KR20160040002A

KR20160040002A - 소자핸들러

Info

Publication number: KR20160040002A
Application number: KR1020140133422A
Authority: KR
Inventors: 유홍준
Original assignee: (주)제이티
Priority date: 2014-10-02
Filing date: 2014-10-02
Publication date: 2016-04-12
Also published as: KR102355615B1

Abstract

본 발명은 소자핸들러에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 캐리어테이프에 소자들을 적재하는 소자핸들러에 관한 것이다.
본 발명은, 다수의 소자들이 부착된 복수의 소자로딩부재들이 적재된 로딩부재카세트부와;
상기 로딩부재카세트부로부터 소자로딩부재를 공급받아 소자로딩부재를 수평방향으로 이동시키는 소자로딩부재테이블과;
상기 소자로딩부재테이블로부터 수평방향으로 이격되어 설치되며 소자로딩부재로부터 하나 이상의 이송툴에 의하여 소자를 전달받아 적재되는 캐리어테이프가 설치된 언로딩부를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러를 개시한다.

Description

소자핸들러 {Device handler}

본 발명은 소자핸들러에 관한 것으로서, 보다 상세하게 소자로딩부재로부터 소자를 픽업하여 소자적재부재에 소자를 하는 소자핸들치에 관한 것이다.

SD 램, 프래쉬램, LSI, LED 등 반도체소자(이하 '소자'라 한다)는 반도체공정을 마친 후 소잉공정, 패키징공정 등을 마친 후 시장에 출하됨이 일반적이다.

여기서 시장에 출하된 제품에 대한 신뢰성을 확보하기 위하여 검사장치, 분류장치, 검사 및 분류장치 등에 의하여 자동검사 및 검사결과에 따른 분류를 통하여 양품의 제품들을 선별하여 시장에 출하하고 있다.

한편 소자는 SD 램, 프래쉬램, LSI 등 리드프레임, BGA 등 단자구조가 다양해지는 등 칩의 종류가 다양해지고 있다.

또한 소자는 패키징 공정 후에 최종검사는 물론, 반도체공정을 마친 웨이퍼 상태에서의 소자에 대한 검사 및 검사결과에 따른 소자분류의 공정을 거쳐 생산성을 높이고 있는 추세이다.

더 나아가 최근에는 소자에 대한 소형화요구에 따라서 소자가 수지 등에 의한 몰딩공정을 거치지 않고 웨이퍼 레벨에서 최종 제품화되는 것이 확대되고 있는 추세이다.

이에 웨이퍼링 등과 같은 소자로딩부재에서 시장출하 등을 위하여 테이프앤릴과 같은 소자적재부재로의 소자적재를 보다 신속하게 수행될 수 있는 소자핸들러의 개발이 시급하다.

본 발명의 목적은 상기와 같은 추세에 맞추어, 소자로딩부재로부터 소자를 픽업하여 소자적재부재에 안정적으로 적재할 수 있는 소자핸들러를 제공하는 데 있다.

본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은, 다수의 소자들이 부착된 복수의 소자로딩부재로부터 소자를 픽업하여 캐리어테이프에 적재하는 소자핸들러를 개시한다.

본 발명에 따른 소자핸들러는, 소자적재부재 상에서 회전에 의한 플립동작과 동시에 대각선 방향으로 선형이동시키는 이송툴에 의하여 소자를 1차로 이송하고, 플립된 소자를 픽업하고 소자를 2차로 이송하여 소자적재부재에 소자를 적재함으로써 보다 신속하게 소자의 픽업 및 적재를 수행할 수 있는 이점이 있다.

도 1은, 본 발명의 일실시예 따른 소자핸들러의 개념을 보여주는 평면도이다.
도 2는, 도 1의 소자핸들러에서 사용되는 소자로딩부재의 일예를 보여주는 사시도이다.
도 3a 및 도 3b는, 도 1의 소자핸들러에서 사용되는 소자로딩부재의 변형예로서 웨이퍼링인 경우를 보여주는 사시도 및 단면도이다.
도 4는, 도 1의 소자핸들러에서 소자로딩부재로부터 소자적재부재로의 소자이송 개념을 도시한 개념도이다.
도 5a 내지 도 5c는, 도 1의 소자핸들러에서 소자의 픽업, 플립 및 대각선 이동을 수행하는 제1이송툴의 작동과정을 보여주는 일부 사시도이다.
도 6은, 도 5a의 제1이송툴의 픽커를 보여주는 평면도이다.
도 7a는, 도 6에서 Ⅵ-Ⅵ방향의 소자 이송과정을 보여주는 측면도이다.
도 7b는, 도 6에서 Ⅵ-Ⅵ방향의 단면도이다.
도 8은, 도 1의 소자핸들러의 제2이송툴을 보여주는 사시도이다.
도 9은, 도 8의 제2이송툴의 평면도이다.
도 10a 및 도 10b는, 도 1의 소자핸들러에서 소자의 픽업, 플립 및 대각선 이동을 수행하는 제1이송툴의 일예를 보여주는 평면도들이다.

이하 본 발명에 따른 소자핸들러에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

본 발명의 일실시에 따른 소자핸들러는, 소자로딩부재(10)에 적재된 소자(1)를 픽업하여 언로딩부의 소자적재부재(20)로 소자(1)를 적재하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

예로서, 본 발명의 일실시에 따른 소자핸들러는, 도 1에 도시된 바와 같이, 다수의 소자(1)들이 부착된 복수의 소자로딩부재(10)들이 적재된 로딩부재카세트부(100)와; 로딩부재카세트부(100)로부터 소자로딩부재(10)를 공급받아 소자로딩부재(10)를 수평방향으로 이동시키는 소자로딩부재테이블(200)과; 소자로딩부재테이블(200)로부터 수평방향으로 이격되어 설치되며 소자로딩부재(10)로부터 하나 이상의 이송툴(400, 500)에 의하여 소자(1)를 전달받아 적재하는 소자적재부재(20)가 설치된 언로딩부(800)를 포함할 수 있다.

상기 로딩부재카세트부(100)는, 다수의 소자(1)들이 부착된 복수의 소자로딩부재(10)들이 적재된 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

여기서 상기 소자로딩부재(10)에 적재되는 반도체소자, 엘이디소자, 태양전지소자 등 반도체공정 및 소잉공정을 마친 소자이다.

특히 상기 소자(1)는, 반도체공정 후 패키징공정을 마친 소자는 물론, 반도체공정 및 소잉공정을 마친 웨이퍼레벨소자가 그 대상이 될 수 있다.

한편 상기 소자로딩부재(10)는, 다수의 소자(1)가 적재되는 부재로서 소자(1)를 적재할 수 있는 부재이면 트레이, 웨이퍼링 등 다양한 구성이 가능하다.

일예로서, 상기 소자로딩부재(10)는, 도 2 및 도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이, 반도체공정 및 소잉공정을 마친 소자(1)가 적재되는 구성으로서, 소자(1)가 부착되는 테이프(11) 및 테이프(11)를 고정하는 프레임부재(12)를 포함하여 구성될 수 있다.

그리고 상기 테이프(11)는 소자(1)들이 부착될 수 있는 부재이면 어떠한 부재도 가능하며 소위 블루테이프가 사용될 수 있다.

상기 프레임부재(12)는 소자(1)들이 부착된 테이프(11)를 고정하기 위한 구성으로서 사각링, 원형링(웨이퍼링) 등 다양한 구성이 가능하다.

상기 로딩부재카세트부(100)는, 복수의 소자로딩부재(10)의 적재를 위한 구성으로서 소자로딩부재(10)들이 상하로 적층될 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.

상기 소자로딩부재테이블(200)은, 로딩부재카세트부(100)로부터 소자로딩부재(10)를 공급받아 소자로딩부재(10)를 수평방향으로 이동시키는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

예로서, 상기 소자로딩부재테이블(200)은 웨이퍼링로딩부(미도시)에 의하여 로딩부재카세트부(100)로부터 소자로딩부재(10)를 전달받아 제1이송툴(400)과 같은 이송툴이 소자(1)를 픽업할 수 있도록 소자로딩부재(10)를 수평방향으로 이동시키는 구성으로서, X-Y테이블, X-Y-θ테이블 등 다양한 구성이 가능하다.

한편 상기 로딩부재카세트부(100)로부터 소자로딩부재테이블(200)로 소자로딩부재(10)를 전달하기 위한 소자로딩부재로딩부는, 로딩부재카세트부(100)로부터 소자로딩부재(10)를 인출하고 인출된 소자로딩부재(10)를 소자로딩부재테이블(200)로 전달할 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.

상기 언로딩부(800)는, 소자로딩부재테이블(200)로부터 수평방향으로 이격되어 설치되며 소자로딩부재(10)로부터 소자(1)를 전달받아 적재하는 소자적재부재(20)가 설치된 구성으로서 다양한 구성이 가능하다

특히 상기 언로딩부(800)는, 캐리어테이프 및 커버테이프의 조합(테이프앤릴), 트레이 등 소자(1)의 언로딩을 위한 소자적재부재(20)의 구성에 따라서 그 구성이 결정된다.

예로서, 상기 언로딩부(800)는, 캐리어테이프 및 커버테이프의 조합이 사용된 예로서, 소자(1)가 적재되는 포켓부가 길이방향을 따라서 형성되며 소자적재위치에서 소자가 적재된 후 커버테이프(미도시)에 의하여 밀봉되는 캐리어테이프가 소자적재부재(20)를 구성하는 경우, 도 1에 도시된 바와 같이, 소자(1)가 담길 캐리어테이프(20)를 공급하는 테이프공급부(810)와, 테이프공급부(810)에 의하여 공급되는 캐리어테이프(20)가 소자적재위치를 거치면서 소자(1)가 담겨진 후 캐리어테이프(20)를 권취하는 테이프권취부(820)와, 테이프공급부(810)와 테이프권취부(820) 사이에서 캐리어테이프(20)의 이동경로 상에 설치되어 소자(1)가 담겨진 후 캐리어테이프(20)의 상면에 부착되는 커버테이프를 공급하는 커버테이프공급부(미도시)와, 테이프공급부(810)와 테이프권취부(820) 사이에서 캐리어테이프(20)의 이동경로상에 설치되어 커버테이프를 캐리어테이프(20)의 상면에 부착시키는 실링부(미도시)와, 테이프공급부(810)로부터 테이프권취부(820)에까지 캐리어테이프(20)가 원활하게 이동될 수 있도록 캐리어테이프(20) 및 커버테이프의 이동을 안내하는 복수의 이송롤러(미도시)들을 포함할 수 있다.

여기서 소자(1)가 담기는 포켓부가 형성된 캐리어테이프(20)는, 소자(1)가 담기는 포켓부가 형성된 구성이면 어떠한 구성도 가능하며, 통상 플라스틱 재질에 의하여 형성될 수 있다.

상기 테이프공급부(810)는, 소자(1)가 담겨질 포켓부가 형성된 캐리어테이프(20)가 감겨진 캐리어테이프공급릴(811)이 회전가능하게 설치될 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.

상기 테이프권취부(820)는, 소자(1)가 캐리어테이프(20)의 포켓부에 담겨지고, 실링부를 거쳐 커버테이프가 캐리어테이프(20)에 부착된 후 캐리어테이프(20)를 권취하는 구성으로서, 캐리어테이프(20)가 권취되는 권취롤이 회전가능하게 설치될 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.

이때 상기 테이프권취부(820)는, 테이프공급부(810)와 연동하여 캐리어테이프(20)의 이동을 제어할 수 있도록 회전제어부가 설치될 수 있다.

상기 커버테이프공급부는, 소자(1)가 담겨진 캐리어테이프(20)의 상면에 부착되는 커버테이프를 공급하는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하며, 커버테이프가 감겨진 롤이 회전가능하게 설치될 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.

여기서 상기 커버테이프공급부는, 테이프권취부(820)와 연동하여 캐리어테이프(20)의 이동을 제어할 수 있도록 회전제어부가 설치될 수 있다.

그리고 상기 커버테이프는, 캐리어테이프(20)과의 접착방식에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 예로서 적외선히터에 의하여 캐리어테이프(20)와 접착되도록 구성될 수 있다.

상기 실링부는, 캐리어테이프(20)의 이동경로상에 설치되어 커버테이프를 캐리어테이프(20)의 상면에 부착시키는 구성으로서 커버테이프 및 캐리어테이프(20)와의 접착방식에 따라서 다양한 구성이 가능하다.

특히 상기 실링부는, 틸팅에 의한 가압구조를 구비하여 커버테이프 및 캐리어테이프(20)의 견고한 접착을 유도할 수 있다.

상기 이송롤러들은, 테이프공급부(810)로부터 테이프권취부(820)에까지 캐리어테이프(20)가 원활하게 이동될 수 있도록 캐리어테이프(20) 및 커버테이프의 이동을 안내하는 구성으로서, 캐리어테이프(20) 및 커버테이프의 이동을 안정적으로 구현할 수 있도록 그 숫자, 크기, 설치위치 등이 결정된다.

한편 상기 언로딩부(800)는, 캐리어테이프(20)가 권취롤에 적정회전수에 의하여 감겨진 후 캐리어테이프(20)를 절단할 필요가 있는바 캐리어테이프(20)의 절단을 위한 커터(미도시)가 테이프공급부(810) 및 테이프권취부(820) 사이의 적절한 위치에 설치될 수 있다.

여기서 상기 테이프공급부(810)에서의 캐리어테이프(20)가 한번에 테이프권취부(820)에 권취되도록 구성되면 커터가 반드시 설치될 필요가 없음은 물론이다.

또한 상기 언로딩부(800)는, 캐리어테이프(20)의 포켓 내에 소자(1)가 제대로 담겨져 있는지 여부를 검사하기 위한 제1비전검사장치(710)가 추가로 설치될 수 있다.

상기 제1비전검사장치(710)는, 캐리어테이프(20)의 이송방향을 기준으로 소자적재위치 ③ 및 테이프권취부(820) 사이에서 상측에 설치되어 캐리어테이프(20)의 포켓 내에 소자(1)가 제대로 담겨져 있는지 여부를 검사할 수 있다.

또한 상기 언로딩부(800)는, 캐리어테이프(20)에 커버테이프가 제대로 부착되었는지를 검사하기 위한 제2비전검사장치(720)가 추가로 설치될 수 있다.

상기 제2비전검사장치(720)는, 캐리어테이프(20)의 이송방향을 기준으로 소자적재위치 ③ 및 테이프권취부(820) 사이에서 상측에 설치되어 캐리어테이프(20)에 대한 이미지를 획득하는 카메라로 구성됨으로써 캐리어테이프(20)에 커버테이프가 제대로 부착되었는지 등을 검사할 수 있다.

한편 상기 이송툴(400, 500)은, 소자로딩부재테이블(200)에 안착된 소자로딩부재(10)로부터 소자(1)를 픽업하여 회전이동 및 선형이동 중 적어도 하나의 이동에 의하여 언로딩부(800)의 소자적재부재(20)로 소자(1)를 전달하는 구성으로서 하나 이상으로 구성될 수 있다.

예로서, 상기 이송툴(400, 500)은, 소자로딩부재테이블(200)의 상측에 설치되고 회전되어 픽업된 소자(1)의 저면이 상측을 향하도록 반전시키는 제1이송툴(400)과; 제1이송툴(400)에 의하여 반전된 소자(1)를 픽업한 후 회전이동 및 선형이동 중 적어도 하나의 이동에 의하여 언로딩부(800)의 소자적재부재(20)로 소자(1)를 전달하는 제2이송툴(500)를 포함할 수 있다.

상기 제1이송툴(400)은, 소자로딩부재테이블(200)의 상측에 설치되며 소자로딩부재테이블(200)에 안착된 소자로딩부재(10)로부터 소자(1)를 픽업하고 회전되어 픽업된 소자(1)의 저면이 상측을 향하도록 반전시키는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

특히, 상기 제1이송툴(400)은, 도 4 내지 도 7b에 도시된 바와 같이, 회전에 의하여 픽업된 소자(1)를 반전시킴과 아울러 픽업위치 ①에서 전달위치 ②로 이동시키도록 구성될 수 있다.

이때 상기 제1이송툴(400)은, 픽업위치 ①와 적재위치 ③를 연결하는 제1방향(Y축방향)과는 경사, 즉 대각선 방향에 위치된 전달위치 ②로 소자(1)의 픽업 및 이송을 수행하도록 구성됨이 바람직하다.

더 나아가 보다 신속한 소자 픽업 및 이송을 위하여 상기 제1이송툴(400)은, 한 쌍으로 제1방향(Y축방향)를 기준으로 서로 대칭되어 배치될 수 있다.

제1실시예에 따른 제1이송툴(400)은, 도 4 내지 도 7b에 도시된 바와 같이, 제1방향(Y축방향)과 수직을 이루어 배치되는 회전축(611)을 구비한 회전모터(612)와, 회전축(611)의 회전에 의하여 회전됨과 아울러 제1방향(Y축방향)과 수직을 이루는 제2방향(X축방향)으로 선형이동되는 선형이동부(620)와, 선형이동부(620)와 결합되어 소자(1)를 픽업하는 하나 이상의 제1픽커(600)를 포함할 수 있다.

상기 선형이동부(620)는, 회전축(611)과 결합되어 회전에 의하여 선형이동을 구현하기 위한 구성으로서, 회전축(611)과 결합되어 회전되며 수사나부가 형성된 스크류부(621)와, 스크류부(621)와 나사결합에 의하여 회전시 스크류부(621)를 선형이동시키는 암나사부(622)를 포함할 수 있다.

여기서 상기 선형이동부(620)는, 스크류부(621) 대신에 외주면에 캠홈이 형성되는 캠부재를 사용하고 캠부재에 대응되어 회전되는 캠부재를 선형이동시키는 캠결합부재를 포함하여 구성될 수도 있음은 물론이다.

상기 제1픽커(600)는, 선형이동부(620)와 결합되어 소자(1)를 픽업하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

상기 제1픽커(600)는, 일예로서, 도 6 및 도 7b에 도시된 바와 같이, 선형이동부(620)에 결합되는 탈착지지부(630)와, 탈착지지부(630)에 탈착결합되어 소자(1)를 픽업하는 픽업부(640)를 포함할 수 있다.

상기 탈착지지부(630)는, 선형이동부(620)에 결합됨과 아울러 픽업부(640)를 지지하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

그리고 상기 탈착지지부(630)는, 픽업부(640)에 대한 공압전달을 위한 공압전달부(631), 후술하는 픽업부재(641)의 상하이동을 구동하는 상하구동부(642)의 전원공급을 위한 전원공급부(미도시)가 설치될 수 있다.

상기 픽업부(640)는, 탈착지지부(630)에 탈착결합되어 소자(1)를 픽업하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

예로서, 상기 픽업부(640)는, 탈착지지부(630)와 탈착가능하게 결합되는 본체부(645)와, 본체부(645)에서 상하로 이동가능하게 결합되는 픽업부재(641)와, 픽업부재(641)에 공압을 전달함과 아울러 픽업부재(641)의 회전을 방지하는 회전방지부(650)와, 픽업부재(641)의 상하이동을 구동하는 상하구동부(642)를 포함할 수 있다.

상기 본체부(645)는, 픽업부재(641) 등이 설치되는 구성으로서 하나 이상의 부재로 구성될 수 있다.

상기 픽업부재(641)는, 본체부(645)에서 상하로 이동가능하게 결합되어 진공압에 의하여 소자(1)를 픽업하는 구성으로서 끝단에 소자(1) 픽업을 위한 픽업헤드(미도시)가 설치된 중공형 로드로 구성될 수 있다.

구체적으로, 상기 픽업부재(641)는, 상하방향으로 형성된 공압유로(641a)가 형성되며 끝단에는 픽업될 소자(1)의 구조 및 종류에 따라서 다양한 구조가 가능하다.

상기 회전방지부(650)는, 픽업부재(641)에 공압을 전달함과 아울러 픽업부재(641)의 회전을 방지하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

일예로서, 상기 회전방지부(650)는, 본체부(645)에 상하이동이 가능하게 설치되는 로드부재(653)와, 본체부(645)의 상측에 설치되며 로드부재(653) 및 픽업부재(641)의 상부에 관통결합되는 연결부재(652)를 포함할 수 있다.

여기서 상기 픽업부재(641)는, 연결부재(652)에 대하여 회전가능하게 상하로 관통하여 상측으로 돌출되어 설치될 수 있다.

그리고 상기 연결부재(652)의 상측으로 돌출된 부분에 고정부재(651)에 의하여 연결부재(652)에 대하여 회전이 불가능하도록 연결부재(652)에 고정결합될 수 있다.

상기와 같은 구성은 탈착지지부(630)으로부터 분리되어 후술하는 제2이송툴(500)에서 일부가 픽업부로서 활용될 수 있다.

상기 상하구동부(642)는, 소자픽업시 픽업부재(641)를 상하로 이동시키거나 소자(1)에 대한 충격을 완화시키기 위한 구성으로서 전원인가에 의하여 상하이동을 구동하는 VCM(Voice Coil Motor)가 사용될 수 있다.

한편 상기 제1이송툴(400)은, 소자픽업의 효율성을 위하여, 앞서 설명한 Y축방향을 기준으로 선대칭되어 한 쌍으로 배치됨이 바람직하다.

즉, 한 쌍의 제1이송툴(400)들 중 어느 하나가, 소자로딩부재(10), 즉 웨이퍼링 상에서 소자(1)를 픽업하는 동안, 나머지 하나의 제1이송툴(400)은 소자전달을 위한 각 소자전달위치 ②로 이동되어 후술하는 제2이송툴(500)에 의하여 소자(1)를 전달할 수 있다.

여기서 상기 제1이송툴(400)이 한 쌍으로 배치된 경우, 이에 대응되어 제2이송툴(500) 또한 한 쌍으로 배치되는 것이 바람직하다.

그리고 상기 제1이송툴(400)로부터의 소자전달위치 ②는, 도 1 및 도 4에 도시된 바와 같이, 하나의 위치보다는 Y축방향을 기준으로 선대칭되어 배치됨이 바람직하다.

이하 상기와 같은 구성을 가지는 제1이송툴(400)의 작동에 관하여 설명한다.

상기 제1이송툴(400)은, 도 5a에 도시된 바와 같이, 소자픽업위치 ①에서 소자로딩부재(10)로부터 소자(1)를 픽업한다.

이때 상기 소자로딩부재(10)의 하측에는 소자픽업위치 ①에 위치된 소자(1)를 상측으로 밀어올리기 위한 니들핀(90)이 설치된다.

그리고 상기 제1이송툴(400)의 픽업부재(641)는, 상하구동부(642)의 상하구동에 의하여 하측으로 이동되어 소자(1)를 픽업한다.

이때 한 쌍의 제1이송툴(400)들 중 다른 하나는, 반전, 즉 픽업부재(641)에 픽업된 소자(1)가 상측에 위치된 상태로 소자전달위치 ②에서 소자(1)를 전달한다.

한편, 상기 소자픽업위치 ①에서 소자픽업을 마친 제1이송툴(400)은, 도 5b 및 도 5c를 거쳐 소자전달위치 ②로 회전 및 선형이동에 의하여 소자(1)를 이송한다.

여기서 상기 제1이송툴(400)은, 소자픽업위치 ①로부터 소자전달위치 ②로 이동될 때 회전 및 선형이동의 조합에 의하여 구현되며 다양한 패턴에 의하여 구현될 수 있다.

예로서, 상기 제1이송툴(400)은, 1차로 X축을 회전축으로 180°회전 된 후에 X축방향으로 2차로 선형이동될 수 있다. 여기서 회전 및 선형이동이 반대로 수행될 수 있다.

또한 상기 제1이송툴(400)은, X축을 회전축으로 한 180°회전 및 X축방향의 선형이동을 동시에 수행될 수 있다.

한편, 상기 한 쌍의 제1이송툴(400)들 중 제2이송툴(500)로의 소자전달을 마친 나머지 제1이송툴(400)은, 도 5a 내지 도 5c의 반대과정으로 소자픽업위치 ①로 이동된다.

상기 제1이송툴(400)의 다른 실시예로서, 제2실시예에 따른 제1이송툴(400)은, 도 10a 및 도 10b에 도시된 바와 같이, 제1방향(Y축방향)과는 경사, 즉 대각선 방향을 이루어 배치된 회전축(611)을 구비한 회전모터(612)와, 회전축(611)과 결합되며 회전축(611)으로부터 편심되어 설치되는 하나 이상의 제1픽커(600)을 포함할 수 있다.

상기 제1픽커(600)는, 소자를 픽업하는 위한 구성으로서 진공압에 의하여 소자로딩부재(10)로부터 소자(1)를 픽업하는 구성으로 다양한 구성이 가능하다.

상기 제2이송툴(500)은, 제1이송툴(400)에 의하여 반전된 소자(1)를 픽업한 후 하나 이상의 선형이동에 의하여 언로딩부(300)의 소자언로딩부재(20)로 소자(1)를 전달하는 구성으로서 그 이동형태에 따라서 다양한 구성이 가능하다.

구체적인 예로서, 상기 제2이송툴(500)은, 도 1에 도시된 바와 같이, 전달위치 ②에서 소자(1)를 픽업한 후 적재위치 ③로 이동되어 언로딩부(300)의 소자언로딩부재(20)로 소자(1)를 전달하는 제2픽커(540)와, 하나 이상의 선형이동에 의하여 제2픽커(540)를 이동시키는 픽커이동부(520)를 포함할 수 있다.

상기 제2픽커(540)는, 전달위치 ②에서 소자(1)를 픽업한 후 적재위치 ③로 이동되어 언로딩부(300)의 소자언로딩부재(20)로 소자(1)를 전달하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

특히 상기 제2픽커(540)는, 도 7b 및 도 8에 도시된 제1픽커부(600)에서 탈착지지부(630)를 제외한 나머지 부분으로 구성될 수 있다.

이때 상기 제2픽커(540)는, 소자적재부재(20)로의 소자적재시 소자(1)의 수평회전이 필요한바, 픽업부재(641)의 회전이 가능하도록 앞서 설명한 고정부재(651)를 제거하고 회전모터(580)에 의하여 회전되도록 픽업부재(641)의 상단부분은 커플러(589)에 의하여 결합되어 픽업부재(641)가 회전될 수 있다.

구체적으로, 제2픽커(540)에 픽업된 소자(1)는 픽업 과정 등에 의하여 캐리어테이프(20)에 적재에 부적절한 상태로 픽업될 수 있으며 이를 교정하기 위하여 수평방향으로 회전, 즉 Z축방향으로 회전되어 보정될 필요가 있다.

이에, 상기 회전모터(580)는, 후술하는 제3카메라에 의하여 촬영된 소자(1)의 이미지를 분석하고 분석결과에 따른 회전오차를 소자(1)를 픽업한 제2픽커(540)를 회전시켜 이를 보정한다.

한편 상기 회전모터(580)는, 픽업부재(641)를 회전시키기 위한 구성으로 커플러(589)에 의하여 직접 연결되거나, 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 벨트 및 풀리의 조합에 의하여 픽업부재(641)를 회전시킬 수 있다.

상기 제2픽커(540)는, 다양한 구조에 의하여 픽커이동부(520)에 결합되며 제1픽커부(600)에서 탈착지지부(630)와 유사하게 탈착지지부에 지지될 수 있다.

상기 탈착지지부는, 도 7b 및 도 8에 명확히 도시되지 않았지만 제1픽커부(600)의 탈착지지부(630)와 유사한 구성을 가질 수 있다.

상기 픽커이동부(520)는, 제2픽커(540)가 전달위치 ②와 적재위치 ③ 사이에서 제1이송툴(400)에 의하여 반전된 소자(1)를 픽업한 후 선형이동에 의하여 제2픽커(540)를 이동시키는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

상기 픽커이동부(520)는, 탈착지지부(730)를 지지함과 아울러 Y축방향으로 이동시키기 위한 제1선형이동부와, 탈착지지부(730)를 X축방향으로 선형이동시키기 위한 제2선형이동부를 포함할 수 있다.

상기 제1선형이동부 및 상기 제2선형이동부는, 탈착지지부(730), 특히 탈착지지부(730)에 지지된 제2픽커(540)를 X축 및 Y축방향으로 이동시키기 위한 구성으로서 그 이동방식에 따라서 스크류잭, 벨트 및 스크류 등 다양한 구조에 의하여 구현될 수 있다.

한편 상기 제2이송툴(500)은, 앞서 설명한 바와 같이, 소자의 이송효율을 높이기 위하여, 한 쌍의 제1이송툴(400)에 대응되어 소자픽업위치 ① 및 소자적재위치 ③를 연결하는 Y축을 중심으로 서로 선대칭되도록 배치됨이 바람직하다.

그리고 상기 한 쌍의 제2이송툴(500)은, 도 4에 도시된 바와 같이, 각 소자전달위치 ②에서 소자적재위치 ③로 번갈아가면서 이동하게 된다.

한편 도 4 내지 도 5c 중 설명되지 않은 도면부호 811, 812는, 각각 소자(1)에 대하여 광을 조사하기 위한 조명부들을 가리킨다.

상기 조명부는, 소자(1)를 조명할 수 있는 구성이면 엘이디소자 등 어떠한 구성도 가능하다.

구체적으로 제1조명부(811)는, 소자로딩부재(10)의 상부에 배치되어 그 상측에 위치된 제1카메라(미도시)가 소자(1)에 대한 이미지를 촬영하도록 소자픽업위치 ①에 위치된 소자(1)를 조명한다.

상기 제2조명부(812)는, 소자전달위치 ②에 위치된 제1이송툴(400)의 상부에 배치되어 그 상측에 위치된 제2카메라(미도시)가 제1이송툴(400)에 픽업된 소자(1)를 조명한다.

한편 도시되지 않았지만, 제2이송툴(500)에 의하여 픽업된 소자(1)가 소자전달위치 ②로부터 소자적재위치 ③로 이동되는 이송경로에서 제2이송툴(500)의 하측에 설치되어 제2이송툴(500)에 의한 소자(1)의 픽업상태를 확인하기 위한 제3카메라(미도시)가 설치될 수 있다.

이때 상기 제3카메라에 의한 촬영을 보조하기 위하여 제3조명부(813)이 설치될 수 있다.

한편, 본 발명의 실시예에 따른 소자핸들러는, 제1이송툴(400)에 의하여 소자의 픽업 후 반전, 즉 플립 후, 제2이송툴(500)에 의하여 제1이송툴(400)로부터 소자를 픽업하여 캐리어테이프(20)에 적재하는 구성을 가지는 것을 특징으로 하나, 이에 국한되지 않고 제1이송툴(400)이 작동되지 않고 제2이송툴(500)에 의하여 소자로딩부재(10)로부터 소자(1)를 픽업하여, 반전, 즉 플립 없이 소자(1)를 캐리어테이프(20)에 적재하도록 변경이 가능한 것을 특징으로 한다.

이때, 제1이송툴(400)은, 장치로부터 분리되어 별도의 적재장소에 설치되거나, 제2이송툴(500)의 소자픽업에 방해받지 않는 적절한 위치로 이동될 수 있다.

이때 상기 제2이송툴(500)은, 제1이송툴(400)에 의한 소자픽업 및 반전하기 위한 높이차, 구체적으로 소자픽업위치 ① 및 소자전달위치 ②의 차이만큼 상하로 이동될 필요가 있다.

이에 상기 제2이송툴(500)은, 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 제2픽커(540)를 상하방향, 즉 Z축방향으로 선형이동시키기 위한 상하이동부(570)를 추가로 포함할 수 있다.

상기 상하이동부(570)는, 제2픽커(540)를 상하방향으로 이동시키기 위한 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

일예로서, 상기 상하이동부(570)는, 앞서 설명한, 제1선형이동부 및 제2선형이동부에 추가된 구성으로서, 회전모터와, 회전모터에 의하여 회전되는 스크류부와, 스크류부의 선형구동에 의하여 제2픽커(540)가 결합된 탈착지지부를 상하방향으로 이동시키는 선형가이드부를 포함할 수 있다.

이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께 하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.

100 : 로딩부재카세트부 200 : 적재부재테이블
800 : 언로딩부

Claims

다수의 소자들이 부착된 복수의 소자로딩부재들이 적재된 로딩부재카세트부와;
상기 로딩부재카세트부로부터 소자로딩부재를 공급받아 소자로딩부재를 수평방향으로 이동시키는 소자로딩부재테이블과;
상기 소자로딩부재테이블로부터 수평방향으로 이격되어 설치되며 소자로딩부재로부터 하나 이상의 이송툴에 의하여 소자를 전달받아 적재되는 캐리어테이프가 설치된 언로딩부를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.