CN203519648U - 输送装置以及检查装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供输送装置以及检查装置。本实用新型的输送装置具有：基部；被固定于基部的第一支承部；被支承于第一支承部的吸附管嘴；能够相对于第一支承部在Y方向移动的第一移动部；被支承于第一移动部的吸附管嘴；能够在基部沿X方向移动的第二支承部；被支承于第二支承部的吸附管嘴；能够相对于第二支承部在Y方向移动的第二移动部；被支承于第二移动部的吸附管嘴；使第一移动部、第二移动部一体地在Y方向移动并使吸附管嘴与吸附管嘴的离开距离变化的Y方向移动机构；以及使第一支承部、第二支承部的离开距离变化的X方向移动机构。

Description

输送装置以及检查装置

技术领域

本实用新型涉及输送装置以及检查装置。

背景技术

以往，公知有例如检查IC器件等电子部件的电气特性的检查装置。

上述检查装置构成为，从供给托盘向检查部供给电子部件，对被供给到检查部的电子部件的电气特性进行检查，在该检查结束后，将电子部件从检查部回收到回收托盘。另外，收纳于供给托盘的电子部件被暂时转移到梭，由梭将其输送到检查部附近。在梭上设置有托盘，该托盘形成有凹槽（pocket），在该凹槽收纳电子部件。

从供给托盘到托盘的电子部件的输送由供给机器人执行。供给机器人具有多个吸附管嘴，利用各吸附管嘴吸附保持供给托盘的凹槽内的电子部件，并在将所保持的电子部件转移到托盘的凹槽后释放该电子部件，由此将电子部件从供给托盘输送到托盘。作为这种供给机器人，例如公知有专利文献1所记载的供给机器人。

然而，一般的供给机器人的多个吸附管嘴的配设间距（彼此的位置关系）是固定的，所以会产生以下的问题。即，设置于供给托盘的多个凹槽的配设间距与设置于托盘的多个凹槽的配设间距不一定相等。假设在设置于供给托盘的多个凹槽的配设间距与设置于托盘的多个凹槽的配设间距不同的情况下，则无法将保持于各吸附管嘴的电子部件统一释放到设置于托盘的凹槽内，需要针对各吸附管嘴一个一个地按顺序进行相对于凹槽的对位、以及将电子部件释放到该凹槽内。在上述方法中会产生如下问题：从供给托盘到托盘的电子部件的输送过于花费时间，无法进行顺利的检查。

为了解决上述问题，公知有专利文献1那样的能够改变吸附管嘴的配设间距的机器人，在这种结构中，由于部件把持部旋转，所以需要用于修正部件把持部的旋转的机构，通常会导致部件个数增加，根据情况不同，存在导致机器人大型化的问题。

专利文献1：日本特开2006－17575号公报

实用新型内容

本实用新型的目的在于：在能够使部件保持部的配设间距变化的输送装置中，提供部件个数少的输送装置以及检查装置。

本实用新型是为了解决上述课题的至少一部分而完成的，能够通过以下的方式或者应用例来实现。

上述目的通过下述的本实用新型实现。

本实用新型的输送装置的特征在于，在将相互正交的三个方向设为第一方向、第二方向以及第三方向时，上述输送装置具有：基部；第一支承部，该第一支承部被固定于上述基部，在动作时，上述第一支承部相对于上述基部相对位置不变；第一部件保持部，该第一部件保持部被支承于上述第一支承部，设置成能够相对于上述第一支承部在上述第三方向移动，并且保持部件；第一移动部，该第一移动部被支承于上述第一支承部，能够相对于上述第一支承部在上述第二方向移动；第二部件保持部，该第二部件保持部被支承于上述第一移动部，相对于上述第一部件保持部位于上述第二方向，并且设置成能够相对于上述第一移动部在上述第三方向移动，并且保持部件；第二支承部，该第二支承部被支承于上述基部，相对于上述第一支承部位于上述第一方向，并且能够相对于上述基部在上述第一方向移动；第三部件保持部，该第三部件保持部被支承于上述第二支承部，设置成能够相对于上述第二支承部在上述第三方向移动，并且保持部件；第二移动部，该第二移动部被支承于上述第二支承部，能够相对于上述第二支承部在上述第二方向移动；第四部件保持部，该第四部件保持部被支承于上述第二移动部，相对于上述第三部件保持部位于上述第二方向，并且设置成能够相对于上述第二移动部在上述第三方向移动，并且保持部件；第一移动机构，该第一移动机构使上述第一移动部和上述第二移动部一体地在上述第二方向移动，使上述第一部件保持部与上述第二部件保持部在上述第二方向的离开距离以及上述第三部件保持部与上述第四部件保持部在上述第二方向的离开距离一起变化；以及第二移动机构，该第二移动机构使上述第二支承部在上述第一方向移动，使上述第一支承部与上述第二支承部在上述第一方向的离开距离变化。

通过形成为上述结构，形成为部件个数的少的输送装置。

在本实用新型的输送装置中，优选形成为：上述第一移动机构的至少一部分被支承于上述基部。

由此，装置的结构变得简单。

在本实用新型的输送装置中，优选形成为：上述第一移动机构具有：第一移动机构用第一引导轮和第一移动机构用第二引导轮，它们在上述第二方向离开；第一移动机构用第一环形驱动绳，该第一移动机构用第一环形驱动绳挂设于上述第一移动机构用第一引导轮与上述第一移动机构用第二引导轮之间；以及第一移动机构用驱动源，该第一移动机构用驱动源使上述第一移动机构用第一引导轮和上述第一移动机构用第二引导轮的至少一方旋转，从而使上述第一移动机构用第一环形驱动绳旋转，至少上述第一移动机构用第一引导轮以及上述第一移动机构用第二引导轮分别由上述基部支承为能够旋转。

由此，第一移动机构的结构变得简单。另外，能够实现第一移动机构部件个数的减少，所以能够实现伴随于此的小型化。

在本实用新型的输送装置中，优选形成为：上述第一移动部以及上述第二移动部分别直接或者间接地与上述第一移动机构用第一环形驱动绳连结，伴随着上述第一移动机构用第一环形驱动绳的旋转，上述第一移动部相对于上述第一支承部在上述第二方向移动，并且上述第二移动部相对于上述第二支承部在上述第二方向移动。

由此，能够简单并且可靠地使被固定于第一移动部的第二部件保持部以及被固定于第二移动部的第四部件保持部在第二方向移动。

在本实用新型的输送装置中，优选形成为：上述第一移动机构还具有：第一移动机构用第三引导轮和第一移动机构用第四引导轮，它们以能够旋转的方式固定于上述第一支承部，且在上述第二方向离开；第一移动机构用第二环形驱动绳，该第一移动机构用第二环形驱动绳挂设于上述第一移动机构用第三引导轮与上述第一移动机构用第四引导轮之间；传递部，该传递部连结上述第一移动机构用第一引导轮与上述第一移动机构用第三引导轮，且将上述第一移动机构用第一引导轮的旋转传递到上述第一移动机构用第三引导轮；以及连结部，该连结部连结上述第一移动机构用第一环形驱动绳与上述第一移动机构用第二环形驱动绳，上述第一移动部以及上述第二移动部分别与上述连结部连结。

由此，能够使第一移动部以及第二移动部均衡地在第二方向移动。

在本实用新型的输送装置中，优选形成为：上述第一移动机构用驱动源被支承于上述基部。

由此，装置的结构变得简单。

在本实用新型的输送装置中，优选形成为：上述第二移动机构的至少一部分被支承于上述基部。

由此，装置的结构变得简单。

在本实用新型的输送装置中，优选形成为：上述第二移动机构具有：第二移动机构用第一引导轮和第二移动机构用第二引导轮，它们在上述第一方向离开；第二移动机构用环形驱动绳，该第二移动机构用环形驱动绳挂设于上述第二移动机构用第一引导轮与上述第二移动机构用第二引导轮之间；以及第二移动机构用驱动源，该第二移动机构用驱动源使上述第二移动机构用第一引导轮和上述第二移动机构用第二引导轮的至少一方旋转，从而使上述第二移动机构用环形驱动绳旋转，至少上述第二移动机构用第一引导轮以及上述第二移动机构用第二引导轮分别由上述基部支承为能够旋转。

由此，第二移动机构的结构变得简单。

在本实用新型的输送装置中，优选形成为：上述第一支承部以及上述第二支承部分别呈在上述第二方向以及上述第三方向两个方向延展的板状。

由此，能够实现装置的小型化。

在本实用新型的输送装置中，优选形成为：上述第一部件保持部、上述第二部件保持部、上述第三部件保持部以及上述第四部件保持部分别具有通过吸附来保持对象物的吸附管嘴。

由此，能够以简单的结构保持对象物。

本实用新型的输送装置的特征在于，在将相互正交的两个方向设为第一方向以及第二方向时，上述输送装置具有：第一部件保持部，该第一部件保持部保持部件；第二部件保持部，该第二部件保持部相对于上述第一部件保持部位于上述第二方向，且保持部件；第三部件保持部，该第三部件保持部相对于上述第一部件保持部位于上述第一方向，且保持部件；以及第四部件保持部，该第四部件保持部相对于上述第三部件保持部位于上述第二方向，且保持部件，上述第三部件保持部以及上述第四部件保持部一体地相对于上述第一部件保持部以及上述第二部件保持部在上述第一方向移动，上述第二部件保持部以及上述第四部件保持部一体地相对于上述第一部件保持部以及上述第三部件保持部在上述第二方向移动。

通过上述结构，形成部件个数少的输送装置。

本实用新型的检查装置具有上述的输送装置、和进行对象物的检查的检查部，构成为利用上述输送装置将上述对象物输送到上述检查部。

由此，得到部件个数少的检查装置。

本实用新型的检查装置的特征在于，在将相互正交的三个方向设为第一方向、第二方向以及第三方向时，上述检查装置具有：基部；第一支承部，该第一支承部被固定于上述基部，在动作时，上述第一支承部相对于上述基部相对位置不变；第一部件保持部，该第一部件保持部被支承于上述第一支承部，设置成能够相对于上述第一支承部在上述第三方向移动，并且保持部件；第一移动部，该第一移动部被支承于上述第一支承部，能够相对于上述第一支承部在上述第二方向移动；第二部件保持部，该第二部件保持部被支承于上述第一移动部，相对于上述第一部件保持部位于上述第二方向，并且设置成能够相对于上述第一移动部在上述第三方向移动，并且保持部件；第二支承部，该第二支承部被支承于上述基部，相对于上述第一支承部位于上述第一方向，并且能够相对于上述基部在上述第一方向移动；第三部件保持部，该第三部件保持部被支承于上述第二支承部，设置成能够相对于上述第二支承部在上述第三方向移动，并且保持部件；第二移动部，该第二移动部被支承于上述第二支承部，能够相对于上述第二支承部在上述第二方向移动；第四部件保持部，该第四部件保持部被支承于上述第二移动部，相对于上述第三部件保持部位于上述第二方向，并且设置成能够相对于上述第二移动部在上述第三方向移动，并且保持部件；第一移动机构，该第一移动机构使上述第一移动部和上述第二移动部一体地在上述第二方向移动，使上述第一部件保持部与上述第二部件保持部在上述第二方向的离开距离以及上述第三部件保持部与上述第四部件保持部在上述第二方向的离开距离一起变化；第二移动机构，该第二移动机构使上述第二支承部在上述第一方向移动，使上述第一支承部与上述第二支承部在上述第一方向的离开距离变化；以及检查部，该检查部对由上述第一部件保持部、上述第二部件保持部、上述第三部件保持部和上述第四部件保持部保持的各部件进行检查。

由此，得到部件个数少的检查装置。

附图说明

图1是表示本实用新型的检查装置的第一实施方式的简要俯视图。

图2是图1所示的检查装置所具有的供给机器人的手单元的立体图。

图3是图1所示的检查装置所具有的供给机器人的手单元的俯视图。

图4是图2所示的手单元所具有的第一支承部的俯视图。

图5是图2所示的手单元所具有的第二支承部的俯视图。

图6是图2所示的手单元所具有的第三支承部的俯视图。

图7是图2所示的手单元所具有的第四支承部的俯视图。

图8是表示图2所示的手单元所具有的X方向移动机构的俯视图。

图9是表示图2所示的手单元所具有的Y方向移动机构的俯视图。

图10是表示图2所示的手单元所具有的Y方向移动机构的俯视图。

图11是图1所示的检查装置所具有的检查用机器人的手单元的立体图。

图12是对利用图1所示的检查装置检查电子部件的步骤进行说明的俯视图。

图13是对利用图1所示的检查装置检查电子部件的步骤进行说明的俯视图。

图14是对利用图1所示的检查装置检查电子部件的步骤进行说明的俯视图。

图15是对利用图1所示的检查装置检查电子部件的步骤进行说明的俯视图。

图16是对利用图1所示的检查装置检查电子部件的步骤进行说明的俯视图。

图17是对利用图1所示的检查装置检查电子部件的步骤进行说明的俯视图。

图18是对利用图1所示的检查装置检查电子部件的步骤进行说明的俯视图。

图19是对利用图1所示的检查装置检查电子部件的步骤进行说明的俯视图。

图20是对利用图1所示的检查装置检查电子部件的步骤进行说明的俯视图。

图21是表示本实用新型的第二实施方式所涉及的检查装置所具有的供给机器人的手单元的俯视图。

图22是图21所示的手单元所具有的支承部的俯视图。

具体实施方式

以下，根据附图所示的实施方式对应用了本实用新型的输送装置的检查装置（本实用新型的检查装置）详细地进行说明。

第一实施方式

图1是表示本实用新型的检查装置的第一实施方式的简要俯视图，图2是图1所示的检查装置所具有的供给机器人的手单元的立体图，图3是图1所示的检查装置所具有的供给机器人的手单元的俯视图，图4是图2所示的手单元所具有的第一支承部的俯视图，图5是图2所示的手单元所具有的第二支承部的俯视图，图6是图2所示的手单元所具有的第三支承部的俯视图，图7是图2所示的手单元所具有的第四支承部的俯视图，图8是表示图2所示的手单元所具有的X方向移动机构的俯视图，图9以及图10是表示图2所示的手单元所具有的Y方向移动机构的俯视图，图11是图1所示的检查装置所具有的检查用机器人的手单元的立体图，图12～图20是对利用图1所示的检查装置检查电子部件的步骤进行说明的俯视图。

此外，以下为了便于说明，如图1所示，将相互正交的三个轴设为X轴（第一轴）、Y轴（第二轴）以及Z轴（第三轴）。另外，将与X轴平行的方向称为“X方向（第一方向）”，与Y轴平行的方向称为“Y方向（第二方向）”，与Z轴平行的方向称为“Z方向”。另外，在X方向、Y方向以及Z方向的各方向，将箭头前端侧称为“＋”，箭头基端侧称为“－”。

图1所示的检查装置1是例如对IC器件（IC芯片）、LCD（LiquidCrystal Display：液晶显示器）、CIS（Contact Image Sensor：接触式图像传感器）等测试部件（电子部件）100的电气特性进行检查、测试用的装置。此外，以下为了便于说明而以使用IC器件作为测试部件的情况为代表进行说明。

检查装置1具有：供给托盘2、回收托盘3、第一梭4、第二梭5、检查用插座（检查部）6、供给机器人7、回收机器人8、检查用机器人9、第一照相机600、第二照相机500、以及对上述各部分进行控制的控制装置10。

在这种检查装置1中，由上述各部分中的除了检查用插座6之外的结构、即供给托盘2、回收托盘3、第一梭4、第二梭5、供给机器人7、回收机器人8、检查用机器人9、第一照相机600、第二照相机500以及控制装置10构成执行IC器件100的输送的输送装置（本实用新型的输送装置）。此外，输送装置的结构并不局限于此，可以根据需要省略上述各部分中的至少一个，也可以附加其它结构（例如热板、腔室）。

另外，检查装置1具有搭载上述各部分的台座11、和以收纳上述各部分的方式覆盖台座11的未图示的安全罩，第一梭4、第二梭5、检查用插座6、供给机器人7、回收机器人8、检查用机器人9、第一照相机600以及第二照相机500配置在该安全罩的内侧（以下称为“区域S”），并且，供给托盘2以及回收托盘3以能够在区域S的内外移动的方式配置。

以下，依次对上述各部分详细地进行说明。

1.供给托盘

供给托盘2是用于将进行检查的IC器件100从区域S外输送到区域S内的托盘。如图1所示，供给托盘2呈板状，在其上表面以在X方向以及Y方向呈行列状的方式形成有多个用于载置IC器件100的凹槽21。

上述供给托盘2载置于在导轨23上移动的未图示的工作台，上述导轨23以跨越区域S的内外的方式在Y方向延伸。而且，例如利用以线性马达为驱动源的未图示的驱动机构使上述工作台移动，由此供给托盘2能够沿导轨23在±Y方向往复移动。因此，能够反复进行如下动作：将收纳有IC器件100的供给托盘2载置于位于区域S外的工作台，使供给托盘2与工作台一起移动到区域S内，从供给托盘2取下全部的IC器件100，再次使供给托盘2与工作台一起朝区域S外移动。

2.回收托盘

回收托盘3是用于收纳检查完毕的IC器件100并将其从区域S内输送到区域S外的托盘。如图1所示，回收托盘3呈板状，在其上表面以在X方向以及Y方向呈行列状的方式形成有多个用于载置IC器件100的凹槽31。

上述回收托盘3载置于在导轨33上移动的未图示的工作台，上述导轨33以跨越区域S的内外的方式在Y方向延伸。而且，例如利用以线性马达为驱动源的未图示的驱动机构使上述工作台移动，由此回收托盘3能够沿导轨33在±Y方向往复移动。因此，在区域S内，能够反复进行如下动作：将检查完毕的收纳IC器件100收纳于回收托盘3，使回收托盘3移动到区域S外，将工作台上的回收托盘3换成空的托盘，再次使回收托盘3朝区域S内移动。

上述回收托盘3以相对于上述供给托盘2朝＋X方向离开的方式设置，第一梭4、第二梭5以及检查用插座6配置在供给托盘2与回收托盘3之间。

3.第一梭

第一梭4用于将由供给托盘2输送到区域S内的IC器件100进一步输送到检查用插座6的附近，并且将由检查用插座6检查后的检查完毕的IC器件100输送到回收托盘3的附近。

如图1所示，第一梭4具有基座部件41、和两个被固定于基座部件41的托盘42、43。上述两个托盘42、43在X方向排列设置。另外，在托盘42、43分别以在X方向排列四个且在Y方向排列两个的方式呈行列状（矩阵状）地形成有用于载置IC器件100的八个凹槽421、431。

托盘42、43中的位于供给托盘2侧的托盘42是用于转移并收纳被收纳于供给托盘2的IC器件100的托盘，位于回收托盘3侧的托盘43是用于收纳结束了在检查用插座6进行的电气特性检查后的IC器件100的托盘。即，托盘42是用于收纳未检查的IC器件100的托盘，托盘43是用于收纳检查完毕的IC器件100的托盘。

上述第一梭4的基座部件41被支承于在X方向延伸的导轨44，能够利用例如以线性马达为驱动源的未图示的驱动机构使上述第一梭4沿导轨44在±X方向往复移动。而且，能够形成使第一梭4朝－X方向侧移动而使托盘42相对于供给托盘2排列在＋Y方向侧并且托盘43相对于检查用插座6排列在＋Y方向侧的状态、和使第一梭4朝＋X方向侧移动而使托盘43相对于回收托盘3排列在＋Y方向侧并且托盘42相对于检查用插座6排列在＋Y方向侧的状态。

4.第二梭

第二梭5具有与上述第一梭4相同的功能以及结构。即，第二梭5用于将由供给托盘2输送到区域S内的IC器件100进一步输送到检查用插座6的附近，而且将由检查用插座6检查后的检查完毕的IC器件100输送到回收托盘3的附近。

如图1所示，第二梭5具有基座部件51、和两个固定于基座部件51的托盘52、53。这两个托盘52、53在X方向排列而设置。另外，在托盘52、53分别以在X方向排列四个且在Y方向排列两个的方式呈行列状地形成有用于载置IC器件100的八个凹槽521、531。

托盘52、53中的位于供给托盘2侧的托盘52是用于转移并收纳被收纳于供给托盘2的IC器件100的托盘，位于回收托盘3侧的托盘43是用于收纳结束了在检查用插座6进行的电气特性检查后的IC器件100的托盘。即，托盘52是用于收纳未检查的IC器件100的托盘，托盘53是用于收纳检查完毕的IC器件100的托盘。

上述第二梭5的基座部件51被支承于在X方向延伸的导轨54，能够利用例如以线性马达为驱动源的未图示的驱动机构使上述第二梭5沿导轨54在±X方向往复移动。由此能够形成使第二梭5朝－X方向侧移动而使托盘52相对于供给托盘2排列在＋Y方向侧并且托盘53相对于检查用插座6排列在－Y方向侧的状态、和使第二梭5朝＋X方向侧移动而使托盘53相对于回收托盘3排列在＋Y方向侧并且托盘52相对于检查用插座6排列在－Y方向侧的状态。

此外，第二梭5以相对于上述第一梭4朝－Y方向离开的方式设置，检查用插座6配置在第一梭4与第二梭5之间。

5.检查用插座

检查用插座（检查部）6是用于检查IC器件100的电气特性的插座。

上述检查用插座6具有用于配置IC器件100的八个检查用独立插座61，八个检查用独立插座61以在X方向排列四个而在Y方向排列两个的方式设置。另外，八个检查用独立插座61的排列间距与在各托盘42、43、52、53形成的八个凹槽的排列间距大致相等。由此能够顺利地进行IC器件100在托盘42、43、52、53与检查用独立插座61之间的输送。

虽然未图示，但在各检查用独立插座61设置有多个从其底部突出的探针。上述多个探针分别由弹簧等朝上方施力。当IC器件100被配置于检查用独立插座61时，多个探针与该IC器件100所具有的外部端子接触。由此，经由探针使IC器件100与控制装置10（后述的检查控制部101）成为电连接的状态，即成为能够进行IC器件100的电气特性的检查（测试）的状态。

上述检查用插座6装卸自如地固定于台座11。因此，能够简单地根据所要进行的检查（测试）来换装检查用插座6，或者根据IC器件100的大小、形状换装相匹配的检查用插座6。

6.第一照相机

第一照相机600设置于第一梭4与检查用插座6之间。如后所述，上述第一照相机600在保持有未检查的IC器件100的第一手单元92从上方通过时拍摄IC器件100以及第一手单元92所具有的器件标记941。

7.第二照相机

第二照相机500具有与上述第一照相机600相同的功能。上述第二照相机500设置于第二梭5与检查用插座6之间。如后所述，第二照相机500在保持有未检查的IC器件100的第二手单元93从上方通过时拍摄IC器件100以及第二手单元93所具有的器件标记。

8.供给机器人

供给机器人7是将被收纳于供给托盘2的IC器件100输送至托盘42、52的机器人。

如图1所示，供给机器人7具有被支承于台座11的支承框架7a、被支承于支承框架7a且能够相对于支承框架7a在±Y方向往复移动的移动框架7b、以及被支承于移动框架7b且能够相对于移动框架7b在±X轴向往复移动的手单元7c。

在支承框架7a形成有沿Y方向延伸的导轨，移动框架7b沿该导轨在Y方向往复移动。另外，在移动框架7b上形成有沿X方向延伸的导轨，手单元7c沿该导轨在X方向往复移动。此外，例如借助以线性马达为驱动源的未图示的驱动机构进行移动框架7b相对于支承框架7a的移动、手单元7c相对于移动框架7b的移动。

以下，结合图2～图10对手单元7c详细地进行说明。此外，在图2～图10的各图中，为了便于说明而省略一部分结构的图示。

如图2以及图3所示，手单元7c具有基部75，该基部75以能够相对于移动框架7b在X方向移动的方式被支承于移动框架7b。此外，“基部”是支承其它部件（例如后述的第一支承部71～第四支承部74）并形成一个模块的部位，是作为手单元7c的基础的部分。

上述基部75具有：呈板状的第一基座751，其在XY平面延展而在Z方向具有厚度；和第二基座752，其从第一基座751的靠－X方向侧的端部朝下方（－Z方向）延伸突出，在ZY平面延展而在X方向具有厚度。即，基部75形成在中途弯曲的L字形的外形。在两个基座751、752中，在第一基座751固定有构成后述的X方向移动机构76的部件的至少一部分，在第二基座752固定有构成后述的Y方向移动机构77的部件的至少一部分。

另外，手单元7c具有被支承于基部75的四个支承部，具体而言，具有第一支承部71、第二支承部72、第三支承部73以及第四支承部74。这四个支承部从－X方向侧朝＋X方向按照第三支承部73、第二支承部72、第一支承部71、第四支承部74的顺序排列设置。此外，上述“支承”是指以防止从基部75落下的状态连结。

另外，四个支承部71～74中的第一支承部71被固定于第一基座751。此外，上述“固定”是指在动作时上述第一支承部71相对于基部75的相对位置不变。

其它的第二支承部72、第三支承部73、第四支承部74分别能够相对于第一基座751沿X方向移动。在本实施方式中，在第一基座751的下表面形成有沿X方向延伸的导轨753，在该导轨753配置有三个能够在导轨753上移动的引导件754、755、756。而且，将第二支承部72固定于引导件754，将第三支承部73固定于引导件755，将第四支承部74固定于引导件756。通过上述结构，第二支承部72、第三支承部73、第四支承部74能够相对于基部75在X方向移动。

另外，第一支承部71、第二支承部72、第三支承部73、第四支承部74分别呈在YZ平面延展而在X方向具有厚度的板状。这样，通过将各支承部71～74形成为在YZ平面延展的板状，能够将支承部71～74以更窄的间距在X方向排列设置。因此，能够实现手单元7c的小型化，并且能够将后述的多个吸附管嘴沿X方向以更窄的间距配置。

以下，对第一支承部71、第二支承部72、第三支承部73、第四支承部74详细地进行说明，但各支承部71～74是彼此相同的结构。

8－1.第一支承部

如图4所示，在第一支承部71设置有第一部件保持机构711。第一部件保持机构711具有保持从供给托盘2向托盘42、52运送的IC器件100的功能。

上述第一部件保持机构711具有：轴712，其被支承于第一支承部71并且能够相对于第一支承部71在±Z方向往复移动；吸附管嘴（第一部件保持部）713，其设置于轴712的前端部（下端部）；以及驱动机构714，其经由轴712使吸附管嘴713相对于第一支承部71在±Z方向移动。上述结构的第一部件保持机构711利用驱动机构714经由轴712使吸附管嘴713下降，利用吸附管嘴713吸附IC器件100，由此保持IC器件100。这样，通过吸附来保持IC器件100，由此能够抑制施加于IC器件100的应力，能够防止IC器件100破损。另外，能够通过简单的结构可靠地保持IC器件100。此外，上述“保持”是指以使IC器件100不落下的程度持续吸附IC器件100。

作为驱动机构714的结构，只要能够使轴712相对于第一支承部71沿Z方向往复移动即可，没有特别限定，在本实施方式中，驱动机构714具有一对带轮（引导轮）714a、714b、挂设于一对带轮714a、714b之间的带（环形驱动绳）714c、以及使带轮714a旋转的马达（驱动源）714d。

带轮714a、714b经由未图示的轴以能够旋转的方式被支承于第一支承部71的一个主面。另外，带轮714a、714b以在Z方向离开的方式设置。因此，带714c具有在Z轴方向延伸的区域，轴712经由固定部714e被固定在该区域。当利用马达714d使带轮714a旋转时，伴随于此，带轮714b和带714c旋转，固定于带714c的轴712（吸附管嘴713）相对于第一支承部71在Z轴方向移动。通过选择马达714d的旋转方向，能够使吸附管嘴713相对于第一支承部71上升、下降。

此外，只要能实现上述的驱动，引导轮、环形驱动绳以及驱动源的结构没有特别限定。例如，可以使用链轮代替带轮714a、714b来作为一对引导轮，使用链代替带714c来作为环形驱动绳。另外，也可以使用压电促动器代替马达714d来作为驱动源。

另外，在第一支承部71设置有能够相对于第一支承部71在Y方向往复移动的第一移动部715。在第一支承部71设置有在Y方向延伸的导轨（引导部），第一移动部715能够沿该导轨移动。此外，只要能够在Y方向引导第一移动部715即可，也可以用在Y方向延伸的槽、长孔代替上述导轨。

另外，在第一支承部71设置有第二部件保持机构716。第二部件保持机构716与第一部件保持机构711相同，具有保持从供给托盘2向托盘42、52运送的IC器件100的功能。

上述第二部件保持机构716具有：轴717，其被支承于第一移动部715并且能够相对于第一移动部715在Z方向往复移动；吸附管嘴（第二部件保持部）718，其设置于轴717的前端部；以及驱动机构719，其经由轴717使吸附管嘴718相对于第一移动部715在Z方向移动。上述结构的第二部件保持机构716利用驱动机构719经由轴717使吸附管嘴718下降，利用吸附管嘴718吸附IC器件100，由此保持IC器件100。

作为驱动机构719的结构，只要能使轴717在±Z方向往复移动即可，没有特别限定，在本实施方式中是与上述驱动机构714相同的结构。即，驱动机构719具有一对带轮719a、719b、挂设于一对带轮719a、719b之间的带719c、以及使带轮719a旋转的马达719d。

带轮719a、719b经由未图示的轴以能够旋转的方式被支承于第一支承部71的一个主面。另外，带轮719a、719b以在Z方向离开的方式设置。因此，带719c具有在Z轴方向延伸的区域，轴717经由固定部719e被固定在该区域。当利用马达719d使带轮719a旋转时，伴随于此，带轮719b和带719c旋转，固定于带719c的轴717（吸附管嘴718）相对于第一支承部71在Z轴方向移动。通过选择马达719d的旋转方向，能够使吸附管嘴718相对于第一支承部71上升、下降。

此外，固定部719e在Y方向伸缩自如，在第一移动部715相对于第一支承部71在Y方向移动的同时伸长或者收缩。因此，第一移动部715相对于第一支承部71的在Y方向上的移动不被阻碍。另外，构成驱动机构719的各部分（一对带轮719a、719b、带719c、马达719d）也可以设置于第一移动部715。如果形成为这种结构，则不需要将固定部719e形成为伸缩自如的结构。

8－2.第二支承部

如图5所示，在第二支承部72设置有第三部件保持机构721。第三部件保持机构721与上述第一部件保持机构711相同，具有保持从供给托盘2向托盘42、52运送的IC器件100的功能。

上述第三部件保持机构721的结构与上述第一部件保持机构711相同。即，第三部件保持机构721具有：轴722，其被支承于第二支承部72并且能够相对于第二支承部72在Z方向往复移动；吸附管嘴（第三部件保持部）723，其设置于轴722的前端部；以及驱动机构724，其经由轴722使吸附管嘴723相对于第二支承部72在±Z方向移动。上述结构的第三部件保持机构721利用驱动机构724经由轴722使吸附管嘴723下降，利用吸附管嘴723吸附IC器件100，由此保持IC器件100。

另外，驱动机构724具有一对带轮724a、724b、挂设于一对带轮724a、724b之间的带724c、以及使带轮724a旋转的马达724d。带轮724a、724b经由未图示的轴以能够旋转的方式被支承于第二支承部72的一个主面。另外，带轮724a、724b以在Z方向离开的方式设置。因此，带724c具有在Z轴方向延伸的区域，轴722经由固定部724e被固定在该区域。当利用马达724d使带轮724a旋转时，固定于带724c的轴722（吸附管嘴723）相对于第二支承部72在Z轴方向移动。

另外，在第二支承部72设置有能够相对于第二支承部72在Y方向往复移动的第二移动部725。在第二支承部72设置有在Y方向延伸的导轨，第二移动部725设置成能够沿该导轨移动。通过形成为上述结构，能够简单并且可靠地限制第二移动部725的在Y方向以外的移动。

另外，在第二支承部72设置有第四部件保持机构726。第四部件保持机构726与上述第二部件保持机构716相同，具有保持从供给托盘2向托盘42、52运送的IC器件100的功能。

上述第四部件保持机构726的结构与上述第二部件保持机构716相同。即，第四部件保持机构726具有：轴727，其被支承于第二移动部725并且能够相对于第二移动部725在±Z方向往复移动；吸附管嘴（第四部件保持部）728，其设置于轴727的前端部；以及驱动机构729，其经由轴727使吸附管嘴728相对于第二移动部725在Z方向移动。上述结构的第四部件保持机构726借助驱动机构729经由轴727使吸附管嘴728下降，利用吸附管嘴728吸附IC器件100，由此保持IC器件100。

另外，驱动机构729具有一对带轮729a、729b、挂设于一对带轮729a、729b之间的带729c、以及使带轮729a旋转的马达729d。带轮729a、729b经由未图示的轴以能够旋转的方式支承于第二支承部72的一个主面。另外，带轮729a、729b以在Z方向离开的方式设置。因此，带729c具有在Z轴方向延伸的区域，轴727经由固定部729e被固定在该区域。当利用马达729d使带轮729a旋转时，固定于带729c的轴727（吸附管嘴728）相对于第二支承部72在Z轴方向移动。

此外，固定部729e在Y方向伸缩自如，在第二移动部725相对于第二支承部72在Y方向移动的同时伸长或者收缩。因此，第二移动部725相对于第二支承部72的在Y方向上的移动不被阻碍。

8－3.第三支承部

如图6所示，在第三支承部73设置有第五部件保持机构731。第五部件保持机构731与上述第一部件保持机构711相同，具有保持从供给托盘2向托盘42、52运送的IC器件100的功能。

上述第五部件保持机构731的结构与上述第一部件保持机构711相同。即，第五部件保持机构731具有：轴732，其被支承于第三支承部73并且能够相对于第三支承部73在Z方向往复移动；吸附管嘴（第五部件保持部）733，其设置于轴732的前端部；以及移动驱动机构734，其经由轴732使吸附管嘴733相对于第三支承部73在Z方向移动。上述结构的第五部件保持机构731借助驱动机构734经由轴732使吸附管嘴733下降，利用吸附管嘴733吸附IC器件100，由此保持IC器件100。

另外，驱动机构734具有一对带轮734a、734b、挂设于一对带轮734a、734b之间的带734c、以及使带轮734a旋转的马达734d。带轮734a、734b经由未图示的轴以能够旋转的方式被支承于第三支承部73的一个主面。另外，带轮734a、734b以在Z方向离开的方式设置。因此，带734c具有在Z轴方向延伸的区域，轴732经由固定部734e被固定在该区域。当利用马达734d使带轮734a旋转时，固定于带734c的轴732（吸附管嘴733）相对于第三支承部73在Z轴方向移动。

另外，在第三支承部73设置有能够相对于第三支承部73在Y方向往复移动的第三移动部735。在第三支承部73设置有在Y方向延伸的导轨，第三移动部735设置成能够沿该导轨移动。通过形成为上述结构，能够简单并且可靠地限制第三移动部735的在Y方向以外的移动。

另外，在第三支承部73设置有第六部件保持机构736。第六部件保持机构736与上述第二部件保持机构716相同，具有保持从供给托盘2向托盘42、52运送的IC器件100的功能。

上述第六部件保持机构736的结构与上述第二部件保持机构716相同。即，第六部件保持机构736具有：轴737，其被支承于第三移动部735并且能够相对于第三移动部735在Z方向往复移动；吸附管嘴（第六部件保持部）738，其设置于轴737的前端部；以及驱动机构739，其经由轴737使吸附管嘴738相对于第三移动部735在Z方向移动。上述结构的第六部件保持机构736借助驱动机构739经由轴737使吸附管嘴738下降，利用吸附管嘴738吸附IC器件100，由此保持IC器件100。

另外，驱动机构739具有一对带轮739a、739b、挂设于一对带轮739a、739b之间的带739c、以及使带轮739a旋转的马达739d。带轮739a、739b经由未图示的轴以能够旋转的方式支承于第三支承部73的一个主面。另外，带轮739a、739b以在Z方向离开的方式设置。因此，带739c具有在Z轴方向延伸的区域，轴737经由固定部739e被固定在该区域。当利用马达739d使带轮739a旋转时，固定于带739c的轴737（吸附管嘴738）相对于第三支承部73在Z轴方向移动。

此外，固定部739e在Y方向伸缩自如，在第三移动部735相对于第三支承部73在Y方向移动的同时伸长或者收缩。因此，第三移动部735相对于第三支承部73的在Y方向上的移动不被阻碍。

8－4.第四支承部

如图7所示，在第四支承部74设置有第七部件保持机构741。第七部件保持机构741与上述第一部件保持机构711相同，具有保持从供给托盘2向托盘42、52运送的IC器件100的功能。

上述第七部件保持机构741的结构与上述第一部件保持机构711相同。即，第七部件保持机构741具有：轴742，其被支承于第四支承部74并且能够相对于第四支承部74在Z方向往复移动；吸附管嘴（第七部件保持部）743，其设置于轴742的前端部；以及驱动机构744，其经由轴742使吸附管嘴743相对于第四支承部74在Z方向移动。上述结构的第七部件保持机构741借助驱动机构744经由轴742使吸附管嘴743下降，利用吸附管嘴743吸附IC器件100，由此保持IC器件100。

另外，驱动机构744具有一对带轮744a、744b、挂设于一对带轮744a、744b之间的带744c、以及使带轮744a旋转的马达744d。带轮744a、744b经由未图示的轴以能够旋转的方式支承于第四支承部74的一个主面。另外，带轮744a、744b以在Z方向离开的方式设置。因此，带744c具有在Z轴方向延伸的区域，轴742经由固定部744e被固定在该区域。当利用马达744d使带轮744a旋转时，固定于带744c的轴742（吸附管嘴743）相对于第三支承部73在Z轴方向移动。

另外，在第四支承部74设置有能够相对于第四支承部74在Y方向往复移动的第四移动部745。在第四支承部74设置有在Y方向延伸的导轨，第四移动部745设置成能够沿该导轨移动。通过形成上述结构，能够简单并且可靠地限制第四移动部745的在Y方向以外的移动。

另外，在第四支承部74设置有第八部件保持机构746。第八部件保持机构746与上述第二部件保持机构716相同，具有保持从供给托盘2向托盘42、52运送的IC器件100的功能。

上述第八部件保持机构746的结构与上述第二部件保持机构716相同。即，第八部件保持机构746具有：轴747，其被支承于第四移动部745并且能够相对于第四移动部745在Z方向往复移动；吸附管嘴（第八部件保持部）748，其设置于轴747的前端部；以及驱动机构749，其经由轴747使吸附管嘴748相对于第四移动部745在Z方向移动。上述结构的第八部件保持机构746借助驱动机构749经由轴747使吸附管嘴748下降，利用吸附管嘴748吸附IC器件100，由此保持IC器件100。

另外，驱动机构739具有一对带轮749a、749b、挂设于一对带轮749a、749b之间的带749c、以及使带轮749a旋转的马达749d。带轮749a、749b经由未图示的轴以能够旋转的方式支承于第四支承部74的一个主面。另外，带轮749a、749b以在Z方向离开的方式设置。因此，带749c具有在Z轴方向延伸的区域，轴747经由固定部749e被固定在该区域。当利用马达749d使带轮749a旋转时，固定于带749c的轴747（吸附管嘴748）相对于第四支承部74在Z轴方向移动。

此外，固定部749e在Y方向伸缩自如，在第四移动部745相对于第四支承部74在Y方向移动的同时伸长或者收缩。因此，第四移动部745相对于第四支承部74的在Y方向上的移动不被阻碍。

以上，对各支承部71、72、73、74的结构详细进行了说明。

这里，吸附管嘴733、723、713、743按照该顺序沿X方向排列设置，并且以相等的间距配置。即，吸附管嘴733与吸附管嘴723的离开距离、吸附管嘴723与吸附管嘴713的离开距离、吸附管嘴713与吸附管嘴743的离开距离相互大致相等。

另外，吸附管嘴718相对于吸附管嘴713沿Y方向排列设置，同样，吸附管嘴728相对于吸附管嘴723沿Y方向排列设置，吸附管嘴738相对于吸附管嘴733沿Y方向排列设置，吸附管嘴748相对于吸附管嘴743沿Y方向排列设置。另外，吸附管嘴718、713的离开距离、吸附管嘴728、723的离开距离、吸附管嘴738、733的离开距离、吸附管嘴748、743的离开距离相互大致相等。即，吸附管嘴738、728、718、748也按照该顺序沿X方向排列设置，并且以相等的间距配置。

手单元7c还具有：使第二支承部72、第三支承部73、第四支承部74相对于基部75（第一支承部71）在X方向移动的X方向移动机构（第二移动机构）76、和使各移动部715、725、735、745相对于基部75在Y方向移动的Y方向移动机构（第一移动机构）77。

8－5.X方向移动机构

X方向移动机构76构成为，使第二支承部72、第三支承部73、第四支承部74相对于第一支承部71在X方向移动，由此能够使吸附管嘴733（738）与吸附管嘴723（728）的离开距离、吸附管嘴723（728）与吸附管嘴713（718）的离开距离以及吸附管嘴713（718）与吸附管嘴743（748）的离开距离保持相互相等，并且改变上述离开距离。

如图8所示，X方向移动机构76具有一对双级带轮（第二移动机构用第一引导轮、第二移动机构用第二引导轮）761、762、挂设于一对双级带轮761、762之间的2条带（第二移动机构用第一环形驱动绳、第二移动机构用第二环形驱动绳）763、764、以及使双级带轮761旋转的马达（第二移动机构用驱动源）765。其中，双级带轮761、762以及马达765分别被支承于第一基座751。

双级带轮761、762能够绕在第一基座751的上表面沿Y方向延伸的轴旋转。另外，双级带轮761、762以在X方向离开的方式设置。

双级带轮761具有外径较小的小径带轮761a、和具有小径带轮761a的大致两倍外径的大径带轮761b，这些带轮在Y方向排列且同心形成。同样，双级带轮762具有外径较小的小径带轮762a、和具有小径带轮762a的大致两倍外径的大径带轮762b，这些带轮在Y方向排列且同心形成。此外，小径带轮761a和762a的外径彼此相等，大径带轮761b和762b的外径也相互相等。

在小径带轮761a、762a之间挂设有带763。带763在小径带轮761a、762a之间具有两个沿X方向延伸的区域763a、763b。而且，在一个区域763a固定有第二支承部72，在另一个区域763b固定有第四支承部74。当双级带轮761旋转时，在区域763a，带763朝X方向一侧前进，在区域763b，带763朝X方向另一侧前进，第二支承部72、第四支承部74相互朝X方向的相反侧移动大致相等的距离。

另一方面，在大径带轮761b、762b之间挂设有带764。带764在大径带轮761b、762b之间具有两个沿X方向延伸的区域764a、764b。在这两个区域764a、764b中，在当双级带轮761旋转时朝与带763的区域763a的前进方向相同的方向前进的区域764a固定有第三支承部73。当带763旋转时，在区域763a、764a，带763朝X方向的相同侧前进，所以第二支承部72、第三支承部73相互朝X方向的相同侧移动。此外，如上所述，大径带轮761b、762b具有小径带轮761a、762a的两倍的外径，所以第三支承部73的移动距离是第二支承部72的移动距离的大致两倍。

根据上述结构，当利用马达765使双级带轮761旋转时，第二支承部72、第四支承部74相互朝X方向的相反侧移动大致相等的距离，并且，第三支承部73朝与第二支承部72的移动方向相同的方向移动第二支承部72的两倍的移动距离。因此，如上所述，根据X方向移动机构76，能够使吸附管嘴733（738）与吸附管嘴723（728）的离开距离、吸附管嘴723（728）与吸附管嘴713（718）的离开距离以及吸附管嘴713（718）与吸附管嘴743（748）的离开距离保持彼此相等，并且改变上述离开距离。

通过形成上述的结构，能够简化X方向移动机构76的结构，能够实现伴随于此的小型化、轻型化。因此，有助于手单元7c的小型化、轻型化，手单元7c的操作性提高。另外，通过双级带轮761的旋转，能够统一控制第二支承部72、第三支承部73、第四支承部74全部的移动，所以能够更可靠地发挥上述的功能。

此外，只要能够实现上述的驱动，则引导轮、环形驱动绳以及驱动源的结构没有特别限定。例如，可以使用链轮代替带轮作为一对引导轮，也可以使用链（金属链、橡胶链等）代替带作为环形驱动绳。另外，还可以使用压电促动器代替马达作为驱动源。另外，小径带轮761a（762a）和大径带轮761b（762b）可以分体形成，在该情况下，可以分别设置用于使小径带轮761a旋转的马达、和用于使大径带轮761b旋转的马达。

8－6.Y方向移动机构

Y方向移动机构77构成为，使第一移动部715、第二移动部725、第三移动部735、第四移动部745相对于第一支承部71、第二支承部72、第三支承部73、第四支承部74一体（具体而言，同时并且等距离）地沿Y方向移动，由此能够使吸附管嘴713、718的离开距离、吸附管嘴723、728的离开距离、吸附管嘴733、738的离开距离以及吸附管嘴743、748的离开距离保持彼此相等，并且改变上述离开距离。

如图9以及图10所示，Y方向移动机构77具有：设置于基部75的第一单元77a和马达（第一移动机构用驱动源）777、设置于第一支承部71的第二单元77b、以及以连结第一单元77a、第二单元77b的方式设置的传递轴（传递部）778和连结轴（连结部）779。

第一单元77a具有：一对带轮（第一移动机构用第一引导轮、第一移动机构用第二引导轮）771、772、和挂设于一对带轮771、772之间的带（第一移动机构用第一环形驱动绳）773。带轮771、772被支承为在第二基座752的一个（图中右侧的）主面上绕在X方向延伸的轴旋转自如。另外，带轮771、772以在Y方向离开的方式设置。而且，在这些带轮771、772之间挂设有带773。带773在带轮771、772之间具有两个沿Y方向延伸的区域773a、773b。

马达777是用于使带轮771旋转的驱动源，设置于第二基座752的另一个（图中左侧的）主面。

第二单元77b具有：一对带轮（第一移动机构用第三引导轮、第一移动机构用第四引导轮）774、775、和挂设于一对带轮774、775之间的带（第一移动机构用第二环形驱动绳）776。带轮774、775被支承为在第一支承部71的一个（图中右侧的）主面上绕在X方向延伸的轴旋转自如。另外，带轮774、775以在Y方向离开的方式设置。而且，在这些带轮774、775之间挂设有带776。带776在带轮774、775之间具有两个沿Y方向延伸的区域776a、776b。

这样，通过将第二单元77b设置于相对于第二基座752的位置不变化的第一支承部71，能够使Y方向移动机构77更稳定地驱动。

传递轴778是用于将马达777的驱动力传递到第二单元77b的轴。上述传递轴778以在X方向延伸的方式设置，将带轮771、774的轴彼此连结。因此，马达777的驱动力经由传递轴778传递到第二单元77b，带轮771、774一体地旋转。

另外，传递轴778以贯通位于第二基座752与第一支承部71之间的第二支承部72、第三支承部73的方式设置（参照图5以及图6）。具体而言，传递轴778从形成于第二支承部72、第三支承部73的贯通孔内通过并连结带轮771、774。通过这样配置传递轴778，能够抑制传递轴778从支承部71～74突出，能够实现手单元7c的小型化。另外，传递轴778也作为第二支承部72、第三支承部73朝X方向移动时的引导件发挥功能，所以能够更加可靠地并且顺利地进行第二支承部72、第三支承部73的移动。

连结轴779呈直线形，并在X方向延伸。另外，连结轴779在其中途的两个位置经由固定件被固定于带773的区域773a、和带776的区域776a。当带773、776旋转时，在区域773a、776a，带773、776朝Y方向的相同侧前进，所以伴随于此，连结轴779保持姿态并朝Y方向移动。

在上述连结轴779的外周，沿其轴向设置有三个直线套筒779b、779c、779d。上述各直线套筒779b、779c、779d单独（动作不受其它部件限制的状态）地相对于连结轴779在轴向移动自如并且在周方向旋转自如。

这些直线套筒779b～779d中，直线套筒779b固定于第二移动部725，直线套筒779c固定于第三移动部735，直线套筒779d固定于第四移动部745。此外，第一移动部715由固定于第一基座751的第一支承部71支承，所以不会相对于连结轴779沿Y轴方向移动。因此，与其它移动部725～745不同，连结轴779不经由直线套筒而直接固定于第一移动部715。这样，通过将连结轴779固定于第一移动部715，能够防止连结轴779的在轴向（Y方向）的意外位移。

通过形成上述结构，当通过带773、776的旋转而连结轴779在Y方向移动时，各移动部715、725、735、745相对于各支承部71、72、73、74在Y方向一体地移动相等的距离。因此，根据上述结构的Y方向移动机构77，能够可靠地使吸附管嘴713、718的离开距离、吸附管嘴723、728的离开距离、吸附管嘴733、738的离开距离以及吸附管嘴743、748的离开距离保持彼此相等，并且改变上述离开距离。

此外，如上所述，直线套筒779b～779d能够相对于连结轴779在其轴向（X方向）移动，所以Y方向移动机构77不会阻碍借助X方向移动机构76进行的第二支承部72、第三支承部73、第四支承部74的朝X方向的移动。

另外，在Y方向移动机构77中，在第二基座752设置第一单元77a，并且在第一支承部71设置第二单元77b，在轴向离开的两个位置支承连结轴779，所以能够使连结轴779更顺利且可靠地朝Y方向移动规定距离。特别是通过使第二支承部72、第三支承部73位于第二基座752与第一支承部71之间，能够充分确保第二基座752与第一支承部71的离开距离，能够更稳定地支承连结轴779。

此外，在本实施方式的Y方向移动机构77中，第一移动部715、第二移动部725、第三移动部735、第四移动部745经由连结轴779（即间接地）与带773、776连结，但并不局限于此，例如，也可以省略连结轴779，第一移动部715、第二移动部725、第三移动部735、第四移动部745分别与带773、776直接连结。

以上，对手单元7c的结构具体地进行了说明。根据上述手单元7c，通过独立地控制各马达765、777的驱动（开／闭以及旋转方向），能够自由地改变吸附管嘴713、718、723、728、733、738、743、748的配设间距。因此，例如即便在形成于供给托盘2的多个凹槽21的配设间距、与形成于托盘42（52）的多个凹槽421（521）的配设间距不同的情况下，也能够如后述那样顺利地将IC器件100从供给托盘2向托盘42（52）运送。

此外，本实施方式的手单元7c具有八个吸附管嘴，但吸附管嘴的数量只要是四个以上即可，没有特别限定。例如，在吸附管嘴为四个的情况下，可以包括第三支承部73、第四支承部74在内省略吸附管嘴733、738、743、748。另外，例如在吸附管嘴为十个的情况下，例如只要在第四支承部74的＋X方向侧设置与第四支承部74结构相同且具有两个吸附管嘴的第五支承部、并且将第五支承部固定于带764的区域764b即可。这样，根据手单元7c，能够简单地进行吸附管嘴的数量变更（以及追加、削除）。手单元8c也如此。

接下来，对供给机器人7的驱动进行说明。

首先，使移动框架7b相对于支承框架7a在Y方向移动并且使基部75相对于移动框架7b在X方向移动，以使手单元7c位于供给托盘2上。接下来，根据需要分别驱动X方向移动机构76以及Y方向移动机构77，使吸附管嘴713、718、723、728、733、738、743、748的配设间距与凹槽21的配设间距一致。此外，X方向移动机构76以及Y方向移动机构77的驱动可以在手单元7c移动的过程中进行。

接下来，使各吸附管嘴713、718、723、728、733、738、743、748下降，利用各吸附管嘴713、718、723、728、733、738、743、748保持IC器件100。之后，使吸附管嘴713、718、723、728、733、738、743、748上升，从凹槽21取出八个IC器件100。

接下来，使移动框架7b相对于支承框架7a在Y方向移动并且使基部75相对于移动框架7b在X方向移动，以使手单元7c位于托盘42上。供给托盘2的凹槽21的配设间距与托盘42的凹槽421的配设间距在X方向以及Y方向两个方向不同，所以接下来分别驱动X方向移动机构76以及Y方向移动机构77，使吸附管嘴713、718、723、728、733、738、743、748的配设间距与凹槽421的配设间距一致。此外，X方向移动机构76以及Y方向移动机构77的驱动可以在手单元7c移动的过程中进行。

接下来，使各吸附管嘴713、718、723、728、733、738、743、748下降，将各吸附管嘴713、718、723、728、733、738、743、748所保持的IC器件100载置于凹槽421。然后，在将IC器件100的吸附状态解除后，使吸附管嘴713、718、723、728、733、738、743、748上升，将各IC器件100留在凹槽421。

此外，在上述方式中，供给托盘2的凹槽21的配设间距与托盘42的凹槽421的配设间距在X方向以及Y方向两个方向不同，但并不局限于此，可以是仅在X方向的配设间距不同。此时，暂时利用Y方向移动机构77调整吸附管嘴713、718、723、728、733、738、743、748在Y方向的配设间距，之后仅驱动X方向移动机构76而改变吸附管嘴713、718、723、728、733、738、743、748在X方向的配设间距即可。

相反，也可以是仅在Y方向的配设间距不同。此时，暂时利用X方向移动机构76调整吸附管嘴713、718、723、728、733、738、743、748在X方向的配设间距，之后，仅驱动Y方向移动机构77而改变吸附管嘴713、718、723、728、733、738、743、748在Y方向的配设间距即可。

另外，配设间距也可以在X方向以及Y方向两个方向相等。此时，暂时利用Y方向移动机构77调整吸附管嘴713、718、723、728、733、738、743、748在Y方向的配设间距，利用X方向移动机构76调整吸附管嘴713、718、723、728、733、738、743、748在X方向的配设间距之后，不改变这些配设间距而进行上述IC器件100的输送即可。

从供给托盘2向托盘52的IC器件100的输送也同样。

（检查用机器人）

检查用机器人9是将收纳于托盘42、52的IC器件100输送到检查用插座6、并且将配置于检查用插座6且电气特性的检查结束后的IC器件100输送到托盘43、53的机器人。

另外，检查用机器人9在从托盘42、52向检查用插座6输送IC器件100时，能够进行IC器件100相对于检查用插座6（检查用独立插座61）的定位，而且在将IC器件100配置于检查用插座6并进行电气特性的检查时，能够将IC器件100按压于探针，从而对IC器件100施加规定的检查压力。

如图1所示，检查用机器人9具有：相对于台座11固定地设置的第一框架911、被支承于第一框架911且能够相对于第一框架911在Y方向往复移动的第二框架912、被支承于第二框架912且能够相对于第二框架912在Z方向升降的第一手单元支承部913和第二手单元支承部914、八个被支承于第一手单元支承部913的第一手单元92、以及八个被支承于第二手单元支承部914的第二手单元93。

第一手单元支承部913、第二手单元支承部914都被支承于第二框架912，所以在X方向以及Y方向一体地移动，但在Z方向能够分别独立地移动。例如利用以线性马达为驱动源的未图示的驱动机构进行第二框架912相对于第一框架911的移动、各手单元支承部913、914相对于第二框架912的移动。

八个第一手单元92在第一手单元支承部913的下侧，以沿X方向排列四个、沿Y方向排列两个的方式配置为行列状。另外，八个第一手单元92的配设间距与八个形成于托盘42、43的凹槽421、431以及八个设置于检查用插座6的检查用独立插座61的配设间距大致相等。因此，能够更顺利地进行IC器件100在托盘42、43与检查用插座6之间的输送。

同样，八个第二手单元93是在第二梭5的各托盘52、53与检查用插座6之间输送IC器件100的装置。另外，八个第二手单元93是在将未检查的IC器件100从托盘52向检查用插座6输送时，进行IC器件100相对于检查用插座6的定位的装置。

八个第二手单元93在第二手单元支承部914的下侧，以沿X方向排列四个、沿Y方向排列两个的方式配置为行列状。另外，八个第二手单元93的配置间距和上述八个第一手单元92相同，与八个形成于托盘42、43的凹槽421、431以及八个设置于检查用插座6的检查用独立插座61的配设间距大致相等。因此，能够顺利地进行IC器件100在托盘52、53与检查用插座6之间的输送。

以下，对八个第一手单元92以及八个第二手单元93的结构进行说明，但各手单元92、93是彼此相同的结构，所以以下以一个第一手单元92为代表进行说明，对其它的第一手单元92以及第二手单元93省略说明。

如图11所示，第一手单元92具有：被支承/固定于第一手单元支承部913的支承部94、被支承于支承部94且能够相对于支承部94在±X方向往复移动的第一移动部95、被支承于第一移动部95且能够相对于第一移动部95在±Y方向往复移动的第二移动部96、被支承于第二移动部96且能够相对于第二移动部96绕Z轴旋转的旋转部97、以及被支承于旋转部97的保持部98。在支承部94设置有用于进行所保持的IC器件100相对于检查用独立插座61的定位的器件标记941。另外，保持部98例如由吸附管嘴构成，能够通过吸附来保持IC器件100。

另外，第一手单元92具有：使第一移动部95相对于支承部94在±X方向往复移动的未图示的第一驱动机构、使第二移动部96相对于第一移动部95在±Y方向往复移动的未图示的第二驱动机构、以及使旋转部97相对于第二移动部96绕Z轴旋转的第三驱动机构。这些第一、第二、第三驱动机构构成为，例如以线性马达为驱动源，此外可以根据需要而附加用于将马达的旋转运动转换为直动运动的齿条、小齿轮等结构。

上述第一手单元92以如下方式进行所保持的IC器件100的定位（视觉对准）。利用保持部98保持被收纳于托盘42的未检查的IC器件100，在使第一手单元92从托盘42的正上方朝检查用插座6的正上方移动的过程中，第一手单元92通过第一照相机600的正上方。第一照相机600在第一手单元92从其正上方通过时进行拍摄以便捕捉被保持于第一手单元92的IC器件100以及器件标记941。所得到的图像数据被发送到控制装置10，由控制装置10进行图像识别处理。

具体而言，在图像识别处理中，对从第一照相机600取得的图像数据实施规定的处理，计算器件标记941与IC器件100之间的相对位置以及相对角度。而且，将计算出的相对位置以及相对角度同表示器件标记941与IC器件100之间的正确的位置关系的基准位置以及基准角度进行对比，分别计算在相对位置与基准位置之间产生的“位置偏移量”、以及在相对角度与基准角度之间产生的“角度偏移量”。此外，上述“基准位置”以及上述“基准角度”是指在将第一手单元92配置于预先设定的检查用原点位置时，IC器件100的外部端子与检查用独立插座61的探针适当连接的位置。

而且，控制装置10基于求出的“位置偏移量”以及“角度偏移量”，根据需要驱动第一、第二、第三驱动机构来修正IC器件100的位置以及姿势（角度），以使相对位置以及相对角度与基准位置以及基准角度一致。通过上述控制，能够进行由保持部98保持的IC器件100的定位。

控制装置10构成为能够分别独立地控制八个第一手单元92的驱动，所以能够分别独立地进行八个被保持于各第一手单元92的IC器件100的定位（位置修正）。

对于由第二手单元93进行的IC器件100的定位，除了使用第二照相机500代替第一照相机600以外，其它结构与上述第一手单元92的情况相同，故省略说明。

（回收机器人）

回收机器人8是用于将被收纳于托盘43、53的检查完毕的IC器件100输送到回收托盘3的机器人。

回收机器人8与供给机器人7结构相同。即，回收机器人8具有：被支承于台座11的支承框架8a、被支承于支承框架8a且能够相对于支承框架8a在Y方向往复移动的移动框架8b、以及被支承于移动框架8b且能够相对于移动框架8b在X方向往复移动的手单元8c。上述各部分的结构与供给机器人7的对应的各部分的结构相同，故省略说明。另外，回收机器人8的驱动也与供给机器人7的驱动相同，故省略说明。

这里，存在在被收纳于托盘43（53）的检查完毕的IC器件100中存在不能发挥规定的电气特性的次品的情况。因此，例如准备两个回收托盘3，一个用作用于收纳满足规定的电气特性的合格品的托盘，另一个用作用于回收上述次品的托盘。另外，在使用一个回收托盘3的情况下，也可以将规定的凹槽31用作用于收纳上述次品的凹槽。由此，能够明确区分合格品与次品。

（控制装置）

控制装置10具有驱动控制部102和检查控制部101。驱动控制部102例如控制供给托盘2、回收托盘3、第一梭4以及第二梭5的移动、供给机器人7、回收机器人8、检查用机器人9、载置状态检测机构200、第一照相机600以及第二照相机500等的机械性驱动。一个检查控制部101基于存储于未图示的存储器内的程序对配置于检查用插座6的IC器件100的电气特性进行检查。

以上，对检查装置1的结构进行了说明。

由检查装置进行的检查方法

接下来，对由检查装置1进行的IC器件100的检查方法进行说明。此外，以下说明的检查方法、特别是IC器件100的输送次序仅是一个例子，并不局限于此。

（步骤1）

首先，如图12所示，将在各凹槽21收纳有IC器件100的供给托盘2输送到区域S内，并且使第一梭4、第二梭5朝－X方向侧移动，使托盘42、52成为分别相对于供给托盘2排列在＋Y方向侧的状态。

（步骤2）

接下来，如图13所示，利用供给机器人7将收纳于供给托盘2的IC器件100转移到托盘42、52，将IC器件100收纳于托盘42、52的各凹槽421、521。

接下来，利用载置状态检测机构200检测被收纳于托盘42、52的各凹槽421、521的IC器件100的载置状态。假设在检测出一个异常的载置状态的IC器件100的情况下，驱动控制部102暂时停止各部分的驱动，纠正异常的载置状态，在确认全部的IC器件100成为正常的载置状态之后，再次开始各部分的驱动。

（步骤3）

接下来，如图14所示，使第一梭4、第二梭5都朝＋X方向侧移动，成为托盘42相对于检查用插座6排列在＋Y方向侧，托盘52相对于检查用插座6排列在－Y方向侧的状态。

（步骤4）

接下来，如图15所示，使第一手单元支承部913、第二手单元支承部914一体地朝＋Y方向侧移动，成为第一手单元支承部913位于托盘42的正上方、并且第二手单元支承部914位于检查用插座6的正上方的状态。之后，利用各第一手单元92保持被收纳于托盘42的IC器件100。

（步骤5）

接下来，如图16所示，使第一手单元支承部913、第二手单元支承部914一体地朝－Y方向侧移动，成为第一手单元支承部913位于检查用插座6的正上方（检查用原点位置）、并且第二手单元支承部914位于托盘52的正上方的状态。在该移动的过程中，根据由第一照相机600拍摄到的图像数据单独进行各IC器件100的定位（视觉对准）。

在进行上述第一手单元支承部913、第二手单元支承部914的移动以及IC器件100的定位的同时，进行以下的作业。首先，使第一梭4朝－X方向侧移动，成为托盘43相对于检查用插座6排列在＋Y方向的状态，并且成为托盘42相对于供给托盘2排列在＋Y方向的状态。接下来，利用供给机器人7将收纳于供给托盘2的IC器件100转移到托盘42，将IC器件100收纳于托盘42的各凹槽421。而且，与上述情况相同，利用载置状态检测机构200检测被收纳于各凹槽421的IC器件100的载置状态。

（步骤6）

接下来，使第一手单元支承部913下降，将由各第一手单元92保持的IC器件100配置于检查用插座6的各检查用独立插座61内。此时，各第一手单元92以规定的检查压力（压力）将IC器件100按压于检查用独立插座61。由此使IC器件100的外部端子与设置于检查用独立插座61的探针成为电连接的状态，在该状态下，利用控制装置10的检查控制部101对各检查用独立插座61内的IC器件100进行电气特性的检查。在该检查结束后，使第一手单元支承部913上升，将由各第一手单元92保持的IC器件100从检查用独立插座61取出。

在进行上述作业（IC器件100的检查）的同时，被支承于第二手单元支承部914的各第二手单元93保持被收纳于托盘52的IC器件100，将IC器件100从托盘52取出。

（步骤7）

接下来，如图17所示，使第一手单元支承部913、第二手单元支承部914朝＋Y方向侧移动，成为第一手单元支承部913位于第一梭4的托盘43的正上方、并且第二手单元支承部914位于检查用插座6的正上方（检查用原点位置）的状态。在该移动的过程中，根据由第二照相机500拍摄到的图像数据，单独进行各IC器件100的定位（视觉对准）。

在进行上述第一手单元支承部913、第二手单元支承部914的移动的同时，进行以下的作业。首先，使第二梭5朝－X方向侧移动，成为托盘53相对于检查用插座6排列在－Y方向的状态，并且成为托盘52相对于供给托盘2排列在＋Y方向的状态。接下来，利用供给机器人7将收纳于供给托盘2的IC器件100转移到托盘52，将IC器件100收纳在托盘52的各凹槽521。而且，与上述情况相同，利用载置状态检测机构200检测被收纳于各凹槽521的IC器件100的载置状态。

（步骤8）

接下来，如图18所示，使第二手单元支承部914下降，将由各第二手单元93保持的IC器件100配置于检查用插座6的各检查用独立插座61内。而且，利用检查控制部101对各检查用独立插座61内的IC器件100进行电气特性的检查。在该检查结束后，使第二手单元支承部914上升，将由第二手单元93保持的IC器件100从检查用独立插座61取出。

在进行上述作业的同时进行以下的作业。首先，将各第一手单元92保持的检查完毕的IC器件100收纳于托盘43的各凹槽431。接下来，使第一梭4朝＋X方向侧移动，成为托盘42相对于检查用插座6排列在＋Y方向且位于各第一手单元92的正下方的状态，并且成为托盘43相对于回收托盘3排列在＋Y方向的状态。接下来，各第一手单元92保持被收纳于托盘42的IC器件100，并且利用回收机器人8将被收纳于托盘43的检查完毕的IC器件100转移到回收托盘3。

（步骤9）

接下来，如图19所示，使第一手单元支承部913、第二手单元支承部914朝－Y方向侧移动，成为第一手单元支承部913位于检查用插座6的正上方（检查用原点位置）、并且第二手单元支承部914位于托盘52的正上方的状态。此时，与上述步骤5相同，进行被保持于第一手单元92的IC器件100的定位。

在进行上述第一手单元支承部913、第二手单元支承部914的移动的同时，进行以下的作业。首先，使第一梭4朝－X方向侧移动，成为托盘43相对于检查用插座6排列在＋Y方向的状态，并且成为托盘42相对于供给托盘2排列在＋Y方向的状态。接下来，利用供给机器人7将被收纳于供给托盘2的IC器件100转移到托盘42，将IC器件100收纳在托盘42的各凹槽421。而且，与上述情况相同，利用载置状态检测机构200检测被收纳于各凹槽421的IC器件100的载置状态。

（步骤10）

接下来，如图20所示，使第一手单元支承部913下降，将由各第一手单元92保持的IC器件100配置于检查用插座6的各检查用独立插座61内。然后，利用检查控制部101对各检查用独立插座61内的IC器件100进行电气特性的检查。在该检查结束后，使第一手单元支承部913上升，将由各第一手单元92保持的IC器件100从检查用独立插座61取出。

在进行上述作业的同时进行以下的作业。首先，将各第二手单元93保持的检查完毕的IC器件100收纳于托盘53的各凹槽531。接下来，使第二梭5朝＋X方向侧移动，成为托盘52相对于检查用插座6排列在－Y方向且位于第二手单元93的正下方的状态，并且成为托盘53相对于回收托盘3排列在＋Y方向的状态。接下来，各第二手单元93保持被收纳于托盘52的IC器件100，并且利用回收机器人8将被收纳于托盘53的检查完毕的IC器件100转移到回收托盘3。

（步骤11）

以下，反复进行上述步骤7～步骤10。此外，在该反复的过程中，在将被收纳于供给托盘2的IC器件100全部转移至第一梭4后，供给托盘2移动到区域S外。然后，向供给托盘2供给新的IC器件100、或更换为已经收纳有IC器件100的其它的供给托盘2，然后使供给托盘2再次移动到区域S内。同样，在反复的过程中，如果在回收托盘3的全部的凹槽31均收纳有IC器件100，则使回收托盘3移动到区域S外。然后，在取下被收纳于回收托盘3的IC器件100、或将回收托盘3更换为其它的空的回收托盘3之后，使回收托盘3再次移动到区域S内。

根据上述方法，能够高效地进行IC器件100的检查。具体而言，检查用机器人9具有第一手单元92和第二手单元93，例如，在第一手单元92（第二手单元93也如此）保持的IC器件100被检查用插座6检查的状态下，与此同时，第二手单元93将检查结束的IC器件100收纳于托盘53并且保持接下来检查的IC器件100并待机。这样，使用两个手单元分别同时进行不同的作业，由此能够减少浪费的时间，能够高效地进行IC器件100的检查。

第二实施方式

接下来，对本实用新型的检查装置的第二实施方式进行说明。

图21是表示本实用新型的第二实施方式所涉及的检查装置所具有的供给机器人的手单元的俯视图，图22是图21所示的手单元所具有的支承部的俯视图。

以下，对于第二实施方式的检查装置，以与上述实施方式的不同点为中心进行说明，对于相同的事项省略说明。

本实用新型的第二实施方式所涉及的检查装置除了供给机器人以及回收机器人的手单元所具有的Y方向移动机构的结构不同以外，其它结构与上述第一实施方式相同。此外，对与上述第一实施方式相同的结构标注相同的符号。另外，在本实施方式中，供给机器人具有的手单元和回收机器人具有的手单元的结构彼此相同，以下，以供给机器人具有的手单元为代表进行说明，对于回收机器人具有的手单元省略说明。

如图21所示，本实施方式的手单元7c具有的Y方向移动机构77＇具有：设置于第一支承部71的第一支承部用单元1100、设置于第二支承部72的第二支承部用单元1200、设置于第三支承部73的第三支承部用单元1300、设置于第四支承部74的第四支承部用单元1400、以及驱动各单元1100、1200、1300、1400的驱动机构1500。

驱动机构1500具有：一对设置于第二基座752的带轮（第一移动机构用第一引导轮、第一移动机构用第二引导轮）1508、1509、挂设于一对带轮1508、1509之间的带（第一移动机构用第一环形驱动绳）1510、同轴固定于带轮1509且在X方向延伸的花键轴（传动轴）1501、四个设置于花键轴1501的外周的花键螺母1502、1503、1504、1505、以及使带轮1508旋转的马达1507。

马达1507固定于第二基座752。当驱动马达1507时，其驱动力经由带1510传递到带轮1509，花键轴1501绕其轴旋转。这样，通过将马达1507固定于基部75，能够稳定地驱动马达1507、并且能够防止第一支承部71～第四支承部74的重量的增加。

四个花键螺母1502、1503、1504、1505分别相对于花键轴1501沿其轴向移动自如，但它们绕轴的旋转被限制。即，当利用马达1507使花键轴1501旋转时，花键螺母1502、1503、1504、1505也分别旋转。

另外，在花键螺母1502、1503、1504、1505中，花键螺母1502由第一支承部71支承为旋转自如，花键螺母1503由第二支承部72支承为旋转自如，花键螺母1504由第三支承部73支承为旋转自如，花键螺母1505由第四支承部74支承为旋转自如。

此外，如上所述，花键螺母1503、1504、1505相对于花键轴1501在其轴向（X方向）移动自如，所以Y方向移动机构77＇不妨碍由X方向移动机构76进行的第二支承部72、第三支承部73、第四支承部74在X方向的移动。

如图22所示，第一支承部用单元1100具有一对带轮（第一移动机构用第三引导轮、第一移动机构用第四引导轮）1101、1102、和挂设于一对带轮1101、1102之间的带（第一移动机构用第二环形驱动绳）1103。其中，带轮1101同轴固定于花键螺母1502，与花键螺母1502一起绕花键轴1501的轴旋转。另外，带轮1102相对于带轮1101在Y方向离开，且由第一支承部71支承为旋转自如。而且，带1103挂设在这些带轮1101、1102之间。带1103在带轮1101、1102之间具有两个在Y方向延伸的区域1103a、1103b，在区域1103a，第一移动部715固定于带1103。此外，花键螺母1503也可以兼作带轮1101。

第二支承部用单元1200的结构与上述第一支承部用单元1100的结构相同。第二支承部用单元1200具有一对带轮（第一移动机构用第五引导轮、第一移动机构用第六引导轮）1201、1202、和挂设于一对带轮1201、1202之间的带（第一移动机构用第三环形驱动绳）1203。其中，带轮1201同轴固定于花键螺母1503，与花键螺母1503一起绕花键轴1501的轴旋转。另外，带轮1202相对于带轮1201在Y方向离开，且由第二支承部72支承为旋转自如。而且，带1203挂设在这些带轮1201、1202之间。带1203在带轮1201、1202之间具有两个在Y方向延伸的区域1203a、1203b，在区域1203a，第二移动部725固定于带1203。

第三支承部用单元1300的结构与上述第一支承部用单元1100的结构相同。第三支承部用单元1300具有一对带轮（第一移动机构用第七引导轮、第一移动机构用第八引导轮）1301、1302、和挂设于一对带轮1301、1302之间的带（第一移动机构用第四环形驱动绳）1303。其中，带轮1301同轴固定于花键螺母1504，与花键螺母1504一起绕花键轴1501的轴旋转。另外，带轮1302相对于带轮1301在Y方向离开，且由第三支承部73支承为旋转自如。而且，带1303挂设在这些带轮1301、1302之间。带1303在带轮1301、1302之间具有两个在Y方向延伸的区域1303a、1303b，在区域1303a，第三移动部735固定于带1303。

第四支承部用单元1400的结构与上述第一支承部用单元1100的结构相同。第四支承部用单元1400具有一对带轮（第一移动机构用第九引导轮、第一移动机构用第十引导轮）1401、1402、和挂设于一对带轮1401、1402之间的带（第一移动机构用第五环形驱动绳）1403。其中，带轮1401同轴固定于花键螺母1505，与花键螺母1505一起绕花键轴1501的轴旋转。另外，带轮1402相对于带轮1401在Y方向离开，且由第四支承部74支承为旋转自如。而且，带1403挂设在这些带轮1401、1402之间。带1403在带轮1401、1402之间具有两个在Y方向延伸的区域1403a、1403b，在区域1403a，第四移动部745固定于带1403。

此外，带轮1101、1102、1201、1202、1301、1302、1401、1402分别具有相等的外径。

在上述结构的Y方向移动机构77＇中，当利用马达1507使花键轴1501旋转，将其旋转力传递到各带轮1101、1201、1301、1401来使各带1103、1203、1303、1403旋转时，在区域1103a、1203a、1303a、1403a，带1103、1203、1303、1403朝Y方向的相同侧以相等的速度前进。因此，当带1103、1203、1303、1403旋转时，各移动部715、725、735、745相对于各支承部71、72、73、74在Y方向一体地移动相等的距离。

根据上述结构的Y方向移动机构77’，能够可靠地使吸附管嘴713、718的离开距离、吸附管嘴723、728的离开距离、吸附管嘴733、738的离开距离以及吸附管嘴743、748的离开距离保持彼此相等，并能够改变上述离开距离。另外，在Y方向移动机构77’中，针对各支承部71～74的每个设置专用的单元，所以能够更加可靠地使各移动部715～745在Y方向移动。

在上述第二实施方式中，也能够发挥与上述第一实施方式相同的效果。

此外，在上述驱动机构1500中，是将花键轴1501与花键螺母1502～1505组合而成的结构，但只要能发挥与它们相同的功能即可，驱动机构1500的结构没有特别的限定。

以上，结合图示的实施方式对本实用新型的输送装置以及检查装置进行了说明，但本实用新型不限定于此，各部分的结构能够置换为具有相同功能的任意结构。另外，可以在本实用新型中附加其它任意的构成物。另外，也可以将各实施方式适当地组合。

符号说明

1：检查装置；11：台座；2：供给托盘；21：凹槽；23：导轨；3：回收托盘；31：凹槽；33：导轨；4：第一梭；41：基座部件；42：托盘；421：凹槽；43：托盘；431：凹槽；44：导轨；5：第二梭；51：基座部件；52：托盘；521：凹槽；53：托盘；531：凹槽；54：导轨；6：检查用插座；61：检查用独立插座；611：侧面；613：底部；62：探针；7：供给机器人；7a：支承框架；7b：移动框架；7c：手单元；71：第一支承部；711：第一部件保持机构；712：轴；713：吸附管嘴；714：第一驱动机构；714a：带轮；714b：带轮；714c：带；714d：马达；714e：固定部；715：第一移动部；716：第二部件保持机构；717：轴；718：吸附管嘴；719：驱动机构；719a：带轮；719b：带轮；719c：带；719d：马达；719e：固定部；72：第二支承部；721：第三部件保持机构；722：轴；723：吸附管嘴；724：驱动机构；724a：带轮；724b：带轮；724c：带；724d：马达；724e：固定部；725：第二移动部；726：第四部件保持机构；727：轴；728：吸附管嘴；729：驱动机构；729a：带轮；729b：带轮；729c：带；729d：马达；729e：固定部；73：第三支承部；731：第五部件保持机构；732：轴；733：吸附管嘴；734：驱动机构；734a：带轮；734b：带轮；734c：带；734d：马达；734e：固定部；735：第三移动部；736：第六部件保持机构；737：轴；738：吸附管嘴；739：驱动机构；739a：带轮；739b：带轮；739c：带；739d：马达；739e：固定部；74：第四支承部；741：第七部件保持机构；742：轴；743：吸附管嘴；744：驱动机构；744a：带轮；744b：带轮；744c：带；744d：马达；744e：固定部；745：第四移动部；746：第八部件保持机构；747：轴；748：吸附管嘴；749：驱动机构；749a：带轮；749b：带轮；749c：带；749d：马达；749e：固定部；75：基部；751：第一基座；752：第二基座；753：导轨；754：引导件；755：引导件；756：引导件；76：X方向移动机构；761：双级带轮；761a：小径带轮；761b：大径带轮；762：双级带轮；762a：小径带轮；762b：大径带轮；763：带；763a：区域；763b：区域；764：带；764a：区域；764b：区域；765：马达；77：Y方向移动机构；77a：第一单元；77b：第二单元；771：带轮；772：带轮；773：带；773a：区域；773b：区域；774：带轮；775：带轮；776：带；776a：区域；776b：区域；777：马达；778：传递轴；779：连结轴；779b：直线套筒；779c：直线套筒；779d：直线套筒；8：回收机器人；8a：支承框架；8b：移动框架；8c：手单元；9：检查用机器人；911：框架；911a：导轨；912：框架；912a：导轨；912b：导轨；913：手单元支承部；914：手单元支承部；92：手单元；93：手单元；94：支承部；941：器件标记；95：第一移动部；96：第二移动部；97：旋转部；98：保持部；10：控制装置；101：检查控制部；102：驱动控制部；100：IC器件；200：载置状态检测机构；500：第二照相机；600：第一照相机；1100：第一支承部用单元；1101：带轮；1102：带轮；1103：带；1103a：区域；1103b：区域；1200：第二支承部用单元；1201：带轮；1202：带轮；1203：带；1203a：区域；1203b：区域；1300：第三支承部用单元；1301：带轮；1302：带轮；1303：带；1303a：区域；1303b：区域；1400：第四支承部用单元；1401：带轮；1402：带轮；1403：带；1403a：区域；1403b：区域；1500：驱动机构；1501：花键轴；1502：花键螺母；1503：花键螺母；1504：花键螺母；1505：花键螺母；1507：马达；1508：带轮；1509：带轮；1510：带；S：区域。

Claims (14)

1.一种输送装置，其特征在于， 

在将相互正交的三个方向设为第一方向、第二方向以及第三方向时， 

所述输送装置具有： 

基部； 

第一支承部，该第一支承部被固定于所述基部，在动作时，所述第一支承部相对于所述基部相对位置不变； 

第一部件保持部，该第一部件保持部被支承于所述第一支承部，设置成能够相对于所述第一支承部在所述第三方向移动，并且保持部件； 

第一移动部，该第一移动部被支承于所述第一支承部，能够相对于所述第一支承部在所述第二方向移动； 

第二部件保持部，该第二部件保持部被支承于所述第一移动部，相对于所述第一部件保持部位于所述第二方向，并且设置成能够相对于所述第一移动部在所述第三方向移动，并且保持部件； 

第二支承部，该第二支承部被支承于所述基部，相对于所述第一支承部位于所述第一方向，并且能够相对于所述基部在所述第一方向移动； 

第三部件保持部，该第三部件保持部被支承于所述第二支承部，设置成能够相对于所述第二支承部在所述第三方向移动，并且保持部件； 

第二移动部，该第二移动部被支承于所述第二支承部，能够相对于所述第二支承部在所述第二方向移动； 

第四部件保持部，该第四部件保持部被支承于所述第二移动部，相对于所述第三部件保持部位于所述第二方向，并且设置成能够相对于所述第二移动部在所述第三方向移动，并且保持部件； 

第一移动机构，该第一移动机构使所述第一移动部和所述第二移动部一体地在所述第二方向移动，使所述第一部件保持部与所述第二部件保持部在所述第二方向的离开距离以及所述第三部件保持部与所述第四部件保持部在所述第二方向的离开距离一起变化；以及 

第二移动机构，该第二移动机构使所述第二支承部在所述第一方向移动，使所述第一支承部与所述第二支承部在所述第一方向的离开距离变化。 

2.根据权利要求1所述的输送装置，其特征在于， 

所述第一移动机构的至少一部分被支承于所述基部。 

3.根据权利要求2所述的输送装置，其特征在于， 

所述第一移动机构具有：第一移动机构用第一引导轮和第一移动机构用第二引导轮，它们在所述第二方向离开；第一移动机构用第一环形驱动绳，该第一移动机构用第一环形驱动绳挂设于所述第一移动机构用第一引导轮与所述第一移动机构用第二引导轮之间；以及第一移动机构用驱动源，该第一移动机构用驱动源使所述第一移动机构用第一引导轮和所述第一移动机构用第二引导轮的至少一方旋转，从而使所述第一移动机构用第一环形驱动绳旋转， 

至少所述第一移动机构用第一引导轮以及所述第一移动机构用第二引导轮分别由所述基部支承为能够旋转。 

4.根据权利要求3所述的输送装置，其特征在于， 

所述第一移动部以及所述第二移动部分别直接或者间接地与所述第一移动机构用第一环形驱动绳连结， 

伴随着所述第一移动机构用第一环形驱动绳的旋转，所述第一移动部相对于所述第一支承部在所述第二方向移动，并且所述第二移动部相对于所述第二支承部在所述第二方向移动。 

5.根据权利要求3或4所述的输送装置，其特征在于， 

所述第一移动机构还具有：第一移动机构用第三引导轮和第一移动机构用第四引导轮，它们以能够旋转的方式固定于所述第一支承部，且在所述第二方向离开；第一移动机构用第二环形驱动绳，该第一移动机构用第二环形驱动绳挂设于所述第一移动机构用第三引导轮与所述第一移动机构用第四引导轮之间；传递部，该传递部连结所述第一移动机构用第一引导轮与所述第一移动机构用第三引导轮，且将所述第一移动机构用第一引导轮的旋转传递到所述第一移动机构用第三引导轮；以及连结部，该连结部连结所述第一移动机构用第一环形驱动绳与所述第一移动机构用第二环形驱动绳， 

所述第一移动部以及所述第二移动部分别与所述连结部连结。 

6.根据权利要求3或4所述的输送装置，其特征在于， 

所述第一移动机构用驱动源被支承于所述基部。 

7.根据权利要求1～4中任一项所述的输送装置，其特征在于， 

所述第二移动机构的至少一部分被支承于所述基部。 

8.根据权利要求7所述的输送装置，其特征在于， 

所述第二移动机构具有：第二移动机构用第一引导轮和第二移动机构用第二引导轮，它们在所述第一方向离开；第二移动机构用环形驱动 绳，该第二移动机构用环形驱动绳挂设于所述第二移动机构用第一引导轮与所述第二移动机构用第二引导轮之间；以及第二移动机构用驱动源，该第二移动机构用驱动源使所述第二移动机构用第一引导轮和所述第二移动机构用第二引导轮的至少一方旋转，从而使所述第二移动机构用环形驱动绳旋转， 

至少所述第二移动机构用第一引导轮以及所述第二移动机构用第二引导轮分别由所述基部支承为能够旋转。 

9.根据权利要求1～4中任一项所述的输送装置，其特征在于， 

所述第一支承部以及所述第二支承部分别呈在所述第二方向以及所述第三方向两个方向延展的板状。 

10.根据权利要求1～4中任一项所述的输送装置，其特征在于， 

所述第一部件保持部、所述第二部件保持部、所述第三部件保持部以及所述第四部件保持部分别具有通过吸附来保持对象物的吸附管嘴。 

11.一种输送装置，其特征在于， 

在将相互正交的两个方向设为第一方向以及第二方向时， 

所述输送装置具有： 

第一部件保持部，该第一部件保持部保持部件； 

第二部件保持部，该第二部件保持部相对于所述第一部件保持部位于所述第二方向，且保持部件； 

第三部件保持部，该第三部件保持部相对于所述第一部件保持部位于所述第一方向，且保持部件；以及 

第四部件保持部，该第四部件保持部相对于所述第三部件保持部位于所述第二方向，且保持部件， 

所述第三部件保持部以及所述第四部件保持部一体地相对于所述第一部件保持部以及所述第二部件保持部在所述第一方向移动， 

所述第二部件保持部以及所述第四部件保持部一体地相对于所述第一部件保持部以及所述第三部件保持部在所述第二方向移动。 

12.一种检查装置，其特征在于， 

所述检查装置具有： 

权利要求1～11中任一项所记载的输送装置；以及 

进行对象物的检查的检查部， 

所述检查装置构成为，利用所述输送装置将所述对象物输送到所述检查部。 

13.一种检查装置，其特征在于， 

在将相互正交的三个方向设为第一方向、第二方向以及第三方向时， 

所述检查装置具有： 

基部； 

第一支承部，该第一支承部被固定于所述基部，在动作时，所述第一支承部相对于所述基部相对位置不变； 

第一部件保持部，该第一部件保持部被支承于所述第一支承部，设置成能够相对于所述第一支承部在所述第三方向移动，并且保持部件； 

第一移动部，该第一移动部被支承于所述第一支承部，能够相对于所述第一支承部在所述第二方向移动； 

第二部件保持部，该第二部件保持部被支承于所述第一移动部，相对于所述第一部件保持部位于所述第二方向，并且设置成能够相对于所述第一移动部在所述第三方向移动，并且保持部件； 

第二支承部，该第二支承部被支承于所述基部，相对于所述第一支承部位于所述第一方向，并且能够相对于所述基部在所述第一方向移动； 

第三部件保持部，该第三部件保持部被支承于所述第二支承部，设置成能够相对于所述第二支承部在所述第三方向移动，并且保持部件； 

第二移动部，该第二移动部被支承于所述第二支承部，能够相对于所述第二支承部在所述第二方向移动； 

第四部件保持部，该第四部件保持部被支承于所述第二移动部，相对于所述第三部件保持部位于所述第二方向，并且设置成能够相对于所述第二移动部在所述第三方向移动，并且保持部件； 

第一移动机构，该第一移动机构使所述第一移动部和所述第二移动部一体地在所述第二方向移动，使所述第一部件保持部与所述第二部件保持部在所述第二方向的离开距离以及所述第三部件保持部与所述第四部件保持部在所述第二方向的离开距离一起变化； 

第二移动机构，该第二移动机构使所述第二支承部在所述第一方向移动，使所述第一支承部与所述第二支承部在所述第一方向的离开距离变化；以及 

检查部，该检查部对由所述第一部件保持部、所述第二部件保持部、所述第三部件保持部和所述第四部件保持部保持的各部件进行检查。 

14.一种输送装置，其特征在于， 

在将相互正交的三个方向设为第一方向、第二方向以及第三方向 时， 

所述输送装置具有： 

基部； 

第一支承部，该第一支承部被支承于所述基部； 

第一部件保持部，该第一部件保持部被支承于所述第一支承部，设置成能够相对于所述第一支承部在所述第三方向移动，并且保持部件； 

第二部件保持部，该第二部件保持部被支承于所述第一支承部，设置成能够相对于所述第一支承部在所述第二方向和所述第三方向移动，并且保持部件； 

第二支承部，该第二支承部被支承于所述基部，相对于所述第一支承部位于所述第一方向，并且能够相对于所述基部在所述第一方向移动； 

第三部件保持部，该第三部件保持部被支承于所述第二支承部，设置成能够相对于所述第二支承部在所述第三方向移动，并且保持部件； 

第四部件保持部，该第四部件保持部被支承于所述第二支承部，设置成能够相对于所述第二支承部在所述第二方向和所述第三方向移动，并且保持部件；以及 

第一移动机构，该第一移动机构使所述第二部件保持部和所述第四部件保持部一体地在所述第二方向移动，使所述第一部件保持部与所述第二部件保持部在所述第二方向的离开距离和所述第三部件保持部与所述第四部件保持部在所述第二方向的离开距离一起变化。 

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