KR100238967B1

KR100238967B1 - 반도체 인서트 픽업 헤드

Info

Publication number: KR100238967B1
Application number: KR1019970005735A
Authority: KR
Inventors: 김문식
Original assignee: 김문식; 주식회사태양정밀
Priority date: 1997-02-25
Filing date: 1997-02-25
Publication date: 2000-01-15
Also published as: KR19980068927A

Abstract

본 발명은 반도체 인서트 픽업(Insert Pick-up) 헤드에 관한 것으로, 헤드의 실린더 브래킷을 가변할 수 있도록 X축 Y축으로 분할하고 이 분할된 실린더 브래킷을 타이밍 벨트에 의해 구동될 수 있도록 스테핑 모터에 의해 가변조정되게하여 디바이스를 소장하는 트레이스와 번인보드의 치수에 따라 헤드의 실린더 브래킷의 피치의 간격을 멀티화시킴으로서 헤드의 디바이스의 인서트 및 픽업하는 작업의 효율성을 극대화 할 수 있는 유용한 발명이다.

Description

반도체 인서트 픽업 헤드

본 발명은 번인테스트 공정의 디바이스를 이송하고 적재하기 위한 수단인 반도체 인서트 픽업(Insert Pick-up) 헤드에 관한 것으로, 더 상세하게는 헤드의 실린더 브래킷을 가변할 수 있도록 X축 Y축으로 분할하고 이 분할된 실린더 브래킷을 타이밍 벨트에 의해 구동될 수 있도록 스테핑 모터(Stepping Motor)에 의해 가변조정되게 하여 디바이스를 소장하는 트레이스와 번인보드의 치수에 따라 헤드의 실린더 브래킷의 피치의 간격을 멀티화시킴으로서 헤드의 디바이스의 인서트 및 픽업하는 작업의 효율성을 극대화 할 수 있는 반도체 인서트 픽업 헤드에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 제조공정에서 제조 완료된 디바이스를 번인 테스트 하기 위해 번인보드에 이를 로딩시켜 디바이스 공급부에 의해 다수열을 이루어 반복 공급되는 다수의 디바이스를 보드 안착부에 안착 고정된 채로 스텝이송되는 번인보드상에 정확하고 신속하게 로딩시키고, 제조 완료된 디바이스를 고온, 내전압등 주변조건에 맞추어져 있는지의 여부를 판단하는 번인테스트를 취하게 되는 데, 이는 일정 규격의 시스템화된 번인보드 상의 소켓에 디바이스를 다수개 각각 삽입하여 테스트 라인에 보내게 된다.

이러한 디바이스 로딩장치는 일정 각도 경사지게 설치된 디바이스 공급장치로부터 다수열로 계속 공급되는 디바이스를 주기적으로 헤드가 진공흡착하여 회전 및 승강 작동하면서 스텝 이송되는 번인보드의 소켓상에 삽입시키는 진공 흡입식 로딩장치와, 디바이스 공급장치로부터 공급되는 디바이스를 핑거 형태를 이룬 복수조의 헤드가 각도 변환되면서 승강작동하여 직접 인출, 삽입하는 핑거형 로딩장치가 알려져 있는데, 전자인 진공 흡인식 디바이스 로딩장치는 디바이스가 담긴 슬리브를 적재하여 놓은 상태에서 이를 별도의 이송수단에 의해 이송시켜 레일의 상부에서 일정각도로 기울이면 슬리브내에 담겨 있던 디바이스가 자중에 의해 레일의 하부로 공급되어 레일의 끝단부 스토퍼에서 정지되고, 디바이스가 레일에 적재됨에 따라 헤드가 하강함과 동시에 진공호스를 통해 진공압이 발생되므로 최하방에 위치되어 있던 디바이스가 헤드에 흡착된다.

그후, 헤드는 초기상태로 상승함과 동시에 번인보드 측으로 각도 변환되면서 회동한다음 하강하여, 헤드에 흡착되었던 디바이스를 번인보드의 소켓에 삽입시키고, 헤드는 최초의 상태로 복원되며 번인보드는 이송수단에 의해 1스텝 이송되는 구조로 이루어진다.

이러한 구조로 이루어진 종래의 로딩장치에 있어서, 진공 흡인식 로딩장치는 트레이스에서 디바이스를 집은상태에서 회동하여 번인보드에 접속하는데 트레이스와 번인보드의 피치의 간격이 각기 종류마다 다르기 때문에 간격에 따라 헤드의 실린더 브래킷을 맞추어야 하는 번거로움이 있어 작업의 효율성이 크게 떨어지는 문제점이 있었다.

이에 본 발명은 상기 종래의 문제점을 해소하기 위하여 안출된 것으로, 그 목적으로 하는 바는, 헤드의 실린더 브래킷을 X축 Y축으로 분할하고 이 분할된 실린더 브래킷을 타이밍 벨트에 의해 구동될 수 있도록 스테핑 모터에 의해 가변조정하여 디바이스를 소장하는 트레이스와 번인보드의 종류와 치수에 따라 헤드의 실린더 브래킷의 피치의 간격을 자유자재로 멀티화시켜 디바이스를 트레이스에서 번인 보드로 다시 번인 보드에서 트레이스로 이송하여 인서트 및 픽업하는 작업의 효율성을 극대화할 수 있는 반도체 인서트 픽업 헤드를 제공함에 있다.

제1도는 본 발명에 따른 반도체 인서트 픽업 헤드의 타이밍 벨트에 고정된 레일가이드의 초기상태를 나타낸 정면도.

제2도는 본 발명에 따른 반도체 인서트 픽업 헤드의 구조를 나타낸 저면도.

제3도는 본 발명에 따른 실린더 브래킷을 고정한 레일가이드가 슬라이드봉에 삽입된 상태의 측면도.

제4도는 본 발명에 따른 하우징의 Y축상의 타이밍 벨트의 이동에 따른 레일가이드의 이동거리를 나타낸 측면도.

〈도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉

10 : 하우징 14, 14a : 타이밍 풀리

18, 18a : 레일가이드 20 : 고정구

22 : 실린더 브래킷 24, 24a : 가이드홈

26 : 브래킷 28 : 에어실린더

30 : 포토센서 32 : 흡착봉

34, 34a : 슬라이드봉 B, B' : 타이밍 벨트

M, M' : 스테핑 모터

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 인서트 픽업 헤드는, 스테핑 모터에 지지된 회전축에 고정되어 플랜지에 의해 지지된 사면체형상의 하우징과, 상기 하우징의 X축과 Y축의 양모서리부에 장착되며 상부에 타이밍 벨트를 구동시키기 위한 회전축에 삽입된 타이밍 풀리가 형성된 스테핑 모터와, 상기 하우징의 X축과 Y축의 각각 양단에 형성된 브래킷에 지지된 스테핑 모터의 타이밍 풀리에 감기어 적정부위에 X축과 Y축의 슬라이드봉을 지지한 레일가이드의 고정구에 의해 고정된 타이밍 벨트와, 하부에 다수개의 흡착봉을 가지며 상부에 에어실린더가 형성되고 상기 하우징의 X축, Y축선상에 수직위치한 슬라이드봉에 각각 정렬로 삽입된 다수의 레일가이드에 대응하여 고정된 다수의 실린더 브래킷과, 상기 하우징의 X축, Y축 선상면에 형성된 가이드홈에 삽입된 레일가이드와, 상기 X축, Y축상의 레일가이드에 의한 지지된 X축, Y축 슬라이드봉과, 상기 하우징의 Y축상의 중앙부에 설치되어 상기 타이밍 벨트의 위치를 감지하는 포토센서로 이루어진다.

상기 구성에 더하여, 상기 하우징의 X축의 3열로 정렬된 실린더 브래킷을 고정한 X축의 레일가이드는 상기 X축의 3열중에서 중심에 위치한 레일가이드를 중심으로 일측의 레일가이드의 고정구는 상기 타이밍 벨트의 일면에 고정되고 타측의 레일가이드의 고정구는 상기 타이밍 벨트의 타면에 고정되어 상기 스테핑 모터의 구동으로 상기 실린더 브래킷을 고정한 양측의 X축의 레일가이드는 상호 엇갈림되는 이동으로 인하여 상기 X축의 실린더 브래킷이 X축상에서 좌우 슬라이드 이동되게 이루어진다.

상기 구성에 더하여, 상기 하우징의 Y축상에 양측으로 형성된 가이드홈에 삽입된 상기 Y축의 레일가이드는 2열로 정렬된 상기 실린더 브래킷 중에서 상기 Y축상부에 위치한 상기 실린더 브래킷을 상기 슬라이드봉에 의해 고정하고 상기 레일 가이드의 고정구는 상기 Y축상의 타이밍 벨트의 일면을 고정하여 상기 Y축상의 스테핑 모터의 구동에 의해 상기 실린더 브래킷이 상기 Y축상에서만 슬라이드 이동되게 이루어진다.

따라서, 상기 구성에 의한 본 발명에 따른 반도체 인서트 픽업 헤드는, 상기 실런더 브래킷을 상기 X축 Y축 레일가이드에 지지된 X축 Y축 슬라이드봉에 각각 정렬되게 삽입시키고 상기 레일가이드의 고정구를 타이밍 벨트에 고정시킨 후, 상기 타이밍 벨트를 지지한 X축과 Y축의 타이밍 풀리가 형성된 스테핑 모터를 모뎀의 시스템에 의한 설정된 피치로 구동시켜 상기 실린더 브래킷이 X축과 Y축상에서 간격이 조정이 이루어져 트레이스에서 번인보드로 다시 번인보드에서 트레이스로 옮겨질 때 그간격을 가변조정함으로써 작업성의 효율을 높일 수 있는 것이다.

[실시예]

이하, 상기 구성으로 이루어진 본 발명에 따른 반도체 인서트 픽업 헤드의 구조를 도 1내지 도 5를 참조하여 바람직한 실시예를 설명하도록 한다.

도 1은 본 발명에 따른 반도체 인서트 픽업 헤드의 타이밍 벨트에 고정된 레일가이드의 초기상태를 나타낸 정면도, 도 2는 본 발명에 따른 반도체 인서트 픽업 헤드의 구조를 나타낸 저면도, 도 3은 본 발명에 따른 실린더 브래킷을 고정한 레일가이드가 슬라이드봉에 삽입된 상태의 측면도, 도 4는 본 발명에 따른 하우징의 Y축상의 타이밍 벨트의 이동에 따른 레일가이드의 이동거리를 나타낸 측면도이다.

본 발명에 따른 반도체 인서트 픽업 헤드는, 도 1내지 도 4에서 도시한 바와 같이, 스테핑 모터(M)(M′)에 지지된 회전축에 고정되어 플랜지(36)에 의해 지지된 사면체형상의 하우징(10)과, 상기 하우징(10)의 X축과 Y축의 양모서리부에 장착되며 상부에 타이밍 벨트(B)(B′)를 구동시키기 위한 회전축에 삽입된 타이밍 풀리(14)(14a)가 형성된 스테핑 모터(M)(M′)와, 상기 하우징(10)의 X축과 Y축의 각각 양단에 형성된 브래킷(26)에 지지된 스테핑 모터(M)(M′)의 타이밍 풀리(14)(14a)에 감기어 적정부위에 X축과 Y축의 슬라이드봉(34)(34a)을 지지한 레일가이드(18)(18a)의 고정구(20)에 의해 고정된 타이밍 벨트(B)(B′)와, 하부에 다수개의 흡착봉(32)을 가지며 상부에 에어실린더(28)가 형성되고 상기 하우징(10)의 X축, Y축선상에 수직 위치한 슬라이드봉(34)(34a)에 각각 정렬로 삽입된 다수의 레일가이드(18,)(18a)에 대응하여 고정된 다수의 실린더 브래킷(22)과, 상기 하우징(10)의 X축, Y축 선상면에 형성된 가이드홈(24)(24a)에 삽입된 레일가이드(18)(18a)와, 상기 X축, Y축상의 레일가이드(18)(18a)에 의해 지지된 X축, Y축 슬라이드봉(34)(34a)과, 상기 하우징(10)의 Y축상의 중앙부에 설치되어 상기 타이밍 벨트( B′)의 위치를 감지하는 포토센서(30)로 이루어진다.

상기 하우징(10)은, 대략 사면체의 골격을 이루고 상부에 플랜지(36)에 의해 스테핑 모터(M)(M')에 지지된 회전축과 연결되며, X축과 Y축상의 면에 장방형의 가이드홈(24)(24a)이 형성되어 후술하는 X축과 Y축의 슬라이드봉(34)(34a)을 지지한 X축과 Y축의 레일가이드(18)(18a)가 삽입되어 슬라이딩될 수 있는 구조를 이룬다.

또한, 상기 X축과 Y축상의 양끝 모서리부에 베어링에 의해 상기 스테핑 모터(M)(M′)가 장착되도록 브래킷(26)이 X축양끝과 Y축 양끝 모서리부에 각각 돌출 형성된다.

상기 스테핑 모터(M)(M′)는, 상기 하우징(10)의 X축과 Y축의 양끝 모서리부의 일측에만 장착되고 상단에는 회전축에 지지된 타이밍 풀리(14)(14a)가 형성된다.

상기 타이밍 벨트(B)(B′)는, 상기 스테핑 모터(M)(M′)의 상단에 회전축 지지된 X축과 Y축의 양끝 모서리부에 돌출형성된 브래킷(26)에 의해 지지된 타이밍 풀리(14)(14a)에 감기고 상기 실린더 브래킷(22)을 고정한 레일가이드(18)(18a)의 고정구(20)가 양면으로 감긴 타이밍 벨트(B)(B′)의 일면에 고정되고 X축의 타측의 실린더 브래킷(22)을 고정한 X축의 레일가이드(18)는 상기 타이밍 벨트(B)의 타측면에 감기어 상기 스테핑 모터(M)가 일측방향으로 구동할 때, 상기 실린더 브래킷(22)이 서로 엇갈림 방향으로 슬라이드 이동할 수있는 구조를 이룬다.

또한, Y축의 타이밍 벨트(B′) 또한, X축의 타이밍 벨트(B)와 동일한 구조를 이루며 상기 타이밍 벨트(B′)의 한쪽면에만 실린더 브래킷(22)이 고정된 Y축 레일가이드(18a)의 고정구(20)로 고정된다.

한편, 상기 Y축상의 상기 하우징(10)이 중심부에는 상기 타이밍 벨트(B′)와 접촉을 이루는 후술하는 포토센서(30)가 장착되어 상기 스테핑 모터(M′)의 구동에 따른 타이밍 벨트(B′)의 위치를 감지한다.

상기 실린더 브래킷(22)은, 상기 타이밍 벨트(B)(B′)를 고정구(20)에 의해 고정하고 있는 X축, Y축 레일가이드(18)(18a)에 고정됨과 동시에 상기 X축, Y축 레일가이드(18)(18a)를 지지하고 있는 X축, Y축 슬라이드봉(34)(34a)에 삽입되어 상기 하우징(10)의 X축과 Y축상에 각각 정렬되게 삽입되고 상부는 에어를 주입하는 에어실린더(28)가 형성되고 하단은 다수 개의 흡착봉(32)이 형성된다.

또한, 상기 Y축상의 레일가이드(18a)에 고정된 실린더 브래킷(22)은 Y축상에서만 이동됨과 동시에 상기 X축방향으로도 이동되는 구조를 이루고 상기 X축상에 레일가이드(18)에 고정된 상기 다수의 실린더 브래킷(22)은 X축상에서만 좌우 이동되는 구조를 이룬다.

이때, 상기 X축상에서 상기 레일가이드(18)에 의해 고정된 다수 개의 실린더 브래킷(22)중에서 중심부에 있는 X축 레일가이드(18)에 고정된 실린더 브래킷(22)은 고정된채로 유지된다.

또한, 상기 Y축상의 슬라이드봉(34a)에 삽입된 실린더 브래킷(22)중에 중심부에 위치한 실린더 브래킷(22)은 Y축상으로만 이동되는 구조를 이룬다.

상기 X축, Y축 레일가이드(18)(18a)는, 상기 하우징(10)의 X축과 Y축의 양면에 장방향으로 형성된 하우징(10)의 가이드홈(24)(24a)에 각각 양측에 삽입되는 데, 상기 X축상에서 이동되는 실린더 브래킷(22)을 고정한 레일가이드(18)는 상기 스테핑 모터(M)(M′)의 구동을 인가받은 타이밍 벨트(B)를 고정구(20)에 의해 고정시킨채, 이동되어 상기 X축상에 중심에 고정위치한 상기 실린더 브래킷(22)을 중심으로 양측방향으로 엇갈림 회동하여 상기 실린더 브래킷(22)은 일정간격으로 벌어짐과 동시에 상기 Y축의 레일가이드(18a) 또한 상기 하우징(10)에 형성된 Y축의 가이드홈(24a)을 따라 좌우 이동되는 구조를 이룬다.

한편, 상기 Y축상에서 이동되는 실린더 브래킷(22)을 고정한 Y축의 레일가이드(18a)는 Y축의 슬라이드봉(34a)을 따라 좌우로 슬라이딩 됨과 동시에 상기 X축의 레일가이드(18) 또한 상기 하우징(10)의 X축상의 가이드홈(24)을 따라 좌우 이동되는 구조를 이룬다.

상기 X축, Y축 슬라이드봉(34)(34a)은, 상기 하우징(10)의 양측 X축과 Y축의 가이드홈(24)(24a)에 각각 삽입되어 슬라이딩되는 X축, Y축 레일가이드(18)(18a)의 일측에 삽입되어 상기 X축, Y축 레일가이드(18)(18a)에 고정된 다수 개의 실린더 브래킷(22)의 좌우 이동을 안내하고 상기 X축의 슬라이드봉(34)의 일단은 상기 X축상의 레일가이드(18)에 고정되고 타단은 상기 Y축상에 위치한 실린더 브래킷(22)을 고정한 Y축 레일가이드(18a)의 일측에 삽입되어 고정되는 구조를 이루고, 상기 하우징(10)의 Y축상에 위치한 하우징(10)의 Y축의 가이드홈(24a)에 삽입된 Y축의 레일가이드(18a)에 지지된 슬라이드봉(34a)의 일단이 고정되고 타단은 상기 하우징(10)의 Y축상의 반대면에 형성된 가이드홈(24)에 삽입되어 좌우 이동되는 Y축의 레일가이드(18a)에 고정되어 상기 Y축상의 실린더 브래킷(22)의 안내를 유도하는 구조를 이룬다.

이하, 상기 구성을 이루는 본 발명의 반도체 인서트 픽업 헤드의 조립동작을 설명하도록 한다.

먼저, 상단에 스테핑 모터(M)(M′)에 지지된 회전축에 플랜지에 의해 하우징(10)의 상단을 고정하고 상기 하우징(10)의 양측면 X축과 Y축의 가이드홈(24)(24a)에 X축, Y축의 레일가이드(18)(18a)를 각각 삽입시키어 슬라이딩 될 수 있도록 한다.

그리고, 상기 하우징(10)의 X축상의 레일가이드(18)는 중심부를 기준으로 양측에 가이드홈(24)에 삽입하고 상기 Y축의 레일가이드(18a)는 양측의 가이드홈(24a)에 삽입되어 슬라이딩될 수 있도록 한다.

이때, 상기 X축의 3열의 레일가이드(18)와 Y축의 2열 레일가이드(18a)에는 각기 실린더 브래킷(22)이 고정된다.

동시에 상기 하우징(10)의 X축의 레일가이드(18)의 일단에 슬라이드봉(34)을 양측에 각기 삽입하고 Y축의 레일가이드(18a)의 일단에 슬라이드봉(34a)을 삽입하여 상기 X축, Y축 레일가이드(18)(18a)에 고정된 실린더 브래킷(22)이 이동될 수 있도록 한다.

한편, 상기 하우징(10)의 Y축상의 중심부에는 포토센서(30)가 장착되어 후술하는 타이밍 벨트(B′)와 접촉을 이룰 수 있도록 한다.

그리고, 상기 하우징(10)의 X축과 Y축의 양측 모서리부에 돌출형성된 브래킷(26)에 회전축에 지지된 타이밍 풀리(14)(14a)가 형성된 스테핑 모터(M)(M′)를 장착하고, 상기 X축의 양측단에 형성된 브래킷(26)에 의해 고정지지된 타이밍 풀리(14)(14a)에 타이밍 벨트(B)(B′)를 감고 상기 하우징(10)의 Y축상에도 상기 X축과 동일한 방법으로 타이밍 벨트를 감는다.

이때, 상기 하우징(10)의 X축의 중심부에서 일측의 레일가이드(18)에 형성된 고정구(20)를 상기 X축의 타이밍 벨트(B)의 일면에 고정하고, 상기 중심부에서 타측의 레일가이드(18)는 상기 타이밍 벨트(B)의 타면에 고정하여 상기 실린더 브래킷(22)을 고정한 상기 레일가이드(18)가 타이밍 벨트(B)가 일측으로 회동할 때 상호 엇갈림된 슬라이딩될 수 있게 한다.

또한, 상기 하우징(10)의 Y상의 타이밍 벨트(B′)에 상기 레일가이드(18a)의 고정구(20)가 상기 타이밍 벨트(B′)의 일면에 고정되어 좌우로 슬라이딩할 수 있게 한다.

이와 같이 조립된 본 발명의 반도체 인서트 픽업 헤드는, 예비 설정된 모뎀의 시스템에 의해 스테핑 모터(M)(M′)의 구동을 인가 받은 회전축의 회전으로 플랜지(36)에 의해 지지된 하우징(10)이 회전을 이루며 트레이스의 상단부로 이송됨과 동시에 초기의 설정된 시스템을 전달받은 하우징(10)의 양측 X축과 Y축에 일측에 설치된 스테핑 모터(M)(M′)는 회전축에 지지된 타이밍 풀리(14)(14a)을 구동시키고 이어서 타이밍벨트에 고정된 실린더 브래킷(22)을 고정한 레일가이드(18)(18a)를 일정간격으로 가변조정되며 한편, Y축상의 레일가이드(18a) 또한 상기 X축의 동작과 동일한 타이밍으로 이동되어 실린더 브래킷(22)을 가변조정시킨다.

이때, 예비 설정된 시스템에 의해 가변조정되는 실린더 브래킷(22)은 X축과 Y축의 선상에서 각각 이동되는데 상기 하우징(10)의 X축상에 위치한 실린더 브래킷(22)은 X축상에 고정되고 X축과 Y축상에서 교차되는 실린더 브래킷(22)은 Y축상으로만 이동된다.

이와 같은 트레이스에 소장된 디바이스의 간격에 맞추어 다수 개의 실린더 브래킷(22)이 X축, Y축 슬라이드봉(34)(34a) 선상에서 가변조정된 후, 상기 헤드의 모체를 이루는 하우징(10)이 상기 스테핑 모터(M)(M′)에 설치된 스큐류의 회동으로 하방에 위치한 디바이스의 상단면에 까지 내려오면서 상기 실린더 브래킷(22)의 에어실린더(28)는 진공상태를 이루어 하단에 위치한 다수 개의 흡착봉(32)에 의해 하방에 일정간격으로 정렬된 디바이스를 동시에 실린더 브래킷(22)이 흡착하게 되고 이어 상부에 위치한 스큐류의 상승회동과 동시에 스테핑 모터(M)(M′)의 구동을 받은 헤드는 90°에 위치한 번인보드로 각도 변환을 이루며 다시 상기 스큐류가 하방으로 하강함과 동시에 상기 하우징(10)에 장착된 스테핑 모터(M)(M′)는 설정된 시스템에 따라 초기와 동일한 동작으로 디바이스를 흡착한 실린더 브래킷(22)은 X축, Y축의 슬라이드봉(34)(34a)에서 가변조정되어 상기 번인보드에 인서트하게 된다.

이때, 가변조정되도록 스테핑 모터(M)(M′)를 구동시키고 이 스테핑 모터(M)(M′)의 회전축에 지지된 타이밍 벨트(B)(B′)의 움직임과 위치를 상기 하우징(10)의 Y축선상에 위치한 포토센서(30)에 의해서 감지하여 상기 실린더 브래킷(22)의 위치를 정확히 파악하게 하는 것이다.

이상에서와 같이 본 발명은 헤드의 실린더 브래킷을 트레이스에서 번인보드로 이송하면서 피치의 간격을 가변조정할 수 있도록 X축 Y축으로 분할하고 이 분할된 실린더 브래킷을 타이밍 벨트에 의해 구동될 수 있도록 스테핑 모터에 의해 가변조정되게 하여 디바이스를 소장하는 트레이스와 번인보드의 치수에 따라 헤드의 실린더 브래킷의 피치의 간격을 멀티화시켜 디바이스의 인서트 및 픽업하는 작업의 효율성을 극대화 할 수 있는 유용한 발명이다.

Claims

스테핑 모터(M)(M′)에 지지된 회전축에 고정되어 플랜지(36)에 의해 지지된 사면체형상의 하우징(10)과, 상기 하우징(10)의 X축과 Y축의 양모서리부에 장착되며 상부에 타이밍 벨트(B)(B′)를 구동시키기 위한 회전축에 삽입된 타이밍 풀리(14)(14a)가 형성된 스테핑 모터(M)(M′)와, 상기 하우징(10)의 X축과 Y축의 각각 양단에 형성된 브래킷(26)에 지지된 스테핑 모터(M)(M′)의 타이밍 풀리(14)(14a)에 감기어 적정부위에 X축과 Y축의 슬라이드봉(34)(34a)을 지지한 레일가이드(18)(18a)의 고정구(20)에 의해 고정된 타이밍 벨트(B)(B′)와, 하부에 다수개의 흡착봉(32)을 가지며 상부에 에어실린더(28)가 형성되고 상기 하우징(10)의 X축, Y축선상에 수직위치한 슬라이드봉(34)(34a)에 각각 정렬로 삽입된 다수의 레일가이드(18)(18a)에 대응하여 고정된 다수의 실린더 브래킷(22)과, 상기 하우징(10)의 X축, Y축 선상면에 형성된 가이드홈(24)(24a)에 삽입된 레일가이드(18)(18a)와, 상기 X축, Y축상의 레일가이드(18)(18a)에 의해 지지된 X축, Y축 슬라이드봉(34)(34a)과, 상기 하우징(10)의 Y축상의 중앙부에 설치되어 상기 타이밍 벨트(B′)의 위치를 감지하는 포토센서(30)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 인서트 픽업 헤드.
제1항에 있어서, 상기 하우징의 X축의 3열로 정렬된 실린더 브래킷(22)을 고정한 X축의 레일가이드(18)는 상기 X축의 3열중에서 중심에 위치한 레일가이드(18)를 중심으로 일측의 레일가이드의 고정구(20)는 상기 타이밍 벨트(B)의 일면에 고정되고 타측의 레일가이드의 고정구(20)는 상기 타이밍 벨트(B)의 타면에 고정되어 상기 스테핑 모터(M)의 구동으로 상기 실린더 브래킷(22)을 고정한 양측의 X축의 레일가이드(18)는 상호 엇갈림되는 이동으로 인하여 상기 X축의 실린더 브래킷(22)이 X축상에서 좌우 슬라이드 이동되는 것을 특징으로 하는 반도체 인서트 픽업 헤드.
제1항에 있어서, 상기 하우징(10)의 Y축상에 양측으로 형성된 가이드홈(24a)에 삽입된 상기 Y축의 레일가이드(18a)는 2열로 정렬된 상기 실린더 브래킷(22) 중에서 상기 Y축 상부에 위치한 상기 실린더 브래킷(22)을 상기 슬라이드봉(34a)에 의해 고정하고 상기 레일가이드의 고정구(20)는 상기 Y축상의 타이밍 벨트(B′)의 일면을 고정하여 상기 Y축상의 스테핑 모터(M′)의 구동에 의해 상기 실린더 브래킷(22)이 상기 Y축상에서만 슬라이드 이동되는 것을 특징으로 하는 반도체 인서트 픽업 헤드.