JP2003243471A - 搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 搬送物を昇降させるための機構を搬送物の下
方に配置することができ、しかも昇降中に搬送物の姿勢
が変化することのない搬送装置を提供する。 【解決手段】 第１の四節回転連鎖３６及び第２の四節
回転連鎖３７を、基部２９と可動部２７との間に設け
る。組み合わされた第１の四節回転連鎖３６及び第２の
四節回転連鎖３７によって可動部２７を基部２９に対し
て相対的に直線運動させる。このため、搬送物を昇降さ
せるための機構を搬送物の下方に配置することができ
る。また第１の四節回転連鎖３６では、基部２９に固定
されたリンクａ１に相対するリンクｃ１が、基部２９に
対して平行に動く。第２の四節回転連鎖３７では、可動
部２７が取り付けられるリンクｃ２が、第１の四節回転
連鎖３６に固定されたリンクａ２に対して平行に動く。
したがって、可動部２７は常に基部２９に対して平行に
動くことになり、昇降動作中に搬送物の姿勢が変化する
ことがない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体等の搬送物
を搬送するための搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ウェーハ等の半導体を製造する工程にお
いて、所定のエリアから所定のエリアまで半導体を搬送
する搬送装置が必要になる。

【０００３】図１１は搬送装置の一例を示す。作動テー
ブル２に載せられたウェーハ１は、ＸＹＺ３軸方向に移
動され、且つＸＹ平面内での姿勢が変化される。搬送装
置は、作動テーブル２に取り付けられたＸテーブル３を
Ｘ軸方向に移動させるＸ軸駆動機構４と、Ｘ軸駆動機構
４に取り付けられたＺテーブル５をＺ軸方向に昇降させ
るＺ軸駆動機構６と、Ｚ軸駆動機構６をＸＹ平面内で旋
回させるθ軸駆動機構７と、θ軸駆動機構７に取り付け
られたＹテーブル８をＹ軸方向に移動させるＹ軸駆動機
構９とで構成される。各軸駆動機構はそれぞれ内部にボ
ールねじを有し、ねじ軸を回転駆動することによってナ
ットに取り付けられたＸテーブル３、Ｙテーブル８又は
Ｚテーブル５を直線運動させる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図１１
に示す搬送装置にあっては、Ｚ軸駆動機構６のＺテーブ
ル５が下降した場合、Ｚ軸駆動機構６の上部がウェーハ
１の上方に残る。この残ったＺ軸駆動機構６の上部から
ウェーハ１上に塵芥が落ちる可能性がある。たとえＺ軸
駆動機構６の上部にカバーをかけたとしても、ウェーハ
１上に塵芥が落ちる可能性を完全になくすことはできな
い。

【０００５】図１２は搬送装置の他の例を示す。この搬
送装置は、作動テーブル１０の上方にＺ軸駆動機構２０
が残らないように、作動テーブル１０の下方に設けたＺ
軸駆動機構２０によって作動テーブル１０を昇降させて
いる。搬送装置は、作動テーブル１０に取り付けられた
Ｘテーブル１１をＸ軸方向（この図ではθ軸駆動機構１
３が作動しているためＹ軸方向）に移動させるＸ軸駆動
機構１２と、Ｘ軸駆動機構１２をＸＹ面内で旋回させる
θ軸駆動機構１３と、θ軸駆動機構１３に取り付けられ
た支持台１４をＺ軸方向に昇降させるＺ軸駆動機構２０
と、Ｚ軸駆動機構２０が取り付けられるＹテーブル２１
をＹ軸方向に移動させるＹ軸駆動機構２２とで構成され
る。

【０００６】Ｚ軸駆動機構２０は、Ｙテーブル２１に回
転可能に支持される第１の揺動アーム１８と、第１の揺
動アーム１８の先端に回転可能に支持される第２の揺動
アーム１６とを備える。第１の揺動アーム１８、第２の
揺動アーム１６及び支持台１４の各関節には、それぞれ
第１の揺動アーム１８をＸ軸回りに回転させる第１アー
ム用駆動モータ１９、第２揺動アーム１６をＸ軸回りに
回転させる第２揺動アーム用駆動モータ１７、支持台１
４をＸ軸回りに回転させる支持台用駆動モータ１５がそ
れぞれ設けられる。第１の揺動アーム１８及び第２の揺
動アーム１６が所定角度回転することによって支持台１
４がＺ軸方向に昇降する。

【０００７】支持台１４がＺ軸方向に昇降する際、作動
テーブル１０からウェーハ１が落ちないように支持台１
４の姿勢を一定に保つ必要がある。この搬送装置では、
第１アーム用駆動モータ１９、第２アーム用駆動モータ
１７、及び支持台用駆動モータ１５を設け、これらのモ
ータを複合的に制御することによって、支持台１４の姿
勢を一定に保っている。しかしながら、このように複数
のモータを設けると、機構が複雑になったり、コストが
高くなったりする。また複数のモータを複合的に制御す
るのは、ソフトウェアの面でも困難が伴う。

【０００８】そこで本発明は、搬送物を昇降させるため
の機構を搬送物の下方に配置することができ、しかも昇
降中に搬送物の姿勢が変化することがない搬送装置を提
供することを目的とする。

【０００９】また本発明のさらに他の目的は、一つの駆
動源で搬送物を昇降させることができる搬送装置を提供
することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】以下、本発明について説
明する。なお、本発明の理解を容易にするために添付図
面の参照番号を括弧書きにて付記するが、それにより本
発明が図示の形態に限定されるものでない。

【００１１】上記課題を解決するために、本発明者は、
相対するリンクの長さが等しい四節回転連鎖を２つ組み
合せて、搬送物を直線運動させた。

【００１２】すなわち本発明は、基部（２９）と、基部
（２９）に固定されたリンク（ａ１）を有し、相対する
リンクの長さが実質的に等しい第１の四節回転連鎖（３
６）と、前記第１の四節回転連鎖（３６）の前記固定さ
れたリンク（ａ１）に相対するリンク（ｃ１）に固定さ
れたリンク（ａ２）を有し、相対するリンクの長さが実
質的に等しい第２の四節回転連鎖（３７）と、前記第２
の四節回転連鎖（３７）の、前記固定されたリンク（ａ
２）に相対するリンク（ｃ２）に取り付けられる可動部
（２７）と、を備え、前記可動部（２７）が前記基部
（２９）に対して相対的に直線運動することを特徴とす
る搬送装置により、上述した課題を解決する。

【００１３】この発明によれば、第１の四節回転連鎖及
び第２の四節回転連鎖を基部と可動部との間に設け、組
み合わされた第１の四節回転連鎖及び第２の四節回転連
鎖によって可動部を基部に対して相対的に直線運動させ
ているので、搬送物を昇降させるための機構を搬送物の
下方に配置することができる。

【００１４】また第１の四節回転連鎖では、基部に固定
されたリンクに相対するリンクが、基部に対して平行に
動く。第２の四節回転連鎖では、可動部が取り付けられ
るリンクが、第１の四節回転連鎖に固定されたリンクに
対して平行に動く。したがって、可動部は常に基部に対
して平行に動くことになり、昇降動作中に搬送物の姿勢
が変化することがない。

【００１５】本発明の搬送装置はさらに、前記可動部
（２７）が前記基部（２９）に対して相対的に直線運動
するように、前記第１の四節回転連鎖（３６）の前記固
定されたリンク（ａ１）の隣の回転リンク（ｂ１）、及
び前記第２の四節回転連鎖（３７）の前記固定されたリ
ンク（ａ２）の隣の回転リンク（ｂ２）を連動させる連
動機構（６１，７２）と、前記第１の四節回転連鎖（３
６）の前記回転リンク（ｂ１）、又は前記第２の四節回
転連鎖（３７）の前記回転リンク（ｂ２）のいずれか一
方のみを回転させる駆動源（６２）とを備えてもよい。

【００１６】この発明によれば、一つの駆動源で搬送物
を昇降させることができる。

【００１７】本発明の搬送装置の好ましい一態様は、前
記連動機構（６１）が、前記基部（２９）に対する前記
第１の四節回転連鎖（３６）の前記回転リンク（ａ１）
の回転中心線上に設けられ、前記基部（２９）に固定さ
れる第１の車（６３）と、前記第１の四節回転連鎖（３
６）に対する前記第２の四節回転連鎖（３７）の前記回
転リンク（ｂ２）の回転中心線上に設けられ、前記第２
の四節回転連鎖（３７）の前記回転リンク（ｂ２）に固
定される第２の車（６４）と、前記第１の車（６３）及
び第２の車（６４）の間に掛け渡される巻き掛け媒介節
（６５）とを備えることを特徴とする。

【００１８】この発明によれば、第１の四節回転連鎖の
回転リンク、及び前記第２の四節回転連鎖の回転リンク
を連動させることができる。

【００１９】本発明の搬送装置の好ましい一態様は、前
記第１の四節回転連鎖（３６）の前記回転リンク（ｂ
１）の長さと、前記第２の四節回転連鎖（３７）の前記
回転リンク（ｂ２）の長さとが実質的に等しく、前記第
１の車（６３）の直径と前記第２の車（６４）の直径と
の比が、実質的に２：１であることを特徴とする。

【００２０】この発明によれば、第１の四節回転連鎖の
回転リンク、及び第２の四節回転連鎖の回転リンクを互
いに反対方向に等しい角度回転するので、可動部を固定
部に対して相対的に直線運動させることができる。

【００２１】本発明の搬送装置の好ましい一態様は、前
記連動機構（７２）が、前記第２の四節回転連鎖（３
７）に対する前記第１の四節回転連鎖（３６）の前記回
転リンク（ｂ１）の回転中心線上に設けられ、前記第１
の四節回転連鎖（３６）の前記回転リンク（ｂ１）に固
定される第１の歯車（７３）と、前記第１の四節回転連
鎖（３６）に対する前記第２の四節回転連鎖（３７）の
前記回転リンク（ｂ２）の回転中心線上に設けられ、前
記第２の四節回転連鎖（３７）の前記回転リンク（ｂ
２）に固定される第２の歯車（７４）と、を備え、前記
第１の歯車（７３）と前記第２の歯車（７４）が噛み合
うことを特徴とする。

【００２２】この発明によれば、第１の四節回転連鎖の
回転リンク、及び前記第２の四節回転連鎖の回転リンク
を連動させることができる。また連動機構に歯車を用い
ているので、連動機構の剛性を高めることができる。

【００２３】本発明の搬送装置の好ましい一態様は、前
記第１の四節回転連鎖（３６）の前記回転リンク（ｂ
１）の長さと、前記第２の四節回転連鎖（３７）の前記
回転リンク（ｂ２）の長さとが実質的に等しく、前記第
１の歯車（７３）の歯数と前記第２の歯車（７４）の歯
数が等しいことを特徴とする。

【００２４】この発明によれば、第１の四節回転連鎖の
回転リンク、及び第２の四節回転連鎖の回転リンクを互
いに反対方向に等しい角度回転するので、可動部を固定
部に対して相対的に直線運動させることができる。

【００２５】本発明の搬送装置の好ましい一態様は、前
記基部（２９）に対して前記可動部（２７）が直線運動
する方向が垂直方向であり、搬送装置はさらに、前記基
部（２９）を水平方向に直線運動させる第１の一軸駆動
機構（２８）と、前記第２の４節回転機構（３７）に対
して前記可動部（２７）を水平面内で回転させるθ軸駆
動機構（３８）と、前記θ軸駆動機構（３８）に対して
前記可動部（２７）を水平方向に直線運動させる第２の
一軸駆動機構（４０）とを備えることを特徴とする。

【００２６】この発明によれば、搬送物を３次元的に移
動させ、且つ水平面内での搬送物の姿勢を変化させるこ
とができる。

【００２７】本発明の搬送装置は、半導体を搬送するの
に好適に用いることができる。

【００２８】

【発明の実施の形態】図１は本発明の搬送装置が適用さ
れる作業ステーションの平面図を示す。搬送装置２６は
例えば円板状のシリコンウェーハ等の半導体（以下搬送
物２５という）を、作業ステーション上のエリアＡない
しＥのいずれか一つから取り出し、残りのエリアＡない
しＥのうちいずれか一つに搬送する。

【００２９】図２ないし図４は本発明の一実施形態にお
ける搬送装置２６を示す。図２は搬送装置２６の平面
図、図３は正面図、図４は断面図を示す。図２に示すよ
うに搬送物２５は、先端に向かって二股に形成された作
動テーブル２７上に載せられる。作動テーブル２７はそ
の上面に載せられた搬送物２５が水平面内で移動するの
を抑制し、且つ垂直面内で移動するのを許容する。この
作動テーブル２７が請求項に記載の可動部に対応する。
搬送装置２６は、搬送物２５をＸ，Ｙ，Ｚ３軸方向に移
動させ、且つ搬送物２５をＸＹ平面内、すなわち水平面
内で旋回させる。Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向、及び
θ軸方向のストロークはそれぞれＸ１，Ｙ１，Ｚ１，θ
１に設定される。以下各軸の駆動機構について説明す
る。

【００３０】図２及び図３に示すように、Ｙ軸駆動機構
２８はテーブル２９をＹ軸方向に移動させる。このＹ軸
駆動機構２８は、駆動モータ３０と、駆動モータ３０に
よって回転されるねじ軸３１と、ねじ軸３１に嵌合する
ボールねじナット（図示せず）と、ボールねじナットに
固定されるテーブル２９と、テーブル２９がＹ軸方向に
直線運動するのを案内するリニアガイド３２・・・とを備
える。駆動モータ３０を駆動してねじ軸３１を回転させ
ると、ボールねじナット及びボールねじナットに固定さ
れたテーブル２９がＹ軸方向に直線運動する。ここでＹ
軸駆動機構２８が請求項に記載の第１の一軸駆動機構に
対応し、Ｙ軸駆動機構２８のテーブル２９が請求項に記
載の基部に対応する。

【００３１】Ｚ軸駆動機構３５は、図３に示すように、
第１の四節回転連鎖３６及び第２の四節回転連鎖３７を
有する。Ｚ軸駆動機構３５をこのようなリンク装置で構
成することで、Ｚ軸方向への素早い動きが可能になる。

【００３２】第１の四節回転連鎖３６の相対するリンク
の長さは等しく、すなわちリンクの長さはａ１＝ｃ１，
ｂ１＝ｄ１に設定される。第２の四節回転連鎖の相対す
るリンクの長さも等しく、すなわちａ２＝ｃ２，ｂ２＝
ｄ２に設定される。第１の四節回転連鎖３６の最小リン
クａ１はテーブル２９側に固定される。最小リンクａ１
に相対するリンクｃ１には、第２の四節回転連鎖３７の
最小リンクａ２が固定される。

【００３３】第１の四節回転連鎖３６の各リンクの長さ
は、第２の四節回転連鎖３７の各リンクの長さと等し
く、すなわちａ１＝ａ２，ｂ１＝ｂ２，ｃ１＝ｃ２，ｄ
１＝ｄ２に設定される。詳しくは後述するが、第１の四
節回転連鎖３６の固定されたリンクａ１の隣のリンクｂ
１、及び第２の四節回転連鎖３７の固定されたリンクａ
２の隣のリンクｂ２は互いに連動される。具体的にはリ
ンクｂ１及びｂ２は、互いに反対方向に同じ角度ずつ回
転するように連動される。これにより、作動テーブル２
７がテーブルに対してＺ軸方向に直線運動する。

【００３４】第１の四節回転連鎖３６の最小リンクａ１
がテーブル２９側に固定されるので、リンクｃ１はテー
ブル２９に対して平行に動く。また第２の四節回転連鎖
３７の最小リンクａ２は第１の四節回転連鎖３６のリン
クｃ１に固定されるので、リンクｃ２はリンクｃ１に対
して平行に動く。したがって、リンクｃ２は常にテーブ
ル２９に対して平行に動くことになる。このリンクｃ２
には作動テーブル２７が取り付けられているので、作動
テーブル２７がＺ軸方向に移動中にその姿勢が変化する
ことがない。

【００３５】θ軸駆動機構３８は、図３及び図４に示す
ように、第２の４節回転機構のリンクｃ２と後述するＸ
軸駆動機構４０との間に介在され、リンクｃ２に対して
作動テーブル２７を水平面内で旋回させる。θ軸駆動機
構３８を設けることによって作動テーブル２７の水平面
内での姿勢を変化させることができる。

【００３６】Ｘ軸駆動機構４０は、作動テーブル２７を
Ｘ軸方向に移動させる。なお勿論Ｘ軸駆動機構４０が作
動テーブル２７を移動させる方向は、θ軸駆動機構３８
の回転角度に影響される。図３及び図４に示すように、
Ｘ軸駆動機構４０は、θ軸駆動機構３８に取り付けられ
るベースフレーム４１と、このベースフレーム４１にリ
ニアガイドを介してＸ軸方向に移動可能に取り付けられ
る可動フレーム４２と、ベースフレーム４１に対して可
動フレーム４２をＸ軸方向に移動させるＸ軸駆動モータ
４３とを備える。作動テーブル２７は可動フレーム４２
にリニアガイド４４を介してＸ軸方向に移動可能に取り
付けられる。

【００３７】Ｘ軸駆動モータ４３を駆動させると、ピニ
オン及びラック４５によって可動フレーム４２がベース
フレーム４１に対して直線運動する。

【００３８】可動フレーム４２にはＸ軸方向に一対のプ
ーリ４６，４６が設けられ、一対のプーリ４６，４６間
にベルト４７が掛け渡されている。ベルト４７の一方側
に作動テーブル２７が固定され、プーリ４６を介したベ
ルト４７の他方側にベースフレーム４１が固定される。
Ｘ軸駆動モータ４３を駆動させて、可動フレーム４２が
ベースフレーム４１に対して所定量Ｘａ移動すると、作
動テーブル２７も可動フレーム４２に対して所定量Ｘａ
移動する。したがって、作動テーブル２７はベースフレ
ーム４１に対して２Ｘａ移動することになる。これによ
り作動テーブル２７のＸ軸方向への素早い動きが可能に
なる。ここでＸ軸駆動機構４０が請求項に記載の第２の
一軸駆動機構に対応する。

【００３９】図５及び図６は、上記搬送装置のＺ軸駆動
機構３５の詳細図を示す。図５はＺ軸駆動機構３５の正
面図を示し、図６は断面図を示す。第１の四節回転連鎖
３６のリンクａ１が支持ハウジング５１に、回転リンク
ｂ１が第１のアーム５２に、リンクｄ１が第１の補助ア
ーム５３によってそれぞれ構成される。また第２の四節
回転連鎖の回転リンクｂ２が第２のアーム５４に、リン
クｄ２が第２の補助アーム５５に、リンクｃ２が上部ブ
ラケット５６によってそれぞれ構成される。第１の四節
回転連鎖３６のリンクｃ１及び第２の四節回転連鎖３７
のリンクａ２が中間ブラケット５７によって構成され
る。

【００４０】第１のアーム５２は支持ハウジング５１に
ベアリングを介して回転自在に支持され、第２のアーム
５４は第１のアーム５２の先端にベアリングを介して回
転自在に支持されている。

【００４１】Ｚ軸駆動機構３５は、第１のアーム５２の
回転と第２のアーム５４の回転とを連動させる連動機構
６１と、第１のアーム５２を回転させるＺ軸駆動モータ
６２とを備える。

【００４２】Ｚ軸駆動モータ６２の出力軸は第１のアー
ム５２に固定される。Ｚ軸駆動モータ６２を駆動すると
第１のアーム５２が回転する。Ｚ軸駆動モータ６２には
電力の供給を受けて機械動力を発生させる電動機の他、
空気圧の供給を受けて機械動力を発生させるエアシリン
ダ等も採用しうる。

【００４３】この実施形態ではＺ軸駆動モータ６２が一
つのみ設けられるので、第２のアーム５４を回転させる
ためには、第１のアーム５２及び第２のアーム５４を連
動させる連動機構６１が必要になる。連動機構６１は、
支持ハウジング５１に対する第１のアーム５２の回転中
心線上に設けられる第１の車としての第１のプーリ６３
と、第１のアーム５２に対する第２のアーム５４の回転
中心線上に設けられる第２の車としての第２のプーリ６
４と、第１のプーリ６３及び第２のプーリ６４の間に掛
け渡される巻き掛け媒介節としてのタイミングベルト６
５とで構成される。

【００４４】なお第１及び第２の車にはプーリの他、摩
擦車、スプロケット等を用いることができ、巻掛け媒介
節としてはタイミングベルトの他に、ロープ、Ｖベル
ト、スチールベルト、チェーン等を用いることができ
る。

【００４５】第１のプーリ６３は支持ハウジング５１に
固定され、常に回転しない。一方第２のプーリ６４は第
２のアーム５４の回転軸６７に固定される。このため第
１のアーム５２を回転させると、第２のプーリ６４が第
１のアーム５２の回転に伴って反対方向に回転し、ひい
ては第２のアーム５４が反対方向に回転する。これによ
り第１のアーム５２及び第２のアーム５４が、その全体
が折り畳まれたような形状になるように回転する。

【００４６】第１のプーリ６３の直径と第２のプーリ６
４の直径との比は実質的に２：１である。すなわち第１
のプーリ６３の歯数と第２のプーリ６４の歯数との比が
実質的に２：１である。このため第１のアーム５２が回
転する角度の倍、第２のプーリ６４が回転し、ひいては
第２のアーム５４が回転する。第１のアーム５２の長さ
と第２のアーム５４の長さとは実質的に等しいので、第
１のプーリ６３の直径と第２のプーリ６４の直径との比
をこのように設定することで、上部ブラケット５６が支
持ハウジング５１に対してＺ軸方向に直線運動すること
になる。なお、直線運動させるためには、第１のアーム
５２の長さと第２のアーム５４の長さとの比に応じて、
第１のプーリ６３の直径と第２のプーリ６４の直径との
比も変化させる必要がある。

【００４７】図７及び図８はＺ軸駆動機構の他の例を示
す。図７はＺ軸駆動機構７１の正面図を示し、図８は断
面図を示す。この例のＺ軸駆動機構７１は、第１及びの
第２の四節回転連鎖３６，３７を備え、第１の四節回転
連鎖３６の第１のアーム５２のみをＺ軸駆動モータ６２
によって回転させる点では、上記Ｚ軸駆動機構３５と同
一である。このため同一の符号を附してその説明を省略
する。

【００４８】この例のＺ軸駆動機構７１では、第２のア
ーム５４及び第１のアーム５２は所定距離をおいて中間
ブラケット５７に回転自在に支持されている。第１のア
ーム５２の回転と第２のアーム５４の回転を連動させる
連動機構７２は、中間ブラケット５７に対する第１のア
ーム５２の回転中心線上に設けられ、第１のアーム５２
に固定される第１の歯車７３と、中間ブラケット５７に
対する第２のアーム５４の回転中心線上に設けられ、第
２のアーム５４に固定される第２の歯車７４と、を備え
る。第１の歯車７３と第２の歯車７４とは互いに噛み合
い、実質的に等しい歯数を有する。

【００４９】第１のアーム５２を回転させると、第１の
アーム５２に固定された第１の歯車７３も回転する。第
１の歯車７３の回転に伴い、第１の歯車７３に噛み合う
第２の歯車７４が第１の歯車７３とは反対方向に回転
し、ひいては第２のアーム５４が反対方向に回転する。
これにより第１のアーム５２及び第２のアーム５４が、
その全体が折り畳まれたような形状になるように回転す
る。

【００５０】第１のアーム５２の長さと第２のアーム５
４の長さとは実質的に等しく、第１のアーム５２及び第
２のアーム５４は互いに反対方向に等しい角度回転する
ので、上部ブラケット５６が支持ハウジング５１に対し
てＺ軸方向に直線運動する。なお、直線運動させるため
には、第１のアーム５２の長さと第２のアーム５４の長
さとの比に応じて、第１の歯車７３の歯数と第２の歯車
７４の歯数との比も変化させる必要がある。

【００５１】図９及び図１０は、Ｚ軸駆動機構のさらに
他の例を示す。図９はＺ軸駆動機構８１の正面図を示
し、図１０は断面図を示す。この例のＺ軸駆動機構８１
は、第１及び第２の四節回転連鎖３６，３７を備える点
では、上記Ｚ軸駆動機構３５と同一である。このため同
一の符号を附してその説明を省略する。

【００５２】この例のＺ軸駆動機構８１では、第１の四
節回転連鎖３６の第１のアーム５２をＺ１軸駆動モータ
８２によって回転させ、第２の四節回転連鎖３７の第２
のアーム５４をＺ２軸駆動モータ８３によって回転させ
ている。Ｚ１軸駆動モータ８２の出力軸は第１のアーム
５２に固定される。Ｚ２軸駆動モータ８３の出力軸は第
３の四節回転連鎖８４を介して第２のアーム５４に伝動
される。

【００５３】第３の四節回転連鎖８４の相対するリンク
の長さは等しく、すなわちリンクの長さはａ３＝ｃ３，
ｂ３＝ｄ３に設定される。このためＺ２軸駆動モータ８
３の出力軸の回転量がそのまま第２のアーム５４の回転
量になる。

【００５４】Ｚ１軸駆動モータ８２及びＺ２軸駆動モー
タ８３を互いに反対方向に同じ量回転させると、第１の
アーム５２及び第２のアーム５４が互いに反対方向に同
じ量回転する。これにより第１のアーム５２及び第２の
アーム５４が、その全体が折り畳まれたような形状に回
転する。

【００５５】第１のアーム５２の長さと第２のアーム５
４の長さとは実質的に等しく、第１のアーム５２及び第
２のアーム５４は互いに反対方向に等しい角度回転する
ので、上部ブラケット５６が支持ハウジング５１に対し
てＺ軸方向に直線運動する。なお、直線運動させるため
には、第１のアーム５２の長さと第２のアーム５４の長
さとの比に応じて、Ｚ１軸駆動モータ８２及びＺ２軸駆
動モータ８３の回転量の比も変化させる必要がある。

【００５６】なお本発明は上記実施形態に限られること
なく、本発明を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
例えば本発明の搬送装置は半導体を搬送するのに限られ
ず、様々な搬送物を搬送するのに用いることができる。
またＺ軸駆動機構は垂直方向に搬送物を搬送するのに限
られず、水平方向等さまざまな方向に搬送物を搬送して
よい。さらにＸ軸移動機構、Ｙ軸移動機構、θ軸移動機
構の少なくとも一つは、要求される動作に応じて除かれ
ることもある。さらに第１のアーム及び第２のアームの
長さは実質的に等しくなくてもよい。

【００５７】

【発明の効果】以上に説明したように、本発明によれ
ば、第１の四節回転連鎖及び第２の四節回転連鎖を基部
と可動部との間に設け、組み合わされた第１の四節回転
連鎖及び第２の四節回転連鎖によって可動部を基部に対
して相対的に直線運動させているので、搬送物を昇降さ
せるための機構を搬送物の下方に配置することができ
る。このため搬送装置から発生する塵芥が搬送物に落ち
るおそれがない。

【００５８】また第１の四節回転連鎖では、基部に固定
されたリンクに相対するリンクが、基部に対して平行に
動く。第２の四節回転連鎖では、可動部が取り付けられ
るリンクが、第１の四節回転連鎖に固定されたリンクに
対して平行に動く。したがって、可動部は常に基部に対
して平行に動くことになり、昇降動作中に搬送物の姿勢
が変化することがない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の搬送装置が適用される作業ステーショ
ンを示す平面図。

【図２】本発明の一実施形態の搬送装置を示す平面図。

【図３】上記搬送装置の正面図。

【図４】上記搬送装置の断面図。

【図５】上記搬送装置のＺ軸駆動機構を示す正面図。

【図６】上記搬送装置のＺ軸駆動機構を示す断面図。

【図７】Ｚ軸駆動機構の他の例を示す正面図。

【図８】Ｚ軸駆動機構の他の例を示す断面図。

【図９】Ｚ軸駆動機構のさらに他の例を示す正面図。

【図１０】Ｚ軸駆動機構のさらに他の例を示す断面図。

【図１１】従来の搬送装置を示す斜視図。

【図１２】従来の搬送装置を示す斜視図。

【符号の説明】

２７・・・作動テーブル（可動部） ２８・・・Ｙ軸駆動機構（第１の一軸駆動機構） ２９・・・テーブル（基部） ３６・・・第１の四節回転連鎖 ３７・・・第２の四節回転連鎖 ３８・・・θ軸駆動機構 ４０・・・Ｘ軸駆動機構（第２の一軸駆動機構） ６１，７２・・・連動機構 ６２・・・Ｚ軸駆動モータ（駆動源） ６４・・・第１のプーリ（第１の車） ６３・・・第２のプーリ（第２の車） ６５・・・タイミングベルト（巻き掛け媒介節） ７３・・・第１の歯車 ７４・・・第２の歯車 ａ１・・・第１の四節回転連鎖の基部に固定されたリンク ｂ１・・・第１の四節回転連鎖の固定されたリンクの隣の
回転リンク ｃ１・・・第１の四節回転連鎖の固定されたリンクに相対
するリンク ａ２・・・第２の四節回転連鎖の固定されたリンク ｂ２・・・第２の四節回転連鎖の固定されたリンクの隣の
回転リンク

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Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基部と、基部に固定されたリンクを有
   し、相対するリンクの長さが実質的に等しい第１の四節
   回転連鎖と、 前記第１の四節回転連鎖の前記固定されたリンクに相対
   するリンクに固定されたリンクを有し、相対するリンク
   の長さが実質的に等しい第２の四節回転連鎖と、 前記第２の四節回転連鎖の前記固定されたリンクに相対
   するリンクに取り付けられる可動部と、を備え、 前記可動部が前記基部に対して相対的に直線運動するこ
   とを特徴とする搬送装置。
2. 【請求項２】 前記搬送装置はさらに、 前記可動部が前記基部に対して相対的に直線運動するよ
   うに、前記第１の四節回転連鎖の前記固定されたリンク
   の隣の回転リンク、及び前記第２の四節回転連鎖の前記
   固定されたリンクの隣の回転リンクを連動させる連動機
   構と、 前記第１の四節回転連鎖の前記回転リンク、又は前記第
   ２の四節回転連鎖の前記回転リンクのいずれか一方のみ
   を回転させる駆動源と、を備えることを特徴とする請求
   項１に記載の搬送装置。
3. 【請求項３】 前記連動機構は、 前記基部に対する前記第１の四節回転連鎖の前記回転リ
   ンクの回転中心線上に設けられ、前記基部に固定される
   第１の車と、 前記第１の四節回転連鎖に対する前記第２の四節回転連
   鎖の前記回転リンクの回転中心線上に設けられ、前記第
   ２の四節回転連鎖の前記回転リンクに固定される第２の
   車と、 前記第１の車及び第２の車の間に掛け渡される巻き掛け
   媒介節と、を備えることを特徴とする請求項２に記載の
   搬送装置。
4. 【請求項４】 前記第１の四節回転連鎖の前記回転リン
   クの長さと、前記第２の四節回転連鎖の前記回転リンク
   の長さとが実質的に等しく、 前記第１の車の直径と前記第２の車の直径との比が、実
   質的に２：１であることを特徴とする請求項３に記載の
   搬送装置。
5. 【請求項５】 前記連動機構は、 前記第２の四節回転連鎖に対する前記第１の四節回転連
   鎖の前記回転リンクの回転中心線上に設けられ、前記第
   １の四節回転連鎖の前記回転リンクに固定される第１の
   歯車と、 前記第１の四節回転連鎖に対する前記第２の四節回転連
   鎖の前記回転リンクの回転中心線上に設けられ、前記第
   ２の四節回転連鎖の前記回転リンクに固定される第２の
   歯車とを備え、 前記第１の歯車と前記第２の歯車が噛み合うことを特徴
   とする請求項２に記載の搬送装置。
6. 【請求項６】 前記第１の四節回転連鎖の前記回転リン
   クの長さと、前記第２の四節回転連鎖の前記回転リンク
   の長さとが実質的に等しく、 前記第１の歯車の歯数と前記第２の歯車の歯数が等しい
   ことを特徴とする請求項５に記載の搬送装置。
7. 【請求項７】 前記基部に対して前記可動部が直線運動
   する方向が垂直方向であり、 前記搬送装置はさらに、 前記基部を水平方向に直線運動させる第１の一軸駆動機
   構と、 前記第２の４節回転機構に対して前記可動部を水平面内
   で旋回させるθ軸駆動機構と、 前記θ軸駆動機構に対して前記可動部を水平方向に直線
   運動させる第２の一軸駆動機構とを備えることを特徴と
   する請求項１ないし６いずれかに記載の搬送装置。
8. 【請求項８】 前記搬送装置は半導体を搬送することを
   特徴とする請求項１ないし７いずれかに記載の搬送装
   置。