JP2002246443A - 基板搬送制御方法及びその装置 - Google Patents
基板搬送制御方法及びその装置Info
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- JP2002246443A JP2002246443A JP2001040544A JP2001040544A JP2002246443A JP 2002246443 A JP2002246443 A JP 2002246443A JP 2001040544 A JP2001040544 A JP 2001040544A JP 2001040544 A JP2001040544 A JP 2001040544A JP 2002246443 A JP2002246443 A JP 2002246443A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】基板搬送の信頼性の向上を図るとともに、基板
のそり返り等により検知された基板保持力が閾値以下で
ある場合に、従来行われていた保持動作のやり直しやオ
ペレータコールなどによる無駄な作業を行うことなく、
基板保持力に適した搬送を行い作業時間の短縮を図るこ
と。 【解決手段】基板搬送制御装置は、基板保持機構２の基
板保持力を検出するための圧力センサ７と、この圧力セ
ンサ７の検出信号から求まる基板保持力に基づいて搬送
速度及び搬送加減速度を制御する制御回路８とを備え
る。
のそり返り等により検知された基板保持力が閾値以下で
ある場合に、従来行われていた保持動作のやり直しやオ
ペレータコールなどによる無駄な作業を行うことなく、
基板保持力に適した搬送を行い作業時間の短縮を図るこ
と。 【解決手段】基板搬送制御装置は、基板保持機構２の基
板保持力を検出するための圧力センサ７と、この圧力セ
ンサ７の検出信号から求まる基板保持力に基づいて搬送
速度及び搬送加減速度を制御する制御回路８とを備え
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、基板搬送制御方法
及びその装置、詳しくは、ガラス基板、ウエハ等基板を
保持する基板保持機構の搬送速度及び搬送加減速度を制
御する基板搬送制御方法及びその装置に関する。
及びその装置、詳しくは、ガラス基板、ウエハ等基板を
保持する基板保持機構の搬送速度及び搬送加減速度を制
御する基板搬送制御方法及びその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶デバイス製造工程、半導体デバイス
製造工程などでは、各種処理ステージ間などでガラス基
板、ウエハ等基板を搬送するにあたって、基板搬送ロボ
ットを用いている。
製造工程などでは、各種処理ステージ間などでガラス基
板、ウエハ等基板を搬送するにあたって、基板搬送ロボ
ットを用いている。
【０００３】基板搬送ロボットは、その基板保持機構で
基板を保持し、基板搬送機構を回転、直線運動等移動さ
せることによって基板を搬送するように構成されてい
る。
基板を保持し、基板搬送機構を回転、直線運動等移動さ
せることによって基板を搬送するように構成されてい
る。
【０００４】そして、基板搬送の際、基板保持機構の基
板保持力が不十分であると、基板保持機構の移動中に基
板が定位置からずれ、基板が処理ステージや基板収納カ
セット等と干渉することによって、基板搬送ロボットや
処理ステージ、基板収納カセット等が損傷する場合が発
生するため、その対策として、基板保持機構の基板保持
力が例えば真空ポンプによって付与される基板搬送ロボ
ットにおいては、空気通路に圧力センサを設け、このセ
ンサの検出圧力が閾値を超えている場合のみ基板保持機
構の移動を許容し、検出圧力が閾値以下の場合には基板
保持動作をやり直したり、オペレータを呼ぶなどしてい
た。
板保持力が不十分であると、基板保持機構の移動中に基
板が定位置からずれ、基板が処理ステージや基板収納カ
セット等と干渉することによって、基板搬送ロボットや
処理ステージ、基板収納カセット等が損傷する場合が発
生するため、その対策として、基板保持機構の基板保持
力が例えば真空ポンプによって付与される基板搬送ロボ
ットにおいては、空気通路に圧力センサを設け、このセ
ンサの検出圧力が閾値を超えている場合のみ基板保持機
構の移動を許容し、検出圧力が閾値以下の場合には基板
保持動作をやり直したり、オペレータを呼ぶなどしてい
た。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、検出圧
力が閾値以下となる場合には、基板の熱等によるそり返
りや基板保持機構の劣化が原因の場合もあり、このよう
な場合、本来搬送可能である。したがって、このような
場合に上記のようなリトライやオペレータコールを行う
ことは、無駄な作業時間となる。
力が閾値以下となる場合には、基板の熱等によるそり返
りや基板保持機構の劣化が原因の場合もあり、このよう
な場合、本来搬送可能である。したがって、このような
場合に上記のようなリトライやオペレータコールを行う
ことは、無駄な作業時間となる。
【０００６】本発明は、上記従来の問題点に着目し、基
板搬送の信頼性を高め、基板の定位置からのずれに起因
する基板搬送ロボット等の損傷を防止するとともに、基
板搬送にあたってリトライ、オペレータコールなどによ
る無駄な作業時間を招かないようにすることを目的とし
てなされたものである。
板搬送の信頼性を高め、基板の定位置からのずれに起因
する基板搬送ロボット等の損傷を防止するとともに、基
板搬送にあたってリトライ、オペレータコールなどによ
る無駄な作業時間を招かないようにすることを目的とし
てなされたものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の基板搬送制御方
法は、基板搬送ロボットの基板保持力を検知し、該検知
した基板保持力に基づいて前記基板搬送ロボットの搬送
速度及び搬送加減速度を制御することを特徴とする。
法は、基板搬送ロボットの基板保持力を検知し、該検知
した基板保持力に基づいて前記基板搬送ロボットの搬送
速度及び搬送加減速度を制御することを特徴とする。
【０００８】また、本発明の基板搬送制御装置は、基板
保持機構の搬送速度及び搬送加減速度を制御する基板搬
送制御装置であって、前記基板保持機構の基板保持力を
検出するためのセンサと、前記センサの検出信号から求
まる前記基板保持力に基づいて前記搬送速度及び搬送加
減速度を制御する制御回路とを備えることを特徴とす
る。
保持機構の搬送速度及び搬送加減速度を制御する基板搬
送制御装置であって、前記基板保持機構の基板保持力を
検出するためのセンサと、前記センサの検出信号から求
まる前記基板保持力に基づいて前記搬送速度及び搬送加
減速度を制御する制御回路とを備えることを特徴とす
る。
【０００９】ここで、前記基板保持力は、真空ポンプを
動力源とする真空吸着力であり、また、前記センサは、
前記真空吸着力を検出するための圧力センサである。
動力源とする真空吸着力であり、また、前記センサは、
前記真空吸着力を検出するための圧力センサである。
【００１０】また、前記制御回路は、前記基板保持機構
の動作異常を知らせる異常通知機能を有する。
の動作異常を知らせる異常通知機能を有する。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の基板搬送制御方法
及び基板搬送制御装置の一実施形態を図面に基づいて説
明する。
及び基板搬送制御装置の一実施形態を図面に基づいて説
明する。
【００１２】図１は、基板搬送制御装置の概略的な全体
構成図、図２は、その基板保持機構の平面図、図３は、
基板保持機構による基板保持力の説明図を示す。
構成図、図２は、その基板保持機構の平面図、図３は、
基板保持機構による基板保持力の説明図を示す。
【００１３】図１〜図３において、１は基板搬送ロボッ
トを表している。基板搬送ロボット１は、基板保持機構
２を備え、基板保持機構２は、ガラス基板、ウエハ等基
板３を保持可能に構成されている。本実施形態の基板保
持機構２は、真空ポンプ４を動力源とする真空吸着タイ
プであり、空気通路５を介して真空ポンプ４に接続され
た複数の吸着孔部６によって基板３を真空吸着する。基
板保持機構２は、モータ、ギヤ、タイミングベルト、プ
ーリー等の駆動機構（図示せず。）によって回転、直線
運動等移動が可能である。
トを表している。基板搬送ロボット１は、基板保持機構
２を備え、基板保持機構２は、ガラス基板、ウエハ等基
板３を保持可能に構成されている。本実施形態の基板保
持機構２は、真空ポンプ４を動力源とする真空吸着タイ
プであり、空気通路５を介して真空ポンプ４に接続され
た複数の吸着孔部６によって基板３を真空吸着する。基
板保持機構２は、モータ、ギヤ、タイミングベルト、プ
ーリー等の駆動機構（図示せず。）によって回転、直線
運動等移動が可能である。
【００１４】空気通路５には圧力センサ７が設けられて
いる。圧力センサ７は基板保持機構２の真空吸着力（基
板保持力）を検出するためのセンサであり、真空吸着力
の大きさに対応した検出信号を出力可能である。
いる。圧力センサ７は基板保持機構２の真空吸着力（基
板保持力）を検出するためのセンサであり、真空吸着力
の大きさに対応した検出信号を出力可能である。
【００１５】圧力センサ７には制御回路８が接続されて
いる。制御回路８は、圧力センサ７からの検出信号から
求まる基板保持力に基づいて基板搬送ロボット１の駆動
機構に制御信号を出力し、基板保持機構２の搬送速度及
び搬送加減速度を制御する。ここで、搬送速度及び搬送
加減速度は、それぞれ検出圧力の大きさに比例した値に
設定され、検出圧力が小さいときには小さな値に、そし
て検出圧力が大きいときには大きな値に設定される。し
たがって、検出圧力が最大値のとき換言すると基板保持
機構２に基板３が確実に保持されているときには、基板
３が基板保持機構２の定位置からずれるおそれは無く、
最大の搬送速度及び搬送加減速度で基板保持機構２が移
動し、短い搬送時間で搬送することができる。また、検
出圧力が比較的小さな値のとき、例えば、基板３に熱等
によるそり返りが発生しており基板３が基板保持機構２
に不十分な状態で保持されているときには、比較的小さ
な搬送速度及び搬送加減速度で基板保持機構２が移動
し、基板３を基板保持機構２の定位置からずれないで搬
送することが可能となる。
いる。制御回路８は、圧力センサ７からの検出信号から
求まる基板保持力に基づいて基板搬送ロボット１の駆動
機構に制御信号を出力し、基板保持機構２の搬送速度及
び搬送加減速度を制御する。ここで、搬送速度及び搬送
加減速度は、それぞれ検出圧力の大きさに比例した値に
設定され、検出圧力が小さいときには小さな値に、そし
て検出圧力が大きいときには大きな値に設定される。し
たがって、検出圧力が最大値のとき換言すると基板保持
機構２に基板３が確実に保持されているときには、基板
３が基板保持機構２の定位置からずれるおそれは無く、
最大の搬送速度及び搬送加減速度で基板保持機構２が移
動し、短い搬送時間で搬送することができる。また、検
出圧力が比較的小さな値のとき、例えば、基板３に熱等
によるそり返りが発生しており基板３が基板保持機構２
に不十分な状態で保持されているときには、比較的小さ
な搬送速度及び搬送加減速度で基板保持機構２が移動
し、基板３を基板保持機構２の定位置からずれないで搬
送することが可能となる。
【００１６】制御回路８は、さらに次のような付加機能
を有する。すなわち、検出圧力の長期的経時変化から、
基板保持機構２の摩耗等の動作異常を検知し、オペレー
タコールを行うようにする。これにより、将来発生し得
る基板搬送ロボット１の異常動作を未然に防止すること
ができるとともに、基板保持機構２のメンテナンスを早
期に行うことが可能となる。
を有する。すなわち、検出圧力の長期的経時変化から、
基板保持機構２の摩耗等の動作異常を検知し、オペレー
タコールを行うようにする。これにより、将来発生し得
る基板搬送ロボット１の異常動作を未然に防止すること
ができるとともに、基板保持機構２のメンテナンスを早
期に行うことが可能となる。
【００１７】以上説明したように、本実施形態の基板搬
送制御方法は、基板搬送ロボット１の基板保持力を検知
し、該検知した基板保持力に基づいて基板搬送ロボット
１の搬送速度及び搬送加減速度を制御する。このため、
基板３のそり返り等により検知された基板保持力が閾値
以下である場合に、従来行われていた保持動作のやり直
しやオペレータコールなどによる無駄な作業を行うこと
なく、基板保持力に適した搬送を行うことが可能とな
り、作業時間の短縮を図ることができる。
送制御方法は、基板搬送ロボット１の基板保持力を検知
し、該検知した基板保持力に基づいて基板搬送ロボット
１の搬送速度及び搬送加減速度を制御する。このため、
基板３のそり返り等により検知された基板保持力が閾値
以下である場合に、従来行われていた保持動作のやり直
しやオペレータコールなどによる無駄な作業を行うこと
なく、基板保持力に適した搬送を行うことが可能とな
り、作業時間の短縮を図ることができる。
【００１８】また、本実施形態の基板搬送制御装置は、
基板保持機構２の搬送速度及び搬送加減速度を制御する
基板搬送制御装置であって、基板保持機構２の基板保持
力を検出するためのセンサ（圧力センサ）７と、センサ
７の検出信号から求まる基板保持力に基づいて搬送速度
及び搬送加減速度を制御する制御回路８とを備える。こ
のため、上記基板搬送方法と同様、基板保持力に適した
搬送を行うことにより基板搬送の信頼性が向上し搬送中
の基板のズレに起因する基板搬送ロボット等の損傷を防
止することができる。
基板保持機構２の搬送速度及び搬送加減速度を制御する
基板搬送制御装置であって、基板保持機構２の基板保持
力を検出するためのセンサ（圧力センサ）７と、センサ
７の検出信号から求まる基板保持力に基づいて搬送速度
及び搬送加減速度を制御する制御回路８とを備える。こ
のため、上記基板搬送方法と同様、基板保持力に適した
搬送を行うことにより基板搬送の信頼性が向上し搬送中
の基板のズレに起因する基板搬送ロボット等の損傷を防
止することができる。
【００１９】また、制御回路８は、基板保持機構２の動
作異常を知らせる異常通知機能を有するため、早期メン
テナンスを図ることが可能になる。
作異常を知らせる異常通知機能を有するため、早期メン
テナンスを図ることが可能になる。
【００２０】なお、基板保持力は、上記のような真空吸
着力に限定されるものではなく、他に、機械的な把持力
や静電力などを含むものである。
着力に限定されるものではなく、他に、機械的な把持力
や静電力などを含むものである。
【００２１】
【発明の効果】本発明によると、基板搬送の信頼性が向
上し、搬送中の基板のずれに起因する基板搬送ロボット
等の損傷を防止することができるとともに、基板のそり
返り等により検知された基板保持力が閾値以下である場
合に、従来行われていた保持動作のやり直しやオペレー
タコールなどによる無駄な作業を行うことなく、基板保
持力に適した搬送を行うことが可能となり、作業時間の
短縮を図ることができる。
上し、搬送中の基板のずれに起因する基板搬送ロボット
等の損傷を防止することができるとともに、基板のそり
返り等により検知された基板保持力が閾値以下である場
合に、従来行われていた保持動作のやり直しやオペレー
タコールなどによる無駄な作業を行うことなく、基板保
持力に適した搬送を行うことが可能となり、作業時間の
短縮を図ることができる。
【図１】本発明の一実施形態に係る基板搬送制御装置の
概略的な全体構成図である。
概略的な全体構成図である。
【図２】基板搬送制御装置の基板保持機構の平面図であ
る。
る。
【図３】基板保持機構による基板保持力の説明図であ
る。
る。
１ 基板搬送ロボット ２ 基板保持機構 ３ 基板 ７ センサ（圧力センサ） ８ 制御回路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ６５Ｇ 49/06 Ｂ６５Ｇ 49/06 Ａ 49/07 49/07 Ｇ (72)発明者 内田 昌義 愛知県尾西市北今字定納28番地 アシスト ジャパン株式会社内 (72)発明者 桂 寛 愛知県尾西市北今字定納28番地 アシスト ジャパン株式会社内 (72)発明者 吉田 純 愛知県尾西市北今字定納28番地 アシスト ジャパン株式会社内 Ｆターム(参考） 3C007 AS01 AS24 BS15 CV07 CW07 DS01 ES17 FS01 FT11 FU04 HT02 KS30 KV15 KW04 LU02 MT09 NS09 NS13 5F031 CA02 CA05 FA01 FA02 GA24 GA43 JA45 JA47 JA51 PA02 PA06 PA10 PA13
Claims (4)
- 【請求項１】 基板搬送ロボットの基板保持力を検知
し、該検知した基板保持力に基づいて前記基板搬送ロボ
ットの搬送速度及び搬送加減速度を制御することを特徴
とする基板搬送制御方法。 - 【請求項２】 基板保持機構の搬送速度及び搬送加減速
度を制御する基板搬送制御装置であって、 前記基板保持機構の基板保持力を検出するためのセンサ
と、 前記センサの検出信号から求まる前記基板保持力に基づ
いて前記搬送速度及び搬送加減速度を制御する制御回路
とを備えることを特徴とする基板搬送制御装置。 - 【請求項３】 前記基板保持力は、真空ポンプを動力源
とする真空吸着力であり、また、前記センサは、前記真
空吸着力を検出するための圧力センサであることを特徴
とする請求項２記載の基板搬送制御装置。 - 【請求項４】 前記制御回路は、前記基板保持機構の動
作異常を知らせる異常通知機能を有することを特徴とす
る請求項２又は３記載の基板搬送制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001040544A JP2002246443A (ja) | 2001-02-16 | 2001-02-16 | 基板搬送制御方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001040544A JP2002246443A (ja) | 2001-02-16 | 2001-02-16 | 基板搬送制御方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002246443A true JP2002246443A (ja) | 2002-08-30 |
Family
ID=18903132
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001040544A Pending JP2002246443A (ja) | 2001-02-16 | 2001-02-16 | 基板搬送制御方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002246443A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006024683A (ja) * | 2004-07-07 | 2006-01-26 | Nikon Corp | 搬送装置、露光装置、及び搬送方法 |
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| KR100881994B1 (ko) * | 2007-09-18 | 2009-02-05 | 세메스 주식회사 | 기판 감지 장치 및 이를 구비하는 기판 이송 로봇 |
| JP2013038327A (ja) * | 2011-08-10 | 2013-02-21 | Fujitsu Semiconductor Ltd | 基板搬送装置、半導体製造装置、及び基板搬送方法 |
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| WO2017104648A1 (ja) * | 2015-12-14 | 2017-06-22 | 川崎重工業株式会社 | 基板搬送ロボットおよびその運転方法 |
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| WO2023089726A1 (ja) * | 2021-11-18 | 2023-05-25 | 株式会社Fuji | ワーク自動搬送機 |
-
2001
- 2001-02-16 JP JP2001040544A patent/JP2002246443A/ja active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20040916 |
|
| RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20040916 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20041117 |
|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20041117 |