KR20110010389U - 기판반송로봇 - Google Patents

Abstract

[과제] 구조가 간단하면서 강성이 뛰어난 기판반송로봇을 제공한다.
[수단] 선회가능하게 설치된 선회구조체(20)과, 해당 선회구조체(20)에 대해서 승강가능하게 설치된 승강유닛(30)과, 해당 승강유닛(30)에 설치된 아암(50, 60)을 구비하고, 선회구조체(20)는, 선회구조 기초부(21)와 해당 선회구조 기초부(21)에 입설된 한 쌍의 지주(22, 22)를 가지며, 아암(50)은, 복수의 아암편(51, 52)이 굴신가능하게 연결된 것인 동시에 아암(50)의 선단이 한 쌍의 지주(22, 22) 사이를 통과하여 아암 진출시 위치와 아암 후퇴시 위치로 진퇴이동가능한 것이고, 승강유닛(30)은, 지주(22, 22)보다 아암 진출측으로 오프셋되어 설치된 승강프레임(40)을 구비하고, 해당 승강프레임(40)에 아암(50)의 기단부가 연결되어 있는 기판반송로봇(R)이다.

Description

기판반송로봇{SUBSTRATE TRANSFERRING ROBOT}

본 고안은, 박판(薄板)형상의 워크(work)를 반송하는 반송로봇에 관한 것으로, 특히, 박판형상인 유리기판 등의 기판을 반송하는 기판반송로봇에 관한 것이다.

종래의 기판반송로봇으로는, 예를 들면, 선회가능하게 설치된 하측 체결판(11)과, 하측 체결판(11)에 설치된 2개의 지주(支柱, 1A, 1B)와, 양 지주(1A,1B)의 상단을 체결하는 상측 체결판(12)으로 구성된 사각형의 틀체와, 해당 틀의 범위 내에 상하동(上下動)가능하게 설치된 2개의 아암 지지용 구조체(4A, 4B)와, 각 아암 지지용 구조체(4A, 4B)에 설치된 다관절 아암을 갖추는 더블 아암형 로봇이 있다(특허문헌1 참조).

또한, 선회가능하게 설치된 한 개의 컬럼(지주)(12)와 해당 컬럼(12)을 따라서 상하동하는 상하 이동기구(11)와, 상하 이동기구(11)에 지지부재(10)를 통해 설치된 상하의 아암(21, 22)을 갖추는 다관절(多關節)로봇이 있다(특허문헌2 참조).

[특허문헌1] 일본 특허공개 2005－150575호 공보 [특허문헌2] 일본 특허 제4168410호 공보

그런데, 전자의 더블 아암형 로봇에서는, 2개의 다관절 아암은, 각각 다른 아암 지지용 구조체(4A, 4B)에 설치되어 있고, 다른 쪽의 다관절 아암으로부터 독립해서 상하동이 가능하다. 따라서, 해당 더블 아암형 로봇에서는, 양 다관절 아암의 이격거리를 변화시키는 것이 가능하지만, 일정한 이격거리로 유지하거나 각 다관절 아암을 소정 위치에 정밀하게 위치결정하거나 하는 것은 반드시 용이하지 않다. 더욱이 양 아암 지지용 구조체(4A, 4B)의 충돌을 방지할 필요가 있는 등, 다관절 아암의 상하동제어는 복잡할 수 밖에 없다.

다른 한편, 후자의 다관절로봇에는, 상하의 아암(21, 22)이 지지부재(10, 10)를 통해 1개의 상하 이동기구(11)에 장착되고 있어, 양 아암(21, 22)의 상하의 이격거리는 고정되어 있다. 따라서, 해당 다관절로봇에서는, 양 지지부재(10)의 충돌은 없고, 양 아암(21, 22)의 상하동제어가 복잡화할 가능성도 적다. 그런데, 해당 다관절로봇은, 1개의 컬럼(12)만으로 양 아암(21, 22)을 지지하고 있으므로, 대형의 워크(대형 기판)를 취급할 때의 로봇(컬럼(12))의 강성(剛性)이라는 면에서는 반드시 충분하지 않다.

본 고안은, 이러한 문제점을 감안해서 안출된 것이며, 구조가 간단하면서 강성이 뛰어난 기판반송로봇을 제공함을 과제로 한다.

본 고안은, 선회가능하게 설치된 선회구조체와, 해당 선회구조체에 대해 승강가능하게 설치된 승강유닛과, 해당 승강유닛에 설치된 아암을 구비하고, 상기 선회구조체는, 선회구조 기초부와 해당 선회구조 기초부에 입설(立設)된 한 쌍의 지주를 가지며, 상기 아암은, 복수의 아암편이 굴신(屈伸)가능하게 연결된 것인 동시에 아암의 선단이 상기 한 쌍의 지주 사이를 통과하여 아암 진출시 위치와 아암 후퇴시 위치로 진퇴(進退)이동가능한 것이고, 상기 승강유닛은, 상기 지주보다 아암 진출측으로 오프셋(offset)되어 설치된 승강프레임을 갖추고 있으며, 해당 승강프레임에 상기 아암의 기단부(基端部)가 연결되어 있는 기판반송로봇이다.

그리고, 상기 승강프레임은, 상하에 배치된 상(上) 베이스(base)부재 및 하 베이스부재와, 해당 양 베이스부재를 서로 연결하는 좌우의 종(縱) 프레임부재로 구성되는 틀체이며, 상기 아암으로서 각 베이스부재에 설치된 제1 아암 및 제2 아암을 구비하고 있고, 각 아암의 기단부는, 각 베이스부재의 길이방향 중간위치에 각각 설치되어 있다.

그리고, 상기 각 지주에, 지주높이방향을 따라 승강가능한 승강체가 설치되어 있고, 해당 한 쌍의 승강체로 구성되는 승강부에, 승강프레임 지지부재를 통해, 상기 지주보다 아암 진출측으로 오프셋된 상기 승강프레임이 장착되어 있다.

그리고, 상기 승강프레임의 상기 하 베이스부재는, 상기 승강프레임 지지부재보다 아래방향으로 오프셋 배치되어 있다.

또한, 상기 승강프레임 지지부재는, 상기 승강부의 각 승강체로부터 아암 진출측으로 뻗는 브라켓으로 구성되어 있다.

더욱이, 상기 선회구조체의 선회축과, 상기 제1 아암의 기단부의 회전축과, 상기 제2 아암의 기단부의 회전축은, 모두 연직방향으로 뻗는 축이며, 상기 선회구조체의 선회축은, 상기 선회구조 기초부의 중간위치에 배치되어 있고, 상기 선회축과 상기 양 회전축은, 아암 진출후퇴방향으로 확장되는 동일한 수직평면상에 배치되어 있다.

본 고안에 의한 기판반송로봇은, 선회구조 기초부와 해당 선회구조 기초부에 입설된 한 쌍의 지주를 갖는 선회구조체를 구비하고, 이 선회구조체에 승강가능하게 설치된 승강유닛에 아암을 설치한 구조이므로, 구조가 간단하면서 강성이 뛰어나다. 그리고, 아암은, 그 선단이 한 쌍의 지주 사이를 통과하여 아암 진출시 위치와 아암 후퇴시 위치로 진퇴이동가능하게 되어 있으므로, 강성이 뛰어난 구조를 활용하여, 안정된 상태로 진퇴이동할 수 있다.

　또한, 기판반송로봇은, 승강유닛은 지주보다 아암 진출측으로 오프셋되어 설치된 승강프레임을 구비하고 있어, 해당 승강프레임에 아암의 기단부가 연결되어 있으므로, 오프셋량 만큼, 아암을 진출시킨 상태에서의 아암 선단의 선회반경이 커져 있다. 즉, 본 고안의 기판반송로봇에 의하면, 아암의 최대 스트로크길이보다 큰 회전반경범위에서, 기판을 반송시킴이 가능해진다. 또한, 더 대형인 워크를 반송함이 가능하다고 할 수 있다.

승강프레임은, 상하로 배치된 상 베이스부재 및 하 베이스부재와, 해당 양 베이스부재를 상호 연결하는 좌우의 종 프레임부재로 구성되는 틀체이므로, 강성이 뛰어난 견뢰(堅牢)한 구조이다. 그리고, 이 승강프레임의 각 베이스부재에 제1 아암 또는 제2 아암을 설치하고 있고, 각 아암의 기단부를 각 베이스부재의 길이방향 중간위치에 배치하고 있다. 즉, 각 아암은, 균형있게 안정된 상태로 설치되어 있다. 이에 의해, 강성이 뛰어난 구조가 더 확실히 확보된다.

그리고, 각 지주에 승강가능하게 설치된 승강체로 구성되는 승강부에, 승강프레임 지지부재를 통해 승강프레임을 장착하였으므로, 간단한 구조를 유지하면서 강성이 뛰어난 구조가 확보된다. 그리고, 승강프레임의 하 베이스부재를 승강프레임 지지부재보다 아래방향으로 오프셋 배치하면, 승강프레임을 가장 아래까지 강하시켰을 때, 하 베이스부재를 선회구조체의 선회구조 기초부보다 아래인 위치까지 하강시킬 수 있다. 이에 의해, 워크 반입출처에 대한 기판반송로봇의 반입출(搬入出) 최저 접근높이를 낮게 할 수 있다. 또한, 승강프레임 지지부재를, 승강부의 각 승강체로부터 아암 진출측으로 뻗는 브라켓으로 구성하면, 간단한 구조를 유지하면서 강성이 뛰어난 구조가 확보된다. 또한, 선회구조체의 선회축을 선회구조 기초부의 중간위치에 배치하는 동시에, 해당 선회축과 제1 아암의 기단부의 회전축과 제2 아암의 기단부의 회전축을, 아암 진출후퇴방향으로 확장되는 하나의 수직평면상에 위치하도록 배치하였으므로, 각 아암이 진퇴이동할 때의 밸런스가 좋고, 간단한 구조를 유지하면서 강성이 뛰어난 구조가 확보된다.

도 1은 본 고안에 의한 기판반송로봇을 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1의 기판반송로봇을 나타내는 평면도이다.
도 3은 도 1의 기판반송로봇을 나타내는 측면도이다.
도 4는 도 1의 기판반송로봇을 나타내는 정면도이다.

이하, 본 고안에 의한 기판반송로봇에 대해, 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 기판반송로봇(R)은, 대좌(臺座, 10)의 선회지지부(11)(도 3 참조)에 선회가능(도 1의 화살표 A 참조)에 설치된 선회구조체(20)와, 선회구조체(20)에 승강가능하게 설치된 승강유닛(30)과, 승강유닛(30)에 설치된 아암(50, 60)을 구비하고 있다.

선회구조체(20)는, 도시하지 않는 모터 등의 구동원에 의해 회전되는 선회지지부(11)에 설치된 선회구조 기초부(21)와, 선회구조 기초부(21)에 입설된 한 쌍의 지주(22, 22)와, 한 쌍의 지주(22, 22)의 상단을 상호 고정하는 선회구조 상틀(23)을 갖고 있다. 이러한 더블마스트구조로 함으로써, 강성이 뛰어난 선회구조체(20)를 실현할 수 있다. 선회구조 기초부(21)의 선회축(21a)(도 3 참조)의 축방향 및 지주(22, 22)의 연재(延在)방향은 모두 연직방향이다. 따라서, 선회구조체(20)를 연직의 선회축(21a) 둘레로 선회시킴으로써, 아암(50, 60)에 재치된 기판(W)을, 기판반송로봇(R)의 주위에 배치된 워크 반입출(搬入出)처에 대해 반입출할 수 있다. 또한, 선회축(21a)의 위치는, 한 쌍의 지주(22, 22)의 중간의 위치이다. 달리 말하면, 선회축(21a)에 대해 평면으로 보아 점대칭인 위치에 지주(22, 22)가 위치하도록, 선회구조 기초부(21) 및 지주(22, 22)가 배치된다. 따라서, 양 아암(50, 60)을 밸런스가 좋은 상태로 지지할 수 있다.

한 쌍의 지주(22, 22)의 각 외측에는, 지주(22)의 외측면을 뒤덮는 커버체(24, 24)가 장착되어 있다. 또한, 각 지주(22)의 외측에는, 지주(22)와 커버체(24) 사이에 위치하는 승강체(25)가 설치되어 있다. 각 승강체(25)는, 도시하지 않은 리니어 액츄에이터 등의 구동원에 의해 지주(22)의 연재방향(높이방향, 도 1의 화살표 B 참조)으로 승강가능하게 되어 있어, 지주(22)의 외측면을 따라 승강가능하다. 또한, 양 승강체(25, 25)는 같은 높이에 위치하는 상태로 동기하여 승강하게 되어 있어, 한 쌍의 승강체(25, 25)는 승강유닛(30)을 승강시키는 승강부(250)로서 기능한다. 또한, 양 승강체(25, 25)를 같은 높이에 위치하도록 동기시키는 구성으로서는, 여러 가지의 것을 생각할 수 있지만, 본 실시 형태와 같이, 후술의 브라켓(31,31) 및 승강프레임(40)을 통해 양 승강체(25, 25)를 일체화해서 동기시키는 구성은, 간단하면서 강성이 뛰어난 구조를 동시에 실현하는, 바람직한 구조이다.

승강유닛(30)은, 아암(50, 60)의 기단부(50a, 60a)가 설치되는 승강프레임(40)과, 승강프레임(40)을 승강부(250)에 고정하기 위한 승강프레임 지지부재(310)를 구비하고 있다.

승강프레임 지지부재(310)는, 일방(一方)의 승강체(25)에 연결된 일방의 브라켓(31)과, 타방(他方)의 승강체(25)에 연결된 타방의 브라켓(31)으로 구성되어 있다. 각 브라켓(31,31)은, 승강체(25, 25)로부터 아암 진출측(도 1의 화살표 Ca 참조)을 향해 뻗어 있고, 브라켓(31,31)의 선단측에 승강프레임(40)이 장착되어 있다.

승강프레임(40)은, 지주(22, 22)보다 아암 진출측(Ca)에 배치되어 있어, 지주(22, 22)에 대해 아암 진출측(Ca)으로 오프셋된 설치상태로 되어 있다. 그리고, 승강프레임(40)은, 하강위치(도 1 및 도 3의 실선으로 나타내는 위치 참조)와 상승위치(도 3의 이점쇄선으로 나타내는 위치 참조) 사이에서 승강가능하다. 상술한 바와 같이, 승강프레임(40)을 지주(22, 22)보다 아암 진출측(Ca)으로 오프셋하고, 후술하는 하 베이스부재(42)의 승강경로와 선회구조 기초부(21)가 간섭하지 않도록 하면, 하 베이스부재(42)를 선회구조 기초부(21)의 상면(上面)(지주(22, 22)의 설치면)보다 하측인 위치까지 하강시킴이 가능하다(도 3 참조). 마찬가지로 후술하는 상 베이스부재(41)의 승강경로와 선회구조 상틀(23)이 간섭하지 않도록 하면, 상 베이스부재(41)를 선회구조 상틀(23)의 하면(下面)보다 상측인 위치까지 상승시킴이 가능하다(도 3 참조). 이에 의해, 승강프레임(40)의 승강범위로서 더 넓은 범위를 확보함이 가능하게 된다. 즉, 워크 반입출처(도시하지 않음)에 대한 기판반송로봇(R)의, 반입출 최저 접근높이를 더 낮게 할 수 있고, 또한, 반입출 최고 접근높이를 더 높게 할 수 있다.

또한, 승강프레임(40)은, 상하의 위치관계에 배치된 상 베이스부재(41) 및 하 베이스부재(42)와 좌우의 종(縱) 프레임부재(43, 43)로 둘러싸인 프레임구조로 되어 있다. 이러한 구조의 승강프레임(40)은 강성이 뛰어나다. 종 프레임부재(43, 43)는, 상하 단부(端部)에, 수평방향으로 굴곡된 상부 재치대(43a) 및 하부 재치대(43b)를 갖는다.

상 베이스부재(41) 및 하 베이스부재(42)는, 아암 진퇴이동방향(C)(도 1 참조)에 직교하면서 수평인 상태로 설치되어 있다. 또한, 상 베이스부재(41) 및 하 베이스부재(42)는, 단면이 장방형인 부재로서, 4개의 측면 중 폭이 넓은 면이 수평으로 되도록, 상하로 배치되어 있다.

그리고, 상 베이스부재(41)는, 브라켓(31,31)보다 윗방향으로 오프셋 배치되어 있고, 하 베이스부재(42)는, 브라켓(31,31)보다 아래방향으로 오프셋 배치되어 있다. 즉, 브라켓(31,31)은, 상 베이스부재(41)와 하 베이스부재(42) 사이에 위치하도록 배치되어 있다. 또한, 오프셋함으로써, 상 베이스부재(41)와 하 베이스부재(42) 사이에 아암(50, 60)을 설치할 스페이스가 확보되어 있다.

또한, 상 베이스부재(41)는, 좌우의 종 프레임부재(43, 43)의 상부의 상부 재치대(43a)에 착탈가능하게 장착되어 있고, 하 베이스부재(42)는, 좌우의 종 프레임부재(43, 43)의 하부의 하부 재치대(43b)에 착탈가능하게 장착되어 있다.

승강유닛(30)에는, 상 아암(제1 아암, 50) 및 하 아암(제2 아암, 60)이 설치되어 있다.

상 아암(50)은, 굴신가능하게 연결된 2개의 아암편(51, 52)을 구비하고 있다. 더 구체적으로 설명하면, 상 아암(50)은, 기단부가 상 베이스부재(41)에 회전가능하게 연결된 기단측 아암편(51)과, 해당 기단측 아암편(51)의 선단부에 회전가능하게 연결된 선단측 아암편(52)을 구비하고 있다. 해당 기단측 아암편(51)의 기단부(이하, 간단히「상 아암기단부(50a)」라고 칭한다)는, 상 아암 전체를 지지하는 부위로서, 아암의 어깨부에 상당하고, 선단측 아암편(52)은, 그 기단부에서 기단측 아암편(51)에 연결되어 있고, 기단측 아암편(51)과 선단측 아암편(52)의 연결부는, 상 아암(50)의 팔꿈치부에 상당한다. 또한, 기단측 아암편(51)과 선단측 아암편(52)의 길이(아암편 일단(一端)의 연결부로부터 타단(他端)의 연결부까지의 길이)는 같다.

그리고, 상 아암(50)의 선단측 아암편(52)의 선단부(이하, 간단히「상 아암선단부(50b)」라고 칭한다)에는, 핸드부(53)가 회전가능하게 장착되어 있다. 이 핸드부(53)는, 박판형상의 기판(W)을 재치상태로 유지할 수 있는 것이다.

이러한 구성의 상 아암(50)은, 도시하지 않는 모터 등의 구동원에 의해 양 아암편(51, 52)이 회동(回動)됨으로써 굴신하도록 되어 있고, 아암(50)을 굴신시킴에 의해, 아암선단부(50b)를 후퇴위치(아암 후퇴시 위치, 도 1 참조)와 진출위치(아암 진출시 위치, 도 3의 이점쇄선으로 나타내는 진출상태 참조) 사이에서 아암 진퇴방향(C)(도 1 참조)으로 진퇴이동시키도록 되어 있다. 여기서, 아암 진퇴방향(C)이란, 승강유닛(30)과의 관계로 설명하면, 수평으로 연신(延伸)할 방향인 동시에 선회구조체(20)에 대해 근접 이격 이동하는 방향이다. 아암 선단부(50b)를 진퇴이동시키면, 아암선단부(50b)에 장착된 핸드부(53)를 진퇴이동시킬 수 있다.

또한, 상 아암기단부(50a)의 상 베이스부재(41)과의 연결부, 기단측 아암편(51)과 선단측 아암편(52)의 연결부, 상 아암선단부(50b)와 핸드부(53)의 연결부의 각 연결축은, 모두 연직방향의 축이다.

또한, 하 아암(60)은, 상 아암(50)과 같은 구조의 것이며, 상 아암(50)을 진퇴방향으로 뻗힌 수평축 둘레로 180도 회전시킨 상태로 배치한(수평면에 대해 면대칭으로 배치된) 것이다. 따라서, 하 아암(60)의 각 부위에, 상 아암(50)이 대응하는 부위에 붙힌 부호와 공통의 부호(10의 단위만 「5」를 「6」으로 변경)를 붙이도록 하고, 여기에서는 하 아암(60)의 상세한 설명을 생략한다.

이와 같이, 본 실시 형태의 기판반송로봇(R)에서는, 선회구조체(20)의 선회축(21a)과, 상 아암기단부(50a)의 회전축과, 하 아암기단부(60a)의 회전축은, 모두 연직방향으로 뻗는 축이다. 그리고, 선회축(21a)과 양 아암기단부(50a, 60a)의 회전축은, 아암 진출후퇴방향(C)(도 1 참조)으로 확장하는 동일한 수직 평면상에 배치되어 있다.

또한, 상 아암기단부(50a)는, 상 베이스부재(41)의 하면측에 장착되어 있고, 하 아암기단부(60a)는, 하 베이스부재(42)의 상면측에 장착되어 있다. 즉, 양 아암선단부(50b, 60b)는, 승강프레임(40)의 프레임 내를 통과하여, 후퇴위치와 진출위치 사이를 진퇴이동한다. 달리 말하면, 양 아암선단부(50b, 60b)는, 한 쌍의 지주(22, 22) 사이를 통과하여, 진출위치와 후퇴위치로 진퇴이동한다. 또한, 상 아암기단부(50a)는, 상 베이스부재(41)의 길이방향의 중간위치에 설치되어 있고, 하 아암기단부(60a)는, 하 베이스부재(42)의 길이방향 중간위치에 설치되어 있다.

다음으로, 이러한 구성의 기판반송로봇의 동작을 설명한다. 기판반송로봇의 동작은, 도시하지 않은 제어수단을 이용하여 상술한 각 구동원의 동작제어를 행함에 의해 실현되고 있다.

도 1에서는, 상 아암(50)의 핸드부(53)가 아암 후퇴위치에 위치하는 상태이며, 하 아암(60)의 핸드부(63)가 아암 진출위치에 위치하는 상태이고, 승강유닛(30)이 하강위치에 위치하는 상태이다.

진출 위치의 핸드부(53, 63)은, 워크 반입출처로 진출된 상태이다. 따라서, 워크 반입출처의 기판(W)을 핸드부(53, 63)에서 유지하는 경우는, 우선, 핸드부(53, 63)를 도시하는 상태로 진출시키고, 그후, 상승시킨다. 이에 의해, 워크 반입출처의 기판(W)이 핸드부(53, 63)상으로 이동적재되어 유지된다. 또한, 핸드부(53, 63)에 유지(재치)된 기판(W)을 워크 반입출처에 재치하는 경우는, 우선, 핸드부(53, 63)를 도시하는 상태로 진출시키고, 그후, 하강시킨다. 이에 의해, 핸드부(53, 63)에 유지(재치)된 기판(W)이 워크 반입출처로 이동적재된다.

후퇴위치의 핸드부(53, 63)는, 대기 상태이다. 예를 들면, 양 아암(50, 60)을 후퇴위치에 위치시킨 상태로 선회시키면, 기판반송로봇(R)의 선회반경이 최소로 된다. 따라서, 기판(W)의 반입출처의 변경 등의 목적으로 선회구조체(20)를 선회시키는 경우는, 선회동작 전에 양 아암(50, 60)의 핸드부(53, 63)를 후퇴위치로 이동시키고, 그 상태에서, 선회구조체(20)를 선회시킨다.

승강유닛(30)은, 하강위치(도 3의 실선의 위치)와 상승위치(도 3의 이점쇄선의 위치) 사이의 소망의 높이위치로 이동가능하다. 따라서, 워크 반입출처에서, 기판(W)이 복수 단의 선반에 수납되어 있는 경우이면, 승강유닛(30)을 승강시킴에 의해, 핸드부(53, 63)의 높이위치를 각 선반의 높이에 맞출 수 있다.

예를 들면, 기판반송로봇(R)의 주위에 복수의 워크 반입출처가 설치되어 있는 경우는, 먼저, 선회구조체(20)를 선회시켜, 아암(50, 60)의 아암 진퇴방향(C)을 소망의 워크 반입출처로 향하게 한다. 또한, 기판(W)의 반입출에 이용하는 아암(50, 60)의 높이위치를, 기판 반입출처인 선반의 높이에 맞춘다. 그 상태에서, 아암(50, 60)의 핸드부(53, 63)를 진퇴이동시킴으로써, 워크 반입출처에 대해 기판(W)을 반입출하게 된다.

이러한 기판반송 동작시에, 본 실시 형태의 기판반송로봇(R)과 같이, 지주(22, 22)보다 아암 진출측(Ca)(도 1 참조)으로 오프셋 배치된 승강프레임(40)에 아암(50, 60)이 설치되어 있으면, 오프셋량 만큼, 아암 진출시의 핸드부(53, 63)의 도달가능범위를 더 길게 할 수 있다. 핸드부(53, 63)의 도달가능범위를 길게 할 수 있으면, 기판반송가능범위가 더 넓어진다. 반대의 관점에서, 오프셋량 만큼, 아암 진출시의 핸드부(53, 63)의 도달거리를 벌 수 있기 때문에, 도달가능범위를 종전과 동일하게 하는 경우, 아암(50, 60)의 길이(아암편(51, 52))를 짧게 할 수 있다. 그 결과, 아암(50, 60)의 중량·체적을 작게 할 수 있다. 이 때문에, 아암용의 모터로서 출력이 적은 것을 사용할 수 있는 동시에, 아암(50, 60) 선회시의 모멘트도 작아지므로, 양 지주(22, 22)에 요구되는 강성치(剛性値)도 적게 한 것으로 된다.

또한, 기판반송로봇(R)은, 더블 마스트(double mast)형이기 때문에, 좌우의 중량 밸런스가 균등이다. 그리고, 이들 양 지주(22, 22)에 의해 양 아암(50, 60) 및 기판(W)의 중량을 지지하기 위해, 기판반송로봇(R)의 양 지주(22, 22)의 마스트 총 단면적과, 싱글 마스트형의 기판반송로봇의 마스트 단면적을 동일하게 한 경우, 기판반송로봇(R)의 강성은, 싱글 마스트형에 비해 높아진다. 그 결과, 기판반송로봇(R)은, 싱글 마스트형의 기판반송로봇에 비해, 대형의 기판(W)(워크)을, 더 안정되게 반송함이 가능하게 된다.

10…대좌, 11…선회 지지부,
20…선회구조체, 21…선회구조 기초부, 21a…선회축, 22…지주,
23…선회구조 상틀, 24…커버체, 25…승강체, 250…승강부,
30…승강유닛, 310…승강프레임 지지부재, 31…브라켓,
40…승강프레임, 41…상 베이스부재, 42…하 베이스부재,
43…종 프레임부재, 43a…상부 재치대, 43b…하부 재치대,
50…상 아암(제1 아암),
50a…상 아암기단부(기단측 아암편의 기단부),
50b…상 아암선단부(선단측 아암편의 선단부),
51…기단측 아암편, 52…선단측 아암편, 53…핸드부,
60…하 아암(제2 아암),
60a…상 아암기단부(기단측 아암편의 기단부),
60b…상 아암선단부(선단측 아암편의 선단부),
61…기단측 아암편, 62…선단측 아암편,
A…선회방향, B…지주길이방향(높이방향, 연직방향),
C…아암 진퇴이동방향, Ca…아암 진출측, Cb…아암 후퇴측,
R…기판반송로봇, W…기판

Claims (6)

1. 선회(旋回)가능하게 설치된 선회구조체와, 해당 선회구조체에 대해 승강가능하게 설치된 승강유닛과, 해당 승강유닛에 설치된 아암(arm)을 구비하고,
   상기 선회구조체는, 선회구조 기초부와 해당 선회구조 기초부에 입설(立設)된 한 쌍의 지주(支柱)를 가지며,
   상기 아암은, 복수의 아암 편(片)이 굴신(屈伸)가능하게 연결된 것인 동시에 아암의 선단(先端)이 상기 한 쌍의 지주 사이를 통과하여 아암 진출시 위치와 아암 후퇴시 위치로 진퇴(進退)이동가능한 것이고,
   상기 승강유닛은, 상기 지주보다 아암 진출측으로 오프셋(offset)되어 설치된 승강프레임을 구비하며,
   해당 승강프레임에 상기 아암의 기단부(基端部)가 연결되어 있는 기판반송로봇.
2. 제1항에 있어서,
   상기 승강프레임은, 상하로 배치된 상(上) 베이스(base)부재 및 하(下) 베이스부재와, 해당 양 베이스부재를 상호 연결하는 좌우의 종(縱) 프레임부재로 구성되는 틀체이며,
   상기 아암으로서, 각 베이스부재에 설치된 제1 아암 및 제2 아암을 구비하고,
   각 아암의 기단부는, 각 베이스부재의 길이방향 중간위치에 각각 설치되어 있는 기판반송로봇.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 각 지주에, 지주높이방향을 따라 승강가능한 승강체가 설치되어 있고,
   해당 한 쌍의 승강체로 구성되는 승강부에, 승강프레임 지지부재를 통해, 상기 지주보다 아암 진출측으로 오프셋된 상기 승강프레임이 장착되어 있는 기판반송로봇.
4. 제3항에 있어서,
   상기 승강프레임의 상기 하 베이스부재는, 상기 승강프레임 지지부재보다 아래방향으로 오프셋 배치되어 있는 기판반송로봇.
5. 제3항 또는 제4항에 있어서,
   상기 승강프레임 지지부재는, 상기 승강부의 각 승강체로부터 아암 진출측으로 뻗는 브라켓으로 구성되어 있는 기판반송로봇.
6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 선회구조체의 선회축과, 상기 제1 아암의 기단부의 회전축과, 상기 제2 아암의 기단부의 회전축은, 모두 연직방향으로 뻗는 축이며,
   상기 선회구조체의 선회축은, 상기 선회구조 기초부의 중간위치에 배치되고,
   상기 선회축과 상기 양 회전축은, 아암 진출후퇴방향으로 확장되는 동일한 수직평면 상에 배치되어 있는 기판반송로봇.
   

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