도면상 좌우로 이동시킬 수 있다.

상기한 바와 같이, 반송 로봇(2)은 연직면 내에서 회전 가능한 아암체(18)를 구비함으로써, 컨테이너(3)를 직선 형상으로 이동시키도록 할 수 있으므로, 작업자가 아암체(18)의 이동 범위를 회피하여 작업하는 것이 용이해지고, 작업의 안전 영역을 용이하게 확보할 수 있다.

반송 로봇(2)에 구비된 컨테이너 보유 지지 수단(23)의 일 실시예를, 도5를 이용하여 이하에 설명한다. 예를 들어 제2 아암(17)의 선단부에 설치된 컨테이너 보유 지지 수단(23)은, 그것의 하우징(33) 상에 로터리 액츄에이터(34)(본 실시예에서는, 에어 실린더에 의해 지지축이 회전 가능해지는 에어 액츄에이터)가 설치되어 있고, 그것의 회전 지지축(35)에는 연결 부재(36)의 중앙부가 고정 설치되어 있다. 연결 부재(36)는 2매의 부재가 회전 가능하게 연결되어 구성되어 있고, 그 양단부에는 보유 지지 부재(37a, 37b)의 한쪽 단부가 회전 가능하게 연결되어 있다. 이 보유 지지 부재(37a, 37b)는 하우징(33)에 회전 가능하게 설치되어 있고, 로터리 액츄에이터(34)의 작동에 의해 하우징(33)에 고정된 부분을 지지점으로 회전할 수 있다. 이에 의해, 보유 지지 부재(37a, 37b)의 다른 쪽 단부끼리가 접근하거나 이격됨으로써, 컨테이너(3)를 보유 지지하는 것이 가능해진다.

다음에, 컨테이너 반송 장치를 복수 배치하여 구성되는 본 발명의 컨테이너 반송 시스템에 대해, 컨테이너 반송 장치가 적합하게 배치된 실시예를 도면을 이용하여 이하에 설명한다.

도6은 컨테이너 반송 장치(1)의 배치를 도1에 나타낸 컨테이너 반송 시스템(100)과 같은 구성으로 한 실시예의 평면도이다. 즉, 전방면에 종렬로 배치된 컨테이너 반송 장치(1a, 1b) 등에 의해 컨테이너(3)를 횡방향(도면상 상하 방향)으로 이동시키는 것이 가능해지고, 컨테이너 반송 장치(1a, 1b)와 기판 반송 장치(5) 사이에 종방향으로 배치된 컨테이너 반송 장치(1)에 의해 컨테이너(3)를 컨테이너 반송 장치(1a, 1b)와 기판 반송 장치(5) 사이에서 이동시키는 것이 가능해진다.

본 발명의 컨테이너 반송 시스템의 다른 실시예를 도7에 나타낸다. 도7에 나타내는 컨테이너 반송 시스템에서는, 도6에 나타낸 컨테이너 반송 장치(1)의 적재대(4)가 모두 2개 이상의 컨테이너(3)를 적재할 수 있는 데 반해, 본 실시예에서는 1개만 적재할 수 있는 컨테이너 반송 장치(1k)를 구비하고 있다. 또한, 컨테이너 반송 장치(1c)에 인접하여 배치된 컨테이너 반송 장치(1i, 1j)의 단부 부근에는 AGV(40)가 정지되어 있어, AGV 상에 적재되어 있는 컨테이너(3x)를 보유 지지하여 적재대(4i, 4j)로 반송할 수 있다.

본 실시예의 컨테이너 반송 장치(1j)에는 3대의 반송 로봇(2)이 구비되어 있고, 또한 AGV(40)도 복수의 컨테이너(3)를 적재할 수 있는 적재대를 갖고 있다. 이에 의해, 3대의 반송 로봇(2)을 이용하여, AGV(40)와 컨테이너 반송 장치(1i, 1j) 사이에서, 복수의 컨테이너(3)를 동시에 전달하는 것이 가능해진다. 컨테이너 반송 장치(1)가 반송 로봇(2)을 구비하고 있으므로, AGV(40)가 반송 로봇을 구비할 필요가 없어지고, AGV(40)에 복수의 컨테이너(3)를 적재할 수 있는 적재대를 구비하도록 할 수 있다. 또, 컨테이너 반송 장치(1)의 적재대(4)를 일시 저장할 수 있도록 내부를 미니 인바이런멘트(mini-environment)(보다 고청정의 환경)로 할 수도 있다.

컨테이너 반송 장치(1)는, 승강 수단과 직선 이동 수단을 갖는 반송 로봇(2)을 구비하고 있으므로, 적재대(4) 상에 복수의 컨테이너(3)가 적재되어 있는 경우에도 나열한 순서대로 컨테이너(3)를 반드시 반송시킬 필요는 없고, 예를 들어 도8에 도시한 바와 같이 컨테이너(3)를 반송하는 순서를 변경하는 것도 가능하다. 도8에 도시하는 측면도에서는, 적재대(4) 상에 2개의 컨테이너(3a와 3b)가 적재되어 있고, 로드 포트(8)측의 컨테이너(3a)보다 컨테이너(3b)가 우선되어 로드 포트로 반송되는 경우의 순서를 나타내고 있다.

도8의 (a)는, 반송 로봇(2)이 컨테이너(3b)의 상부를 보유 지지한 상태를 나타내고 있다. 도8의 (b)는, 승강 수단(10)을 작동시켜 컨테이너(3b)를 들어올린 상태를 나타내고 있다. 도8의 (c)는, 아암체(18)를 작동시켜 로드 포트(8)의 스테이지(9)의 상방으로 컨테이너(3b)를 이동한 상태를 나타내고 있다. 도8의 (d)는, 승강 수단(10)을 작동시켜 컨테이너(3b)를 강하하여 스테이지(9) 상에 적재한 상태를 나타내고 있다.

상기한 바와 같이, 컨테이너(3)를 반송하는 순서를 변경하는 것이 가능해지기 때문에, 기판의 제조 공정에 있어서, 나중에 제조 라인에 투입된 컨테이너(3)를, 먼저 투입된 컨테이너(3)를 추월하여 먼저 처리시키는 것이 가능해지므로, 각 종 처리를 신속하게 행할 수 있도록 하는 것이 가능해진다.

또한, 컨테이너 반송 장치(1)에 따르면, 승강 수단과 직선 이동 수단을 이용함으로써, 예를 들어 도9에 도시한 바와 같이 복수의 컨테이너(3)를 적재대(4) 상에 적층하여 적재시키는 것도 가능하다. 혹은, 적층하여 적재된 복수의 컨테이너(3)를 상부의 컨테이너(3)로부터 차례로 반송시키는 것도 가능하다.

본 발명의 컨테이너 반송 시스템의 또 다른 실시 형태를 도10에 나타낸다. 본 실시 형태의 컨테이너 반송 시스템은, 반송 로봇(2)과, 반송 로봇(2)을 사이에 두고 양측에 2대의 적재대(4)를 구비하고 있다. 본 실시예의 반송 로봇(2)은 승강 수단과 직선 이동 수단에 더하여, 컨테이너(3)를 수평 방향으로 회전 가능한 회전 수단을 더 구비하고 있다.

도10에 나타내는 실시예에서는, 컨테이너 반송 시스템을 사이에 두고 양측에 3대씩의 기판 반송 장치(5)가 배치되어 있다. 2대의 적재대(4)는 각각 3대씩의 기판 반송 장치(5)와 대향하여 컨테이너(3)를 전달할 수 있는 만큼의 길이를 갖고 있다. 본 발명의 컨테이너 반송 장치를 도10과 같이 구성함으로써, 1대의 반송 로봇(2)에 의해 6대의 기판 반송 장치(5)와 적재대(4) 사이에서 컨테이너(3)를 반송시키는 것이 가능해진다.

상기 설명과 같이, 본 발명의 컨테이너 반송 시스템은 적재대와 적어도 1개의 반송 로봇으로 이루어지는 컨테이너 반송 장치를, 클린룸의 바닥 상에 복수 병설함으로써 생산 라인의 레이아웃 변경이나 증설에 용이하게 대응할 수 있어, 유지 보수 작업도 용이하게 행할 수 있다. 또한, 컨테이너 내에 소량의 기판을 수용하여 다량의 컨테이너를 생산 라인으로 흐르게 한 경우에도, AGV를 대기시키지 않고 각종 처리 장치로 컨테이너를 반송시킬 수 있다.

또, 본 발명의 컨테이너 반송 시스템에서는, 가동 부분을 밀봉함으로써, 진애의 발생을 저감시키는 것은 용이하게 가능하다.

또한, 본 실시 형태에 있어서의 기술은, 본 발명에 관한 컨테이너 반송 시스템의 일례를 나타내는 것이며, 이에 한정되는 것은 아니다. 본 실시 형태에 있어서의 컨테이너 반송 시스템의 세부 구성 및 상세한 동작 등에 관해서는, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에서 적절하게 변경 가능하다.

본 명세서는, 2005년 7월 1일 출원된 일본 특허 출원 제2005-193804호를 기초로 한다. 이 내용은 모두 여기에 포함되어 있다.

본 발명은, 이동 및 처리가 고청정 환경하에서 실시될 필요가 있는 물품 어디에나 용이하게 적용할 수 있다.

Claims (12)

1. 내부에 기판을 수납하는 컨테이너를 소정의 전달 위치와 기판 처리 장치 사이에서 반송하는 컨테이너 반송 시스템이며,

   상기 컨테이너를 1 이상 적재 가능한 적재대와, 수직 방향으로 승강시키는 승강 수단 및 수평한 1방향으로 왕복 이동되는 직선 이동 수단을 구비하는 반송 로봇을 구비한 컨테이너 반송 장치를 일 구성 단위로 하고,

   상기 컨테이너 반송 장치를 종방향 또는 횡방향으로 인접시켜 복수 배열하고,

   상기 반송 로봇의 각각이, 적어도 인접하는 상기 컨테이너 반송 장치의 상기 적재대까지 상기 컨테이너를 반송할 수 있고,

   상기 승강 수단은 상기 적재대 상에 상기 컨테이너를 2 이상 적층할 수 있는 높이까지 상승할 수 있고,

   상기 직선 이동 수단은, 상기 컨테이너를 보유 지지하여 수직면 내에서 회동하는 아암체를 구비하고, 상기 아암체를 회동시킴으로써 상기 컨테이너의 높이를 상하 이동시키는 일 없이 전후로 이동시키고,

   상기 복수의 컨테이너 반송 장치를 동기시켜 인접하는 상기 컨테이너 반송 장치 사이에서 상기 컨테이너를 순차 릴레이 반송함으로써, 상기 전달 위치와 상기 기판 처리 장치 사이에서 상기 컨테이너를 반송하는 것을 특징으로 하는 컨테이너 반송 시스템.
2. 제1항에 있어서, 상기 컨테이너를 어느 하나의 상기 컨테이너 반송 장치의 적재대 상에 일시 유치하고, 다른 상기 컨테이너를 다른 상기 컨테이너 반송 장치를 이용하여 반송시킴으로써, 컨테이너의 반송 순서를 교체 가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 컨테이너 반송 시스템.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 적재대 상에 상기 컨테이너가 1 이상 적재된 상기 컨테이너 반송 장치의 상기 반송 로봇을 이용하여 다른 상기 컨테이너를 상승 및 직선 이동시켜 상기 컨테이너를 건너뛰게 함으로써, 상기 컨테이너의 반송 순서를 교체 가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 컨테이너 반송 시스템.
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