JP2007046085A - Cvd装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 CVD装置において、薄膜を形成する対象物の表面上に均一な膜厚の薄膜を形成できるようにする。
【解決手段】 センサの検出により反応ガス噴射装置の下に半導体ウェハが差し掛かった時点から反応ガス噴射装置の下から半導体ウェハが抜ける予定の時点までの間に、半導体ウェハの搬送速度を検出前より漸次高めて(符号a)最高速度に達して(符号b)後、当該最高速度より漸次減速して(符号c)、元の速度に戻る速度制御を行う。
【選択図】 図3
【解決手段】 センサの検出により反応ガス噴射装置の下に半導体ウェハが差し掛かった時点から反応ガス噴射装置の下から半導体ウェハが抜ける予定の時点までの間に、半導体ウェハの搬送速度を検出前より漸次高めて(符号a)最高速度に達して(符号b)後、当該最高速度より漸次減速して(符号c)、元の速度に戻る速度制御を行う。
【選択図】 図3
Description
本発明は、半導体ウェハなどの対象物の表面上に薄膜形成するCVD装置に関する。
常圧CVD(Chemical Vapor Deposition)装置は、搬送ベルト上に半導体ウェハなどの対象物の表面上に薄膜形成する装置である。具体的には、対象物を載置した搬送ベルトをその長さ方向に駆動して搬送し、対象物をヒータで加熱し、搬送ベルトの上方に設けられた反応ガス噴射装置によって対象物に反応ガスを噴射して対象物の表面上に薄膜を形成する(特許文献1、2などを参照)。
特開平8−111408号公報
特開平8−203835号公報
特開平11−292264号公報
特許第3305490号
しかしながら、従来の常圧CVD装置では、対象物の表面上に形成された薄膜の膜厚にバラつきを生じてしまうという不具合がある。次に、この点について具体的に説明する。
図4は、従来の常圧CVD装置で薄膜を形成後の円形の半導体ウェハの平面図である。搬送ベルトで搬送される半導体ウェハAが図4の右方向で、反応ガス噴射装置の反応ガスの噴射口が図4の上下方向であったときには、反応ガス噴射装置の噴射口から噴射される反応ガスと半導体ウェハA上の接触面積の違いにより、領域Aaでは薄膜の膜厚が薄く、領域Abでは薄膜の膜厚が厚くなって、膜厚が均一でなくなってしまう。すなわち、領域Aaでは、半導体ウェハAが反応ガス噴射装置の噴射口を通過する際の領域が、噴射口の幅に対して、半導体ウェハAの形状により、噴射口から出る反応ガスの接触面積が少ない領域部分となり、膜厚が薄い薄膜が生成される。また、反応ガス噴射装置の噴射口の幅に対して、噴射口から出る反応ガスの接触面積の領域が大きい領域Abでは、膜厚が厚い薄膜が生成される。
そこで、本発明の目的は、CVD装置において、薄膜を形成する対象物の表面上に均一な膜厚の薄膜を形成できるようにすることである。
図4は、従来の常圧CVD装置で薄膜を形成後の円形の半導体ウェハの平面図である。搬送ベルトで搬送される半導体ウェハAが図4の右方向で、反応ガス噴射装置の反応ガスの噴射口が図4の上下方向であったときには、反応ガス噴射装置の噴射口から噴射される反応ガスと半導体ウェハA上の接触面積の違いにより、領域Aaでは薄膜の膜厚が薄く、領域Abでは薄膜の膜厚が厚くなって、膜厚が均一でなくなってしまう。すなわち、領域Aaでは、半導体ウェハAが反応ガス噴射装置の噴射口を通過する際の領域が、噴射口の幅に対して、半導体ウェハAの形状により、噴射口から出る反応ガスの接触面積が少ない領域部分となり、膜厚が薄い薄膜が生成される。また、反応ガス噴射装置の噴射口の幅に対して、噴射口から出る反応ガスの接触面積の領域が大きい領域Abでは、膜厚が厚い薄膜が生成される。
そこで、本発明の目的は、CVD装置において、薄膜を形成する対象物の表面上に均一な膜厚の薄膜を形成できるようにすることである。
請求項1に記載の発明は、対象物に反応ガスを噴射して当該対象物の表面上に薄膜を形成するCVD装置において、前記対象物を載置して搬送する搬送ベルトと、前記搬送ベルトを駆動する駆動源と、前記搬送ベルトの途上に設けられ前記対象物の表面上に反応ガスを噴射する反応ガス噴射装置と、前記駆動源を制御して前記搬送の速度を制御する速度制御手段と、前記搬送ベルト上の前記対象物を検出するセンサと、を備え、前記速度制御により前記対象物の表面上に形成される薄膜の膜厚を均一にすることを特徴とするCVD装置である。
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載のCVD装置において、前記速度制御手段は、前記センサの検出により前記反応ガス噴射装置の下に前記対象物が差し掛かった時点から前記反応ガス噴射装置の下から前記対象物が抜ける予定の時点までの間に、前記速度を前記検出前より漸次高めて最高速度に達して後、当該最高速度より漸次減速する速度制御を行うことを特徴とする。
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載のCVD装置において、前記速度制御手段は、前記センサの検出により前記反応ガス噴射装置の下に前記対象物が差し掛かった時点から前記反応ガス噴射装置の下から前記対象物が抜ける予定の時点までの間に、前記速度を前記検出前より漸次高めて最高速度に達して後、当該最高速度より漸次減速する速度制御を行うことを特徴とする。
請求項1に記載の発明によれば、対象物が反応ガス噴射装置を通過する速度を制御することにより、対象物の表面上に形成される薄膜の膜厚を均一にすることができる。
請求項2に記載の発明によれば、対象物が円形の半導体ウェハなどである場合に、薄膜の膜厚が厚くなる位置では対象物の反応ガス噴射装置の通過速度を高速にし、薄くなる位置では低速にすることができるので、対象物上の薄膜の膜厚を均一にすることができる。
請求項2に記載の発明によれば、対象物が円形の半導体ウェハなどである場合に、薄膜の膜厚が厚くなる位置では対象物の反応ガス噴射装置の通過速度を高速にし、薄くなる位置では低速にすることができるので、対象物上の薄膜の膜厚を均一にすることができる。
以下、発明を実施するための最良の一形態について図面を参照しつつ説明する。
図1は、本実施形態の常圧CVD装置の概略構成を示す斜視図である。図1に示すように、常圧CVD装置1は、対象物となる半導体ウェハAに反応ガスを噴射して当該対象物の表面上に薄膜を形成する装置である。搬送ベルト2は、半導体ウェハAを載置して図4に矢印で示す方向に搬送する。この搬送ベルト2は、駆動源となるモータ4(図2を参照)により駆動される。
反応ガス噴射装置3は、搬送ベルト2の途上で、搬送ベルト2の上方に設けられ、半導体ウェハAの表面上に反応ガスを噴射する。また、センサ5は、搬送ベルト2の途上の反応ガス噴射装置3より搬送方向上流側で、搬送ベルト2の上方に設けられ、搬送ベルト2上の半導体ウェハAを検出する。なお、図示はしないが、半導体ウェハAは所定のヒータにより所定の温度に加熱される。
図2は、常圧CVD装置1の制御系のブロック図である。この制御系は、常圧CVD装置1の各部を集中的に制御するCPU11と、CPU11が実行する各種制御プログラムや固定データを記憶したROM12と、CPU11の作業エリアとなるRAM13とが、バス14で接続されている。また、バス14には、モータ4を駆動するモータ駆動回路15、センサ5を駆動するセンサ回路16など、各種のアクチュエータ、センサが接続されている。
図1は、本実施形態の常圧CVD装置の概略構成を示す斜視図である。図1に示すように、常圧CVD装置1は、対象物となる半導体ウェハAに反応ガスを噴射して当該対象物の表面上に薄膜を形成する装置である。搬送ベルト2は、半導体ウェハAを載置して図4に矢印で示す方向に搬送する。この搬送ベルト2は、駆動源となるモータ4(図2を参照)により駆動される。
反応ガス噴射装置3は、搬送ベルト2の途上で、搬送ベルト2の上方に設けられ、半導体ウェハAの表面上に反応ガスを噴射する。また、センサ5は、搬送ベルト2の途上の反応ガス噴射装置3より搬送方向上流側で、搬送ベルト2の上方に設けられ、搬送ベルト2上の半導体ウェハAを検出する。なお、図示はしないが、半導体ウェハAは所定のヒータにより所定の温度に加熱される。
図2は、常圧CVD装置1の制御系のブロック図である。この制御系は、常圧CVD装置1の各部を集中的に制御するCPU11と、CPU11が実行する各種制御プログラムや固定データを記憶したROM12と、CPU11の作業エリアとなるRAM13とが、バス14で接続されている。また、バス14には、モータ4を駆動するモータ駆動回路15、センサ5を駆動するセンサ回路16など、各種のアクチュエータ、センサが接続されている。
次に、この制御系が実行する制御動作について説明する。
センサ5は、直下を半導体ウェハAが通過していることを検出できるので、半導体ウェハAの検出開始、あるいは検出終了のタイミングから、半導体ウェハAの搬送方向においてセンサ5より下流にある反応ガス噴射装置3の直下を半導体ウェハAが通過開始した時点、あるいは通過終了した時点を知ることができる。本例では、等間隔に搬送ベルト2上に並べられた半導体ウェハAをセンサ5で検出し、このセンサ5で検出した半導体ウェハAより下流側にある半導体ウェハAが反応ガス噴射装置3の直下を通過開始した時点、あるいは通過終了した時点を知ることができる。
そして、半導体ウェハAが反応ガス噴射装置3の直下を通過開始した時点から通過終了した時点までの期間に、モータ4を制御して、図3の(a)又は(b)に示すような半導体ウェハAの搬送速度の速度制御を行う。図3の(a)と(b)はいずれも半導体ウェハAの搬送速度の時間変化を示すグラフである。すなわち、センサ5の検出により反応ガス噴射装置3の下に半導体ウェハAが差し掛かった時点から反応ガス噴射装置3の下から半導体ウェハAが抜ける予定の時点までの間に、搬送速度を検出前より漸次高めて(符号a)最高速度に達して(符号b)後、当該最高速度より漸次減速して(符号c)、元の速度に戻る速度制御を行う。
このような速度制御を行えば、薄膜の膜厚が厚くなる位置では半導体ウェハAの反応ガス噴射装置3下の通過速度を高速にし、薄くなる位置では低速にすることができるので、半導体ウェハA上の薄膜の膜厚を均一にすることができる。
センサ5は、直下を半導体ウェハAが通過していることを検出できるので、半導体ウェハAの検出開始、あるいは検出終了のタイミングから、半導体ウェハAの搬送方向においてセンサ5より下流にある反応ガス噴射装置3の直下を半導体ウェハAが通過開始した時点、あるいは通過終了した時点を知ることができる。本例では、等間隔に搬送ベルト2上に並べられた半導体ウェハAをセンサ5で検出し、このセンサ5で検出した半導体ウェハAより下流側にある半導体ウェハAが反応ガス噴射装置3の直下を通過開始した時点、あるいは通過終了した時点を知ることができる。
そして、半導体ウェハAが反応ガス噴射装置3の直下を通過開始した時点から通過終了した時点までの期間に、モータ4を制御して、図3の(a)又は(b)に示すような半導体ウェハAの搬送速度の速度制御を行う。図3の(a)と(b)はいずれも半導体ウェハAの搬送速度の時間変化を示すグラフである。すなわち、センサ5の検出により反応ガス噴射装置3の下に半導体ウェハAが差し掛かった時点から反応ガス噴射装置3の下から半導体ウェハAが抜ける予定の時点までの間に、搬送速度を検出前より漸次高めて(符号a)最高速度に達して(符号b)後、当該最高速度より漸次減速して(符号c)、元の速度に戻る速度制御を行う。
このような速度制御を行えば、薄膜の膜厚が厚くなる位置では半導体ウェハAの反応ガス噴射装置3下の通過速度を高速にし、薄くなる位置では低速にすることができるので、半導体ウェハA上の薄膜の膜厚を均一にすることができる。
1 CVD装置
2 搬送ベルト
3 反応ガス噴出装置
4 駆動源
5 センサ
2 搬送ベルト
3 反応ガス噴出装置
4 駆動源
5 センサ
Claims (2)
- 対象物に反応ガスを噴射して当該対象物の表面上に薄膜を形成するCVD装置において、
前記対象物を載置して搬送する搬送ベルトと、
前記搬送ベルトを駆動する駆動源と、
前記搬送ベルトの途上に設けられ前記対象物の表面上に反応ガスを噴射する反応ガス噴射装置と、
前記駆動源を制御して前記搬送の速度を制御する速度制御手段と、
前記搬送ベルト上の前記対象物を検出するセンサと、
を備え、
前記速度制御により前記対象物の表面上に形成される薄膜の膜厚を均一にすることを特徴とするCVD装置。 - 前記速度制御手段は、前記センサの検出により前記反応ガス噴射装置の下に前記対象物が差し掛かった時点から前記反応ガス噴射装置の下から前記対象物が抜ける予定の時点までの間に、前記速度を前記検出前より漸次高めて最高速度に達して後、当該最高速度より漸次減速する速度制御を行うことを特徴とする請求項1に記載のCVD装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005230153A JP2007046085A (ja) | 2005-08-08 | 2005-08-08 | Cvd装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005230153A JP2007046085A (ja) | 2005-08-08 | 2005-08-08 | Cvd装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2007046085A true JP2007046085A (ja) | 2007-02-22 |
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ID=37849165
Family Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2005230153A Pending JP2007046085A (ja) | 2005-08-08 | 2005-08-08 | Cvd装置 |
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JP (1) | JP2007046085A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7723826B2 (en) | 2007-09-26 | 2010-05-25 | Ricoh Company, Ltd. | Semiconductor wafer, semiconductor chip cut from the semiconductor wafer, and method of manufacturing semiconductor wafer |
US8116894B2 (en) | 2007-12-27 | 2012-02-14 | Ricoh Company, Ltd. | Chemical mechanical polishing method and chemical mechanical polishing device |
-
2005
- 2005-08-08 JP JP2005230153A patent/JP2007046085A/ja active Pending
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