KR20220093817A - 선반 유닛 및 이를 갖는 스토커 - Google Patents

선반 유닛 및 이를 갖는 스토커 Download PDF

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KR20220093817A
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이수웅
김두봉
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세메스 주식회사
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Abstract

본 발명에 따른 선반 유닛은, X축 방향 및 Z축 방향을 따라 배열되며, 대상물이 수용된 캐리어를 적재하기 위한 제1 열 선반들 및 상기 제1 열 선반들과 동일한 방향을 향하도록 상기 X축 방향과 수직하는 Y축 방향에 배치되고, 상기 X축 방향 및 상기 Z축 방향을 따라 배열되며, 상기 캐리어를 적재하기 위한 제2 열 선반들을 포함하고, 이송 로봇의 로봇 암이 상기 제1 열 선반들을 통해 상기 제2 열 선반들에 상기 캐리어를 이적재 가능하도록 상기 제1 열 선반들과 상기 제2 열 선반들이 서로 다른 높이에 위치할 수 있다.

Description

선반 유닛 및 이를 갖는 스토커{Shelf unit and stocker having the same}
본 발명은 선반 유닛 및 이를 갖는 스토커에 관한 것으로, 보다 상세하게는 선반들이 2열로 배치되는 선반 유닛 및 이를 갖는 스토커에 관한 것이다.
반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 반도체 기판, 인쇄회로기판, 레티클 등의 대상물은 캐리어에 수납된 상태로 스토커(Stocker)에 보관될 수 있으며, 상기 스토커는 상기 캐리어들을 수납하기 위한 복수의 선반들을 구비할 수 있다. 상기 캐리어들은 상기 대상물에 따라 풉(FOUP), 포스비(FOSB), 매거진, 레티클 포드 등 다양한 종류가 있다.
상기 선반들은 수평 및 수직 방향으로 배열되며, 이송 로봇에 의해 상기 캐리어가 상기 선반들에 적재될 수 있다. 상기 스토커의 적재 용량을 증가시키기 위해서는 상기 선반들을 상기 수평 방향으로 길게 형성할 수 있다.
그러나, 상기 선반들의 길이가 길어짐에 따라 상기 스토커가 구비되는 공간의 활용도가 저하될 수 있고, 상기 이송 로봇의 주행 직진성을 확보하기 어려우며, 상기 이송 로봇에서 진동이나 파티클이 발생할 수 있다.
본 발명은 캐리어의 적재 용량을 늘일 수 있는 선반 유닛을 제공한다.
본 발명은 상기 선반 유닛을 포함하는 스토커를 제공한다.
본 발명에 따른 선반 유닛은, X축 방향 및 Z축 방향을 따라 배열되며, 대상물이 수용된 캐리어를 적재하기 위한 제1 열 선반들 및 상기 제1 열 선반들과 동일한 방향을 향하도록 상기 X축 방향과 수직하는 Y축 방향에 배치되고, 상기 X축 방향 및 상기 Z축 방향을 따라 배열되며, 상기 캐리어를 적재하기 위한 제2 열 선반들을 포함하고, 이송 로봇의 로봇 암이 상기 제1 열 선반들을 통해 상기 제2 열 선반들에 상기 캐리어를 이적재 가능하도록 상기 제1 열 선반들과 상기 제2 열 선반들이 서로 다른 높이에 위치할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제1 열 선반들 및 상기 제2 열 선반들 중 어느 하나가 높이 조절 가능하도록 구비될 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 선반 유닛은, 상기 제1 열 선반들 및 상기 제2 열 선반들 중 어느 하나에, 상기 X축 방향 및 상기 Z축 방향을 따라 격자 형태로 구비되며, 상기 선반들의 높이를 조절하기 위해 상기 선반들이 상기 Z축 방향으로 이동 가능하도록 가이드 하는 레일들을 구비할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 레일들은, 상기 X축 방향으로 연장하며 상기 Z축 방향으로 배열되는 다수의 X축 레일들 및 상기 Z축 방향으로 연장하며 상기 X축 방향으로 배열되고, 상기 X축 레일들의 상기 Z축 방향 이동을 가이드 하는 다수의 Z축 레일들을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 선반 유닛은, 상기 선반들의 상기 높이를 조절하기 위해 상기 Z축 레일들을 따라 상기 X축 레일들을 이동시키기 위한 구동부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제1 열 선반들의 상기 Z축 방향 간격은 상기 제1 열 선반들과 상기 제2 열 선반들의 높이 차에 상기 캐리어의 높이를 합한 값보다 클 수 있다.
본 발명에 따른 스토커는, 대상물이 수용된 캐리어를 적재하기 위한 선반 유닛과, 이송 유닛으로부터 상기 캐리어를 전달받거나 상기 이송 유닛으로 상기 캐리어를 전달하기 위한 로드 포트 및 상기 선반 유닛 및 로드 포트 사이에서 상기 캐리어를 이송하기 위한 이송 로봇을 포함하고, 상기 선반 유닛은, X축 방향 및 Z축 방향을 따라 배열되며, 상기 캐리어를 적재하기 위한 제1 열 선반들 및 상기 제1 열 선반들과 동일한 방향을 향하도록 상기 X축 방향과 수직하는 Y축 방향에 배치되고, 상기 X축 방향 및 상기 Z축 방향을 따라 배열되며, 상기 캐리어를 적재하기 위한 제2 열 선반들을 포함하고, 상기 이송 로봇의 로봇 암이 상기 제1 열 선반들을 통해 상기 제2 열 선반들에 상기 캐리어를 이적재 가능하도록 상기 제1 열 선반들과 상기 제2 열 선반들은 서로 다른 높이에 위치할 수 있다.
본 발명에 따른 상기 선반 유닛은 상기 제1 열 선반들과 상기 제2 열 선반들의 높이를 다르게 함으로써 상기 이송 로봇의 로봇 암이 상기 제1 열 선반들을 통해 상기 제2 열 선반들에 상기 캐리어를 이적재할 수 있다. 따라서, 상기 스토커의 적재 용량을 증가시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커를 설명하기 위한 개략적인 정면 단면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 선반 유닛을 설명하기 위한 측면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커를 설명하기 위한 개략적인 정면 단면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 선반 유닛을 설명하기 위한 측면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 스토커(100)는 캐리어(10)를 보관하기 위한 것으로, 챔버(110), 선반 유닛(120), 로드 포트(130) 및 이송 로봇(130)을 포함할 수 있다.
상기 캐리어(10)는 내부에 다양한 대상물을 수납할 수 있다. 상기 대상물의 예로는 반도체 기판, 인쇄회로기판, 리드 프레임, 레티클 등을 들 수 있으며, 상기 캐리어(10)의 예로는 풉(FOUP), 포스비(FOSB), 매거진, 레티클 포드 등을 들 수 있다.
상기 챔버(110)는 상기 캐리어(10)를 수용하기 위한 공간을 제공한다. 상기 챔버(110)는 바닥면으로부터 일정 높이까지 연장하거나, 상기 천장까지 연장할 수 있다.
상기 선반 유닛(120)은 상기 캐리어(10)를 적재한다. 상기 선반 유닛(120)은 제1 열 선반들(121) 및 제2 열 선반들(126)을 포함할 수 있다.
상기 제1 열 선반들(121)은 X축 방향(전후 방향) 및 상기 X축과 수직하는 Z축 방향(상하 방향)을 따라 배열된다. 상기 제1 열 선반들(121)은 각각 대략 평판 형태를 가지며, 상기 캐리어(10)의 하부면을 각각 지지한다.
상기 제2 열 선반들(126)도 상기 X축 방향 및 상기 Z축 방향을 따라 배열되며, 상기 캐리어(10)의 하부면을 각각 지지한다.
상기 제1 열 선반들(121)과 상기 제2 열 선반들(126)은 상기 X축 방향과 수직하는 Y축 방향(좌우 방향)으로 배열된다. 상기 제1 열 선반들(121)과 상기 제2 열 선반들(126)은 동일한 방향을 향하도록 배치될 수 있다.
상기 제1 열 선반들(121)과 상기 제2 열 선반들(126)은 높이가 서로 다르도록 구비될 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 열 선반들(121)이 상기 제2 열 선반들(126)보다 약간 낮게 위치할 수 있다. 이때, 상기 제1 열 선반들(121)의 상기 Z 방향 간격 및 상기 제2 열 선반들(126)의 상기 Z 방향 간격은 동일할 수 있다. 또한, 상기 제1 열 선반들(121)의 상기 Z축 방향 간격은 상기 제1 열 선반들(121)과 상기 제2 열 선반들(126)의 높이 차에 상기 캐리어(10)의 높이를 합한 값보다 클 수 있다. 그러므로, 상기 이송 로봇(140)이 상기 제1 열 선반들(121)을 통해 상기 제2 열 선반들(126)에 상기 캐리어(10)를 쉽게 이적재할 수 있다.
상기 선반 유닛(120)이 상기 제1 열 선반들(121)과 상기 제2 열 선반들(126)을 포함하므로, 상기 스토커(100)의 적재 용량을 증가시킬 수 있다.
상기 제1 열 선반들(121)과 상기 제2 열 선반들(126)의 길이를 길게 하지 않으므로, 상기 스토커(100)가 구비되는 공간의 활용도를 높일 수 있으며, 상기 이송 로봇(140)의 주행 직진성을 확보할 수 있으며, 상기 이송 로봇(140)에서 진동이나 파티클을 감소시킬 수 있다.
일 예로, 상기 제1 열 선반들(121)과 상기 제2 열 선반들(126)은 높이가 서로 다르도록 상기 제1 열 선반들(121)과 상기 제2 열 선반들(126)의 위치가 고정될 수 있다.
다른 예로, 상기 제1 열 선반들(121)과 상기 제2 열 선반들(126)은 높이가 서로 다르도록 상기 제1 열 선반들(121)과 상기 제2 열 선반들(126) 중 적어도 하나의 높이를 조절할 수 있다.
이하에서는 상기 제1 열 선반들(121)의 높이를 조절 가능하고, 상기 제2 열 선반들(126)의 위치가 고정되는 경우에 대해 설명한다.
상기 제1 열 선반들(121)에는 제1 레일들(122)이 상기 X축 방향 및 상기 Z축 방향을 따라 격자 형태로 구비된다. 상기 제1 레일들(122)은 상기 제1 열 선반들(121)이 상기 Z축 방향으로 이동 가능하도록 가이드 한다. 따라서, 상기 캐리어(10)를 상기 제2 열 선반들(126)에 적재하기 위해 상기 제1 열 선반들(121)의 높이를 조절할 수 있다.
구체적으로, 상기 제1 레일들(122)은 제1 X축 레일들(123) 및 제1 Z축 레일들(124)을 포함할 수 있다.
상기 제1 X축 레일들(123)은 상기 X축 방향으로 연장하며 상기 Z축 방향으로 배열된다. 상기 제1 열 선반들(121)은 상기 제1 X축 레일들(123)에 장착된다.
상기 제1 Z축 레일들(124)은 상기 Z축 방향으로 연장하며 상기 X축 방향으로 배열된다. 상기 제1 X축 레일들(123)은 상기 제1 Z축 레일들(124)에 장착되며, 상기 제1 Z축 레일들(124)을 따라 이동할 수 있다. 따라서, 상기 제1 Z축 레일들(124)은 상기 제1 X축 레일들(123)의 상기 Z축 방향 이동을 가이드할 수 있다.
상기 제1 열 선반들(121)이 상기 제1 X축 레일들(123)에 장착되므로, 상기 제1 열 선반들(121)과 상기 제1 X축 레일들(123)이 동시에 상기 제1 Z축 레일들(124)을 따라 이동할 수 있다. 따라서, 상기 제1 열 선반들(121)의 상기 높이를 조절할 수 있다.
상기 구동부(125)는 상기 제1 X축 레일들(123)과 연결되며, 상기 제1 X축 레일들(123)을 이동시킬 수 있다. 상기 구동부(125)의 예로는 리니어 모터, 모터와 볼 스크류, 모터와 벨트 및 풀리 등을 들 수 있다.
상기 구동부(125)는 상기 각 제1 X축 레일들(123)을 동시에 상기 Z축 방향으로 이동시켜 상기 제1 열 선반들(121)의 상기 높이를 조절할 수 있다. 따라서, 상기 제1 열 선반들(121)의 상기 Z축 방향 간격은 일정하게 유지될 수 있다.
상기 제2 열 선반들(126)에는 제2 레일들(127)이 상기 X축 방향 및 상기 Z축 방향을 따라 격자 형태로 구비된다. 상기 제2 열 선반들(126)은 상기 제2 레일들(127)에 장착된다.
구체적으로, 상기 제2 레일들(127)은 제2 X축 레일들 및 제2 Z축 레일들을 포함한다.
상기 제2 X축 레일들은 상기 X축 방향으로 연장하며 상기 Z축 방향으로 배열된다. 상기 제2 열 선반들(126)은 상기 제2 X축 레일들에 장착된다. 상기 제2 Z축 레일들은 상기 Z축 방향으로 연장하며 상기 X축 방향으로 배열된다. 상기 제2 X축 레일들은 상기 제2 Z축 레일들에 장착된다. 따라서, 상기 제2 열 선반들(126)의 위치가 고정된다.
일 예로, 상기 선반 유닛(120)은 상기 제1 열 선반들(121)과 상기 제2 열 선반들(126)이 두 쌍 구비되어 서로 마주보도록 배치될 수 있다.
다른 예로 도시되지는 않았지만, 상기 선반 유닛(120)은 상기 제1 열 선반들(121)과 상기 제2 열 선반들(126)이 한 쌍만 구비될 수 있다.
상기 로드 포트(130)는 두 쌍의 상기 제1 열 선반들(121)과 상기 제2 열 선반들(126) 중 어느 한 쌍을 관통하여 구비될 수 있다. 상기 로드 포트(130)는 상기 선반 유닛(120)으로부터 상기 챔버(110)의 외부까지 연장할 수 있다. 예를 들면, 상기 로드 포트(130)는 상기 Y축 방향으로 연장할 수 있다.
상기 로드 포트(130)는 이송 유닛(미도시)과의 사이에서 상기 캐리어(10)를 전달받거나 전달하기 위해 상기 캐리어(10)를 지지한다. 상기 이송 유닛은 주행 레일을 따라 주행하면서 상기 캐리어(10)를 이송할 수 있다.
구체적으로, 상기 로드 포트(130)는 상기 캐리어(10)를 지지하여 상기 좌우 방향으로 이송하기 위한 이송부(131)를 포함할 수 있다. 상기 이송부(131)의 예로는 새들(saddle) 또는 컨베이어를 들 수 있다.
상기 이송부(131)의 안착면에는 정렬 핀들(미도시)이 구비될 수 있다. 상기 캐리어(10)의 하부면에는 정렬 홈(미도시)이 구비될 수 있다. 상기 캐리어(10)가 상기 이송부(131)에 안착될 때, 상기 정렬 핀들은 상기 정렬 홈에 삽입되므로, 상기 캐리어(20)를 상기 이송부(131)에 정확하게 안착시킬 수 있다.
상기 이송부(131)가 상기 캐리어(10)를 상기 좌우 방향으로 이동시키므로, 상기 로드 포트(130)는 상기 이송 유닛으로부터 상기 캐리어(10)를 전달받아 상기 선반들(120)을 향해 상기 좌우 방향으로 이송하거나, 상기 선반들(120)로부터 상기 이송 유닛으로 상기 캐리어(10)를 전달할 수 있다. 상기 이송 유닛이 상기 스토커(100)와 이격되어 있더라도 상기 로드 포트(130)를 이용하여 상기 이송 유닛과 상기 스토커(100) 사이에서 상기 캐리어(10)를 신속하게 이송할 수 있다.
한편, 상기 로드 포트(130)는 상기 캐리어(10)를 상기 좌우 방향으로 이송하지 않고 상기 캐리어(10)를 단순 지지할 수도 있다. 이 경우, 상기 정렬 핀들은 상기 로드 포트(130)의 안착면에 구비될 수 있다.
상기 이송 로봇(140)은 상기 두 쌍의 상기 제1 열 선반들(121)과 상기 제2 열 선반들(126) 사이에 배치된다. 상기 제1 열 선반들(121)과 상기 제2 열 선반들(126)이 한 쌍만 구비되는 경우, 상기 이송 로봇(140)은 상기 제1 열 선반들(121)의 상기 Y축 방향 전면에 배치된다.
상기 이송 로봇(140)은 상기 로드 포트(130)와 상기 선반 유닛(120) 사이에서 상기 캐리어들(10)을 이송한다.
상기 이송 로봇(140)은 상기 캐리어들(10)의 이송을 위해 상기 X축 방향, 상기 Z축 방향으로 이동 및 회전 이동이 가능하도록 구비될 수 있다. 상세히 도시되지는 않았지만, 상기 이송 로봇(140)은 상기 이송 로봇(140)을 상기 X축 방향으로 이동시키기 위한 X축 구동부, 상기 이송 로봇(140)을 상기 Z축 방향으로 이동시키기 위한 Z축 구동부 및 상기 이송 로봇(140)을 회전시키기 위한 회전 구동부를 구비할 수 있다.
또한, 상기 이송 로봇(140)은 상기 캐리어들(10)의 이송을 위한 로봇 암(141)을 구비할 수 있으며, 상기 로봇 암(141)은 상기 선반들(110)을 향해 이동 가능하게 구성될 수 있다. 상기 로봇 암(141)은 상기 캐리어들(10)을 파지하여 이송한다.
일 예로서, 상기 로봇 암(141)은 상기 Y축 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 상기 이송 로봇(140)은 상기 로봇 암(141)을 구동하기 위한 Y축 구동부를 구비할 수 있다. 상기 로봇 암(141)은 슬라이딩하면서 신장과 수축이 가능한 포크 암이거나, 신장과 수축이 가능한 다관절 로봇암일 수 있다. 특히, 상기 로봇 암(141)이 상기 포크 암인 경우, 상기 제2 열 선반들(126)에 상기 캐리어(10)를 이적재하기 위해 다단 슬라이딩 구조를 가질 수 있다.
일 예로서, 상기 X축, Y축 및 Z축 구동부들 및 회전 구동부는 모터 및 타이밍 벨트와 풀리들을 포함하는 동력 전달 장치를 이용하여 각각 구성될 수 있다.
따라서 상기 이송 로봇(140)은 상기 캐리어(10)를 상기 로드 포트(130)에 안착하거나, 상기 로드 포트(130)에 안착된 상기 캐리어(10)를 이송할 수 있다. 또한, 상기 이송 로봇(140)은 상기 캐리어들(10)을 상기 선반 유닛(120)에 적재하거나 상기 선반 유닛(120)으로부터 상기 캐리어들(10)을 이재할 수 있다.
상기 이송 로봇(140)은 상기 캐리어들(10)을 신속하게 이송하기 위해 복수로 구비될 수도 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 상기 스토커는 상기 제1 열 선반들과 상기 제2 열 선반들에 상기 캐리어를 적재할 수 있으므로, 상기 스토커의 적재 용량을 증가시킬 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 스토커 110 : 챔버
120 : 선반 유닛 121 : 제1 열 선반
122 : 제1 레일 123 : 제1 X축 레일
124 : 제1 Z축 레일 125 : 구동부
126 : 제2 열 선반 127 : 제2 레일
130 : 로드 포트 131 : 이송부
140 : 이송 로봇 141 : 로봇 암
10 : 캐리어

Claims (7)

  1. X축 방향 및 Z축 방향을 따라 배열되며, 대상물이 수용된 캐리어를 적재하기 위한 제1 열 선반들; 및
    상기 제1 열 선반들과 동일한 방향을 향하도록 상기 X축 방향과 수직하는 Y축 방향에 배치되고, 상기 X축 방향 및 상기 Z축 방향을 따라 배열되며, 상기 캐리어를 적재하기 위한 제2 열 선반들을 포함하고,
    이송 로봇의 로봇 암이 상기 제1 열 선반들을 통해 상기 제2 열 선반들에 상기 캐리어를 이적재 가능하도록 상기 제1 열 선반들과 상기 제2 열 선반들은 서로 다른 높이에 위치하는 것을 특징으로 하는 선반 유닛.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1 열 선반들 및 상기 제2 열 선반들 중 어느 하나가 높이 조절 가능하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 선반 유닛.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제1 열 선반들 및 상기 제2 열 선반들 중 어느 하나에, 상기 X축 방향 및 상기 Z축 방향을 따라 격자 형태로 구비되며, 상기 선반들의 높이를 조절하기 위해 상기 선반들이 상기 Z축 방향으로 이동 가능하도록 가이드 하는 레일들이 구비되는 것을 특징으로 하는 선반 유닛.
  4. 제3항에 있어서, 상기 레일들은,
    상기 X축 방향으로 연장하며 상기 Z축 방향으로 배열되는 다수의 X축 레일들; 및
    상기 Z축 방향으로 연장하며 상기 X축 방향으로 배열되고, 상기 X축 레일들의 상기 Z축 방향 이동을 가이드 하는 다수의 Z축 레일들을 포함하는 것을 특징으로 하는 선반 유닛.
  5. 제4항에 있어서, 상기 선반들의 상기 높이를 조절하기 위해 상기 Z축 레일들을 따라 상기 X축 레일들을 이동시키기 위한 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 선반 유닛.
  6. 제1항에 있어서, 상기 제1 열 선반들의 상기 Z축 방향 간격은 상기 제1 열 선반들과 상기 제2 열 선반들의 높이 차에 상기 캐리어의 높이를 합한 값보다 큰 것을 특징으로 하는 선반 유닛.
  7. 대상물이 수용된 캐리어를 적재하기 위한 선반 유닛;
    이송 유닛으로부터 상기 캐리어를 전달받거나 상기 이송 유닛으로 상기 캐리어를 전달하기 위한 로드 포트; 및
    상기 선반 유닛 및 로드 포트 사이에서 상기 캐리어를 이송하기 위한 이송 로봇을 포함하고,
    상기 선반 유닛은,
    X축 방향 및 Z축 방향을 따라 배열되며, 상기 캐리어를 적재하기 위한 제1 열 선반들; 및
    상기 제1 열 선반들과 동일한 방향을 향하도록 상기 X축 방향과 수직하는 Y축 방향에 배치되고, 상기 X축 방향 및 상기 Z축 방향을 따라 배열되며, 상기 캐리어를 적재하기 위한 제2 열 선반들을 포함하고,
    상기 이송 로봇의 로봇 암이 상기 제1 열 선반들을 통해 상기 제2 열 선반들에 상기 캐리어를 이적재 가능하도록 상기 제1 열 선반들과 상기 제2 열 선반들은 서로 다른 높이에 위치하는 것을 특징으로 하는 스토커.
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