TWI756449B - 移載設備 - Google Patents

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TWI756449B
TWI756449B TW107125001A TW107125001A TWI756449B TW I756449 B TWI756449 B TW I756449B TW 107125001 A TW107125001 A TW 107125001A TW 107125001 A TW107125001 A TW 107125001A TW I756449 B TWI756449 B TW I756449B
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坂田史
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日商大福股份有限公司
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Abstract

本發明是一種移載設備10，用在叉單元40與移載機20之間進行卡匣90的移載，所述移載設備10包括進行叉單元40的載置面41a上的卡匣90的位置限制的推進器25，叉單元40在其載置面41a上包括浮動單元50，浮動單元50是對包括物品載置支撐用的支撐部51的活動部52以相對於固定部53而在水平方向上移動自如的方式進行承接支撐的結構，卡匣90支撐於物品載置支撐用的支撐部51，藉由使活動部52相對於固定部53而能夠在水平方向上移動，且利用推進器25進行卡匣90的位置限制，從而進行卡匣90的定位。

Description

移載設備
本發明是有關於一種在第1移載機與第2移載機之間進行物品的移載的移載設備，所述第1移載機對物品進行載置並使物品在水平方向上進行進退移動，所述第2移載機對物品的上部進行支撐並使物品在鉛垂方向上進行昇降移動。
作為所述移載設備，例如，存在將收容有基板的卡匣(cassette)(物品)移載至作為處理裝置的腔室的設備(例如，參照專利文獻1)。在專利文獻1的移載設備中，由卡匣搬送單元(第1移載機)將利用搬送台車單元搬送的卡匣搬入至設備內，並由卡匣移載單元(第2移載機)將利用卡匣搬送單元搬入的卡匣搬入至腔室。或者由卡匣移載單元搬出被搬入至腔室的卡匣，並由卡匣搬送單元將卡匣移載單元所搬送的卡匣移載至搬送台車單元。
卡匣搬送單元自搬送台車單元移載的卡匣在由卡匣移載單元搬入至腔室之前，被載置於設置在腔室的上方的接載台。同樣地，卡匣移載單元自腔室搬出的卡匣在由卡匣搬送單元移載至搬送台車單元之前，被載置於接載台。
卡匣移載單元對卡匣自上方進行握持並使其進行昇降移動，藉此將載置於接載台的卡匣搬入至腔室，或將自腔室搬出的卡匣 搬入至接載台。
[現有技術文獻]
[專利文獻]
[專利文獻1]韓國註冊專利第10-1511963號公報
然而，在如所述般的移載設備中，當在卡匣搬送單元(第1移載機)與卡匣移載單元(第2移載機)之間對卡匣(物品)進行移載時，在移載過程中，需要將卡匣(物品)暫且載置於接載台的動作。進而，當卡匣移載單元(第2移載機)握持卡匣(物品)並使其進行昇降移動時，卡匣(物品)與接載台產生干擾，因此為了避免與接載台的干擾，需要使卡匣(物品)回旋等動作。因此，存在卡匣搬送單元(第1移載機)與卡匣移載單元(第2移載機)之間的卡匣(物品)的移載耗費時間的問題。
因此，本發明的目的在於提供一種能夠效率良好地進行第1移載機與第2移載機之間的物品的移載的移載設備，所述第1移載機對物品進行載置並使物品在水平方向上進行進退移動，所述第2移載機對物品的上部進行支撐並使物品在鉛垂方向上進行昇降移動。
本發明所欲解決的課題為以上所述，接著對用以解決該課題的手段進行說明。
即，本發明的移載設備是在第1移載機與第2移載機之間進行物品的移載的移載設備，所述第1移載機對物品進行載置並使物品在水平方向上進行進退移動，所述第2移載機對物品的上部進行支撐並使物品在鉛垂方向上進行昇降移動，所述移載設備包括與載置於所述第1移載機的載置面上的物品的側面抵接來進行所述載置面上的所述物品的位置限制的位置限制裝置，所述第1移載機在其載置面上包括浮動單元(floating unit)，所述浮動單元的活動部是以相對於固定部而在水平方向上移動自如的方式進行承接支撐的結構，所述活動部包括所述物品載置支撐用的支撐部，所述物品支撐於所述物品載置支撐用的支撐部，藉由使所述活動部相對於所述固定部而能夠在水平方向上移動，且利用所述位置限制裝置進行所述物品的位置限制，從而在所述載置面上進行所述物品相對於所述第2移載機的昇降位置的定位。
在所述構成中，載置於第1移載機的載置面上的所述物品被定位於第2移載機的昇降位置。
關於本發明的移載設備，所述移載設備中包括進行所述第1移載機相對於所述第2移載機的昇降位置的定位的定位部件。
在所述構成中，第1移載機被定位於第2移載機的昇降位置。
關於本發明的移載設備，在所述移載設備中，所述物品是在其上部形成有卡止於所述第2移載機的卡止部的大致箱型形狀的物品，且所述卡止部形成為鉤狀。
在所述構成中，具有鉤狀的卡止部的大致箱型形狀的物品在 第1移載機與第2移載機之間移載。
根據本發明的移載設備，可不經由接載台而直接進行第1移載機與第2移載機之間的物品的移載，故不需要在移載過程中將物品載置於接載台的動作及在利用第2移載機的物品的昇降移動時使物品回旋等動作。因此，可效率良好地進行第1移載機與第2移載機之間的物品的移載。
10:移載設備
11:卡匣搬出搬入位置
14:卡匣搬出口
20:移載機(第2移載機)
21:昇降機構
22:第1昇降部
22A:支撐框
22B:滾珠螺桿
22C:第1馬達
22a:腳部
22b:支撐部
22d:螺桿軸
22e:螺母
23:第2昇降部
23A:引導體
23B:驅動帶
23C:第2馬達
24:卡止機構
24A:卡止部
25:推進器(位置限制裝置)
25A:推進器主體
25B:臂部
26:定位引導輥
40:叉單元(第1移載機)
41:叉
41a:載置面
41b:輥嵌合部
42:伸縮式臂
43:回旋台
45:搬出搬入位置
50:浮動單元
51:支撐部
52:活動部
53:固定部
54:轉動構件
55:保持件
56:轉動式支撐體
57a:固定部側接觸面形成構件
57b:活動部側接觸面形成構件
58a:電磁鐵
58b:強磁性體
59:螺旋彈簧
59a:彈簧支撐件
80:蒸鍍裝置
81:裝置筐體
82:卡匣搬入口
83:裝載埠
85:台車移行軌道
86:搬送台車
90:卡匣
90A:角部
91:基板
92:凸緣部
95:緩衝台
96:載置台
KF:位置固定部件
SF:支撐體恢復部件
圖1是本發明的移載設備的平面圖。
圖2是本發明的移載設備的正面圖。
圖3是本發明的移載設備中的浮動單元的側面剖面圖。
圖4是表示本發明的移載設備中的叉單元自搬送台車搬出卡匣時的概略的側面剖面圖。
圖5A是表示本發明的移載設備中的叉單元將卡匣搬入至移載設備時的概略的側面圖。
圖5B是表示本發明的移載設備中的叉單元將卡匣搬入至移載設備時的概略的平面圖。
圖6是表示本發明的移載設備中的叉單元將卡匣搬入至移載設備時的概略的側面剖面圖。
圖7A是表示本發明的移載設備中的移載機自叉單元搬出卡匣時的概略的側面圖。
圖7B是表示本發明的移載設備中的移載機自叉單元搬出卡匣時的概略的平面圖。
圖8是表示本發明的移載設備中的移載機將卡匣移載至蒸鍍裝置的裝載埠(load port)時的概略的正面剖面圖。
對本發明的移載設備10進行說明。
如圖1及圖2所示，移載設備10是附設於蒸鍍裝置80的設備，所述蒸鍍裝置80對作為半導體製品或液晶顯示元件製品的半成品的基板91進行蒸鍍處理。移載設備10將收容有板狀體的基板91的卡匣90(「物品」的一例)移載至蒸鍍裝置80的裝載埠83。在移載設備10中，搬入至移載設備10的卡匣90被移載至蒸鍍裝置80的裝載埠83，並且自蒸鍍裝置80的裝載埠83搬出的卡匣90被搬出至移載設備10的外部。
在移載設備10中搬送的卡匣90由其中一側面或兩側面開口的大致箱型形狀的構件所形成。卡匣90構成為能夠在其內部收容多個基板91。卡匣90在其上部形成有多個卡止於後述的移載機20的凸緣部92(「卡止部」的一例)。凸緣部92由自卡匣90的上表面突出設置的鉤狀的構件所構成。凸緣部92設置於卡匣90的上表面的多個部位。
移載設備10附設於蒸鍍裝置80的上方。附設有移載設備10的蒸鍍裝置80的裝置整體由裝置筐體81覆蓋。裝置筐體81在其內部具有能夠容納蒸鍍裝置80的內部空間。裝置筐體81在 其上部形成有用以將卡匣90搬送至內部的卡匣搬入口82。
裝置筐體81在其內部空間內設置有用以載置卡匣90的裝載埠83。具體而言，裝載埠83設置在卡匣搬入口82的正下方(後述的移載機20的正下方，且利用移載機20進行昇降的卡匣90的昇降路徑上)。
在移載設備10的側方且蒸鍍裝置80的上方設置有相對於移載設備10搬送卡匣90的叉單元40(「第1移載機」的一例)。即，卡匣90自蒸鍍裝置80的上方且移載設備10的側方被搬入或搬出。
如圖1所示，叉單元40對卡匣90進行載置並使其在水平方向上進行進退移動。叉單元40自沿著台車移行軌道85移行的搬送台車86搬出卡匣90，並將所搬出的卡匣90搬入至移載設備10。另外，叉單元40自移載設備10搬出卡匣90，並將所搬出的卡匣90移載至搬送台車86。
叉單元40主要包括：叉41，在其上表面具有用以載置卡匣90的載置面41a；伸縮式臂42，用以使叉41在水平方向上進行進退移動；以及回旋台43，使伸縮式臂42回旋。
叉41由能夠載置並移載卡匣90的大致長方形形狀的板所構成。藉由使伸縮式臂42伸縮，叉41相對於搬送台車86或移載設備10(移載機20)進行進退移動。
伸縮式臂42藉由使一對臂伸長來使叉41水平移動至用以相對於搬送台車86進行卡匣90的搬出或搬入的搬出搬入位置45、 或用以相對於移載機20進行卡匣90的搬出或搬入的卡匣搬出搬入位置11。
如圖1、圖5A及圖5B所示，叉41在載置面41a上設置有浮動單元50。浮動單元50用以對載置於載置面41a上的卡匣90以在水平方向全方位上移動自如的方式進行承接支撐。浮動單元50在叉41的寬度方向(與叉41的進退方向水平地正交的方向)的兩端側以沿著叉41的長邊方向(叉的進退方向)排列有多個(在圖1、圖5A及圖5B中，每端側各2個，合計為4個)的狀態配置於載置面41a上。
如圖3所示，浮動單元50被收納於構成叉41的框體的內部。浮動單元50具有以下的結構，活動部52以相對於固定部53在水平方向上移動自如的方式進行承接支撐，所述活動部52具備用以載置並支撐卡匣90的支撐部51。浮動單元50的活動部52藉由轉動式支撐體56以相對於固定部53在水平方向的全方位上移動自如且俯視時旋轉自如的方式進行承接支撐，所述活動部52具備物品載置支撐用的支撐部51，所述轉動式支撐體56在將多個轉動構件54由保持件55保持為旋轉自如的狀態下具備多個轉動構件54。
轉動式支撐體56設置為：在使多個轉動構件54位於固定部側接觸面形成構件57a與活動部側接觸面形成構件57b之間的狀態下，相對於活動部52及固定部53在水平方向的全方位上移動自如，所述固定部側接觸面形成構件57a是以朝上的狀態配備於固定部53的平坦狀構件，所述活動部側接觸面形成構件57b是以 朝下的狀態配備於活動部52的平坦狀構件。
浮動單元50具有：位置固定部件KF，將活動部52相對於固定部53在水平方向上進行位置固定；以及支撐體恢復部件SF，使轉動式支撐體56相對於固定部53移動恢復至水平方向上的基準位置。
位置固定部件KF是利用電磁鐵58a的磁吸引力對活動部52相對於固定部53的水平位置進行固定的固定部件。位置固定部件KF藉由利用磁力使固定部53側的電磁鐵58a與活動部52側的強磁性體58b接著，從而使活動部52的俯視時的位置固定。
支撐體恢復機構SF是利用螺旋彈簧59的彈性施加力的彈性施力式的恢復部件。支撐體恢復部件SF中，在圓環狀的轉動式支撐體56的徑向外方側在周向上隔開同等間隔而設置多個按壓操作式螺旋彈簧59，利用以位置固定狀態設置於固定部53的彈簧支撐件59a來承接螺旋彈簧59的徑向外方側，而對轉動式支撐體56朝徑向內方側進行按壓操作，藉此使轉動式支撐體56移動恢復至基準位置。
如圖2及圖4所示，叉41在其長邊方向的端部(叉41的伸長方向的頂端部)形成有嵌合於後述的定位引導輥26的輥嵌合部41b。輥嵌合部41b為沿著叉41的寬度方向形成的側視時呈凹狀的長條狀的構件。輥嵌合部41b以凹狀部分朝向下方的狀態形成。
如圖1所示，在叉單元40的兩側設置有用以對卡匣90 進行暫時保管的緩衝台95。在緩衝台95上設置有用以載置卡匣90的載置台96。
如圖1及圖2所示，移載設備10在其下部設置有用以相對於蒸鍍裝置80的裝載埠83搬出卡匣90的卡匣搬出口14。卡匣搬出口14與裝置筐體81的卡匣搬入口82連通地設置。
移載設備10包括：作為移載設備10中的卡匣90的搬送部的移載機20(「第2移載機」的一例)、進行載置於叉單元40的叉41的載置面41a上的卡匣90的位置限制的推進器25(「位置限制裝置」的一例)、以及進行叉單元40的叉41相對於移載機20的昇降位置的定位的定位引導輥26(「定位部件」的一例)。
如圖2所示，移載機20相對於叉單元40的叉41搬出或搬入卡匣90，並使搬出或搬入的卡匣90在叉41與蒸鍍裝置80的裝載埠83之間進行昇降移動。即，在移載設備10中，並不將利用叉單元40搬送的卡匣90暫且載置於接載台等，而是由移載機20直接自叉單元40搬出，並且並不將自蒸鍍裝置80的裝載埠83搬出的卡匣90暫且載置於接載台等，而是由移載機20直接對叉單元40進行搬入。
移載機20設置於蒸鍍裝置80的裝載埠83的上方，且配置於俯視時與蒸鍍裝置80的裝載埠83重疊的位置。移載機20自叉41搬出被搬送至卡匣搬出搬入位置11的卡匣90，或對移動至卡匣搬出搬入位置11的叉41搬入卡匣90。移載機20藉由在蒸鍍裝置80的上方將卡匣90的上部卡止並使其在鉛垂方向上進行昇降移 動，來搬送卡匣90。移載機20主要包括：昇降機構21，用以使卡匣90進行昇降移動；以及卡止機構24，用以將卡匣90的上部卡止。
昇降機構21利用支撐框22A對卡止機構24以懸掛的狀態進行支撐。昇降機構21包括：第1昇降部22，使卡止機構24(卡匣90)進行昇降移動；以及第2昇降部23，使第1昇降部22及卡止機構24(卡匣90)進行昇降移動。即，昇降機構21藉由兩階段的昇降移動使卡匣90昇降。
第1昇降部22主要包括：支撐框22A，懸掛並支撐卡止機構24；滾珠螺桿22B，用以使支撐框22A昇降；以及第1馬達22C，使滾珠螺桿22B的螺桿軸22d轉動。
支撐框22A是形成為正視時呈倒U字狀的框材。支撐框22A中，在設置於其兩端的一對腳部22a將螺桿軸22d支撐為能夠轉動，在架設於一對腳部22a的支撐部22b對卡止機構24以懸掛的狀態進行支撐。滾珠螺桿22B中，螺桿軸22d支撐於支撐框22A，並且螺母22e支撐於第2昇降部23。第1馬達22C設置於支撐框22A的兩端上部。
第1昇降部22利用第1馬達22C的驅動使螺桿軸22d轉動，藉此使螺桿軸22d相對於支撐於第2昇降部23的螺母22e昇降。藉此，將螺桿軸22d支撐為能夠轉動的支撐框22A昇降，藉由該昇降而卡止機構24(卡匣90)進行昇降移動。第1昇降部22利用螺桿軸22d的轉動來使卡止機構24(卡匣90)進行昇降移動， 因此可容易地進行卡匣90相對於蒸鍍裝置80的裝載埠83的精細的對位。
第2昇降部23主要包括：引導體23A，將滾珠螺桿22B的螺母22e引導為能夠昇降；驅動帶23B，使螺母22e進行昇降移動；以及第2馬達23C，用以使驅動帶23B轉動。
引導體23A由一對長條狀的構件所構成。驅動帶23B能夠轉動地架設於引導體23A的上端部與下端部之間。第2馬達23C設置於引導體23A的下端部。
第2昇降部23藉由使第2馬達23C驅動來使驅動帶23B轉動而使滾珠螺桿22B的螺母22e進行昇降移動。藉此，支撐螺母22e的支撐框22A(螺桿軸22d)昇降，藉由該昇降而卡止機構24(卡匣90)進行昇降移動。第2昇降部23在鉛垂方向上延伸設置的長條狀的一對引導體23A之間使支撐框22A進行昇降移動，藉此進行卡匣90相對於蒸鍍裝置80的裝載埠83的大致的對位。
如此，昇降機構21利用第2昇降部23使卡匣90下降至相對於蒸鍍裝置80的裝載埠83而言的大致的位置，繼而利用第1昇降部22使卡匣90下降至接近蒸鍍裝置80的裝載埠83的位置，藉此能夠進行卡匣90相對於蒸鍍裝置80的裝載埠83的對位。
如圖1及圖2所示，卡止機構24由第1昇降部22的支撐框22A(支撐部22b)支撐，並且將卡匣90的上部的凸緣部92卡止。卡止機構24具有卡止部24A，用以在卡匣90的卡止時在與卡匣90對向側將卡匣90的凸緣部92卡止。卡止部24A在與卡 匣90的凸緣部92對應的位置設置有多個(在圖1中為4個)。卡止部24A由能夠卡止於凸緣部92的鉤狀的構件所形成。卡止部24A構成為該鉤狀的構件能夠在規定方向上回旋。卡止機構24藉由卡止部24A將凸緣部92卡止來對卡匣90以懸掛狀態進行支撐。
如圖1及圖7B所示，推進器25進行載置於叉單元40的叉41的載置面41a上的卡匣90的位置限制。推進器25與載置於叉41的卡匣90的角部90A(下方角部的側面)抵接，藉此來限制叉41上的卡匣90的位置。推進器25配置於與成對的推進器25一起夾住被搬送至卡匣搬出搬入位置11的卡匣90而成的卡匣90的對角位置附近。推進器25包括：推進器主體25A、以及支撐於推進器主體25A且能夠在水平方向上進行進退移動的臂部25B。臂部25B構成為能夠抵接於卡匣90的角部90A(下方角部的側面)。推進器25使臂部25B以與成對的推進器25的臂部25B一起自叉41上的卡匣90的對角位置夾入的方式抵接於卡匣90的角部90A(下方角部的側面)，藉此將叉41上的卡匣90的位置限制在規定的位置。此處，所謂規定的位置，是指移載機20能夠以保持叉41上的卡匣90的姿勢之狀態進行卡止並昇降的位置(卡匣搬出搬入位置11)。當移載機20相對於叉41搬出或搬入卡匣90時，臂部25B朝向卡匣90進行伸長移動，藉此抵接於卡匣90的角部90A(下方角部的側面)。當利用移載機20使卡匣90昇降時，臂部25B以遠離卡匣90的方式進行收縮移動，藉此朝避開卡匣90的昇降路徑的方向進行移動。
如圖2、圖7A及圖7B所示，定位引導輥26是相對於叉單元40的叉41的進退移動方向在水平方向正交地設置的長條狀的輥。定位引導輥26設置在當叉41移動至卡匣搬出搬入位置11時能夠嵌合叉41的輥嵌合部41b的位置。藉由移動至卡匣搬出搬入位置11的叉41的輥嵌合部41b嵌合於定位引導輥26，可將叉41定位在移載機20相對於叉41進行卡匣90的搬出或搬入的位置(卡匣搬出搬入位置11)。定位引導輥26由與輥嵌合部41b的凹狀部分的形狀相應的輥徑所構成。定位引導輥26經由被支撐為可轉動的轉動軸而轉動。藉由定位引導輥26構成為經由轉動軸而能夠轉動，朝向定位引導輥26移動的輥嵌合部41b容易引入並嵌合於定位引導輥26。
接著，對移載設備10中的卡匣90的移載方法進行說明。
如圖4所示，當利用搬送台車86將卡匣90搬送至規定的位置時，叉單元40使伸縮式臂42伸長來使叉41相對於搬送台車86進行水平移動，藉此將搬送台車86上的卡匣90載置並支撐於叉41上。當卡匣90被載置於叉41上時，浮動單元50運轉(活動部52相對於固定部53而無法在水平方向上移動)而成為卡匣90無法在叉41上移動的狀態。
如圖5A、圖5B及圖6所示，當浮動單元50運轉時，叉單元40在將卡匣90載置於叉41的狀態下使伸縮式臂42彎曲並使叉41回旋。進而，叉單元40使伸縮式臂42伸長，並使叉41水平移動至移載設備10的卡匣搬出搬入位置11。藉此，卡匣90被搬送 至卡匣搬出搬入位置11。
如圖6、圖7A及圖7B所示，當卡匣90被搬送至卡匣搬出搬入位置11時，叉41下降，並且叉41的輥嵌合部41b嵌合於定位引導輥26。藉此，叉41被定位在卡匣搬出搬入位置11。當叉41被定位在卡匣搬出搬入位置11時，浮動單元50的運轉被解除(活動部52相對於固定部53而能夠在水平方向上移動)而成為卡匣90能夠在叉41上移動的狀態。繼而，推進器25的臂部25B朝向卡匣90進行伸長移動而抵接於卡匣90的角部90A。藉此，成為卡匣90的其中一對對角由一對臂部25B夾持的狀態。
推進器25藉由使一對臂部25B相互伸縮移動來使卡匣90朝四方移動。而且，推進器25使卡匣90移動至移載機20的卡止部24A(卡止機構24)能夠卡止卡匣90的凸緣部92的位置(卡匣搬出搬入位置11)。即，推進器25藉由使卡匣90朝四方移動來進行卡匣90相對於移載機20的昇降位置的定位。當利用推進器25的卡匣90的定位完成時，浮動單元50運轉(活動部52相對於固定部53而無法在水平方向上移動)而成為卡匣90無法在叉41上移動的狀態。藉此，卡匣90在卡匣搬出搬入位置11得到保持。
當卡匣90在卡匣搬出搬入位置11得到保持時，移載機20的第2昇降部23驅動，移載機20的卡止機構24下降至卡匣90的上方位置。而且，卡止機構24的卡止部24A在規定方向上回旋，藉此卡匣90的凸緣部92由卡止部24A卡止。當凸緣部92卡止於卡止部24A時，浮動單元50的運轉被解除(活動部52相 對於固定部53而能夠在水平方向上移動)。藉此，成為卡匣90能夠利用移載機20進行昇降移動的狀態。
當浮動單元50的運轉被解除時，叉單元40使伸縮式臂42彎曲來使叉41水平移動至遠離卡匣搬出搬入位置11的位置。另外，推進器25使臂部25B朝遠離卡匣90的方向(避開卡匣90的昇降路徑的方向)進行收縮移動。
當叉41及臂部25B移動至遠離卡匣搬出搬入位置11的位置時，移載機20的第2昇降部23驅動，卡止卡匣90的卡止機構24朝向蒸鍍裝置80的裝載埠83下降。具體而言，第2馬達23C進行驅動藉此驅動帶23B運轉，藉由驅動帶23B運轉而滾珠螺桿22B的螺母22e沿著引導體23A下降。而且，支撐螺母22e的支撐框22A(螺桿軸22d)下降，藉由該下降而卡止機構24(卡匣90)下降至規定位置。
如圖8所示，當卡止機構24下降至規定位置時，第2昇降部23的驅動停止，第1昇降部22驅動。藉此，卡止於卡止機構24的卡匣90被移載至蒸鍍裝置80的裝載埠83。具體而言，第2馬達23C的驅動停止，藉此第1馬達22C驅動而滾珠螺桿22B的螺桿軸22d轉動。藉此，支撐螺桿軸22d的支撐框22A下降，藉由該下降而卡止機構24(卡匣90)下降。
另一方面，當在蒸鍍裝置80中對基板91的處理完成時，卡止機構24的卡止部24A對卡匣90的凸緣部92進行卡止。而且，第1馬達22C驅動而滾珠螺桿22B的螺桿軸22d轉動。藉 此，支撐框22A上昇，與該上昇相應地卡止機構24上昇，從而將卡匣90自裝載埠83搬出。當卡止機構24上昇至規定位置時，第1馬達22C的驅動停止，第2馬達23C驅動。藉此，驅動帶23B運轉，藉由驅動帶23B運轉而滾珠螺桿22B的螺母22e沿著引導體23A上昇。而且，支撐螺母22e的支撐框22A(螺桿軸22d)上昇，藉由該上昇而卡止機構24(卡匣90)上昇。
當卡止於卡止機構24的卡匣90上昇至卡匣搬出搬入位置11時，叉單元40使叉41水平移動至卡匣搬出搬入位置11。此時，輥嵌合部41b嵌合於定位引導輥26。
當叉41水平移動至卡匣搬出搬入位置11時，第2馬達23C驅動而卡止機構24下降。藉此，卡匣90下降並被載置於叉41。當卡匣90被載置於叉41時，卡止機構24的卡止部24A在規定方向上回旋，藉此卡止部24A對凸緣部92的卡止解除。當卡止部24A對凸緣部92的卡止解除時，叉單元40在載置有卡匣90的狀態下使叉41上昇並解除輥嵌合部41b與定位引導輥26的嵌合，且使伸縮式臂42彎折，並且使載置有卡匣90的叉41回旋。進而，叉單元40使伸縮式臂42伸長來使叉41水平移動至搬送台車86，並將叉41上的卡匣90移載至搬送台車86。
如上所述，本發明的移載設備10可不經由接載台而直接進行叉單元40與移載機20之間的卡匣90的移載，故不需要在移載過程中將卡匣90載置於接載台的動作及在利用移載機20的卡匣90的昇降移動時使卡匣90回旋等動作。因此，可效率良好 地進行叉單元40與移載機20之間的卡匣90的移載。另外，因不需要接載台，故即使移載設備10由設備筐體覆蓋亦可進行卡匣90的移載。
再者，在本實施形態中，在移載設備10中移載的物品並不限定於卡匣90，只要是能夠在叉單元40與移載機20之間進行移載的物品即可。
在本實施形態中，在移載機20的卡止部24A卡止卡匣90的上部的鉤狀的凸緣部92的狀態下，移載機20使卡匣90進行昇降移動，但並不限定於此，例如，移載機20亦可在握持卡匣90的側面的狀態下使卡匣90進行昇降移動。
在本實施形態中，移載機20藉由利用第1昇降部22與第2昇降部23的兩階段的昇降移動而使卡匣90昇降，但並不限定於此，亦可僅藉由第1昇降部22或第2昇降部23的任一者、即一階段的昇降移動來使卡匣90昇降。另外，第1昇降部22使用滾珠螺桿22B來進行卡匣90的昇降，但並不限定於此，亦可藉由捲繞及捲出安裝於卡止機構24的昇降帶來進行卡匣90的昇降。
在本實施形態中，浮動單元50在叉41的寬度方向的兩端部以沿著叉41的長邊方向並列有多個的狀態配置在載置面41a上，只要能夠在叉41上對卡匣90充分地進行支撐，則浮動單元50的配置位置、個數並無限定。
在本實施形態中，由彈性施力式的恢復部件構成支撐體恢復部件SF，亦可由磁鐵式的恢復部件構成。
在本實施形態中，推進器25藉由抵接於卡匣90的角部90A來限制卡匣90的位置，但並不限定於此，只要是卡匣90的側面且能夠在抵接時限制卡匣90的位置，則亦可構成為抵接卡匣90的側面的中央部。另外，利用2台推進器25進行卡匣90的位置限制，但並不限定於此，亦可利用1台或3台以上的推進器25進行位置限制。
在本實施形態中，利用作為輥的定位引導輥26來進行叉單元40的叉41相對於移載機20的昇降位置的定位，但並不限定於此，只要是能夠在卡匣搬出搬入位置11保持叉41的構成，則例如亦可由能夠嵌合叉41的輥嵌合部41b的凸狀的構件構成。
10:移載設備
11:卡匣搬出搬入位置
14:卡匣搬出口
20:移載機(第2移載機)
21:昇降機構
22a:腳部
22b:支撐部
23:第2昇降部
23A:引導體
23B:驅動帶
23C:第2馬達
24:卡止機構
24A:卡止部
25:推進器(位置限制裝置)
25A:推進器主體
25B:臂部
26:定位引導輥
40:叉單元(第1移載機)
41:叉
41b:輥嵌合部
42:伸縮式臂
43:回旋台
50:浮動單元
80:蒸鍍裝置
81:裝置筐體
82:卡匣搬入口
83:裝載埠
90:卡匣
91:基板
92:凸緣部

Claims (3)

  1. 一種移載設備，其在第1移載機與第2移載機之間進行物品的移載，所述第1移載機對所述物品進行載置並使所述物品在水平方向上進行進退移動，所述第2移載機對所述物品的上部進行支撐並使所述物品在鉛垂方向上進行昇降移動，所述移載設備的特徵在於包括：位置限制裝置，與載置於所述第1移載機的載置面上的所述物品的側面抵接來進行所述載置面上的所述物品的位置限制，所述第1移載機於其所述載置面上包括浮動單元，所述浮動單元的活動部是藉由轉動式支撐體以相對於固定部而在水平方向的全方位上移動自如的方式進行承接支撐的結構，所述活動部包括所述物品載置支撐用的支撐部，所述物品支撐於所述物品載置支撐用的所述支撐部，並且藉由使所述活動部相對於所述固定部能夠在水平方向上移動，且利用所述位置限制裝置進行所述物品的位置限制，從而在所述載置面上進行所述物品相對於所述第2移載機的昇降位置的定位。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的移載設備，其包括：定位部件，進行所述第1移載機相對於所述第2移載機的昇降位置的定位。
  3. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的移載設備，其中所述物品是在其上部形成有卡止於所述第2移載機的卡止部 的大致箱型形狀的物品，且所述卡止部形成為鉤狀。
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